JPH11233025A

JPH11233025A - 平面型プラズマ放電表示装置

Info

Publication number: JPH11233025A
Application number: JP10032981A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Mori; 啓森; Suehiro Nakamura; 末広中村
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1998-02-16
Filing date: 1998-02-16
Publication date: 1999-08-27

Abstract

(57)【要約】【課題】第１および第２の電極群を有し、両者間のプ
ラズマ放電による目的とする表示を行う平面型プラズマ
放電表示装置において、その精度の向上、製造の簡易化
をはかることができるようにする。【解決手段】それぞれ複数の電極素子が配列されてな
る第１の電極群１１と第２の電極群とによる対の放電電
極群１２が、共通の基板１上に平面的に配列形成された
構成とする。そして、これら第１および第２の電極群の
選択された電極素子間のプラズマ放電により目的とする
表示を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、第１および第２の
電極群を有し、両電極群の所要の電極間のプラズマ放電
により目的とする表示を行うようにした、いわゆる２電
極方式による平面型プラズマ放電表示装置に関わる。

【０００２】

【従来の技術】一般に、Ｘ電極およびＹ電極と呼称され
るそれぞれ複数の電極素子が配列されて成る第１および
第２の電極群を有し、両電極群の選択された電極間のプ
ラズマ放電により目的とする表示を行うようにした、２
電極方式のいわゆるマトリクス型表示態様をとる平面型
プラズマ放電表示装置としては、例えば特開平６−５２
８０２号公報に開示されたプラズマパネルがある。この
種の平面型プラズマ放電表示装置は、通常、正面プレー
トとバックプレートとが、両者間にガススペースを形成
するように対向して封着され、正面プレート側に、例え
ば第１の電極群と発光体が形成され、バックプレートに
第２の電極群が形成される。第１および第２の電極群
は、それぞれ複数の電極が所定の間隔をもって平行に配
列されてなる平行電極、すなわち列電極および行電極よ
りなる。そして、正面プレートの、第１の電極群の各電
極の両側に発光体が塗布されてなる。第１および第２の
電極群の平行電極は、互いに直交するように構成され
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、通常
の平面型プラズマ放電表示装置においては、その第１お
よび第２の電極群が、互いに対向配置された正面プレー
トとバックプレートとに、すなわち互いに別のプレート
上に形成される。したがって、これら第１および第２の
電極群の相互の位置関係の設定の精度は、各プレートへ
の各電極群の形成の精度と、両プレートの接合封着に当
たっての相互の位置関係に依存する。したがって、各部
において、一様な間隔、位置関係の設定において、高い
精度を得にくいとか、その組み立てに特段の注意を必要
とすることなどに課題がある。

【０００４】また、この場合、同一プレート上に、一方
の電極パターン例えばＹ電極を形成し、この上に誘電体
層を形成し、この上に蛍光体を形成するものであるが、
この場合、蛍光体がプラズマによって損傷されることを
回避するために、Ｙ電極上を避けて蛍光体が塗布され
る。したがって、この構成による場合、蛍光体の塗布面
積が小さく、輝度の高い発光表示を行い難いという課題
がある。

【０００５】更に、この構造において、カラー表示を行
う場合、各色の蛍光体パターンを塗布する作業が煩雑で
あることから、同一プレート上に、電極パターンと蛍光
体パターンとを形成することは、作業性と歩留りの低下
という課題がある。

【０００６】本発明においては、第１および第２の電極
群を有し、両者間のプラズマ放電による目的とする表示
を行う平面型プラズマ放電表示装置において、輝度の向
上、精度の向上、製造の簡易化をはかるようにする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明による平面型プラ
ズマ放電表示装置は、それぞれ複数の電極素子が配列さ
れてなる第１の電極群と第２の電極群とが、共通の基板
上に平面的に配列形成された構成とする。そして、これ
ら第１および第２の電極群の所要の電極素子間のプラズ
マ放電により目的とする表示を行うものである。

【０００８】また、本発明による平面型プラズマ放電表
示装置は、それぞれ複数の電極素子が配列されてなる第
１の電極群と第２の電極群とが、共通の基板上に平面的
に配列形成されて成り、第１の電極群の電極素子は、第
１の方向に沿って延び、所要の間隔をもって配列された
複数の並行例えば平行配列による電極素子より成り、第
２の電極群の電極素子は、上記第１の方向と交叉する第
２の方向に沿って延び、所要の間隔をもって配列された
並行例えば平行配列による電極素子より成る。これら第
１および第２の電極群の各電極素子の交叉部には、絶縁
層が介在されて相互に電気的に絶縁される。そして、第
１および第２の電極群の電極素子の交叉部に対応して、
第１または第２の電極群の少なくとも一方の電極素子
に、放電電極部が形成されて、この放電電極部と互いに
他の電極群の放電電極部もしくは電極素子との間に、プ
ラズマ放電部を形成する。

【０００９】すなわち、本発明は、第１および第２の電
極群によるいわば対の放電電極群を平面的に配列した構
成としても、その電極配置、印加電圧等の選定によっ
て、その表示のためのプラズマ放電を確実に発生するこ
とができることを見出したことに基いて、対の放電電極
群を共通の基板上に配列した構成としたものである。

【００１０】つまり、本発明においては、共通の基板上
に、平面的に対の放電電極群を配列するものであり、そ
の電極間に所要の放電電圧を印加することによって、プ
ラズマ放電を発生させて、このプラズマ放電によって、
放電ガス発光による表示、あるいはこの放電によって発
生した光、例えば紫外線による蛍光体の励起発光による
表示を行う。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明による平面型プラズマ放電
表示装置の基本的構成は、それぞれ複数の電極素子が配
列されてなる第１の電極群と第２の電極群とによる対の
放電電極群が、共通の基板上に平面的に配列形成された
構成とし、第１および第２の電極群の順次的、もしくは
同時的に所要の、例えば選択された電極素子間にプラズ
マ放電を発生させて目的とする表示を行う。この放電
は、交流もしくは直流電圧印加によって行うことができ
る。

