JPH11168034A - 導電性高分子を用いた固体電解コンデンサ及びその製造方法 - Google Patents

導電性高分子を用いた固体電解コンデンサ及びその製造方法

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JPH11168034A
JPH11168034A JP9334197A JP33419797A JPH11168034A JP H11168034 A JPH11168034 A JP H11168034A JP 9334197 A JP9334197 A JP 9334197A JP 33419797 A JP33419797 A JP 33419797A JP H11168034 A JPH11168034 A JP H11168034A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】ESRを高くすることなく、かつ外装樹脂の膨
張・収縮での応力に十分耐え得ることができる固体電解
コンデンサ及びその製造方法を提供する。 【解決手段】導電性高分子化合物のモノマー溶液と酸化
剤水溶液とが実質的に互いに不溶性であり、且つモノマ
ー溶液の方が前記酸化剤水溶液より比重が大きく、弁作
用金属陽極体を酸化剤水溶液に浸漬後、未乾燥の状態で
モノマー溶液に浸漬して化学酸化重合を行い、これによ
り陽極リードの埋設近傍部の表面部分上に、他の表面部
分上と比較して、選択的に厚く導電性高分子化合物を形
成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は導電性高分子化合物
を用いた固体電解コンデンサ及びその製造方法に関す
る。
【0002】
【従来の技術】固体電解コンデンサは、タンタル、ニオ
ブあるいはアルミニウムなどの弁作用金属の多孔質形成
体を第1の電極(陽極)、その表面に形成される酸化皮
膜を誘電体、その上に形成される固体電解質を第2の電
極(陰極)の一部とする構造を有している。
【0003】固体電解質は多孔質成形体内部の誘電体全
面と電極リード間を電気的に接続する役割を果たしてい
るので、導電率の高い物質ほどコンデンサ自体の抵抗を
低減できるので望ましい。
【0004】一方、固体電解質には誘電体皮膜の欠陥に
起因する電気的短絡を修復する機能も必要とされる。
【0005】従って、高導電率であるが誘電体修復機能
のない金属は固体電解質として使用できず、短絡電流に
よる熱で絶縁体に転移する二酸化マンガンやTCNQ錯
体等が用いられてきた。特に、コンデンサとしてプリン
ト基板に実装される場合240〜260℃の熱に曝され
るので少なくとも240℃以上の耐熱性を有する二酸化
マンガンが使用されてきた。
【0006】以上のように固体電解コンデンサの固体電
解質となる材料には、導電率が高い、誘電体修復機能を
有する、240℃以上の耐熱性を有する、の3つの条件
を満たすことが必要である。
【0007】従来固体電解質として使用されてきた二酸
化マンガンは誘電体修復機能及び耐熱性に関しては十分
な特性を有しているが、導電率(約0.1S/cm)に
関しては電解コンデンサの固体電解質としては必ずしも
十分とはいえない。
【0008】そのため、最近では導電率が10〜100
S/cmと高く、固体電解質となる3つの条件を満たす
ポリピロール、ポリチオフェン、ポリアニリン等の導電
性高分子化合物を固体電解質(陰極)とする電解コンデ
ンサの開発が精力的に進められており、ポリピロールを
使用したコンデンサはすでに商品化されている。
【0009】例えば、特開平2−015611号公報に
は、第2鉄化合物によってチオフェン誘電体を重合させ
て固体電解質として使用することが提案されており、こ
のこのチオフェン誘導体の重合物はピロール誘導体の重
合物よりも高温雰囲気における導電性の低下が小である
いう特質を有している。
【0010】また、特開平5−152169号公報に
は、溶媒のほぼ全体が水の酸化剤溶液に浸漬後、直ちに
