JPH11194819A - 異常表示装置 - Google Patents
異常表示装置Info
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- JPH11194819A JPH11194819A JP25498A JP25498A JPH11194819A JP H11194819 A JPH11194819 A JP H11194819A JP 25498 A JP25498 A JP 25498A JP 25498 A JP25498 A JP 25498A JP H11194819 A JPH11194819 A JP H11194819A
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- Emergency Alarm Devices (AREA)
- Alarm Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 エラー発生認識を確実に行うことができると
ともに、それに引き続くメンテナンス操作も容易に行う
ことができる異常表示装置を得る。 【解決手段】 半導体製造装置１のエラー発生を検出す
るエラー発生検出部２と、エラー発生検出部２の出力信
号に基づいてブザー７を鳴動させるブザー鳴動制御部６
と、エラー発生検出部２の出力信号に基づいてブザー鳴
動通知ボタンを表示制御するためのブザー鳴動通知ボタ
ン制御部２１と、ブザー鳴動通知ボタン制御部２１の出
力信号に基づいて表示画面の主要部にブザー鳴動通知ボ
タンを表示するタッチパネル表示画面４と、タッチパネ
ル表示画面４のブザー鳴動通知ボタンにタッチしたこと
を検出し、ブザー鳴動制御部６によるブザー鳴動を停止
させると共に、ブザー鳴動通知ボタン制御部２１にブザ
ー鳴動通知ボタンを画面上から消去するためのタッチ検
出部５とを備えた。
ともに、それに引き続くメンテナンス操作も容易に行う
ことができる異常表示装置を得る。 【解決手段】 半導体製造装置１のエラー発生を検出す
るエラー発生検出部２と、エラー発生検出部２の出力信
号に基づいてブザー７を鳴動させるブザー鳴動制御部６
と、エラー発生検出部２の出力信号に基づいてブザー鳴
動通知ボタンを表示制御するためのブザー鳴動通知ボタ
ン制御部２１と、ブザー鳴動通知ボタン制御部２１の出
力信号に基づいて表示画面の主要部にブザー鳴動通知ボ
タンを表示するタッチパネル表示画面４と、タッチパネ
ル表示画面４のブザー鳴動通知ボタンにタッチしたこと
を検出し、ブザー鳴動制御部６によるブザー鳴動を停止
させると共に、ブザー鳴動通知ボタン制御部２１にブザ
ー鳴動通知ボタンを画面上から消去するためのタッチ検
出部５とを備えた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体製造装置
等の制御対象物の制御状態に異常が発生した場合にそれ
を表示する異常表示装置に関し、特に、ブザーの鳴動を
タッチパネル表示画面に大きく表示するとともに、それ
をタッチすることによりブザーの鳴動を停止するように
した異常表示装置に関するものである。
等の制御対象物の制御状態に異常が発生した場合にそれ
を表示する異常表示装置に関し、特に、ブザーの鳴動を
タッチパネル表示画面に大きく表示するとともに、それ
をタッチすることによりブザーの鳴動を停止するように
した異常表示装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４は半導体製造装置に使用されている
従来の異常表示装置を示すブロック図である。図４にお
いて、この異常表示装置１００は、半導体製造装置１の
異常（以下エラーという）発生を検出するエラー発生検
出部２と、このエラー発生検出部２の出力側に設けら
れ、アラーム表示を制御するアラーム表示制御部３、ブ
ザー鳴動を制御するブザー鳴動制御部６、ランプ点灯を
制御するランプ点灯制御部８と、アラーム表示制御部３
に接続されアラーム表示を行うタッチパネル表示画面４
と、タッチパネル表示画面４へのタッチを検出しアラー
ム表示制御部３及びブザー鳴動制御部６にアラーム対応
処置信号を出力するタッチ検出部５と、ブザー鳴動制御
部６に接続されたブザー７と、ランプ点灯制御部８に接
続されたランプ９とを備えている。
従来の異常表示装置を示すブロック図である。図４にお
いて、この異常表示装置１００は、半導体製造装置１の
