JPH11230913A

JPH11230913A - 水晶ブランクの検査方法

Info

Publication number: JPH11230913A
Application number: JP10036318A
Authority: JP
Inventors: Satoru Kobayashi; 了小林
Original assignee: Nippon Maxis Co Ltd
Current assignee: Nippon Maxis Co Ltd
Priority date: 1998-02-18
Filing date: 1998-02-18
Publication date: 1999-08-27
Anticipated expiration: 2018-02-18
Also published as: JP2968247B2

Abstract

(57)【要約】【課題】水晶ブランクの傷やベベリング状態の検査を
画一的にではなく、多様的に行えるようにする。【解決手段】水晶ブランクを検査するに際して水晶ブ
ランク１のブランク面の画像を複数の領域に分割し、領
域に要求される検査基準を領域ごとに設定し、設定され
た検査基準により各領域を検査する。水晶ブランク１が
短冊状のブランクである場合において、ブランク１の四
隅のコーナー領域Ｄと、コーナー領域Ｄを除いたブラン
ク１の上下辺と平行で上下辺を一辺とする一対の帯状の
上下領域Ａと、コーナー領域Ｄを除いたブランク１の左
右辺と平行で左右辺を一辺とする一対の帯状の左右領域
Ｂと、上下領域Ａおよび左右領域Ｂに囲まれた中央領域
Ｃとに分割するとよい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は水晶基板の検査方法
に係り、特に水晶基板の傷やベベリング状態を領域毎に
検査できるようにしたものに関する。

【０００２】

【従来の技術】水晶ブランクの傷を画像処理によって検
査する場合、傷を強調するために読み込んだ画像信号を
２値化するが、この２値化のためにしきい値を設定する
必要がある。しきい値は検査結果の良否を判定する重要
なパラメータとなる。従来このしきい値は１枚の水晶ブ
ランクでは場所によらず同一値としていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来の傷検査では、１
枚の水晶ブランクについては、傷の検査箇所によらず、
一律に同一の検査基準を適用して傷を検査していた。し
かし検査対象となる水晶ブランクは、その製造工程上ば
らつきを伴うのが普通で、全く同一のものができるわけ
ではなく、しかも水晶ブランクの箇所によっては甘い規
格でもよい場合がある。したがって同一の検査基準で傷
を検査すると、良品でも不良として判定したり、不良品
でも良品と判定することが発生する。また、画像処理に
もとづく傷検査データが得られても、検査箇所情報が入
っていないため、検査の標準化や分析管理のためのデー
タが有効に得られないという問題があった。このことは
傷に限定されず、ベベリング（面取り）状態を検査する
場合にも問題となっていた。

【０００４】本発明の課題は、上述した従来技術の問題
点を解消して、水晶基板の傷やベベリング状態を有効に
判断することが可能な水晶基板の検査方法提供すること
にある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、水晶基板を検
査するに際して水晶基板の基板面の画像を複数の領域に
分割し、前記領域に要求される検査基準を前記領域ごと
に設定し、設定された検査基準により各領域を検査する
ようにした水晶基板の検査方法である。

【０００６】水晶基板はその領域に応じて要求される検
査精度が異なるのが普通であるが、従来の方法では全体
を一つとして捉えていたので、同一の検査基準を適用し
て検査していた。この点で本発明のものは、水晶基板の
基板面の画像を複数の領域に分割し、各領域に要求され
る検査基準を領域ごとに設定しているため、要求に応じ
て１枚の水晶基板を領域ごとに異なる基準で検査でき
る。したがって真に良品、不良品の判別を行うことがで
きる。また検査結果で得られたデータを統計処理するこ
とにより、領域毎に解析、分析ができるので、評価に好
適である。

【０００７】水晶基板が短冊状の基板である場合におい
て、前記基板面の画像を、基板の四隅のコーナー領域
と、前記コーナー領域を除いた基板の上下辺と平行で上
下辺を一辺とする一対の帯状の上下領域と、同じく前記
コーナー領域を除いた基板の左右辺と平行で左右辺を一
辺とする一対の帯状の左右領域と、上下領域および左右
領域に囲まれた中央領域とに分割することが好ましい。
検査は傷検査でもベベリング検査でも、さらには形状検
査でもよい。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図面
を用いて説明する。図３は本発明に係る水晶基板の傷検
査装置を、水晶振動子用の水晶ブランクに適用した一実
施形態を示す概略構成図である。

