JP3447911B2 - 弾性表面波フィルタ装置及びこれに用いる変換器 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は弾性表面波フィルタ
装置、特に無線ＬＡＮシステムに好適な弾性表面波フィ
ルタ装置に関するものである。さらに、本発明は上記フ
ィルタに好適な変換器に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】静止画像や動画像のような大容量のデー
タを無線で送信する無線ＬＡＮ（ローカルエリアネット
ワーク）システムが、近い将来に構内を中心に10Mbpsの
伝送速度で開始され、公衆においても２０００年以降に
156Mbps の伝送速度で開始される。このような無線ＬＡ
Ｎシステムを実現するに当たり、必要帯域幅が10〜160M
Hzの広帯域の弾性表面波フィルタ装置が必要となる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】このような弾性表面波
フィルタ装置においては、挿入損失の問題が非常に重要
になってくる。弾性表面波フィルタ装置の挿入損失が大
きい場合には、弾性表面波フィルタ装置の後段に接続さ
れた増幅器の利得を上げる必要がある。この際、利得が
大きすぎると弾性表面波フィルタ装置の周波数特性に生
じる歪みが問題となってくる。それに対して、利得が小
さすぎると、増幅器の感度が問題となってくる。したが
って、理想的な弾性表面波フィルタ装置を実現するため
には、挿入損失を改善する必要が更に高まる。

【０００４】本発明の目的は、弾性表面波フィルタ装置
を構成する場合に挿入損失が更に改善された変換器を提
供することである。

【０００５】本発明の他の目的は、入力側変換器とこの
入力側変換器で励振された弾性表面波を変換する出力側
変換器とを具える弾性表面波フィルタ装置において、挿
入損失が更に改善された弾性表面波フィルタ装置を提供
することである。

【０００６】本発明の他の目的は、双方向性変換器の弾
性表面波の伝播軸線の両側に第１及び第２の一方向性変
換器をそれぞれ配置した弾性表面波フィルタ装置におい
て、挿入損失が更に改善された弾性表面波フィルタ装置
を提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明による請求項１記
載の変換器は、弾性表面波フィルタ装置用の変換器であ
って、ニオブ酸リチウム基板と、このニオブ酸リチウム
基板上に形成され、弾性表面波を励振する励振部と、励
振された弾性表面波を反射する反射部とを具え、前記励
振部が、λを基本弾性表面波の伝播波長とした場合に、
λのピッチで周期的に形成された複数の電極指を有する
正電極と、同様にλのピッチで周期的に形成された複数
の電極指を有し、各電極指が前記正電極の電極指とλ／
２の中心間距離を以てそれぞれ位置する負電極と、前記
正電極の電極指と負電極の電極指との間に配置された複
数の電極指を有し、各電極指が、隣接する正電極の電極
指と負電極の電極指との間の中間位置から弾性表面波の
伝播方向又はこれとは反対の方向にλ／１２偏位して位
置する短絡型浮き電極と、前記正電極の電極指又は負電
極の電極指と前記短絡した浮き電極との間の中間位置に
配置された電極指を有する開放型浮き電極とを具え、前
記反射部が、λを基本弾性表面波の伝播波長とした場合
に、前記正電極の電極指のピッチと同一のピッチで周期
的に形成された複数の第１電極指と、前記負電極の電極
指のピッチと同一のピッチで周期的に形成された複数の
第２電極指と、前記短絡型浮き電極の電極指のピッチと
同一のピッチで周期的に形成された複数の第３電極指
と、前記開放型電極の電極指と同一のピッチで周期的に
形成された複数の第４電極とを具え、前記第１電極指及
び第２電極指を、前記正電極と負電極のうちのいずれか
一方に結合したことを特徴とするものである。

【０００８】本発明者が種々の検討を行った結果、弾性
表面波フィルタ装置の挿入損失を改善するためには、 （１）弾性表面波フィルタ装置に用いられる変換器の一
方向性を高める。 （２）変換器から漏れた弾性表面波を有効に反射する。 （３）良好な変換特性が得られる基板を用いる。 ことが有効であることを確認した。

【０００９】まず、（１）を実現するために、励振部
は、λのピッチで周期的に形成された複数の電極指を有
する正電極と、同様にλのピッチで周期的に形成された
複数の電極指を有し、各電極指が正電極の電極指とλ／
２の中心間距離を以てそれぞれ位置する負電極と、正電
極の電極指と負電極の電極指との間に配置された複数の
電極指を有し、各電極指が、隣接する正電極の電極指と
負電極の電極指との間の中間位置から弾性表面波の伝播
方向又はこれとは反対の方向にλ／１２偏位して位置す
る短絡型浮き電極を有する。このような電極配置によ
り、変換器を弾性表面波フィルタ装置で入力側変換器と
して用いる場合、弾性表面波の伝播方向に向かって反射
する、正電極の電極指による反射波、この正電極に隣接
する負電極の電極指による反射波及びこれら正電極の電
極指と負電極の電極指との間に位置する短絡型浮き電極
の電極指による反射波の合成波は、正電極の電極指とこ
れに隣接する負電極の電極指とで励振される励振波に対
してほぼ同相となる。それに対して、弾性表面波の伝播
方向とは逆に反射する、正電極の電極指による反射波、
この正電極に隣接する負電極の電極指による反射波及び
これら正電極の電極指と負電極の電極指との間に位置す
る短絡型浮き電極の電極指による反射波の合成波は、正
電極の電極指とこれに隣接する負電極の電極指とで励振
される励振波に対してほぼ逆相となる。この結果、ほぼ
理想状態の一方向性となる。

【００１０】また、変換器の方向性を更に高めるため
に、正電極の電極指又は負電極の電極指と短絡型浮き電
極との間の中間位置に配置された電極指を有する開放型
浮き電極を配置する。これにより、更に理想的な一方向
性となる。

【００１１】一方、変換器を弾性表面波フィルタ装置で
出力側変換器として用いる場合、同様に考えると、弾性
表面波の伝播方向に向かって反射する、正電極の電極指
による反射波、この正電極に隣接する負電極の電極指に
よる反射波及びこれら正電極の電極指と負電極の電極指
との間に位置する短絡型浮き電極の電極指による反射波
の合成波は、正電極の電極指とこれに隣接する負電極の
電極指とで励振される励振波に対してほぼ逆相となる。
それに対して、弾性表面波の伝播方向とは逆に反射す
る、正電極の電極指による反射波、この正電極に隣接す
る負電極の電極指による反射波及びこれら正電極の電極
指と負電極の電極指との間に位置する短絡型浮き電極の
電極指による反射波の合成波は、正電極の電極指とこれ
に隣接する負電極の電極指とで励振される励振波に対し
てほぼ同相となる。この結果、ほぼ理想状態の一方向性
となる。この場合も、正電極の電極指又は負電極の電極
指と短絡型浮き電極との間の中間位置に配置された電極
指を有する開放型浮き電極を配置することにより、更に
理想的な一方向性となる。

【００１２】次いで、（２）を実現するために、励振さ
れた弾性表面波を反射する反射部を設ける。変換器を弾
性表面波フィルタ装置で入力側変換器として用いる場
合、正電極と負電極のうちのいずれか一方に電気的に結
合した第１及び第２電極指を、正電極の電極指及び負電
極の電極指と同一ピッチで周期的に形成し、それに対し
て第３電極指を、短絡型浮き電極の電極指と同一ピッチ
で周期的に形成している。同様に考えると、このような
電極指配置により、弾性表面波の伝播方向に向かって反
射する、第１及び第２電極指による反射波及びこれら第
１及び第２電極指間に位置する第３電極指による反射波
の合成波は、励振部の正電極の電極指とこれに隣接する
負電極の電極指とで励振される励振波に対してほぼ同相
となる。それに対して、弾性表面波の伝播方向とは逆に
反射する、第１及び第２電極指による反射波及びこれら
第１及び第２電極指間に位置する第３電極指による反射
波の合成波は、励振部の正電極の電極指とこれに隣接す
る負電極の電極指とで励振される励振波に対してほぼ逆
相となる。この結果、一方向性を更に向上させることが
できる。

