JPH11234080A - 弾性表面波フィルタ装置 - Google Patents

弾性表面波フィルタ装置

Info

Publication number
JPH11234080A
JPH11234080A JP3727798A JP3727798A JPH11234080A JP H11234080 A JPH11234080 A JP H11234080A JP 3727798 A JP3727798 A JP 3727798A JP 3727798 A JP3727798 A JP 3727798A JP H11234080 A JPH11234080 A JP H11234080A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
surface acoustic
acoustic wave
converter
finger
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP3727798A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasubumi Horio
保文 堀尾
Mitsuhiro Tanaka
光浩 田中
Kenji Suzuki
健司 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NGK Insulators Ltd
Original Assignee
NGK Insulators Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NGK Insulators Ltd filed Critical NGK Insulators Ltd
Priority to JP3727798A priority Critical patent/JPH11234080A/ja
Publication of JPH11234080A publication Critical patent/JPH11234080A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】弾性表面波フィルタ装置の特性を、低挿入損失
である一方向性変換器の特性を有しながら、広帯域特性
を有するようにする。 【解決手段】入力側変換器4の正電極9及び負電極10
の電極指の弾性表面波の伝播方向における幅を、全てほ
ぼλ/12に設定するとともに、短絡型浮き電極11の
電極指の弾性表面波の伝播方向における幅を、λ/12
より大きく、かつ、λ/3より小さくする。出力側変換
器8の正電極12及び負電極13の電極指の弾性表面波
の伝播方向における幅を、λ/12より大きく、かつ、
λ/3より小さくするとともに、短絡型浮き電極11の
電極指の弾性表面波の伝播方向における幅を、全てほぼ
λ/12に設定する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、弾性表面波フィル
タ装置、特に一方向性変換器を用いた弾性表面波フィル
タ装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、入力側変換器及び出力側変換器と
して一方向性変換器を用いた弾性表面波フィルタ装置
が、例えば、特開平5-347535号公報に記載されている。
かかる弾性表面波フィルタ装置は、正電極、負電極及び
短絡型浮き電極の各電極指の弾性表面波の伝播方向の幅
をλ/12に設定した一方向性変換器を入力側変換器及
び出力側変換器として使用しているので、各電極の全て
の電極指をλ/12又はこの整数倍の配列ピッチで作成
することができ、短絡型浮き電極による反射効果を有効
に活用することができるので、挿入損失を低減すること
ができ、高い有用性を有する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】近年、デジタルセルラ
ー電話のような移動通信システムのデジタル化が急速に
進められており、これに伴って、より広帯域で、挿入損
失が低い弾性表面波フィルタ装置が要求されている。し
かしながら、従来のような入力側変換器及び出力側変換
器として一方向性変換器を用いた弾性表面波フィルタ装
置では、周波数に対する挿入損失の特性の頂部は、広帯
域に亘ってフラットではなく、丸みを帯びているため
に、狭帯域特性を要求する場合には好適なものとなるも
のの、広帯域特性の要求に適合するものではない。
【0004】本発明の目的は、低挿入損失である一方向
性変換器の特性を有しながら、広帯域特性を有する、す
なわち、周波数に対する挿入損失の特性の頂部が広帯域
に亘ってフラットで対称な特性の弾性表面波フィルタ装
置を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明による請求項1記
載の弾性表面波フィルタ装置は、電気機械結合係数が
0.1〜1.5%の圧電性基板と、この圧電性基板上に
形成され、電気信号が外部から入力され、この電気信号
を弾性表面波に変換する入力側変換器と、前記圧電性基
板上に形成され、前記入力側変換器で励振された弾性表
面波を電気信号に変換し、この電気信号を外部に出力す
る出力側変換器とを具え、前記入力側変換器と出力側変
換器のうちの一方を第1の一方向性変換器とし、この第
1の一方向性変換器は、λを基本弾性表面波の伝播波長
とした場合に、λのピッチで周期的に形成され、弾性表
面波の伝播方向の幅がほぼλ/12の複数の電極指を有
する正電極と、同様にλのピッチで周期的に形成され、
弾性表面波の伝播方向の幅がほぼλ/12の複数の電極
指を有し、各電極指が前記正電極の電極指とλ/2の中
心間距離を以てそれぞれ位置する負電極と、前記正電極
の電極指と負電極の電極指との間に配置され、弾性表面
波の伝播方向の幅がλ/12より大きく、かつ、λ/3
より小さい複数の電極指を有し、各電極指が、これに隣
接する正電極の電極指と負電極の電極指との間の中間位
置からの伝播方向又はこれとは反対の方向にλ/12偏
位して位置する短絡型浮き電極とを具え、前記入力側変
換器と出力側変換器のうちの他方を第2の一方向性変換
器とし、この第2の一方向性変換器は、λを基本弾性表
面波の伝播波長とした場合に、λのピッチで周期的に形
成され、弾性表面波の伝播方向の幅がλ/12より大き
く、かつ、λ/3より小さい複数の電極指を有する正電
極と、同様にλのピッチで周期的に形成され、弾性表面
波の伝播方向の幅がλ/12より大きく、かつ、λ/3
より小さい複数の電極指を有し、各電極指が前記正電極
の電極指とλ/2の中心間距離を以てそれぞれ位置する
負電極と、前記正電極の電極指と負電極の電極指との間
に配置され、弾性表面波の伝播方向の幅がほぼλ/12
の複数の電極指を有し、各電極指が、これに隣接する正
電極の電極指と負電極の電極指との間の中間位置からの
伝播方向又はこれとは反対の方向にλ/12偏位して位
置する短絡型浮き電極とを具えることを特徴とするもの
である。
【0006】比較的電気機械結合係数の低い、すなわ
ち、電気機械結合係数が0.1〜1.5%の圧電性基板
を用いるとともに、短絡型浮き電極の電極指の弾性表面
波の伝播方向の幅をλ/12に固定したまま正電極及び
負電極の電極指の弾性表面波の伝播方向の幅を変化させ
た一方向性変換器の特性を調査するために、200対の
一方向性電極及び20対のスプッリット電極を用いて試
験した結果、正電極及び負電極の電極指の弾性表面波の
伝播方向の幅が増大するに従って一方向性が増大する。
しかしながら、この幅が増大するに従って、最大の一方
向性を得ることができる周波数は、正電極及び負電極の
電極指の弾性表面波の伝播方向の幅が変化することによ
って弾性表面波の励振中心と反射中心の最適な位置関係
が崩れる。その結果、短絡型浮き電極の電極指の弾性表
面波の伝播方向の幅及び正電極及び負電極の電極指の弾
性表面波の伝播方向の幅がいずれもλ/12である場合
の中心周波数に対して高周波側にずれ、したがって、こ
のような一方向性変換器を用いた弾性表面波フィルタ装
置の周波数に対する挿入損失の特性は、頂部付近で右肩
下がりの非対称な特性となる。
【0007】それに対して、短絡型浮き電極の電極指の
弾性表面波の伝播方向の幅を変化させながら正電極及び
負電極の電極指の弾性表面波の伝播方向の幅をλ/12
に固定した一方向性変換器の変換特性を調査するために
同様に試験した結果、正電極及び負電極の電極指の弾性
表面波の伝播方向の幅が増大するに従って一方向性が増
大するが、この幅が増大するに従って、最大の一方向性
を得ることができる周波数も、正電極及び負電極の電極
指の弾性表面波の伝播方向の幅が変化することによって
弾性表面波の励振中心と反射中心の最適な位置関係が崩
れるために、短絡型浮き電極の電極指の弾性表面波の伝
播方向の幅及び正電極及び負電極の電極指の弾性表面波
の伝播方向の幅がいずれもλ/12である場合の中心周
波数に対して低周波側にずれることが確認されている。
したがって、このような一方向性変換器を用いた弾性表
面波フィルタ装置の周波数に対する挿入損失の特性は、
頂部付近で右肩上がりの非対称な特性となる。
【0008】弾性表面波フィルタ装置として得られる特
性は、入力側変換器及び出力側変換器の特性が掛け合わ
された特性となるため、変換器の固有の特性を考慮して
適切な変換器を組み合わせることによって所望のフィル
タ特性の弾性表面波フィルタ装置を実現することができ
る。したがって、各電極指が弾性表面波の伝播方向にほ
ぼλ/12の幅を有する正電極及び負電極並びに各電極
指が弾性表面波の伝播方向にλ/12より大きく、か
つ、λ/3より小さい幅を有する短絡型浮き電極とを具
える第1の一方向性変換器と、各電極指が弾性表面波の
伝播方向にλ/12より大きく、かつ、λ/3より小さ
い幅を有する正電極及び負電極並びに各電極指が弾性表
面波の伝播方向にほぼλ/12の幅を有する短絡型浮き
電極とを具える第2の一方向性変換器とを組み合わせる
ことによって、これら非対称な特性が相殺され、その結
果、弾性表面波フィルタ装置として得られる特性として
は、頂部付近で広帯域に亘ってフラットで対称な特性と
なる。したがって、低挿入損失である一方向性変換器の
特性を有しながら、広帯域特性を有する弾性表面波フィ
ルタ装置を得ることができる。
【0009】本発明による請求項2記載の弾性表面波フ
ィルタ装置は、電気機械結合係数が0.1〜1.5%の
圧電性基板と、この圧電性基板上に形成され、電気信号
が並列に入力される第1フィルタ段及び第2フィルタ段
とを具え、前記第1フィルタ段は、前記電気信号を弾性
表面波に変換する第1入力側変換器と、前記第1入力側
変換器で励振された弾性表面波を電気信号に変換し、こ
の電気信号を外部に出力する第1出力側変換器とを具
え、前記第2フィルタ段は、前記電気信号を弾性表面波
に変換する第2入力側変換器と、前記第2入力側変換器
で励振された弾性表面波を電気信号に変換し、この電気
信号を前記第1出力側変換から出力された電気信号と合
成するために外部に出力する第2出力側変換器とを具
え、前記第1入力側変換器と第1出力側変換器のうちの
一方を双方向性変換器とし、前記第1入力側変換器と第
1出力側変換器のうちの他方を第1の一方向性変換器と
し、この第1の一方向性変換器は、λを基本弾性表面波
の伝播波長とした場合に、λのピッチで周期的に形成さ
れ、弾性表面波の伝播方向の幅がほぼλ/12の複数の
電極指を有する正電極と、同様にλのピッチで周期的に
形成され、弾性表面波の伝播方向の幅がほぼλ/12の
複数の電極指を有し、各電極指が前記正電極の電極指と
λ/2の中心間距離を以てそれぞれ位置する負電極と、
前記正電極の電極指と負電極の電極指との間に配置さ
れ、弾性表面波の伝播方向の幅がλ/12より大きく、
かつ、λ/3より小さい複数の電極指を有し、各電極指
が、これに隣接する正電極の電極指と負電極の電極指と
の間の中間位置からの伝播方向又はこれとは反対の方向
にλ/12偏位して位置する短絡型浮き電極とを具え、
前記第2入力側変換器と第2出力側変換器のうちの一方