【０００９】図３において、１は鏡面仕上された短冊状
の水晶ブランクであり、通常、大きさが１×３ｍｍ〜３
×１０ｍｍで、厚さが３０μｍ〜５００μｍ程度であ
る。水晶ブランク１の形状は短冊形，矩形に限らず、直
径４〜８ｍｍ程度の円形その他の形状のものもある。

【００１０】水晶ブランク１は載置台２上に水平に載置
される。載置台２はサファイアからなり、鏡面仕上され
た載置台２の載置面３には、水晶ブランク１の滑動及び
密着を回避するための凹部として、溝が形成されてい
る。

【００１１】水晶ブランク１の下方には、図３に示すよ
うに水晶ブランク１を取り囲むように、発光ダイオード
６が配置されている。発光ダイオード６からの光は、水
晶ブランク１の基板面に対して上下方向に０°〜−３０
°の範囲内の照射角度θで、載置台２を通して水晶ブラ
ンク１の側面全周方向から照射されるようになってい
る。照射角度θは水晶ブランク１の表面側をプラス、裏
面側をマイナスとしている。発光ダイオード６の周囲に
ミラーを配置すると、水晶ブランク１に全周方向から光
をむらなく照射できる。また、発光ダイオード６は、高
輝度のものがよく、赤色光〜赤外光を発光する発光ダイ
オードを用いるのがよい。載置台２の下側に照明手段の
発光ダイオード６を配置したのは、水晶ブランク１を移
動する際に障害物が上側に来ないようにして、検査工程
の自動化、量産化に対応させるためである。

【００１２】一方、水晶ブランク１の表面に対して撮像
方向が垂直な真上位置に撮像手段１１を配置する。撮像
手段１１には、例えばＣＣＤカメラ１３及び水晶ブラン
ク１からの光をＣＣＤカメラ１３のＣＣＤ面上に結像す
るレンズ系１２を用いて、水晶ブランク１付近のみを視
野に納めるように設定する。このようにすると、発光ダ
イオード６から水晶ブランク１に斜めに入射した光がそ
のまま直接レンズ系１２に入ることがなく、暗視野の状
態となる。

【００１３】ＣＣＤカメラ１３によって撮像された画像
信号は、画像処理装置１４に入力される。画像処理装置
１４は、入力された画像信号から水晶ブランク１に存在
する傷の特徴を抽出する特徴抽出部と、抽出した信号に
基づいて傷の存在を判定する判定部とを有している。撮
像手段１１は水晶ブランク付近のみを視野に納めるた
め、画像処理装置１４では、視野の明度変化を高速に画
像処理して傷を検出できる。

【００１４】水晶ブランク１は、バキュームチャック１
６で吸着されて搬送ロボットアーム１５によって載置台
２へと搬入され、傷検査後、再度バキュームチャック１
６で吸着されて搬送ロボットアーム１５によって搬出さ
れるようになっている。

【００１５】さて、上記のような構成において、バキュ
ームチャック１６に吸着されて搬送ロボットアーム１５
によって載置台２に搬送されてきた水晶ブランク１は、
載置台２の所定位置に載置される。このとき載置台２の
載置面３には、多数の溝が形成されているため、水晶ブ
ランク１が載置台２上を滑ったりすることはなく、定位
置に正確に載置されるので、傷の精密測定が可能とな
る。

【００１６】載置台２の下側に多数配設した発光ダイオ
ード６から水晶ブランク１に向けて拡散された散乱光を
照射すると、散乱光によって水晶ブランク１の側面全周
が包み込まれるようになる。この場合、水晶ブランク１
の真上または真下方向から光を照射してはならない。真
上ないし真下から照射すると、透過光または反射光によ
り水晶ブランク１の像がＣＣＤカメラ１３に写ってしま
うからである。また、水晶ブランク１を支持する載置台
２の下地模様が鮮明に写ってしまい、水晶ブランク１に
存在する傷（欠陥部）との判別が困難となるからであ
る。

【００１７】図４に示すように、水晶ブランク１に側面
全周から光を照射すると、水晶ブランク１の傷（ないし
欠陥部）３１やエッジ加工部における反射光エネルギー
が大きくなる。水晶ブランク１の周囲から照射される光
の方向は、散乱により水平方向においては全方向になる
が、水晶ブランク１に傷が無ければ、光路が遮られない
ので、散乱光は透過光となって通過してしまう。これに
対してエッジや傷３１があると、そこに光が当たり、反
射光３３になって強調される。

