JPH11211437A - シートの界面形状測定装置及び方法 - Google Patents
シートの界面形状測定装置及び方法Info
- Publication number
- JPH11211437A JPH11211437A JP1591498A JP1591498A JPH11211437A JP H11211437 A JPH11211437 A JP H11211437A JP 1591498 A JP1591498 A JP 1591498A JP 1591498 A JP1591498 A JP 1591498A JP H11211437 A JPH11211437 A JP H11211437A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- interface
- light
- light beam
- measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 安価で短時間に精度良く複合シートの界面形
状を測定する。 【解決手段】 界面上の任意の一点におけるシート３の
厚さを初期値として測定し、その一点に光線を照射し、
シート３を通過したその光線をＣＣＤイメージセンサ５
の受光平面５’上にて受光し、シート３がない状態でそ
の光線を受光平面５’上にて受光し、シート３を通過し
た光線の受光位置とシート３がない状態の光線の受光位
置との間の距離と、界面上の前記前記一点と受光平面
５’との間の距離と、シート３の屈折率と、シート３と
受光平面５’との間の媒体の屈折率とから、前記一点に
おける界面の傾きを算出し、界面上の他の一点を通るよ
うに前記光線に対して他の光線を照射し、初期値と二つ
の光線間の距離と算出された界面の傾きとから、前記他
の一点におけるシート３の厚さを算出して、光透過性シ
ートの界面形状を測定する。
状を測定する。 【解決手段】 界面上の任意の一点におけるシート３の
厚さを初期値として測定し、その一点に光線を照射し、
シート３を通過したその光線をＣＣＤイメージセンサ５
の受光平面５’上にて受光し、シート３がない状態でそ
の光線を受光平面５’上にて受光し、シート３を通過し
た光線の受光位置とシート３がない状態の光線の受光位
置との間の距離と、界面上の前記前記一点と受光平面
５’との間の距離と、シート３の屈折率と、シート３と
受光平面５’との間の媒体の屈折率とから、前記一点に
おける界面の傾きを算出し、界面上の他の一点を通るよ
うに前記光線に対して他の光線を照射し、初期値と二つ
の光線間の距離と算出された界面の傾きとから、前記他
の一点におけるシート３の厚さを算出して、光透過性シ
ートの界面形状を測定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、一方の側が平坦な
界面を、他方の側が凹凸を有する界面を備えているシー
トの凹凸を有する側の界面の形状を測定するシートの形
状測定装置及び方法に関する。
界面を、他方の側が凹凸を有する界面を備えているシー
トの凹凸を有する側の界面の形状を測定するシートの形
状測定装置及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、安価にシートの界面形状を測定す
る方法として、界面形状を測定したいラインに沿ってシ
ートを切断して端面を研磨し、その端面を電子顕微鏡や
投影機で観察することによってシートの界面形状を測定
する方法が知られている。また、シートを破壊すること
なくシートの界面形状を測定する方法として、マイケル
ソン干渉計を応用した装置によりシートの界面形状を測
定する方法が知られている。詳細には、この方法は、ミ
ラーを二枚使用し、白色光源から出た光をハーフミラー
で分割して、多層測定物の各境界面からの反射光と参照
ミラーからの反射光とを再びハーフミラーで重ね合わせ
ると共に、それらの反射光を受光素子により受光する。
その際に、参照ミラーを光軸方向に移動させて、参照ミ
ラーにより反射された光と多層測定物の各境界面により
反射された光とを干渉させることによってシートの界面
形状を測定する。
る方法として、界面形状を測定したいラインに沿ってシ
ートを切断して端面を研磨し、その端面を電子顕微鏡や
投影機で観察することによってシートの界面形状を測定
する方法が知られている。また、シートを破壊すること
なくシートの界面形状を測定する方法として、マイケル
ソン干渉計を応用した装置によりシートの界面形状を測
定する方法が知られている。詳細には、この方法は、ミ
ラーを二枚使用し、白色光源から出た光をハーフミラー
で分割して、多層測定物の各境界面からの反射光と参照
ミラーからの反射光とを再びハーフミラーで重ね合わせ
ると共に、それらの反射光を受光素子により受光する。
その際に、参照ミラーを光軸方向に移動させて、参照ミ
ラーにより反射された光と多層測定物の各境界面により
反射された光とを干渉させることによってシートの界面
形状を測定する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、電子顕微鏡
や投影機を使用するシートの界面形状の測定方法では、
上述したように、界面形状を測定したいラインに沿って
あらかじめシートを切断して端面を研磨することによ
り、乱れのない断面を形成しておかなければならない。
そのため、シートの界面形状を測定するのにかなりの時
間を要してしまう。また、シートを切断するラインに依
存して、シートの界面形状の測定値にかなりの個人差が
生じてしまう。更には、シートを製造している製造ライ
ンにおいては、シートの界面形状を測定することができ
ない。
や投影機を使用するシートの界面形状の測定方法では、
上述したように、界面形状を測定したいラインに沿って
あらかじめシートを切断して端面を研磨することによ
り、乱れのない断面を形成しておかなければならない。
そのため、シートの界面形状を測定するのにかなりの時
間を要してしまう。また、シートを切断するラインに依
存して、シートの界面形状の測定値にかなりの個人差が
生じてしまう。更には、シートを製造している製造ライ
ンにおいては、シートの界面形状を測定することができ
ない。
【０００４】一方、マイケルソン干渉計を応用した装置
によるシートの界面形状の測定方法では、その装置自体
が非常に高価であると共に、シートの界面の凸凹が比較
的大きい、つまり、シートの界面の傾きが比較的大きい
