JPH11190905A - 感光性樹脂積層体 - Google Patents

感光性樹脂積層体

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JPH11190905A
JPH11190905A JP35944997A JP35944997A JPH11190905A JP H11190905 A JPH11190905 A JP H11190905A JP 35944997 A JP35944997 A JP 35944997A JP 35944997 A JP35944997 A JP 35944997A JP H11190905 A JPH11190905 A JP H11190905A
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JP
Japan
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photosensitive resin
adhesive layer
thickness
support
laminate
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JP35944997A
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English (en)
Inventor
Yuji Taguchi
裕二 田口
Koji Ogi
浩二 小木
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Toyobo Co Ltd
Original Assignee
Toyobo Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】加工性に優れた展示パネル、装飾用楯、ネーム
プレート、表示パネル、点字表示板等の表示板(銘板)
に用いられる感光性樹脂積層体を得ること。 【解決手段】厚さ1mm以上の支持体上に、少なくとも
接着層、感光性樹脂層を有する感光性樹脂積層体におい
て、支持体の0℃〜200℃の範囲における縦横寸法変
化率が5.0%以下であって、前記接着層を支持体上に
コートした後に30℃以上120℃以下の温度で熱処理
されていることを特徴とする感光性樹脂積層体。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は加工性に優れた展示
パネル、装飾用楯、ネームプレート、表示パネル、点字
表示板等の表示板(銘板)に用いられる感光性樹脂積層
体に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より感光性樹脂を用いて銘板用感光
性樹脂板については、種々各方面で実用化されており、
その製造法として例えば、感光性樹脂層によって凹凸パ
ターンを形成し、必要によりアクリル樹脂等の塗料で被
覆する方法が、特開昭57-189813 号公報等ですでに提案
されている。このような従来の銘板用感光性樹脂積層体
は支持体としてアルミ、鉄、銅などの金属板やポリエチ
レン、ポリエチレンテレフタレートなどのプラスチック
フィルムを使用している。
【0003】しかし、従来の銘板用感光性樹脂積層体で
金属板を使用した場合には、感光性樹脂積層体自体が重
くなり取扱がしにくい。またプラスチックフィルムで
は、プラスチックフィルム自体のたわみが大きいためさ
らに厚さ1mm以上のアルミや鉄などの金属板やアクリ
ル板などのプラスチック板を貼り合わせて強度を出さな
ければならず、作業性が悪かった。
【0004】このような問題点を解決するために、支持
体としてアクリル板などの強度のあるプラスチック板を
用いることが考えられる。しかしながら、接着層を設け
た後、通常150℃以上の高温で熱処理を行う必要があ
り、そのため支持体そのものが変形してしまい、銘板と
して使用できないという問題点があった。
【0005】そこで、上記問題点を解決する感光性樹脂
積層体として、支持体の加熱時の寸法変化率が非常に小
さいフェノール樹脂積層体を用いて150℃の温度で乾
燥処理しても反りの発生しない表示体用感光性樹脂板を
特開平 9- 6267号公報で提案されている。しかしなが
ら、上記表示用感光性樹脂板では、150℃以上の熱処
理で反りの発生しない支持体を得るために、加熱時の縦
横寸法変化率の非常に小さい支持体を選ぶ必要があり、