【００１３】この場合も、反射部の方向性を更に高める
ために、第１電極指又は第２電極指と第３電極指との間
の中間位置に配置された第４電極指により、更に理想的
な一方向性となる。

【００１４】変換器を弾性表面波フィルタ装置で出力側
変換器として用いる場合も同様に考えると、正電極と負
電極のうちのいずれか一方に電気的に結合した第１及び
第２電極指を、正電極の電極指及び負電極の電極指と同
一ピッチで周期的に形成し、それに対して第３電極指
を、短絡型浮き電極の電極指と同一ピッチで形成してい
る。同様に考えると、このような電極指配置により、弾
性表面波の伝播方向に向かって反射する、第１及び第２
電極指による反射波及びこれら第１及び第２電極指間に
位置する第３電極指による反射波の合成波は、励振部の
正電極の電極指とこれに隣接する負電極の電極指とで励
振される励振波に対してほぼ逆相となる。それに対し
て、弾性表面波の伝播方向とは逆に反射する、第１及び
第２電極指による反射波及びこれら第１及び第２電極指
間に位置する第３電極指による反射波の合成波は、励振
部の正電極の電極指とこれに隣接する負電極の電極指と
で励振される励振波に対してほぼ同相となる。この結
果、一方向性を更に向上させることができる。この場合
も、反射部の方向性を更に高めるために、第１電極指又
は第２電極指と第３電極指との間の中間位置に配置され
た第４電極指により、更に理想的な一方向性となる。

【００１５】次いで、（３）を実現するために、圧電性
基板としてニオブ酸リチウム基板を用いる。ニオブ酸リ
チウム基板は、圧電性基板のうちでは比較的大きな電気
機械結合係数を有するので、良好な変換特性が得られる
という利点がある。

【００１６】したがって、本発明による変換器は、上記
（１）〜（３）の要件を満足しているので、弾性表面波
フィルタ装置に用いる場合、挿入損失が一層改善され
る。

【００１７】本発明による請求項２記載の変換器は、前
記ニオブ酸リチウム基板の表面のうち、前記励振部及び
反射部が形成されている表面に二酸化珪素を塗布したこ
とを特徴とするものである。

【００１８】ニオブ酸リチウム基板を用いる場合、温度
が上昇するに従って弾性表面波フィルタ装置の中心周波
数が低下する傾向にある。このような傾向を補償するた
めに、ニオブ酸リチウム基板の表面のうち、励振部及び
反射部が形成されている表面に二酸化珪素を塗布して、
この変換器を用いる弾性表面波フィルタ装置の中心周波
数が温度変化により変動しにくくする。

【００１９】本発明による請求項３記載の弾性表面波フ
ィルタ装置は、ニオブ酸リチウム基板と、このニオブ酸
リチウム基板上に形成した入力側変換器と、この入力側
変換器で励振された弾性表面波を変換する出力側変換器
とを具える弾性表面波フィルタ装置において、前記入力
側変換器及び出力側変換器がそれぞれ、弾性表面波を励
振する励振部と、励振された弾性表面波を反射する反射
部とを具え、前記入力側変換器及び出力側変換器の励振
部が、λを基本弾性表面波の伝播波長とした場合に、λ
のピッチで周期的に形成された複数の電極指を有する正
電極と、同様にλのピッチで周期的に形成された複数の
電極指を有し、各電極指が前記正電極の電極指とλ／２
の中心間距離を以てそれぞれ位置する負電極と、前記正
電極の電極指と負電極の電極指との間に配置された複数
の電極指を有し、各電極指が、隣接する正電極の電極指
と負電極の電極指との間の中間位置から弾性表面波の伝
播方向又はこれとは反対の方向にλ／１２偏位して位置
する短絡型浮き電極と、前記正電極の電極指又は負電極
の電極指と前記短絡した浮き電極との間の中間位置に配
置された電極指を有する開放型浮き電極とを具え、前記
入力側変換器及び出力側変換器の反射部が、λを基本弾
性表面波の伝播波長とした場合に、前記正電極の電極指
のピッチと同一のピッチで周期的に形成された複数の第
１電極指と、前記負電極の電極指のピッチと同一のピッ
チで周期的に形成された複数の第２電極指と、前記短絡
型浮き電極の電極指のピッチと同一のピッチで周期的に
形成された複数の第３電極指と、前記開放型電極の電極
指と同一のピッチで周期的に形成された複数の第４電極
とを具え、前記第１電極指及び第２電極指を、前記正電
極と負電極のうちのいずれか一方に結合したことを特徴
とするものである。

【００２０】上記理由により、このような構成にすると
上記（１）〜（３）の要件を満足するので、弾性表面波
フィルタ装置の挿入損失が一層改善される。

【００２１】本発明による請求項４記載の弾性表面波フ
ィルタ装置は、前記ニオブ酸リチウム基板の表面のう
ち、前記入力側変換器及び出力側変換器が形成されてい
る表面に二酸化珪素を塗布したことを特徴とするもので
ある。

【００２２】上記理由により、弾性表面波フィルタ装置
の中心周波数が温度変化により変動しにくくする。

【００２３】本発明による請求項５記載の弾性表面波フ
ィルタ装置は、ニオブ酸リチウム基板と、このニオブ酸
リチウム基板上に形成した入力側変換器と、この入力側
変換器で励振された弾性表面波を変換する出力側変換器
とを具える弾性表面波フィルタ装置において、前記入力
側変換器及び出力側変換器のうちの一方が弾性表面波を
励振する励振部と、励振された弾性表面波を反射する反
射部とを具え、前記入力側変換器及び出力側変換器のう
ちの一方を双方向性変換器で構成し、前記励振部が、λ
を基本弾性表面波の伝播波長とした場合に、λのピッチ
で周期的に形成された複数の電極指を有する正電極と、
同様にλのピッチで周期的に形成された複数の電極指を
有し、各電極指が前記正電極の電極指とλ／２の中心間
距離を以てそれぞれ位置する負電極と、前記正電極の電
極指と負電極の電極指との間に配置された複数の電極指
を有し、各電極指が、隣接する正電極の電極指と負電極
の電極指との間の中間位置から弾性表面波の伝播方向又
はこれとは反対の方向にλ／１２偏位して位置する短絡
型浮き電極と、前記正電極の電極指又は負電極の電極指
と前記短絡した浮き電極との間の中間位置に配置された
電極指を有する開放型浮き電極とを具え、前記反射部
が、λを基本弾性表面波の伝播波長とした場合に、前記
正電極の電極指のピッチと同一のピッチで周期的に形成
された複数の第１電極指と、前記負電極の電極指のピッ
チと同一のピッチで周期的に形成された複数の第２電極
指と、前記短絡型浮き電極の電極指のピッチと同一のピ
ッチで周期的に形成された複数の第３電極指と、前記開
放型電極の電極指と同一のピッチで周期的に形成された
複数の第４電極とを具え、前記第１電極指及び第２電極
指を、前記正電極と負電極のうちのいずれか一方に結合
したことを特徴とするものである。

【００２４】上記理由により、このような構成にすると
上記（１）〜（３）の要件を満足するので、弾性表面波
フィルタ装置の挿入損失が一層改善される。また、歪み
のない周波数特性を有する双方向性変換器を、一方向性
の反射部及び励振部を有する変換器と組み合わすことに
より、挿入損失、周波数特性及びＴ．Ｔ．Ｅ．減衰レベ
ルについて各変換器が有する固有の欠点が互いに補完さ
れ、この結果優れた特性を有する弾性表面波フィルタ装
置を実現することができる。

【００２５】本発明による請求の範囲６記載の弾性表面
波フィルタ装置は、前記双方向性変換器が、λ／４の中
心間距離を以て配置し、２個の電極指の組を、λのピッ
チで周期的に形成した正電極と、同様にλ／４の中心間
距離を以て配置し、２個の電極指の組をλのピッチで周
期的に形成し、各電極指の組が前記正電極の隣接する電
極指の組とλ／２の中心間距離を以てそれぞれ位置する
負電極とを具えることを特徴とするものである。