場合に、測定物の境界面からの反射光を集中させること
ができず、シートの界面形状を測定することができな
い。上述したように、従来の界面形状測定方法には、シ
ートの界面の傾きを求めてシートの界面形状を得るとい
う発想がなかった。
によるシートの界面形状の測定方法では、その装置自体
が非常に高価であると共に、シートの界面の凸凹が比較
的大きい、つまり、シートの界面の傾きが比較的大きい
場合に、測定物の境界面からの反射光を集中させること
ができず、シートの界面形状を測定することができな
い。上述したように、従来の界面形状測定方法には、シ
ートの界面の傾きを求めてシートの界面形状を得るとい
う発想がなかった。
【０００５】前記問題点に鑑み、本発明は、安価で短時
間に精度良く複合シートの表面または内部界面の傾きを
求めることにより、界面形状を測定することができる複
合シートの界面形状測定装置及び方法を提供することを
目的とする。
間に精度良く複合シートの表面または内部界面の傾きを
求めることにより、界面形状を測定することができる複
合シートの界面形状測定装置及び方法を提供することを
目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明に
よれば、平坦な界面と凹凸を有する界面とを備えた光透
過性シートの前記凹凸を有する界面の形状を測定するシ
ートの界面形状測定方法において、 ａ）前記平坦な界面に対して予め決定された照射角度を
なす光線を前記シートに向けて照射する工程と、 ｂ）前記平坦な界面と前記凹凸を有する界面とを通過し
た光線を受光する工程と、 ｃ）受光した光線が前記平坦な界面となす受光角度と前
記照射角度と光路上の媒体の屈折率とに基づいて、光線
の照射位置における前記凹凸を有する界面の前記平坦な
界面に対する傾きを算出する工程と、を含むことを特徴
とするシートの界面形状測定方法が提供される。
よれば、平坦な界面と凹凸を有する界面とを備えた光透
過性シートの前記凹凸を有する界面の形状を測定するシ
ートの界面形状測定方法において、 ａ）前記平坦な界面に対して予め決定された照射角度を
なす光線を前記シートに向けて照射する工程と、 ｂ）前記平坦な界面と前記凹凸を有する界面とを通過し
た光線を受光する工程と、 ｃ）受光した光線が前記平坦な界面となす受光角度と前
記照射角度と光路上の媒体の屈折率とに基づいて、光線
の照射位置における前記凹凸を有する界面の前記平坦な
界面に対する傾きを算出する工程と、を含むことを特徴
とするシートの界面形状測定方法が提供される。
【０００７】請求項２に記載の発明によれば、ｄ）前記
光線の照射位置における前記凹凸を有する界面の傾きに
基づいて、前記光線の照射位置におけるシートの厚さ
と、前記光線の照射位置から予め決定された間隔を隔て
た位置におけるシートの厚さとの差分を算出する工程、
を含むことを特徴とする請求項１に記載のシートの界面
形状測定方法が提供される。
光線の照射位置における前記凹凸を有する界面の傾きに
基づいて、前記光線の照射位置におけるシートの厚さ
と、前記光線の照射位置から予め決定された間隔を隔て
た位置におけるシートの厚さとの差分を算出する工程、
を含むことを特徴とする請求項１に記載のシートの界面
形状測定方法が提供される。
【０００８】請求項３に記載の発明によれば、ｅ）光線
の照射位置を前記予め決定された間隔を隔てた位置まで
前記シートに対して相対的に移動させる工程、を含むこ
とを特徴とする請求項２に記載のシートの界面形状測定
方法が提供される。
の照射位置を前記予め決定された間隔を隔てた位置まで
前記シートに対して相対的に移動させる工程、を含むこ
とを特徴とする請求項２に記載のシートの界面形状測定
方法が提供される。
【０００９】請求項４に記載の発明によれば、ｆ）前記
工程ａ〜ｅを繰り返す工程、を含むことを特徴とする請
求項３に記載のシートの界面形状測定方法が提供され
る。
工程ａ〜ｅを繰り返す工程、を含むことを特徴とする請
求項３に記載のシートの界面形状測定方法が提供され
る。
【００１０】請求項５に記載の発明によれば、ｇ）前記
光線の照射位置におけるシートの厚さを測定する工程
と、 ｈ）測定された前記光線の照射位置におけるシートの厚
さと前記差分とに基づいて、前記光線の照射位置から予
め決定された間隔を隔てた位置におけるシートの厚さを
算出する工程と、を含むことを特徴とする請求項２に記
載のシートの界面形状測定方法が提供される。
光線の照射位置におけるシートの厚さを測定する工程
と、 ｈ）測定された前記光線の照射位置におけるシートの厚
さと前記差分とに基づいて、前記光線の照射位置から予
め決定された間隔を隔てた位置におけるシートの厚さを
算出する工程と、を含むことを特徴とする請求項２に記
載のシートの界面形状測定方法が提供される。
【００１１】請求項６に記載の発明によれば、前記シー
トが前記凹凸を有する界面において屈折率の異なる他の
光透過性シートにより積層されていることを特徴とする
請求項１に記載のシートの界面形状測定方法が提供され
る。
トが前記凹凸を有する界面において屈折率の異なる他の
光透過性シートにより積層されていることを特徴とする
請求項１に記載のシートの界面形状測定方法が提供され
る。
【００１２】請求項７に記載の発明によれば、平坦な界
面と凹凸を有する界面とを備えた光透過性シートの前記
凹凸を有する界面の形状を測定するシートの界面形状測
定装置において、前記平坦な界面に対して予め決定され
た照射角度をなす光線を前記シートに向けて照射する照
射手段と、前記平坦な界面と前記凹凸を有する界面とを
通過した光線を受光する受光手段と、受光した光線が前
記平坦な界面となす受光角度と前記照射角度と光路上の
媒体の屈折率とに基づいて、光線の照射位置における前
記凹凸を有する界面の前記平坦な界面に対する傾きを算
出する傾き算出手段とを具備することを特徴とするシー
トの界面形状測定装置が提供される。
面と凹凸を有する界面とを備えた光透過性シートの前記
凹凸を有する界面の形状を測定するシートの界面形状測
定装置において、前記平坦な界面に対して予め決定され
た照射角度をなす光線を前記シートに向けて照射する照
射手段と、前記平坦な界面と前記凹凸を有する界面とを
通過した光線を受光する受光手段と、受光した光線が前
記平坦な界面となす受光角度と前記照射角度と光路上の
媒体の屈折率とに基づいて、光線の照射位置における前
記凹凸を有する界面の前記平坦な界面に対する傾きを算