【００１２】第１および第２の電極群は、それぞれ互い
に交叉、例えば直交する第１の方向（行方向と呼称す
る）と第２の方向（列方向と呼称する）とに沿って延
び、所要の間隔をもって配列された複数の並行電極構成
による電極素子（行電極素子と列電極素子と呼称する）
より成る。

【００１３】これら第１および第２の電極群の電極素子
の互いの交叉部には、絶縁層を介在させて、第１および
第２の電極群の電極素子間の電気的絶縁がなされる。

【００１４】そして、第１および第２の電極群の電極素
子の交叉部に対応して、第１または第２の電極群の少な
くとも一方の電極素子に、放電電極部が形成されて、こ
の放電電極部と互いに他の電極群の放電電極部もしくは
電極素子との間に、プラズマ放電部を形成する。これら
プラズマ放電部を形成する放電電極部相互もしくは放電
電極部と電極素子との間は、所要の放電開始電圧によっ
てプラズマ放電を発生し得る狭間隔ｄに選定し、同様の
電圧が印加されるものの、プラズマ放電の発生が回避さ
れるべき、隣り合う第１および第２の電極群の電極素子
間の間隔Ｄは、前記間隔ｄより大に選定する。

【００１５】第１の電極群の電極素子と、第２の電極群
の電極素子の放電電極部とは、同一の導電層によって構
成することができる。すなわち、これら第１の電極群の
電極素子と第２の電極素子の放電電極部の形成は、同一
導電層によって同一工程で形成することができる。この
場合は、前記間隔ｄの設定を正確に行うことができる。
しかしながら、これらを異なる工程による導電層によっ
て形成することもできる。

【００１６】また、本発明による平面型プラズマ放電表
示装置は、第１の基板と第２の基板とが、所要の間隔を
保持して対向し、これら第１および第２の基板の周辺部
が気密的に、例えばガラスフリットによって封止されて
偏平ガス空間が形成された平面型表示容器が構成されて
成る。

【００１７】第１および第２の基板の少なくとも一方
は、表示光に対して光透過性を有する透明基板によって
構成する。これら第１および第２の基板は、それぞれ例
えばガラス基板によって構成し得る。

【００１８】そして、その第１の基板を共通基板とし
て、これに、第１および第２の電極群を形成する。しか
しながら、第１の基板自体を、第１および第２の電極群
が形成された共通の基板とする場合に限られるものでは
なく、第１の基板上に、第１および第２の電極群が共に
形成された他の基板を衝合配置することもできる。

【００１９】そして、第２の基板に、蛍光体層、例えば
カラー表示を行う場合においては、赤、緑および青の発
光がなされる蛍光体Ｒ、ＧおよびＢが形成された蛍光面
が形成され、単色表示を行う場合には、単色の蛍光面が
形成される。

【００２０】この蛍光体層が形成された第２の基板に
は、第２の電極群の電極素子の、上記第２の方向に延長
する電極部と対向してこれに沿って、すなわち列方向に
沿って帯状の隔壁を突設する。この隔壁は、各単位放電
領域相互のクロストークを阻止する。

【００２１】また、交流駆動とする場合においては、少
なくとも第１および第２の電極群の形成部を覆って誘電
体層が形成される。誘電体層上には、この誘電体層に比
し仕事関数が小さく、また必要に応じて放電プラズマに
よって誘電体層の表面がダメージを受けることから保護
する表面保護の効果を有する表面層を形成し得る。

【００２２】図面を参照して、本発明による平面型プラ
ズマ表示装置の例を説明するが、本発明装置は、これら
例の構成に限られるものではない。各例においては、交
流駆動型構成とした場合である。図１にその平面図を示
し、図２に図１の側面図を示すように、少なくとも一方
が表示光に対して光透過性を有する、例えばそれぞれ
が、透明ガラス基板よりなる第１の基板１と、第２の基
板２とが、所要の間隔を保持して対向し、その周辺部
が、ガラスフリット等のシール材３によって気密的に封
止されて、両基板１および２間に、偏平ガス空間が形成
された平面型表示容器が形成されて成る。第１の基板１
は、第２の基板２より大なる面積として、その側縁部、
図示の例では４側縁部が、第２の基板２の各側縁部より
外側に露出されるようにする。

【００２３】図３は、その第１および第２の基板１およ
び２を開放して内部を開示した要部の斜視図を示す。第
１の基板１の内面、すなわち第２の基板２との対向面に
は、複数の行電極素子Ｘが配列されてなる第１の電極群
１１と、複数の列電極素子Ｙが配列されてなる第２の電
極群１２が形成される。

【００２４】図４Ａは、上述の本発明装置の一例の、行
電極素子Ｘにおける行方向の断面図を示し、図４Ｂは、
行電極素子Ｘ間における同様に行方向の断面図を示し、
図５は、その第１基板１上に形成された第１および第２
の電極群１１および１２の一例のパターン図を示す。

【００２５】この例では、第１の電極群１１は、図５に
示すように、行方向に沿って延び、所要の間隔をもって
配列された複数の帯状平行電極構成の行電極素子Ｘ₁，
Ｘ₂，Ｘ₃・・・が平面的に配列形成されて成る。これ
ら行電極素子Ｘ（Ｘ₁，Ｘ₂ ，Ｘ₃・・・）は、例えば
各端部が、第１の基板１の側縁部にまで延在させること
によって、外部に露呈させて各行電極端子Ｔ_X（Ｔ_X1，
Ｔ_X2，Ｔ_X3・・・）とすることができる。