ピロール又はチオフェンのモノマー溶液に浸漬する技術
が開示されている。この従来技術も高温雰囲気における
導電性の低下が小である。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
技術による導電性高分子化合物を固体電解質(陰極)と
する電解コンデンサは、外装時の外装樹脂の膨張・収縮
での応力に耐え得ることが困難である問題点がある。
【0012】この理由は、弁作用金属陽極体上に誘電体
酸化被膜を介して形成された導電性高分子化合物層が薄
く、このため陽極リードの埋設近傍部が応力に対して、
特に外装樹脂による応力に対して弱いからである。
【0013】ここで、重合回数を増加することにより、
導電性高分子化合物層の膜厚を厚くすることが可能では
あるが、弁作用金属陽極体の全表面上の膜厚が厚くなる
ことにより、コンデンサとしての重要な特性である等価
直列抵抗(以下、ESR、と称す)が不都合に高くなっ
てしまう。
【0014】すなわち、全体的なポリマー(導電性高分
子化合物)の膜厚増加は外装樹脂の応力に対しては有効
であるものの、前述した様にESRが高くなるという問
題点があり、この二律背反に対する課題を有する。
【0015】したがって本発明の目的は上記固体電解コ
ンデンサの3条件を満足し、かつESRを高くすること
なく、外装樹脂の膨張・収縮での応力に十分耐え得るこ
とができる固体電解コンデンサ及びその製造方法を提供
することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】本発明の固体電解コンデ
ンサの製造方法の特徴は、陽極リードを導出し且つ表面
を酸化皮膜にした弁作用金属陽極体を酸化剤水溶液に浸
漬後、導電性高分子化合物のモノマー溶液に浸漬して化
学酸化重合を行う固体電解コンデンサの製造方法におい
て、前記モノマー溶液と前記酸化剤水溶液とが実質的に
互いに不溶性であり、且つ前記モノマー溶液の方が前記
酸化剤水溶液より比重が大きく、前記弁作用金属陽極体
を前記酸化剤水溶液に浸漬後、未乾燥の状態で前記モノ
マー溶液に浸漬して化学酸化重合を行い、これにより前
記陽極リードの埋設近傍部の表面部分上に、他の表面部
分上と比較して、選択的に厚く導電性高分子化合物層を
形成することにある。
【0017】本発明の固体電解コンデンサの製造方法の
他の特徴は、陽極リードを導出し且つ表面を酸化皮膜に
した弁作用金属陽極体を酸化剤水溶液に浸漬後、導電性
高分子化合物のモノマー溶液に浸漬して化学酸化重合を
行う固体電解コンデンサの製造方法において、前記モノ
マー溶液と前記酸化剤水溶液とが実質的に互いに不溶性
であり、且つ前記モノマー溶液の方が前記酸化剤水溶液
より比重が大きく、前記弁作用金属陽極体を前記酸化剤
水溶液に浸漬し自然乾燥後、純水に所定時間浸漬しその
後に、未乾燥の状態で前記モノマー溶液に浸漬して化学
酸化重合を行い、これにより前記陽極リードの埋設近傍
部の表面部分上に、他の表面部分上と比較して、選択的
に厚く導電性高分子化合物層を形成することにある。
【0018】ここで上記それぞれの製造方法において、
前記モノマー溶液と前記酸化剤水溶液との比重差が0.
1以上でモノマー溶液の方が大きく、且つ、1000c
cの水に対する前記モノマー溶液の溶解度が3.0g以
下であることが好ましい。また、前記モノマー溶液が
3,4エチレンジオキシチオフェン溶液であり、前記酸
化剤水溶液がトルエンスルホン酸第二鉄水溶液であるこ
とができる。あるいは、前記モノマー溶液が3,4エチ
レンジオキシチオフェン溶液であり、前記酸化剤水溶液
がベンゼンスルホン酸第二鉄水溶液であることができ
る。
【0019】本発明の固体電解コンデンサの特徴は、表
面を酸化皮膜にし内部から外部に陽極リードを導出た弁
作用金属陽極体の該誘電体酸化被膜上に導電性高分子化
合物層が形成された固体電解コンデンサにおいて、前記
陽極リードの埋設近傍部の前記弁作用金属陽極体の第1
の部分上の前記導電性高分子化合物層の膜厚は、前記弁