支持体を選定する上での大きな制約となっていた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、表示用(銘
板用)感光性樹脂積層体の製造時に上記樹脂積層体の支
持体上に設ける接着層の乾燥温度を30℃〜120℃に
下げることを可能にすることを課題とするものであっ
て、その結果、上記支持体の縦横寸法変化率に制約され
ない優れた銘板用感光性樹脂積層体を得ることを目的と
するものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明者らは、鋭意、研究、検討した結果、遂に本
発明を完成するに到った。すなわち本発明は、厚さ1m
m以上の支持体上に、少なくとも接着層、感光性樹脂層
を有する感光性樹脂積層体において、支持体の0℃〜2
00℃の範囲における縦横寸法変化率が5.0%以下で
あって、前記接着層を支持体上にコートした後に30℃
以上120℃以下の温度で熱処理されていることを特徴
とする感光性樹脂積層体である。
【0008】
【発明の実施の形態】次に本発明について、さらに詳細
に説明する。本発明において用いられる支持体として
は、公知の樹脂製板が使用可能である。例えばその材料
として、フェノール樹脂、アクリル樹脂、硬質塩化ビニ
ル樹脂、ナイロン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂等が挙
げられる。また、これらの樹脂製板は強度が低下しない
限り樹脂を共重合やブレンドで変性又は可塑剤等の添加
剤を配合して改質した樹脂を使用した板であってもかま
わない。
【0009】この支持体の厚みは、通常1mm〜6mm
の範囲でそれぞれ用途に適した厚みが選ばれる。また、
本発明における支持体の0℃〜200℃の範囲における
縦横方向の寸法変化率は5.0%以下であり、好ましく
は2.0%以下である。なお従来より、支持体の0℃〜
200℃の範囲における縦横方向の寸法変化率を0.5
%以下にすることが必須であったが、本発明感光性樹脂
積層体では熱処理温度を下げられる接着層を発明したた
め、使用できる支持体の0℃〜200℃の範囲における
縦横方向の寸法変化率を最大5.0%の範囲までを広げ
ることが可能となったのである。前記寸法変化率の測定
方法は、0℃、100℃及び200℃での積層板の長さ
方向及び幅方向の長さを、JIS B7512又はこれ
と同等以上の測定器を用いて測り100℃で測定した値
と0℃、200℃での測定値とを比較したものである。
【0010】次に本発明において用いられる接着層とし
ては、下記AおよびB成分を含有する組成物からなるも
のを用いることが好ましい。 A.有機溶剤に可溶な分子量3000〜50000の飽
和ポリエステル0〜100 重量部。 B.多価イソシアネート 5〜100重量部。
【0011】前記飽和ポリエステルは、分子量が300
0〜50000の範囲にあることが必要である。分子量
が3000未満の場合には、イソシアヌレート型多価イ
ソシアネートによる硬化が完了しても接着力が不充分で
あるという問題が発生する。また、分子量が50000
を超えると塗布液粘度が著しく高くなり、接着層塗布工
程で筋等の欠点が発生するため好ましくない。このよう
な理由から、有機溶剤に可溶な飽和ポリエステルの分子
量は3000〜50000であり、好ましくは8000
〜40000である。なお有機溶剤に可溶な飽和ポリエ
ステルとしては、2種類以上のものを混合して用いても
よい。
【0012】前記本発明に使用する多価イソシアネート
としては、分子中に2個以上のイソシアネートを有する
化合物は全て使用可能である。具体的な例としては、イ
ソホロンジイソシアネートやヘキサメチレンジイソシア
ネートなどの脂肪族多価イソシアネート、2,6−トリ
レンジイソシアネート、2,4−トリレンジイソシアネ
ート、ポリメチレンポリフェニルイソシアネートなどの
芳香族多価イソシアネート、及びこれらの多価イソシア
ネートをトリメチロールプロパン等の多価アルコールに
付加して合成されるアダクト体、又これらの多価イソシ
アネートを原料として合成したイソシアヌレート型多価
イソシアネートなどが挙げられる。これらの多価イソシ
アネートの中で、接着性能よりイソシアヌレート型多価
イソシアネートが好ましく、具体的例としては例えば下
記の一般式〔1〕〜〔3〕で示される化合物等が挙げら
れる。
【0013】
【化1】
【0014】
【化2】
【0015】
【化3】
【0016】本発明において、接着層組成物には、他の
少量成分を添加することができる。添加物としては、可