【００２６】上記理由により、スプリット型の電極構造
を有する双方向性変換器を組み合わせれば、高い励振効
率が得られるとともに、リップルのない極めて良好な周
波数特性が得られる。

【００２７】本発明による請求項７記載の弾性表面波フ
ィルタ装置は、前記一方向性変換器、励振部及び反射部
を正規型電極構造とし、前記双方向性変換器を、重み付
けした電極構造としたことを特徴とするものである。

【００２８】上記理由により、励振部及び反射部を正規
型の電極構造とし、双方向性変換器に重み付けを行うこ
とにより、リップルのない特性を得ることができる。

【００２９】本発明による請求項８記載の弾性表面波フ
ィルタ装置は、前記双方向性変換器の重み付け電極構造
が、各電極指の弾性表面波の伝播方向と直交する方向の
長さが弾性表面波の伝播方向に沿って順次変化するアポ
タイズ法により構成されていることを特徴とするもので
ある。

【００３０】上記理由により、重み付けの方法としてア
ポタイズ法を用いることによって、位相ずれによるリッ
プルの発生を防止し、リップルのない周波数特性を得る
ことができる。

【００３１】本発明による請求項９記載の弾性表面波フ
ィルタ装置は、前記ニオブ酸リチウム基板の表面のう
ち、前記入力側変換器及び出力側変換器が形成されてい
る表面に二酸化珪素を塗布したことを特徴とするもので
ある。

【００３２】上記理由により、弾性表面波フィルタ装置
の中心周波数が温度変化により変動しにくくする。

【００３３】本発明による請求項１０記載の弾性表面波
フィルタ装置は、ニオブ酸リチウム基板と、このニオブ
酸リチウム基板上に形成された双方向性変換器と、この
双方向性変換器の弾性表面波の伝播軸線の両側にそれぞ
れ配置した第１及び第２の変換器とを具え、前記双方向
性変換器を入力側変換器とした場合に前記第１及び第２
の変換器を出力側変換器とし、前記双方向性変換器を出
力側変換器とした場合に前記第１及び第２の変換器を入
力側変換器とする弾性表面波において、前記第１及び第
２の変換器がそれぞれ、弾性表面波を励振する励振部
と、励振された弾性表面波を反射する反射部とを具え、
前記第１及び第２の変換器の励振部が、λを基本弾性表
面波の伝播波長とした場合に、λのピッチで周期的に形
成された複数の電極指を有する正電極と、同様にλのピ
ッチで周期的に形成された複数の電極指を有し、各電極
指が前記正電極の電極指とλ／２の中心間距離を以てそ
れぞれ位置する負電極と、前記正電極の電極指と負電極
の電極指との間に配置された複数の電極指を有し、各電
極指が、隣接する正電極の電極指と負電極の電極指との
間の中間位置から弾性表面波の伝播方向又はこれとは反
対の方向にλ／１２偏位して位置する短絡型浮き電極
と、前記正電極の電極指又は負電極の電極指と前記短絡
した浮き電極との間の中間位置に配置された電極指を有
する開放型浮き電極とを具え、前記第１及び第２の変換
器の反射部が、λを基本弾性表面波の伝播波長とした場
合に、前記正電極の電極指のピッチと同一のピッチで周
期的に形成された複数の第１電極指と、前記負電極の電
極指のピッチと同一のピッチで周期的に形成された複数
の第２電極指と、前記短絡型浮き電極の電極指のピッチ
と同一のピッチで周期的に形成された複数の第３電極指
と、前記開放型電極の電極指と同一のピッチで周期的に
形成された複数の第４電極とを具え、前記第１電極指及
び第２電極指を、前記正電極と負電極のうちのいずれか
一方に結合したことを特徴とするものである。

【００３４】上記理由により、このような構成にすると
上記（１）〜（３）の要件を満足するので、弾性表面波
フィルタ装置の挿入損失が一層改善される。また、歪み
のない周波数特性を有する双方向性変換器を、一方向性
の反射部及び励振部を有する変換器と組み合わすことに
より、挿入損失、周波数特性及びＴ．Ｔ．Ｅ．減衰レベ
ルについて各変換器が有する固有の欠点が互いに補完さ
れ、この結果優れた特性を有する弾性表面波フィルタ装
置を実現することができる。

【００３５】本発明による請求項１１記載の弾性表面波
フィルタ装置は、前記双方向性変換器が、λ／４の中心
間距離を以て配置し、２個の電極指の組を、λをピッチ
で周期的に形成した正電極と、同様にλ／４の中心間距
離を以て位置し、２個の電極指の組をλのピッチで周期
的に形成され、各電極指の組が前記正電極の隣接する電
極指の組とλ／２の中心間距離を以てそれぞれ位置する
負電極とを具えることを特徴とするものである。

【００３６】上記理由により、スプリット型の電極構造
を有する双方向性変換器を組み合わせれば、高い励振効
率が得られるとともに、リップルのない極めて良好な周
波数特性が得られる。

【００３７】本発明による請求項１２記載の弾性表面波
フィルタ装置は、前記励振部及び反射部を正規型電極構
造とし、前記双方向性変換器を、重み付けした電極構造
としたことを特徴とするものである。

【００３８】上記理由により、励振部及び反射部を正規
型の電極構造とするとともに、双方向性変換器に重み付
けを行うことにより、リップルのない特性を得ることが
できる。

【００３９】本発明による請求項１３記載の弾性表面波
フィルタ装置は、前記双方向性変換器の重み付け電極構
造が、各電極指の弾性表面波の伝播方向と直交する方向
の長さが弾性表面波の伝播方向に沿って順次変化するア
ポタイズ法により構成されていることを特徴とするもの
である。

【００４０】上記理由により、重み付けの方法としてア
ポタイズ法を用いることによって、位相ずれによるリッ
プルの発生を防止し、リップルのない周波数特性を得る
ことができる。

【００４１】本発明による請求項１４記載の弾性表面波
フィルタ装置は、前記ニオブ酸リチウム基板の表面のう
ち、前記第１及び第２の変換器並びに双方向性変換器が
形成されている表面に二酸化珪素を塗布したことを特徴
とするものである。

【００４２】上記理由により、弾性表面波フィルタ装置
の中心周波数が温度変化により変動しにくくする。

【００４３】

【発明の実施の形態】本発明による弾性表面波フィルタ
装置及びこれに用いる変換器の実施の形態を、図面を参
照して詳細に説明する。図１は、本発明による変換器の
第１の実施の形態を示す図である。本形態では、圧電性
基板として矩形のニオブ酸リチウム基板１を用いる。ニ
オブ酸リチウム基板は、圧電性基板のうちでは比較的大
きな電気機械結合係数を有するので、良好な変換特性が
得られるという利点がある。このニオブ酸リチウム基板
１の表面上に、弾性表面波を励振する励振部２と、励振
部された弾性表面波を反射する反射部３とを形成する。
さらに、これら励振部２及び反射部３が形成されている
表面上に二酸化珪素のコーティング４を施す。この変換
器を入力側変換器として用いる場合には、弾性表面波は
図において左から右に伝播し、出力側変換器として用い
る場合には、弾性表面波は図において右から左に伝播す
る。

