JPH11213699A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPH11213699A
JPH11213699A JP10015726A JP1572698A JPH11213699A JP H11213699 A JPH11213699 A JP H11213699A JP 10015726 A JP10015726 A JP 10015726A JP 1572698 A JP1572698 A JP 1572698A JP H11213699 A JPH11213699 A JP H11213699A
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JP
Japan
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data input
output terminals
output
input
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JP10015726A
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English (en)
Inventor
Shuichi Horibatake
修一 堀畑
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
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Publication of JPH11213699A publication Critical patent/JPH11213699A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 I/O縮退モード時に縮退される複数のデー
タ入出力端子の組合せを任意に選択することが可能な半
導体記憶装置を提供する。 【解決手段】 SDRAMにおいて、縮退書込切換回路
1〜3は、テスト信号φw1〜φw3に応答して、デー
タ入出力端子80,82から入力されたテストデータD
IT0,DIT2のうちのいずれか一方のデータをデー
タバスDB1b〜DB3bに伝達させる。したがって、
所望の組合せで4つのデータ入出力端子80〜83を2
つのデータ入出力端子80,82に縮退させることがで
きる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は半導体記憶装置に
関し、特に、M×N個のデータ入出力端子をM個のデー
タ入出力端子に縮退させるテストモードを有する半導体
記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体記憶装置の記憶容量の増大
に伴い、データ入出力端子を複数持つ構成が通常になっ
てきた。複数のデータ入出力端子を備えた半導体記憶装
置は、1回の読出/書込サイクルでより多くのデータの
入出力を行なうことができるという利点を有するが、そ
の反面ピン数が多くなるため1台のテスト装置で同時に
テストできる半導体記憶装置の数が減少し、テストコス
トが高くなるという欠点も合わせ持っている。
【0003】図11は、そのような複数(図では8つ)
のデータ入出力端子80〜87を備えた従来のシンクロ
ナス・ダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ(以
下、SDRAMと称す)70の全体構成を示すブロック
図である。図11を参照して、このSDRAM70は、
クロックバッファ71、制御信号バッファ72、アドレ
スバッファ73、テストモード回路74、制御回路7
5、モードレジスタ76、メモリアレイ群77(バンク
♯0)、メモリアレイ群78(バンク♯1)、読出/書
込回路79、およびデータ入出力端子80〜87を備え
る。
【0004】クロックバッファ71は、外部信号CKE
によって制御され、外部クロック信号CLKを制御信号
バッファ72、アドレスバッファ73、テストモード回
路74および制御回路75に与える。制御信号バッファ
72は、クロックバッファ71から与えられたクロック
信号CLKに同期して動作し、外部制御信号/CS,/
RAS,/CAS,/WE,DQMをラッチしてテスト
モード回路74および制御回路75に与える。
【0005】アドレスバッファ73は、クロックバッフ
ァ71から与えられたクロック信号CLKに同期して動
作し、外部アドレス信号A0〜Am(ただし、mは0以
上の整数である)および外部バンク選択信号BAをラッ
チして制御回路75に与える。テストモード回路74
は、バッファ71〜73および制御回路75からの信号
に従ってテストモードを実行する。
【0006】モードレジスタ76は、外部アドレス信号
A0〜Amなどによって指示されたモードを記憶する。
制御回路75は、バッファ71〜73、テストモード回
路74およびモードレジスタ76からの信号に従って種
々の内部信号を生成し、SDRAM70全体を制御す
る。
【0007】メモリアレイ群77,78の各々は、16
個のメモリアレイMA0〜MA15を含む。メモリアレ
イMA0〜MA15の各々は、それぞれが1ビットのデ
ータを記憶する複数のメモリセルを含む。各メモリセル
は、対応のメモリアレイMAにおいて行アドレスおよび
列アドレスによって決定される所定のアドレスに配置さ
れる。
【0008】読出/書込回路79は、制御回路75によ
って制御され、書込モード時はデータ入出力端子80〜
87を介して外部から入力されたデータを選択されたバ
ンクのメモリアレイMA0〜MA15の選択されたメモ
リセルに与え、読出モード時は選択されたバンクのメモ
リアレイMA0〜MA15の選択されたメモリセルから
の読出データをデータ入出力端子80〜87を介して外
部に出力する。
【0009】次に、このSDRAM70の動作について
簡単に説明する。まず、外部制御信号/CS,/RA
S,/CAS,/WE,DQM、アドレス信号A0〜A
mおよびバンク選択信号BAが与えられ、テストモード
回路74および制御回路75によってSDRAM70の
動作モードが設定される。
【0010】通常の書込モード時は、アドレス信号A0
〜Amおよびバンク選択信号BAが与えられ、これらの
信号に対応したバンクのメモリアレイMA0〜MA15
のメモリセルが制御回路75によって選択される。選択
されたメモリセルにはデータ入出力端子80〜87を介
して外部から与えられたデータが読出/書込回路79に
よって書込まれる。
【0011】通常の読出モード時は、アドレス信号A0
〜Amおよびバンク選択信号BAに対応したバンクのメ
モリアレイMA0〜MA15のメモリセルが制御回路7
5によって選択される。選択されたメモリセルのデータ
は、読出/書込回路79によって読出されデータ入出力
端子80〜87を介して外部に出力される。
【0012】テストモード時は、通常のモードとは異な
る特殊なモードが実行される。これについては、後で詳
細に説明する。
【0013】図12は、図11に示したSDRAM70
のチップレイアウトを示す図である。図12を参照し
て、SDRAM70は、各々が長方形のチップの四隅に
配置された4つのメモリマットMM1〜MM4を含み、