異常（以下エラーという）発生を検出するエラー発生検
出部２と、このエラー発生検出部２の出力側に設けら
れ、アラーム表示を制御するアラーム表示制御部３、ブ
ザー鳴動を制御するブザー鳴動制御部６、ランプ点灯を
制御するランプ点灯制御部８と、アラーム表示制御部３
に接続されアラーム表示を行うタッチパネル表示画面４
と、タッチパネル表示画面４へのタッチを検出しアラー
ム表示制御部３及びブザー鳴動制御部６にアラーム対応
処置信号を出力するタッチ検出部５と、ブザー鳴動制御
部６に接続されたブザー７と、ランプ点灯制御部８に接
続されたランプ９とを備えている。
【０００３】以上の構成において、エラー発生検出部２
は、半導体製造装置１のメカニズム機構、ガス、温度等
に関するエラー発生を検出する。ブザー鳴動制御部６は
エラー発生検出部２からの検出信号に基づいてブザー７
を駆動し、ブザーを鳴動させる。ランプ点灯制御部８は
エラー発生検出部２からの検出信号に基づいてランプ９
を点灯させる。
は、半導体製造装置１のメカニズム機構、ガス、温度等
に関するエラー発生を検出する。ブザー鳴動制御部６は
エラー発生検出部２からの検出信号に基づいてブザー７
を駆動し、ブザーを鳴動させる。ランプ点灯制御部８は
エラー発生検出部２からの検出信号に基づいてランプ９
を点灯させる。
【０００４】そして、アラーム表示制御部３はエラー発
生検出部２からの検出信号に基づいてタッチパネル表示
画面にエラー発生に関する情報を表示する。オペレータ
はこのタッチパネル表示画面に対して所定の処理動作
（タッチ動作）を行うと、タッチ検出部５がそれを検出
し、後述のように、アラーム表示制御部３及びブザー鳴
動制御部６に所定の制御信号を出力する。
生検出部２からの検出信号に基づいてタッチパネル表示
画面にエラー発生に関する情報を表示する。オペレータ
はこのタッチパネル表示画面に対して所定の処理動作
（タッチ動作）を行うと、タッチ検出部５がそれを検出
し、後述のように、アラーム表示制御部３及びブザー鳴
動制御部６に所定の制御信号を出力する。
【０００５】図５はエラー発生検出時におけるタッチパ
ネル表示画面のレイアウトを示す図である。図５に示さ
れるように、従来のエラー発生検出時のタッチパネル表
示画面４は、画面左上隅のシステム表示エリア１１と、
画面右上隅のアラーム表示エリア１２と、画面左下隅の
コマンドボタンエリア１４と、画面右下隅の機能メニュ
ーエリア１５と、画面中央部の状態表示／編集エリア１
３とから構成されており、アラーム表示エリア１２が上
述したアラーム表示制御部３により、エラー発生検出時
にアラーム表示情報提示に使用される。アラーム表示エ
リア１２には、ここでは図示しないブザーストップボタ
ンやエラー内容キャラクタが色との組み合わせで表示さ
れる。
ネル表示画面のレイアウトを示す図である。図５に示さ
れるように、従来のエラー発生検出時のタッチパネル表
示画面４は、画面左上隅のシステム表示エリア１１と、
画面右上隅のアラーム表示エリア１２と、画面左下隅の
コマンドボタンエリア１４と、画面右下隅の機能メニュ
ーエリア１５と、画面中央部の状態表示／編集エリア１
３とから構成されており、アラーム表示エリア１２が上
述したアラーム表示制御部３により、エラー発生検出時
にアラーム表示情報提示に使用される。アラーム表示エ
リア１２には、ここでは図示しないブザーストップボタ
ンやエラー内容キャラクタが色との組み合わせで表示さ
れる。
【０００６】そして、アラーム表示エリア１２に表示さ
れるブザーストップボタンをタッチした場合は、タッチ
検出部５がそれを検出し、ブザー鳴動制御部６に検出信
号を出力し、ブザー鳴動を停止させる。また、図示しな
いアラーム表示エリア１２のアラームロギングボタンを
タッチするとその検出信号がアラーム表示制御部３に出
力され、それに対応する表示が行われる。
れるブザーストップボタンをタッチした場合は、タッチ
検出部５がそれを検出し、ブザー鳴動制御部６に検出信
号を出力し、ブザー鳴動を停止させる。また、図示しな
いアラーム表示エリア１２のアラームロギングボタンを
タッチするとその検出信号がアラーム表示制御部３に出
力され、それに対応する表示が行われる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来の異常表示装置は
以上のように構成されており、エラーが発生した場合に
それを表示するアラーム表示エリア１２は、タッチパネ
ル表示画面４の小さなエリアのみを用いて構成されてい