【００４４】励振部２は、一方向性変換器の構成を有
し、正電極５及び負電極６と、これら正電極５の電極指
７（図１Ａでは、一つの電極指のみに符号を付すものと
する。）及び負電極７の電極指８（図１Ａでは、一つの
電極指のみに符号を付すものとする。）との間に配置し
た短絡型浮き電極９及び開放型浮き電極１０とで構成す
る。本形態では、これら正電極５の電極指７、負電極６
の電極指８、短絡型浮き電極９の電極指１１及び開放型
浮き電極１０の電極指１２の弾性表面波の伝播方向にお
ける電極指の幅を、λ／１２に設定する。ここで、λを
基本弾性表面波の伝播波長とする。正電極５の各電極指
７及び負電極６の各電極指８をそれぞれλのピッチで周
期的に形成し、正電極５の電極指７とこれに隣接する負
電極６の電極指８との間の中心間距離をλ／２に設定す
る。また、短絡型浮き電極９の電極指１１（図１Ａで
は、一つの電極指のみに符号を付すものとする。）を、
それに隣接する正電極５の電極指７と負電極６の電極指
８との間の中間位置から、弾性表面波の伝播方向（この
変換器を出力側変換器として用いる場合）又はそれとは
反対の方向（この変換器を入力側変換器として用いる場
合）にλ／１２だけ偏位するように配置するとともに、
開放型浮き電極１０の電極指１２を、正電極５の電極指
７又は負電極６の電極指８と短絡型浮き電極９の電極指
１１との間の中間位置に配置する。このような配置によ
り、更に理想的な一方向性となる。本形態では、励振部
２の対数を１５０対に設定するが、この対数を、要求さ
れるフィルタ特性に応じて適宜最適条件に設定すること
ができる。

【００４５】反射部３は、負電極６に電気的に結合した
複数の電極指１３（図１Ａでは、一つの電極指のみに符
号を付すものとする。）と、これら複数の電極指１３の
間に配置した浮き電極１４及び１５とで構成する。これ
ら電極指１３並びに浮き電極１４及び１５の電極指１６
及び１７（図１Ａでは、一つの電極指のみに符号を付す
ものとする。）の弾性表面波の伝播方向における電極指
の幅を、励振部２の場合と同様にλ／１２に設定する。
電極指１３をそれぞれλ／２のピッチで周期的に形成
し、浮き電極１５の電極指１７（図１Ａでは、一つの電
極指のみに符号を付すものとする。）を、それに隣接す
る電極指１３間の中間位置から、弾性表面波の伝播方向
（この変換器を出力側変換器として用いる場合）又はそ
れとは反対の方向（この変換器を入力側変換器として用
いる場合）にλ／１２だけ偏位するように配置するとと
もに、浮き電極１４の電極指１６を、電極指１３と浮き
電極１５の電極指１７との間の中間位置に配置する。こ
のような配置により、更に理想的な一方向性となり挿入
損失を小さくしている。本形態では、反射部３の電極指
の数を、３００本に設定するが、この数を、要求される
フィルタ特性に応じて適宜最適条件に設定することがで
きる。

【００４６】この変換器を入力側変換器として用いた場
合、濾波されるべき信号が端子１８及び１９に入力され
ると、励振部２で励振された弾性表面波はほとんど一方
向に、すなわち、この変換器と同一又はこれ以外の他の
変換器によって構成された出力側変換器の方向（図１Ａ
において、左から右）に伝播される。

【００４７】この変換器を出力側変換器として用いた場
合、この変換器と同一又はこれ以外の他の変換器によっ
て構成された入力側変換器から伝播（図１Ａにおいて、
右から左）された弾性表面波が励振部２で電気信号に変
換され、端子１８及び１９から濾波された信号が出力さ
れる。

【００４８】本実施の形態の動作を説明する。この変換
器を弾性表面波フィルタ装置の入力側変換器として用い
る場合、励振部２では、弾性表面波の伝播方向（図１の
左から右）に向かって反射する、正電極５の電極指７に
よる反射波、この正電極５の電極指７に隣接する負電極
６の電極指８による反射波及びこれら正電極５の電極指
７と負電極６の電極指８との間に位置する短絡型浮き電
極９の電極指１１による反射波の合成波は、正電極５の
電極指７とこれに隣接する負電極６の電極指８とで励振
される励振波に対してほぼ同相となる。それに対して、
弾性表面波の伝播方向とは逆に反射する、正電極５の電
極指７による反射波、この正電極５の電極指７に隣接す
る負電極６の電極指８による反射波及びこれら正電極５
の電極指７と負電極６の電極指８との間に位置する短絡
型浮き電極９の電極指１１による反射波の合成波は、正
電極５の電極指７とこれに隣接する負電極６の電極指８
とで励振される励振波に対してほぼ逆相となる。この結
果、ほぼ理想状態の一方向性となる。

【００４９】また、変換器の方向性を更に高めるため
に、正電極５の電極指７又は負電極６の電極指８と短絡
浮き電極９との間の中間位置に配置された開放型浮き電
極１０の電極指１２により、更に理想的な一方向性とな
る。

【００５０】反射部３では、弾性表面波の伝播方向に向
かって反射する、負電極６に電気的に結合した電極指１
３による反射波及びこれら電極指１３間に位置する浮き
電極１５の電極指１７による反射波の合成波は、励振部
２の正電極５の電極指７とこれに隣接する負電極６の電
極指８とで励振される励振波に対してほぼ同相となる。
それに対して、弾性表面波の伝播方向とは逆に反射す
る、負電極６に電気的に結合した電極指１３による反射
波及びこれら電極指１３間に位置する浮き電極１５の電
極指１７による反射波の合成波は、励振部２の正電極５
の電極指７とこれに隣接する負電極６の電極指８とで励
振される励振波に対してほぼ逆相となる。この結果、一
方向性を更に向上させることができる。

【００５１】この場合も、反射部の方向性を更に高める
ために、電極指１３と浮き電極１５の電極指１７との間
の中間位置に配置された浮き電極１４の電極指１６によ
り、更に理想的な一方向性となる。

【００５２】この変換器を弾性表面波フィルタ装置の出
力側変換器として用いる場合、励振部２では、弾性表面
波の伝播方向（図１の右から左）に向かって反射する、
正電極５の電極指７による反射波、この正電極５の電極
指７に隣接する負電極６の電極指８による反射波及びこ
れら正電極５の電極指７と負電極６の電極指８との間に
位置する短絡型浮き電極９の電極指１０による反射波の
合成波は、正電極５の電極指７とこれに隣接する負電極
６の電極指８とで励振される励振波に対してほぼ逆相と
なる。それに対して、弾性表面波の伝播方向とは逆に反
射する、正電極５の電極指７による反射波、この正電極
５の電極指７に隣接する負電極６の電極指８による反射
波及びこれら正電極５の電極指７と負電極６の電極指８
との間に位置する短絡型浮き電極９の電極指１０による
反射波の合成波は、正電極５の電極指７とこれに隣接す
る負電極６の電極指８とで励振される励振波に対してほ
ぼ同相となる。この結果、ほぼ理想状態の一方向性とな
る。この場合も、正電極５の電極指７又は負電極６の電
極指８と短絡型浮き電極９の電極指１１との間の中間位
置に配置された開放型浮き電極１２を配置することによ
り、更に理想的な一方向性となる。

【００５３】反射部３では、弾性表面波の伝播方向に向
かって反射する、負電極６に電気的に結合した電極指１
３による反射波及びこれら電極指１３間に位置する浮き
電極１５の電極指１７による反射波の合成波は、励振部
２の正電極５の電極指７とこれに隣接する負電極６の電
極指８とで励振される励振波に対してほぼ逆相となる。
それに対して、弾性表面波の伝播方向とは逆に反射す
る、負電極６に電気的に結合した電極指１３による反射
波及びこれら電極指１３間に位置する浮き電極１５の電
極指１７による反射波の合成波は、励振部２の正電極５
の電極指７とこれに隣接する負電極６の電極指８とで励
振される励振波に対してほぼ同相となる。この結果、一
方向性を更に向上させることができる。この場合も、反
射部の方向性を更に高めるために、電極指１３と浮き電
極１５の電極指１７との間の中間位置に配置された浮き
電極１４の電極指１６により、更に理想的な一方向性と
なる。

【００５４】したがって、本実施の形態では、このよう
な励振部２及び反射部３の配置並びに良好な変換特性が
得られるニオブ酸リチウム基板を用いることにより、反
射波の位相変化もなく、挿入損失が一層改善される。ま
た、二酸化珪素のコーティング４を設けたために、この
変換器を用いる弾性表面波フィルタ装置の中心周波数が
温度変化により変動しにくくする。