メモリマットMM1〜MM4の各々は、それぞれ複数の
メモリアレイブロックMK0〜MKj(jは0以上の整
数である)およびセンスアンプ帯SA0〜SAj+1を
含む。メモリアレイブロックMK0〜MKjは、それぞ
れセンスアンプ帯SA0〜SAj+1の各間に配置され
る。メモリマットMM2とMM3のメモリアレイブロッ
クMK0〜MKjはバンク♯0を構成し、メモリマット
MM1とMM4のメモリアレイMK0〜MKjはバンク
♯1を構成する。
【0014】メモリマットMM1〜MM4の各々のチッ
プ中央側に、チップ長辺方向に沿ってロウデコーダRD
が配置される。また、メモリマットMM1〜MM4の各
々のチップ中央側に、短辺方向に沿ってコラムデコーダ
CDが配置される。デコーダRD,CDは、図11の制
御回路75に含まれる。
【0015】コラムデコーダCDの出力には、それぞ
れ、対応のメモリマットMMのメモリアレイブロックM
K0〜MKjを横切って延びる列選択線CSLが配置さ
れる。1本の列選択線CSLは、8対のビット線を同時
に選択状態とする。内部データを伝達するためのグロー
バルデータ入出力線対GIOは、メモリマットMMの長
辺方向に沿ってメモリアレイブロックMK0〜MKjを
横切るように配置される。メモリマットMM1〜MM4
のそれぞれに対して、チップ中央側に、選択されたメモ
リセルから読出されたデータの増幅を行なうためのプリ
アンプPAと選択されたメモリセルへの書込データを伝
達するためのライトバッファWBとからなるデータ入出
力回路PWが配置される。チップ中央部には、図11の
バッファ71〜73などを含む周辺回路PHが配置され
る。
【0016】図13は、図12に示したチップの上側半
分の領域をより詳細に示す図である。ただし、デコーダ
RD,CDは、図面の簡単化のため省略されている。
【0017】図13を参照して、メモリマットMM1の
メモリアレイブロックMK0〜MKjを横切るように8
組のグローバルデータ入出力線対GIO0,GIO
0′,…,GIO3,GIO3′が配置される。グロー
バルデータ入出力線対GIO0とGIO0′,…,GI
O3とGIO3′は、それぞれ近接して配置される。セ
ンスアンプ帯SA0〜SAj+1の各々には、2組のロ
ーカルデータ入出力線対LIO,LIO′がグローバル
データ入出力線対GIOと直交して配置される。ローカ
ルデータ入出力線対LIO,LIO′は、両側のメモリ
アレイブロックMKで共用される。ローカルデータ入出
力線対LIO,LIO′は、グローバルデータ入出力線
対GIO0,GIO0′,…,GIO3,GIO3′の
うちのいずれかにブロック選択スイッチBSを介して接
続される。グローバルデータ入出力線対GIO0,GI
O0′,…,GIO3,GIO3′は、それぞれデータ
入出力回路PW0〜PW7に接続される。他のメモリマ
ットMM2〜MM4もメモリマットMM1と同様であ
る。
【0018】メモリマットMM1〜MM4に対応する4
組のデータ入出力回路PW0〜PW7は、データバス制
御回路98に接続される。データバス制御回路98は、
データバスDB0〜DB7、入出力バッファ90〜97
を介してパッドP0〜P7に接続される。入出力バッフ
ァ90〜97、データバス制御回路98、データ入出力
回路PW0〜PW7およびセンスアンプ帯SA0〜SA
j+1内の回路は、図11の読出/書込回路79に含ま
れる。パッドP0〜P7は、それぞれ図11のデータ入
出力端子80〜87を構成する。
【0019】列選択線CSLは、選択されたバンクにお
いて各メモリマットMMにおいて1本が選択状態とされ
る。1本の列選択線CSLにより8組のビット線対BL
Pが選択状態とされ、ローカルデータ入出力線対LI
O,LIO′を介して8組のグローバルデータ入出力線
対GIO0,GIO0′,…,GIO3,GIO3′に
接続される。2つのメモリマットMMが選択され、かつ
1つのメモリマットMMにおいて8組のビット線対BL
Pが選択されるため、合計16組のビット線対BLPが
選択されることになり、全体で合計16ビットのメモリ
セルに同時にアクセスすることが可能である。
【0020】書込モード時は、パッドP0〜P7に与え
られた書込データが入出力バッファ90〜97によって
データバスDB0〜DB7に伝達される。データバスD
B0〜DB7のデータは、データバス制御回路98によ
って、選択されたバンクに対応する2組のデータ入出力
回路BW0〜BW7に交互に与えられる。
【0021】読出モード時は、選択されたバンクから読
出された16ビットのデータがデータバス制御回路98
によってデータバスDB0〜DB7に順次伝達される。
データバスDB0〜DB7のデータは、入出力バッファ
90〜97によってパッドP0〜P7を介して外部に出
力される。
【0022】図14は図13のZ部拡大図である。図1
4を参照して、メモリマットMMはいわゆる交互配置型
シェアードセンスアンプ構成を備える。すなわち、メモ
リアレイブロックMK0とMK1で共用されるローカル
データ入出力線対LIO,LIO′とセンスアンプ10
0列がメモリアレイブロックMK0とMK1の間のセン
スアンプ帯SA1に設けられる。センスアンプ帯SA1
のセンスアンプ100は、メモリアレイブロックMK
0,MK1のたとえば偶数番のビット線対BLPに対応
して設けられる。また、メモリアレイブロックMK1と
MK2で共用されるローカルデータ入出力線対LIO,
LIO′とセンスアンプ100列がメモリアレイブロッ
クMK1とMK2の間のセンスアンプ帯SA2に設けら
れる。センスアンプ帯SA2のセンスアンプ100は、
メモリアレイブロックMK1,MK2のたとえば奇数番
のビット線対BLPに対応して設けられる。
【0023】たとえばメモリアレイブロックMK1が選
択された場合は、図14に示すように、センスアンプ帯
SA1,SA2の各センスアンプ100はメモリアレイ
ブロックMK1の対応のビット線対と接続される。セン
スアンプ帯SA1のうちの選択された2列に対応する2
つのセンスアンプ100はローカルデータ入出力線対L
IO,LIO′に接続され、さらにブロック選択スイッ
チBSを介してグローバルデータ入出力線対GIO1,
GIO1′に接続される。また、センスアンプ帯SA2
のうちの選択された2列に対応する2つのセンスアンプ
100はローカルデータ入出力線対LIO,LIO′に
接続され、さらに図示しないブロック選択スイッチBS
を介して図示しないグローバルデータ入出力線対GIO
2,GIO2′に接続される。
【0024】図15は、センスアンプ帯SA1およびメ
モリアレイブロックMK1の構成を示す一部省略した回
路ブロック図である。図15においては、図面の簡単化
のため、メモリアレイブロックMK1のうちセンスアン
プ帯SA1に関連する部分のみが示され、センスアンプ
帯SA2に関連する部分は省略されている。
【0025】図15を参照して、メモリアレイブロック
MK1は、ロウデコーダRDに接続されるワード線WL
と、このワード線WLと交差する方向に配置されるビッ
ト線対BLPと、ワード線WLとビット線対BLPとの
交差部に対応して配置されるダイナミック型メモリセル
MCを含む。
【0026】メモリセルMCは、アクセス用のトランジ
スタと、情報記憶用のキャパシタとを含む。ビット線対