る。しかしながら、このような小さな表示においては、
オペレータがエラーの発生表示を見落とす恐れがある。
また、従来の異常表示装置はエラー発生に伴いブザー７
が鳴動されても、そのブザーストップボタンは表示され
ているものの、ブザーが実際に鳴動しているかどうかを
画面上で確認することはできない。したがって、従来の
異常表示装置では、画面上でエラー発生を見落とされた
場合において、ランプ９やブザー７自体の故障により、
あるいは、それらのインターフェイスの故障等により、
ランプ９やブザー７が駆動されなかった場合は、エラー
発生が見過ごされることとなり、大きな損失を被る恐れ
があるという問題点があった。
以上のように構成されており、エラーが発生した場合に
それを表示するアラーム表示エリア１２は、タッチパネ
ル表示画面４の小さなエリアのみを用いて構成されてい
る。しかしながら、このような小さな表示においては、
オペレータがエラーの発生表示を見落とす恐れがある。
また、従来の異常表示装置はエラー発生に伴いブザー７
が鳴動されても、そのブザーストップボタンは表示され
ているものの、ブザーが実際に鳴動しているかどうかを
画面上で確認することはできない。したがって、従来の
異常表示装置では、画面上でエラー発生を見落とされた
場合において、ランプ９やブザー７自体の故障により、
あるいは、それらのインターフェイスの故障等により、
ランプ９やブザー７が駆動されなかった場合は、エラー
発生が見過ごされることとなり、大きな損失を被る恐れ
があるという問題点があった。
【０００８】そこで、この発明は、エラー発生認識を確
実に行うことができるとともに、それに引き続くメンテ
ナンス操作も容易に行うことができる異常表示装置を得
ることを目的としている。
実に行うことができるとともに、それに引き続くメンテ
ナンス操作も容易に行うことができる異常表示装置を得
ることを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ため、この発明は制御対象物の制御状態を表示する制御
状態監視用のタッチパネル表示画面と、前記制御対象物
に異常が発生した場合に、その異常発生を音で知らせる
ブザーとを備えた異常表示装置において、前記異常が発
生した場合に、前記タッチパネル表示画面の主要部に、
前記ブザーが鳴動していることを表示すると共に、前記
タッチパネル表示画面の前記ブザーが鳴動していること
を表示している部分をタッチすることにより前記ブザー
の鳴動を停止するようにしたものである。
ため、この発明は制御対象物の制御状態を表示する制御
状態監視用のタッチパネル表示画面と、前記制御対象物
に異常が発生した場合に、その異常発生を音で知らせる
ブザーとを備えた異常表示装置において、前記異常が発
生した場合に、前記タッチパネル表示画面の主要部に、
前記ブザーが鳴動していることを表示すると共に、前記
タッチパネル表示画面の前記ブザーが鳴動していること
を表示している部分をタッチすることにより前記ブザー
の鳴動を停止するようにしたものである。
【００１０】この発明の実施の形態においては、半導体
製造装置１のエラー発生を検出するエラー発生検出部２
と、エラー発生検出部２の出力信号に基づいてブザー７
を鳴動させるブザー鳴動制御部６と、エラー発生検出部
２の出力信号に基づいてブザー鳴動通知ボタンを表示制
御するためのブザー鳴動通知ボタン制御部２１と、ブザ
ー鳴動通知ボタン制御部２１の出力信号に基づいて表示
画面の主要部にブザー鳴動通知ボタンを表示するタッチ
パネル表示画面４と、タッチパネル表示画面４のブザー
鳴動通知ボタンにタッチしたことを検出し、ブザー鳴動
制御部６によるブザー鳴動を停止させると共に、ブザー
鳴動通知ボタン制御部２１にブザー鳴動通知ボタンを画
面上から消去するためのタッチ検出部５とを備えてな
る。なお、実施の形態において、タッチ検出部５は、ブ
ザー鳴動通知ボタン以外にアラーム表示エリアについて
のタッチも検出し、アラーム表示制御部３にその対応信
号を出力する場合もある。
製造装置１のエラー発生を検出するエラー発生検出部２
と、エラー発生検出部２の出力信号に基づいてブザー７
を鳴動させるブザー鳴動制御部６と、エラー発生検出部
２の出力信号に基づいてブザー鳴動通知ボタンを表示制
御するためのブザー鳴動通知ボタン制御部２１と、ブザ
ー鳴動通知ボタン制御部２１の出力信号に基づいて表示
画面の主要部にブザー鳴動通知ボタンを表示するタッチ
