JPH11220862A - 動圧軸受モータ - Google Patents

動圧軸受モータ

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JPH11220862A
JPH11220862A JP1928998A JP1928998A JPH11220862A JP H11220862 A JPH11220862 A JP H11220862A JP 1928998 A JP1928998 A JP 1928998A JP 1928998 A JP1928998 A JP 1928998A JP H11220862 A JPH11220862 A JP H11220862A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の構成の動圧軸受モータよりも小型化が
可能な動圧軸受モータを提供する。 【解決手段】 回転トルクに寄与する径方向部分23
a、23cが駆動磁石に対向する表面側のみに配置さ
れ、回転トルクに寄与しない周方向部分23b、23d
が前記表面側と駆動磁石に対向しない裏面側とに交互に
配置された駆動コイル23を備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、動圧軸受モータに
関し、特に、デジタルレーザービームプリンタや電子写
真複写機などに組み込まれる光偏向器に利用される動圧
軸受モータに関するものである。
【0002】
【従来の技術】一般に、レーザービームプリンタや電子
写真複写機などのデジタル画像形成装置には、読取対象
の画像を光ビームにより走査して画像を読み取る画像読
取装置や、変調された光ビームにより記録媒体を走査し
て記録媒体上に画像を形成させる画像記録装置を備えて
おり、これら画像読取装置や画像記録装置には光ビーム
を走査するための光偏向器が設けられている。
【0003】図5に示したように、画像記録装置70で
は、半導体レーザあるいはガスレーザ等のレーザ光源8
5からのレーザ光Lは、レーザ光を平行光束とするコリ
メータレンズ86を介して光偏向器80に入射する。光
偏向器80は、複数の反射面48A、48B、48C…
が側面に形成された回転多面鏡48と、この回転多面鏡
48を固定軸14の回りに矢印X方向に等角速度で回転
させる駆動モータ81とから構成されている。回転多面
鏡48の反射面の1つに入射した光ビームLは、駆動モ
ータ81による回転多面鏡48の回転によって反射面の
偏向と共に等角速度で偏向される。そのため、反射面に
入射したレーザ光Lは、徐々に偏向角が変えられてfθ
レンズ87に入射し、記録媒体88上を矢印Y方向に等
速度で走査される。
【0004】すなわち、レーザ光Lは、回転多面鏡48
の回転に伴なって矢印Y方向に記録媒体88上を走査す
る(主走査)。なお、記録媒体88は、レーザ光Lが矢
印Y方向に記録媒体88を走査するのに伴なって矢印Z
方向に回転してレーザ光Lの照射位置を記録媒体88の
回転方向にずらして走査が行われるようにしている(副
走査)。これらの動きにより記録媒体88に対して二次
元の書き込みが行われる。
【0005】このような画像記録装置70に用いられる
光偏向器の駆動モータとして、回転多面鏡に固着した回
転スリーブと、回転スリーブに固定されたリング状の回
転駆動用マグネット(以後、駆動マグネットと称す。)
と、回転スリーブに挿通された固定軸と、固定軸を保持
するハウジングと、ハウジングに固定され、駆動マグネ
ットに対して回転トルクを付与するコアレスコイルと、
回転スリーブに固定され、駆動マグネットの内周側に駆
動マグネットと同心に配置されたリング状の周波数発電
マグネット(以下、FGマグネットと記す)と、ハウジ
ングに固定されFGマグネットと対向する位置に配置さ
れた回転周波数検出用の櫛歯形状の周波数発電コイル
(以後、FG(Frequency generation)コイルと称
す。)とを、備えた動圧軸受モータが知られている。
【0006】図6は、上記の動圧軸受モータにおけるコ
アレスコイル20、駆動マグネット22、FGコイル6
1等の配置を示している。回転に必要な磁気回路は、回
転スリーブ40側に設けられた駆動マグネット22と、
固定軸14側に設けられた駆動コイル20とにより形成
される。回転トルクは、駆動マグネット22の複数の磁
極をホール検出素子等の磁極検出素子21により検出