BLPは、互いに相補な信号が伝達されるビット線BL
および/BLを含む。センスアンプ帯SA1において、
メモリアレイブロックMK0側の端部にアレイ選択ゲー
トSAG0が配置され、メモリアレイブロックMK1側
の端部にアレイ選択ゲートSAG1が配置される。アレ
イ選択ゲートSAG0は、アレイ選択信号φA0に応答
して導通状態となり、アレイ選択ゲートSAG1はアレ
イ選択信号φA1に応答して導通状態となる。メモリア
レイMK0,MK1のビット線対BLPがそれぞれアレ
イ選択ゲートSAG0,SAG1を介してセンスアンプ
帯SA1のセンスアンプ100に接続される。センスア
ンプ100は、センスアンプ活性化信号S0Nによって
活性化される。
【0027】各センスアンプ100に対し、このセンス
アンプ100に接続されたビット線BL,/BLにプリ
チャージ電位Vcc/2を与えるためのビット線イコラ
イズ回路EQBが設けられる。ビット線イコライズ回路
EQBは、読出モード時においてセンスアンプ100が
活性化される前の期間に、ビット線イコライズ信号BL
EQによって活性化される。
【0028】また、各センスアンプ100に対して、こ
のセンスアンプ100により検知増幅されたデータをロ
ーカルデータ入出力線対LIO,LIO′に伝達し、ま
たはローカルデータ入出力線対LIO,LIO′のデー
タをビット線対BLP,BLPに伝達するための列選択
ゲートCSGが設けられる。2組のビット線対BLPに
対応して1本の列選択線CSLが配置される。1本の列
選択線CSLによって選択される2組のビット線対BL
Pは、列選択ゲートCSGを介して2組のローカルデー
タ入出力線対LIO,LIO′に接続される。
【0029】ローカルデータ入出力線対LIO,LI
O′にプリチャージ電位Vccを与えるためのローカル
データ入出力線イコライズ回路EQL,EQL′が設け
られる。ローカルデータ入出力線イコライズ回路EQ
L,EQL′は、書込モード時においてライトバッファ
WBが活性化される前の期間に、ローカルデータ入出力
線イコライズ信号LIOEQによって活性化される。ロ
ーカルデータ入出力線対LIO,LIO′とグローバル
データ入出力線対GIO1,GIO1′との間に、ブロ
ック選択信号φB1に応答して導通するブロック選択ス
イッチBSが設けられる。
【0030】次に、動作について簡単に説明する。選択
されたワード線WLがメモリアレイブロックMK1に含
まれる場合、アレイ選択信号φA1が活性化レベルの
「H」レベルとなり、メモリアレイブロックMK1に含
まれるビット線対BLPがセンスアンプ帯SA1のセン
スアンプ100に接続される。メモリアレイブロックM
K0に対して設けられたアレイ選択ゲートSAG0は非
導通状態となる。
【0031】メモリアレイブロックMK1においては、
各ビット線対BLPにおいてメモリセルデータが表われ
た後、センスアンプ100が活性化され、このメモリセ
ルデータを検知し増幅する。
【0032】次いで、列選択線CSL上の信号が活性化
レベルの「H」レベルに立上がると、対応の列選択ゲー
トCSGが導通し、センスアンプ100で検知増幅され
たデータがローカルデータ入出力線対LIO,LIO′
へ伝達される。
【0033】次に、ブロック選択信号φB1が活性化レ
ベルの「H」レベルとなり、ローカルデータ入出力線対
LIO,LIO′がグローバルデータ入出力線対GIO
1,GIO1′へ接続される。読出モード時において
は、このグローバルデータ入出力線対のデータがプリア
ンプPAで増幅された後に順次出力される。書込モード
時においては、ライトバッファWBから与えられた書込
データがグローバルデータ入出力線対GIO1,GIO
1′およびローカルデータ入出力線対LIO,LIO′
を介して選択されたビット線対BLPへ伝達され、メモ
リセルへのデータの書込が実行される。
【0034】さて、このようなSDRAM70では、出
荷前に各メモリセルMCにデータの書込および読出を行
なって各メモリセルMCが正常であるか否かをテストす
る必要があるが、テスト装置側のデータ入出力端子の数
に限りがあるため、データ入出力端子80〜87の数の
増加に伴って、1台のテスト装置で同時にテストできる
SDRAM70の数が減少し、テストコストが増加して
しまう。そこで、このようなSDARM70には、1台
のテスト装置で多くのSDRAM70をテストできるよ
うに、1つのデータ入出力端子から複数個のメモリセル
MCを同時にテストすることを可能とするテストモード
(以下、I/O縮退モードと称す)が設けられている。
【0035】図16は、I/O縮退モードにおけるデー
タ書込に関連する部分の構成を示す一部省略した回路ブ
ロック図である。図16を参照して、奇数番のデータバ
スDB1,DB3,…,DB7の途中にそれぞれ縮退書
込切換回路101,103,…,107が設けられる。
データバスDB1,DB3,…,DB7は、それぞれ縮
退書込切換回路101,103,…,107により、入
出力バッファ91,93,…,97側の部分DB1a,
DB3a,…,DB7aと、データバス制御回路98側
の部分DB1b,DB3b,…,DB7bとに2分割さ
れる。
【0036】縮退書込切換回路101は、図17に示す
ように、スイッチングインバータ111,112および
インバータ113を含む。データバスDB0のデータD
I0(またはDIT0)およびデータバスDB1aのデ
ータDI1は、それぞれスイッチングインバータ11
1,112に入力される。スイッチングインバータ11
1はテスト信号TEWが活性化レベルの「H」レベルに
なったことに応じて活性化され、スイッチングインバー
タ112はテスト信号TEWが非活性化レベルの「L」
レベルになったことに応じて活性化される。スイッチン
グインバータ111,112の出力は、共にインバータ
113に入力される。インバータ113の出力はデータ
バスDB1bのデータDI1(またはDIT0)とな
る。他の縮退書込切換回路103,…,107も縮退書
込切換回路101と同様である。
【0037】通常の書込モード時は、データ入出力端子
80〜87に書込データDI0〜DI7が外部から与え
られるとともに、テスト信号TEWが非活性化レベルの
「L」レベルとなる。データ入出力端子80〜87に与
えられた書込データDI0〜DI7は、それぞれ入出力
バッファ90〜97によってデータバスDB0,DB1
a,…,DB7aに伝達される。
【0038】縮退書込切換回路101,103,…,1
07においては、テスト信号TEWが非活性化レベルの
「L」レベルであるのでスイッチングインバータ111
が非活性化されスイッチングインバータ112が活性化
され、データバスDB1a,DB3a,…,DB7aの
データDI1,DI3,…,DI7がそのままデータバ
スDB1b,DB3b,…,DB7bとなる。データバ
スDB0,DB1b,…,DB7bのデータDI0〜D
I7は、データバス制御回路98を介して選択されたメ
モリセルMCに書込まれる。
【0039】I/O縮退モード時は、テスト装置によっ
てテスト用書込データDIT0,DIT2,…,DIT
6が偶数番のデータ入出力端子を80,82,…,86
に与えられるとともに、テスト信号TEWが活性化レベ
ルの「H」レベルとなる。テスト用書込データDIT
0,DIT2,…,DIT6は、それぞれ入出力バッフ