【００１８】散乱光３２が傷３１に当たると反射して水
晶ブランク１の表面に傷が現れる。傷３１に対し全方位
から光３２が照射されるので、傷３１の反射光のエネル
ギーが強調され、水晶ブランク１の上方から見ると、傷
３１が鮮明に浮かんで見える。水晶の傷は、あらゆる方
向性をもっているので、一方向の光を照射した場合に
は、光に平行な傷は反射が起きず検出が困難であり、ま
た例えば三方向の光を照射した場合であっても、ＳＮ比
が悪いため、傷を精度よく検出することは困難である。
しかし、本実施の形態のように傷３１に対して四方、八
方から、しかも拡散された光を集中的に当てて光の相乗
効果を利用することでＳＮ比を格段と改善でき、小さな
傷に対しても精度よく検出することが可能になる。特
に、人間の目では検出困難な傷（１０〜２０μｍ以下）
でも、相対的に光量を強くすることで、検出が可能とな
る。

【００１９】また、一度に水晶ブランク全体を視野にし
て撮像し、画像処理することができるので、小さな傷
（１０μｍ以下）に対しても高速に検出することができ
る。例えば５１２×５１２の画像として処理した場合で
も、２００ｍｓ以内の速度で検出可能であり、これは１
枚の水晶ブランクの中に傷が何個あっても同じである。
また、１０〜２０μｍ以下の小さい傷でも、光エネルギ
ーが大きく、安定して検出できるので、画像処理にて自
動化することが容易になる。

【００２０】また、水晶ブランクの周面のエッジ加工精
度が粗雑であればエッジ部での光の反射が大きくなる
が、逆に精度がよければ反射が小さくなるため、本実施
形態の傷検査装置を水晶ブランクの加工精度の検査にも
応用することができる。また、エッジ加工面での反射を
利用すれば、水晶ブランクの形状や寸法測定にも応用す
ることができる。

【００２１】水晶ブランクの表面に対する光の照射角度
は＋３０°〜−３０°の範囲が好ましい。この範囲とす
る理由は、照射角度が±３０°まではＳＮ比が大きく傷
３１を明瞭に判別できるが、それを越えると載置台の下
地模様が多く現れるようになるため判別が困難になり、
例えば±４５°では傷３１の画像は完全に下地模様に吸
収されて傷３１を検出できなくなるからである。

【００２２】傷検査の終了した水晶ブランク１は、再び
バキュームチャック１６に吸着されて搬送ロボットアー
ム１５により次工程に搬送される。この際、載置台２の
載置面３に溝が形成されているので、水晶ブランク１が
載置台２に密着して離脱しなくなるということがなく、
円滑にピックアップでき、スムーズな搬送が行なえる。

【００２３】図２は実際に観測される水晶ブランクの画
像である。背景および水晶ブランクは暗視野のため黒
色、ブランクの輪郭および傷は白色に表示される。本
来、傷は全面にわたって全く存在しないことが理想であ
る。また輪郭も長方形であることが好ましい。しかし実
際は理想どおりのものを得ることは不可能であり、図示
するように角が欠けたり、傷が一部の辺に接して付いて
いたり、内部に付いていたりする。上記傷検出装置は、
このような傷や欠けを明瞭に画像識別できるので、これ
を利用してこれらを一律に不良品として排除することは
可能である。しかし、これらの中には実使用上問題のな
い傷も存在する。例えば、ブランクの場所によって多少
の傷や欠けがあってもよい場合がある。これらを救済す
るには、水晶ブランクを傷検査するに際して、水晶ブラ
ンクのブランク面の画像を複数の領域に分割し、領域に
要求される検査基準を領域ごとに設定し、設定された検
査基準により各領域を検査する必要がある。

【００２４】そこで本実施形態では、図１に示すよう
に、短冊状水晶ブランク１の画像を複数に分割した。Ｄ
領域はブランクの四隅のコーナー領域、Ａ領域はコーナ
ー領域Ｄを除いたブランクの上下辺と平行で上下辺を一
辺とする一対の帯状の上下領域、Ｂ領域はコーナー領域
Ｄを除いたブランクの左右辺と平行で左右辺を一辺とす
る一対の帯状の左右領域、そして領域ＣはＡ領域および
Ｂ領域に囲まれた中央領域である。Ｃ領域は水晶振動子
として主に機能する部分なので検査規格は最もシビアで
ある。Ａ領域は長辺を含んでいるため次いでシビアさが
要求される。Ｂ領域は短辺を含んでいるためランクは落
ちる。そしてＤ領域はろう材で固定する部分であるため
多少の傷や欠けは無視できる。