し、所定のタイミングロジックによって駆動コイル20
に通電することで得られる。
【0007】この時、回転数は、回転スリーブ40側に
設けられたFGマグネット60によってFGコイル61
に誘起された電圧の周波数の変動成分を検出信号とする
ことで一定に制御される。なお、このようなFGマグネ
ット60と、FGコイル61によって検出信号を得る回
転検出機構は、例えば、特開平1−204211号公報
などに開示されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成の動圧軸受モータは、必要不可欠な部品点数が
多く、部品数の削減による動圧軸受モータの小型化を行
うのが難しい。また、駆動コイルなどの部品の厚みや、
磁気回路を形成させるための部品の配置関係を維持する
必要性からも小型化には限界がある。そこで本発明は、
そのような問題を解消し、従来の構成の動圧軸受モータ
よりも小型化が可能な動圧軸受モータを提供することを
目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1にかかる発明は、回転中心の周囲にN極と
S極とが交互に配置されて回転駆動用の磁界を発生する
駆動磁石が設けられた第1の部材と、回転トルクに寄与
する部分が駆動磁石に対向する表面側のみに配置され、
回転トルクに寄与せずに表面に露出する部分が前記表面
側と駆動磁石に対向しない裏面側とに交互に配置された
回転駆動用の駆動コイルが前記駆動磁石に対向して配置
された第2の部材と、を備え、前記駆動コイルに通電し
て前記駆動磁石と前記駆動コイルとにより形成される磁
気回路により発生される回転トルクによって前記第1の
部材及び前記第2の部材の一方を他方に対して相対的に
回転させる動圧軸受モータとしている。
【0010】請求項1の発明では、駆動コイルの回転ト
ルクに寄与する部分を駆動磁石に対向する表面側のみに
配置し回転トルクに寄与せずに表面に露出する部分を前
記表面側と駆動磁石に対向しない裏面側とに交互に配置
している。回転トルクに寄与せずに表面に露出する部分
は、回転方向に配置されて第2の部材の表面側と裏面側
に分配されているため、駆動コイルの回転の径方向に占
める領域を従来よりも小さくしている。これにより、第
2の部材を従来よりも小さくできるので、径方向に小型
な動圧軸受モータとすることができる。
【0011】また、上記目的を達成するために、請求項
2にかかる発明は、請求項1に記載の動圧軸受モータに
おいて、前記駆動コイルの回転トルクに寄与せずに前記
第2の部材の裏面側に露出する部分の間に、回転周波数
検出用の周波数発電コイルを配置したことを特徴として
いる。
【0012】請求項2の発明では、回転周波数検出用の
周波数発電コイルを第2の部材の裏面側の駆動コイルの
回転トルクに寄与せずに第2の部材の裏面側に露出する
部分の間に配置しているので、回転周波数検出用の周波
数発電コイルを配置する領域を駆動コイルの配置領域以
外に設ける必要がなく、回転の径方向に小型な動圧軸受
モータとすることができる。
【0013】また、上記のように構成することによっ
て、回転周波数検出用の周波数発電コイルは駆動磁石の
磁界内に配置されるため、駆動磁石の影響を受けて発電
することとなる。この発電により回転周波数が検出でき
るので、従来回転周波数を検出するためだけに設けられ
ていた周波数発電コイル用の磁石が不要となり、部品を
減らすことができる。従って、その分径方向に小型な動
圧軸受モータとすることができる。
【0014】
【発明の実施の形態】以後、本発明を光偏向器の回転多
面鏡を回転するための駆動機構に適用した場合の本発明
の実施の形態を、図1〜図4を参照して説明する。な
お、以下の実施形態では、第1の部材をロータとし、第
2の部材をステータとしている。
【0015】(第1の実施形態)図1に示すように、こ
の光偏向器80には、第2の部材であるステータ10側
のハウジング12の中央部に圧入等でセラミックス製の
固定軸14が固定されており、この固定軸14の外周面
には動圧軸受を構成するための深さ数μmのヘリングボ
ーン溝24が多数形成されている。
【0016】ハウジング12の上面には、円板部分を備
えた板状の回路基板18が配置されている。この回路基
板18には、図2及び図3に示すように、エッチングパ
ターンにより形成された6個の駆動コイル23が固定軸
14を中心に全体として円環を描くように等間隔で配置