ァ90,92,…,96によってデータバスDB0,D
B2,…,DB6に伝達されるとともに、縮退書込切換
回路101,103,…,107に与えられる。
【0040】縮退書込切換回路101,103,…,1
07においては、信号TEWが活性化レベルの「H」レ
ベルであるのでスイッチングインバータ111が活性化
されるとともにスイッチングインバータ112が非活性
化され、データバスDB0,DB2,…,DB6のデー
タDI0,DIT2,…,DIT6がデータバスDB0
b,DB3b,…,DB7bのデータとなる。データバ
スDB0,DB1b,…,DB7bのデータDIT0,
DIT0,…,DIT6,DIT6は、データバス制御
回路98を介して選択されたメモリセルMCに書込まれ
る。
【0041】また、図18は、I/O縮退モードにおけ
るデータ読出に関連する部分の構成を示す一部省略した
回路ブロック図である。図18を参照して、偶数番のデ
ータバスDB0,DB2,…,DB6に対応して一致/
不一致判定回路120,122,…,126がそれぞれ
設けられる。一致/不一致判定回路120,122,
…,126は、データバス制御回路98に含まれる。一
致/不一致判定回路120,122,…,126は、そ
れぞれデータ入出力回路PW0〜PW7によって読出さ
れた読出データDO0とDO1,DO2とDO3,…,
DO6とDO7が一致しているか否かを判定し、判定結
果を対応のデータバスDB0,DB2,…DB6に出力
する。
【0042】詳しく説明すると一致/不一致判定回路1
20は、図19に示すように、PチャネルMOSトラン
ジスタ131〜133、NチャネルMOSトランジスタ
134〜136、NANDゲート137,138、イン
バータ139〜141、およびNORゲート142を含
む。PチャネルMOSトランジスタ132,133は、
電源電位VCCのラインと中間ノードN133との間に
直列接続される。PチャネルMOSトランジスタ131
は、PチャネルMOSトランジスタ132に並列接続さ
れる。NチャネルMOSトランジスタ134,135
は、中間ノードN133と接地電位GNDのラインとの
間に直列接続される。NチャネルMOSトランジスタ1
36は、NチャネルMOSトランジスタ134,135
に並列接続される。
【0043】NANDゲート137は、データDO0と
テスト信号TERを受ける。NANDゲート137の出
力は、インバータ139を介してMOSトランジスタ1
31,134のゲートおよびNORゲート142の一方
入力ノードに入力される。NANDゲート138は、デ
ータDO1とテスト信号TERを受ける。NANDゲー
ト138の出力は、インバータ140を介してMOSト
ランジスタ132,135のゲートおよびNORゲート
142の他方入力ノードに入力される。NORゲート1
42の出力は、MOSトランジスタ133,136のゲ
ートに入力される。インバータ141は、中間ノードN
133とデータバスDB0の間に接続される。
【0044】次に、一致/不一致判定回路120の動作
について説明する。通常の読出モード時は、テスト信号
TERが非活性化レベルの「L」レベルとなってNAN
Dゲート137,138の出力が「H」レベルに固定さ
れて読出データDO0とDO1の一致/不一致の判定は
行なわれない。また、図示しないスイッチによって一致
/不一致判定回路120とデータバスDB0は切離され
る。
【0045】I/O縮退モード時は、テスト信号TER
が活性化レベルの「H」レベルとなり、NANDゲート
137,138は読出データDO0,DO1に対してイ
ンバータとして動作し、読出データDO0とDO1の一
致/不一致の判定が行なわれる。
【0046】データDO0とDO1がともに「H」レベ
ルの場合は、MOSトランジスタ133〜135は導通
しMOSトランジスタ131,132,136が非導通
となって中間ノードN133が接地電位GNDとなり、
一致/不一致判定回路120の出力データであるテスト
データDOT0は「H」レベルとなる。
【0047】データDO0とDO1が「L」レベルの場
合は、MOSトランジスタ131,132,136が導
通しMOSトランジスタ133〜135が非導通となっ
て中間ノードN133が接地電位GNDとなり、テスト
データDOT0は「H」レベルとなる。
【0048】データDO0,DO1がそれぞれ「H」レ
ベルおよび「L」レベルの場合は、MOSトランジスタ
132〜134が導通しMOSトランジスタ131,1
35,136が非導通となって中間ノードN133が電
源電位VCCとなり、テストデータDOT0は「L」レ
ベルとなる。
【0049】データDO0,DO1がそれぞれ「L」レ
ベルおよび「H」レベルの場合は、MOSトランジスタ
131,133,135が導通し、MOSトランジスタ
132,134,136が非導通となって中間ノードN
133が電源電位VCCとなり、テストデータDOT0
は「L」レベルとなる。
【0050】すなわち、読出データDO0とDO1が一
致した場合はテストデータDOT0が「H」レベルとな
り、データDO0とDO1が不一致の場合はテストデー
タGOT0が「L」レベルとなる。図16および図17
で説明した回路によってデータDIT0が書込まれた2
つのメモリセルMCが正常であれば、データDO0とD
O1は一致するはずである。したがって、テスト装置
は、テストデータDOT0が「H」レベルであれば2つ
のメモリセルMCは正常であると判定し、データDOT
0が「L」レベルであれば2つのメモリセルMCはうち
の少なくとも一方は不良であると判定する。他の一致/
不一致判定回路122,…,126も一致/不一致判定
回路120と同様である。
【0051】このように、I/O縮退モードでは、デー
タ入出力端子80〜87のうちの半数だけが使用される
ので、データ入出力端子数の増加に伴って1台のテスト
装置で同時にテストできるSDRAM70の数が減少
し、テストコストが高くなることが防止される。
【0052】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のI/O
縮退モードでは、縮退されるデータ入出力端子の組合せ
が限定されていたので、実施可能なテストが制限されて
いた。たとえば、図13で示したようにデータ入出力線
対LIOとLIO′,GIOとGIO′は2組ずつ近接
して配置されているが、従来のI/O縮退モードでは近
接した2組のデータ入出力線対LIOとLIO′,GI
OとGIO′に同一のデータを与えることしかできず異
なるデータを与えた時の干渉の程度をテストすることは
できなかった。
【0053】また、従来のI/O縮退モードでは、使用
されるデータ入出力端子が限定されていたので、I/O
縮退の仕様が異なり使用されるデータ入出力端子が異な
る品種をテストする場合はテスト装置用の治具などを交
換する必要があり、テストコストが高くなっていた。
【0054】それゆえに、この発明の主たる目的は、テ
ストモード時に縮退される複数のデータ入出力端子の組
合せを任意に選択することが可能な半導体記憶装置を提
供することである。
【0055】また、この発明の他の目的は、テストモー
ド時に使用されるデータ入出力端子を任意に選択するこ
とが可能な半導体記憶装置を提供することである。
【0056】
【課題を解決するための手段】請求項1に係る発明は、