出する傾き算出手段とを具備することを特徴とするシー
トの界面形状測定装置が提供される。
【００１３】請求項８に記載の発明によれば、前記受光
手段が受光平面を有しており、前記受光角度が前記受光
平面上における光線の受光位置に基づいて算出されるこ
とを特徴とする請求項７に記載のシートの界面形状測定
装置が提供される。
手段が受光平面を有しており、前記受光角度が前記受光
平面上における光線の受光位置に基づいて算出されるこ
とを特徴とする請求項７に記載のシートの界面形状測定
装置が提供される。
【００１４】請求項９に記載の発明によれば、前記光線
の照射位置における前記凹凸を有する界面の傾きに基づ
いて、前記光線の照射位置におけるシートの厚さと、前
記光線の照射位置から予め決定された間隔を隔てた位置
におけるシートの厚さとの差分を算出する差分算出手段
を具備することを特徴とする請求項７又は８に記載のシ
ートの界面形状測定装置が提供される。
の照射位置における前記凹凸を有する界面の傾きに基づ
いて、前記光線の照射位置におけるシートの厚さと、前
記光線の照射位置から予め決定された間隔を隔てた位置
におけるシートの厚さとの差分を算出する差分算出手段
を具備することを特徴とする請求項７又は８に記載のシ
ートの界面形状測定装置が提供される。
【００１５】請求項１０に記載の発明によれば、光線の
照射位置を前記予め決定された間隔を隔てた位置まで前
記シートに対して相対的に移動させる移動手段を具備す
ることを特徴とする請求項９に記載のシートの界面形状
測定装置が提供される。
照射位置を前記予め決定された間隔を隔てた位置まで前
記シートに対して相対的に移動させる移動手段を具備す
ることを特徴とする請求項９に記載のシートの界面形状
測定装置が提供される。
【００１６】請求項１１に記載の発明によれば、前記光
線の照射位置におけるシートの厚さを測定する測定手段
と、測定された前記光線の照射位置におけるシートの厚
さと前記差分とに基づいて、前記光線の照射位置から予
め決定された間隔を隔てた位置におけるシートの厚さを
算出する厚さ算出手段とを具備することを特徴とする請
求項９又は１０に記載のシートの界面形状測定装置が提
供される。
線の照射位置におけるシートの厚さを測定する測定手段
と、測定された前記光線の照射位置におけるシートの厚
さと前記差分とに基づいて、前記光線の照射位置から予
め決定された間隔を隔てた位置におけるシートの厚さを
算出する厚さ算出手段とを具備することを特徴とする請
求項９又は１０に記載のシートの界面形状測定装置が提
供される。
【００１７】請求項１２に記載の発明によれば、前記シ
ートが前記凹凸を有する界面において他の光透過性シー
トにより積層されていることを特徴とする請求項７に記
載のシートの界面形状測定装置が提供される。
ートが前記凹凸を有する界面において他の光透過性シー
トにより積層されていることを特徴とする請求項７に記
載のシートの界面形状測定装置が提供される。
【００１８】請求項１３に記載の発明によれば、前記照
射手段がレーザー光を光源とするものであることを特徴
とする請求項７に記載のシートの界面形状測定装置が提
供される。
射手段がレーザー光を光源とするものであることを特徴
とする請求項７に記載のシートの界面形状測定装置が提
供される。
【００１９】請求項１４に記載の発明によれば、前記照
射手段がレーザー光を光源すると共に前記レーザー光の
絞り機構を備えたものであることを特徴とする請求項７
に記載のシートの界面形状測定装置が提供される。
射手段がレーザー光を光源すると共に前記レーザー光の
絞り機構を備えたものであることを特徴とする請求項７
に記載のシートの界面形状測定装置が提供される。
【００２０】請求項１５に記載の発明によれば、前記照
射手段及び前記受光手段を同期して前記シートに対して
相対的に移動する機構を備えたことを特徴とする請求項
１０に記載のシートの界面形状測定装置が提供される。
射手段及び前記受光手段を同期して前記シートに対して
相対的に移動する機構を備えたことを特徴とする請求項
１０に記載のシートの界面形状測定装置が提供される。
【００２１】請求項１〜１５に記載のシートの界面形状
測定装置及び方法では、マイケルソン干渉計を応用した
装置を使用しないために安価でシートの界面の傾きを求
めることにより界面形状を測定することができる。ま
た、界面形状を測定したいラインに沿って予めシートを
切断して端面を研磨しておく必要がないため、短時間で
シートの界面の傾きを求めることにより界面形状を測定
することができる。その上、シートの切断ラインに沿っ
てシートの界面形状を測定するのではないため、切断ラ
インを選択する際のオペレータの恣意を排除でき、それ
ゆえ、精度良くシートの界面形状を測定することができ
る。
測定装置及び方法では、マイケルソン干渉計を応用した
装置を使用しないために安価でシートの界面の傾きを求
めることにより界面形状を測定することができる。ま
た、界面形状を測定したいラインに沿って予めシートを
切断して端面を研磨しておく必要がないため、短時間で
シートの界面の傾きを求めることにより界面形状を測定
することができる。その上、シートの切断ラインに沿っ
てシートの界面形状を測定するのではないため、切断ラ
インを選択する際のオペレータの恣意を排除でき、それ
ゆえ、精度良くシートの界面形状を測定することができ
る。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を用いて本発明の
実施形態について説明する。本発明において測定対象と
なる光透過性シートは外表面または内部の界面にひとつ
の凹凸面を有するシートである。その代表的なものとし
て、１）一方の表面が平坦で他方の表面が凹凸状態の１
層構造のシート、２）このシートの平坦な表面側に表面
が平坦なシートを２層以上積層した構造の多層構造のシ
ート、３）各層の屈折率が互いに異なる２層構造のシー
トであって、両方の表面が平坦で内部の境界面が凹凸状
態のシート、４）このシートの一方または両方の表面
に、表面が平坦なシートを１層以上積層した多層構造の
シートが例示される。
実施形態について説明する。本発明において測定対象と
なる光透過性シートは外表面または内部の界面にひとつ
の凹凸面を有するシートである。その代表的なものとし
て、１）一方の表面が平坦で他方の表面が凹凸状態の１
層構造のシート、２）このシートの平坦な表面側に表面