されており、駆動コイル23には、これら駆動コイル2
3の励磁切り替え制御を行う図示しない制御回路が接続
されている。
【0017】個々の駆動コイル23において、回転トル
クに寄与する径方向部分23a、23cは全て回路基板
18の表面側の駆動磁石に対向する位置に配置され、回
転トルクに寄与しない周方向部分23b、23dは前記
表面側と駆動磁石に対向しない裏面側とに交互に配置さ
れ、回路基板18を貫通するコイルの貫通部が表面側の
周方向部分23b、23d又は裏面側の周方向部分23
b、23dと表面側の径方向部分23a、23cとを接
続する。そのため、表面に露出する駆動コイル23の周
方向部分23b、23dは、図2(a)に示すように、
駆動コイル23の周方向部分23a、23cの幅の半分
程度となっている。また、回路基板18の裏面には、図
2(b)に示すように、駆動コイル23の周方向部分2
3b、23dのみが露出している。なお、駆動コイル2
3の詳細については後述する。
【0018】また、図1及び図2に示すように、回路基
板18には、ロータ16の位置を検出する位置検出素子
としてのホール素子21が各駆動コイル23の中心に固
定されている(図2参照)。これらホール素子21によ
り後述する駆動マグネット22の複数の磁極が検出さ
れ、該検出結果に基づいてロータ16の回転中の位置が
検出される。
【0019】また、回路基板18の裏面側には、ハウジ
ング12上に穿設した浅溝30に設置された珪素鋼板か
ら成るステータヨーク28が配置されている。
【0020】また、ハウジング12の上面には、ハウジ
ング12と一体的に形成されたスラストマグネットホル
ダ32が立設されており、このスラストマグネットホル
ダ32の上部には、垂直断面が矩形でリング状に形成さ
れたステータ側スラストマグネット38が、接着等の方
法によって取り付けられている。
【0021】一方、ロータ16側には、第1の部材であ
るセラミックス製の回転スリーブ40が、3〜8μm程
度の隙間をおいて固定軸14に挿通されている。このた
め、回転スリーブ40が固定軸14の回りを高速回転す
ると、固定軸14と回転スリーブ40との間に動圧が発
生し、この動圧により固定軸14の径方向に沿って対向
した動圧軸受が構成される。
【0022】回転スリーブ40の外周部の所定位置に
は、アルミニウム製のリング状のフランジ42が焼き嵌
めや圧入等の方法により固定されている。このフランジ
42の上面には、取り付け面46が形成されており、こ
の取り付け面46上にアルミニウム製の回転多面鏡48
が固定用のバネ50によって固定されている。この回転
多面鏡48は多角形柱状に形成されており、各側面48
Aは鏡面に加工されている。なお、取り付け面46は回
転スリーブ40の軸芯に対して垂直となるよう高精度に
加工されている。
【0023】フランジ42における駆動コイル23に対
応する部位には切欠き部42Aが形成されており、この
切欠き部42Aには回転駆動用の駆動マグネット22が
接着等によって取り付けられている。駆動マグネット2
2は全体がリング状に成形されており、その中央の穴部
におけるステータ10側には、内径を一段広げた開口と
した開口段部52が形成されている。また、駆動マグネ
ット22は、中心角45度ずつに8等分した各区分に、
隣接する区分が異極となるようN極とS極とが着磁され
ている。
【0024】フランジ42の切欠き部56には、回転数
に応じた周波数信号を発電するためのFGマグネット6
0が接着によって取り付けられている。このFGマグネ
ット60は全体がリング状に成形されており、中心角を
16等分した各区分に、隣接する区分が異極となるよう
N極とS極とが着磁されている。
【0025】回路基板18におけるFGマグネット60
に対向する位置には、櫛歯状のFGコイル61(図3も
参照)がエッチング等によって形成されており、このF
Gコイル61に発生する交流電流に基づいて、ロータ1
6の回転数が検出される。
【0026】フランジ42の上面には、垂直断面が矩形
で環状に切欠いて形成された溝部54が設けられてお
り、この溝部54にはバランス調整用の釣合い重り57
Aが取り付けられている。また、フランジ42とFGマ
グネット60とで形成される段部59には、バランス調
整用の釣合い重り57Bが取り付けられている。これら
の釣合い重り57A、57Bは、ロータ16の回転中の
バランスを調整する。
【0027】フランジ42の外周面には、リング状に形