作用金属陽極体の残りの部分である第2の部分上の前記
導電性高分子化合物層の膜厚より厚くなっていることに
ある。
【0020】この固体電解コンデンサにおいて、前記第
2の部分上の前記導電性高分子化合物層の膜厚が0.0
5μm〜10μm(0.05μm以上で10μm以下)
であり、前記第1の部分上の前記導電性高分子層の膜厚
は前記第2の部分上の前記導電性高分子化合物層より1
μm〜40μm(1μm以上で40μm以下)だけ厚い
ことが好ましい。また、前記弁作用金属陽極体の前記陽
極リードを導出した面と該面と対向する面との間の距離
をLとした場合、前記第1の部分と前記第2の部分との
境界は、前記陽極リードを導出した面からL/4〜L/
3の箇所に位置していることができる。さらに、前記陽
極リードに陽極外部リードが接続され、前記導電性高分
子化合物層上にカーボンペースト層および銀ペースト層
が順次形成され、前記銀ペースト層に陰極外部リードが
接続されていることができる。そして、この固体電解コ
ンデンサは上記いずれかに記載の製造方法により得られ
ることが好ましい。
【0021】このように本発明によれば、酸化剤水溶液
とモノマー溶液が互いに不溶であり、酸化剤水溶液の比
重がモノマー溶液の比重より小さく、酸化剤水溶液に浸
漬後に未乾燥の状態で、あるいは酸化剤水溶液に浸漬し
自然乾燥後に純水に浸漬しその後に未乾燥の状態でモノ
マー溶液に浸漬するから、弁作用金属陽極体の埋込陽極
リード近傍に酸化剤水溶液が集結し、これによりこの部
分に導電性高分子化合物層が他の部分と比較して選択的
に厚く形成される。
【0022】埋込陽極リードが導出する埋設近傍部分は
物理的ストレスに脆弱な部分であるから、この部分に膜
厚の厚い導電性高分子化合物層が形成されることにより
ストレスに対しての緩衝効果が得られ、これにより封止
樹脂からの応力による誘電体皮膜の絶縁不良が防止され
て耐熱特性の大幅な向上が得られる。一方、埋込陽極リ
ードが導出する箇所から離れた部分は、埋込陽極リード
の影響による脆弱化になっていないから、ESRを低減
することを考慮して膜厚の薄い導電性高分子化合物層を
形成することが出来る。
【0023】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明を説明
する。
【0024】図1は本発明の実施の形態の製造方法の製
造フローを示す図である。
【0025】先ず、工程100において、弁作用金属箔
のエッチング或いは弁作用金属の焼結体により弁作用金
属陽極体を形成する。例えば、弁作用金属がアルミ箔の
場合、アルミ箔をエッチングして表面に多数の細孔を形
成する。また、弁作用金属がタンタルまたはニオブ粉末
の場合、粉末をプレスして焼結体とする。
【0026】次に工程200において、弁作用金属に陽
極酸化を行い誘電体となる酸化皮膜を形成する。例え
ば、弁作用金属がタンタルの場合は誘電体酸化皮膜は5
酸化タンタル膜となる。
【0027】次に工程300において、陰極体の一部で
ある固体電解質となる導電性高分子化合物層を形成す
る。本発明はこの工程に関するものである。
【0028】次に工程400において、導電性高分子化
合物層上にカーボンペーストおよび銀ペーストを順次塗
布して焼き付け、カーボンペースト層および銀ペースト
層を形成する。
【0029】次に工程500において、弁作用金属陽極
体内部から外部に導出する陽極リードに陽極外部リード
を接続し、銀ペースト層に陰極外部リードを接続する。
【0030】次に工程600において、樹脂封止を行
う。
【0031】図2は本発明の実施の形態の固体電解コン
デンサの全体の構成を模式的に示す図であり、図3は図
2の一部を拡大して示す図である。
【0032】図2において、弁作用金属陽極体であるタ
ンタルの焼結体ペレット2の表面が誘電体膜のタンタル
酸化皮膜3となっており、その上に、固体電解質となる
ポリマー(導電性高分子化合物層)4が形成されてい
る。尚、陰極となるポリマー4は陽極リード1と接触し