が平坦なシートを２層以上積層した構造の多層構造のシ
ート、３）各層の屈折率が互いに異なる２層構造のシー
トであって、両方の表面が平坦で内部の境界面が凹凸状
態のシート、４）このシートの一方または両方の表面
に、表面が平坦なシートを１層以上積層した多層構造の
シートが例示される。
【００２３】図１は本発明のシートの界面形状測定装置
の一実施形態の概略構成図である。図１に示すように、
複合シートの界面形状測定装置は、光入射光学系として
使用されるＨｅＮｅレーザー１と、レーザー１より照射
されたレーザー光を収束させて平行光または平行光に近
い光に細く絞ることのできるレンズ２とを有する。更
に、複合シートの界面形状測定装置は、形状測定が行わ
れる界面を含む複合シート３を固定すると共に、シート
３の左側の平坦な界面に対するレーザー光の入射角を所
定の角度に保った状態でシート３をＹ方向に移動させ
て、複合シート３上への入射光の入射位置を移動させる
ために使用される自動ステージ４を有する。更に、複合
シートの界面形状測定装置は、複合シート３を通過した
光線（図１中実線）と複合シート３がない状態の光線
（図１中破線）とがなす角度αを得るため、つまり、受
光平面５’上における複合シート３を通過した光線（図
１中実線）の受光位置と複合シート３がない状態の光線
（図１中破線）の受光位置とを検出してそれらの受光位
置の間の距離Δｙを得るために、複合シート３の左側の
平坦な界面又は右側の平坦な界面から所定の距離をおい
て設置されたＣＣＤイメージセンサ５を有する。更に、
複合シートの界面形状測定装置は、ＣＣＤイメージセン
サ５を必要な位置に位置決めするための駆動、及びＣＣ
Ｄイメージセンサ５が検出した受光位置に基づく信号の
伝達を行う駆動伝達回路６と、シート３を上下に移動さ
せるために自動ステージ４を作動させるステージドライ
バ８とを有する。更に、複合シートの界面形状測定装置
は、ＣＣＤイメージセンサ５の駆動及びステージドライ
バ８の駆動を行うための信号を出力すると共に、ＣＣＤ
イメージセンサ５が検出した受光位置等のデータを使用
してシート３の界面形状を算出するためのパーソナルコ
ンピュータ７を有する。
の一実施形態の概略構成図である。図１に示すように、
複合シートの界面形状測定装置は、光入射光学系として
使用されるＨｅＮｅレーザー１と、レーザー１より照射
されたレーザー光を収束させて平行光または平行光に近
い光に細く絞ることのできるレンズ２とを有する。更
に、複合シートの界面形状測定装置は、形状測定が行わ
れる界面を含む複合シート３を固定すると共に、シート
３の左側の平坦な界面に対するレーザー光の入射角を所
定の角度に保った状態でシート３をＹ方向に移動させ
て、複合シート３上への入射光の入射位置を移動させる
ために使用される自動ステージ４を有する。更に、複合
シートの界面形状測定装置は、複合シート３を通過した
光線（図１中実線）と複合シート３がない状態の光線
（図１中破線）とがなす角度αを得るため、つまり、受
光平面５’上における複合シート３を通過した光線（図
１中実線）の受光位置と複合シート３がない状態の光線
（図１中破線）の受光位置とを検出してそれらの受光位
置の間の距離Δｙを得るために、複合シート３の左側の
平坦な界面又は右側の平坦な界面から所定の距離をおい
て設置されたＣＣＤイメージセンサ５を有する。更に、
複合シートの界面形状測定装置は、ＣＣＤイメージセン
サ５を必要な位置に位置決めするための駆動、及びＣＣ
Ｄイメージセンサ５が検出した受光位置に基づく信号の
伝達を行う駆動伝達回路６と、シート３を上下に移動さ
せるために自動ステージ４を作動させるステージドライ
バ８とを有する。更に、複合シートの界面形状測定装置
は、ＣＣＤイメージセンサ５の駆動及びステージドライ
バ８の駆動を行うための信号を出力すると共に、ＣＣＤ
イメージセンサ５が検出した受光位置等のデータを使用
してシート３の界面形状を算出するためのパーソナルコ
ンピュータ７を有する。
【００２４】本実施形態においてシートの界面形状測定
に使用されるシートは、ポリメチルメタクリレート（三
菱レイヨン製、アクリペット）である第１樹脂層３１
と、ポリカーボネート（三菱瓦斯化学製、ユーピロン）
である第２樹脂層３２と、第１樹脂層３１と同様のポリ
メチルメタクリレートである第３樹脂層３３とが積層さ
れている複合シートである。本実施形態では、第１樹脂
層の左側の界面と、第２樹脂層と第３樹脂層との境界面
と、第３樹脂層の右側の界面は平坦に形成されており、
第１樹脂層と第２樹脂層との境界面が凹凸形状に形成さ
れている。つまり、本実施形態では、シートの界面形状
測定装置により、第１樹脂層と第２樹脂層との境界面形
状が測定される。
に使用されるシートは、ポリメチルメタクリレート（三
菱レイヨン製、アクリペット）である第１樹脂層３１
と、ポリカーボネート（三菱瓦斯化学製、ユーピロン）
である第２樹脂層３２と、第１樹脂層３１と同様のポリ
メチルメタクリレートである第３樹脂層３３とが積層さ
れている複合シートである。本実施形態では、第１樹脂
層の左側の界面と、第２樹脂層と第３樹脂層との境界面
と、第３樹脂層の右側の界面は平坦に形成されており、
第１樹脂層と第２樹脂層との境界面が凹凸形状に形成さ
れている。つまり、本実施形態では、シートの界面形状
測定装置により、第１樹脂層と第２樹脂層との境界面形
状が測定される。
【００２５】尚、本実施形態では光入射光学系としてＨ
ｅＮｅレーザーを使用しているが、たとえばＡｒレーザ
ーや半導体レーザー等の光入射光学系を用いることも可
能である。また、本実施形態ではレーザー光を収束させ
る装置としてレンズを使用しているが、たとえばスリッ
トやピンホール等を用いることも可能であり、光入射光
学系から発せられる光を平行光またはそれに近く細く絞
ることのできるものであればよい。また、測定されるシ
ートの凸凹（つまり振幅）に対して光線の径が十分小さ
な平行光に近いものを光入射光学系として使用する場合
には、集光部を省略することも可能である。また、本実
施形態では、受光平面５’上における距離Δｙを得るた
めに、ＣＣＤイメージセンサを使用しているが、このＣ
ＣＤイメージセンサは１次元のものであっても、２次元
のものであってもよい。また、ＣＣＤイメージセンサの
代わりに、フォトダイオード等を１次元、又は２次元に
配列することも可能であり、角度α又は距離Δｙを得る
ことができるものであればよい。また、本実施形態で