を双方向性変換器とし、前記第2入力側変換器と第2出
力側変換器のうちの他方を第2の一方向性変換器とし、
この第2の一方向性変換器は、λを基本弾性表面波の伝
播波長とした場合に、λのピッチで周期的に形成され、
弾性表面波の伝播方向の幅がλ/12より大きく、か
つ、λ/3より小さい複数の電極指を有する正電極と、
同様にλのピッチで周期的に形成され、弾性表面波の伝
播方向の幅がλ/12より大きく、かつ、λ/3より小
さい複数の電極指を有し、各電極指が前記正電極の電極
指とλ/2の中心間距離を以てそれぞれ位置する負電極
と、前記正電極の電極指と負電極の電極指との間に配置
され、弾性表面波の伝播方向の幅がほぼλ/12の複数
の電極指を有し、各電極指が、これに隣接する正電極の
電極指と負電極の電極指との間の中間位置からの伝播方
向又はこれとは反対の方向にλ/12偏位して位置する
短絡型浮き電極とを具えることを特徴とするものであ
る。
【0010】この場合、第1出力側変換器と第2出力側
変換器のうちの一方から出力される電気信号の周波数に
対する挿入損失の特性は、頂部付近で右肩下がりの非対
称な特性となり、それに対して、第1出力側変換器と第
2出力側変換器のうちの他方から出力される電気信号の
周波数に対する挿入損失の特性は、頂部付近で右肩上が
りの非対称な特性となる。第1出力側変換器から出力さ
れた電気信号及び第2出力側変換器から出力された電気
信号は外部で合成されるので、これらの非対称な特性が
相殺されて、周波数に対する挿入損失の特性の頂部が広
帯域に亘ってフラットで対称な特性となる。その結果、
低挿入損失である一方向性変換器の特性を有しながら、
広帯域特性を有する弾性表面波フィルタ装置を得ること
ができる。
【0011】また、入力側変換器と出力側変換器のうち
の一方を双方向性変換器としているので、双方向性変換
器の利点を得ることができ、すなわち、歪みのほとんど
ない周波数特性を得ることができる。
【0012】本発明による請求項3記載の弾性表面波フ
ィルタ装置は、電気機械結合係数が0.1〜1.5%の
圧電性基板と、この圧電性基板上に形成された双方向性
変換器と、この双方向変換器の弾性表面波の伝播軸線の
両側に配置した第1の一方向性変換器及び第2の一方向
性変換器とを具え、前記双方向性変換器を入力側変換器
とする場合、前記第1の一方向性変換器及び第2の一方
向性変換器を出力側変換器とし、前記双方向性変換器を
出力側変換器とする場合、前記第1の一方向性変換器及
び第2の一方向性変換器を入力側変換器とし、前記第1
の一方向性変換器と第2の一方向性変換器のうちの一方
は、λを基本弾性表面波の伝播波長とした場合に、λの
ピッチで周期的に形成され、弾性表面波の伝播方向の幅
がほぼλ/12の複数の電極指を有する正電極と、同様
にλのピッチで周期的に形成され、弾性表面波の伝播方
向の幅がほぼλ/12の複数の電極指を有し、各電極指
が前記正電極の電極指とλ/2の中心間距離を以てそれ
ぞれ位置する負電極と、前記正電極の電極指と負電極の
電極指との間に配置され、弾性表面波の伝播方向の幅が
λ/12より大きく、かつ、λ/3より小さい複数の電
極指を有し、各電極指が、これに隣接する正電極の電極
指と負電極の電極指との間の中間位置からの伝播方向又
はこれとは反対の方向にλ/12偏位して位置する短絡
型浮き電極とを具え、前記第1の一方向性変換器と第2
の一方向性変換器のうちの他方は、λを基本弾性表面波
の伝播波長とした場合に、λのピッチで周期的に形成さ
れ、弾性表面波の伝播方向の幅がλ/12より大きく、
かつ、λ/3より小さい複数の電極指を有する正電極
と、同様にλのピッチで周期的に形成され、弾性表面波
の伝播方向の幅がλ/12より大きく、かつ、λ/3よ
り小さい複数の電極指を有し、各電極指が前記正電極の
電極指とλ/2の中心間距離を以てそれぞれ位置する負
電極と、前記正電極の電極指と負電極の電極指との間に
配置され、弾性表面波の伝播方向の幅がほぼλ/12の
複数の電極指を有し、各電極指が、これに隣接する正電
極の電極指と負電極の電極指との間の中間位置からの伝
播方向又はこれとは反対の方向にλ/12偏位して位置
する短絡型浮き電極とを具えることを特徴とするもので
ある。
【0013】この場合も、第1の一方向性変換器と第2
の一方向性変換器のうちの一方から出力される電気信号
の周波数に対する挿入損失の特性は、頂部付近で右肩下
がりの非対称な特性となり、それに対して、第1の一方
向性変換器と第2の一方向性変換器のうちの他方から出
力される電気信号の周波数に対する挿入損失の特性の曲
線は、頂部付近で右肩上がりの非対称な特性となる。第
1の一方向性変換器から出力された電気信号及び第2の
一方向性変換器から出力された電気信号は外部で合成さ
れるので、これらの非対称な特性が相殺されて、周波数
に対する挿入損失の特性の曲線の頂部が広帯域に亘って
フラットで対称な特性となる。その結果、低挿入損失で
ある一方向性変換器の特性を有しながら、広帯域特性を
有する弾性表面波フィルタ装置を得ることができる。
【0014】また、双方向性変換器を用いているので、
双方向性変換器の利点を得ることができ、すなわち、歪
みのほとんどない周波数特性をえることができ、かつ、
双方向性変換器で励振された全てのエネルギーを有効に
利用することができるので、挿入損失を一層低減させる
ことができる。
【0015】本発明による請求項4記載の弾性表面波フ
ィルタ装置は、前記第1の一方向性変換器と第2の一方
向性変換器のうちの一方の正電極の電極指及び負電極の
電極指の弾性表面波の伝播方向の幅を、λ/8より大き
く、かつ、λ/3より小さくし、前記第1一方向性変換
器と第2一方向性変換器のうちの他方の短絡型浮き電極
の電極指の弾性表面波の伝播方向の幅を、λ/8より大
きく、かつ、λ/3より小さくしたことを特徴とするも
のである。
【0016】このように、電極指の弾性表面波の伝播方
向の幅を大きくするに従って、短絡型浮き電極の電極指
の弾性表面波の伝播方向の幅及び正電極及び負電極の電
極指の弾性表面波の伝播方向の幅がいずれもλ/12で
ある場合の中心周波数に対するずれが大きくなり、非対
称な特性が相殺される際に得られる周波数に対する挿入
損失の特性の頂部のフラット部分が一層広くなり、より
広帯域特性の弾性表面波フィルタ装置を得ることができ
る。
【0017】本発明による請求項5記載の弾性表面波フ
ィルタ装置は、前記第1の一方向性変換器と第2の一方
向性変換器のうちの一方の正電極の電極指及び負電極の
電極指の弾性表面波の伝播方向の幅の総和を、前記第1
一方向性変換器と第2一方向性変換器のうちの他方の短
絡型浮き電極の弾性表面波の伝播方向の幅の総和にほぼ
等しくしたことを特徴とするものである。
【0018】これによって、非対称な特性が相殺される
際に得られる周波数に対する挿入損失の特性の頂部がほ
ぼ完全にフラットになり、広帯域特性に対して非常に良
好な弾性表面波フィルタ装置を得ることができる。
【0019】本発明による請求項6記載の弾性表面波フ
ィルタ装置は、前記双方向性変換器は、λを基本弾性表
面波の伝播波長とした場合に、λ/4の中心間距離を以
て位置し、弾性表面波の伝播方向の幅がλ/8である2
個の電極指の組をλのピッチで周期的に形成した正電極
と、同様にλ/4の中心間距離を以て位置し、弾性表面
波の伝播方向の幅がλ/8である2個の電極指の組をλ
のピッチで周期的に形成され、各電極指の組が前記正電
極の隣接する電極指の組とλ/2の中心間距離を以てそ
れぞれ位置する負電極とを具えることを特徴とするもの
である。
【0020】双方向性変換器として、正電極及びフィル
タ電極の各電極指の幅をλ/4に設定した変換器があ
る。この変換器は、励振効率の面から捕らえると極めて
有益である。しかしながら、電極指の端部間のピッチが
λ/4となるので、電極指の各端縁で生じた反射波が互
いに同相になり、この結果、1dB以上の大きなリップ
ルが生じる。したがって、一方向性変換器と組み合わせ
た場合、周波数特性を満足することができない。
【0021】また、各電極指の幅をλ/8にした双方向
性変換器の場合、電極指の面積がλ/4型よりも少なく
なるため、励振効率はλ/4型のものよりも小さくな
る。また、電極指の端縁で生ずる反射波の位相が互いに
ずれるので、周波数特性の波形にリップルが生じる。し
たがって、一方向性変換器と組み合わせた場合、挿入損
失及び周波数特性について満足できる特性を得ることが
できない。
【0022】これに対して、幅がλ/8の2本の電極指
を対とし、正電極及び負電極の電極指を2本の電極指対
で構成したλ/8スプリット型の双方向性変換器の場
合、電極指の面積はλ/4型のものと同一であり、高い
励振効率が得られる。また、電極指端縁で発生する反射
波は、互いに位相が反転した反射波同士だけであるの
で、リップルのない極めて良好な周波数特性の波形が得
られる。したがって、このようなλ/8スプリット型の
電極構造を有する双方向性変換器を、正電極及び負電極
の電極指の弾性表面波の伝播方向の幅又は短絡型浮き電
極の電極指の弾性表面波の伝播方向の幅がほぼλ/12
の一方向性型変換器と組み合わせると、挿入損失、周波
数特性及びT.T.E.(Triple Transi
tEcho)減衰レベルについて各変換器が有する固有
の欠点が互いに補完され、その結果、優れた特性を有す
る弾性表面波フィルタ装置を実現することができる。
【0023】本発明による請求項7記載の弾性表面波フ
ィルタ装置は、前記一方向性変換器を正規型電極構造と
し、前記双方向性変換器を、重み付けをした電極構造と
したことを特徴とするものである。
【0024】この場合、一方向性変換器は、各電極指の
弾性表面波の伝播方向と直交する方向の寸法が同一に設
定され、重み付けされていない電極構造である正規型電
極構造を有し、それに対して、双方向性変換器は、重み
付けした電極構造を有する。帯域外減衰特性を大きく設
定するためには、変換器に重み付けを施す必要がある。
ここで、一方向性変換器の電極構造に重み付けを施す
と、周波数特性が悪化する。特に、短絡型浮き電極型の
一方向性変換器を重み付け電極構造とすると、短絡型浮
き電極の電極指を接続する接続部が励振領域内に位置す
るようになり、この部分で不所望な反射波が生じたり、
励起した弾性表面波に伝播速度差が生じたりするので、
強いリップルが生じる。このような認識に基づいて、一
方向性変換器を正規型の電極構造にするとともに、双方
向性変換器に重み付けを行う。このような構成にするこ
とによって、リップルのない良好な周波数特性の波形が
得られるようになる。
【0025】本発明による請求項8記載の弾性表面波フ
ィルタ装置は、前記双方向性変換器の重み付け電極構造
を、各電極指の弾性表面波の伝播方向と直交する方向の
長さが弾性表面波の伝播方向に沿って順次変化するアポ
タイズ法によって構成したことを特徴とするものであ
る。
【0026】重み付けの方法として、電極指の間隔を変
化させるバリビッチ法が既知である。しかしながら、こ
の方法では、電極指における反射波に位相のずれが生
じ、これがリップルの原因となる。それに対して、アポ
タイズ法では、電極指の弾性表面波の伝播方向と直交す
る方向の長さを順次変化させているので、位相ずれによ
るリップルの発生を防止し、リップルのない良好な周波
数特性の波形が得られるようになる。
【0027】本発明による請求項9記載の弾性表面波フ
ィルタ装置は、前記双方向性変換器の重み付け電極構造
を、各電極指の弾性表面波の伝播方向と直交する方向の
長さが一様で、励振強度を変化させることによって重み
付けを行う間引き法によって構成したことを特徴とする
ものである。
【0028】この場合も、位相ずれによるリップルの発
生を防止し、リップルのない良好な周波数特性の波形が
得られるようになる。
【0029】本発明による請求項10記載の弾性表面波
フィルタ装置は、電気機械結合係数が0.1〜1.5%
の圧電性基板と、この圧電性基板上に形成され、電気信
号が外部から入力され、この電気信号を弾性表面波に変
換する入力側変換器と、前記圧電性基板上に形成され、