塑剤、染料、紫外線吸収剤、ハレーション防止剤、界面
活性剤、光重合性ビニルモノマーなどが挙げられる。
【0017】接着層を支持体上に設ける方法としては、
接着層用組成物溶液を所定の厚みに塗布した後溶剤を除
去するのが一般的である。塗布方法としては、ロールコ
ーター、カーテンフローコーター、スリットダイコータ
ー、グラビアコーター、スププーなど公知の方法が使用
可能である。支持体にコートしたのちの接着層の乾燥処
理は、乾燥炉の中で熱風を吹きつける方法が一般的であ
る。本発明の接着層を乾燥する処理条件は30℃以上1
20℃以下の条件で最適な時間を設定すればよいが、処
理時間は1分〜20分の間が適当である。接着層用組成
物に触媒を添加することは可能であり、触媒としては、
公知のウレタン反応用触媒が使用可能である。具体的に
は、錫系触媒、アミン系触媒等があげられるが、本発明
では、室温でのポットライフを長くするためには3級ア
ミン系触媒が好ましい。
【0018】接着層の厚みは、0.5μ〜100μの範
囲にあることが必要である。厚みが0.5μ以下では感
光性樹脂層と接着層間の接着力が発現しない。また接着
層の厚みが100μを超えると塗工液を乾燥する時に発
泡して気泡が混入する問題点が発生する。このような理
由から、接着層の厚みは0.5μ〜100μの範囲にあ
ることが必要であり、好ましくは1μ〜50μである。
【0019】本発明で用いる感光性樹脂層を構成する組
成物は、公知のものを使用することが可能であり、具体
的には可溶性高分子化合物(例えば、ポリビニルアルコ
ール、ポリアミド、ポリエーテルエステルアミド、ポリ
エーテルアミド、ポリウレタンなど)、光重合性又は光
架橋性モノマー(例えば、多価アルコールのアクリレー
ト、多価アルコールのエポキシアクリレート、N−メチ
ロールアクリルアミドなど)、光重合開始剤(例えば、
ベンジルジメチルケタール、ベンゾインジメチルエーテ
ル等)、必要によって熱安定剤、可塑剤、界面活性剤、
染料等を配合してなる感光性樹脂組成物である。
【0020】本発明積層体を得る方法としては、公知の
方法を採用することができ、例えば熱プレス、注型、或
は溶融押出し、溶液キャストなどの任意方法で接着層を
設けたプラスチックの支持体上に感光性樹脂を積層する
ことにより得ることができる。
【0021】
【実施例】次に本発明を実施例により具体的に説明する
が、本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。実施例中単に部とあるのは重量部を示す。なお本発
明の感光性樹脂積層体の現像時間と0℃〜200℃の範
囲における縦横寸法変化率は、以下の方法により測定し
た。 (1)現像時間:25℃の中性水を入れたブラシ式ウォッ
シャー(ブラシ:120 μφナイロンブラシ)で現像し、
未露光部を除去するのに必要な時間を測定した。なおブ
ラシ式ウォッシャーは日本電子精機(株)のA2 サイズ
用ウォッシャー(JW-A2- PD) を使用した。 (2)縦横寸法変化率:温度100℃を基準として0℃
及び200℃の範囲における縦横方向の長さをJIS
B7512又はこれと同等以上の測定器を用いて長さを
測り、100℃の値と比較した。
【0022】実施例1 ε−カプロラクタム525部、N−(2−アミノエチ
ル)ピペラジンとアジピン酸とのナイロン塩400部、
1,3−ビス(アミノメチル)シクロヘキサンとアジピ
ン酸とのナイロン塩75部を、オートクレーブ中で溶融
重縮合して、共重合ナイロンを得た。得られたポリマー
55部を60℃のメタノール200部に溶解した後、グ
リシジルメタクリレート2部を加えて3時間攪拌し、ポ
リマー末端にグリシジルメタクリレートを反応させた。
この溶液にメタクリル酸(上記重合体の主鎖中のピペラ
ジン環の塩基性第3級窒素および末端アミノ基とアンモ
ニウム塩を形成し、上記重合体を水溶性化する)4部を
添加し、そののちトリメチロールプロパンのトリグリシ
ジルエーテルとアクリル酸との開環付加反応によって得
られたアクリレート35部、N−エチルトルエンスルホ
ンアミド5部、ハイドロキノンモノメチルエーテル0.1
部、ベンジルジメチルケタール1.0 部を加え感光性樹脂
組成物の溶液を得た。この溶液をテフロンコートしたシ
ャーレに流延し、暗所にてメタノールを蒸発除去後、更
に1昼夜40℃で減圧乾燥し、厚み約800μの感光性
樹脂組成物のシートを得た。
【0023】支持体として厚さ2mmの未晒しクラフト
紙−フェノール樹脂の積層板である住友ベークライト
(株)製「PL−1009K」を使用した。このフェノ