は、パーソナルコンピュータを使用しているが、たとえ
ばマイクロコンピュータ等を用いることも可能であり、
ＣＣＤイメージセンサにより得られたデータに基づいて
シートの界面形状を計算・算出できるものであればよ
い。また、本実施形態では第１〜第３樹脂層が積層され
た複合シートの界面形状が測定されているが、本実施形
態のシートの界面形状測定装置は単一の樹脂層からなる
シートの界面形状を測定することも可能である。
ｅＮｅレーザーを使用しているが、たとえばＡｒレーザ
ーや半導体レーザー等の光入射光学系を用いることも可
能である。また、本実施形態ではレーザー光を収束させ
る装置としてレンズを使用しているが、たとえばスリッ
トやピンホール等を用いることも可能であり、光入射光
学系から発せられる光を平行光またはそれに近く細く絞
ることのできるものであればよい。また、測定されるシ
ートの凸凹（つまり振幅）に対して光線の径が十分小さ
な平行光に近いものを光入射光学系として使用する場合
には、集光部を省略することも可能である。また、本実
施形態では、受光平面５’上における距離Δｙを得るた
めに、ＣＣＤイメージセンサを使用しているが、このＣ
ＣＤイメージセンサは１次元のものであっても、２次元
のものであってもよい。また、ＣＣＤイメージセンサの
代わりに、フォトダイオード等を１次元、又は２次元に
配列することも可能であり、角度α又は距離Δｙを得る
ことができるものであればよい。また、本実施形態で
は、パーソナルコンピュータを使用しているが、たとえ
ばマイクロコンピュータ等を用いることも可能であり、
ＣＣＤイメージセンサにより得られたデータに基づいて
シートの界面形状を計算・算出できるものであればよ
い。また、本実施形態では第１〜第３樹脂層が積層され
た複合シートの界面形状が測定されているが、本実施形
態のシートの界面形状測定装置は単一の樹脂層からなる
シートの界面形状を測定することも可能である。
【００２６】以下、図２及び図１を参照して、本実施形
態のシートの界面形状測定方法について説明する。図２
はシート３と受光平面５’との関係を拡大して示した概
略図である。まず、シートの一部を切断する等して、従
来の任意の厚さ測定器等により、第１樹脂層と第２樹脂
層との境界面上の任意の一点である基準点Ｐ０における
第１樹脂層の厚さｘ１（０）、第２樹脂層の厚さｘ２
（０）、及び第３樹脂層の厚さｘ３（０）を初期値とし
て測定する。続いて、自動ステージ上にシートがない状
態で照射された光線を受光平面上にて受光し、この受光
位置ｙ’（０）をＣＣＤイメージセンサにより検出、記
憶する。尚、この工程は、すべての工程の最後に行って
もよい。続いて、シートを自動ステージ上に配置し、基
準点Ｐ０を光線が通過するように、かつ、第１樹脂層の
左側の界面とＣＣＤイメージセンサの受光平面との間が
所定の距離（ｘ１（０）＋ｘ２（０）＋ｘ３（０）＋ｘ
４（０））になるように位置決めする。続いて、シート
を通過して屈折した光線を受光平面上にて受光し、この
受光位置ｙ（０）をＣＣＤイメージセンサにより検出、
記憶する。
態のシートの界面形状測定方法について説明する。図２
はシート３と受光平面５’との関係を拡大して示した概
略図である。まず、シートの一部を切断する等して、従
来の任意の厚さ測定器等により、第１樹脂層と第２樹脂
層との境界面上の任意の一点である基準点Ｐ０における
第１樹脂層の厚さｘ１（０）、第２樹脂層の厚さｘ２
（０）、及び第３樹脂層の厚さｘ３（０）を初期値とし
て測定する。続いて、自動ステージ上にシートがない状
態で照射された光線を受光平面上にて受光し、この受光
位置ｙ’（０）をＣＣＤイメージセンサにより検出、記
憶する。尚、この工程は、すべての工程の最後に行って
もよい。続いて、シートを自動ステージ上に配置し、基
準点Ｐ０を光線が通過するように、かつ、第１樹脂層の
左側の界面とＣＣＤイメージセンサの受光平面との間が
所定の距離（ｘ１（０）＋ｘ２（０）＋ｘ３（０）＋ｘ
４（０））になるように位置決めする。続いて、シート
を通過して屈折した光線を受光平面上にて受光し、この
受光位置ｙ（０）をＣＣＤイメージセンサにより検出、
記憶する。
【００２７】続いて、シートがない状態で照射された光
線の受光位置ｙ’（０）とシートを通過した光線の受光
位置ｙ（０）との間の距離（ｙ（０）−ｙ’（０））
と、基準点Ｐ０の位置における第１樹脂層の厚さｘ１
（０）、第２樹脂層の厚さｘ２（０）、第３樹脂層の厚
さｘ３（０）、及び第１樹脂層の左側受光平面５’との
間の距離（ｘ１（０）＋ｘ２（０）＋ｘ３（０）＋ｘ４
（０））と、第１樹脂層の屈折率ｎ１、第２樹脂層の屈
折率ｎ２、第３樹脂層の屈折率ｎ１、及び第３樹脂層と
受光平面との間の媒体、つまり空気の屈折率ｎ０と、数
式１とから基準点Ｐ０（図２）におけるＹ方向に対する
第１樹脂層と第２樹脂層との境界面の傾きθ１（０）を
算出する。尚、数式１は図２におけるシートの界面形状
を算出するための関係式である。
線の受光位置ｙ’（０）とシートを通過した光線の受光
位置ｙ（０）との間の距離（ｙ（０）−ｙ’（０））
と、基準点Ｐ０の位置における第１樹脂層の厚さｘ１
（０）、第２樹脂層の厚さｘ２（０）、第３樹脂層の厚
さｘ３（０）、及び第１樹脂層の左側受光平面５’との
間の距離（ｘ１（０）＋ｘ２（０）＋ｘ３（０）＋ｘ４
（０））と、第１樹脂層の屈折率ｎ１、第２樹脂層の屈
折率ｎ２、第３樹脂層の屈折率ｎ１、及び第３樹脂層と
受光平面との間の媒体、つまり空気の屈折率ｎ０と、数
式１とから基準点Ｐ０（図２）におけるＹ方向に対する
第１樹脂層と第２樹脂層との境界面の傾きθ１（０）を
算出する。尚、数式１は図２におけるシートの界面形状
を算出するための関係式である。
【００２８】
【数１】
【００２９】図２に示すように、傾きθ１（０）は、第
１樹脂層から第２樹脂層への入射角と等しくなってい
る。θ２（０）は第１樹脂層と第２樹脂層との境界面で
屈折した光線の屈折角である。θ１（０）−θ２（０）
は第２樹脂層から第３樹脂層への入射角であり、θ３
（０）は第２樹脂層と第３樹脂層との境界面で屈折した
光線の屈折角であって第３樹脂層から第３樹脂層と受光
平面との間の空気への入射角である。θ４（０）は第３
樹脂層と空気との境界面で屈折した光線の屈折角であ
る。
１樹脂層から第２樹脂層への入射角と等しくなってい
る。θ２（０）は第１樹脂層と第２樹脂層との境界面で
屈折した光線の屈折角である。θ１（０）−θ２（０）