成されたロータ側スラストマグネット58が接着によっ
て取り付けられている。このロータ側スラストマグネッ
ト58は、ステータ側スラストマグネット38に対向す
るよう所定間隔を置いて配置されており、ロータ側スラ
ストマグネット58の外周面部とステータ側スラストマ
グネット38の内周面部とで吸引力が働くよう相互に異
極に着磁されている。このため、これらロータ側スラス
トマグネット58とステータ側スラストマグネット38
とでスラスト磁気軸受が構成される。
【0028】このスラスト磁気軸受では、ロータ側スラ
ストマグネット58とステータ側スラストマグネット3
8とで働く吸引力がロータ16の回転スリーブ40にお
けるスラスト方向(軸方向)の荷重よりも大きく設定さ
れており、このため、上記吸引力によりロータ16全体
が浮上する。なお、回転スリーブ40を軸方向に支持す
るための方法としては、このほかに永久磁石と磁性体と
を用いる方法や、空気の動圧作用で浮上させる方法など
を利用することもできる。
【0029】上記のようにロータ16は、スラスト磁気
軸受によりスラスト方向に支持されると共に、動圧軸受
によりラジアル方向に支持されている。これにより、回
路基板18上の駆動制御回路が各駆動コイル23に交流
電圧を印加するよう制御することで、各駆動コイル23
に電流が流れ、各駆動コイル23に対向する駆動マグネ
ット22の磁界と上記電流とで電磁誘導作用が働き、駆
動マグネット22に対し回転駆動力が発生する。この回
転駆動力によって、ロータ16が宙に浮いた状態で高速
回転することとなる。
【0030】本実施形態における駆動コイル23につい
て詳細に説明すると、駆動コイル23は径方向部分23
a、23cが回路基板18の表面側のみに配置され、周
方向部分23b、23dが回路基板の表面側と裏面側と
に交互に配置され、かつ、表面側の周方向部分23b、
23d又は裏面側の周方向部分23b、23dと表面側
の径方向部分23a、23cとが回路基板を貫通するス
ルーホール内のコイルにより接続された構成のエッチン
グパターンよりなる渦巻状のコイルである。
【0031】図3に模式的に示したように、駆動コイル
23の内側の1巻き目は、回路基板の表面のみにA1位
置→B1位置→C1位置→D1位置→A2位置の順で右
回りに略矩形状に巻回した構成となっている。なお、A
2位置は、A1位置からD位置からA位置方向に予め定
めた一定距離離れた位置である。
【0032】2巻き目は、A2位置からB2位置にわた
る径方向部分が、1巻き目のA1位置からB1位置にわ
たる径方向部分の外周側に予め定めた一定距離離れて平
行に形成されている。また、C2位置もC1位置からB
C方向に予め定めた一定距離離れた位置であり、従って
C2位置からD2位置にわたる径方向部分もA2位置か
らB2位置にわたる径方向部分と同様に、1巻き目のC
1位置からD1位置にわたる径方向部分の外周側に予め
定めた一定距離離れて平行に形成されている。
【0033】2巻き目のB2位置からC2位置にわたる
コイルの周方向部分は、回路基板の裏面側において1巻
き目のコイル部分により形成されたB1位置からC1位
置にわたるコイルの周方向部分と固定軸14からのコイ
ルの径方向の距離が同じ距離となる位置に形成されてい
る。また、D2位置からA3位置にわたるコイルの周方
向部分も同様に、回路基板の裏面側において1巻き目の
コイル部分により形成されたD1位置からA2位置にわ
たるコイルの周方向部分と固定軸14からのコイルの径
方向の距離が同じ距離となる位置に形成されている。
【0034】この場合の表面に形成したコイルの径方向
部分と裏面に形成したコイルの周方向部分との接続は、
表面と裏面のコイル部分を繋ぐ位置の回路基板18にス
ルーホールを設け、このスルーホール内にコイルを埋め
込んで接続用の貫通部とし、貫通部の表面側端部を回路
基板18表面のコイルの径方向部分の端部と接合すると
共に、貫通部の裏面側端部を回路基板18裏面のコイル
の周方向部分の端部と接合することにより行われる。
【0035】3巻き目は、A3位置からB3位置にわた
るコイルの径方向部分が、2巻き目のA2位置からB2
位置にわたるコイルの径方向部分の外周側に予め定めた
一定距離離れた位置に平行に形成されている。また、C
3位置からD3位置にわたるコイルの径方向部分も同様
に、2巻き目のC2位置からD2位置にわたるコイルの
径方向部分の外周側に予め定めた一定距離離れた位置に
平行に形成されている。