パネル表示画面４と、タッチパネル表示画面４のブザー
鳴動通知ボタンにタッチしたことを検出し、ブザー鳴動
制御部６によるブザー鳴動を停止させると共に、ブザー
鳴動通知ボタン制御部２１にブザー鳴動通知ボタンを画
面上から消去するためのタッチ検出部５とを備えてな
る。なお、実施の形態において、タッチ検出部５は、ブ
ザー鳴動通知ボタン以外にアラーム表示エリアについて
のタッチも検出し、アラーム表示制御部３にその対応信
号を出力する場合もある。
【００１１】このような構成によれば、ブザー鳴動がタ
ッチパネル表示画面のほぼ全面（主要部）を用いて表示
できるため、オペレータはエラーが発生していることを
容易に認識することができる。また、そのタッチパネル
表示画面のほぼ全面のどこかをタッチすればブザー鳴動
制御を停止することができる。さらに、ブザーの鳴動表
示はブザーの鳴動制御が行われているときにのみ行われ
る（タッチパネル表示画面にはブザーが鳴動しているこ
とを表示する）ので、かかるタッチによる確認操作でブ
ザーの鳴動制御を停止させることにより、ブザー鳴動表
示をも消去され、確認操作に引き続きエラー状態の認識
やメンテナンス操作をタッチパネル表示画面上で容易に
行うこともできる。
ッチパネル表示画面のほぼ全面（主要部）を用いて表示
できるため、オペレータはエラーが発生していることを
容易に認識することができる。また、そのタッチパネル
表示画面のほぼ全面のどこかをタッチすればブザー鳴動
制御を停止することができる。さらに、ブザーの鳴動表
示はブザーの鳴動制御が行われているときにのみ行われ
る（タッチパネル表示画面にはブザーが鳴動しているこ
とを表示する）ので、かかるタッチによる確認操作でブ
ザーの鳴動制御を停止させることにより、ブザー鳴動表
示をも消去され、確認操作に引き続きエラー状態の認識
やメンテナンス操作をタッチパネル表示画面上で容易に
行うこともできる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に従って説明する。図１は半導体製造装置に使用され
る異常表示装置を示すブロック図である。図１におい
て、この異常表示装置１００Ａは、半導体製造装置１の
異常（エラー）発生を検出するエラー発生検出部２と、
このエラー発生検出部２の出力側に設けられ、タッチパ
ネル表示画面を制御する表示画面制御部２０、ブザー鳴
動を制御するブザー鳴動制御部６、ランプ点灯を制御す
るランプ点灯制御部８と、表示画面制御部２０に接続さ
れ制御情報表示を行うタッチパネル表示画面４と、タッ
チパネル表示画面４へのタッチを検出し表示画面制御部
２０及びブザー鳴動制御部６にアラーム対応処置信号を
出力するタッチ検出部５と、ブザー鳴動制御部６に接続
されたブザー７と、ランプ点灯制御部８に接続されたラ
ンプ９とを備えている。
面に従って説明する。図１は半導体製造装置に使用され
る異常表示装置を示すブロック図である。図１におい
て、この異常表示装置１００Ａは、半導体製造装置１の
異常（エラー）発生を検出するエラー発生検出部２と、
このエラー発生検出部２の出力側に設けられ、タッチパ
ネル表示画面を制御する表示画面制御部２０、ブザー鳴
動を制御するブザー鳴動制御部６、ランプ点灯を制御す
るランプ点灯制御部８と、表示画面制御部２０に接続さ
れ制御情報表示を行うタッチパネル表示画面４と、タッ
チパネル表示画面４へのタッチを検出し表示画面制御部
２０及びブザー鳴動制御部６にアラーム対応処置信号を
出力するタッチ検出部５と、ブザー鳴動制御部６に接続
されたブザー７と、ランプ点灯制御部８に接続されたラ
ンプ９とを備えている。
【００１３】表示画面制御部２０は、アラーム表示制御
部３とブザー鳴動通知ボタン制御部２１とを備えてい
る。アラーム表示制御部３の出力部はタッチパネル表示
画面４に接続され、アラーム表示制御部３の入力部はエ
ラー発生検出部２の出力部とタッチ検出部５の出力部
（点線で表示）に接続されている。またブザー鳴動通知
ボタン制御部２１の出力部はタッチパネル表示画面４に
接続され、ブザー鳴動通知ボタン制御部２１の入力部は
タッチ検出部５の出力部とエラー発生検出部２の出力部
に接続されている。
部３とブザー鳴動通知ボタン制御部２１とを備えてい
る。アラーム表示制御部３の出力部はタッチパネル表示
画面４に接続され、アラーム表示制御部３の入力部はエ
ラー発生検出部２の出力部とタッチ検出部５の出力部
（点線で表示）に接続されている。またブザー鳴動通知