前記入力側変換器で励振された弾性表面波を電気信号に
変換し、この電気信号を外部に出力する出力側変換器と
を具え、前記入力側変換器と出力側変換器のうちの一方
を、一方向性変換器とし、この一方向性変換器は、λを
基本弾性表面波の伝播波長とした場合に、λのピッチで
周期的に形成され、弾性表面波の伝播方向の幅がほぼλ
/12の複数の電極指を有する正電極と、同様にλのピ
ッチで周期的に形成され、弾性表面波の伝播方向の幅が
ほぼλ/12の複数の電極指を有し、各電極指が前記正
電極の電極指とλ/2の中心間距離を以てそれぞれ位置
する負電極と、前記正電極の電極指と負電極の電極指と
の間に配置され、弾性表面波の伝播方向の幅がλ/12
より大きく、かつ、λ/3より小さい複数の電極指を有
し、各電極指が、これに隣接する正電極の電極指と負電
極の電極指との間の中間位置からの伝播方向又はこれと
は反対の方向にλ/12偏位して位置する短絡型浮き電
極とを具え、前記入力側変換器と出力側変換器のうちの
他方を、弾性表面波の伝播軸線の両方向に弾性表面波を
励振する双方向性電極構造を有する双方向性変換器部分
と、弾性表面波の伝播軸線の一方向にだけ弾性表面波を
励振する一方向性電極構造を有する一方向性変換器部分
とを具え、これら双方向性変換器部分と一方向性変換器
部分とを、これら変換器部分の伝播軸線が互いに一致す
るように一体的に結合した変換器とし、前記一方向性変
換器部分は、λを基本弾性表面波の伝播波長とした場合
に、λのピッチで周期的に形成され、弾性表面波の伝播
方向の幅がλ/12より大きく、かつ、λ/3より小さ
い複数の電極指を有する正電極と、同様にλのピッチで
周期的に形成され、弾性表面波の伝播方向の幅がλ/1
2より大きく、かつ、λ/3より小さい複数の電極指を
有し、各電極指が前記正電極の電極指とλ/2の中心間
距離を以てそれぞれ位置する負電極と、前記正電極の電
極指と負電極の電極指との間に配置され、弾性表面波の
伝播方向の幅がほぼλ/12の複数の電極指を有し、各
電極指が、隣接する正電極の電極指と負電極の電極指と
の間の中間位置から弾性表面波の伝播方向と反対の方向
にλ/12偏位して位置する短絡型浮き電極とを具える
ことを特徴とするものである。
【0030】この場合も、入力側変換器及び出力側変換
器の周波数に対する挿入損失の非対称な特性が相殺され
て、周波数に対する挿入損失の特性の頂部が広帯域に亘
ってフラットで対称な特性となる。その結果、低挿入損
失である一方向性変換器の特性を有しながら、広帯域特
性を有する弾性表面波フィルタ装置を得ることができ
る。
【0031】また、変換器の双方向性変換器部分によっ
て、双方向性変換器の利点を得ることができ、すなわ
ち、歪みのほとんどない周波数特性をえることができ
る。
【0032】本発明による請求項11記載の弾性表面波
フィルタ装置は、前記一方向性変換器の短絡型浮き電極
の電極指の弾性表面波の伝播方向の幅を、λ/8より大
きく、かつ、λ/3より小さくし、前記変換器の一方向
性変換器部分の正電極及び負電極の電極指の弾性表面波
の伝播方向の幅を、λ/8より大きく、かつ、λ/3よ
り小さくしたことを特徴とするものである。
【0033】この場合も、電極指の弾性表面波の伝播方
向の幅を大きくするに従って、短絡型浮き電極の電極指
の弾性表面波の伝播方向の幅及び正電極及び負電極の電
極指の弾性表面波の伝播方向の幅がいずれもλ/12で
ある場合の中心周波数に対するずれが大きくなり、非対
称な特性が相殺される際に得られる周波数に対する挿入
損失の特性の頂部のフラット部分が一層広くなり、より
広帯域特性の弾性表面波フィルタ装置を得ることができ
る。
【0034】本発明による請求項12記載の弾性表面波
フィルタ装置は、前記一方向性変換器の短絡型浮き電極
の電極指の弾性表面波の伝播方向の幅の総和を、前記変
換器の一方向性変換器部分の正電極及び負電極の電極指
の弾性表面波の伝播方向の幅の総和にほぼ等しくしたこ
とを特徴とするものである。
【0035】この場合も、非対称な特性が相殺される際
に得られる周波数に対する挿入損失の特性の頂部がほぼ
完全にフラットで対称な特性になり、広帯域特性に対し
て非常に良好な弾性表面波フィルタ装置を得ることがで
きる。
【0036】本発明による請求項13記載の弾性表面波
フィルタ装置は、電気機械結合係数が0.1〜1.5%
の圧電性基板と、この圧電性基板上に形成され、電気信
号が外部から入力され、この電気信号を弾性表面波に変
換する入力側変換器と、前記圧電性基板上に形成され、
前記入力側変換器で励振された弾性表面波を電気信号に
変換し、この電気信号を外部に出力する出力側変換器と
を具え、前記入力側変換器と出力側変換器のうちの一方
を、一方向性変換器とし、この一方向性変換器は、λを
基本弾性表面波の伝播波長とした場合に、λのピッチで
周期的に形成され、弾性表面波の伝播方向の幅がλ/1
2より大きく、かつ、λ/3より小さい複数の電極指を
有する正電極と、同様にλのピッチで周期的に形成さ
れ、弾性表面波の伝播方向の幅がλ/12より大きく、
かつ、λ/3より小さい複数の電極指を有し、各電極指
が前記正電極の電極指とλ/2の中心間距離を以てそれ
ぞれ位置する負電極と、前記正電極の電極指と負電極の
電極指との間に配置され、弾性表面波の伝播方向の幅が
ほぼλ/12の複数の電極指を有し、各電極指が、これ
に隣接する正電極の電極指と負電極の電極指との間の中
間位置からの伝播方向又はこれとは反対の方向にλ/1
2偏位して位置する短絡型浮き電極とを具え、前記入力
側変換器と出力側変換器のうちの他方を、弾性表面波の
伝播軸線の両方向に弾性表面波を励振する双方向性電極
構造を有する双方向性変換器部分と、弾性表面波の伝播
軸線の一方向にだけ弾性表面波を励振する一方向性電極
構造を有する一方向性変換器部分とを具え、これら双方
向性変換器部分と一方向性変換器部分とを、これら変換
器部分の伝播軸線が互いに一致するように一体的に結合
した変換器とし、前記一方向性変換器部分は、λを基本
弾性表面波の伝播波長とした場合に、λのピッチで周期
的に形成され、弾性表面波の伝播方向の幅がほぼλ/1
2の複数の電極指を有する正電極と、同様にλのピッチ
で周期的に形成され、弾性表面波の伝播方向の幅がほぼ
λ/12の小さい複数の電極指を有し、各電極指が前記
正電極の電極指とλ/2の中心間距離を以てそれぞれ位
置する負電極と、前記正電極の電極指と負電極の電極指
との間に配置され、弾性表面波の伝播方向の幅がλ/1
2より大きく、かつ、λ/3より小さい複数の電極指を
有し、各電極指が、隣接する正電極の電極指と負電極の
電極指との間の中間位置から弾性表面波の伝播方向と反
対の方向にλ/12偏位して位置する短絡型浮き電極と
を具えることを特徴とするものである。
【0037】この場合も、入力側変換器及び出力側変換
器の周波数に対する挿入損失の非対称な特性が相殺され
て、周波数に対する挿入損失の特性の頂部が広帯域に亘
ってフラットで対称な特性となる。その結果、低挿入損
失である一方向性変換器の特性を有しながら、広帯域特
性を有する弾性表面波フィルタ装置を得ることができ
る。
【0038】また、変換器の双方向性変換器部分によっ
て、双方向性変換器の利点を得ることができ、すなわ
ち、歪みのほとんどない周波数特性をえることができ
る。
【0039】本発明による請求項14記載の弾性表面波
フィルタ装置は、前記一方向性変換器の正電極及び負電
極の電極指の弾性表面波の伝播方向の幅を、λ/8より
大きく、かつ、λ/3より小さくし、前記変換器の一方
向性変換器部分の短絡型浮き電極の電極指の弾性表面波
の伝播方向の幅を、λ/8より大きく、かつ、λ/3よ
り小さくしたことを特徴とするものである。
【0040】この場合も、電極指の弾性表面波の伝播方
向の幅を大きくするに従って、短絡型浮き電極の電極指
の弾性表面波の伝播方向の幅及び正電極及び負電極の電
極指の弾性表面波の伝播方向の幅がいずれもλ/12で
ある場合の中心周波数に対するずれが大きくなり、非対
称な特性が相殺される際に得られる周波数に対する挿入
損失の特性の頂部のフラット部分が一層広くなり、より
広帯域特性の弾性表面波フィルタ装置を得ることができ
る。
【0041】本発明による請求項15記載の弾性表面波
フィルタ装置は、前記一方向性変換器の正電極及び負電
極の電極指の弾性表面波の伝播方向の幅の総和を、前記
変換器の一方向性変換器部分の短絡型浮き電極の電極指
の弾性表面波の伝播方向の幅の総和にほぼ等しくしたこ
とを特徴とするものである。
【0042】この場合も、非対称な特性が相殺される際
に得られる周波数に対する挿入損失の特性は、頂部がほ
ぼ完全にフラットで対称な特性になり、広帯域特性に対
して非常に良好な弾性表面波フィルタ装置を得ることが
できる。
【0043】本発明による請求項16記載の弾性表面波
フィルタ装置は、前記変換器の双方向性変換器部分は、
λを基本弾性表面波の伝播波長とした場合に、λ/4の
中心間距離を以て位置し、弾性表面波の伝播方向の幅が
λ/8である2個の電極指の組をλのピッチで周期的に
形成した正電極と、同様に、λ/4の中心間距離を以て
位置し、弾性表面波の伝播方向の幅がλ/8である2個
の電極指の組をλのピッチで周期的に形成され、各電極
指の組が、前記正電極の隣接する電極指の組とλ/2の
中心間距離を以てそれぞれ位置する負電極とを具えるこ
とを特徴とするものである。
【0044】双方向性変換器としてこのような変換器構
造とすることによって、一方向に励振されるエネルギー
を反対の方向に励振されるエネルギーよりも大きくする
ことができ、双方向性変換器による損失を低減すること
ができ、その結果、弾性表面波フィルタ装置としての損
失も低減することができる。
【0045】本発明による請求項17記載の弾性表面波
フィルタ装置は、前記双方向性変換器部分は、各電極指
の弾性表面波の伝播方向と直交する方向の長さが弾性表
面波の伝播方向に沿って順次変化するように重み付けさ
れ、前記一方向性変換器部分は、正規型電極構造を有す
ることを特徴とするものである。
【0046】この場合ように一方向性変換器部分及び双
方向性変換器部分に重み付けを行う場合にも、一方向性
変換器と双方向性変換器とを組み合わせた弾性表面波フ
ィルタ装置と同様に、リップルのない良好な周波数特性
の波形が得られるようになる。
【0047】本発明による請求項18記載の弾性表面波
フィルタ装置は、前記一方向性変換器部分の電極指の弾
性表面波の伝播方向と直交する方向の長さが、前記双方
向性変換器部分の電極指の弾性表面波の伝播方向と直交
する方向の最大長より長いことを特徴とするものであ
る。
【0048】この場合も、一方向性変換器と双方向性変
換器とを組み合わせた弾性表面波フィルタ装置と同様
に、位相ずれによるリップルの発生を防止し、リップル
のない良好な周波数特性の波形が得られるようになる。
【0049】本発明による請求項19記載の弾性表面波
フィルタ装置は、前記圧電性基板を、水晶基板、タンタ
ル酸リチウム基板、ほう酸リチウム基板又はランガサイ
ト基板としたことを特徴とするものである。
【0050】弾性表面波フィルタ装置の圧電性基板とし
ては、通常、ニオブ酸リチウム基板(LiNbO3 )、
水晶基板、タンタル酸リチウム基板(LiTaO 3 )、
ほう酸リチウム基板(Li2 4 7 )、ランガサイト
基板(La3 Ga 5 SiO14)等が用いられている。こ
れら基板のうち、ニオブ酸リチウム基板は比較的大きな
5.5%の電気機械結合係数(K2 )を有するので、良
好な変換特性が得られるという利点を有する。しかしな
がら、温度特性に難点があるため、すなわち、温度変化
に対する帯域幅の変化が大きくなるという不都合があ
り、広帯域用のフィルタとしてだけ用いられてきた。こ
のため、従来の狭帯域フィルタとしては共振型のフィル
タ装置だけに用いられてきた。しかしながら、共振型の
フィルタは、その構造からG.D.T.が大きい不具合
が強く指摘されていた。それに対して、短絡型浮き電極
型の変換器を有する弾性表面波フィルタ装置は、電極の
非対称構造を有効に利用しているため、挿入損失、G.