M×N個(ただし、MおよびNは2以上の整数である)
のデータ入出力端子をM個のデータ入出力端子に縮退さ
せるテストモードを有する半導体記憶装置であって、メ
モリアレイ、M×N組のデータ入出力線、グループ化手
段、およびスイッチ手段を備える。メモリアレイは、行
列状に配列された複数のメモリセルを含む。M×N組の
データ入出力線は、メモリアレイとM×N個のデータ入
出力端子との間でデータの入出力を行なうために設けら
れる。グループ化手段は、テストモード時にM×N組の
データ入出力線を任意にN組ずつ選択して、それぞれが
M個のデータ入出力端子に対応するM組のグループを作
成する。スイッチ手段は、グループ化手段によって作成
された各グループに属するN組のデータ入出力線と対応
のデータ入出力端子とを結合させる。
【0057】請求項2に係る発明は、M×N個(ただ
し、MおよびNは2以上の整数である)のデータ入出力
端子をM個のデータ入出力端子に縮退させるテストモー
ドを有する半導体記憶装置であって、メモリアレイ、選
択手段、読出手段、グループ化手段、および判定手段を
備える。メモリアレイは、行列状に配列され、予めM×
N個ずつグループ化された複数のメモリセルを含む。選
択手段は、アドレス信号に従って、メモリアレイのうち
のいずれかのグループを選択する。読出手段は、選択手
段によって選択されたグループに属するM×N個のメモ
リセルのデータを並列に読出す。グループ化手段は、テ
ストモード時に、読出手段によって読出されたM×Nビ
ットのデータを任意にNビットずつ選択して、それぞれ
がM個のデータ入出力端子に対応するM組のグループを
作成する。判定手段は、グループ化手段によって作成さ
れた各グループに属するNビットのデータが互いに一致
しているか否かを判定し、判定結果に応じたデータを対
応のデータ入出力端子に出力する。
【0058】請求項3に係る発明は、複数のデータ入出
力端子を1つのデータ入出力端子に縮退させるテストモ
ードを有する半導体記憶装置であって、メモリアレイ、
複数のデータ入出力線、選択手段、およびスイッチ手段
を備える。メモリアレイは、行列状に配列された複数の
メモリセルを含む。複数のデータ入出力線は、メモリア
レイと複数のデータ入出力端子との間でデータの入出力
を行なうために設けられる。選択手段は、テストモード
時に複数のデータ入出力端子のうちのいずれかのデータ
入出力端子を選択する。スイッチ手段は、選択手段によ
って選択されたデータ入出力端子と複数のデータ入出力
線とを結合させる。
【0059】請求項4に係る発明は、複数のデータ入出
力端子を1つのデータ入出力端子に縮退させるテストモ
ードを有する半導体記憶装置であって、メモリアレイ、
第1の選択手段、読出手段、第2の選択手段、および判
定手段を備える。メモリアレイは、行列状に配列され、
データ入出力端子と同じ数ずつ予めグループ化された複
数のメモリセルを含む。第1の選択手段は、アドレス信
号に従って、メモリアレイのうちのいずれかのグループ
を選択する。読出手段は、第1の選択手段によって選択
されたグループに属する複数のメモリセルのデータを並
列に読出す。第2の選択手段は、テストモード時に複数
のデータ入出力端子のうちのいずれかのデータ入出力端
子を選択する。判定手段は、読出手段によって読出され
た複数ビットのデータが互いに一致しているか否か判定
し、判定結果に応じたデータを第2の選択手段によって
選択されたデータ入出力端子に出力する。
【0060】
【発明の実施の形態】[実施の形態1]図1は、この発
明の実施の形態1によるSDRAMのI/O縮退モード
におけるデータ書込に関連する部分の構成を示す回路ブ
ロック図であって、図16と対比される図である。ただ
し、これ以降、図面および説明の簡単化のため、4つの
データ入出力端子80〜83に対応し、かつI/O縮退
モードに関連する部分についてのみ説明する。
【0061】図1を参照して、このSDRAMでは、デ
ータバスDB1〜DB3の途中にそれぞれ縮退書込切換
回路1〜3が設けられる。データバスDB1〜DB3
は、縮退書込切換回路1〜3により、入出力バッファ8
1〜83側の部分DB1a〜DB3aとデータバス制御
回路98側の部分DB1b〜DB3bとに2分割され
る。
【0062】縮退書込切換回路1〜3の各々は、図2に
示すように、スイッチングインバータ4〜6およびイン
バータ7を含む。データバスDB0のデータDIT0
は、縮退書込切換回路1〜3のスイッチングインバータ
4に入力される。データバスDB2aのデータDIT2
は、縮退書込切換回路1〜3のスイッチングインバータ
5,6に入力される。
【0063】縮退書込切換回路1のスイッチングインバ
ータ4,5,6は、それぞれテスト信号φw1,φw
2,φw3が活性化レベルの「H」レベルになったこと
に応じて活性化される。
【0064】縮退書込切換回路2のスイッチングインバ
ータ4,5,6は、それぞれテスト信号φw2,φw
1,φw3が活性化レベルの「H」レベルになったこと
に応じて活性化される。
【0065】縮退書込切換回路3のスイッチングインバ
ータ4,5,6は、それぞれテスト信号φw3,φw
1,φw2が活性化レベルの「H」レベルになったこと
に応じて活性化される。スイッチングインバータ4〜6
の出力は、ともにインバータ7に入力される。縮退書込
切換回路1〜3のインバータ7の出力は、それぞれデー
タバスDB1b〜DB3bのデータDIT0(またはD
IT2)となる。
【0066】テスト信号φw1〜φw3は、図11のテ
ストモード回路74で生成される。テスト信号φw1〜
φw3は、図3に示すように、信号/CS,/RAS,
/CAS,/WEを「L」レベルにするとともに、アド
レス信号A0〜Amおよびバンク選択信号BAを所定の
組合せで「H」レベルまたは「L」レベルにすることに
よりセットされる(時刻t1)。テスト信号φw1〜φ
w3のうちのいずれか1つの信号(図ではφw1)のみ
が活性化レベルの「H」レベルとなる。
【0067】テスト信号φw1のみが活性化レベルの
「H」レベルとなった場合は、縮退書込切換回路1〜3
においてそれぞれスイッチングインバータ4,5,5が
活性化され、データバスDB0,DB1b,DB2b,
DB3bのデータがそれぞれDIT0,DIT0,DI
T2,DIT2となる。
【0068】テスト信号φw2のみが活性化レベルの
「H」レベルとなった場合は、縮退書込切換回路1〜3
においてそれぞれスイッチングインバータ5,4,6が
活性化され、データバスDB0,DB1b,DB2b,
DB3bのデータはそれぞれDIT0,DIT2,DI
T0,DIT2となる。
【0069】テスト信号φw3のみが活性化レベルの
「H」レベルとなった場合は縮退書込切換回路1〜3に
おいてそれぞれスイッチングインバータ6,6,4が活
性化され、データバスDB0,DB1b,DB2b,D
B3bのデータはそれぞれDIT0,DIT2,DIT
2,DIT0となる。データバスDB0,DB1b,D
B2b,DB3bのデータは、データバス制御回路98
を介して選択されたメモリセルMCに書込まれる。
【0070】したがって、テスト信号φw1〜φw3の
うちのいずれか1つの信号のみを活性化レベルの「H」
レベルにすることにより、所望の組合せで4つのデータ