【００２５】このような領域指定を図３に示すパソコン
１０から画像処理装置１４に対して設定する。水晶ブラ
ンクの傷検査のパソコン１０による設定画面を図５を用
いて説明する。

【００２６】まず設定画面に表示されたツールバーのパ
ラメータボタンを選択する。選択すると図示するような
画面が表示されるが、その画面左半分から説明すると、
設定ファイル欄には、パラメータファイル名（ｔｅｓｔ
１．ＰＡＲ）が表示される。また読込みボタン、保存ボ
タン、印刷ボタンが設けられ、読込みボタンをクリック
することで設定値を読込み、保存ボタンをクリックする
ことで設定値を保存し、印刷ボタンをクリックすること
で設定内容を印刷できるようになっている。

【００２７】形状選択欄には、傷検査モードを示す２つ
の短冊および丸型と、ベベリング検査モードを示すベベ
ルとの３つのラウンドボックスが用意され、短冊のラウ
ンドボックスにマークを入れると、検査対象となる水晶
ブランクの形状が矩形をした短冊であることを示し、丸
型のラウンドボックスにマークを入れると、水晶ブラン
クが円形をした丸形であることを示す。そしてベベリン
グのラウンドボックスにマークを入れると、傷検査では
なくベベリング状態を検査するベベルモードになること
を意味する。図示例では短冊のラウンドボックスにマー
クを入れてある。

【００２８】Ａ、Ｂ領域の短辺寸法欄には、Ａボックス
およびＢボックスが設けられ、ＡボックスにＡ領域の短
辺長さを、ＢボックスにＢ領域の短辺長さをｍｍ単位で
入力するようになっている。図示例ではＡボックスに
０．０２０（ｍｍ）が、Ｂボックスに０．１００（ｍ
ｍ）が設定されている。

【００２９】Ａ、Ｂ領域の短辺寸法欄の下に示した図
は、短冊状水晶ブランクの分割された領域説明図であ
る。最下段にはパラメータ自動設定ボタンが設けられ、
パラメータ自動設定ボタンをクリックすることにより各
パラメータを自動設定するようになっている。

【００３０】次に画面右半分を説明する。外形寸法欄に
は長辺ボックス、短辺ボックス、対角表示、Ｒ（隅）ボ
ックスが設けられ、長辺ボックスには水晶ブランクの長
辺規格と許容誤差寸法が、短辺ボックスには短辺規格と
許容誤差寸法がｍｍ単位で入力できるようになってい
る。また対角は水晶ブランクの対角線の長さを意味し、
長方形以外の形状、例えば菱形気味とか左右非対称とな
っているブランクを排除するために設けられている。対
角はブランクの長辺と短辺を入力すると自動計算によっ
て表示されるようになっており、許容誤差ボックスのみ
が入力できるようになっている。この対角線の長さは、
一対の対角線について検査される共通規格となる。なお
この項目は対角線ではなく角度で規定することも可能で
ある。Ｒ（隅）ボックスには理想的な直角コーナー領域
から実際の丸みを帯びたコーナー領域までの最短距離規
格と許容誤差寸法がｍｍ単位で入力できるようになって
いる。

【００３１】上記外形寸法は、図示例では次のように設
定されている。

【００３２】長辺６．０００±０．０１２（ｍｍ）短辺１．８００±０．０２０（ｍｍ）対角１．８００±０．１４１（ｍｍ）Ｒ（隅）０．０５０±０．０３０（ｍｍ）この外形寸法の設定値によって被検査対象となる水晶ブ
ランクの形状が検査され、許容値内に入れば良品とな
り、許容値を越えていれば不良品となる。

【００３３】判定レベルと傷面積欄には、Ａ（長辺）レ
ベルとＡ傷面積ボックス、Ｂ（短辺）レベルとＢ傷面積
ボックス、Ｃ（内部）レベルとＣ傷面積ボックス、Ｄ
（四隅）レベルとＤ傷面積ボックス、Ｃ（内部）シミと
Ｃシミ面積ボックスが設けられ、各ボックスに設定値を
入力できるようになっている。ここでシミとは水晶ブラ
ンク面に付着する汚れや油膜などをいう。各レベルは、
取り込んだ画像を２値化するための画像の明るさのしき
い値（任意単位）を示し、面積は各領域における傷と判
定される最小面積（任意単位）を示す。したがって、撮
像装置に取り込まれた画像が設定レベル以上で且つ設定
傷面積以上のときはじめて傷と判断されるが、設定レベ
ル以上であっても設定傷面積以下、または設定傷面積以
上であっても設定レベル以下であれば傷とは判断されな
い。各種分散は８ビットで２５６階調で表わすようにな
っており、Ａボックス、Ｂボックス、Ｃボックスが設け
られ、それらのボックスに設定値を入力できるようにな
っている。この分散設定値の要件が、前記したレベルと
傷面積のＡＮＤ条件にさらにＡＮＤ条件で加重されるこ
とになる。