【００２６】また、この例における第２の電極群１２
は、同様に図５に示すように、列方向に沿って延びる帯
状の電極部分Ａ_Y（Ａ_Y1，Ａ_Y2，Ａ_Y3・・・）と、放電
電極部Ｉ_Yとよりなる。各帯状の電極部分Ａ_Y下には、
例えばＳｉＯ₂による絶縁層１４が、行電極素子Ｘ上を
横切って列方向に帯状に被着形成され、各行電極素子Ｘ
との電気的絶縁がなされる。また、これら電極部分Ａ_Y
は、例えば各端部が、第１の基板１の側縁部にまで延在
させることによって、外部に露呈させて各行電極端子Ｔ
_Y（Ｔ_Y1，Ｔ_Y2，Ｔ_Y3・・・）とすることができる。

【００２７】放電電極部Ｉ_Yは、第１および第２の電極
群１１および１２の各電極素子の交叉部に対応して、各
電極部分Ａ_Yからそれぞれ１側方、図５においては左側
方に配置され、各１の行電極素子Ｘと前述した所要の狭
間隔ｄをもって対向する電極部Ｉ_Y11，Ｉ_Y12，Ｉ_Y13
・・・，Ｉ_Y21，Ｉ_Y22，Ｉ_Y23・・・，Ｉ_Y31，Ｉ
_Y32，Ｉ_Y33・・・によって構成される。

【００２８】第１の電極群１１と、第２の電極群１２の
放電電極部Ｉ_Yとは、同一導電層によって同時に形成す
ることができる。そして、このように第１の電極群１１
と、第２の電極群１２の放電電極部Ｉ_Yとを同一導電層
によって形成する場合は、第２の電極群１２の放電電極
部Ｉ_Yと電極部分Ａ_Yとは、異なる工程によって形成さ
れるものであり、この場合は、図３〜図５に示すよう
に、各電極素子部分Ａ_Yには、絶縁層１４外に延在し
て、対応する各放電極部Ｉ_Y上に直接接触して電気的接
続を行う接続片１５が一体に形成される。

【００２９】また、第１の基板１上には、各行電極端子
Ｔ_Xおよび列電極端子Ｔ_A上を除いて、各第１および第
２の電極群１１および１２の形成部上を覆って全面的に
ＳｉＯ₂等の誘電体層１６を被着形成し、これの上に、
必要に応じて誘電体層１６に比して仕事関数の小さく、
また誘電体層１６がプラズマ放電によってダメージを受
けることから保護する効果を有する例えばＭｇＯによる
表面層１７を被着形成する。このＭｇＯ等による表面層
１７は、列電極Ｙの列方向に延びる帯状の電極部分Ａ_Y
においては、排除する構成とすることもできるが、誘電
体層１６上に全面的に被着形成することが製造の簡易化
上では有利である。

【００３０】一方、第２の基板２の内面、すなわち第１
の基板１と対向する側の面には、列電極素子、すなわち
第２の電極群１２の電極素子Ｙの、列方向に延びる帯状
電極部分Ａ_Y（Ａ_Y1，Ａ_Y2，Ａ_Y3・・・）と対向して、
列方向に延長する帯状の隔壁１８を突設形成する。この
隔壁１８の高さは、これら隔壁１８と誘電体層１６もし
くはこれの表面に形成された表面層１７との間隔が、後
述するプラズマ放電が生じ得ない間隔となる高さに選定
する。

【００３１】また、第２の基板２の内面の、各隔壁１８
間に、その側壁面およびその底面の電極素子ＸおよびＹ
に対向する部分を含めた広面積に渡って、すなわちそれ
ぞれストライプ状に、例えば赤、緑および青の発光がな
される蛍光体Ｒ，ＧおよびＢが、交互に塗布された蛍光
層１９を形成する。

【００３２】第１および第２の基板１および２間の偏平
空間には、ガスが封入される。この封入ガスは、例えば
Ｈｅ，Ｎｅ，Ａｒ，Ｘｅ，Ｋｒのうちの１種以上のガ
ス、例えば，ＮｅとＸｅの混合ガスもしくはＡｒとＸｅ
の混合ガスのいわゆるペニングガスが主として用いられ
る。この封入ガス圧Ｐは、０．３〜５．０気圧とするこ
とができる。

【００３３】そして、この封入ガス圧Ｐは、パッシェン
の法則から、放電開始電圧Ｖ_Sを所定の電圧、例えばパ
ッシェン最小値に選定するとき、放電電極間距離、すな
わち平面的に対向する各行電極素子Ｘ（Ｘ₁，Ｘ₂ ，Ｘ
₃・・・）と、列電極素子Ｙ電極の放電電極部Ｉ_Y（Ｉ
_Y11，Ｉ_Y12，Ｉ_Y13・・・，Ｉ_Y21，Ｉ_Y22，Ｉ_Y23
・・・，Ｉ_Y31，Ｉ_Y32，Ｉ_Y33・・・）との距離（以
下放電電極間の距離という）ｄとの積、Ｐ・ｄが一定と
なるように選定する。しかしながら、放電開始電圧Ｖ_S
を例えばパッシェン最小値に選定するときは、放電電極
間の距離ｄは、このとき決まる距離ｄに対して±数十％
の変動を許容できる。また、放電開始電圧Ｖ_Sを、パッ
シェン最小値以外に選定する場合においても、このとき
決まる電電極間距離ｄに対して、実際には±３０％程度
の許容度を有する。

【００３４】そして、これら放電電極間の距離ｄは、５
０μｍ以下、例えば５〜２０μｍ、更には５μｍ以下、
１μｍ以下等の狭小な間隔に選定することができる。一
方、この放電電極間の距離ｄは、誘電体層１６の厚さｔ
との関係においても選定されることが必要である。すな
わち、図６Ａにその放電態様を示すように、誘電体層１
６の上方においてプラズマ放電がなされるようにするた
めには、誘電体層１６を厚さ方向に突き抜けて放電がな
される必要があり、図６Ｂに示すように、誘電体層１６
中で、両電極素子ＸおよびＹ間で放電がなされることが
回避されることが必要であって、このためには、いま表
面層１７の誘電率が誘電体層１６のそれより充分低いと
すると、２ｔ＜ｄの関係に選定されることが望まれる。

