JPH11250848A - 電子顕微鏡装置 - Google Patents
電子顕微鏡装置Info
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- JPH11250848A JPH11250848A JP6606698A JP6606698A JPH11250848A JP H11250848 A JPH11250848 A JP H11250848A JP 6606698 A JP6606698 A JP 6606698A JP 6606698 A JP6606698 A JP 6606698A JP H11250848 A JPH11250848 A JP H11250848A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 テレビモニタ上でも直接倍率で像観察ができ
るようにした電子顕微鏡装置を提供する。 【解決手段】 拡大レンズ１と、拡大レンズ制御回路２
と、蛍光板３と、蛍光板駆動機構４と、撮影室５と、テ
レビカメラ６と、テレビモニタ８と、蛍光板／テレビカ
メラ切替え回路９とを備え、蛍光板／テレビカメラ切替
え回路９により蛍光板３上での観察からテレビモニタ８
による観察に切り替えるとき、拡大レンズ制御回路２を
介して拡大レンズ１を制御し、電子顕微鏡の倍率Ｍ′
を、蛍光板上での観察時の倍率をＭとすると、Ｍ′＝Ｍ
／（テレビモニタの大きさ／テレビカメラ受光面の大き
さ）に設定し、テレビモニタ８上で直接倍率の観察像を
得るようにする。
るようにした電子顕微鏡装置を提供する。 【解決手段】 拡大レンズ１と、拡大レンズ制御回路２
と、蛍光板３と、蛍光板駆動機構４と、撮影室５と、テ
レビカメラ６と、テレビモニタ８と、蛍光板／テレビカ
メラ切替え回路９とを備え、蛍光板／テレビカメラ切替
え回路９により蛍光板３上での観察からテレビモニタ８
による観察に切り替えるとき、拡大レンズ制御回路２を
介して拡大レンズ１を制御し、電子顕微鏡の倍率Ｍ′
を、蛍光板上での観察時の倍率をＭとすると、Ｍ′＝Ｍ
／（テレビモニタの大きさ／テレビカメラ受光面の大き
さ）に設定し、テレビモニタ８上で直接倍率の観察像を
得るようにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、テレビモニタ上
において直接倍率の試料透過像が得られるようにした電
子顕微鏡装置に関する。
において直接倍率の試料透過像が得られるようにした電
子顕微鏡装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、透過型電子顕微鏡において、透過
拡大像の観察を容易に行えるようにする方法の一つとし
て、テレビカメラを設けテレビモニタ上で観察すること
が多用されている。また、透過型電子顕微鏡において設
けられている撮影室内のフィルム面位置に配置される像
観察用の蛍光板に投影される観察像は、一般的にフィル
ム面に記録される像と同様に透過型電子顕微鏡の直接倍
率の像を表示している。そして、テレビモニタ上で観察
する場合に設けられるテレビカメラは、撮影室の下部に
取り付けられ、その受光面の大きさはフィルム面に比べ
て10分の１前後であり、視野が制限されている。したが
って、その制限された視野をテレビモニタで観察するこ
とになるが、テレビモニタ上での像倍率は、テレビカメ
ラの受光面の大きさと、テレビモニタの画面の大きさの
比で拡大されており、一般的に直接倍率に対して10数倍
となっている。
拡大像の観察を容易に行えるようにする方法の一つとし
て、テレビカメラを設けテレビモニタ上で観察すること
が多用されている。また、透過型電子顕微鏡において設
けられている撮影室内のフィルム面位置に配置される像
観察用の蛍光板に投影される観察像は、一般的にフィル
ム面に記録される像と同様に透過型電子顕微鏡の直接倍
率の像を表示している。そして、テレビモニタ上で観察
する場合に設けられるテレビカメラは、撮影室の下部に
取り付けられ、その受光面の大きさはフィルム面に比べ
て10分の１前後であり、視野が制限されている。したが
って、その制限された視野をテレビモニタで観察するこ
とになるが、テレビモニタ上での像倍率は、テレビカメ
ラの受光面の大きさと、テレビモニタの画面の大きさの
比で拡大されており、一般的に直接倍率に対して10数倍
となっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
にテレビモニタで透過拡大像の観察を行えるようにした
透過型電子顕微鏡装置においては、テレビモニタ上での
像倍率は、一般的に電子顕微鏡の直接倍率に対して10数
倍となっており、したがって、テレビモニタ上では直接
倍率での像観察はできないという問題点がある。
にテレビモニタで透過拡大像の観察を行えるようにした