【００３４】上記判定レベルと傷面積はここでは下記の
ように設定されている。

【００３５】Ａ（長辺）レベル１５０Ａ傷面積５Ｂ（短辺）レベル１５０Ｂ傷面積５Ｃ（内部）レベル１００Ｃ傷面積１０Ｄ（四隅）レベル２００Ｄ傷面積５Ｃ（内部）シミ３０Ｃシミ面積４０各種分散Ａ１００Ｂ１５０Ｃ８０水晶ブランクの傷のない部分は暗く映るが、傷の部分は
明るくなる。したがって、この領域毎の設定レベルの意
図するところは、厳しい規格を要求されるＣ領域にもっ
とも暗い（厳しい）しきい値が設定され、規格のもっと
も厳しくないＤ領域にもっとも明るい（緩い）しきい値
が設定されているということである。またＣ領域の傷面
積は、設定レベルとの関係で他の領域に比べていくぶん
大きく設定してある。またＣ領域のシミについては、傷
よりは光の強調度が低くでるということからシミレベル
を小さく設定し、且つ傷よりは広がりが大きいことから
シミ面積を大きく設定することにより、傷との有意差を
つけている。さらに分散についてはＣ領域の規格がもっ
とも厳しくなっている。

【００３６】この判定レベル、傷面積、分散によって被
検査対象となる水晶ブランクの傷が選別され、許容値内
に入れば傷として扱わず、許容値を越えていれば傷とし
て扱う。

【００３７】右側の最下段にはパラメータ書込みボタン
（Ｆ８）と終了ボタン（Ｆ１０）が並んで設けられ、ク
リックすることによりパラメータが書き込まれ、あるい
は検査設定を終了させることができるようになってい
る。

【００３８】なお、上記実施の形態では水晶ブランクを
Ａ〜Ｄ領域の４つの種類に分けたが、本発明はこれに限
定されない。例えば、図７に示すように、（ａ）中央領
域Ｃをさらに複数または碁盤目状に分割（Ｃ11、Ｃ12
…）して非加工部分における傷の偏在傾向を調べること
ができるようにしてもよい。また、水晶ブランクが丸型
の場合には、図７（ｂ）に示すように周辺領域Ａ、中央
領域Ｃ、オリフラ領域Ｂの３に分割したり、図７（ｃ）
に示すように単に周辺領域Ａと中央領域Ｃとに分割した
りしてもよく、ニーズに応じた領域数に分割する。

【００３９】図６は水晶ブランクのベベリング検査の設
定画面を示したものである。図５と異なる点は、ベベリ
ング検査に合わせてＡ、Ｂ領域の寸法が大きめに設定さ
れ、また外形寸法とフラット部寸法の設定画面が若干異
なる点である。なお、フラット部とはベベリング加工さ
れる周辺部を除いた中央の非加工部をいい、したがって
フラット部寸法とは非加工部の寸法のことをいう。この
ようにベベリング検査においても、領域分割して領域毎
に異なる設定値を用いて検査することにより、水晶振動
子の特性を良好にするために要求されるベベリング加工
精度の対称性を精度よく測定できるようになる。

【００４０】

【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば領域に応
じた検査基準により適正な検査ができる。また請求項２
に記載の発明によれば、所定領域に応じた適正な検査が
でき、領域情報が入っている検査データが得られるた
め、検査の標準化や分析管理がしやすくなる。また請求
項３に記載の発明によれば実用的な傷検査ができる。そ
して請求項４に記載の発明によれば、実用的なベベリン
グ検査ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施形態の水晶ブランク画像の領域分割を示す
説明図である。

【図２】実施形態による実際の水晶ブランク画像を示す
説明図である。

【図３】本発明に係る水晶基板のベベリング評価装置の
一実施形態を示すもので、（ａ）は概略構成図、（ｂ）
は（ａ）の発光ダイオード、載置台を下側からみた図で
ある。

