JP4138057B2 - 半導体製造装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体製造装置等の制御対象物の制御状態に異常が発生した場合にそれを表示する半導体製造装置に関し、特に、ブザーの鳴動をタッチパネル表示画面に大きく表示するとともに、それをタッチすることによりブザーの鳴動を停止するようにした半導体製造装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図4は半導体製造装置に使用されている従来の異常表示装置を示すブロック図である。
図4において、この異常表示装置100は、半導体製造装置1の異常(以下エラーという)発生を検出するエラー発生検出部2と、このエラー発生検出部2の出力側に設けられ、アラーム表示を制御するアラーム表示制御部3、ブザー鳴動を制御するブザー鳴動制御部6、ランプ点灯を制御するランプ点灯制御部8と、アラーム表示制御部3に接続されアラーム表示を行うタッチパネル表示画面4と、タッチパネル表示画面4へのタッチを検出しアラーム表示制御部3及びブザー鳴動制御部6にアラーム対応処置信号を出力するタッチ検出部5と、ブザー鳴動制御部6に接続されたブザー7と、ランプ点灯制御部8に接続されたランプ9とを備えている。
【0003】
以上の構成において、エラー発生検出部2は、半導体製造装置1のメカニズム機構、ガス、温度等に関するエラー発生を検出する。ブザー鳴動制御部6はエラー発生検出部2からの検出信号に基づいてブザー7を駆動し、ブザーを鳴動させる。ランプ点灯制御部8はエラー発生検出部2からの検出信号に基づいてランプ9を点灯させる。
【0004】
そして、アラーム表示制御部3はエラー発生検出部2からの検出信号に基づいてタッチパネル表示画面にエラー発生に関する情報を表示する。オペレータはこのタッチパネル表示画面に対して所定の処理動作(タッチ動作)を行うと、タッチ検出部5がそれを検出し、後述のように、アラーム表示制御部3及びブザー鳴動制御部6に所定の制御信号を出力する。
【0005】
図5はエラー発生検出時におけるタッチパネル表示画面のレイアウトを示す図である。
図5に示されるように、従来のエラー発生検出時のタッチパネル表示画面4は、画面左上隅のシステム表示エリア11と、画面右上隅のアラーム表示エリア12と、画面左下隅のコマンドボタンエリア14と、画面右下隅の機能メニューエリア15と、画面中央部の状態表示/編集エリア13とから構成されており、アラーム表示エリア12が上述したアラーム表示制御部3により、エラー発生検出時にアラーム表示情報提示に使用される。アラーム表示エリア12には、ここでは図示しないブザーストップボタンやエラー内容キャラクタが色との組み合わせで表示される。
【0006】
そして、アラーム表示エリア12に表示されるブザーストップボタンをタッチした場合は、タッチ検出部5がそれを検出し、ブザー鳴動制御部6に検出信号を出力し、ブザー鳴動を停止させる。また、図示しないアラーム表示エリア12のアラームロギングボタンをタッチするとその検出信号がアラーム表示制御部3に出力され、それに対応する表示が行われる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
従来の異常表示装置は以上のように構成されており、エラーが発生した場合にそれを表示するアラーム表示エリア12は、タッチパネル表示画面4の小さなエリアのみを用いて構成されている。
しかしながら、このような小さな表示においては、オペレータがエラーの発生表示を見落とす恐れがある。
また、従来の異常表示装置はエラー発生に伴いブザー7が鳴動されても、そのブザーストップボタンは表示されているものの、ブザーが実際に鳴動しているかどうかを画面上で確認することはできない。
したがって、従来の異常表示装置では、画面上でエラー発生を見落とされた場合において、ランプ9やブザー7自体の故障により、あるいは、それらのインターフェイスの故障等により、ランプ9やブザー7が駆動されなかった場合は、エラー発生が見過ごされることとなり、大きな損失を被る恐れがあるという問題点があった。
【0008】
そこで、この発明は、エラー発生認識を確実に行うことができるとともに、それに引き続くメンテナンス操作も容易に行うことができる半導体製造装置を得ることを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するため、この発明は、制御対象物の制御状態を表示する制御状態監視用のタッチパネル表示画面と、前記制御対象物に異常が発生した場合に、その異常発生を音で知らせるブザーとを備えた半導体製造装置において、
前記タッチパネル表示画面は、異常が発生していない場合に、少なくともコマンドボタンエリアと機能メニュー表示エリアと状態表示 / 編集エリアを表示する一方、異常が発生した場合には、前記異常が発生していない場合に表示される前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示 / 編集エリアの全域に亘って前記ブザーが鳴動していることを表示し、