D.T.を大幅に低減させることができる。したがっ
て、非対称構造の内部反射型電極構造を温度特性に優れ
た圧電性基板に適用すれば、G.D.T.及び挿入損失
に優れるとともに、温度変化に対する通常帯域の変化が
極めて小さい弾性表面波フィルタ装置を実現することが
できる。その結果、狭帯域フィルタとして構成した場合
でも、極めて良好なフィルタ特性を有する弾性表面波フ
ィルタ装置を実現することができる。
【0051】このような状況を考慮すると、本発明によ
る弾性表面波フィルタ装置によれば、周波数に対する温
度特性が極めて小さく、電気機械結合係数がニオブ酸リ
チウム基板に比べて1桁小さく、かつ、電極指による反
射係数が短絡型浮き電極に対して正の反射係数を有する
圧電性基板を用いる。本発明では、このような圧電性基
板として、電気機械結合係数が0.1〜1.5%である
水晶基板(0.14%)、タンタル酸リチウム基板
(0.64%)、ほう酸リチウム基板(1.0%)又は
ランガサイト基板(0.3〜0.4%)を用いる。これ
ら基板は、温度変化に対する周波数変動が微小であるの
で、圧電性基板としてこれら基板のうちのいずれかを用
いると、温度特性に対する通過周波数帯域の変化を微小
範囲に維持することができる。しかしながら、水晶、タ
ンタル酸リチウム、ほう酸リチウム及びランガサイトの
電気機械結合係数はいずれも小さいので、水晶、タンタ
ル酸リチウム、ほう酸リチウム又はランガサイトによっ
て形成された基板上に既存の変換器をそのまま形成する
と、挿入損失の観点から良好な特性の弾性表面波フィル
タ装置を実現することができない。
【0052】本発明者が水晶基板、タンタル酸リチウム
基板、ほう酸リチウム基板及びランガサイト基板におけ
る挿入損失について詳細な検討を行った結果、浮き電極
の反射係数の符号が挿入損失に大きく影響していること
が判明した。水晶基板、タンタル酸リチウム基板、ほう
酸リチウム基板及びランガサイト基板の場合、開放型浮
き電極に比べて短絡型浮き電極の方が反射係数が大き
い。したがって、浮き電極として短絡型浮き電極を用い
るのが好適である。このように構成することによって、
電気機械結合係数の小さい水晶基板、タンタル酸リチウ
ム基板、ほう酸リチウム基板又はランガサイト基板を用
いても挿入損失を極めて小さい範囲に抑制することがで
き、その結果、温度特性に優れるとともに低損失の広帯
域弾性表面波フィルタ装置を実現することができる。
【0053】
【発明の実施の形態】本発明による弾性表面波フィルタ
装置を、図面を参照して詳細に説明する。なお、図面は
線形的であり、寸法通りではない。図1は、本発明によ
る弾性表面波フィルタ装置の第1の実施の形態を示す図
である。本実施の形態では、圧電性基板として矩形の水
晶基板1を用いる。水晶基板は、温度変化に対する帯域
幅変化が微小であるので、温度変化による通過周波数帯
域の変化を微小範囲に維持することができる。この水晶
基板1の表面上に、電気信号が端子2及び3を通じて外
部から入力され、この電気信号を弾性表面波に変換する
入力側変換器4と、シールド電極5と、入力側変換器4
で励振された弾性表面波を電気信号に変換し、この電気
信号を端子6及び7を通じて外部に出力する出力側変換
器8とを、弾性表面波の伝播方向に沿って形成する。
【0054】入力側変換器4を一方向性変換器とし、こ
の一方向性変換器は、正電極9及び負電極10と、これ
ら正電極9及び負電極10の電極指間に配置した短絡型
浮き電極11とを具える。ここで、λを、弾性表面波フ
ィルタ装置を伝播する基本弾性表面波の波長とする場
合、弾性表面波の伝播方向における正電極9及び負電極
10の電極指の幅を、全てλ/12に設定する。それに
対して、弾性表面波の伝播方向における短絡型浮き電極
11の電極指の幅を、λ/12より大きく、かつ、λ/
3より小さくし、好適にはλ/8より大きく、かつ、λ
/3より小さくする。本実施の形態では、弾性表面波の
伝播方向における短絡型浮き電極11の電極指の幅を、
全てλ/6に設定する。
【0055】正電極9及び負電極10の各電極指をλの
ピッチでそれぞれ形成し、正電極9の電極指と隣接する
負電極10の電極指との間の中心間距離をλ/2に設定
する。また、短絡型浮き電極11の電極指を、これに隣
接する正電極9の電極指及び負電極10の電極指との間
の中間位置から、弾性表面波の伝播方向の上流側にλ/
12だけ偏位するように配置して、電極の非対称構造に
基づく一方向性特性を高める。
【0056】入力側変換器4の正電極9及び負電極10
の対数を、例えば200対に設定する。この対数は、要
求されるフィルタ特性に応じて適宜最適条件に設定する
ことができる。
【0057】出力側変換器8も一方向性変換器とし、こ
の一方向性変換器は、正電極12及び負電極13と、こ
れら正電極12及び負電極13の電極指間に配置した短
絡型浮き電極14とを具える。ここで、λを、弾性表面
波フィルタ装置を伝播する基本弾性表面波の波長とする
場合、弾性表面波の伝播方向における正電極12及び負
電極13の電極指の幅を、λ/12より大きく、かつ、
λ/3より小さくし、好適にはλ/8より大きく、か
つ、λ/3より小さくする。本実施の形態では、弾性表
面波の伝播方向における短絡型浮き電極14の電極指の
幅を、弾性表面波の伝播方向における正電極9及び負電
極10の電極指の幅と同一に設定し、すなわち、全てλ
/6に設定する。それに対して、弾性表面波の伝播方向
における短絡型浮き電極10の電極指の幅を、全てλ/
12に設定する。
【0058】正電極12及び負電極13の各電極指もλ
のピッチでそれぞれ形成し、正電極12の電極指と隣接
する負電極13の電極指との間の中心間距離をλ/2に
設定する。また、短絡型浮き電極14の電極指も、これ
に隣接する正電極12の電極指及び負電極13の電極指
との間の中間位置から、弾性表面波の伝播方向の下流側
にλ/12だけ偏位するように配置して、電極の非対称
構造に基づく一方向性特性を高める。
【0059】出力側変換器4の正電極8及び負電極9の
対数も、例えば40対に設定する。この対数も、要求さ
れるフィルタ特性に応じて適宜最適条件に設定すること
ができる。したがって、正電極12の電極指及び負電極
13の電極指の弾性表面波の伝播方向の幅の総和は、短
絡型浮き電極11の弾性表面波の伝播方向の幅の総和と
ほぼ等しくなる。
【0060】本実施の形態では、入力側変換器4及び出
力側変換器8において、短絡型浮き電極11及び14の
配置位置を、これに隣接する正電極9及び12の電極指
と負電極10及び13との中間位置から大幅に偏位させ
て、非対称構造に基づく一方向性伝播を一層増強させる
ことによって、弾性表面波フィルタ装置の挿入損失を小
さくしている。
【0061】本実施の形態の動作を説明する。出力側変
換器8のように正電極12及び負電極13の電極指の弾
性表面波の伝播方向の幅がλ/12より大きい一方向性
変換器を二つ用い、入力側変換器及び出力側変換器とし
て作動させた場合、周波数に対する挿入損失の特性は、
図2に示すようになる。すなわち、正電極12及び負電
極13の電極指の弾性表面波の伝播方向の幅が変化する
ことによって弾性表面波の励振中心と反射中心との最適
な位置関係が崩れるために、最大の一方向性を得ること
ができる周波数fa は、正電極、負電極及び短絡型浮き
電極の電極指の弾性表面波の伝播方向の幅がいずれもλ
/12である場合の中心周波数f0 に対して高周波側に
ずれ、この特性の頂部付近において、頂部付近で右肩下
がり(図2に示すように中心周波数f0 における挿入損
失と周波数fa における挿入損失との差をd1とする
と、頂部付近で(fa −f0 )/d1の傾斜を有す
る。)の非対称な特性となる。
【0062】それに対して、入力側変換器8のように短
絡型浮き電極11の電極指の幅がλ/12より大きい一
方向性変換器の周波数に対する挿入損失の特性は、図3
のようになる。すなわち、短絡型浮き電極11の電極指
の弾性表面波の伝播方向の幅が変化することによって弾
性表面波の励振中心と反射中心との最適な位置関係が崩
れるために、最大の一方向性を得ることができる周波数
b は、正電極、負電極及び短絡型浮き電極の電極指の
弾性表面波の伝播方向の幅がいずれもλ/12である場
合の中心周波数f0 に対して低周波側にずれ、頂部付近
で右肩上がり(図3に示すように中心周波数f0 におけ
る挿入損失と周波数fb における挿入損失との差をd2
とすると、頂部付近で(f0 −fb )/d2の傾斜を有
する。)の非対称な特性となる。
【0063】したがって、図1に示した弾性表面波フィ
ルタ装置として得られる特性は、入力側変換器4及び出
力側変換器8の特性が掛け合わされた特性となるため、
図2に示す特性と図3に示す特性とが掛け合わされた特
性となり、その結果、図2の非対称な特性及び図3の非
対称な特性が相殺され、図4に示すように、曲線の頂部
が広帯域に亘ってフラットで対称な特性になる。
【0064】本実施の形態によれば、低挿入損失である
一方向性変換器の特性を有しながら、広帯域特性を有す
る弾性表面波フィルタ装置を得ることができる。
【0065】図5は、本発明による弾性表面波フィルタ
装置の第2の実施の形態を示す図である。本実施の形態
では、水晶基板21の表面上に、電気信号が並列に入力
される第1フィルタ段22及び第2フィルタ段23を形
成する。
【0066】第1フィルタ段22は、電気信号が端子2
4及び25を通じて外部から入力され、この電気信号を
弾性表面波に変換する第1入力側変換器26と、シール
ド電極27と、第1入力変換器26で励起された弾性表
面波を電気信号に変換し、この電気信号を端子28及び
29を通じて外部に出力する第1出力側変換器30とを
具える。この際、これら第1入力側変換器26、シール
ド電極27及び第1出力側変換器30を、弾性表面波の
伝播方向に沿って順に形成する。
【0067】第2フィルタ段23は、電気信号が端子3
1及び32を通じて外部から入力され、この電気信号を
弾性表面波に変換する第2入力変換器33と、シールド
電極34と、第2入力変換器33で励起された弾性表面
波を電気信号に変換し、この電気信号を端子35及び3
6を通じて外部に出力する第2出力側変換器37とを具
える。この際、これら第2入力側変換器33、シールド
電極34及び第2出力側変換器35を、弾性表面波の伝
播方向に沿って順に形成する。
【0068】第1及び第2入力側変換器26及び33を
それぞれ、正電極38及び39並びに負電極40及び4
1を、λ/4の中心間距離を以て配置した二つの電極指
の組をλのピッチで周期的に複数形成したスプリット電
極構造の双方向性変換器で構成し、正電極38及び39
の各電極指の組が負電極40及び41の電極指の組とλ
/2の中心間距離を以てそれぞれ位置するように設定す
る。本実施の形態では、弾性表面波の変換効率を良くす
るために、これら正電極38及び39並びに負電極40
及び41の電極指の弾性表面波の伝播方向の幅をλ/8
に設定する。このように構成することによって、互いに
隣接する電極指間の間隔が全てλ/8に設定されること
になる。第1及び第2入力側変換器26及び33の正電
極38及び39並びに負電極40及び41の対数を、例
えば300対に設定するが、この対数も、要求されるフ
ィルタ特性に応じて適宜最適条件に設定することができ
る。
【0069】また、第1及び第2入力側変換器26及び
33にはアポタイズ法による重み付けが行われており、
正電極38及び39の電極指と負電極40及び41の電
極指との交叉幅、すなわち、開口長を弾性表面波の伝播
方向に沿って変化させている。
【0070】第1出力側変換器30を一方向性変換器と
し、この一方向性変換器は、正電極42及び負電極43
と、これら正電極42及び負電極43の電極指間に配置