【００３５】そして、第１および第２の電極群１１およ
び１２の、各対の放電電極を構成する対向電極となる行
電極素子Ｘと、電極素子Ｙの放電電極部Ｉ_Y（Ｉ_Y11，
Ｉ_Y12，Ｉ_Y13・・・，Ｉ_Y21，Ｉ_Y22，Ｉ_Y23・・
・，Ｉ_Y31，Ｉ_Y32，Ｉ_Y33・・・）との対向部以外
の、互いに対の放電電極を構成することがない電極間距
離Ｄは、放電電極間の距離ｄに比し、充分大に、すなわ
ちＤ≫ｄに選定する。

【００３６】次に、この構成による表示装置の動作を説
明する。この表示装置においては、その対の放電電極と
なる第１および第２の電極群１１および１２の、所要の
例えば選択された行電極素子Ｘ₁，Ｘ₂ ，Ｘ₃・・・
と、列電極素子Ｙ₁，Ｙ₂ ，Ｙ₃・・・との間、上述の
例では、各行電極素子Ｘ₁，Ｘ₂ ，Ｘ₃・・・と、放電
電極部Ｉ_Y11，Ｉ_Y12，Ｉ_Y13・・・，Ｉ_Y21，
Ｉ_Y22，Ｉ_Y23・・・，Ｉ_Y31，Ｉ_Y32，Ｉ_Y33・・・
との間に、放電開始電圧より高い交流電圧を印加するこ
とによって、この電圧印加がなされた対の放電電極との
間で、誘電体層１６上（表面層１７が形成されている場
合においては、この表面層上）で、第２の基板２との間
のガス空間において、プラズマ放電を発生させることが
できる。

【００３７】すなわち、この場合、各行電極素子Ｘに対
する各列電極素子Ｙの放電電極部Ｉ_Yとの距離ｄをもっ
て対向する部分上とその近傍が単位放電領域となる。

【００３８】そして、このように、プラズマ放電が発生
することによって、これによって発生した例えば紫外線
によって、この単位放電領域の放電空間に配置された蛍
光体Ｒ，Ｇ，Ｂが励起発光する。

【００３９】例えば行電極素子Ｘ₁，Ｘ₂ ，Ｘ₃・・・
に、時分割的に順次所要の電圧を印加し、これに同期し
て、表示情報に応じて各列電極素子Ｙ₁，Ｙ₂，Ｙ₃・
・・放電開始電圧を印加することによって、目的とする
表示情報に応じた単位放電領域でプラズマ放電を発生さ
せ、蛍光体Ｒ，Ｇ，Ｂを励起発光させることによって、
隣接する蛍光体Ｒ，Ｇ，Ｂを１ピクセル、すなわち１カ
ラー画素としてカラー表示を行うことができる。

【００４０】この場合、各単位放電領域は、列方向に関
しては、行電極素子Ｘ₁，Ｘ₂ ，Ｘ₃・・・への印加電
圧によって、規制され、行方向に関しては、隔壁１８の
存在によって、プラズマ放電の発生が抑制されることに
よって規制され、クロストークの発生が回避される。

【００４１】本発明による平面型プラズマ放電表示装置
による発光表示の観察は、第１の基板１または第２の基
板２側からなされるものであり、この場合、少なくとも
その観察がなされる側の基板１または２は、表示発光が
透過される透明基板、例えば前述したように、ガラス基
板によって構成されるが、両基板１および２を透明基板
によって構成する場合、観察側とは反対側の基板２また
は１の内面には、各電極群もしくは蛍光体層の形成に先
立って、Ａｌ蒸着膜等の光反射膜ないしは光遮断膜（図
示せず）を形成することによって、観察側に、有効に発
光光を導出させ、また背面側からの外部の入射光を遮断
できることからコントラストの向上をはかることができ
る。

【００４２】また、電極群が形成される第１の基板１側
から、観察する場合においては、第１および第２の電極
群１１および１２の各電極素子は、透明導電層、例えば
ＩＴＯ（ＩｎとＳｎの各複合酸化物）によって構成す
る。

【００４３】上述した例では、図５にそのパターン図を
示すように、第２の電極群１２の各電極素子Ｙについて
のみ、放電電極部Ｉ_Yと給電に供する電極部分Ａ_Yとに
よって構成し、第１の電極群１１の電極素子Ｘについて
は、いわば給電に供する部分と放電電極とする部分とを
共通にした帯状パターンとした場合であるが、プラズマ
放電領域を大きくして発光輝度を高めるなどの目的をも
って、第１および第２の電極群１１および１２の放電電
極間の対向長を長くすることができるように、図７〜図
９に、例示するように、第１の電極群１１の電極素子Ｘ
についても、行方向に延びる帯状のいわば給電に供する
電極部分Ａ_X（Ａ_X1，Ａ_X2, Ａ_X3・・・) と、これより
列方向に延在する放電電極部Ｉ_X( Ｉ_X11,Ｉ_X12 ，Ｉ
_X13・・・，Ｉ_X21，Ｉ_X22，Ｉ_X23・・・，Ｉ_X31，
Ｉ_X32，Ｉ_X33・・・）によって構成する。