【００５５】図２は、本発明による変換器の第２の実施
の形態を示す図である。本形態でも、圧電性基板として
矩形のニオブ酸リチウム基板２１を用いる。このニオブ
酸リチウム基板２１の表面上に、弾性表面波を励振する
励振部２２と、この励振部２２から漏れた弾性表面波を
反射する反射部２３とを形成する。さらに、これら励振
部２２及び反射部２３が形成されている表面上に二酸化
珪素のコーティング（図示せず）を施す。この変換器を
入力側変換器として用いる場合には、弾性表面波は図に
おいて右から左に伝播し、出力側変換器として用いる場
合には、弾性表面波は図において左から右に伝播する。

【００５６】励振部２２は、一方向性変換器の構成を有
し、正電極２４及び負電極２５と、これら正電極２４の
電極指２６（図２では、一つの電極指のみに符号を付す
ものとする。）及び負電極２５の電極指２７（図２で
は、一つの電極指のみに符号を付すものとする。）との
間に配置した短絡型浮き電極２８及び開放型浮き電極２
９とで構成する。本形態でも、これら正電極２４の電極
指２６、負電極２５の電極指２７、短絡型浮き電極２８
の電極指３０及び開放型浮き電極２９の電極指３１の弾
性表面波の伝播方向における電極指の幅を、λ／１２に
設定する。ここで、λを基本弾性表面波の伝播波長とす
る。正電極２４の各電極指２６及び負電極２５の各電極
指２７をそれぞれλのピッチで周期的に形成し、正電極
２４の電極指２６とこれに隣接する負電極２５の電極指
２６との間の中心間距離をλ／２に設定する。また、短
絡型浮き電極２８の電極指３０（図２では、一つの電極
指のみに符号を付すものとする。）を、それに隣接する
正電極２４の電極指２６と負電極２５の電極指２７との
間の中間位置から、弾性表面波の伝播方向（この変換器
を入力側変換器として用いる場合）又はそれとは反対の
方向（この変換器を出力側変換器として用いる場合）に
λ／１２だけ偏位するように配置するとともに、開放型
浮き電極２９の電極指３１を、正電極２４の電極指２６
又は負電極２６の電極指２７と短絡型浮き電極２８の電
極指３０との間の中間位置に配置する。このような配置
により、更に理想的な一方向性となり挿入損失を小さく
している。本形態でも、励振部２２の電極の対数を１５
０対に設定するが、この対数を、要求されるフィルタ特
性に応じて適宜最適条件に設定することができる。

【００５７】反射部２３は、正電極２４に電気的に結合
した複数の電極指３２（図１では、一つの電極指のみに
符号を付すものとする。）と、これら複数の電極指３２
の間に配置した浮き電極３３及び３４とで構成する。こ
れら電極指３２並びに浮き電極３３及び３４の電極指３
５及び３６（図２では、それぞれ一つの電極指のみに符
号を付すものとする。）の弾性表面波の伝播方向におけ
る電極指の幅を、励振部の場合と同様にλ／１２に設定
する。電極指３２をそれぞれλ／２のピッチで周期的に
形成し、浮き電極３４の電極指３６（図２では、それぞ
れ一つの電極指のみに符号を付すものとする。）を、そ
れに隣接する電極指３２間の中間位置から、弾性表面波
の伝播方向（この変換器を入力側変換器として用いる場
合）又はそれとは反対の方向（この変換器を出力側変換
器として用いる場合）にλ／１２だけ偏位するように配
置するとともに、浮き電極３３の電極指３５を、電極指
３２と浮き電極３４の電極指３６との間の中間位置に配
置する。このような配置により、更に理想的な一方向性
となり挿入損失を小さくしている。本形態では、反射部
２３の電極指の数を３００本に設定するが、この数を、
要求されるフィルタ特性に応じて適宜最適条件に設定す
ることができる。

【００５８】この変換器を入力側変換器として用いた場
合、濾波されるべき信号が端子３７及び３８に入力され
ると、励振部２２で励振された弾性表面波はほとんど一
方向に、すなわち、この変換器と同一又はこれ以外の他
の変換器によって構成された出力側変換器の方向（図２
において、左から右）に伝播される。

【００５９】この変換器を出力側変換器として用いた場
合、この変換器と同一又はこれ以外の他の変換器によっ
て構成された入力側変換器から伝播（図２において、右
から左）された弾性表面波が励振部２２で電気信号に変
換され、端子３７及び３８から濾波された信号が出力さ
れる。

【００６０】本実施の形態でも、このような励振部２２
及び反射部２３の配置並びに良好な変換特性が得られる
ニオブ酸リチウム基板２１を用いることにより、反射波
の位相変化もなく、挿入損失が一層改善される。また、
二酸化珪素のコーティングを設けたために、この変換器
を用いる弾性表面波フィルタ装置の中心周波数が温度変
化により変動しにくくする。

【００６１】図３は、本発明による弾性表面波フィルタ
装置の第１の実施の形態を示す図である。本実施の形態
でも、圧電性基板として矩形のニオブ酸リチウム基板４
１を用いる。この水晶基板４１の表面上に入力側変換器
４２と、シールド電極４３と、出力側変換器４４とを弾
性表面波の伝播軸線方向に沿って形成する。さらに、こ
れら入力側変換器４２、シールド電極４３及び出力側変
換器４４が形成されている表面上に二酸化珪素のコーテ
ィング（図示せず）を施す。入力側変換器４２を、図１
の変換器と同一のものとし、出力側変換器４４を、この
出力側変換器４４と入力側変換器４２とがシールド電極
４３に対して線対称となるような構造の変換器とする。

【００６２】本実施の形態でも、入力側変換器４２及び
出力側変換器４４の励振部及び反射部の配置並びに良好
な変換特性が得られるニオブ酸リチウム基板４１を用い
ることにより、反射波の位相変化もなく、挿入損失が一
層改善される。また、二酸化珪素のコーティングを設け
たために、この変換器を用いる弾性表面波フィルタ装置
の中心周波数が温度変化により変動しにくくする。

【００６３】図４は、本発明による弾性表面波フィルタ
装置の第２の実施の形態を示す図である。本実施の形態
でも、圧電性基板として矩形のニオブ酸リチウム基板５
１を用いる。このニオブ酸リチウム基板５１の表面上に
入力側変換器５２と、シールド電極５３と、出力側変換
器５４とを弾性表面波の伝播軸線方向に沿って形成す
る。さらに、これら入力側変換器５２、シールド電極５
３及び出力側変換器５４が形成されている表面上に二酸
化珪素のコーティング（図示せず）を施す。入力側変換
器５２を、図２の変換器と同一のものとし、出力側変換
器５４を、この出力側変換器５４と入力側変換器５２と
がシールド電極５３に対して線対称となるような構造の
変換器とする。

【００６４】本実施の形態でも、入力側変換器５２及び
出力側変換器５４の励振部及び反射部の配置並びに良好
な変換特性が得られるニオブ酸リチウム基板５１を用い
ることにより、反射波の位相変化もなく、挿入損失が一
層改善される。また、二酸化珪素のコーティングを設け
たために、この変換器を用いる弾性表面波フィルタ装置
の中心周波数が温度変化により変動しにくくする。

【００６５】図５は、本発明による弾性表面波フィルタ
装置の第３の実施の形態を示す図である。本実施の形態
でも、圧電性基板として矩形のニオブ酸リチウム基板６
１を用いる。このニオブ酸リチウム基板６１の表面上に
入力側変換器６２と、シールド電極６３と、出力側変換
器６４とを弾性表面波の伝播軸線方向に沿って形成す
る。さらに、これら入力側変換器６２、シールド電極６
３及び出力側変換器６４が形成されている表面上に二酸
化珪素のコーティング（図示せず）を施す。