は第２樹脂層から第３樹脂層への入射角であり、θ３
（０）は第２樹脂層と第３樹脂層との境界面で屈折した
光線の屈折角であって第３樹脂層から第３樹脂層と受光
平面との間の空気への入射角である。θ４（０）は第３
樹脂層と空気との境界面で屈折した光線の屈折角であ
る。
【００３０】続いて、シートをＹ方向に、光線に対して
相対的に微小な所定の移動量ΔＹだけ移動させる。続い
て、厚さｘ１（０）と、傾きθ１（０）と、シートの移
動量ΔＹとにより、次の照射点Ｐ１における第１樹脂層
の厚さｘ１（１）（＝ｘ１（０）−ΔＹｔａｎθ１
（０））を算出する。以下、上述した工程を繰り返すこ
とにより、シートの移動方向に沿った第１樹脂層の厚さ
ｘ１（２）、ｘ１（３）…ｘ１（ｎ）を得ることができ
る。続いて、図１において紙面に対して垂直方向に微小
な所定の移動量ΔＺだけシートを移動させ、かつ、上述
した工程を繰り返すことにより、第１樹脂層と第２樹脂
層との間のすべての界面形状を測定することができる。
相対的に微小な所定の移動量ΔＹだけ移動させる。続い
て、厚さｘ１（０）と、傾きθ１（０）と、シートの移
動量ΔＹとにより、次の照射点Ｐ１における第１樹脂層
の厚さｘ１（１）（＝ｘ１（０）−ΔＹｔａｎθ１
（０））を算出する。以下、上述した工程を繰り返すこ
とにより、シートの移動方向に沿った第１樹脂層の厚さ
ｘ１（２）、ｘ１（３）…ｘ１（ｎ）を得ることができ
る。続いて、図１において紙面に対して垂直方向に微小
な所定の移動量ΔＺだけシートを移動させ、かつ、上述
した工程を繰り返すことにより、第１樹脂層と第２樹脂
層との間のすべての界面形状を測定することができる。
【００３１】尚、本実施形態では、シートをＹ方向に微
小な移動量ΔＹだけ移動させるために、自動ステージを
図１のＹ方向にたとえば0.01mmピッチの一定ピッチにて
移動させる。当然ながら、このピッチは、形状測定する
シートの大きさ、必要な精度等により変更する事ができ
る。尚、各レーザー入射位置毎にＣＣＤイメージセンサ
により検出された受光位置データは、駆動検出回路を介
してパーソナルコンピュータに伝達される。パーソナル
コンピュータは、ステージドライバを介して自動ステー
ジを所定のタイミングで移動させると共に、ＣＣＤイメ
ージセンサにより得られた受光位置データに基づいてシ
ートの界面形状を算出する。本実施形態では１次元のＣ
ＣＤイメージセンサを使用しているが、他の実施形態で
は、２次元のＣＣＤイメージセンサを使用することによ
り、上述した所定の移動量ΔＺの移動を行うことなく、
立体角を測定して３次元の界面形状も求めることも可能
である。
小な移動量ΔＹだけ移動させるために、自動ステージを
図１のＹ方向にたとえば0.01mmピッチの一定ピッチにて
移動させる。当然ながら、このピッチは、形状測定する
シートの大きさ、必要な精度等により変更する事ができ
る。尚、各レーザー入射位置毎にＣＣＤイメージセンサ
により検出された受光位置データは、駆動検出回路を介
してパーソナルコンピュータに伝達される。パーソナル
コンピュータは、ステージドライバを介して自動ステー
ジを所定のタイミングで移動させると共に、ＣＣＤイメ
ージセンサにより得られた受光位置データに基づいてシ
ートの界面形状を算出する。本実施形態では１次元のＣ
ＣＤイメージセンサを使用しているが、他の実施形態で
は、２次元のＣＣＤイメージセンサを使用することによ
り、上述した所定の移動量ΔＺの移動を行うことなく、
立体角を測定して３次元の界面形状も求めることも可能
である。
【００３２】図３は第１樹脂層と第２樹脂層との境界面
を通過した光線の通過位置より界面形状を求める詳細図
であり、数式２は図３におけるシートの界面形状を算出
するための近似式である。
を通過した光線の通過位置より界面形状を求める詳細図
であり、数式２は図３におけるシートの界面形状を算出
するための近似式である。
【００３３】
【数２】
【００３４】数式２において、Δｘは図中ｘ方向におけ
る測定点と次測定点との差分、ΔＹは自動ステージの移
動ピッチ、ｍは測定点数、ｔはシート全体の厚さであ
る。形状算出時、シート全体の厚さｔ、レーザー波長に
対する各樹脂層及び空気中の屈折率ｎ０〜ｎ２、複合シ
ートとＣＣＤイメージセンサの距離ｘ４、第３樹脂層の
厚さｘ３については固定データとして、また第二樹脂層
の厚さｘ２は前記初期状態において初期値ｘ２（０）を
与えておく。今回は、３層構造の複合シートにて測定を
実施したが、樹脂積層数が増えた場合においても、上記
と同様に各樹脂層における屈折率の数式によってθ１は
求められる。またシート外面に凹凸形状がある場合も同
様である。前記θ１における正接（ｔａｎθ）は断面形
状の傾きであり、よって正接を積分することによって凹
凸形状が算出される。このとき積分の手法として、一次
近似、二次近似等を用いることができる。
る測定点と次測定点との差分、ΔＹは自動ステージの移
動ピッチ、ｍは測定点数、ｔはシート全体の厚さであ
る。形状算出時、シート全体の厚さｔ、レーザー波長に
対する各樹脂層及び空気中の屈折率ｎ０〜ｎ２、複合シ
ートとＣＣＤイメージセンサの距離ｘ４、第３樹脂層の
厚さｘ３については固定データとして、また第二樹脂層
の厚さｘ２は前記初期状態において初期値ｘ２（０）を
与えておく。今回は、３層構造の複合シートにて測定を
実施したが、樹脂積層数が増えた場合においても、上記
と同様に各樹脂層における屈折率の数式によってθ１は
求められる。またシート外面に凹凸形状がある場合も同
様である。前記θ１における正接（ｔａｎθ）は断面形
状の傾きであり、よって正接を積分することによって凹
凸形状が算出される。このとき積分の手法として、一次
近似、二次近似等を用いることができる。
【００３５】図４は第１樹脂層と第２樹脂層との境界面
に対して角度をつけて入射した光線が境界面を通過する
ときの通過位置より界面形状を求める詳細図である。図
２において、レーザー光の入射角度はシートに対して垂
直に入射し、界面の凹凸形状を求めているが、図４に示
すようにレーザー光の入射角度が垂直でない場合におい
ても、レーザー光の入射角度がシートに対して垂直に入
射する場合と同様に各樹脂層の屈折率の数式をたてて傾
角を求め、この正接を積分することにより界面形状が算
出できる。
に対して角度をつけて入射した光線が境界面を通過する
ときの通過位置より界面形状を求める詳細図である。図
２において、レーザー光の入射角度はシートに対して垂