前記ブザーが鳴動していることを表示している場合に、前記異常が発生していない場合に表示される前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示 / 編集エリアに亘る前記ブザーが鳴動していることを表示している前記全域のいずれかの部分がタッチされると前記ブザーの鳴動を停止させる一方、前記異常が発生していない場合に表示される前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示 / 編集エリアに渡る前記ブザーが鳴動していることを表示している部分を消去するとともに、少なくとも前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示 / 編集エリアを表示することを特徴とする。
また、この発明は、制御対象物の制御状態を表示する制御状態監視用のタッチパネル表示画面と、前記制御対象物に異常が発生した場合に、その異常発生を音で知らせるブザーとを備えた半導体製造装置において、
前記タッチパネル表示画面は、異常が発生していない場合に、少なくともアラーム表示エリアとコマンドボタンエリアと機能メニュー表示エリアと状態表示 / 編集エリアを表示する一方、異常が発生した場合には、前記アラーム表示エリアを残して前記異常が発生していない場合に表示される前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示 / 編集エリアの全域に亘って前記ブザーが鳴動していることを表示し、
前記ブザーが鳴動していることを表示している場合に、前記異常が発生していない場合に表示される前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示 / 編集エリアに亘る前記ブザーが鳴動していることを表示している前記全域のいずれかの部分がタッチされると前記ブザーの鳴動を停止させる一方、前記異常が発生していない場合に表示される前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示 / 編集エリアに亘る前記ブザーが鳴動していることを表示している部分を消去するとともに、少なくとも前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示 / 編集エリアを表示することを特徴とする。
【0010】
この発明の実施の形態においては、半導体製造装置1のエラー発生を検出するエラー発生検出部2と、エラー発生検出部2の出力信号に基づいてブザー7を鳴動させるブザー鳴動制御部6と、エラー発生検出部2の出力信号に基づいてブザー鳴動通知ボタンを表示制御するためのブザー鳴動通知ボタン制御部21と、ブザー鳴動通知ボタン制御部21の出力信号に基づいて表示画面の主要部にブザー鳴動通知ボタンを表示するタッチパネル表示画面4と、タッチパネル表示画面4のブザー鳴動通知ボタンにタッチしたことを検出し、ブザー鳴動制御部6によるブザー鳴動を停止させると共に、ブザー鳴動通知ボタン制御部21にブザー鳴動通知ボタンを画面上から消去するためのタッチ検出部5とを備えてなる。
なお、実施の形態において、タッチ検出部5は、ブザー鳴動通知ボタン以外にアラーム表示エリアについてのタッチも検出し、アラーム表示制御部3にその対応信号を出力する場合もある。
【0011】
このような構成によれば、ブザー鳴動がタッチパネル表示画面のほぼ全面(主要部)を用いて表示できるため、オペレータはエラーが発生していることを容易に認識することができる。
また、そのタッチパネル表示画面のほぼ全面のどこかをタッチすればブザー鳴動制御を停止することができる。
さらに、ブザーの鳴動表示はブザーの鳴動制御が行われているときにのみ行われる(タッチパネル表示画面にはブザーが鳴動していることを表示する)ので、かかるタッチによる確認操作でブザーの鳴動制御を停止させることにより、ブザー鳴動表示をも消去され、確認操作に引き続きエラー状態の認識やメンテナンス操作をタッチパネル表示画面上で容易に行うこともできる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図面に従って説明する。
図1は半導体製造装置に使用される異常表示装置を示すブロック図である。
図1において、この異常表示装置100Aは、半導体製造装置1の異常(エラー)発生を検出するエラー発生検出部2と、このエラー発生検出部2の出力側に設けられ、タッチパネル表示画面を制御する表示画面制御部20、ブザー鳴動を制御するブザー鳴動制御部6、ランプ点灯を制御するランプ点灯制御部8と、表示画面制御部20に接続され制御情報表示を行うタッチパネル表示画面4と、タッチパネル表示画面4へのタッチを検出し表示画面制御部20及びブザー鳴動制御部6にアラーム対応処置信号を出力するタッチ検出部5と、ブザー鳴動制御部6に接続されたブザー7と、ランプ点灯制御部8に接続されたランプ9とを備えている。
【0013】
