JPH11220892A5 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH11220892A5
JPH11220892A5 JP1998074700A JP7470098A JPH11220892A5 JP H11220892 A5 JPH11220892 A5 JP H11220892A5 JP 1998074700 A JP1998074700 A JP 1998074700A JP 7470098 A JP7470098 A JP 7470098A JP H11220892 A5 JPH11220892 A5 JP H11220892A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vibration
vibrating body
actuator according
displacements
contact
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1998074700A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JPH11220892A (ja
JP4077923B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP07470098A priority Critical patent/JP4077923B2/ja
Priority claimed from JP07470098A external-priority patent/JP4077923B2/ja
Priority to US09/197,425 priority patent/US6404104B1/en
Priority to EP98309728A priority patent/EP0923144A3/en
Priority to KR1019980051198A priority patent/KR100347124B1/ko
Publication of JPH11220892A publication Critical patent/JPH11220892A/ja
Publication of JPH11220892A5 publication Critical patent/JPH11220892A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4077923B2 publication Critical patent/JP4077923B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

JP07470098A 1997-11-27 1998-03-23 振動型アクチュエータ Expired - Fee Related JP4077923B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP07470098A JP4077923B2 (ja) 1997-11-27 1998-03-23 振動型アクチュエータ
US09/197,425 US6404104B1 (en) 1997-11-27 1998-11-23 Vibration type actuator and vibration type driving apparatus
EP98309728A EP0923144A3 (en) 1997-11-27 1998-11-26 Vibration type actuator and vibration type driving apparatus
KR1019980051198A KR100347124B1 (ko) 1997-11-27 1998-11-27 진동형액츄에이터및진동형구동장치

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP32638197 1997-11-27
JP9-326381 1997-11-27
JP07470098A JP4077923B2 (ja) 1997-11-27 1998-03-23 振動型アクチュエータ

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JPH11220892A JPH11220892A (ja) 1999-08-10
JPH11220892A5 true JPH11220892A5 (enExample) 2005-09-08
JP4077923B2 JP4077923B2 (ja) 2008-04-23

Family

ID=26415884

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP07470098A Expired - Fee Related JP4077923B2 (ja) 1997-11-27 1998-03-23 振動型アクチュエータ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4077923B2 (enExample)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4724904B2 (ja) * 2000-08-11 2011-07-13 株式会社ニコン 振動アクチュエータ
JP2004129458A (ja) 2002-10-07 2004-04-22 Canon Inc 振動型アクチュエータの制御装置、振動型アクチュエータシステム、振動型アクチュエータの制御方法
JP4490232B2 (ja) * 2004-10-14 2010-06-23 日本電信電話株式会社 多自由度駆動機構
JP4731977B2 (ja) 2005-04-22 2011-07-27 キヤノン株式会社 光学機器
JP4788451B2 (ja) 2006-04-10 2011-10-05 株式会社豊田自動織機 振動アクチュエータ
JP4780770B2 (ja) 2006-04-10 2011-09-28 株式会社豊田自動織機 振動アクチュエータ
JP5211463B2 (ja) 2006-10-13 2013-06-12 株式会社豊田自動織機 振動アクチュエータ
JP5183108B2 (ja) * 2007-06-25 2013-04-17 キヤノン株式会社 振動波駆動装置の制御装置
JP5316045B2 (ja) * 2009-02-09 2013-10-16 株式会社豊田自動織機 振動アクチュエータの支持機構
GB2479557B (en) * 2010-04-14 2012-04-11 Alan Wilkinson Magnetic tip with trace for paintless dent removal rod
JP5618085B2 (ja) * 2011-02-15 2014-11-05 上野　敏幸 ３軸球面モータ
JP5484522B2 (ja) * 2012-06-14 2014-05-07 キヤノン株式会社 振動波駆動装置
CN106527292B (zh) * 2016-12-26 2023-07-28 中国工程物理研究院总体工程研究所 多压电陶瓷激振器并联组合系统的控制方法及控制装置
CN111251285B (zh) * 2020-03-25 2023-10-27 南京航空航天大学 一种压电驱动二自由度深海机械臂及其驱动方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH11220892A5 (enExample)
JP4628363B2 (ja) 平らに共振する電気機械的駆動ユニット
EP0923144A2 (en) Vibration type actuator and vibration type driving apparatus
JPH10511503A (ja) ピエゾ電気により作動される駆動又は調節素子
JP4452275B2 (ja) 圧電電気機械式駆動装置
JP4077923B2 (ja) 振動型アクチュエータ
JP2009534014A (ja) より大きな変位を提供可能な圧電式リニアモーター
JP2000324862A5 (enExample)
JP2000324862A (ja) 振動型アクチュエータおよび振動型駆動装置
JPH11220891A5 (enExample)
JP2025518308A (ja) 駆動励起器及び電子機器
JP2000295876A5 (enExample)
KR20120138374A (ko) 초음파모터의 압전진동자
JP2611813B2 (ja) 回転制御機構
JPH099651A (ja) 超音波アクチュエータ
JP2709045B2 (ja) 圧電駆動装置
LT7061B (lt) Didelės galios pjezoelektrinis variklis su valdymo sistema
JP7178674B2 (ja) 制振装置
JP2558830B2 (ja) 超音波モータ
US3560771A (en) Acoustically active resonator
JPH04145880A (ja) 超音波モータ
JPH05184172A (ja) 超音波振動子
KR102063025B1 (ko) 압전 액추에이터
JP2003116289A5 (enExample)
JP4724904B2 (ja) 振動アクチュエータ