ボタン制御部２１の出力部はタッチパネル表示画面４に
接続され、ブザー鳴動通知ボタン制御部２１の入力部は
タッチ検出部５の出力部とエラー発生検出部２の出力部
に接続されている。
【００１４】以上の構成において、エラー発生検出部２
は、半導体製造装置１のメカニズム機構、ガス、温度等
に関するエラー発生を検出する。ブザー鳴動制御部６は
エラー発生検出部２からの検出信号に基づいてブザー７
を鳴動制御し、ブザーを鳴動させる。また、ブザー鳴動
通知ボタン制御部２１はエラー発生検出部２からの検出
信号に基づいてタッチパネル表示画面４にブザー鳴動通
知ボタンを表示する。さらに、ランプ点灯制御部８はエ
ラー発生検出部２からの検出信号に基づいてランプ９を
点灯させる。
は、半導体製造装置１のメカニズム機構、ガス、温度等
に関するエラー発生を検出する。ブザー鳴動制御部６は
エラー発生検出部２からの検出信号に基づいてブザー７
を鳴動制御し、ブザーを鳴動させる。また、ブザー鳴動
通知ボタン制御部２１はエラー発生検出部２からの検出
信号に基づいてタッチパネル表示画面４にブザー鳴動通
知ボタンを表示する。さらに、ランプ点灯制御部８はエ
ラー発生検出部２からの検出信号に基づいてランプ９を
点灯させる。
【００１５】図２及び図３は、この実施の形態における
エラー発生時の表示動作を示している。図２はエラー発
生検出部２によりエラー発生が検出されたときのタッチ
パネル表示画面を示している。図２に示されるようにシ
ステム表示エリア１１とアラーム表示エリア１２だけを
残して画面のほぼ全面（主要部）がブザー鳴動通知ボタ
ン２５となり、ブザーが鳴動していることを表す。
エラー発生時の表示動作を示している。図２はエラー発
生検出部２によりエラー発生が検出されたときのタッチ
パネル表示画面を示している。図２に示されるようにシ
ステム表示エリア１１とアラーム表示エリア１２だけを
残して画面のほぼ全面（主要部）がブザー鳴動通知ボタ
ン２５となり、ブザーが鳴動していることを表す。
【００１６】このブザー鳴動通知ボタン２５の何処にタ
ッチしても、タッチ検出部５はそれを検出し、ブザー鳴
動制御部６にブザー停止の信号を出力した後、ブザー鳴
動通知ボタン制御部２１にブザー鳴動通知ボタンの表示
を消去するための信号を出力する。なお、アラーム表示
エリア１２はアラーム表示部２６と、ブザーストップボ
タン２７とアラームロギングボタン２８等を表示してお
り、ブザーストップボタン２７にタッチした場合もタッ
チ検出部はブザー鳴動制御部６によりブザー鳴動を停止
させる。また、アラームロギングボタン２８を操作した
場合は、タッチ検出部５はアラーム表示制御部３にタッ
チ検出信号を送出し、その対応表示を出力させる。
ッチしても、タッチ検出部５はそれを検出し、ブザー鳴
動制御部６にブザー停止の信号を出力した後、ブザー鳴
動通知ボタン制御部２１にブザー鳴動通知ボタンの表示
を消去するための信号を出力する。なお、アラーム表示
エリア１２はアラーム表示部２６と、ブザーストップボ
タン２７とアラームロギングボタン２８等を表示してお
り、ブザーストップボタン２７にタッチした場合もタッ
チ検出部はブザー鳴動制御部６によりブザー鳴動を停止
させる。また、アラームロギングボタン２８を操作した
場合は、タッチ検出部５はアラーム表示制御部３にタッ
チ検出信号を送出し、その対応表示を出力させる。
【００１７】図３はエラー検出時におけるブザー鳴動通
知制御の動作を示すフローチャートである。まず、ステ
ップＳ１において、エラーが検出されるとステップＳ２
において、ブザー７の鳴動が行われ、このブザー鳴動に
伴って、ステップＳ３においてブザー鳴動通知ボタンの
表示が行われる。ステップＳ４ではブザー鳴動通知ボタ
ンへのタッチがあるか否かが判定され、タッチがあった
場合はステップＳ５でブザー鳴動が停止され、ステップ
Ｓ６に進みボタン表示を消去する。
知制御の動作を示すフローチャートである。まず、ステ
ップＳ１において、エラーが検出されるとステップＳ２
において、ブザー７の鳴動が行われ、このブザー鳴動に
伴って、ステップＳ３においてブザー鳴動通知ボタンの
表示が行われる。ステップＳ４ではブザー鳴動通知ボタ
ンへのタッチがあるか否かが判定され、タッチがあった
場合はステップＳ５でブザー鳴動が停止され、ステップ
Ｓ６に進みボタン表示を消去する。
【００１８】ステップＳ４においてタッチがない場合
は、ステップＳ７に進み、例えばブザー鳴動制御部６へ
の他の処置（タッチパネル表示画面へのタッチ以外の処