した短絡型浮き電極44とを具える。ここで、λを、弾
性表面波フィルタ装置を伝播する基本弾性表面波の波長
とする場合、弾性表面波の伝播方向における正電極42
及び負電極43の電極指の幅を、全てλ/12に設定す
る。それに対して、弾性表面波の伝播方向における短絡
型浮き電極44の電極指の幅を、λ/12より大きくλ
/3より小さくし、好適にはλ/8より大きくλ/3よ
り小さくする。本実施の形態では、弾性表面波の伝播方
向における短絡型浮き電極44の電極指の幅を、全てλ
/6に設定する。
【0071】正電極42及び負電極43の各電極指をλ
のピッチでそれぞれ形成し、正電極42の電極指と隣接
する負電極43の電極指との間の中心間距離をλ/2に
設定する。また、短絡型浮き電極44の電極指を、これ
に隣接する正電極42の電極指及び負電極43の電極指
との間の中間位置から、弾性表面波の伝播方向の下流側
にλ/12だけ偏位するように配置して、電極の非対称
構造に基づく一方向性特性を高める。
【0072】入力側変換器30の正電極42及び負電極
43の対数を、例えば40対に設定する。この対数も、
要求されるフィルタ特性に応じて適宜最適条件に設定す
ることができる。
【0073】第2出力側変換器37も一方向性変換器と
し、この一方向性変換器は、正電極45及び負電極46
と、これら正電極45及び負電極46の電極指間に配置
した短絡型浮き電極47とを具える。ここで、λを、弾
性表面波フィルタ装置を伝播する基本弾性表面波の波長
とする場合、弾性表面波の伝播方向における正電極45
及び負電極46の電極指の幅を、λ/12より大きくλ
/3より小さくし、好適にはλ/8より大きくλ/3よ
り小さくする。本実施の形態では、弾性表面波の伝播方
向における短絡型浮き電極47の電極指の幅を、弾性表
面波の伝播方向における正電極45及び負電極46の電
極指の幅と同一に設定し、すなわち、全てλ/6に設定
する。それに対して、弾性表面波の伝播方向における短
絡型浮き電極10の電極指の幅を、全てλ/12に設定
する。
【0074】正電極45及び負電極46の各電極指もλ
のピッチでそれぞれ形成し、正電極45の電極指と隣接
する負電極46の電極指との間の中心間距離をλ/2に
設定する。また、短絡型浮き電極47の電極指も、これ
に隣接する正電極45の電極指及び負電極46の電極指
との間の中間位置から、弾性表面波の伝播方向の下流側
にλ/12だけ偏位するように配置して、電極の非対称
構造に基づく一方向性特性を高める。
【0075】第2出力側変換器37の正電極45及び負
電極46の対数も、例えば40対に設定する。この対数
も、要求されるフィルタ特性に応じて適宜最適条件に設
定することができる。したがって、正電極45の電極指
及び負電極46の電極指の弾性表面波の伝播方向の幅の
総和は、短絡型浮き電極47の弾性表面波の伝播方向の
幅の総和とほぼ等しくなる。
【0076】本実施の形態では、水晶基板21上の第1
フィルタ段22と第2フィルタ段23との間に(図5に
おいて破線で示す)吸音部材48を塗布し、一方のフィ
ルタ段で発生した弾性表面波が他方のフィルタ段の変換
器に入射するのを防止する。このように吸音部材48を
塗布することによって、ノイズの発生を防止して減衰特
性を改善することができる。
【0077】このように、第1及び第2入力側変換器2
6及び33として双方向性変換器を用いるとともに第1
及び第2出力側変換器30及び37として一方向性変換
器を用いる場合、端子28,29及び35,36から出
力される電気信号の周波数特性は、一方向性変換器の特
性と双方向性変換器の特性とが掛け合わされた特性とな
る。したがって、トランスバーサル型の弾性表面波フィ
ルタ装置において、一方向性変換器と双方向性変換器と
を組み合わせることによって、周波数特性については双
方向性変換器の良好な特性が活用され、挿入損失及び
T.T.Eレベルについては一方向性変換器の特有な特
性が生かされた弾性表面波フィルタ装置を実現すること
ができる。その結果、周波数特性、挿入損失及びT.
T.Eレベルの要件を全て満足する弾性表面波フィルタ
装置を実現することができる。
【0078】本実施の形態でも、第2出力側変換器37
から出力される電気信号の周波数に対する挿入損失の特
性の曲線は、図2に示すように頂部付近において右肩下
がりの非対称な特性となり、それに対して、第1出力側
変換器30から出力される電気信号の周波数に対する挿
入損失の特性の曲線は、図3に示すように頂部付近にお
いて右肩上がりの非対称な特性となる。これら第1及び
第2出力側変換器30及び37から出力された電気信号
は外部で合成されるので、これらの傾斜が相殺され、図
4に示すように周波数に対する挿入損失の特性の曲線の
頂部がフラットとなる。その結果、低挿入損失である一
方向性の特性を有しながら、広帯域特性を有する弾性表
面波フィルタ装置を得ることかできる。
【0079】また、第1及び第2入力側変換器26及び
33として双方向性変換器を用いているので、双方向性
変換器の利点を得ることができ、すなわち、歪みのほと
んどない周波数特性を得ることができる。
【0080】また、本実施の形態では、幅がλ/8の2
本の電極指を対とし、正電極38及び負電極39の電極
指を2本の電極指対で構成したλ/8スプリット型の双
方向性変換器26及び33を用いているので、高い励振
効率を得ることができる。また、電極指端縁で発生する
反射波は、互いに位相が反転した反射波同士だけである
ので、リップルのない極めて良好な周波数特性の波形を
得ることができる。したがって、双方向性変換器である
第1及び第2入力側変換器26及び33を、一方向性変
換器である第1及び第2出力側変換器30及び37と組
み合わせると、挿入損失、周波数特性及びT.T.E.
減衰レベルについて各変換器が有する固有の決定が互い
に補完され、その結果、優れた特性を有する弾性表面波
フィルタ装置を実現することができる。
【0081】また、一方向性変換器を正規型の電極構造
にするとともに、双方向性変換器に重み付けを行うこと
によって、リップルのない良好な周波数特性の波形が得
られるようになる。
【0082】さらに、双方向変換器の電極の重み付けを
アポタイズ法によって行っているので、位相ずれによく
リップルの発生を防止し、リップルのない良好な周波数
特性の波形が得られるようになる。
【0083】図6は、本発明による弾性表面波フィルタ
装置の第3の実施の形態を示す図である。本実施の形態
では、水晶基板51の中央部に入力側変換器52を配置
し、その両側に第1及び第2出力側変換器53及び54
をそれぞれ配置する。入力側変換器52として、図5に
示す双方向性変換器26及び33と同一構造の変換器を
用いる。
【0084】また、第1出力側変換器53として、図1
に示す一方向性変換器としての入力変換器4と同一構造
の変換器を用いるとともに、第2出力側変換器54とし
て、図5に示す一方向性変換器としての第2出力側変換
器37と同一構造の変換器を用いる。入力側変換器52
の対数を、例えば、300対とし、第1及び第2出力側
変換器53及び54の対数をそれぞれ、例えば、40対
とする。入力側変換器52によって励起された弾性表面
波は、第1出力側変換器53及び第2出力側変換器54
に向かって互いに等しいエネルギー量で伝播し、第1及
び第2出力側変換器53及び54によってそれぞれ電気
信号に変換される。このような構成によって、入力側変
換器52としての双方向性変換器によって励振された全
ての弾性表面波を有効に利用することができ、その結
合、挿入損失を一層低減することができる。
【0085】本実施の形態でも、第2出力側変換器54
から出力される電気信号の周波数に対する挿入損失の特
性の曲線は、図2に示すように頂部付近において右肩下
がりの非対称な特性となり、それに対して、第1出力側
変換器30から出力される電気信号の周波数に対する挿
入損失の特性の曲線は、図3に示すように頂部付近にお
いて右肩上がりの非対称な特性となる。これら第1及び
第2出力側変換器53及び54から出力された電気信号
は外部で合成されるので、これらの非対称な特性が相殺
され、図4に示すように周波数に対する挿入損失の特性
としては、頂部付近で広帯域に亘ってフラットで対称な
特性となる。その結果、低挿入損失である一方向性の特
性を有しながら、広帯域特性を有する弾性表面波フィル
タ装置を得ることかできる。
【0086】また、入力側変換器52として双方向性変
換器を用いているので、双方向性変換器の利点を得るこ
とができ、すなわち、歪みのほとんどない周波数特性を
得ることができ、かつ、双方向性変換器で励振された全
てのエネルギーを有効に利用することができるので、挿
入損失を一層低減させることができる。
【0087】図7は、本発明による弾性表面波フィルタ
装置の第4の実施の形態を示す図である。本実施の形態
では、水晶基板61の表面上に、入力側変換器62及び
出力側変換器63を、弾性表面波の伝播方向に沿って形
成する。
【0088】入力側変換器62として、図1に示す一方
向性変換器としての入力側変換器4と同一構造の変換器
を用いる。出力側変換器63は、弾性表面波の伝播方向
が互いに一致するように水晶基板61上に形成されたイ
ンタディジタル型の第1及び第2双方向性変換器部分6
4a及び64bと、一方向性変換器部分65とを具え
る。これら第1及び第2双方向性変換器部分64a及び
64bは、図5に示す第1及び第2入力側変換器26及
び33の電極構造と基本的に同一であり、一方向性変換
器部分65は、図5に示す第2出力側変換器の電極構造
と基本的に同一である。
【0089】第1双方向性変換器部分64aは、λを基
本弾性表面波の伝播波長とした場合に、中心間距離をλ
/4にして配置した二つの電極指の組をλのピッチで周
期的に複数形成した正電極66aと、同様にλ/4の中
心間距離を以て配置した二つの電極指の組をλのピッチ
で周期的に形成し、各電極指の組が正電極66aの電極
指の組とλ/2の中心間距離を以てそれぞれ位置する負
電極67aとを具える。これら正電極66a及び負電極
67aの各電極指の弾性表面波の伝播方向における幅を
それぞれλ/8とする。正電極66aの電極指とこの電
極指に対向する負電極67aの電極指との交叉幅を、弾
性表面波の伝播方向に沿って重み付けしている。
【0090】第2双方向性変換器部分64bは、λを基
本弾性表面波の伝播波長とした場合に、中心間距離をλ
/4にして配置した二つの電極指の組をλのピッチで周
期的に複数形成した正電極66bと、同様にλ/4の中
心間距離を以て配置した二つの電極指の組をλのピッチ
で周期的に形成し、各電極指の組が正電極66bの電極
指の組とλ/2の中心間距離を以てそれぞれ位置する負
電極67bとを具える。これら正電極66b及び負電極
67bの各電極指の弾性表面波の伝播方向における幅を
それぞれλ/8とする。正電極66bの電極指とこの電
極指に対向する負電極67bの電極指との交叉幅を、弾
性表面波の伝播方向に沿って重み付けしている。
【0091】一方向性変換器部分65は、正電極68及
び負電極69と、これら正電極68及び負電極69との
間に配置した短絡型浮き電極70とを具える。ここで、
λを、弾性表面波フィルタ装置を伝播する基本弾性表面
波の波長とする場合、弾性表面波の伝播方向における正
電極68及び負電極69の電極指の幅を、λ/12より
大きくλ/3より小さくし、好適にはλ/8より大きく
λ/3より小さくする。本実施の形態では、弾性表面波
の伝播方向における正電極68及び負電極69の電極指
の幅を、全てλ/6に設定する。それに対して、弾性表
面波の伝播方向における短絡型浮き電極70の電極指の
幅を、全てλ/12に設定する。この一方向性変換器部
分65を、第1双方向性変換器部分64a及び第2双方
向性変換器部分64bの電極指の最大交叉幅の部分に隣