【００４４】そして、例えば図７に示すように、第１の
電極群１１の各電極素子Ｘの放電電極部Ｉ_Xをほぼ直方
形パターンとし、その２辺に距離ｄをもって対向するよ
うに、第２の電極群１２の各電極素子Ｙの放電電極部Ｉ
_YをＬ字状に形成することができる。あるいは、例えば
図８に示すように、第１の電極群１１の各電極素子Ｘの
放電電極部Ｉ_XをほぼＩ字形のパターンとし、これを囲
んで距離ｄをもって対向するように、第２の電極群１２
の各電極素子Ｙの放電電極部Ｉ_YをＵ字状に形成するこ
とができる。更に、あるいは、例えば図９に示すよう
に、第１および第２の電極群１１および１２の各電極素
子ＸおよびＹの放電電極部Ｉ_XおよびＩ_Yを、それぞれ
距離ｄをもって対向するジグザクパターンとすることが
できる。尚、図７〜図９において、図５と対応する部分
には同一符号を付して重複説明を省略する。

【００４５】次に、この構成による表示装置の理解を容
易にするために、その製造方法の例を説明する。この例
においては、行電極素子Ｘ（Ｘ₁，Ｘ₂ ，Ｘ₃・・・）
と、列電極素子Ｙ（Ｙ₁，Ｙ₂，Ｙ₃・・・）の放電電
極部Ｉ_Y（Ｉ_Y11，Ｉ_Y12，Ｉ_Y13・・・，Ｉ_Y21，Ｉ
_Y22，Ｉ_Y23・・・，Ｉ_Y31，Ｉ_Y32，Ｉ_Y33・・・）
とを同一導電層によってすなわち同一工程で形成した場
合である。

【００４６】図１０は、この製造方法のフローを示す図
である。先ず、第１の基板１に係わる製造工程について
説明する。例えばガラス基板よりなる第１の基板１が用
意され、その１主面に全面的にフォトレジスト層を塗布
し、このレジストのパターニングを行う（工程ａ₁）。
このパターニングは、フォトレジスト層に対するパター
ン露光および現像処理を行って、最終的に形成する第１
の電極群１１の各電極素子Ｘと、第２の電極群１２の電
極素子Ｙの放電電極部Ｉ_Yの形成部のフォトレジスト層
を除去するものである。

【００４７】次に、第１の基板上に、フォトレジスト層
の除去部を含んで全面的に、第１の電極群１１の各電極
素子Ｘと、第２の電極群１２の各電極素子Ｙの放電電極
部Ｉ_Yとを構成する導電層を、例えば蒸着によって全面
的に形成する（工程ａ₂ ）。この導電層は、例えば透明
導電層のＩＴＯや、Ａｌ，Ｃｕ，Ｎｉ，Ｆｅ，Ｃｒ，Ｚ
ｎ，Ａｕ，Ａｇ，Ｐｂ等の１種以上の金属層によって構
成するとか、あるいはＡｌ層とこれの上にＡｌの酸化を
阻止するＣｒ層等の表面層を有するＣｒ／Ａｌの積層構
造、もしくは更にその下地層として、例えばガラス基板
に対する被着性にすぐれた例えばＣｒ層による下地層を
有するＣｒ／Ａｌ／Ｃｒの多層構造の導電層によって構
成することができる。

【００４８】フォトレジスト層を、その剥離剤によって
剥離し、フォトレジスト層と共に、これの上に形成され
た導電層を除去、すなわちリフトオフし、導電層のパタ
ーン化を行う（工程ａ₃）。このようにすると、導電層
がパターン化されて、例えば図１１に示すように、第１
電極群１１の各電極素子Ｘと、第２の電極群１２の各電
極素子Ｙの放電電極部Ｉ_Yのみが形成される。

【００４９】次に、図１２に示すように、絶縁層１４の
形成を行う。この絶縁層１４の形成は、第１電極群１１
の各電極素子Ｘと、第２の電極群１２の各電極素子Ｙの
放電電極部Ｉ_Yが形成された第１の基板１１上に、全面
的に、絶縁層を構成する例えば感光性ガラスペーストを
塗布し、８０℃で２０分間の熱処理を行い（工程
ａ₄）、その後、このガラス層に対してパターン露光お
よび現像処理を行って同一列線上に配列された放電電極
部Ｉ_Y（Ｉ_Y11，Ｉ_Y12，Ｉ_Y13・・・，Ｉ_Y21，Ｉ
_Y22，Ｉ_Y23・・・，Ｉ_Y31，Ｉ_Y32，Ｉ_Y33・・・）
の各一側縁上に、各電極素子Ｘ（Ｘ₁，Ｘ₂ ，Ｘ₃・・
・）上を横切る帯状パターンを形成する（工程ａ₅）。
その後、６００℃での焼成を行う（工程ａ₆）。このよ
うにして、絶縁層１４を形成することができる。

【００５０】次に、図５で示したように、第２の電極群
１２の電極部分Ａ_Y（Ａ_Y1，Ａ_Y2，Ａ_Y3・・・) とこれ
より延在する接続片１５の形成を行う。この形成におい
ても、リフトオフ法によって形成することができる。す
なわち、この場合においても、第１の基板１上に全面的
にフォトレジスト層を塗布し、パターン露光および現像
処理するフォトレジストのパターニングを行い（工程ａ
₇）、その後例えばＡｌによる導電層を全面的に蒸着等
によって形成し（工程ａ₈）、フォトレジスト層を剥離
して、このフォトレジスト層と共に、この上に形成され
た導電層をリフトオフして（工程ａ₉）第２の電極群１
２の電極部分Ａ_Y（Ａ_Y1，Ａ_Y2，Ａ_Y3・・・) とこれよ
り延在する接続片１５とを同時に形成する。

【００５１】このようにして、第１および第２の電極群
１１および１２の形成がなされる。

【００５２】その後、例えば各電極素子ＸおよびＹの端
部によるＴ_X1，Ｔ_X2，Ｔ_X3・・・Ｔ_Y1，Ｔ_Y2，Ｔ_Y3・・
・等の端子の導出部、すなわち基板１の外周部を除い
て全面的にＳｉＯ₂等の誘電体層１６をＣＶＤ（化学的
気相成長）法によって形成し、その上に例えば蒸着によ
ってＭｇＯ等の表面層１７を形成する（工程ａ₁₀）。