直に入射し、界面の凹凸形状を求めているが、図４に示
すようにレーザー光の入射角度が垂直でない場合におい
ても、レーザー光の入射角度がシートに対して垂直に入
射する場合と同様に各樹脂層の屈折率の数式をたてて傾
角を求め、この正接を積分することにより界面形状が算
出できる。
【００３６】
【発明の効果】本発明によれば、安価で短時間に精度良
く複合シートの表面または内部界面の傾きを求めること
により界面形状を測定することができる。
く複合シートの表面または内部界面の傾きを求めること
により界面形状を測定することができる。
【図１】本発明のシートの界面形状測定装置の一実施形
態の概略構成図である。
態の概略構成図である。
【図２】拡大したシートと受光平面の関係を示した概略
図である。
図である。
【図３】第１樹脂層と第２樹脂層との境界面を通過した
光線の通過位置より界面形状を求める詳細図である。
光線の通過位置より界面形状を求める詳細図である。
【図４】第１樹脂層と第２樹脂層との境界面に対して角
度をつけて入射した光線が境界面を通過するときの通過
位置より界面形状を求める詳細図である。
度をつけて入射した光線が境界面を通過するときの通過
位置より界面形状を求める詳細図である。
１…レーザー ２…レンズ ３…シート ４…自動ステージ ５…ＣＣＤイメージセンサ ５’…受光平面
Claims (15)
- 【請求項１】 平坦な界面と凹凸を有する界面とを備え
た光透過性シートの前記凹凸を有する界面の形状を測定
するシートの界面形状測定方法において、 ａ）前記平坦な界面に対して予め決定された照射角度を
なす光線を前記シートに向けて照射する工程と、 ｂ）前記平坦な界面と前記凹凸を有する界面とを通過し
た光線を受光する工程と、 ｃ）受光した光線が前記平坦な界面となす受光角度と前
記照射角度と光路上の媒体の屈折率とに基づいて、光線
の照射位置における前記凹凸を有する界面の前記平坦な
界面に対する傾きを算出する工程と、を含むことを特徴
とするシートの界面形状測定方法。 - 【請求項２】 ｄ）前記光線の照射位置における前記凹
凸を有する界面の傾きに基づいて、前記光線の照射位置
におけるシートの厚さと、前記光線の照射位置から予め
決定された間隔を隔てた位置におけるシートの厚さとの
差分を算出する工程、を含むことを特徴とする請求項１
に記載のシートの界面形状測定方法。 - 【請求項３】 ｅ）光線の照射位置を前記予め決定され
た間隔を隔てた位置まで前記シートに対して相対的に移
動させる工程、を含むことを特徴とする請求項２に記載
のシートの界面形状測定方法。 - 【請求項４】 ｆ）前記工程ａ〜ｅを繰り返す工程、を
含むことを特徴とする請求項３に記載のシートの界面形
状測定方法。 - 【請求項５】 ｇ）前記光線の照射位置におけるシート
の厚さを測定する工程と、 ｈ）測定された前記光線の照射位置におけるシートの厚
さと前記差分とに基づいて、前記光線の照射位置から予
め決定された間隔を隔てた位置におけるシートの厚さを
算出する工程と、を含むことを特徴とする請求項２に記
載のシートの界面形状測定方法。 - 【請求項６】 前記シートが前記凹凸を有する界面にお
いて屈折率の異なる他の光透過性シートにより積層され
ていることを特徴とする請求項１に記載のシートの界面
形状測定方法。 - 【請求項７】 平坦な界面と凹凸を有する界面とを備え
た光透過性シートの前記凹凸を有する界面の形状を測定
するシートの界面形状測定装置において、 前記平坦な界面に対して予め決定された照射角度をなす
光線を前記シートに向けて照射する照射手段と、 前記平坦な界面と前記凹凸を有する界面とを通過した光
線を受光する受光手段と、 受光した光線が前記平坦な界面となす受光角度と前記照
射角度と光路上の媒体の屈折率とに基づいて、光線の照
射位置における前記凹凸を有する界面の前記平坦な界面
に対する傾きを算出する傾き算出手段とを具備すること
を特徴とするシートの界面形状測定装置。 - 【請求項８】 前記受光手段が受光平面を有しており、
前記受光角度が前記受光平面上における光線の受光位置
に基づいて算出されることを特徴とする請求項７に記載
のシートの界面形状測定装置。 - 【請求項９】 前記光線の照射位置における前記凹凸を
有する界面の傾きに基づいて、前記光線の照射位置にお
けるシートの厚さと、前記光線の照射位置から予め決定
された間隔を隔てた位置におけるシートの厚さとの差分
を算出する差分算出手段を具備することを特徴とする請
求項７又は８に記載のシートの界面形状測定装置。 - 【請求項１０】 光線の照射位置を前記予め決定された
間隔を隔てた位置まで前記シートに対して相対的に移動
させる移動手段を具備することを特徴とする請求項９に
記載のシートの界面形状測定装置。 - 【請求項１１】 前記光線の照射位置におけるシートの
厚さを測定する測定手段と、 測定された前記光線の照射位置におけるシートの厚さと
前記差分とに基づいて、前記光線の照射位置から予め決
定された間隔を隔てた位置におけるシートの厚さを算出
する厚さ算出手段とを具備することを特徴とする請求項
９又は１０に記載のシートの界面形状測定装置。 - 【請求項１２】 前記シートが前記凹凸を有する界面に
おいて他の光透過性シートにより積層されていることを
特徴とする請求項７に記載のシートの界面形状測定装
置。 - 【請求項１３】 前記照射手段がレーザー光を光源とす
るものであることを特徴とする請求項７に記載のシート
の界面形状測定装置。 - 【請求項１４】 前記照射手段がレーザー光を光源とす
ると共に前記レーザー光の絞り機構を備えたものである
ことを特徴とする請求項７に記載のシートの界面形状測
定装置。 - 【請求項１５】 前記照射手段及び前記受光手段を同期
して前記シートに対して相対的に移動する機構を備えた
ことを特徴とする請求項１０に記載のシートの界面形状
測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1591498A JPH11211437A (ja) | 1998-01-28 | 1998-01-28 | シートの界面形状測定装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1591498A JPH11211437A (ja) | 1998-01-28 | 1998-01-28 | シートの界面形状測定装置及び方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11211437A true JPH11211437A (ja) | 1999-08-06 |