透過型電子顕微鏡装置においては、テレビモニタ上での
像倍率は、一般的に電子顕微鏡の直接倍率に対して10数
倍となっており、したがって、テレビモニタ上では直接
倍率での像観察はできないという問題点がある。
【０００４】本発明は、従来のテレビモニタで透過拡大
像の観察を行えるようにした透過型電子顕微鏡における
上記問題点を解消するためになされたもので、請求項１
に係る発明は、透過型電子顕微鏡の倍率を蛍光板で観察
する場合とテレビモニタで観察する場合とで変えて、テ
レビモニタ上でも直接倍率で像観察ができるようにした
電子顕微鏡装置を提供することを目的とする。
像の観察を行えるようにした透過型電子顕微鏡における
上記問題点を解消するためになされたもので、請求項１
に係る発明は、透過型電子顕微鏡の倍率を蛍光板で観察
する場合とテレビモニタで観察する場合とで変えて、テ
レビモニタ上でも直接倍率で像観察ができるようにした
電子顕微鏡装置を提供することを目的とする。
【０００５】また、上記のようにテレビモニタ上におい
て、透過型電子顕微鏡のフィルム面上で得られる直接倍
率で像観察ができるようにすると、一般的にはフィルム
面の大きさに対してテレビモニタの大きさは数倍前後あ
るため、テレビモニタにおいてはフィルム面で得られる
視野よりも広い視野範囲が表示されることになる。した
がって、テレビモニタの表示画像からは、実際にフィル
ム面上に撮影される範囲を知ることができないという問
題が生じる。
て、透過型電子顕微鏡のフィルム面上で得られる直接倍
率で像観察ができるようにすると、一般的にはフィルム
面の大きさに対してテレビモニタの大きさは数倍前後あ
るため、テレビモニタにおいてはフィルム面で得られる
視野よりも広い視野範囲が表示されることになる。した
がって、テレビモニタの表示画像からは、実際にフィル
ム面上に撮影される範囲を知ることができないという問
題が生じる。
【０００６】そこで、請求項２に係る発明は、テレビモ
ニタ上に表示されている観察像上にフィルムサイズ枠を
表示して、容易にフィルム面上に撮影される範囲を認識
できるようにした電子顕微鏡装置を提供することを目的
とする。
ニタ上に表示されている観察像上にフィルムサイズ枠を
表示して、容易にフィルム面上に撮影される範囲を認識
できるようにした電子顕微鏡装置を提供することを目的
とする。
【０００７】また、上記のようにテレビモニタ上におい
て直接倍率で像観察ができるようにすると、直接倍率で
像観察しているテレビモニタ上に表示される像視野は、
フィルムサイズに比べて数倍広くなる。したがって、テ
レビモニタ上にフィルムサイズ枠を表示することが可能
となるが、通常フィルムサイズ枠位置は透過型電子顕微
鏡の光軸を中心に決定される。しかし、上記のようにテ
レビモニタ上に表示される像視野がフィルムサイズより
大きいと、操作者は現に表示されているフィルムサイズ
枠外の他の視野を撮影しようとする意志が働くことがあ
る。その場合、観察像を移動して所望の撮影目的部分
を、表示されているフィルムサイズ枠内に位置させなけ
ればならないが、操作の容易性及び認識の容易性から
は、観察像は静止させたままでフィルムサイズ枠を撮影
目的部分まで移動させることが望ましい。
て直接倍率で像観察ができるようにすると、直接倍率で
像観察しているテレビモニタ上に表示される像視野は、
フィルムサイズに比べて数倍広くなる。したがって、テ
レビモニタ上にフィルムサイズ枠を表示することが可能
となるが、通常フィルムサイズ枠位置は透過型電子顕微
鏡の光軸を中心に決定される。しかし、上記のようにテ
レビモニタ上に表示される像視野がフィルムサイズより
大きいと、操作者は現に表示されているフィルムサイズ
枠外の他の視野を撮影しようとする意志が働くことがあ
る。その場合、観察像を移動して所望の撮影目的部分
を、表示されているフィルムサイズ枠内に位置させなけ
ればならないが、操作の容易性及び認識の容易性から
は、観察像は静止させたままでフィルムサイズ枠を撮影
目的部分まで移動させることが望ましい。
【０００８】そこで、請求項３に係る発明は、テレビモ
ニタ上のフィルムサイズ（撮影範囲）枠を移動させ、移
動させたフィルムサイズ枠内の試料像を撮影できるよう
にした電子顕微鏡装置を提供することを目的とする。
ニタ上のフィルムサイズ（撮影範囲）枠を移動させ、移
動させたフィルムサイズ枠内の試料像を撮影できるよう
にした電子顕微鏡装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め、請求項１に係る発明は、試料の透過拡大像を観察す
る蛍光板と、該透過拡大像を撮像するテレビカメラと、
該テレビカメラで撮像された試料透過拡大像を観察する
テレビモニタとを備えた電子顕微鏡装置において、蛍光
板による観察とテレビモニタによる観察の切替え手段
と、該切替え手段のテレビモニタ観察への切り替え動作