【００５３】次に、第２の基板２に係わる製造工程につ
いて説明する。この場合においても例えばガラス基板よ
りなる第２の基板２が用意される。そして、その１主面
に前述の隔壁１８の形成を行う。このためには、基板２
の隔壁１８形成面に全面的に、先ず例えばフォトレジス
ト層の塗布あるいはラミネート用のガラス材シート例え
ばグリーンシート（デュポン社製商品名）を貼り付け
（工程ｂ₁）、２１０℃あるいは４１０℃でプリベーキ
ングする（工程ｂ₂ ）。その後、フォトレジスト層を塗
布し（工程ｂ₃）、パターン露光および現像処理を行っ
て隔壁１８を形成する部分、すなわち隔壁１８のパター
ンにフォトレジスト層を残して他部を除去する（工程ｂ
₄）。次に、このフォトレジスト層をマスクとして、パ
ウダービーム加工、あるいはいわゆるサンドブラスト処
理を行って、フォトレジスト層の形成部を残して他部を
除去する（工程ｂ₅）。その後、例えば６００℃の焼結
処理を施す。このようにすると、フォトレジスト層が消
失し、ガラスによる隔壁１８が形成される（図ｂ₆）。

【００５４】このようにして、ストライプ状の隔壁１８
が形成された、第２の基板２の内面に、各隔壁１８間の
凹部の、例えば各２つおきに赤、緑および青の蛍光体
Ｒ，ＧおよびＢを、それぞれの蛍光体スラリーを順次塗
布して形成し（工程ｂ₇）、例えば４３０℃で焼成して
蛍光体層１９を形成する（工程ｂ₈）。

【００５５】このようにして、第１および第２の電極群
１１および１２が形成された第１の基板１と、隔壁１８
および蛍光体層１９が形成された第２の基板２とを、第
２の電極群１２の各電極素子Ｙの各電極部分Ａ_Yと、第
２の基板２の各隔壁１８とを正対させた状態で、所要の
間隔を保持して対向させ、その周辺をガラスフリット
で、例えば４３０℃の熱処理を行って封止する（工程ｃ
₁）。この場合のフリット位置は、各電極素子の端子部
Ｔ_XおよびＴ_Yを外部に導出する位置に選定される。

【００５６】このようにして、第１および第２の基板１
および２間に形成された偏平空間内を、例えば３８０℃
に加熱した状態で、２時間の排気処理を行い（工程ｃ
₂ ）、この偏平空間内に、前述したガスを所要のガス圧
をもって封入する（工程ｃ₃）。このようにして、本発
明による平面型プラズマ放電表示装置が構成される。

【００５７】尚、このように、例えば工程ａ₆で説明し
たような、高温の熱処理が、下層の電極群、この例では
第１および第２の電極群１１および１２の形成後に行わ
れる場合には、この高温処理前に形成される導電層、す
なわち上述した例では、第１の電極群１１の各電極素子
Ｘと、第２の電極群１２の各電極素子Ｙの各放電電極部
Ｉ_Yを、例えばＡｌによって構成すると、Ａｌが酸化さ
れるなど特性劣化を生じる問題がある。この場合におい
ては、前述したように、この導電層として例えばＡｌ上
にこれを保護し、酸化によって安定な不良導体層を形成
するＣｒが形成された多層構造とすることが望ましい。

【００５８】上述した方法では、各電極群１１および１
２を、リフトオフ法によって形成した場合であるが、導
電層を全面的に形成し、この導電層をフォトリソグラフ
ィによってパターンエッチングすることによって形成す
ることもできるなど上述した例に限られるものではな
く、種々の方法を適用することができる。

【００５９】尚、上述した例では、第１の電極群１１の
電極素子Ｘと第２の電極群１２の電極素子Ｙの放電電極
部Ｉ_Yとを同一導電層によって、同一工程で形成した場
合であるが、第１の電極群１１とは、別工程をもって、
第２の電極群１２の電極素子Ｙの放電電極部Ｉ_Yと、い
わゆる給電を行う電極部分Ａ_Yとを、同一導電層によっ
て構成することができる。すなわち、この場合は、例え
ば前述の工程ａ₁〜ａ₃の工程で、図１３にそのパター
ンを示す第１の電極群１１の電極素子Ｘみを形成し、そ
の後、絶縁層１４を、前述の工程ａ₄〜ａ₆によって形
成する。その後、前述の工程ａ₇〜ａ₁₀の工程によっ
て、図１４に示すように、第２の電極群１２の電極素子
Ｙの電極部分Ａ_Yと、これより延長させて放電電極部Ｉ
_Yとを形成することができる。この場合には、接続片１
５が省略される。

【００６０】また、上述した例では、絶縁層１４と、誘
電体層１６とをそれぞれ形成した場合であるが、これら
を同一材料層、例えばＳｉＯ₂あるいはガラス層等によ
って形成することもできる。この場合には、上述した工
程ａ₄〜ａ₆の工程において、誘電体層１６も同時に形
成し、第２の電極群１２の電極素子Ｙの各放電電極部Ｉ
_Y電極部分Ａ_Yとの重なる部分に各電極部分Ａ_Yが、下
層の放電電極部Ｉ_Yに接触して形成されるコンタクト孔
を形成する。

【００６１】上述の各製造方法は、言うまでもなく図５
のパターンに限られるものではなく、例えば図７〜図９
に示す第１の電極群１１の電極素子Ｘ（Ｘ₁，Ｘ₂ ，Ｘ
₃・・・）が、電極部分Ａ_X（Ａ_X1，Ａ_X2, Ａ_X3・・
・) と、これより列方向に延在する放電電極部Ｉ_X( Ｉ
_X11,Ｉ_X12 ，Ｉ_X13・・・，Ｉ_X21，Ｉ_X22，Ｉ_X23・
・・，Ｉ_X31，Ｉ_X32，Ｉ_X33・・・）によって構成さ
れる場合においても、適用することができる。