表示画面制御部20は、アラーム表示制御部3とブザー鳴動通知ボタン制御部21とを備えている。アラーム表示制御部3の出力部はタッチパネル表示画面4に接続され、アラーム表示制御部3の入力部はエラー発生検出部2の出力部とタッチ検出部5の出力部(点線で表示)に接続されている。
またブザー鳴動通知ボタン制御部21の出力部はタッチパネル表示画面4に接続され、ブザー鳴動通知ボタン制御部21の入力部はタッチ検出部5の出力部とエラー発生検出部2の出力部に接続されている。
【0014】
以上の構成において、エラー発生検出部2は、半導体製造装置1のメカニズム機構、ガス、温度等に関するエラー発生を検出する。ブザー鳴動制御部6はエラー発生検出部2からの検出信号に基づいてブザー7を鳴動制御し、ブザーを鳴動させる。また、ブザー鳴動通知ボタン制御部21はエラー発生検出部2からの検出信号に基づいてタッチパネル表示画面4にブザー鳴動通知ボタンを表示する。さらに、ランプ点灯制御部8はエラー発生検出部2からの検出信号に基づいてランプ9を点灯させる。
【0015】
図2及び図3は、この実施の形態におけるエラー発生時の表示動作を示している。図2はエラー発生検出部2によりエラー発生が検出されたときのタッチパネル表示画面を示している。図2に示されるようにシステム表示エリア11とアラーム表示エリア12だけを残して画面のほぼ全面(主要部)がブザー鳴動通知ボタン25となり、ブザーが鳴動していることを表す。
【0016】
このブザー鳴動通知ボタン25の何処にタッチしても、タッチ検出部5はそれを検出し、ブザー鳴動制御部6にブザー停止の信号を出力した後、ブザー鳴動通知ボタン制御部21にブザー鳴動通知ボタンの表示を消去するための信号を出力する。
なお、アラーム表示エリア12はアラーム表示部26と、ブザーストップボタン27とアラームロギングボタン28等を表示しており、ブザーストップボタン27にタッチした場合もタッチ検出部はブザー鳴動制御部6によりブザー鳴動を停止させる。また、アラームロギングボタン28を操作した場合は、タッチ検出部5はアラーム表示制御部3にタッチ検出信号を送出し、その対応表示を出力させる。
【0017】
図3はエラー検出時におけるブザー鳴動通知制御の動作を示すフローチャートである。
まず、ステップS1において、エラーが検出されるとステップS2において、ブザー7の鳴動が行われ、このブザー鳴動に伴って、ステップS3においてブザー鳴動通知ボタンの表示が行われる。ステップS4ではブザー鳴動通知ボタンへのタッチがあるか否かが判定され、タッチがあった場合はステップS5でブザー鳴動が停止され、ステップS6に進みボタン表示を消去する。
【0018】
ステップS4においてタッチがない場合は、ステップS7に進み、例えばブザー鳴動制御部6への他の処置(タッチパネル表示画面へのタッチ以外の処置)によりブザー鳴動を停止したか否かが判定される。ステップS7において、ブザー鳴動が停止されていないと判定された場合はステップS4に戻り、一方、ブザー鳴動が停止されていると判定された場合は、ステップS6に進みボタン表示を消去する。
【0019】
以上に説明したこの発明の実施の形態においては、ブザー鳴動通知ボタン制御部21はエラー発生検出部2からのエラー検出信号に基づいてタッチパネル表示画面4にブザー鳴動通知ボタンを表示するようにしたが、他の方法として、ブザー鳴動制御部6の出力に基づいて、現実にブザー鳴動制御が行われているときにのみブザー鳴動通知ボタンを表示するようにしても良い。
【0020】
また、ブザー鳴動通知ボタンの消去も、ブザー鳴動通知ボタン制御部21が、タッチ検出部5からの出力に基づいて行うようにしたが、ブザー鳴動制御部6が現実にブザー鳴動を停止したことを条件として、ブザー鳴動通知ボタンを消去するようにしても良い。
【0021】
さらに、この発明の実施の形態においては、制御対象物を半導体制御装置に例をとって説明したが、この発明は半導体制御装置以外の装置やプラント制御等においても適用できることは言うまでもない。
【0022】
【発明の効果】
以上の説明より明らかなように、この発明は異常が発生した場合に、前記タッチパネル表示画面におけるほぼ全面に、ブザー鳴動制御に基づきブザーが鳴動していることを表示すると共に、該ブザーが鳴動していることを表示する部分をタッチすることによりブザーの鳴動を停止できるようにしたため、オペレータはエラーが発生していることを容易に認識することができる。また、そのタッチパネル表示画面のほぼ全面のどこかをタッチすればブザー鳴動制御を停止することができ、ブザーの鳴動表示はブザーの鳴動制御が行われているときにのみ行われるので、かかる確認操作でブザーの鳴動制御を停止させることにより、ブザー鳴動表示をも消去することができ、確認操作に引き続きエラー状態の認識やメンテナンス操作をタッチパネル表示画面上で容易に行うこともできるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施の形態に係る異常表示装置を示すブロック図である。