置）によりブザー鳴動を停止したか否かが判定される。
ステップＳ７において、ブザー鳴動が停止されていない
と判定された場合はステップＳ４に戻り、一方、ブザー
鳴動が停止されていると判定された場合は、ステップＳ
６に進みボタン表示を消去する。
は、ステップＳ７に進み、例えばブザー鳴動制御部６へ
の他の処置（タッチパネル表示画面へのタッチ以外の処
置）によりブザー鳴動を停止したか否かが判定される。
ステップＳ７において、ブザー鳴動が停止されていない
と判定された場合はステップＳ４に戻り、一方、ブザー
鳴動が停止されていると判定された場合は、ステップＳ
６に進みボタン表示を消去する。
【００１９】以上に説明したこの発明の実施の形態にお
いては、ブザー鳴動通知ボタン制御部２１はエラー発生
検出部２からのエラー検出信号に基づいてタッチパネル
表示画面４にブザー鳴動通知ボタンを表示するようにし
たが、他の方法として、ブザー鳴動制御部６の出力に基
づいて、現実にブザー鳴動制御が行われているときにの
みブザー鳴動通知ボタンを表示するようにしても良い。
いては、ブザー鳴動通知ボタン制御部２１はエラー発生
検出部２からのエラー検出信号に基づいてタッチパネル
表示画面４にブザー鳴動通知ボタンを表示するようにし
たが、他の方法として、ブザー鳴動制御部６の出力に基
づいて、現実にブザー鳴動制御が行われているときにの
みブザー鳴動通知ボタンを表示するようにしても良い。
【００２０】また、ブザー鳴動通知ボタンの消去も、ブ
ザー鳴動通知ボタン制御部２１が、タッチ検出部５から
の出力に基づいて行うようにしたが、ブザー鳴動制御部
６が現実にブザー鳴動を停止したことを条件として、ブ
ザー鳴動通知ボタンを消去するようにしても良い。
ザー鳴動通知ボタン制御部２１が、タッチ検出部５から
の出力に基づいて行うようにしたが、ブザー鳴動制御部
６が現実にブザー鳴動を停止したことを条件として、ブ
ザー鳴動通知ボタンを消去するようにしても良い。
【００２１】さらに、この発明の実施の形態において
は、制御対象物を半導体制御装置に例をとって説明した
が、この発明は半導体制御装置以外の装置やプラント制
御等においても適用できることは言うまでもない。
は、制御対象物を半導体制御装置に例をとって説明した
が、この発明は半導体制御装置以外の装置やプラント制
御等においても適用できることは言うまでもない。
【００２２】
【発明の効果】以上の説明より明らかなように、この発
明は異常が発生した場合に、前記タッチパネル表示画面
におけるほぼ全面に、ブザー鳴動制御に基づきブザーが
鳴動していることを表示すると共に、該ブザーが鳴動し
ていることを表示する部分をタッチすることによりブザ
ーの鳴動を停止できるようにしたため、オペレータはエ
ラーが発生していることを容易に認識することができ
る。また、そのタッチパネル表示画面のほぼ全面のどこ
かをタッチすればブザー鳴動制御を停止することがで
き、ブザーの鳴動表示はブザーの鳴動制御が行われてい
るときにのみ行われるので、かかる確認操作でブザーの
鳴動制御を停止させることにより、ブザー鳴動表示をも
消去することができ、確認操作に引き続きエラー状態の
認識やメンテナンス操作をタッチパネル表示画面上で容
易に行うこともできるという効果を奏する。
明は異常が発生した場合に、前記タッチパネル表示画面
におけるほぼ全面に、ブザー鳴動制御に基づきブザーが
鳴動していることを表示すると共に、該ブザーが鳴動し
ていることを表示する部分をタッチすることによりブザ
ーの鳴動を停止できるようにしたため、オペレータはエ
ラーが発生していることを容易に認識することができ
る。また、そのタッチパネル表示画面のほぼ全面のどこ
かをタッチすればブザー鳴動制御を停止することがで
き、ブザーの鳴動表示はブザーの鳴動制御が行われてい
るときにのみ行われるので、かかる確認操作でブザーの
鳴動制御を停止させることにより、ブザー鳴動表示をも
消去することができ、確認操作に引き続きエラー状態の
認識やメンテナンス操作をタッチパネル表示画面上で容
易に行うこともできるという効果を奏する。
【図１】この発明の実施の形態に係る異常表示装置を示
すブロック図である。
すブロック図である。
【図２】この発明の実施の形態に係るエラー発生時のタ
ッチパネル表示画面を示す図である。
ッチパネル表示画面を示す図である。
【図３】この発明の実施の形態に係るブザー鳴動通知制
御の動作を示すフローチャートである。