接するように第1双方向性変換器部分64aと第2双方
向性変換器部分64bとの間に配置する。また、この一
方向性変換器部分65を正規型電極構造とし、一方向性
変換器部分65の開口長を、双方向性変換器部分64a
及び64bの最大開口長よりも大きくする。
【0092】本実施の形態では、短絡型浮き電極70の
電極指を、弾性表面波の伝播方向にλ/12偏位させ
る。このように変換器63を一方向性変換器としての入
力側変換器62と組み合わせることによって、挿入損失
を更に改善することができる。
【0093】本実施の形態でも、出力側変換器63から
出力される電気信号の図2に示すような非対称な特性
は、入力側変換器62から出力される電気信号の図3に
示すような非対称な特性によって相殺されるので、図4
に示すように周波数に対する挿入損失の特性としては、
頂部付近で広帯域に亘ってフラットで対称な特性とな
る。その結果、低挿入損失である一方向性の特性を有し
ながら、広帯域特性を有する弾性表面波フィルタ装置を
得ることかできる。
【0094】また、出力側変換器63が双方向性変換器
部分64a及び64bを有するので、双方向性変換器の
利点を得ることができ、すなわち、歪みのほとんどない
周波数特性を得ることができる。
【0095】図8は、本発明による弾性表面波フィルタ
装置の第5の実施の形態を示す図である。本実施の形態
では、水晶基板71の表面上に、入力側変換器72及び
出力側変換器73を、弾性表面波の伝播方向に沿って形
成する。
【0096】入力側変換器72として、短絡型浮き電極
の電極指を弾性表面波の伝播方向と正反対の方向にλ/
12偏位させた点を除いて図1に示す一方向性変換器と
しての入力側変換器8と同一構造の変換器を用いる。出
力側変換器73は、弾性表面波の伝播方向が互いに一致
するように水晶基板71上に形成されたインタディジタ
ル型の第1及び第2双方向性変換器部分74a及び74
bと、一方向性変換器部分75とを具える。これら第1
及び第2双方向性変換器部分74a及び74bは、図5
に示す第1及び第2入力側変換器26及び33の電極構
造と基本的に同一であり、一方向性変換器部分75は、
図5に示す第1出力側変換器の電極構造と基本的に同一
である。
【0097】第1双方向性変換器部分74aは、λを基
本弾性表面波の伝播波長とした場合に、中心間距離をλ
/4にして配置した二つの電極指の組をλのピッチで周
期的に複数形成した正電極76aと、同様にλ/4の中
心間距離を以て配置した二つの電極指の組をλのピッチ
で周期的に形成し、各電極指の組が正電極76aの電極
指の組とλ/2の中心間距離を以てそれぞれ位置する負
電極77aとを具える。これら正電極76a及び負電極
77aの各電極指の弾性表面波の伝播方向における幅を
それぞれλ/8とする。正電極76aの電極指とこの電
極指に対向する負電極77aの電極指との交叉幅を、弾
性表面波の伝播方向に沿って重み付けしている。
【0098】第2双方向性変換器部分74bは、λを基
本弾性表面波の伝播波長とした場合に、中心間距離をλ
/4にして配置した二つの電極指の組をλのピッチで周
期的に複数形成した正電極76bと、同様にλ/4の中
心間距離を以て配置した二つの電極指の組をλのピッチ
で周期的に形成し、各電極指の組が正電極76bの電極
指の組とλ/2の中心間距離を以てそれぞれ位置する負
電極77bとを具える。これら正電極76b及び負電極
77bの各電極指の弾性表面波の伝播方向における幅を
それぞれλ/8とする。正電極76bの電極指とこの電
極指に対向する負電極77bの電極指との交叉幅を、弾
性表面波の伝播方向に沿って重み付けしている。
【0099】一方向性変換器部分75は、正電極78及
び負電極79と、これら正電極78及び負電極79との
間に配置した短絡型浮き電極80とを具える。ここで、
λを、弾性表面波フィルタ装置を伝播する基本弾性表面
波の波長とする場合、弾性表面波の伝播方向における正
電極78及び負電極79の電極指の幅を、全てλ/12
に設定する。それに対して、弾性表面波の伝播方向にお
ける短絡型浮き電極80の電極指の幅を、λ/12より
大きくλ/3より小さくし、好適にはλ/8より大きく
λ/3より小さくする。本実施の形態では、弾性表面波
の伝播方向における短絡型浮き電極80の電極指の幅
を、全てλ/6に設定する。この一方向性変換器部分7
5を、第1双方向性変換器部分74a及び第2双方向性
変換器部分74bの電極指の最大交叉幅の部分に隣接す
るように第1双方向性変換器部分74aと第2双方向性
変換器部分74bとの間に配置する。また、この一方向
性変換器部分75を正規型電極構造とし、一方向性変換
器部分75の開口長を、双方向性変換器部分74a及び
74bの最大開口長よりも大きくする。
【0100】本実施の形態では、短絡型浮き電極80の
電極指を、弾性表面波の伝播方向にλ/12偏位させ
る。このように変換器73を一方向性変換器としての入
力側変換器72と組み合わせることによって、挿入損失
を更に改善することができる。
【0101】本実施の形態でも、入力側変換器72から
出力される電気信号の図2に示すような非対称な特性は
出力側変換器73から出力される電気信号の図3に示す
ような非対称な特性によって相殺されるので、図4に示
すように頂部付近で広帯域に亘ってフラットで対称な特
性となる。その結果、低挿入損失である一方向性の特性
を有しながら、広帯域特性を有する弾性表面波フィルタ
装置を得ることかできる。
【0102】また、出力側変換器73が双方向性変換器
部分74a及び74bを有するので、双方向性変換器の
利点を得ることができ、すなわち、歪みのほとんどない
周波数特性を得ることができる。
【0103】本発明は、上記実施の形態に限定されるも
のではなく、幾多の変更及び変形が可能である。例え
ば、上記第1〜第5の実施の形態において、圧電性基板
として水晶基板を用いたが、タンタル酸リチウム基板、
ほう酸リチウム基板又はランガサイド基板を代わりに用
いることもできる。
【0104】また、第1の実施の形態において、短絡型
浮き電極の電極指の弾性表面波の伝播方向の幅がλ/1
2より大きい一方向性変換器を入力側変換器として用い
るとともに、正電極及び負電極の電極指の弾性表面波の
伝播方向の幅がλ/12より大きい一方向性変換器を出
力側変換器として用いたが、正電極及び負電極の電極指
の弾性表面波の伝播方向の幅がλ/12より大きい一方
向性変換器を入力側変換器として用いるとともに、短絡
型浮き電極の電極指の弾性表面波の伝播方向の幅がλ/
12より大きい一方向性変換器を出力側変換器として用
いることもできる。
【0105】また、第2の実施の形態において、双方向
性変換器を共に入力側変換器として用いるとともに一方
向性変換器を共に出力側変換器として用いたが、一方向
性変換器を共に入力側変換器として用いるとともに双方
向性変換器を共に出力側変換器として用いることがで
き、かつ、一方の一方向性変換器及び一方の双方向性変
換器を入力側変換器として用いるとともに他方の一方向
性変換器及び他方の双方向性変換器を出力側変換器とし
て用いることもできる。
【0106】また、上記第2〜5の実施の形態におい
て、双方向性変換器を重み付けするに当たり、アポタイ
ズ法を適用したが、各電極指の弾性表面波の伝播方向と
直交する方向の長さが一様で、励振強度を変化させるこ
とによって重み付けを行う間引き法を適用することもで
きる。
【0107】また、第3の実施の形態において、双方向
性変換器を入力側変換器として用いるとともに一方向性
変換器を出力側変換器として用いたが、一方向性変換器
を入力側変換器として用いるとともに双方向性変換器を
出力側変換器として用いることもできる。
【0108】また、第4及び第5の実施の形態におい
て、一方向性変換器を入力側変換器として用いるととも
に、一方向性変換器部分及び双方向性変換器部分を有す
る変換器を出力側変換器として用いたが、一方向性変換
器部分及び双方向性変換器部分を有する変換器を入力側
変換器として用いるとともに、一方向性変換器を出力側
変換器として用いることもできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による弾性表面波フィルタ装置の第1の
実施の形態を示す図である。
【図2】正電極及び負電極の電極指の幅がλ/12より
大きい一方向性変換器の周波数に対する挿入損失の特性
を示す図である。
【図3】短絡型浮き電極の電極指の幅がλ/12より大
きい一方向性変換器の周波数に対する挿入損失の特性を
示す図である。
【図4】図1の弾性表面波フィルタ装置によって得られ
る周波数に対する挿入損失の特性を示す図である。
【図5】本発明による弾性表面波フィルタ装置の第2の
実施の形態を示す図である。
【図6】本発明による弾性表面波フィルタ装置の第3の
実施の形態を示す図である。
【図7】本発明による弾性表面波フィルタ装置の第4の
実施の形態を示す図である。
【図8】本発明による弾性表面波フィルタ装置の第5の
実施の形態を示す図である。
【符号の説明】
1,21,51,61,71 水晶基板 2,3,6,
7,24,25,28,29,31,32,35,36
端子 4,26,33,52,62,72入力側変換
器 5,27,34 シールド電極 8,30,37,
53,54,63,73 出力側変換器 9,12,3
8,39,42,45,66a,66b,68,76
a,76b,78 正電極 10,13,40,41,
43,46,67a,67b,69,77a,77b,
79 負電極 11,14,44,47,70,80
短絡型浮き電極 22 第1フィルタ段 23 第2フ
ィルタ段 26 第1入力側変換器 30,53 第1
出力側変換器 33 第2入力側変換器 37,54
第2出力側変換器 48 吸音部材 64a,74a
第1双方向性変換器部分 64b,74b 第2双方向
性変換器部分 65,75 一方向性変換器部分

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】電気機械結合係数が0.1〜1.5%の圧
    電性基板と、この圧電性基板上に形成され、電気信号が
    外部から入力され、この電気信号を弾性表面波に変換す
    る入力側変換器と、前記圧電性基板上に形成され、前記
    入力側変換器で励振された弾性表面波を電気信号に変換
    し、この電気信号を外部に出力する出力側変換器とを具
    え、 前記入力側変換器と出力側変換器のうちの一方を第1の
    一方向性変換器とし、この第1の一方向性変換器は、λ
    を基本弾性表面波の伝播波長とした場合に、λのピッチ
    で周期的に形成され、弾性表面波の伝播方向の幅がほぼ
    λ/12の複数の電極指を有する正電極と、同様にλの
    ピッチで周期的に形成され、弾性表面波の伝播方向の幅
    がほぼλ/12の複数の電極指を有し、各電極指が前記
    正電極の電極指とλ/2の中心間距離を以てそれぞれ位
    置する負電極と、前記正電極の電極指と負電極の電極指
    との間に配置され、弾性表面波の伝播方向の幅がλ/1
    2より大きく、かつ、λ/3より小さい複数の電極指を
    有し、各電極指が、これに隣接する正電極の電極指と負
    電極の電極指との間の中間位置からの伝播方向又はこれ
    とは反対の方向にλ/12偏位して位置する短絡型浮き
    電極とを具え、 前記入力側変換器と出力側変換器のうちの他方を第2の
    一方向性変換器とし、この第2の一方向性変換器は、λ
    を基本弾性表面波の伝播波長とした場合に、λのピッチ
    で周期的に形成され、弾性表面波の伝播方向の幅がλ/
    12より大きく、かつ、λ/3より小さい複数の電極指