【００６６】入力側変換器６２は、一方向性変換器の構
成を有し、正電極６５及び負電極６６と、これら正電極
６５の電極指６７（図５では、一つの電極指のみに符号
を付すものとする。）及び負電極６６の電極指６８（図
５では、一つの電極指のみに符号を付すものとする。）
との間に配置した短絡型浮き電極６９及び開放型浮き電
極７０とで構成する。本形態では、これら正電極６５の
電極指６７、負電極６６の電極指６８、短絡型浮き電極
６９の電極指７１及び開放型浮き電極７０の電極指７２
の弾性表面波の伝播方向における電極指の幅を、λ／１
２に設定する。ここで、λを基本弾性表面波の伝播波長
とする。正電極６５の各電極指６７及び負電極６６の各
電極指６８をそれぞれλのピッチで周期的に形成し、正
電極５の電極指とこれに隣接する負電極６６の電極指６
７との間の中心間距離をλ／２に設定する。また、短絡
型浮き電極６９の電極指７１（図５では、一つの電極指
のみに符号を付すものとする。）を、それに隣接する正
電極６５の電極指６７と負電極６６の電極指６８との間
の中間位置から、弾性表面波の伝播方向（この変換器を
入力側変換器として用いる場合）又はそれとは反対の方
向（この変換器を出力側変換器として用いる場合）にλ
／１２だけ偏位するように配置するとともに、開放型浮
き電極７０の電極指７２を、正電極６５の電極指６７又
は負電極６６の電極指６８と短絡型浮き電極６９の電極
指７１との間の中間位置に配置する。このような配置に
より、更に理想的な一方向性となる。本形態では、入力
側変換器６２のの対数を１５０対に設定するが、この対
数を、要求されるフィルタ特性に応じて適宜最適条件に
設定することができる。

【００６７】出力側変換器６４は、正電極７３及び負電
極６４をλ／４の中心間距離を以て配置した二つの電極
指の組をλのピッチで周期的に複数形成したスプリット
電極構造の双方向性変換器で構成し、正電極７３の各電
極指の組が負電極７４の各電極指の組とλ／２の中心間
距離を以てそれぞれ位置するように設定する。本実施の
形態では、これら正電極７３及び負電極７４の電極指の
幅をλ／８に設定する。このように構成することによ
り、互いに隣接する電極指間の間隔が全てλ／８に設定
されることになる。本形態では、出力側変換器６４の電
極の対数を３００対にする。

【００６８】また、出力側変換器６４にはアポタイズ法
による重み付けが行われており、正電極７３の電極指と
負電極７４の電極指との交叉幅すなわち開口長を弾性表
面波の伝播方向に沿って変化させている。

【００６９】本実施の形態でも、入力側変換器６２及び
出力側変換器６４の励振部の配置及び良好な変換特性が
得られるニオブ酸リチウム基板６１を用いることによ
り、挿入損失が一層改善される。また、二酸化珪素のコ
ーティングを設けたために、この変換器を用いる弾性表
面波フィルタ装置の中心周波数が温度変化により変動し
にくくする。さらに、一方向性変換器と双方向性変換器
とを組み合わせた弾性表面波フィルタ装置となるので、
挿入損失、周波数特性及びＴ．Ｔ．Ｅ．減衰レベルにつ
いて各変換器が有する固有の欠点が互いに補完され、こ
の結果優れた特性を有する弾性表面波フィルタ装置を実
現することができる。

【００７０】図６は、本発明による弾性表面波フィルタ
装置の第４の実施の形態を示す図である。本実施の形態
では、本実施の形態でも、圧電性基板として矩形のニオ
ブ酸リチウム基板８１を用いる。このニオブ酸リチウム
基板８１の表面上に入力側変換器８２と、シールド電極
８３と、出力側変換器８４とを弾性表面波の伝播軸線方
向に沿って形成する。さらに、これら入力側変換器８
２、シールド電極８３及び出力側変換器８４が形成され
ている表面上に二酸化珪素のコーティング（図示せず）
を施す。入力側変換器８２を、図１の変換器と同一の構
成のものとし、出力側変換器８４を、図５の出力側変換
器６４と同一の構成のものとする。

【００７１】本実施の形態でも、入力側変換器８２及び
出力側変換器８４の励振部及び反射部の配置及び良好な
変換特性が得られるニオブ酸リチウム基板８１を用いる
ことにより、反射波の位相変化もなく、挿入損失が一層
改善される。また、二酸化珪素のコーティングを設けた
ために、この変換器を用いる弾性表面波フィルタ装置の
中心周波数が温度変化により変動しにくくする。さら
に、挿入損失、周波数特性及びＴ．Ｔ．Ｅ．減衰レベル
について各変換器が有する固有の欠点が互いに補完さ
れ、この結果優れた特性を有する弾性表面波フィルタ装
置を実現することができる。

【００７２】図７は、本発明による弾性表面波フィルタ
装置の第５の実施の形態を示す図である。本実施の形態
では、本実施の形態でも、圧電性基板として矩形のニオ
ブ酸リチウム基板９１を用いる。このニオブ酸リチウム
基板９１の表面上に入力側変換器９２と、シールド電極
９３と、出力側変換器９４とを弾性表面波の伝播軸線方
向に沿って形成する。さらに、これら入力側変換器９
２、シールド電極９３及び出力側変換器９４が形成され
ている表面上に二酸化珪素のコーティング（図示せず）
を施す。入力側変換器９２を、図２の変換器と同一の構
成のものとし、出力側変換器９４を、図５の出力側変換
器６４と同一の構成のものとする。

【００７３】本実施の形態でも、入力側変換器９２及び
出力側変換器９４の励振部及び反射部の配置及び良好な
変換特性が得られるニオブ酸リチウム基板９１を用いる
ことにより、反射波の位相変化もなく、挿入損失が一層
改善される。また、二酸化珪素のコーティングを設けた
ために、この変換器を用いる弾性表面波フィルタ装置の
中心周波数が温度変化により変動しにくくする。さら
に、挿入損失、周波数特性及びＴ．Ｔ．Ｅ．減衰レベル
について各変換器が有する固有の欠点が互いに補完さ
れ、この結果優れた特性を有する弾性表面波フィルタ装
置を実現することができる。

【００７４】図８は、本発明による弾性表面波フィルタ
装置の第６の実施の形態を示す図である。本実施の形態
では、本実施の形態でも、圧電性基板として矩形のニオ
ブ酸リチウム基板１０１を用いる。ニオブ酸リチウム基
板１０１の中央部に入力側変換器１０２を配置し、その
両側に第１及び第２の出力側変換器１０３及び１０４を
それぞれ配置する。さらに、これら入力側変換器１０２
並びに第１及び第２の出力側変換器１０３及び１０４が
形成されている表面上に二酸化珪素のコーティング（図
示せず）を施す。入力側変換器１０２を、図５の出力側
変換器６４と同一の構成で正電極と負電極とを逆にした
ものとし、第１の出力側変換器１０３を、図１の変換器
と同一の構成で正電極と負電極とを逆にしたものとし、
第２の出力側変換器１０４を、図３の出力側変換器４４
と同一の構成とする。

【００７５】本実施の形態のように双方向性変換器の弾
性表面波の伝播軸線の両側に第１及び第２の一方向性変
換器をそれぞれ配置した弾性表面波フィルタ装置の場合
でも、第１及び第２のの出力側変換器１０３及び１０４
の励振部及び反射部の配置及び良好な変換特性が得られ
るニオブ酸リチウム基板１０１を用いることにより、反
射波の位相変化もなく、挿入損失が一層改善される。ま
た、二酸化珪素のコーティングを設けたために、この変
換器を用いる弾性表面波フィルタ装置の中心周波数が温
度変化により変動しにくくする。さらに、挿入損失、周
波数特性及びＴ．Ｔ．Ｅ．減衰レベルについて各変換器
が有する固有の欠点が互いに補完され、この結果優れた
特性を有する弾性表面波フィルタ装置を実現することが
できる。

【００７６】図９は、本発明による弾性表面波フィルタ
装置の第７の実施の形態を示す図である。本実施の形態
では、本実施の形態でも、圧電性基板として矩形のニオ
ブ酸リチウム基板１１１を用いる。ニオブ酸リチウム基
板１１１の中央部に入力側変換器１１２を配置し、その
両側に第１及び第２の出力側変換器１１３及び１１４を
それぞれ配置する。さらに、これら入力側変換器１１２
並びに第１及び第２の出力側変換器１１３及び１１４が
形成されている表面上に二酸化珪素のコーティング（図
示せず）を施す。入力側変換器１１２を、図５の出力側
変換器６４と同一の構成で正電極と負電極とを逆にした
ものとし、第１の出力側変換器１１３を、図２の変換器
と同一の構成で正電極と負電極とを逆にしたものとし、
第２の出力側変換器１１４を、図４の出力側変換器５４
と同一の構成とする。