【0036】3巻き目のB3位置からC3位置にわたる
コイルの周方向部分は、回路基板18の表面側において
1巻き目のコイル部分により形成されたB1位置からC
1位置にわたるコイルの周方向部分の外周側に予め定め
た一定距離離れて形成されている。また、D3位置から
A4位置にわたるコイルの周方向部分も同様に、回路基
板18の表面側において1巻き目のD1位置からA2位
置にわたるコイルの周方向部分の外周側に予め定めた一
定距離離れて形成されている。
【0037】4巻き目のコイルの径方向部分は、1〜3
巻き目と同様に、表面側に形成された3巻き目のコイル
の径方向部分の外周側に予め定めた一定距離離れた位置
に平行に形成されている。コイルの周方向部分は、2巻
き目と同様に裏面側に配置され、3巻き目のコイル部分
の固定軸14からの径方向の距離と同じ距離となるよう
に配置されている。
【0038】図3の模式図を用いて4巻き目まで説明し
たが、このようにコイルの奇数巻き目は全てのコイル部
分を表面側に形成し、コイルの偶数巻き目は回転トルク
に寄与する径方向部分23a、23c(図2も参照)は
表面側に形成すると共に、回転トルクに寄与しない周方
向部分23b、23dは裏側に形成する構成とすること
で駆動コイル23の固定軸14から径方向に占める領域
を従来よりも縮小できる。従って、駆動コイル23を形
成する回路基板18を従来よりも小さく形成できるの
で、光偏向器80全体として小型化できる。
【0039】上記のように構成したコイルでは、回路基
板18の厚み方向に磁束が通過するので、径方向に配置
された部分には周方向の力(回転の接線方向)が発生
し、周方向に配置された部分には径方向の力が発生し、
貫通部には力が発生しない。従って、径方向に配置され
たコイル部分は回転トルクに寄与する部分となり、周方
向に配置されたコイル部分及び貫通部は回転トルクに寄
与しない部分となる。
【0040】なお、第1の実施形態では、回転トルクに
寄与しないコイルの周方向部分を回路基板の表側と裏側
とに順に交互に分けて配置したものとしているが、この
ような構造に限らず、例えば、コイルの周方向部分の前
半の半巻き分は表面側に続けて配置し、後半の半巻き分
は裏側に続けて配置するなどのように、コイルの周方向
部分の回路基板の表側と裏側とに対する配置を変えるこ
ともできる。
【0041】なお、上記第1の実施形態の光偏向器で
は、ロータ16側に駆動マグネット22とFGマグネッ
ト60とを設け、ステータ10側に駆動コイル23とF
Gコイル61とを設けた例を説明したが、これらの配置
については、駆動マグネット22と駆動コイル61とが
対向し且つFGマグネット60とFGコイル61とが対
向していれば良く、ステータ10側に駆動マグネット2
2とFGマグネット60とを設けロータ16側に駆動コ
イル23とFGコイル61とを設けた光偏向器について
も、本発明は適用可能であり、上記同様の効果を得るこ
とができる。
【0042】(第2の実施形態)本第2の実施形態は、
第1の実施形態で説明した光偏向器において、図4
(a)に示すように、固定軸14と駆動コイル23との
間に回転数検出用のFG(Frequency generation)コイ
ル61を設けず、図4(b)に示すように、回路基板1
8の裏面に露出する2つの略平行なコイルの周方向部分
23b、23dに挟まれた領域内にFGコイル61を設
けた構成である。
【0043】すなわち、図4(b)に示すように、回路
基板18の裏面には、駆動コイル23の2つの周方向部
分23b、23dが形成されている。これら2つのコイ
ルの周方向部分23b、23dは、互いに回路基板18
の表面に形成されたコイルの径方向部分の長さ分だけ離
れて略平行に配置されている。
【0044】半導体基板18の裏面側には、コイルの径
方向部分23a、23cは形成されていないので、本第
2の実施形態では、全ての駆動コイル23の2つの周方
向部分23b、23dに挟まれた領域に、周方向に繋が
る構成のFGコイル61を形成している。これにより、
固定軸14と駆動コイル23との間のFGコイル61を
形成させるための領域が不要となるため、回路基板18
の固定軸14からの径方向の距離を小さくでき、その分
モータを小型化できる。
【0045】さらに、FGコイル61を駆動コイル23
の裏面側に配置することによって、FGコイル61も駆
動マグネット22の磁界の影響を受けるので、回転する
駆動マグネット22によりFGコイル61に交流電流が