に連動して、テレビモニタの観察倍率が蛍光板による観
察時の直接倍率と等しくなるように、電子顕微鏡の倍率
を制御する手段を備えていることを特徴とするものであ
る。
め、請求項１に係る発明は、試料の透過拡大像を観察す
る蛍光板と、該透過拡大像を撮像するテレビカメラと、
該テレビカメラで撮像された試料透過拡大像を観察する
テレビモニタとを備えた電子顕微鏡装置において、蛍光
板による観察とテレビモニタによる観察の切替え手段
と、該切替え手段のテレビモニタ観察への切り替え動作
に連動して、テレビモニタの観察倍率が蛍光板による観
察時の直接倍率と等しくなるように、電子顕微鏡の倍率
を制御する手段を備えていることを特徴とするものであ
る。
【００１０】このように、蛍光板による観察をテレビモ
ニタによる観察に切り替える動作に連動して、透過型電
子顕微鏡の倍率を、テレビモニタ画面上で直接倍率が得
られるように制御することにより、テレビモニタ上にお
いても直接倍率の観察像を容易に得ることができる。
ニタによる観察に切り替える動作に連動して、透過型電
子顕微鏡の倍率を、テレビモニタ画面上で直接倍率が得
られるように制御することにより、テレビモニタ上にお
いても直接倍率の観察像を容易に得ることができる。
【００１１】請求項２に係る発明は、請求項１に係る電
子顕微鏡装置において、透過型電子顕微鏡に用意された
複数サイズのフィルムに対応するフィルムサイズ枠を指
定するフィルムサイズ枠指定手段と、該フィルムサイズ
枠指定手段で指定されたフィルムサイズ枠を、前記テレ
ビモニタにおいて直接倍率で観察される前記テレビカメ
ラで得られた試料透過像に重畳するための画像重畳回路
とを備え、前記テレビモニタにおいて直接倍率の試料透
過像にフィルムサイズ枠を重畳して表示できるように構
成したことを特徴とするものである。
子顕微鏡装置において、透過型電子顕微鏡に用意された
複数サイズのフィルムに対応するフィルムサイズ枠を指
定するフィルムサイズ枠指定手段と、該フィルムサイズ
枠指定手段で指定されたフィルムサイズ枠を、前記テレ
ビモニタにおいて直接倍率で観察される前記テレビカメ
ラで得られた試料透過像に重畳するための画像重畳回路
とを備え、前記テレビモニタにおいて直接倍率の試料透
過像にフィルムサイズ枠を重畳して表示できるように構
成したことを特徴とするものである。
【００１２】このように構成することにより、テレビモ
ニタ上に直接倍率で表示した透過電子顕微鏡像にフィル
ムサイズ枠を表示することができ、フィルム上に撮影さ
れる範囲を容易に認識することが可能となる。
ニタ上に直接倍率で表示した透過電子顕微鏡像にフィル
ムサイズ枠を表示することができ、フィルム上に撮影さ
れる範囲を容易に認識することが可能となる。
【００１３】請求項３に係る発明は、請求項２に係る電
子顕微鏡装置において、前記テレビモニタに重畳して表
示されたフィルムサイズ枠の移動を指示する手段と、該
フィルムサイズ枠移動指示手段で指示されたフィルムサ
イズ枠の移動量を記憶する手段と、フィルムへの撮影時
に、試料ステージを移動させる試料移動機構又は試料透
過像を移動させるイメージシフトコイルを制御するイメ
ージシフト回路の少なくともいずれか一方と、前記フィ
ルムサイズ枠移動量記憶手段に記憶された移動量に基づ
いて前記試料移動機構又はイメージシフト回路を駆動制
御し、フィルム面上の撮影範囲が前記テレビモニタ上で
移動されたフィルムサイズ枠内の視野に一致するように
制御する手段とを備えていることを特徴とするものであ
る。
子顕微鏡装置において、前記テレビモニタに重畳して表
示されたフィルムサイズ枠の移動を指示する手段と、該
フィルムサイズ枠移動指示手段で指示されたフィルムサ
イズ枠の移動量を記憶する手段と、フィルムへの撮影時
に、試料ステージを移動させる試料移動機構又は試料透
過像を移動させるイメージシフトコイルを制御するイメ
ージシフト回路の少なくともいずれか一方と、前記フィ
ルムサイズ枠移動量記憶手段に記憶された移動量に基づ
いて前記試料移動機構又はイメージシフト回路を駆動制
御し、フィルム面上の撮影範囲が前記テレビモニタ上で
移動されたフィルムサイズ枠内の視野に一致するように
制御する手段とを備えていることを特徴とするものであ
る。
【００１４】このように構成することにより、テレビモ
ニタにおいて透過電子顕微鏡像上に重畳して表示されて
いるフィルムサイズ枠を他の部分の像視野に移動させる
ことによって、フィルムへの撮影時に、フィルム面上の
撮影範囲がフィルムサイズ枠の移動量に連動して制御さ
れ、テレビモニタ上で移動したフィルムサイズ枠内の試
料像の撮影が可能となり、操作性を向上させることがで
きる。
ニタにおいて透過電子顕微鏡像上に重畳して表示されて
いるフィルムサイズ枠を他の部分の像視野に移動させる
ことによって、フィルムへの撮影時に、フィルム面上の