【００７７】本実施の形態の場合でも、第１及び第２の
の出力側変換器１１３及び１１４の励振部及び反射部の
配置及び良好な変換特性が得られるニオブ酸リチウム基
板１１１を用いることにより、反射波の位相変化もな
く、挿入損失が一層改善される。また、二酸化珪素のコ
ーティングを設けたために、この変換器を用いる弾性表
面波フィルタ装置の中心周波数が温度変化により変動し
にくくする。さらに、挿入損失、周波数特性及びＴ．
Ｔ．Ｅ．減衰レベルについて各変換器が有する固有の欠
点が互いに補完され、この結果優れた特性を有する弾性
表面波フィルタ装置を実現することができる。

【００７８】図１０は、本発明による弾性表面波フィル
タ装置の第８の実施の形態を示す図である。本実施の形
態では、本実施の形態でも、圧電性基板として矩形のニ
オブ酸リチウム基板１２１を用いる。ニオブ酸リチウム
基板１２１の中央部に入力側変換器１２２を配置し、そ
の両側に第１及び第２の出力側変換器１２３及び１２４
をそれぞれ配置する。さらに、これら入力側変換器１２
２並びに第１及び第２の出力側変換器１２３及び１２４
が形成されている表面上に二酸化珪素のコーティング
（図示せず）を施す。入力側変換器１２２を、図５の出
力側変換器６４と同一の構成で正電極と負電極とを逆に
したものとし、第１の出力側変換器１２３を、図５の入
力側変換器６２と同一の構成で正電極と負電極とを逆に
したものとし、第２の出力側変換器１１４を、この第１
の出力側変換器１１４と第２の出力側変換器とが入力側
変換器１２２に対して対称となるような構造の変換器と
する。

【００７９】本実施の形態の場合でも、第１及び第２の
の出力側変換器１２３及び１２４の配置及び良好な変換
特性が得られるニオブ酸リチウム基板１１１を用いるこ
とにより、挿入損失が一層改善される。また、二酸化珪
素のコーティングを設けたために、この変換器を用いる
弾性表面波フィルタ装置の中心周波数が温度変化により
変動しにくくする。さらに、挿入損失、周波数特性及び
Ｔ．Ｔ．Ｅ．減衰レベルについて各変換器が有する固有
の欠点が互いに補完され、この結果優れた特性を有する
弾性表面波フィルタ装置を実現することができる。

【００８０】本発明は、上記実施の形態に限定されるも
のではなく、幾多の変更及び変形が可能である。例え
ば、また、上記弾性表面波フィルタ装置の第１〜８の実
施の形態において、入力側変換器を出力側変換器として
用いるとともに、出力側変換器を入力側変換器として用
いることもできる。さらに、上記変換器の第１及び第２
の実施の形態並びに上記弾性表面波フィルタ装置の第１
〜第４の実施の形態において、正電極を負電極として用
いるとともに負電極を正電極として用いることもでき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による変換器の第１の実施の形態を示す
図である。

【図２】本発明による変換器の第２の実施の形態を示す
図である。

【図３】本発明による弾性表面波フィルタ装置の第１の
実施の形態を示す図である。

【図４】本発明による弾性表面波フィルタ装置の第２の
実施の形態を示す図である。

【図５】本発明による弾性表面波フィルタ装置の第３の
実施の形態を示す図である。

【図６】本発明による弾性表面波フィルタ装置の第４の
実施の形態を示す図である。

【図７】本発明による弾性表面波フィルタ装置の第５の
実施の形態を示す図である。

【図８】本発明による弾性表面波フィルタ装置の第６の
実施の形態を示す図である。

【図９】本発明による弾性表面波フィルタ装置の第７の
実施の形態を示す図である。

【図１０】本発明による弾性表面波フィルタ装置の第８
の実施の形態を示す図である。

【符号の説明】

１，２１，４１，５１，６１，８１，９１，１０１，１
１１，１２１ ニオブ酸リチウム基板 ２，２２ 励振
部 ３，２３ 反射部 ４ コーティング ５，２５，
６５，７３ 正電極 ６，２６，６６，７４ 負電極
７，８，１１，１２，１３，１６，１７，２７，３０，
３１，３２，３５，３６，６７，６８，７１，７２ 電
極指 ９，２８，６９ 短絡型浮き電極 １０，２９，
７０ 開放型浮き電極 １４，１５，３３，３４ 浮き
電極 １８，１９，３７，３８端子 ４２，５２，６
２，８２，９２，１０２，１１２，１２２ 入力側変換
器明４３，５３，６３，８３，９３ シールド電極 ４
４，５４，６４，８４，９４，１０３，１０４，１１
３，１１４，１２３，１２４ 出力側変換器

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平９−18272（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−133209（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−116231（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−15274（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H03H 9/145 H03H 9/25 H03H 9/64