入出力端子80〜83を2つのデータ入出力端子80,
82に縮退させることができる。このため、たとえばテ
スト信号φw2のみを活性化レベルの「H」レベルにす
ることにより、近接する2組のデータ入出力線対LIO
とLIO′,GIOとGIO′に異なるデータを与えて
干渉の程度をテストすることもできる。
【0071】テスト信号φw1〜φw3は、図3に示す
ように、信号/CS,/RAS,/CAS,/WEを
「L」レベルにするとともに、アドレス信号A0〜Am
およびバンク選択信号BAをセット時と異なる所定の組
合せで「H」レベルまたは「L」レベルにすることによ
りリセットされる(時刻t2)。これによりテスト信号
φw1〜φw3はすべて非活性化レベルの「L」レベル
となり縮退書込切換回路1〜3のスイッチングインバー
タ4〜6は非活性化される。
【0072】図4および図5は、このSDRAMのI/
O縮退モードにおけるデータ読出に関連する部分の構成
を示す回路ブロック図であって、図18と対比される図
である。図4および図5を参照して、このSDRAMに
は、一致/不一致判定回路10〜15、スイッチングイ
ンバータ20〜25およびインバータ30〜35が設け
られる。
【0073】一致/不一致判定回路10〜15は、それ
ぞれデータ入出力回路PW0〜PW3によって読出され
た読出データDO0とDO1,DO2とDO3,DO1
とDO3,DO0とDO2,DO1とDO2,DO0と
DO3が一致しているか否かを判定し、判定結果である
テストデータDOT01,DOT23,DOT13,D
OT02,DOT12,DOT03を出力する。
【0074】テストデータDOT01,DOT23,D
OT02,DOT13,DOT03,DOT12は、そ
れぞれスイッチングインバータ20〜25に入力され
る。スイッチングインバータ20と21,22と23,
24と25は、それぞれテスト信号φr1,φr2,φ
r3が活性化レベルの「H」レベルになったことに応じ
て活性化される。スイッチングインバータ20,22,
24の出力は、それぞれインバータ30,32,34を
介してデータバスDB0に入力される。スイッチングイ
ンバータ21,23,25の出力は、それぞれインバー
タ31,33,35を介してデータバスDB2に入力さ
れる。テスト信号φr1〜φr3は、テスト信号φw1
〜φw3と同様に図3で示した方法でセットまたはリセ
ットされる。テスト信号φr1〜φr3のいずれか1つ
の信号のみが活性化レベルの「H」レベルとなる。
【0075】テスト信号φr1が活性化レベルの「H」
レベルとなった場合は、スイッチングインバータ20〜
25のうちのスイッチングインバータ20,21のみが
活性化され、テストデータDOT01,DOT23がそ
れぞれデータバスDB0,DB2に出力される。
【0076】テスト信号φr2のみが活性化レベルの
「H」レベルとなった場合は、スイッチングインバータ
20〜25のうちのスイッチングインバータ22,23
のみが活性化され、テストデータDOT02,DOT1
3がそれぞれデータバスDB0,DB2に出力される。
【0077】テスト信号φr3のみが活性化レベルの
「H」レベルとなった場合は、スイッチングインバータ
20〜25のうちのスイッチングインバータ24,25
のみが活性化され、テストデータDOT03,DOT1
2がそれぞれデータバスDB0,DB2に出力される。
データバスDB0,DB2のデータは、それぞれ入出力
バッファ90,92を介してデータ入出力端子80,8
2に出力される。
【0078】したがって、テスト信号φr1〜φr3の
うちのいずれか1つの信号のみを活性化レベルの「H」
レベルにすることにより、所望の組合せで4つのデータ
入出力端子80〜83を2つのデータ入出力端子80,
82に縮退させることができる。
【0079】[実施の形態2]図6は、この発明の実施
の形態2によるSDRAMのI/O縮退モードにおける
データ書込に関連する部分の構成を示す回路ブロック図
であって、図16と対比される図である。
【0080】図6を参照して、このSDRAMでは、デ
ータバスDB0〜DB3の途中にそれぞれ縮退書込切換
回路40〜43が設けられる。データバスDB0〜DB
3は、縮退書込切換回路40〜43により、入出力バッ
ファ90〜93側の部分DB0a〜DB3aとデータバ
ス制御回路98側の部分DB0b〜DB3bとに2分割
される。
【0081】縮退書込切換回路40〜43の各々は、図
7および図8に示すように、スイッチングインバータ4
4,45およびインバータ46を含む。データバスDB
0aのデータDIT0は、縮退書込切換回路40のスイ
ッチングインバータ44および縮退書込切換回路41の
スイッチングインバータ45に入力される。データバス
DB1aのデータDIT1は、縮退書込切換回路40の
スイッチングインバータ45および縮退書込切換回路4
1のスイッチングインバータ44に入力される。データ
バスDB2aのデータDIT2は、縮退書込切換回路4
2のスイッチングインバータ44および縮退書込切換回
路43のスイッチングインバータ45に入力される。デ
ータバスDB3aのデータDIT3は、縮退書込切換回
路42のスイッチングインバータ45および縮退書込切
換回路43のスイッチングインバータ44に入力され
る。
【0082】縮退書込切換回路40,41のスイッチン
グインバータ44は、テスト信号φwAが活性化レベル
の「H」レベルになったことに応じて活性化される。縮
退書込切換回路40,41のスイッチングインバータ4
5は、テスト信号φwAが非活性化レベルの「L」レベ
ルになったことに応じて活性化される。縮退書込切換回
路42,43のスイッチングインバータ44は、テスト
信号φwBが活性化レベルの「H」レベルになったこと
に応じて活性化される。縮退書込切換回路42,43の
スイッチングインバータ45は、テスト信号φwBが非
活性化レベルの「L」レベルになったことに応じて活性
化される。スイッチングインバータ44,45の出力
は、ともにインバータ46に入力される。縮退書込切換
回路40〜43のインバータ46の出力は、それぞれデ
ータバスDB0b〜DB3bのデータとなる。
【0083】テスト信号φwA,φwBは、図3で示し
た方法でセットまたはリセットされる。テスト信号φw
A,φwBは、それぞれ「H」レベルまたは「L」レベ
ルとなる。
【0084】テスト信号φwA,φwBがともに「H」
レベルの場合は、縮退書込切換回路40,42のスイッ
チングインバータ44および縮退書込切換回路41,4
3のスイッチングインバータ45が活性化され、データ
バスDB0aのデータDIT0がデータバスDB0b,
DB1bに伝達されるとともに、データバスDB2aの
データDIT2がデータバスDB2b,DB3bに伝達
される。
【0085】テスト信号φwA,φwBがそれぞれ
「H」レベルおよび「L」レベルの場合は、縮退書込切
換回路40,43のスイッチングインバータ44および
縮退書込切換回路41,42のスイッチングインバータ
45が活性化され、データバスDB0aのデータDIT
0がデータバスDB0b,DB1bに伝達されるととも
に、データバスDB3aのデータDIT3がデータバス
DB2b,DB3bに伝達される。
【0086】テスト信号φwA,φwBがそれぞれ
「L」レベルおよび「H」レベルの場合は、縮退書込切