【図４】水晶ブランクの側面全周に向けて光を照射した
ときに傷が浮び上がる原理を示したものであり、（ａ）
は平面図、（ｂ）は側面図である。

【図５】実施形態の傷検査時のパソコンの設定画面を示
す図である。

【図６】実施形態のベベリング評価時のパソコンの設定
画面を示す図である。

【図７】他の実施形態の水晶ブランクの領域分割を示す
説明図である。

【符号の説明】

１水晶ブランクＡ上下領域Ｂ左右領域Ｃ中央領域Ｄコーナー領域

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１１年４月２６日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】発明の名称

【補正方法】変更

【補正内容】

【発明の名称】水晶ブランクの検査方法

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【特許請求の範囲】

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００１

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は水晶ブランクの検査
方法に係り、特に水晶ブランクの傷を領域毎に検査でき
るようにしたものに関する。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００４

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００４】本発明の課題は、上述した従来技術の問題
点を解消して、水晶ブランクの傷を有効に判断すること
が可能な水晶ブランクの検査方法提供することにある。

【手続補正５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００５

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、水晶振動子用
の水晶ブランクの傷を検査するに際して、水晶ブランク
面の画像を、少なくとも水晶ブランクを固定する固定領
域、該固定領域を除く水晶ブランクの周辺領域、水晶振
動子として主に機能する中央領域の複数の領域に分割
し、前記領域に要求される検査基準を前記領域ごとに設
定し、設定された検査基準により各領域を検査するよう
にした水晶ブランクの検査方法である。

【手続補正６】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００７

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００７】水晶ブランクが短冊状のブランクである場
合においては、前記固定領域が水晶ブランクの四隅のコ
ーナー領域であり、前記周辺領域が、前記コーナー領域
を除いた水晶ブランクの上下辺と平行で上下辺を一辺と
する一対の帯状の上下領域および、同じく前記コーナー
領域を除いた水晶ブランクの左右辺と平行で左右辺を一
辺とする一対の帯状の左右領域であり、前記中央領域
が、前記上下領域および前記左右領域に囲まれた中央領
域であることが好ましい。検査は傷検査でもベベリング
検査でも、さらには形状検査でもよい。

【手続補正７】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２４】そこで本実施形態では、図１に示すよう
に、短冊状水晶ブランク１の画像を複数に分割した。Ｄ
領域はブランクの四隅のコーナー領域、Ａ領域はコーナ
ー領域Ｄを除いたブランクの上下辺と平行で上下辺を一
辺とする一対の帯状の上下領域、Ｂ領域はコーナー領域
Ｄを除いたブランクの左右辺と平行で左右辺を一辺とす
る一対の帯状の左右領域、そして領域Ｃは、Ａ領域およ
びＢ領域（周辺領域）に囲まれた中央領域である。Ｃ領
域は水晶振動子として主に機能する部分なので検査規格
は最もシビアである。Ａ領域は長辺を含んでいるため次
いでシビアさが要求される。Ｂ領域は短辺を含んでいる
ためランクは落ちる。そしてＤ領域はろう材で固定する
部分（固定領域）であるため多少の傷や欠けは無視でき
る。

【手続補正８】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４０】

【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば領域に応
じた検査基準により適正な検査ができる。また請求項２
に記載の発明によれば、所定領域に応じた適正な検査が
でき、領域情報が入っている検査データが得られるた
め、検査の標準化や分析管理がしやすくなる。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】水晶基板を検査するに際して水晶基板の基
板面の画像を複数の領域に分割し、前記領域に要求される検査基準を前記領域ごとに設定
し、設定された検査基準により各領域を検査するようにした
水晶基板の検査方法。
【請求項２】前記水晶基板が短冊状の基板である場合に
おいて、前記基板面の画像を、基板の四隅のコーナー領
域と、前記コーナー領域を除いた基板の上下辺と平行で
上下辺を一辺とする一対の帯状の上下領域と、同じく前
記コーナー領域を除いた基板の左右辺と平行で左右辺を
一辺とする一対の帯状の左右領域と、上下領域および左
右領域に囲まれた中央領域とに分割した請求項１に記載
の水晶基板の検査方法。
【請求項３】前記検査が傷検査である請求項１または２
に記載の水晶基板の検査方法。
【請求項４】前記検査がベベリング検査である請求項１
または２に記載の水晶基板の検査方法。