Claims (14)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】弾性表面波フィルタ装置用の変換器であっ
   て、ニオブ酸リチウム基板と、このニオブ酸リチウム基
   板上に形成され、弾性表面波を励振する励振部と、励振
   された弾性表面波を反射する反射部とを具え、 前記励振部が、λを基本弾性表面波の伝播波長とした場
   合に、λのピッチで周期的に形成された複数の電極指を
   有する正電極と、同様にλのピッチで周期的に形成され
   た複数の電極指を有し、各電極指が前記正電極の電極指
   とλ／２の中心間距離を以てそれぞれ位置する負電極
   と、前記正電極の電極指と負電極の電極指との間に配置
   された複数の電極指を有し、各電極指が、隣接する正電
   極の電極指と負電極の電極指との間の中間位置から弾性
   表面波の伝播方向又はこれとは反対の方向にλ／１２偏
   位して位置する短絡型浮き電極と、前記正電極の電極指
   又は負電極の電極指と前記短絡した浮き電極との間の中
   間位置に配置された電極指を有する開放型浮き電極とを
   具え、 前記反射部が、λを基本弾性表面波の伝播波長とした場
   合に、前記正電極の電極指のピッチと同一のピッチで周
   期的に形成された複数の第１電極指と、前記負電極の電
   極指のピッチと同一のピッチで周期的に形成された複数
   の第２電極指と、 前記短絡型浮き電極の電極指のピッチと同一のピッチで
   周期的に形成された複数の第３電極指と、前記開放型電
   極の電極指と同一のピッチで周期的に形成された複数の
   第４電極とを具え、前記第１電極指及び第２電極指を、
   前記正電極と負電極のうちのいずれか一方に結合したこ
   とを特徴とする変換器。
2. 【請求項２】前記ニオブ酸リチウム基板の表面のうち、
   前記励振部及び反射部が形成されている表面に二酸化珪
   素を塗布したことを特徴とする請求項１記載の変換器。
3. 【請求項３】ニオブ酸リチウム基板と、このニオブ酸リ
   チウム基板上に形成した入力側変換器と、この入力側変
   換器で励振された弾性表面波を変換する出力側変換器と
   を具える弾性表面波フィルタ装置において、 前記入力側変換器及び出力側変換器がそれぞれ、弾性表
   面波を励振する励振部と、励振された弾性表面波を反射
   する反射部とを具え、 前記入力側変換器及び出力側変換器の励振部が、λを基
   本弾性表面波の伝播波長とした場合に、λのピッチで周
   期的に形成された複数の電極指を有する正電極と、同様
   にλのピッチで周期的に形成された複数の電極指を有
   し、各電極指が前記正電極の電極指とλ／２の中心間距
   離を以てそれぞれ位置する負電極と、前記正電極の電極
   指と負電極の電極指との間に配置された複数の電極指を
   有し、各電極指が、隣接する正電極の電極指と負電極の
   電極指との間の中間位置から弾性表面波の伝播方向又は
   これとは反対の方向にλ／１２偏位して位置する短絡型
   浮き電極と、前記正電極の電極指又は負電極の電極指と
   前記短絡した浮き電極との間の中間位置に配置された電
   極指を有する開放型浮き電極とを具え、 前記入力側変換器及び出力側変換器の反射部が、λを基
   本弾性表面波の伝播波長とした場合に、前記正電極の電
   極指のピッチと同一のピッチで周期的に形成された複数
   の第１電極指と、前記負電極の電極指のピッチと同一の
   ピッチで周期的に形成された複数の第２電極指と、前記
   短絡型浮き電極の電極指のピッチと同一のピッチで周期
   的に形成された複数の第３電極指と、前記開放型電極の
   電極指と同一のピッチで周期的に形成された複数の第４
   電極とを具え、前記第１電極指及び第２電極指を、前記
   正電極と負電極のうちのいずれか一方に結合したことを
   特徴とする弾性表面波フィルタ装置。
4. 【請求項４】前記ニオブ酸リチウム基板の表面のうち、
   前記入力側変換器及び出力側変換器が形成されている表
   面に二酸化珪素を塗布したことを特徴とする請求項３記
   載の弾性表面波フィルタ装置。
5. 【請求項５】ニオブ酸リチウム基板と、このニオブ酸リ
   チウム基板上に形成した入力側変換器と、この入力側変
   換器で励振された弾性表面波を変換する出力側変換器と
   を具える弾性表面波フィルタ装置において、 前記入力側変換器及び出力側変換器のうちの一方が弾性
   表面波を励振する励振部と、励振された弾性表面波を反
   射する反射部とを具え、前記入力側変換器及び出力側変
   換器のうちの一方を双方向性変換器で構成し、 前記励振部が、λを基本弾性表面波の伝播波長とした場
   合に、λのピッチで周期的に形成された複数の電極指を
   有する正電極と、同様にλのピッチで周期的に形成され
   た複数の電極指を有し、各電極指が前記正電極の電極指
   とλ／２の中心間距離を以てそれぞれ位置する負電極
   と、前記正電極の電極指と負電極の電極指との間に配置
   された複数の電極指を有し、各電極指が、隣接する正電
   極の電極指と負電極の電極指との間の中間位置から弾性
   表面波の伝播方向又はこれとは反対の方向にλ／１２偏
   位して位置する短絡型浮き電極と、前記正電極の電極指
   又は負電極の電極指と前記短絡した浮き電極との間の中
   間位置に配置された電極指を有する開放型浮き電極とを
   具え、 前記反射部が、λを基本弾性表面波の伝播波長とした場
   合に、前記正電極の電極指のピッチと同一のピッチで周
   期的に形成された複数の第１電極指と、前記負電極の電
   極指のピッチと同一のピッチで周期的に形成された複数
   の第２電極指と、前記短絡型浮き電極の電極指のピッチ
   と同一のピッチで周期的に形成された複数の第３電極指
   と、前記開放型電極の電極指と同一のピッチで周期的に
   形成された複数の第４電極とを具え、前記第１電極指及
   び第２電極指を、前記正電極と負電極のうちのいずれか
   一方に結合したことを特徴とする弾性表面波フィルタ装
   置。
6. 【請求項６】前記双方向性変換器が、λ／４の中心間距
   離を以て配置し、２個の電極指の組を、λをピッチで周
   期的に形成した正電極と、同様にλ／４の中心間距離を
   以て位置し、２個の電極指の組をλのピッチで周期的に
   形成され、各電極指の組が前記正電極の隣接する電極指
   の組とλ／２の中心間距離を以てそれぞれ位置する負電
   極とを具えることを特徴とする請求項５記載の弾性表面
   波フィルタ装置。
7. 【請求項７】前記反射部及び励振部を正規型電極構造と
   し、前記双方向性変換器を、重み付けした電極構造とし
   たことを特徴とする請求項６記載の弾性表面波フィルタ
   装置。
8. 【請求項８】前記双方向性変換器の重み付け電極構造
   が、各電極指の弾性表面波の伝播方向と直交する方向の
   長さが弾性表面波の伝播方向に沿って順次変化するアポ
   タイズ法により構成されていることを特徴とする請求項
   ７記載の弾性表面波フィルタ装置。
9. 【請求項９】前記ニオブ酸リチウム基板の表面のうち、
   前記入力側変換器及び出力側変換器が形成されている表
   面に二酸化珪素を塗布したことを特徴とする請求項５か
   ら８のうちのいずれかに記載の弾性表面波フィルタ装
   置。
10. 【請求項１０】ニオブ酸リチウム基板と、このニオブ酸
    リチウム基板上に形成された双方向性変換器と、この双
    方向性変換器の弾性表面波の伝播軸線の両側にそれぞれ
    配置した第１及び第２の変換器とを具え、前記双方向性
    変換器を入力側変換器とした場合に前記第１及び第２の
    変換器を出力側変換器とし、前記双方向性変換器を出力
    側変換器とした場合に前記第１及び第２の変換器を入力
    側変換器とする弾性表面波において、 前記第１及び第２の変換器がそれぞれ、弾性表面波を励
    振する励振部と、励振された弾性表面波を反射する反射
    部とを具え、 前記第１及び第２の変換器の励振部が、λを基本弾性表
    面波の伝播波長とした場合に、λのピッチで周期的に形
    成された複数の電極指を有する正電極と、同様にλのピ
    ッチで周期的に形成された複数の電極指を有し、各電極
    指が前記正電極の電極指とλ／２の中心間距離を以てそ
    れぞれ位置する負電極と、前記正電極の電極指と負電極
    の電極指との間に配置された複数の電極指を有し、各電
    極指が、隣接する正電極の電極指と負電極の電極指との
    間の中間位置から弾性表面波の伝播方向又はこれとは反
    対の方向にλ／１２偏位して位置する短絡型浮き電極
    と、前記正電極の電極指又は負電極の電極指と前記短絡
    した浮き電極との間の中間位置に配置された電極指を有
    する開放型浮き電極とを具え、 前記第１及び第２の変換器の反射部が、λを基本弾性表
    面波の伝播波長とした場合に、前記正電極の電極指のピ
    ッチと同一のピッチで周期的に形成された複数の第１電
    極指と、前記負電極の電極指のピッチと同一のピッチで
    周期的に形成された複数の第２電極指と、前記短絡型浮
    き電極の電極指のピッチと同一のピッチで周期的に形成
    された複数の第３電極指と、前記開放型電極の電極指と
    同一のピッチで周期的に形成された複数の第４電極とを
    具え、前記第１電極指及び第２電極指を、前記正電極と
    負電極のうちのいずれか一方に結合したことを特徴とす
    る弾性表面波フィルタ装置。
11. 【請求項１１】前記双方向性変換器が、λ／４の中心間
    距離を以て配置し、２個の電極指の組を、λをピッチで
    周期的に形成した正電極と、同様にλ／４の中心間距離
    を以て位置し、２個の電極指の組をλのピッチで周期的
    に形成され、各電極指の組が前記正電極の隣接する電極
    指の組とλ／２の中心間距離を以てそれぞれ位置する負
    電極とを具えることを特徴とする請求項１０記載の弾性
    表面波フィルタ装置。
12. 【請求項１２】前記励振部及び反射部を正規型電極構造
    とし、前記双方向性変換器を、重み付けした電極構造と
    したことを特徴とする請求項１１記載の弾性表面波フィ
    ルタ装置。
13. 【請求項１３】前記双方向性変換器の重み付け電極構造
    が、各電極指の弾性表面波の伝播方向と直交する方向の
    長さが弾性表面波の伝播方向に沿って順次変化するアポ
    タイズ法により構成されていることを特徴とする請求項
    １２記載の弾性表面波フィルタ装置。
14. 【請求項１４】前記ニオブ酸リチウム基板の表面のう
    ち、前記第１及び第２の変換器並びに双方向性変換器が
    形成されている表面に二酸化珪素を塗布したことを特徴
    とする請求項１０から１３のうちのいずれかに記載の弾
    性表面波フィルタ装置。