撮影範囲がフィルムサイズ枠の移動量に連動して制御さ
れ、テレビモニタ上で移動したフィルムサイズ枠内の試
料像の撮影が可能となり、操作性を向上させることがで
きる。
【００１５】
【発明の実施の形態】次に、実施の形態について説明す
る。図１は、本発明に係る電子顕微鏡装置の第１の実施
の形態を示す概略構成図で、この実施の形態は請求項１
に係る発明に対応するものである。図１において、１は
透過型電子顕微鏡の拡大レンズで、２は該拡大レンズ１
の倍率制御を行う拡大レンズ制御回路である。３は電子
顕微鏡の透過拡大像を観察するための蛍光板、４は該蛍
光板３の観察位置への移動及び退避を行う蛍光板駆動機
構、５は電子顕微鏡の透過拡大像をフィルムに撮影する
ための撮影室、６は該撮影室５の下部に配置されたテレ
ビカメラ、７はテレビカメラ受光面、８はテレビモニタ
で、９は拡大レンズ制御回路２及び蛍光板駆動機構４を
駆動制御する蛍光板／テレビカメラ切替え回路である。
る。図１は、本発明に係る電子顕微鏡装置の第１の実施
の形態を示す概略構成図で、この実施の形態は請求項１
に係る発明に対応するものである。図１において、１は
透過型電子顕微鏡の拡大レンズで、２は該拡大レンズ１
の倍率制御を行う拡大レンズ制御回路である。３は電子
顕微鏡の透過拡大像を観察するための蛍光板、４は該蛍
光板３の観察位置への移動及び退避を行う蛍光板駆動機
構、５は電子顕微鏡の透過拡大像をフィルムに撮影する
ための撮影室、６は該撮影室５の下部に配置されたテレ
ビカメラ、７はテレビカメラ受光面、８はテレビモニタ
で、９は拡大レンズ制御回路２及び蛍光板駆動機構４を
駆動制御する蛍光板／テレビカメラ切替え回路である。
【００１６】次に、このように構成されている電子顕微
鏡装置の動作について説明する。まず蛍光板３により透
過拡大像を観察する際は、蛍光板／テレビカメラ切替え
回路９からの駆動制御信号により蛍光板駆動機構４を駆
動して、蛍光板３を撮影室４の前面の所定位置に配置さ
せる。それと同時に、蛍光板／テレビカメラ切替え回路
９からの制御信号により拡大レンズ制御回路２を駆動し
て、拡大レンズ１を蛍光板３上に所定の倍率（直接倍
率）の透過拡大像が投影されるように制御する。これに
より、蛍光板３上から直接倍率の透過拡大像が観察され
る。
鏡装置の動作について説明する。まず蛍光板３により透
過拡大像を観察する際は、蛍光板／テレビカメラ切替え
回路９からの駆動制御信号により蛍光板駆動機構４を駆
動して、蛍光板３を撮影室４の前面の所定位置に配置さ
せる。それと同時に、蛍光板／テレビカメラ切替え回路
９からの制御信号により拡大レンズ制御回路２を駆動し
て、拡大レンズ１を蛍光板３上に所定の倍率（直接倍
率）の透過拡大像が投影されるように制御する。これに
より、蛍光板３上から直接倍率の透過拡大像が観察され
る。
【００１７】次に、テレビモニタ８による像観察に切り
替えて、テレビモニタ８上において、蛍光板３上におけ
る直接倍率と同じ倍率、すなわち直接倍率で像観察を行
う場合には、蛍光板／テレビカメラ切替え回路９により
蛍光板駆動機構４を駆動して蛍光板３を退避させると共
に、拡大レンズ制御回路２を駆動して拡大レンズ１によ
る電子顕微鏡倍率を制御する。この場合、例えば蛍光板
３上で観察している倍率（直接倍率）をＭとした場合、
テレビモニタ８で同じ倍率（直接倍率）で観察するため
には、拡大レンズ１による電子顕微鏡の倍率Ｍ′を、
Ｍ′＝Ｍ／（テレビモニタの大きさ／テレビカメラ受光
面の大きさ）に設定する。
替えて、テレビモニタ８上において、蛍光板３上におけ
る直接倍率と同じ倍率、すなわち直接倍率で像観察を行
う場合には、蛍光板／テレビカメラ切替え回路９により
蛍光板駆動機構４を駆動して蛍光板３を退避させると共
に、拡大レンズ制御回路２を駆動して拡大レンズ１によ
る電子顕微鏡倍率を制御する。この場合、例えば蛍光板
３上で観察している倍率（直接倍率）をＭとした場合、
テレビモニタ８で同じ倍率（直接倍率）で観察するため
には、拡大レンズ１による電子顕微鏡の倍率Ｍ′を、
Ｍ′＝Ｍ／（テレビモニタの大きさ／テレビカメラ受光
面の大きさ）に設定する。
【００１８】このように、蛍光板とテレビモニタとの観
察切り替えに連動して透過型電子顕微鏡の倍率を、テレ
ビカメラの受光面の大きさとテレビモニタの大きさの比
で変えることにより、テレビモニタ上でも直接倍率で像
観察を行うことができる。
察切り替えに連動して透過型電子顕微鏡の倍率を、テレ
ビカメラの受光面の大きさとテレビモニタの大きさの比
で変えることにより、テレビモニタ上でも直接倍率で像
観察を行うことができる。
【００１９】次に、第２の実施の形態について説明す
る。図２は第２の実施の形態を示す概略構成図で、この
実施の形態は請求項２に係る発明に対応するものであ
る。図２において、11はテレビカメラで、図示しない電
子顕微鏡像をフィルムに撮影するための撮影室の下部に