御の動作を示すフローチャートである。
【図４】従来の異常表示装置を示すブロック図である。
【図５】従来のタッチパネル表示画面のエラー発生時に
おける表示レイアウトを示す図である。
おける表示レイアウトを示す図である。
１ 半導体製造装置 ２ エラー発生検出部 ３ アラーム表示制御部 ４ タッチパネル表示画面 ５ タッチ検出部 ６ ブザー鳴動制御部 ７ ブザー ８ ランプ点灯制御部 ９ ランプ １２ アラーム表示エリア ２５ ブザー鳴動通知ボタン １００Ａ 異常表示装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ // Ｈ０１Ｌ 21/02 Ｈ０１Ｌ 21/02 Ｚ
Claims (1)
- 【請求項１】 制御対象物の制御状態を表示する制御状
態監視用のタッチパネル表示画面と、前記制御対象物に
異常が発生した場合に、その異常発生を音で知らせるブ
ザーとを備えた異常表示装置において、 前記異常が発生した場合に、前記タッチパネル表示画面
の主要部に、前記ブザーが鳴動していることを表示する
と共に、前記タッチパネル表示画面の前記ブザーが鳴動
していることを表示している部分をタッチすることによ
り前記ブザーの鳴動を停止するようにしたことを特徴と
する異常表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00025498A JP4138057B2 (ja) | 1998-01-05 | 1998-01-05 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00025498A JP4138057B2 (ja) | 1998-01-05 | 1998-01-05 | 半導体製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11194819A true JPH11194819A (ja) | 1999-07-21 |
| JP4138057B2 JP4138057B2 (ja) | 2008-08-20 |
Family
ID=11468801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP00025498A Expired - Lifetime JP4138057B2 (ja) | 1998-01-05 | 1998-01-05 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4138057B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007194461A (ja) * | 2006-01-20 | 2007-08-02 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
| JP2011221963A (ja) * | 2010-04-14 | 2011-11-04 | Terumo Corp | 問い合わせ先情報管理システム及び問い合わせ先情報管理方法 |
| JP2020068347A (ja) * | 2018-10-26 | 2020-04-30 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
-
1998
- 1998-01-05 JP JP00025498A patent/JP4138057B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007194461A (ja) * | 2006-01-20 | 2007-08-02 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
| JP2011221963A (ja) * | 2010-04-14 | 2011-11-04 | Terumo Corp | 問い合わせ先情報管理システム及び問い合わせ先情報管理方法 |
| JP2020068347A (ja) * | 2018-10-26 | 2020-04-30 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4138057B2 (ja) | 2008-08-20 |
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