換回路41,42のスイッチングインバータ44および
縮退書込切換回路40,43のスイッチングインバータ
45が活性化され、データバスDB1aのデータDIT
1がデータバスDB0b,DB1bに伝達されるととも
に、データバスDB2aのデータDIT2がデータバス
DB2b,DB3bに伝達される。
【0087】テスト信号φwA,φwBがともに「L」
レベルの場合は、縮退書込切換回路40,42のスイッ
チングインバータ45および縮退書込切換回路41,4
3のスイッチングインバータ44が活性化され、データ
バスDB1aのデータDIT1がデータバスDB0b,
DB1bに伝達されるとともに、データバスDB3aの
データDIT3がデータバスDB2b,DB3bに伝達
される。
【0088】したがって、テスト信号φwA,φwBを
それぞれ「H」レベルまたは「L」レベルにすることに
より、4つのデータ入出力端子80〜83のうちの所望
の2つのデータ入出力端子80と82,80と83,8
1と82,81と83をI/O縮退モードに使用するこ
とができる。このため、従来はI/O縮退モード時にデ
ータ入出力端子80と82を使用する品種とデータ入出
力端子81と83を使用する品種とではテスト装置用の
治具などを交換する必要があったが、このSDRAMで
はテスト信号φwA,φwBを切換えるだけで足りる。
【0089】図9は、このSDRAMのI/O縮退モー
ドにおけるデータ読出に関連する部分の構成を示す回路
ブロック図であって、図18と対比される図である。図
9を参照して、このSDRAMには一致/不一致判定+
切換回路50,52が設けられる。
【0090】一致/不一致判定+切換回路50,52の
各々は、図10に示すように、一致/不一致判定回路5
3,スイッチングインバータ54,55およびインバー
タ56,57を含む。一致/不一致判定+切換回路50
においては、一致/不一致判定回路53は読出データD
O0とDO1の一致/不一致を判定し、判定結果である
テストデータDOT01を出力する。テストデータDO
T01はスイッチングインバータ54,55に入力され
る。スイッチングインバータ54はテスト信号φrAが
活性化レベルの「H」レベルになったことに応じて活性
化され、スイッチングインバータ55はテスト信号φr
Aが非活性化レベルの「L」レベルになったことに応じ
て活性化される。スイッチングインバータ54,55の
出力は、それぞれインバータ56,57を介してデータ
バスDB0,DB1に入力される。
【0091】一致/不一致判定+切換回路52において
は、一致/不一致判定回路53は読出データDO2とD
O3の一致/不一致を判定し、判定結果であるテストデ
ータDOT23を出力する。テストデータDOT23は
スイッチングインバータ54,55に入力される。スイ
ッチングインバータ54はテスト信号φrBが活性化レ
ベルの「H」レベルになったことに応じて活性化され、
スイッチングインバータ55はテスト信号φrBが非活
性化レベルの「L」レベルになったことに応じて活性化
される。スイッチングインバータ54,55の出力は、
それぞれインバータ56,57を介してデータバスDB
2,DB3に入力される。
【0092】テスト信号φrA,φrBは、図3で示し
た方法でセットまたはリセットされる。テスト信号φr
A,φrBは、それぞれ「H」レベルまたは「L」レベ
ルとなる。
【0093】テスト信号φrA,φrBがともに「H」
レベルの場合は、テストデータTOT01,TOT23
はそれぞれデータ入出力端子80,82に出力される。
テスト点号φrA,φrBがそれぞれ「H」レベルおよ
び「L」レベルの場合は、テストデータDOT01,D
OT23はそれぞれデータ入出力端子80,83に出力
される。テスト信号φrA,φrBがそれぞれ「L」レ
ベルおよび「H」レベルの場合は、テストデータDOT
01,DOT23はそれぞれデータ入出力端子81,8
2に出力される。テスト信号φrA,φrBがともに
「L」レベルの場合は、テストデータDOT01,DO
T23はそれぞれデータ入出力端子81,83に出力さ
れる。
【0094】したがって、テスト信号φrA,φrBを
それぞれ「H」レベルまたは「L」レベルにすることに
より、4つのデータ入出力端子80〜83のうちの所望
の2つのデータ入出力端子80と82,80と83,8
1と82,81と83をI/O縮退モード時に使用する
ことができる。
【0095】なお、この実施の形態では、縮退されたデ
ータ入出力端子80と81,82と83同士での切換し
かできないが、データ入出力端子80〜83のうちの任
意のデータ入出力端子同士での切換もこの実施の形態を
拡張にすることにより容易に実現できることはいうまで
もない。
【0096】
【発明の効果】以上のように、請求項1に係る発明で
は、M×N組のデータ入出力線を任意にN組ずつ選択し
てM個のデータ入出力端子に対応するM組のグループを
作成するグループ化手段と、各グループに属するN組の
データ入出力線を対応のデータ入出力端子に結合させる
スイッチ手段とが設けられる。したがって、テストモー
ド時に縮退される複数のデータ入出力端子の組合せを任
意に選択できる。
【0097】請求項2に係る発明では、M×Nビットの
読出データを任意にNビットずつ選択してM個のデータ
入出力端子に対応するM組のグループを作成するグルー
プ化手段と、各グループに属するNビットのデータが互
いに一致しているか否かを判定し、判定結果に応じたデ
ータを対応のデータ入出力端子に出力する判定手段とが
設けられる。したがって、テストモード時に縮退される
複数のデータ入出力端子の組合せを任意に選択できる。
【0098】請求項3に係る発明では、複数のデータ入
出力端子のうちのいずれかの入出力端子を選択するため
の選択手段と、選択されたデータ入出力端子と複数のデ
ータ入出力線とを結合させるスイッチ手段とが設けられ
る。したがって、テストモード時に使用されるデータ入
出力端子を任意に選択できる。
【0099】請求項4に係る発明では、複数のデータ入
出力端子のうちのいずれかのデータ入出力端子を選択す
るための第2の選択手段と、複数ビットのデータが互い
に一致しているか否かを判定し、判定結果に応じたデー
タを選択されたデータ入出力端子に出力する判定手段と
が設けられる。したがって、テストモード時に使用され
るデータの入出力端子を任意に選択できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1によるSDRAMの
I/O縮退モードにおけるデータ書込に関連する部分の
構成を示す回路ブロック図である。
【図2】 図1に示した縮退書込切換回路の構成を示す
回路図である。
【図3】 図2に示したテスト信号φw1〜φw3の生
成方法を説明するためのタイムチャートである。
【図4】 図1〜図3で示したSDRAMのI/O縮退
モードにおけるデータ読出に関連する部分の一部を示す
回路ブロック図である。
【図5】 図4に示したデータ書込に関連する部分の他
の部分を示す回路ブロック図である。
【図6】 この発明の実施の形態2によるSDRAMの
I/O縮退モードにおけるデータ書込に関連する部分の
構成を示す回路ブロック図である。
【図7】 図6に示した縮退書込切換回路40,41の
構成を示す回路図である。
【図8】 図6に示した縮退書込切換回路42,43の