Family
ID=11902058
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1591498A Pending JPH11211437A (ja) | 1998-01-28 | 1998-01-28 | シートの界面形状測定装置及び方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11211437A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013099434A1 (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-04 | ジャパンスーパークォーツ株式会社 | シリカガラスルツボの三次元形状測定方法、シリコン単結晶の製造方法 |
| JP2013134177A (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Japan Siper Quarts Corp | シリカガラスルツボの三次元形状測定方法 |
| JP2013134179A (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Japan Siper Quarts Corp | シリカガラスルツボの三次元形状測定方法、シリコン単結晶の製造方法 |
-
1998
- 1998-01-28 JP JP1591498A patent/JPH11211437A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013099434A1 (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-04 | ジャパンスーパークォーツ株式会社 | シリカガラスルツボの三次元形状測定方法、シリコン単結晶の製造方法 |
| JP2013134177A (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Japan Siper Quarts Corp | シリカガラスルツボの三次元形状測定方法 |
| JP2013134179A (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Japan Siper Quarts Corp | シリカガラスルツボの三次元形状測定方法、シリコン単結晶の製造方法 |
| TWI480506B (zh) * | 2011-12-27 | 2015-04-11 | Japan Super Quartz Corp | 氧化矽玻璃坩堝三次元形狀測定方法及單晶矽製造方法 |
| US9810526B2 (en) | 2011-12-27 | 2017-11-07 | Sumco Corporation | Method for measuring three-dimensional shape of silica glass crucible, and method for producing monocrystalline silicon |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20190017938A1 (en) | Diffractive biosensor | |
| EP2499480B1 (en) | Optical sensor system based on attenuated total reflection | |
| JP2913984B2 (ja) | 傾斜角測定装置 | |
| JP3366993B2 (ja) | 光ビームのコリメーション状態および角度を検出するための装置および焦点位置を検出するための方法 | |
| JPH102855A (ja) | 積層構造体の層厚および屈折率の測定方法およびその測定装置 | |
| US7718952B2 (en) | Information carrier | |
| US20080137061A1 (en) | Displacement Measurement Sensor Using the Confocal Principle | |
| US20080285007A1 (en) | System and method for measurement of thickness of thin films | |
| US6198862B1 (en) | Optical position detector | |
| JPH0743110A (ja) | 二段検出式非接触位置決め装置 | |
| JP2609953B2 (ja) | 表面プラズモン顕微鏡 | |
| EP0489399B1 (en) | Displacement detector | |
| JPH11211437A (ja) | シートの界面形状測定装置及び方法 | |
| JP4732569B2 (ja) | コーティングの光学的な層厚さを連続的に決定するための方法 | |
| US11714233B2 (en) | Optical signal routing devices and systems | |
| JP4773329B2 (ja) | 界面位置測定方法および測定装置、層厚測定方法および測定装置、並びに、光ディスクの製造方法および製造装置 | |
| CN114641702A (zh) | 多层光学器件和系统 | |
| JP4710510B2 (ja) | 配向計 | |
| JP2006132972A (ja) | 光学部品の欠陥検出方法および欠陥検出装置 | |
| JPH07243818A (ja) | 多層膜厚測定装置 | |
| TW201710007A (zh) | 聚光點檢測裝置 | |
| JP2000258144A (ja) | ウェーハの平坦度および厚み測定装置 | |
| CN116324331A (zh) | 用于确定物体的距离、表面厚度和光学特性的设备及相关方法 | |
| CN107402439B (zh) | 薄板成像装置 | |
| JP2004264098A (ja) | 位置測定システム用ゲージ |