    を有する正電極と、同様にλのピッチで周期的に形成さ
    れ、弾性表面波の伝播方向の幅がλ/12より大きく、
    かつ、λ/3より小さい複数の電極指を有し、各電極指
    が前記正電極の電極指とλ/2の中心間距離を以てそれ
    ぞれ位置する負電極と、前記正電極の電極指と負電極の
    電極指との間に配置され、弾性表面波の伝播方向の幅が
    ほぼλ/12の複数の電極指を有し、各電極指が、これ
    に隣接する正電極の電極指と負電極の電極指との間の中
    間位置からの伝播方向又はこれとは反対の方向にλ/1
    2偏位して位置する短絡型浮き電極とを具えることを特
    徴とする弾性表面波フィルタ装置。
  2. 【請求項2】電気機械結合係数が0.1〜1.5%の圧
    電性基板と、この圧電性基板上に形成され、電気信号が
    並列に入力される第1フィルタ段及び第2フィルタ段と
    を具え、 前記第1フィルタ段は、前記電気信号を弾性表面波に変
    換する第1入力側変換器と、前記第1入力側変換器で励
    振された弾性表面波を電気信号に変換し、この電気信号
    を外部に出力する第1出力側変換器とを具え、前記第2
    フィルタ段は、前記電気信号を弾性表面波に変換する第
    2入力側変換器と、前記第2入力側変換器で励振された
    弾性表面波を電気信号に変換し、この電気信号を前記第
    1出力側変換から出力された電気信号と合成するために
    外部に出力する第2出力側変換器とを具え、 前記第1入力側変換器と第1出力側変換器のうちの一方
    を双方向性変換器とし、 前記第1入力側変換器と第1出力側変換器のうちの他方
    を第1の一方向性変換器とし、この第1の一方向性変換
    器は、λを基本弾性表面波の伝播波長とした場合に、λ
    のピッチで周期的に形成され、弾性表面波の伝播方向の
    幅がほぼλ/12の複数の電極指を有する正電極と、同
    様にλのピッチで周期的に形成され、弾性表面波の伝播
    方向の幅がほぼλ/12の複数の電極指を有し、各電極
    指が前記正電極の電極指とλ/2の中心間距離を以てそ
    れぞれ位置する負電極と、前記正電極の電極指と負電極
    の電極指との間に配置され、弾性表面波の伝播方向の幅
    がλ/12より大きく、かつ、λ/3より小さい複数の
    電極指を有し、各電極指が、これに隣接する正電極の電
    極指と負電極の電極指との間の中間位置からの伝播方向
    又はこれとは反対の方向にλ/12偏位して位置する短
    絡型浮き電極とを具え、 前記第2入力側変換器と第2出力側変換器のうちの一方
    を双方向性変換器とし、 前記第2入力側変換器と第2出力側変換器のうちの他方
    を第2の一方向性変換器とし、この第2の一方向性変換
    器は、λを基本弾性表面波の伝播波長とした場合に、λ
    のピッチで周期的に形成され、弾性表面波の伝播方向の
    幅がλ/12より大きく、かつ、λ/3より小さい複数
    の電極指を有する正電極と、同様にλのピッチで周期的
    に形成され、弾性表面波の伝播方向の幅がλ/12より
    大きく、かつ、λ/3より小さい複数の電極指を有し、
    各電極指が前記正電極の電極指とλ/2の中心間距離を
    以てそれぞれ位置する負電極と、前記正電極の電極指と
    負電極の電極指との間に配置され、弾性表面波の伝播方
    向の幅がほぼλ/12の複数の電極指を有し、各電極指
    が、これに隣接する正電極の電極指と負電極の電極指と
    の間の中間位置からの伝播方向又はこれとは反対の方向
    にλ/12偏位して位置する短絡型浮き電極とを具える
    ことを特徴とする弾性表面波フィルタ装置。
  3. 【請求項3】電気機械結合係数が0.1〜1.5%の圧
    電性基板と、この圧電性基板上に形成された双方向性変
    換器と、この双方向変換器の弾性表面波の伝播軸線の両
    側に配置した第1の一方向性変換器及び第2の一方向性
    変換器とを具え、 前記双方向性変換器を入力側変換器とする場合、前記第
    1の一方向性変換器及び第2の一方向性変換器を出力側
    変換器とし、前記双方向性変換器を出力側変換器とする
    場合、前記第1の一方向性変換器及び第2の一方向性変
    換器を入力側変換器とし、 前記第1の一方向性変換器と第2の一方向性変換器のう
    ちの一方は、λを基本弾性表面波の伝播波長とした場合
    に、λのピッチで周期的に形成され、弾性表面波の伝播
    方向の幅がほぼλ/12の複数の電極指を有する正電極
    と、同様にλのピッチで周期的に形成され、弾性表面波
    の伝播方向の幅がほぼλ/12の複数の電極指を有し、
    各電極指が前記正電極の電極指とλ/2の中心間距離を
    以てそれぞれ位置する負電極と、前記正電極の電極指と
    負電極の電極指との間に配置され、弾性表面波の伝播方
    向の幅がλ/12より大きく、かつ、λ/3より小さい
    複数の電極指を有し、各電極指が、これに隣接する正電
    極の電極指と負電極の電極指との間の中間位置からの伝
    播方向又はこれとは反対の方向にλ/12偏位して位置
    する短絡型浮き電極とを具え、 前記第1の一方向性変換器と第2の一方向性変換器のう
    ちの他方は、λを基本弾性表面波の伝播波長とした場合
    に、λのピッチで周期的に形成され、弾性表面波の伝播
    方向の幅がλ/12より大きく、かつ、λ/3より小さ
    い複数の電極指を有する正電極と、同様にλのピッチで
    周期的に形成され、弾性表面波の伝播方向の幅がλ/1
    2より大きく、かつ、λ/3より小さい複数の電極指を
    有し、各電極指が前記正電極の電極指とλ/2の中心間
    距離を以てそれぞれ位置する負電極と、前記正電極の電
    極指と負電極の電極指との間に配置され、弾性表面波の
    伝播方向の幅がほぼλ/12の複数の電極指を有し、各
    電極指が、これに隣接する正電極の電極指と負電極の電
    極指との間の中間位置からの伝播方向又はこれとは反対
    の方向にλ/12偏位して位置する短絡型浮き電極とを
    具えることを特徴とする弾性表面波フィルタ装置。
  4. 【請求項4】前記第1の一方向性変換器と第2の一方向
    性変換器のうちの一方の正電極の電極指及び負電極の電
    極指の弾性表面波の伝播方向の幅を、λ/8より大き
    く、かつ、λ/3より小さくし、前記第1一方向性変換
    器と第2一方向性変換器のうちの他方の短絡型浮き電極
    の電極指の弾性表面波の伝播方向の幅を、λ/8より大
    きく、かつ、λ/3より小さくしたことを特徴とする請
    求項1から3のうちのいずれかに記載の弾性表面波フィ
    ルタ装置。
  5. 【請求項5】前記第1の一方向性変換器と第2の一方向
    性変換器のうちの一方の正電極の電極指及び負電極の電
    極指の弾性表面波の伝播方向の幅の総和を、前記第1一
    方向性変換器と第2一方向性変換器のうちの他方の短絡
    型浮き電極の電極指の弾性表面波の伝播方向の幅の総和
    にほぼ等しくしたことを特徴とする請求項1から4のう
    ちのいずれかに記載の弾性表面波フィルタ装置。
  6. 【請求項6】前記双方向性変換器は、λを基本弾性表面
    波の伝播波長とした場合に、λ/4の中心間距離を以て
    位置し、弾性表面波の伝播方向の幅がλ/8である2個
    の電極指の組をλのピッチで周期的に形成した正電極
    と、同様にλ/4の中心間距離を以て位置し、弾性表面
    波の伝播方向の幅がλ/8である2個の電極指の組をλ
    のピッチで周期的に形成され、各電極指の組が前記正電
    極の隣接する電極指の組とλ/2の中心間距離を以てそ
    れぞれ位置する負電極とを具えることを特徴とする請求
    項2から5のうちのいずれかに記載の弾性表面波フィル
    タ装置。
  7. 【請求項7】前記一方向性変換器を正規型電極構造と
    し、前記双方向性変換器を、重み付けをした電極構造と
    したことを特徴とする請求項2から6のうちのいずれか
    に記載の弾性表面波フィルタ装置。
  8. 【請求項8】前記双方向性変換器の重み付け電極構造
    を、各電極指の弾性表面波の伝播方向と直交する方向の
    長さが弾性表面波の伝播方向に沿って順次変化するアポ
    タイズ法によって構成したことを特徴とする請求項2か
    ら7のうちのいずれかに記載の弾性表面波フィルタ装
    置。
  9. 【請求項9】前記双方向性変換器の重み付け電極構造
    を、各電極指の弾性表面波の伝播方向と直交する方向の
    長さが一様で、励振強度を変化させることによって重み
    付けを行う間引き法によって構成したことを特徴とする
    請求項2から7のうちのいずれかに記載の弾性表面波フ
    ィルタ装置。
  10. 【請求項10】電気機械結合係数が0.1〜1.5%の
    圧電性基板と、この圧電性基板上に形成され、電気信号
    が外部から入力され、この電気信号を弾性表面波に変換
    する入力側変換器と、前記圧電性基板上に形成され、前
    記入力側変換器で励振された弾性表面波を電気信号に変
    換し、この電気信号を外部に出力する出力側変換器とを
    具え、 前記入力側変換器と出力側変換器のうちの一方を、一方
    向性変換器とし、この一方向性変換器は、λを基本弾性
    表面波の伝播波長とした場合に、λのピッチで周期的に
    形成され、弾性表面波の伝播方向の幅がほぼλ/12の
    複数の電極指を有する正電極と、同様にλのピッチで周
    期的に形成され、弾性表面波の伝播方向の幅がほぼλ/
    12の複数の電極指を有し、各電極指が前記正電極の電
    極指とλ/2の中心間距離を以てそれぞれ位置する負電
    極と、前記正電極の電極指と負電極の電極指との間に配
    置され、弾性表面波の伝播方向の幅がλ/12より大き
    く、かつ、λ/3より小さい複数の電極指を有し、各電
    極指が、これに隣接する正電極の電極指と負電極の電極
    指との間の中間位置からの伝播方向又はこれとは反対の
    方向にλ/12偏位して位置する短絡型浮き電極とを具
    え、 前記入力側変換器と出力側変換器のうちの他方を、弾性
    表面波の伝播軸線の両方向に弾性表面波を励振する双方
    向性電極構造を有する双方向性変換器部分と、弾性表面
    波の伝播軸線の一方向にだけ弾性表面波を励振する一方
    向性電極構造を有する一方向性変換器部分とを具え、こ
    れら双方向性変換器部分と一方向性変換器部分とを、こ
    れら変換器部分の伝播軸線が互いに一致するように一体
    的に結合した変換器とし、 前記一方向性変換器部分は、λを基本弾性表面波の伝播
    波長とした場合に、λのピッチで周期的に形成され、弾
    性表面波の伝播方向の幅がλ/12より大きく、かつ、
    λ/3より小さい複数の電極指を有する正電極と、同様
    にλのピッチで周期的に形成され、弾性表面波の伝播方
    向の幅がλ/12より大きく、かつ、λ/3より小さい
    複数の電極指を有し、各電極指が前記正電極の電極指と
    λ/2の中心間距離を以てそれぞれ位置する負電極と、
    前記正電極の電極指と負電極の電極指との間に配置さ
    れ、弾性表面波の伝播方向の幅がほぼλ/12の複数の
    電極指を有し、各電極指が、隣接する正電極の電極指と
    負電極の電極指との間の中間位置から弾性表面波の伝播
    方向と反対の方向にλ/12偏位して位置する短絡型浮