【００６２】尚、上述した例では、交流駆動構成とした
場合であるが、直流駆動構成とすることもできる。この
場合においては、誘電体層１６および表面層１７は形成
されない。そして、この直流放電による場合において
は、通常、この放電によって陰極側の電極は酸化され、
陽極側の電極は還元されることから、陰極側となる第１
もしくは第２の電極群１１もしくは１２を構成する電極
素子は、酸化金属の、例えばＩＴＯ，ＳｎＯ₂ ，Ｉｎ₂
Ｏ₃等によって構成し、陽極側となる第２もしくは第１
の電極群１２もしくは１１を構成する電極素子は、金属
電極の例えばＡｌ，Ｃｕ，Ｎｉ，Ｆｅ，Ｃｒ，Ｚｎ，Ａ
ｕ，Ａｇ，Ｐｂ等、あるいはこれらの１種以上の合金に
よって構成する。したがって、この場合には、第１の電
極群１１と第２の電極群１２とを同一導電層によって構
成することは好ましくなく、この場合においては、第２
の電極群１２の各電極素子Ｙは、その電極部分Ａ_Yと放
電部分Ｉ_Yとが同一導電層による構成とする。

【００６３】また、交流駆動および直流駆動のいずれに
おいても、例えば第１の電極群１１の電極Ｘを、透明電
極等の酸化物電極によって構成する場合、その比抵抗は
一般に大きいことから、この場合は帯状の電極素子に沿
って、その行方向に延びる一側縁に導電性にすぐれた、
Ａｌ，Ｎｉ，Ｃｕ等の導電層を被着することが望まし
い。

【００６４】上述の本発明構成による平面型プラズマ放
電表示装置によれば、各放電電極となる第１および第２
の電極群１１および１２を、共通の基板、上述した例で
は偏平容器を構成する第１の基板１に形成したので、こ
れら電極間の間隔を正確に設定できることから、安定し
て、良好高い精度を有する表示装置を、容易に製造でき
る。

【００６５】そして、このように、各放電電極となる第
１および第２の電極群１１および１２を共通の基板に形
成することから、放電電極間の距離ｄと、これらを対向
する基板に形成する場合におけるこれら間の間隔、すな
わち放電空間等とが、互いに制約されることが回避さ
れ、これらの選定の自由度が大となり、設計および製造
の簡易化がはかられる。

【００６６】また、放電電極と蛍光体とを異なる基板１
および２に形成することから、蛍光体の塗布は、各電極
素子と対向する部分に、すなわち図４で示すしたよう
に、１８の側面のみならず、その底面にも形成すること
ができることから、輝度の向上をはかることができる。

【００６７】

【発明の効果】上述したように、本発明構成によれば、
放電電極と蛍光体とを異なる基板１および２に形成する
ことから、蛍光体の塗布面積が、冒頭に述べたように、
放電電極と蛍光体とを同一基板に形成する場合に比し、
格段に大となることから、高輝度化が図られる。

【００６８】た、本発明構成によれば、各放電電極とな
る第１および第２の電極群１１および１２を、共通の基
板、上述した例では偏平容器を構成する第１の基板１に
形成したので、これら電極間の間隔を正確に設定でき
る。

【００６９】更に、蛍光体層が形成されるカラー表示装
置を構成する場合においては、蛍光体層を形成する基板
と、各電極群１１および１２を形成する基板が異なる基
板であることから、その製造が容易となり量産性が向上
する。また、各電極群、蛍光体の形成において互いに他
を損傷させるなどの特性劣化を来すことが回避されるこ
とから歩留りの向上が図られる。

【００７０】また、各放電電極となる第１および第２の
電極群１１および１２を共通の基板に形成することか
ら、放電電極を構成する各電極素子ＸおよびＹ間の間隔
ｄと、放電空間すなわち第１および第２の基板１および
２の間隔等とが、互いに制約されることが回避され、こ
れらの選定の自由度が大となり、設計および製造の簡易
化がはかられる。

【００７１】上述したように、本発明構成による平面型
プラズマ放電表示装置によれば、高精度に、したがっ
て、特性が安定し、信頼性の高い表示装置を、容易に、
作業性良く、したがって、量産的に製造でき、その工業
的利益はきわめて大きい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による平面型プラズマ放電表示装置の一
例の平面図である。

【図２】本発明による平面型プラズマ放電表示装置の一
例の側面図である。

【図３】本発明による平面型プラズマ放電表示装置の一
例の要部の一部を断面とした開放斜視図側面図である。

【図４】Ａは、本発明による平面型プラズマ放電表示装
置の一例の要部の断面図である。Ｂは、本発明による平
面型プラズマ放電表示装置の一例の要部の他の面での断
面図である。

【図５】本発明装置の一例の電極パターン図である。

【図６】放電電極間の距離の選定の説明図である。

【図７】本発明装置の他の例の電極パターン図である。

【図８】本発明装置の他の例の電極パターン図である。

【図９】本発明装置の他の例の電極パターン図である。

【図１０】本発明装置の一例の製造方法の一例の説明図
である。

【図１１】本発明装置の一例の製造方法の一例の一工程
の第１の基板の要部の平面図である。

【図１２】本発明装置の一例の製造方法の一例の一工程
の第１の基板の要部の平面図である。

【図１３】本発明装置の一例の製造方法の他の例の一工
程の第１の基板の要部の平面図である。

【図１４】本発明装置の一例の製造方法の他の例の一工
程の第１の基板の要部の平面図である。

【符号の説明】

１・・・第１の基板、２・・・第２の基板、１１・・・
第１の電極群（行電極群）、１２・・・第２の電極群
（列電極群）、、１４・・・絶縁層、１５・・・接続
片、Ｘ（Ｘ₁，Ｘ₂ ，Ｘ₃・・・），Ｙ（Ｙ₁，Ｙ₂ ，
Ｙ₃・・・），・・・電極素子、１６・・・誘電体層、
１７・・・表面層、１８・・・隔壁、１９・・・蛍光体
層