ール樹脂の積層板のロックウェル硬度を測定したところ
Mスケールで100であり、また温度100℃を基準と
して0℃〜200℃の範囲における縦横寸法変化率を測
定したところ、0.6%であった。
【0024】接着層用組成物溶液は、次のように調整し
た。有機溶剤に可溶なポリエステル樹脂として、バイロ
ンRV−200(東洋紡績(株)製品、分子量約150
00〜20000)60重量部をトルエン/メチルエチ
ルケトン=80/20(重量比)の混合溶剤1940g
に80℃で加熱して溶解した。冷却後、イソシアヌレー
ト型多価イソシアネートとしてヘキサメチレンジイソシ
アネートを原料としたコロネートHK(日本ポリウレタ
ン(株)製)12重量部、ハレーション防止剤としてチ
ヌビン−327(Ciba−Geigy(株)製品)を
0.3重量部、硬化触媒としてトリエチレンジアミン
0.06重量部を添加し、60分攪拌した。このように
して得られた接着層用組成物溶液を厚み15μになるよ
うに厚さ2mmのフェノール積層板にバーコーターでコ
ートし、80℃で10分間乾燥炉に入れて接着層を得
た。この接着層を塗布した2mmのフェノール板上に上
記800μの組成物シート、上面に厚さ125μのポリ
エステルフィルムでカバーし、100℃で熱プレスして
感光性樹脂層の厚みが約750μの感光性樹脂積層版を
作成した。
【0025】次いでこの原版からカバーフィルムを剥離
し、感光性樹脂層表面に文字及び絵柄のネガフィルムを
密着させ、ケミカルランプで3分間露光後、ネガフィル
ムを剥離し、ブラシ式ウオッシャーで中性水で2分30
秒現像し、乾燥後露光した。得られたレリーフ版の平面
性を確認したところ、反りの発生はなく、平面性の良好
な銘板用積層体が得られた。
【0026】比較例1 実施例1において、実施例1で使用した支持体上に日本
ポリウレタン(株)製のポリエステル系接着剤「ニッポ
ラン 3027」を塗膜厚みが10μになるようにバー
コーターで塗工し、150℃、20分間乾燥処理して接
着層をコートした支持体を得た以外は全て実施例1と同
様にして、感光層厚みが約750μの感光性樹脂積層版
を作成した。次いでこの原版からカバーフィルムを剥離
し、感光性樹脂層表面に文字及び絵柄のネガフィルムを
密着させ、ケミカルランプで3分間露光後、ネガフィル
ムを剥離し、ブラシ式ウオッシャーで中性水で2分30
秒現像し、乾燥後露光した。得られたレリーフ版の平面
性を確認したところ、反りが発生し、平面性が良好でな
い銘板用積層体が得られた。
【0027】実施例2 実施例1において、支持体として厚み2mmのリンター
パルプ紙−キリ油変性フェノール及びクレゾール樹脂の
混合積層体である住友ベークライト(株)製「PL−1
131K」を使用した以外は全て実施例1と同様にし
て、支持体上に実施例1の接着層をを塗膜厚みが15μ
になるようにバーコーターで塗工し、70℃で25分乾
燥処理して接着層をコートした支持体を得た。この接着
層を塗布した2mmのフェノール板上に実施例1と同じ
800μの組成物シート、上面に厚さ125μのポリエ
ステルフィルムでカバーし、100℃で熱プレスして感
光性樹脂層の厚みが約750μの感光性樹脂積層版を作
成した。次いでこの原版からカバーフィルムを剥離し、
感光性樹脂層表面に文字及び絵柄のネガフィルムを密着
させ、ケミカルランプで3分間露光後、ネガフィルムを
剥離し、ブラシ式ウオッシャーで中性水で2分30秒現
像し、乾燥後露光した。得られたレリーフ版の平面性を
確認したところ、反りの発生はなく、平面性の良好な銘
板用積層体が得られた。
【0028】実施例3 支持体として厚さ2mmの未晒しクラフト紙−フェノー
ル樹脂の積層板である住友ベークライト(株)製「PL
−1009K」を使用した。このフェノール樹脂の温度
100℃を基準として0℃〜200℃の範囲における縦
横寸法変化率を測定したところ、0.6%であった。接
着層用組成物溶液は、次のように調整した。有機溶剤に
可溶なポリエステル樹脂としては、バイロンRV−20
0(東洋紡績(株)製品、分子量約15000〜200
00)80重量部をトルエン/メチルエチルケトン=8
0/20(重量比)の混合溶剤1940gに80℃で加
熱して溶解した。冷却後、イソシアヌレート型多価イソ
シアネートとしてヘキサメチレンジイソシアネートとト
リレンジイソシアネートを原料とするイソシアヌレート
型多価イソシアネート(住友バイエル(株)製 デスモ
ジュール HL)を20g、ハレーション防止剤として
チヌビン−327(Ciba−Geigy製品)を0.