発生し、この交流電流によって周波数が検出できる。そ
のため、周波数発電のためだけに設けられていたFGマ
グネット60は不要となり、その分部品点数を減らして
装置全体として小型化することが可能である。なお、周
波数発電のためだけに設けられていたFGマグネット6
0よりも大きい駆動マグネットを周波数検出用に用いて
いるため、FGコイル61の出力電圧が高くなるという
利点もある。なお、本第2の実施形態の光偏向器のその
他の部分は、前述した第1の実施形態と同様であるた
め、説明は省略する。
【0046】また、上記第2の実施形態の光偏向器で
は、ロータ16側に駆動マグネット22を設け、ステー
タ10側に駆動コイル23とFGコイル61とを設けた
例を説明したが、これらの配置については、駆動コイル
23とFGコイル61とが駆動マグネット22に対向し
ていれば良く、ステータ10側に駆動マグネット22を
設けロータ16側に駆動コイル23とFGコイル61と
を設けた光偏向器についても、本発明は適用可能であ
り、上記同様の効果を得ることができる。
【0047】以上説明した第1と第2の実施形態では、
動圧軸受モータの一例として、多面鏡を回転させるため
の光偏向器の駆動機構に本発明を適用した場合について
説明したが、これに限らず、その他回転が必要な部材を
回転させるための駆動機構として本発明を適用できる。
【0048】また、上記第1と第2の実施形態では、固
定軸14の外側で動圧空気軸受により軸支された円筒型
の回転スリーブ40が回転する構造のスリーブ回転型の
光偏向器80に本発明を適用した例を説明したが、円筒
型の固定軸14の内側で軸が回転する構造のシャフト回
転型の光偏向器にも本発明は適用可能である。
【0049】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1及び2の
発明によれば、動圧軸受モータを小型化することができ
る、という効果を達成する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態の光偏向器の縦断面図
である。
【図2】(a)は図1の光偏向器の回路基板の上面側の
構成を示す説明図であり、(b)は図1の光偏向器の回
路基板の下面側の構成を示す説明図である。
【図3】本発明の第1の実施形態の駆動コイルの模式図
である。
【図4】(a)は本発明の第2の実施形態の光偏向器の
回路基板の上面側の構成を示す説明図であり、(b)は
本発明の第2の実施形態の光偏向器の回路基板の下面側
の構成を示す説明図である。
【図5】光偏向器を含んで構成された画像記録装置の概
略構成図である。
【図6】従来の光偏向器の回路基板の上面側の構成を示
す説明図である。
【符号の説明】
12 ハウジング 14 固定軸 18 回路基板 22 駆動マグネット 23 駆動コイル 48 回転多面鏡 60 FGマグネット 61 FGコイル 80 光偏向器

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回転中心の周囲にN極とS極とが交互に
    配置されて回転駆動用の磁界を発生する駆動磁石が設け
    られた第1の部材と、 回転トルクに寄与する部分が駆動磁石に対向する表面側
    のみに配置され、回転トルクに寄与せずに表面に露出す
    る部分が前記表面側と駆動磁石に対向しない裏面側とに
    交互に配置された回転駆動用の駆動コイルが前記駆動磁
    石に対向して配置された第2の部材と、 を備え、前記駆動コイルに通電して前記駆動磁石と前記
    駆動コイルとにより形成される磁気回路により発生され
    る回転トルクによって前記第1の部材及び前記第2の部
    材の一方を他方に対して相対的に回転させる動圧軸受モ
    ータ。
  2. 【請求項2】 前記駆動コイルの回転トルクに寄与せず
    に前記第2の部材の裏面側に露出する部分の間に、回転
    周波数検出用の周波数発電コイルを配置した請求項1に
    記載の動圧軸受モータ。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115498841A (zh) * 2022-11-15 2022-12-20 中山大洋电机股份有限公司 一种高转矩密度的盘式电机

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