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号ＦＩＨ０１Ｊ 17/49 Ｈ０１Ｊ 17/49 Ｋ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】それぞれ複数の電極素子が配列されてな
る第１の電極群と第２の電極群とが、共通の基板上に平
面的に配列形成されて成り、上記第１および第２の電極群の所要の電極素子間のプラ
ズマ放電により目的とする表示を行うことを特徴とする
平面型プラズマ放電表示装置。
【請求項２】それぞれ複数の電極素子が配列されてな
る第１の電極群と第２の電極群とが、共通の基板上に平
面的に配列形成されて成り、上記第１の電極群の電極素子は、第１の方向に沿って延
び、所要の間隔をもって配列された複数の並行配列によ
る電極素子より成り、上記第２の電極群の電極素子は、上記第１の方向と交叉
する第２の方向に沿って延び、所要の間隔をもって配列
された並行配列による電極素子より成り、上記第１および第２の電極群の各電極素子の交叉部に
は、絶縁層が介在され、上記第１および第２の電極群の電極素子の交叉部に対応
して、上記第１または第２の電極群の少なくとも一方の
電極素子に、放電電極部が形成されて、該放電電極部と
互いに他の電極群の放電電極部もしくは電極素子との間
に、プラズマ放電部を形成するようにしてなることを特
徴とする平面型プラズマ放電表示装置。
【請求項３】上記第１の電極群の電極素子と、上記第
２の電極群の電極素子の上記放電電極部とを同一導電層
により形成したことを特徴とする請求項２に記載の平面
型プラズマ放電表示装置。
【請求項４】第１の基板と第２の基板とが、所要の間
隔を保持して対向し、これら第１および第２の基板の周
辺部が気密的に封止されて、平面型表示容器が構成さ
れ、上記第１の基板と、第２の基板の、少なくともいずれか
一方が、表示光を透過する透明基板より成り、上記第１の基板を、上記第１および第２の電極群が形成
された上記共通の基板としたことを特徴とする請求項１
に記載の平面型プラズマ放電表示装置。
【請求項５】第１の基板と第２の基板とが、所要の間
隔を保持して対向し、これら第１および第２の基板の周
辺部が気密的に封止されて、平面型表示容器が構成さ
れ、上記第１の基板と、第２の基板の、少なくともいずれか
一方が、表示光を透過する透明基板より成り、上記第１の基板を、上記第１および第２の電極群が形成
された上記共通の基板としたことを特徴とする請求項２
に記載の平面型プラズマ放電表示装置。
【請求項６】第１の基板と第２の基板とが、所要の間
隔を保持して対向し、これら第１および第２の基板の周
辺部が気密的に封止されて、平面型表示容器が構成さ
れ、上記第１の基板と、第２の基板の、少なくともいずれか
一方が、表示光を透過する透明基板より成り、上記第１の基板を、上記第１および第２の電極群が形成
された上記共通の基板とし、上記第２の基板に、蛍光体層が形成されてなることを特
徴とする請求項１に記載の平面型プラズマ放電表示装
置。
【請求項７】第１の基板と第２の基板とが、所要の間
隔を保持して対向し、これら第１および第２の基板の周
辺部が気密的に封止されて、平面型表示容器が構成さ
れ、上記第１の基板と、第２の基板の、少なくともいずれか
一方が、表示光を透過する透明基板より成り、上記第１の基板を、上記第１および第２の電極群が形成
された上記共通の基板とし、上記第２の基板に、蛍光体層が形成されてなることを特
徴とする請求項２に記載の平面型プラズマ放電表示装
置。
【請求項８】第１の基板と第２の基板とが、所要の間
隔を保持して対向し、これら第１および第２の基板の周
辺部が気密的に封止されて、平面型表示容器が構成さ
れ、上記第１の基板と、第２の基板の、少なくともいずれか
一方が、表示光を透過する透明基板より成り、上記第１の基板を、上記第１および第２の電極群が形成
された上記共通の基板とし、上記第２の基板に、単位放電領域を区分する隔壁が形成
されて成ることを特徴とする請求項１に記載の平面型プ
ラズマ放電表示装置。
【請求項９】第１の基板と第２の基板とが、所要の間
隔を保持して対向し、これら第１および第２の基板の周
辺部が気密的に封止されて、平面型表示容器が構成さ
れ、上記第１の基板と、第２の基板の、少なくともいずれか
一方が、表示光を透過する透明基板より成り、上記第１の基板を、上記第１および第２の電極群が形成
された上記共通の基板とし、上記第２の基板に、上記第２の電極群の上記第２の方向
に延びる電極部分と対応する部分に該電極部分に沿って
単位放電領域を区分する隔壁が形成されて成ることを特
徴とする請求項２に記載の平面型プラズマ放電表示装
置。
【請求項１０】上記第１および第２の電極群の形成部
を覆って誘電体層が形成されてなることを特徴とする請
求項１に記載の平面型プラズマ放電表示装置。
【請求項１１】上記第１および第２の電極群の形成部
を覆って誘電体層が形成されてなることを特徴とする請
求項２に記載の平面型プラズマ放電表示装置。
【請求項１２】上記誘電体層上に、該誘電体層に比し
仕事関数が小さい表面層が形成されてなることを特徴と
する請求項１０に記載の平面型プラズマ放電表示装置。
【請求項１３】上記誘電体層上に、該誘電体層に比し
仕事関数が小さい表面層が形成されてなることを特徴と
する請求項１１に記載の平面型プラズマ放電表示装置。