構成を示す回路図である。
【図9】 図6〜図8で示したSDRAMのI/O縮退
モードにおけるデータ読出に関連する部分の構成を示す
回路ブロック図である。
【図10】 図9に示した一致/不一致判定+切換回路
の構成を示す回路ブロック図である。
【図11】 従来のSDRAMの全体構成を示すブロッ
ク図である。
【図12】 図11に示したSDRAMのチップレイア
ウトを示す図である。
【図13】 図12の上部半分の領域をより詳細に示す
図である。
【図14】 図13のZ部拡大図である。
【図15】 図14に示したセンスアンプ帯SA1およ
びメモリアレイブロックMK1の構成を示す回路ブロッ
ク図である。
【図16】 図11〜図15で示したSDRAMのI/
O縮退モードにおけるデータ書込に関連する部分の構成
を示す回路ブロック図である。
【図17】 図16に示した縮退書込切換回路の構成を
示す回路図である。
【図18】 図11〜図15で示したSDRAMのI/
O縮退モードにおけるデータ読出に関連する部分の構成
を示す回路ブロック図である。
【図19】 図18に示した一致/不一致判定回路の構
成を示す回路図である。
【符号の説明】
1〜3,40〜43,101,103,107 縮退書
込切換回路、4〜6,20,25,44,45,54,
55,111,112 スイッチングインバータ、7,
30〜35,46,56,57,113,139〜14
1 インバータ、10〜15,53,120,122,
126 一致/不一致判定回路、50,52 一致/不
一致判定+切換回路、70 SDRAM、71 クロッ
クバッファ、72 制御信号バッファ、73 アドレス
バッファ、74 テストモード回路、75 制御回路、
76 モードレジスタ、77,78 メモリアレイ群、
79 読出/書込回路、80〜87 データ入出力端
子、90〜97 入出力バッファ、98 データバス制
御回路、100 センスアンプ、131〜133 Pチ
ャネルMOSトランジスタ、134〜136 Nチャネ
ルMOSトランジスタ、137,138 NANDゲー
ト、142 NORゲート、MM メモリマット、SA
センスアンプ帯、MK メモリアレイブロック、MA
メモリアレイ、CD コラムデコーダ、RD ロウデ
コーダ、PW データ入出力回路、PAプリアンプ、W
B ライトバッファ、P パッド、DB データバス、
GIOグローバルデータ入出力線対、LIO ローカル
データ入出力線対、WL ワード線、BL,/BL ビ
ット線、MC メモリセル、BS ブロック選択スイッ
チ。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 M×N個(ただし、MおよびNは2以上
    の整数である)のデータ入出力端子をM個のデータ入出
    力端子に縮退させるテストモードを有する半導体記憶装
    置であって、 行列状に配列された複数のメモリセルを含むメモリアレ
    イ、 前記メモリアレイと前記M×N個のデータ入出力端子と
    の間でデータの入出力を行なうためのM×N組のデータ
    入出力線、 前記テストモード時にM×N組のデータ入出力線を任意
    にN組ずつ選択して、それぞれが前記M個のデータ入出
    力端子に対応するM組のグループを作成するグループ化
    手段、および前記グループ化手段によって作成された各
    グループに属するN組のデータ入出力線と対応のデータ
    入出力端子とを結合させるスイッチ手段を備える、半導
    体記憶装置。
  2. 【請求項2】 M×N個(ただし、MおよびNは2以上
    の整数である)のデータ入出力端子をM個のデータ入出
    力端子に縮退させるテストモードを有する半導体記憶装
    置であって、 行列状に配列され、予めM×N個ずつグループ化された
    複数のメモリセルを含むメモリアレイ、 アドレス信号に従って、前記メモリアレイのうちのいず
    れかのグループを選択する選択手段、 前記選択手段によって選択されたグループに属するM×
    N個のメモリセルのデータを並列に読出す読出手段、 前記テストモード時に、前記読出手段によって読出され
    たM×Nビットのデータを任意にNビットずつ選択し
    て、それぞれが前記M個のデータ入出力端子に対応する
    M組のグループを作成するグループ化手段、および前記
    グループ化手段によって作成された各グループに属する
    Nビットのデータが互いに一致しているか否かを判定
    し、判定結果に応じたデータを対応のデータ入出力端子
    に出力する判定手段を備える、半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 複数のデータ入出力端子を1つのデータ
    入出力端子に縮退させるテストモードを有する半導体記
    憶装置であって、 行列状に配列された複数のメモリセルを含むメモリアレ
    イ、 前記メモリアレイと前記複数のデータ入出力端子との間
    でデータの入出力を行なうための複数のデータ入出力
    線、 前記テストモード時に前記複数のデータ入出力端子のう
    ちのいずれかのデータ入出力端子を選択するための選択
    手段、および 前記選択手段によって選択されたデータ入出力端子と前
    記複数のデータ入出力線とを結合させるスイッチ手段と
    を備える、半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】 複数のデータ入出力端子を1つのデータ
    入出力端子に縮退させるテストモードを有する半導体記
    憶装置であって、 行列状に配列され、前記データ入出力端子と同じ数ずつ
    予めグループ化された複数のメモリセルを含むメモリア
    レイ、 アドレス信号に従って、前記メモリアレイのうちのいず
    れかのグループを選択する第1の選択手段、 前記第1の選択手段によって選択されたグループに属す
    る複数のメモリセルのデータを並列に読出す読出手段、 前記テストモード時に前記複数のデータ入出力端子のう
    ちのいずれかのデータ入出力端子を選択する第2の選択
    手段、および前記読出手段によって読出された複数ビッ
    トのデータが互いに一致しているか否か判定し、判定結
    果に応じたデータを前記第2の選択手段によって選択さ
    れたデータ入出力端子に出力する判定手段を備える、半
    導体記憶装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7428662B2 (en) 2001-05-21 2008-09-23 Infineon Technologies Ag Testing a data store using an external test unit for generating test sequence and receiving compressed test results
KR100937995B1 (ko) * 2007-12-26 2010-01-21 주식회사 하이닉스반도체 반도체 메모리장치 및 이의 테스트방법

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