3重量部、硬化触媒としてトリエチレンジアミン 0.
06重量部を添加し、60分攪拌した。
【0029】このようにして得られた接着層用組成物溶
液を厚み 5μになるように厚さ2mmのフェノール積
層板にバーコーターでコートし、100℃で 5分間乾
燥炉に入れて接着層を得た。この接着層を塗布した2m
mのフェノール板上に上記800μの組成物シート、上
面に厚さ125μのポリエステルフィルムでカバーし、
100℃で熱プレスして感光性樹脂層の厚みが約750
μの感光性樹脂積層版を作成した。次いでこの原版から
カバーフィルムを剥離し、感光性樹脂層表面に文字及び
絵柄のネガフィルムを密着させ、ケミカルランプで3分
間露光後、ネガフィルムを剥離し、ブラシ式ウオッシャ
ーで中性水で2分30秒現像し、乾燥後露光した。得ら
れたレリーフ版の平面性を確認したところ、反りの発生
はなく、平面性の良好な銘板用積層体が得られた。
【0030】実施例4 実施例3と同じ支持体を用いて、以下の支持体上に接着
層を設けた。接着層用組成物溶液は、次のように調整し
た。有機溶剤に可溶なポリエステル樹脂としては、バイ
ロンRV−200(東洋紡績(株)製品、分子量約15
000〜20000)80重量部をトルエン/メチルエ
チルケトン=80/20(重量比)の混合溶剤1940
gに60℃で加熱して溶解した。冷却後、イソシアヌレ
ート型多価イソシアネートとして、トリレンジイソシア
ネートを原料としたコロネートC−2030(日本ポリ
ウレタン(株)製品)を40g、ハレーション防止剤と
してチヌビン−327(Ciba−Geigy(株)製
品)を0.3重量部、硬化触媒としてトリエチレンジア
ミン 0.06重量部を添加し、60分攪拌した。
【0031】このようにして得られた接着層用組成物溶
液を厚み15μになるように厚さ2mmのフェノール積
層板にバーコーターでコートし、60℃で10分間乾燥
炉に入れて接着層を得た。この接着層を塗布した2mm
のフェノール板上に上記800μの組成物シート、上面
に厚さ125μのポリエステルフィルムでカバーし、1
00℃で熱プレスして感光性樹脂層の厚みが約750μ
の感光性樹脂積層版を作成した。次いでこの原版からカ
バーフィルムを剥離し、感光性樹脂層表面に文字及び絵
柄のネガフィルムを密着させ、ケミカルランプで3分間
露光後、ネガフィルムを剥離し、ブラシ式ウオッシャー
で中性水で2分30秒現像し、乾燥後露光した。得られ
たレリーフ版の平面性を確認したところ、反りの発生は
なく、平面性の良好な銘板用積層体が得られた。
【0032】実施例5 実施例3と同じ支持体を用いて、以下の支持体上に接着
層を設けた。接着層用組成物溶液は、次のように調整し
た。有機溶剤に可溶なポリエステル樹脂としては、バイ
ロンRV−200(東洋紡績(株)製品、分子量約15
000〜20000)20重量部をトルエン/メチルエ
チルケトン=80/20(重量比)の混合溶剤1940
gに60℃で加熱して溶解した。冷却後、イソシアネレ
ート型多価イソシアネートとしてデスモジュールHL
(住友バイエル(株))を80g、ハレーション防止剤
としてチヌビン−327(Ciba−Geigy(株)
製品)を0.3重量部、硬化触媒としてトリエチレンジ
アミン 0.06重量部を添加し、60分攪拌した。こ
のようにして得られた接着層用組成物溶液を厚み 5μ
になるように厚さ2mmのフェノール積層板にバーコー
ターでコートし、60℃で5分間乾燥炉に入れて接着層
を得た。
【0033】この接着層を塗布した2mmのフェノール
板上に上記800μの組成物シート、上面に厚さ125
μのポリエステルフィルムでカバーし、100℃で熱プ
レスして感光性樹脂層の厚みが約750μの感光性樹脂
積層版を作成した。次いでこの原版からカバーフィルム
を剥離し、感光性樹脂層表面に文字及び絵柄のネガフィ
ルムを密着させ、ケミカルランプで3分間露光後、ネガ
フィルムを剥離し、ブラシ式ウオッシャーで中性水で2
分30秒現像し、乾燥後露光した。得られたレリーフ版
の平面性を確認したところ、反りの発生はなく、平面性
の良好な銘板用積層体が得られた。
【0034】比較例2 支持体として厚み2mmのアクリル板を支持体として使