配置されている。12はテレビカメラ11で撮影された透過
拡大像にフィルムサイズ枠を重畳させるための画像重畳
回路、13はフィルムサイズ枠や文字等を指定して画像重
畳回路12へ送出するフィルムサイズ枠及び文字指定回路
である。なお、通常、透過型電子顕微鏡においては数種
類のサイズのフィルムが用意されており、フィルムサイ
ズ枠及び文字指定回路13は、上記数種類のサイズのフィ
ルムに対応するフィルムサイズ枠を指定できるようにな
っている。14はテレビモニタ、15は透過型電子顕微鏡の
拡大レンズ、16は拡大レンズ15を制御するための拡大レ
ンズ制御回路、17は図示しない蛍光板上の像観察からテ
レビモニタ14での像観察に切り替え動作を行うためのテ
レビ像観察切替え回路である。
る。図２は第２の実施の形態を示す概略構成図で、この
実施の形態は請求項２に係る発明に対応するものであ
る。図２において、11はテレビカメラで、図示しない電
子顕微鏡像をフィルムに撮影するための撮影室の下部に
配置されている。12はテレビカメラ11で撮影された透過
拡大像にフィルムサイズ枠を重畳させるための画像重畳
回路、13はフィルムサイズ枠や文字等を指定して画像重
畳回路12へ送出するフィルムサイズ枠及び文字指定回路
である。なお、通常、透過型電子顕微鏡においては数種
類のサイズのフィルムが用意されており、フィルムサイ
ズ枠及び文字指定回路13は、上記数種類のサイズのフィ
ルムに対応するフィルムサイズ枠を指定できるようにな
っている。14はテレビモニタ、15は透過型電子顕微鏡の
拡大レンズ、16は拡大レンズ15を制御するための拡大レ
ンズ制御回路、17は図示しない蛍光板上の像観察からテ
レビモニタ14での像観察に切り替え動作を行うためのテ
レビ像観察切替え回路である。
【００２０】次に、このように構成されている電子顕微
鏡装置の動作について説明する。蛍光板上の像観察から
テレビモニタ14による像観察を行う場合、テレビ像観察
切替え回路17からの信号により図示しない蛍光板を退避
させると共に、拡大レンズ制御回路16を駆動して、拡大
レンズ15を制御し、前記第１の実施の形態で示した手法
と同様にして、テレビモニタ14の観察像の倍率が蛍光板
での像観察時に得られていた直接倍率と等しくなるよう
に電子顕微鏡の倍率を制御する。このように電子顕微鏡
の倍率を変えて、テレビモニタ14上に直接倍率で透過拡
大像を表示させることにより、テレビモニタ14上で得ら
れる視野は、蛍光板すなわちフィルム面上で得られる視
野よりも広範囲となる。
鏡装置の動作について説明する。蛍光板上の像観察から
テレビモニタ14による像観察を行う場合、テレビ像観察
切替え回路17からの信号により図示しない蛍光板を退避
させると共に、拡大レンズ制御回路16を駆動して、拡大
レンズ15を制御し、前記第１の実施の形態で示した手法
と同様にして、テレビモニタ14の観察像の倍率が蛍光板
での像観察時に得られていた直接倍率と等しくなるよう
に電子顕微鏡の倍率を制御する。このように電子顕微鏡
の倍率を変えて、テレビモニタ14上に直接倍率で透過拡
大像を表示させることにより、テレビモニタ14上で得ら
れる視野は、蛍光板すなわちフィルム面上で得られる視
野よりも広範囲となる。
【００２１】次いで、フィルムサイズ枠及び文字指定回
路13より、使用されているフィルムのサイズに対応する
フィルムサイズ枠を指定し、画像重畳回路12においてテ
レビカメラ11からの撮像信号に重畳させ、テレビモニタ
14において、フィルムサイズ枠を重畳させた直接倍率の
透過拡大像を表示する。これにより、フィルム上に撮影
される範囲を容易に認識することができる。その際、フ
ィルムサイズ枠及び文字指定回路13より、使用中のフィ
ルムの規格等を表す文字を同時入力し、図３に示すよう
にテレビモニタ画面21にフィルムサイズ枠22と共に該枠
に沿って上記文字23を表示させることもできる。
路13より、使用されているフィルムのサイズに対応する
フィルムサイズ枠を指定し、画像重畳回路12においてテ
レビカメラ11からの撮像信号に重畳させ、テレビモニタ
14において、フィルムサイズ枠を重畳させた直接倍率の
透過拡大像を表示する。これにより、フィルム上に撮影
される範囲を容易に認識することができる。その際、フ
ィルムサイズ枠及び文字指定回路13より、使用中のフィ
ルムの規格等を表す文字を同時入力し、図３に示すよう
にテレビモニタ画面21にフィルムサイズ枠22と共に該枠
に沿って上記文字23を表示させることもできる。
【００２２】また、更に、フィルムサイズ枠及び文字指
定回路13より加速電圧、倍率、ミクロンバー、その他の
撮影情報を入力し、図４に示すように、フィルムの現像
後に得られる形態と同様に撮影情報24を表示することも
可能である。
定回路13より加速電圧、倍率、ミクロンバー、その他の
撮影情報を入力し、図４に示すように、フィルムの現像