    き電極とを具えることを特徴とする弾性表面波フィルタ
    装置。
  11. 【請求項11】前記一方向性変換器の短絡型浮き電極の
    電極指の弾性表面波の伝播方向の幅を、λ/8より大き
    く、かつ、λ/3より小さくし、前記変換器の一方向性
    変換器部分の正電極及び負電極の電極指の弾性表面波の
    伝播方向の幅を、λ/8より大きく、かつ、λ/3より
    小さくしたことを特徴とする請求項10記載の弾性表面
    波フィルタ装置。
  12. 【請求項12】前記一方向性変換器の短絡型浮き電極の
    電極指の弾性表面波の伝播方向の幅の総和を、前記変換
    器の一方向性変換器部分の正電極及び負電極の電極指の
    弾性表面波の伝播方向の幅の総和にほぼ等しくしたこと
    を特徴とする請求項10又は11記載の弾性表面波フィ
    ルタ装置。
  13. 【請求項13】電気機械結合係数が0.1〜1.5%の
    圧電性基板と、この圧電性基板上に形成され、電気信号
    が外部から入力され、この電気信号を弾性表面波に変換
    する入力側変換器と、前記圧電性基板上に形成され、前
    記入力側変換器で励振された弾性表面波を電気信号に変
    換し、この電気信号を外部に出力する出力側変換器とを
    具え、 前記入力側変換器と出力側変換器のうちの一方を、一方
    向性変換器とし、この一方向性変換器は、λを基本弾性
    表面波の伝播波長とした場合に、λのピッチで周期的に
    形成され、弾性表面波の伝播方向の幅がλ/12より大
    きく、かつ、λ/3より小さい複数の電極指を有する正
    電極と、同様にλのピッチで周期的に形成され、弾性表
    面波の伝播方向の幅がλ/12より大きく、かつ、λ/
    3より小さい複数の電極指を有し、各電極指が前記正電
    極の電極指とλ/2の中心間距離を以てそれぞれ位置す
    る負電極と、前記正電極の電極指と負電極の電極指との
    間に配置され、弾性表面波の伝播方向の幅がほぼλ/1
    2の複数の電極指を有し、各電極指が、これに隣接する
    正電極の電極指と負電極の電極指との間の中間位置から
    の伝播方向又はこれとは反対の方向にλ/12偏位して
    位置する短絡型浮き電極とを具え、 前記入力側変換器と出力側変換器のうちの他方を、弾性
    表面波の伝播軸線の両方向に弾性表面波を励振する双方
    向性電極構造を有する双方向性変換器部分と、弾性表面
    波の伝播軸線の一方向にだけ弾性表面波を励振する一方
    向性電極構造を有する一方向性変換器部分とを具え、こ
    れら双方向性変換器部分と一方向性変換器部分とを、こ
    れら変換器部分の伝播軸線が互いに一致するように一体
    的に結合した変換器とし、 前記一方向性変換器部分は、λを基本弾性表面波の伝播
    波長とした場合に、λのピッチで周期的に形成され、弾
    性表面波の伝播方向の幅がほぼλ/12の複数の電極指
    を有する正電極と、同様にλのピッチで周期的に形成さ
    れ、弾性表面波の伝播方向の幅がほぼλ/12の小さい
    複数の電極指を有し、各電極指が前記正電極の電極指と
    λ/2の中心間距離を以てそれぞれ位置する負電極と、
    前記正電極の電極指と負電極の電極指との間に配置さ
    れ、弾性表面波の伝播方向の幅がλ/12より大きく、
    かつ、λ/3より小さい複数の電極指を有し、各電極指
    が、隣接する正電極の電極指と負電極の電極指との間の
    中間位置から弾性表面波の伝播方向と反対の方向にλ/
    12偏位して位置する短絡型浮き電極とを具えることを
    特徴とする弾性表面波フィルタ装置。
  14. 【請求項14】前記一方向性変換器の正電極及び負電極
    の弾性表面波の伝播方向の幅を、λ/8より大きく、か
    つ、λ/3より小さくし、前記変換器の一方向性変換器
    部分の短絡型浮き電極の電極指の弾性表面波の伝播方向
    の幅を、λ/8より大きく、かつ、λ/3より小さくし
    たことを特徴とする請求項13記載の弾性表面波フィル
    タ装置。
  15. 【請求項15】前記一方向性変換器の正電極及び負電極
    の電極指の弾性表面波の伝播方向の幅の総和を、前記変
    換器の一方向性変換器部分の短絡型浮き電極の電極指の
    弾性表面波の伝播方向の幅の総和にほぼ等しくしたこと
    を特徴とする請求項13又は14記載の弾性表面波フィ
    ルタ装置。
  16. 【請求項16】前記双方向性変換器部分は、λを基本弾
    性表面波の伝播波長とした場合に、λ/4の中心間距離
    を以て位置し、弾性表面波の伝播方向の幅がλ/8であ
    る2個の電極指の組をλのピッチで周期的に形成した正
    電極と、同様に、λ/4の中心間距離を以て位置し、弾
    性表面波の伝播方向の幅がλ/8である2個の電極指の
    組をλのピッチで周期的に形成され、各電極指の組が、
    前記正電極の隣接する電極指の組とλ/2の中心間距離
    を以てそれぞれ位置する負電極とを具えることを特徴と
    する請求項10から15のうちのいずれかに記載の弾性
    表面波フィルタ装置。
  17. 【請求項17】前記双方向性変換器部分は、各電極指の
    弾性表面波の伝播方向と直交する方向の長さが弾性表面
    波の伝播方向に沿って順次変化するように重み付けさ
    れ、前記一方向性変換器部分は、正規型電極構造を有す
    ることを特徴とする請求項10から16のうちのいずれ
    かに記載の弾性表面波フィルタ装置。
  18. 【請求項18】前記一方向性変換器部分の電極指の弾性
    表面波の伝播方向と直交する方向の長さが、前記双方向
    性変換器部分の電極指の弾性表面波の伝播方向と直交す
    る方向の最大長より長いことを特徴とする請求項10か
    ら17のうちのいずれかに記載の弾性表面波フィルタ装
    置。
  19. 【請求項19】前記圧電性基板を、水晶基板、タンタル
    酸リチウム基板、ほう酸リチウム基板又はランガサイト
    基板としたことを特徴とする請求項1から18のうちの
    いずれかに記載の記載の弾性表面波フィルタ装置。
JP3727798A 1998-02-19 1998-02-19 弾性表面波フィルタ装置 Withdrawn JPH11234080A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3727798A JPH11234080A (ja) 1998-02-19 1998-02-19 弾性表面波フィルタ装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3727798A JPH11234080A (ja) 1998-02-19 1998-02-19 弾性表面波フィルタ装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH11234080A true JPH11234080A (ja) 1999-08-27

Family

ID=12493204

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3727798A Withdrawn JPH11234080A (ja) 1998-02-19 1998-02-19 弾性表面波フィルタ装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH11234080A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001035528A1 (fr) * 1999-11-11 2001-05-17 Mitsubishi Materials Corporation Dispositif a ondes acoustiques de surface
JP2016517190A (ja) * 2012-12-13 2016-06-09 エプコス アクチエンゲゼルシャフトEpcos Ag 平坦化された挿入損失を有する電子音響バンドパスフィルタ

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001035528A1 (fr) * 1999-11-11 2001-05-17 Mitsubishi Materials Corporation Dispositif a ondes acoustiques de surface
US7075390B1 (en) 1999-11-11 2006-07-11 Mitsubishi Materials Corporation Surface acoustic wave device
JP2016517190A (ja) * 2012-12-13 2016-06-09 エプコス アクチエンゲゼルシャフトEpcos Ag 平坦化された挿入損失を有する電子音響バンドパスフィルタ

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5438306A (en) Surface acoustic wave filter device with symmetrical electrode arrangement
JP3695353B2 (ja) トランスバーサル型弾性表面波フィルタ
JP3096102B2 (ja) 弾性表面波フィルタ装置
JP3268179B2 (ja) 弾性表面波変換器及びこの変換器を用いた弾性表面波フィルタ
JPH11234080A (ja) 弾性表面波フィルタ装置
JP3420051B2 (ja) 弾性表面波フィルタ装置及びこれに用いる一方向性変換器
JP3323860B2 (ja) 一方向性変換器及びそれを具える弾性表面波フィルタ装置
JP4457914B2 (ja) 一方向性弾性表面波変換器及びそれを用いた弾性表面波デバイス
JPH10233647A (ja) 弾性表面波フィルタ装置及びこれに用いる変換器
JP3447911B2 (ja) 弾性表面波フィルタ装置及びこれに用いる変換器
JPH11274882A (ja) 弾性表面波フィルタ装置及びこれに用いる一方向性変換器
JP3318553B2 (ja) 弾性表面波フィルタ装置及びこれに用いる一方向性変換器
JP3401397B2 (ja) 弾性表面波フィルタ装置及びこれに用いる変換器
JP2000278075A (ja) 弾性表面波フィルタ装置及びこれに用いる一方向性変換器
JP4548305B2 (ja) 二重モード弾性表面波フィルタ
JP4561337B2 (ja) 一方向性弾性表面波変換器及びそれを用いた弾性表面波デバイス
JPH10233643A (ja) 弾性表面波フィルタ装置及びこれに用いる変換器
JPH11251862A (ja) 弾性表面波フィルタ装置及びこれに用いる双方向性変換器
JP2000252783A (ja) 弾性表面波フィルタ装置及びこれに用いる一方向性変換器
JPH06260873A (ja) 弾性表面波フィルタ装置
JPH06237139A (ja) 弾性表面波フィルタ装置
JPH08213870A (ja) 弾性表面波フィルタ装置及びこれに用いる変換器
JP4506394B2 (ja) 一方向性弾性表面波変換器及びそれを用いた弾性表面波デバイス
JP2001285023A (ja) 弾性表面波フィルタ装置及びこれに用いる変換器
JP4843862B2 (ja) 弾性表面波装置

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20050510