用した。温度100℃を基準として0℃〜200℃の範
囲における縦横寸法変化率を測定したところ、6.4%
であった。このアクリル板の支持体上に比較例1の接着
層を塗膜厚みが15μになるようにバーコーターで塗布
し、150℃で20分乾燥処理して接着層をコートした
支持体を得た。この接着層を塗布した2mmのアクリル
板上に実施例1と同じ800μの組成物シート、上面に
厚さ125μのポリエステルフィルムでカバーし、10
0℃で熱プレスして感光性樹脂層の厚みが約750μの
感光性樹脂積層版を作成した。次いでこの原版からカバ
ーフィルムを剥離し、感光性樹脂層表面に文字及び絵柄
のネガフィルムを密着させ、ケミカルランプで3分間露
光後、ネガフィルムを剥離し、ブラシ式ウオッシャーで
中性水で2分30秒現像し、乾燥後露光した。得られた
レリーフ版の平面性を確認したところ、反りが発生し、
平面性の良好な銘板用積層体が得られなかった。
【0035】実施例6 支持体として比較例2のアクリル板を支持体として使用
し、支持体上に実施例1の接着層を塗膜厚みが15μに
なるようにバーコーターで塗工し、70℃で25分乾燥
処理して接着層をコートした支持体を得た。この接着層
を塗布した2mmのアクリル板上に実施例1と同じ80
0μの組成物シート、上面に厚さ125μのポリエステ
ルフィルムでカバーし、100℃で熱プレスして感光性
樹脂層の厚みが約750μの感光性樹脂積層版を作成し
た。次いでこの原版からカバーフィルムを剥離し、感光
性樹脂層表面に文字及び絵柄のネガフィルムを密着さ
せ、ケミカルランプで3分間露光後、ネガフィルムを剥
離し、ブラシ式ウオッシャーで中性水で2分30秒現像
し、乾燥後露光した。得られたレリーフ版の平面性を確
認したところ、反りの発生はなく、平面性の良好な銘板
用積層体が得られた。
【0036】
【発明の効果】以上かかる構成よりなる本発明感光性樹
脂積層体は、接着層の乾燥温度を低温にでき、支持体に
反りを与えることがない。その結果、支持体の材料を選
択する必要がなく、種々の支持体を使用することができ
るので、産業界に寄与すること大である。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】厚さ1mm以上の支持体上に、少なくとも
    接着層、感光性樹脂層を有する感光性樹脂組成物積層体
    において、支持体の0℃〜200℃の範囲における縦横
    寸法変化率が5.0%以下であって、前記接着層を支持
    体上にコートした後に30℃以上120℃以下の温度で
    熱処理されていることを特徴とする感光性樹脂積層体。
  2. 【請求項2】接着層が下記AおよびB成分を含有する組
    成物からなり、厚みが0.2〜100μである請求項1
    記載の感光性樹脂積層体。 A.有機溶剤に可溶な分子量3000〜50000の飽
    和ポリエステル0〜100 重量部。 B.多価イソシアネート 5〜100重量部。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US8052828B2 (en) 2005-01-21 2011-11-08 Tokyo Okha Kogyo Co., Ltd. Photosensitive laminate film for forming top plate portion of precision fine space and method of forming precision fine space

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US8052828B2 (en) 2005-01-21 2011-11-08 Tokyo Okha Kogyo Co., Ltd. Photosensitive laminate film for forming top plate portion of precision fine space and method of forming precision fine space

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