後に得られる形態と同様に撮影情報24を表示することも
可能である。
【００２３】次に、第３の実施の形態について説明す
る。図５は第３の実施の形態を示す概略構成図で、この
実施の形態は請求項３に係る発明に対応するものであ
る。図５において、31は試料ステージ、32は試料ステー
ジ31を移動させるための試料移動機構、33は透過像をシ
フトさせるためのイメージシフトコイル、34はイメージ
シフトコイルを駆動するためのイメージシフト回路、35
は透過像の倍率を設定する拡大レンズ、36は拡大レンズ
35を制御する拡大レンズ制御回路、37は内部に配置した
撮影フィルム45に透過拡大像を撮影するための撮影室、
38は撮影室37を制御する撮影回路、39は撮影室37の下端
に配置されたテレビカメラ、40はテレビカメラ39で得ら
れる撮像信号にフィルムサイズ枠等を重畳させるための
処理を行う画像処理回路、41はテレビモニタ、42はフィ
ルムサイズ（撮影範囲）枠を指定する枠移動指定回路、
43は枠移動指定回路42で指定され枠移動量を記憶する枠
移動量認識回路、44は枠移動量認識回路43から枠移動量
信号を受けて、試料移動機構32及びイメージシフト回路
34を制御するための制御回路である。
る。図５は第３の実施の形態を示す概略構成図で、この
実施の形態は請求項３に係る発明に対応するものであ
る。図５において、31は試料ステージ、32は試料ステー
ジ31を移動させるための試料移動機構、33は透過像をシ
フトさせるためのイメージシフトコイル、34はイメージ
シフトコイルを駆動するためのイメージシフト回路、35
は透過像の倍率を設定する拡大レンズ、36は拡大レンズ
35を制御する拡大レンズ制御回路、37は内部に配置した
撮影フィルム45に透過拡大像を撮影するための撮影室、
38は撮影室37を制御する撮影回路、39は撮影室37の下端
に配置されたテレビカメラ、40はテレビカメラ39で得ら
れる撮像信号にフィルムサイズ枠等を重畳させるための
処理を行う画像処理回路、41はテレビモニタ、42はフィ
ルムサイズ（撮影範囲）枠を指定する枠移動指定回路、
43は枠移動指定回路42で指定され枠移動量を記憶する枠
移動量認識回路、44は枠移動量認識回路43から枠移動量
信号を受けて、試料移動機構32及びイメージシフト回路
34を制御するための制御回路である。
【００２４】次に、このように構成されている電子顕微
鏡装置の動作について説明する。まず、テレビモニタ41
において、透過電子顕微鏡の撮影フィルム上で得られる
直接倍率と同じ倍率の観察像が表示されるように、拡大
レンズ制御回路36により拡大レンズ35に適切な電流が供
給されているものとする。そして、テレビカメラ39から
の撮像信号に対して、枠移動指定回路42から指定された
フィルムサイズ枠（撮影範囲枠）が画像処理回路40にお
いて重畳され、図６に示すように、テレビモニタ画面51
には、フィルムサイズ（撮影範囲）枠52がＡ点を中心に
して重畳された直接倍率の観察像が表示されている。
鏡装置の動作について説明する。まず、テレビモニタ41
において、透過電子顕微鏡の撮影フィルム上で得られる
直接倍率と同じ倍率の観察像が表示されるように、拡大
レンズ制御回路36により拡大レンズ35に適切な電流が供
給されているものとする。そして、テレビカメラ39から
の撮像信号に対して、枠移動指定回路42から指定された
フィルムサイズ枠（撮影範囲枠）が画像処理回路40にお
いて重畳され、図６に示すように、テレビモニタ画面51
には、フィルムサイズ（撮影範囲）枠52がＡ点を中心に
して重畳された直接倍率の観察像が表示されている。
【００２５】次に、このような状態において、操作者が
現に表示されているフィルムサイズ枠以外の他の視野部
分例えば、図６においてＢ点を中心にした移動視野53を
撮影しようとした場合の動作について説明する。この場
合は、まず枠移動指定回路42を操作してＢ点への枠移動
信号を画像処理回路40及び枠移動量認識回路43へ送出す
る。これにより、テレビモニタ41上ではフィルムサイズ
枠52がＢ点を中心とした視野53の位置に移動し表示され
ると共に、移動量が枠移動量認識回路43へ記憶される。
そして、このフィルムサイズ枠を移動した状態から、移
動したフィルムサイズ枠に対応する視野の透過像をフィ
ルム45に撮影するときには、まず、撮影回路38からの信
号により拡大レンズ制御回路36を介して拡大レンズ35
を、フィルム面上で直接倍率の透過像が得られるように
制御する。これと同時に、撮影回路38からの信号により
枠移動量認識回路43で記憶されていた枠移動量が制御回
路44へ出力される。そして、制御回路44からの制御信号
で試料移動機構32により試料ステージ31を、テレビモニ
タ41上でフィルムサイズ枠がＡ点からＢ点に移動した量
に対応する量だけ移動させ、フィルム45面上にＢ点を中