【図2】この発明の実施の形態に係るエラー発生時のタッチパネル表示画面を示す図である。
【図3】この発明の実施の形態に係るブザー鳴動通知制御の動作を示すフローチャートである。
【図4】従来の異常表示装置を示すブロック図である。
【図5】従来のタッチパネル表示画面のエラー発生時における表示レイアウトを示す図である。
【符号の説明】
1 半導体製造装置
2 エラー発生検出部
3 アラーム表示制御部
4 タッチパネル表示画面
5 タッチ検出部
6 ブザー鳴動制御部
7 ブザー
8 ランプ点灯制御部
9 ランプ
12 アラーム表示エリア
25 ブザー鳴動通知ボタン
100A 異常表示装置
Claims (2)
- 制御対象物の制御状態を表示する制御状態監視用のタッチパネル表示画面と、前記制御対象物に異常が発生した場合に、その異常発生を音で知らせるブザーとを備えた半導体製造装置において、
前記タッチパネル表示画面は、異常が発生していない場合に、少なくともコマンドボタンエリアと機能メニュー表示エリアと状態表示 / 編集エリアを表示する一方、異常が発生した場合には、前記異常が発生していない場合に表示される前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示 / 編集エリアの全域に亘って前記ブザーが鳴動していることを表示し、
前記ブザーが鳴動していることを表示している場合に、前記異常が発生していない場合に表示される前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示 / 編集エリアに亘る前記ブザーが鳴動していることを表示している前記全域のいずれかの部分がタッチされると前記ブザーの鳴動を停止させる一方、前記異常が発生していない場合に表示される前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示 / 編集エリアに亘る前記ブザーが鳴動していることを表示している部分を消去するとともに、少なくとも前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示 / 編集エリアを表示することを特徴とする半導体製造装置。 - 制御対象物の制御状態を表示する制御状態監視用のタッチパネル表示画面と、前記制御対象物に異常が発生した場合に、その異常発生を音で知らせるブザーとを備えた半導体製造装置において、
前記タッチパネル表示画面は、異常が発生していない場合に、少なくともアラーム表示エリアとコマンドボタンエリアと機能メニュー表示エリアと状態表示 / 編集エリアを表示する一方、異常が発生した場合には、前記アラーム表示エリアを残して前記異常が発生していない場合に表示される前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示 / 編集エリアの全域に亘って前記ブザーが鳴動していることを表示し、
前記ブザーが鳴動していることを表示している場合に、前記異常が発生していない場合に表示される前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示 / 編集エリアに亘る前記ブザーが鳴動していることを表示している前記全域のいずれかの部分がタッチされると前記ブザーの鳴動を停止させる一方、前記異常が発生していない場合に表示される前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示 / 編集エリアに亘る前記ブザーが鳴動していることを表示している部分を消去するとともに、少なくとも前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示 / 編集エリアを表示することを特徴とする半導体製造装置。
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JP00025498A JP4138057B2 (ja) | 1998-01-05 | 1998-01-05 | 半導体製造装置 |
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JP00025498A JP4138057B2 (ja) | 1998-01-05 | 1998-01-05 | 半導体製造装置 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP00025498A Expired - Lifetime JP4138057B2 (ja) | 1998-01-05 | 1998-01-05 | 半導体製造装置 |
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-
1998
- 1998-01-05 JP JP00025498A patent/JP4138057B2/ja not_active Expired - Lifetime
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