心とした視野像を形成させる。なお、フィルム45面上へ
の視野像の移動は、試料移動機構32により試料ステージ
31を移動させる代わりに、イメージシフト回路34を介し
てイメージシフトコイル33を制御し、試料ステージ31の
移動と同量の像シフトを行わせてもよい。
現に表示されているフィルムサイズ枠以外の他の視野部
分例えば、図６においてＢ点を中心にした移動視野53を
撮影しようとした場合の動作について説明する。この場
合は、まず枠移動指定回路42を操作してＢ点への枠移動
信号を画像処理回路40及び枠移動量認識回路43へ送出す
る。これにより、テレビモニタ41上ではフィルムサイズ
枠52がＢ点を中心とした視野53の位置に移動し表示され
ると共に、移動量が枠移動量認識回路43へ記憶される。
そして、このフィルムサイズ枠を移動した状態から、移
動したフィルムサイズ枠に対応する視野の透過像をフィ
ルム45に撮影するときには、まず、撮影回路38からの信
号により拡大レンズ制御回路36を介して拡大レンズ35
を、フィルム面上で直接倍率の透過像が得られるように
制御する。これと同時に、撮影回路38からの信号により
枠移動量認識回路43で記憶されていた枠移動量が制御回
路44へ出力される。そして、制御回路44からの制御信号
で試料移動機構32により試料ステージ31を、テレビモニ
タ41上でフィルムサイズ枠がＡ点からＢ点に移動した量
に対応する量だけ移動させ、フィルム45面上にＢ点を中
心とした視野像を形成させる。なお、フィルム45面上へ
の視野像の移動は、試料移動機構32により試料ステージ
31を移動させる代わりに、イメージシフト回路34を介し
てイメージシフトコイル33を制御し、試料ステージ31の
移動と同量の像シフトを行わせてもよい。
【００２６】以上のように、テレビモニタ41において透
過電子顕微鏡像上に重畳して表示されたフィルムサイズ
（撮影範囲）枠を、静止画面上で他の撮影視野に移動さ
せることにより、透過型電子顕微鏡の撮影室内のフィル
ムへの撮影時には、該フィルム面上の撮影視野を、前記
フィルムサイズ枠の移動量に連動して試料移動機構33又
はイメージシフト回路34により移動させる。これによ
り、静止画面上で移動した所望のフィルムサイズ枠内の
撮影が可能となる。
過電子顕微鏡像上に重畳して表示されたフィルムサイズ
（撮影範囲）枠を、静止画面上で他の撮影視野に移動さ
せることにより、透過型電子顕微鏡の撮影室内のフィル
ムへの撮影時には、該フィルム面上の撮影視野を、前記
フィルムサイズ枠の移動量に連動して試料移動機構33又
はイメージシフト回路34により移動させる。これによ
り、静止画面上で移動した所望のフィルムサイズ枠内の
撮影が可能となる。
【００２７】
【発明の効果】以上実施の形態に基づいて説明したよう
に、請求項１に係る発明によれば、透過型電子顕微鏡の
倍率を蛍光板上での観察とテレビモニタ上での観察とで
変えて、テレビモニタ上でも直接倍率で像観察ができる
ようにした電子顕微鏡装置を提供することができる。ま
た請求項２に係る発明によれば、テレビモニタ上に表示
されている観察像上にフィルムサイズ枠を表示して、フ
ィルム面上に撮影される範囲を容易に認識できるように
した電子顕微鏡装置を提供することができる。また請求
項３に係る発明によれば、テレビモニタ上のフィルムサ
イズ枠を移動させることにより、移動させたフィルムサ
イズ枠内の試料像を撮影することができ、操作性を向上
させた電子顕微鏡装置を提供することができる。
に、請求項１に係る発明によれば、透過型電子顕微鏡の
倍率を蛍光板上での観察とテレビモニタ上での観察とで
変えて、テレビモニタ上でも直接倍率で像観察ができる
ようにした電子顕微鏡装置を提供することができる。ま
た請求項２に係る発明によれば、テレビモニタ上に表示
されている観察像上にフィルムサイズ枠を表示して、フ
ィルム面上に撮影される範囲を容易に認識できるように
した電子顕微鏡装置を提供することができる。また請求
項３に係る発明によれば、テレビモニタ上のフィルムサ
イズ枠を移動させることにより、移動させたフィルムサ
イズ枠内の試料像を撮影することができ、操作性を向上
させた電子顕微鏡装置を提供することができる。
【図１】本発明に係る電子顕微鏡装置の第１の実施の形
態を示す概略構成図である。
態を示す概略構成図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態を示す概略構成図で
ある。
ある。
【図３】図２に示した第２の実施の形態におけるテレビ
モニタの画面例を示す図である。
モニタの画面例を示す図である。
【図４】図２に示した第２の実施の形態におけるテレビ
モニタの他の画面例を示す図である。
モニタの他の画面例を示す図である。
【図５】本発明の第３の実施の形態を示す概略構成図で
ある。
ある。
【図６】図５に示した第３の実施の形態において、フィ
ルムサイズ枠を移動させたときのテレビモニタの画面例
を示す図である。
ルムサイズ枠を移動させたときのテレビモニタの画面例
を示す図である。
１ 拡大レンズ ２ 拡大レンズ制御回路 ３ 蛍光板 ４ 蛍光板駆動機構 ５ 撮影室 ６ テレビカメラ ７ テレビカメラ受光面 ８ テレビモニタ ９ 蛍光板／テレビモニタ切替え回路 11 テレビカメラ 12 画像重畳回路 13 フィルムサイズ枠及び文字指定回路 14 テレビモニタ 15 拡大レンズ 16 拡大レンズ制御回路 17 テレビ像観察切替え回路 21 テレビモニタ画面 22 フィルムサイズ枠 23 文字 24 撮影情報 31 試料ステージ 32 試料移動機構 33 イメージシフトコイル 34 イメージシフト回路 35 拡大レンズ 36 拡大レンズ制御回路 37 撮影室 38 撮影回路 39 テレビカメラ 40 画像処理回路 41 テレビモニタ 42 枠移動指定回路 43 枠移動量認識回路 44 制御回路 45 フィルム 51 テレビモニタ画面 52 フィルムサイズ枠 53 移動視野
Claims (3)
- 【請求項１】 試料の透過拡大像を観察する蛍光板と、
該透過拡大像を撮像するテレビカメラと、該テレビカメ
ラで撮像された試料透過拡大像を観察するテレビモニタ
とを備えた電子顕微鏡装置において、蛍光板による観察
とテレビモニタによる観察の切替え手段と、該切替え手
段のテレビモニタ観察への切り替え動作に連動して、テ
レビモニタの観察倍率が蛍光板による観察時の直接倍率
と等しくなるように、電子顕微鏡の倍率を制御する手段
を備えていることを特徴とする電子顕微鏡装置。 - 【請求項２】 透過型電子顕微鏡に用意された複数サイ
ズのフィルムに対応するフィルムサイズ枠を指定するフ
ィルムサイズ枠指定手段と、該フィルムサイズ枠指定手
段で指定されたフィルムサイズ枠を、前記テレビモニタ
において直接倍率で観察される前記テレビカメラで得ら
れた試料透過像に重畳するための画像重畳回路とを備
え、前記テレビモニタにおいて直接倍率の試料透過像に
フィルムサイズ枠を重畳して表示できるように構成した
ことを特徴とする請求項１記載の電子顕微鏡装置。 - 【請求項３】 前記テレビモニタに重畳して表示された
フィルムサイズ枠の移動を指示する手段と、該フィルム
サイズ枠移動指示手段で指示されたフィルムサイズ枠の
移動量を記憶する手段と、フィルムへの撮影時に、試料
ステージを移動させる試料移動機構又は試料透過像を移
動させるイメージシフトコイルを制御するイメージシフ
ト回路の少なくともいずれか一方と、前記フィルムサイ
ズ枠移動量記憶手段に記憶された移動量に基づいて前記
試料移動機構又はイメージシフト回路を駆動制御し、フ
ィルム面上の撮影範囲が前記テレビモニタ上で移動され
たフィルムサイズ枠内の視野に一致するように制御する
手段とを備えていることを特徴とする請求項２記載の電
子顕微鏡装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06606698A JP3730396B2 (ja) | 1998-03-03 | 1998-03-03 | 電子顕微鏡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06606698A JP3730396B2 (ja) | 1998-03-03 | 1998-03-03 | 電子顕微鏡装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11250848A true JPH11250848A (ja) | 1999-09-17 |
| JP3730396B2 JP3730396B2 (ja) | 2006-01-05 |
Family
ID=13305117
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06606698A Expired - Fee Related JP3730396B2 (ja) | 1998-03-03 | 1998-03-03 | 電子顕微鏡装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3730396B2 (ja) |
-
1998
- 1998-03-03 JP JP06606698A patent/JP3730396B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3730396B2 (ja) | 2006-01-05 |
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Legal Events
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