ないように形成されているが、本発明と直接関係がない
から説明を省略する。
【0033】通常、焼結体ペレット2は長方体形状(正
立方体を含む)であり、その一面から焼結体ペレット2
に埋設する陽極リード1が表面21から導出している。
【0034】本発明のポリマー4は陽極リード3の導出
近傍箇所において、他の箇所と比較して、厚くなってい
る。
【0035】そして、導電性高分子化合物層4上にカー
ボンペースト層5および銀ペースト層6が順次形成さ
れ、銀ペースト層6に導電性接着剤8により陰極外部リ
ード9が接続され、陽極リード1に陽極外部リード7が
接続され、全体的にエポキシ樹脂10で封止され、陰極
外部リード9および陽極外部リード7のエポキシ樹脂の
封止樹脂部から導出した箇所をそれぞれの外部リードに
した固体電解コンデンサを構成している。
【0036】図3を参照して、表面をタンタル酸化皮膜
にしたタンタル焼結体ペレット2Aの陽極リードが導出
する第1の面21とその面と対向する第2の面との間の
寸法をLとした時、陽極リード1が導出する第1の面2
1からL/4〜L/3より離れた箇所に形成されるポリ
マー4は薄い膜厚T1 であり、第1の面21にL/4〜
L/3より近い箇所に形成されるポリマー4は厚い膜厚
2 となっており、薄い膜厚T1 は0.05μm〜10
μmであり、厚い膜厚T2 はT1 より1μm〜40μm
だけ厚くなっている。
【0037】そしてポリマー4を形成する際には、第1
の面21は上方向を向いた上面、第2の面22は下方向
(重量方向)に向いた下面となった状態を維持する。こ
の状態で、焼結体ペレットが長方体(正方立方体を含
む)の場合は、4個の第3の面23は側面になる。
【0038】実施例1:縦1mm、横1mm、高さ1m
mの直方体状で内部から外部に陽極リード1が導出して
いる弁作用金属陽極体のタンタル焼結体ペレット2(空
隙率約60%)を0.05%リン酸中で20Vで陽極酸
化することにより表面を誘電体となるタンタル酸化皮膜
3にした焼結体ペレット2Aにする。
【0039】この状態の焼結ペレット2Aを酸化剤であ
るベンゼルスルホン酸第二鉄10〜50%水溶液に数分
間浸漬した後、導出する陽極リード1を上方にして未乾
燥の状態でモノマー溶液である3,4−エチレンジオキ
シチオフェン(以下、チオフェン、と称す)溶液に5分
間浸漬した後、所定時間を自然乾燥し重合反応を進め
る。
【0040】その結果、酸化皮膜3上に導電性高分子化
合物層であるポリチオフェン化学重合層4(ポリマー)
を形成する。ポリマー形成後、有機溶剤にて洗浄を10
分行う。
【0041】これを複数回実施し、しかる後、カーボン
ペースト層5、銀ペースト層6を形成し、陽極リード1
に陽極外部リード7を溶接し、銀ペースト層6に導電性
接着剤8で陰極外部リード9を接続し、エポキシ樹脂1
0で封止して固体電解コンデンサを完成した。
【0042】この実施例1において、チオフェン溶液と
ベンゼルスルホン酸鉄水溶液との比重の差は0.33で
チオフェン溶液の方が大きく、1000ccの水に対す
るチオフェン溶液の溶解度は0.2gである。
【0043】この条件で、酸化剤水溶液を付着した未乾
燥の焼結ペレット2Aをチオフェン溶液に浸漬すること
により、焼結ペレットの酸化皮膜上に付着している比重
が小さい酸化剤水溶液が浮き上がり、且つチオフェン溶
液と酸化剤水溶液が互いに実質的に不溶であるから、焼
結ペレット2Aから導出している陽極リード1の導出部
近傍に酸化剤が集結する。
【0044】したがって、酸化剤集結部に重合反応が優
勢的に起き、埋設する陽極リード1の導出部近傍のみに
選択的に厚く導電性高分子化合物が形成される。
【0045】実施例2:実施例1と同様に、焼結体ペレ
ット2の表面を酸化皮膜3にした状態の焼結体ペレット
2Aを、先ずベンゼンスルホン酸第二鉄10〜50%水
溶液に数分間浸漬した。そして60分室温放置した後、
純水にて5分間浸漬後、導出する陽極リード1を上方に
して未乾燥の状態でチオフェン溶液に浸漬する。
【0046】この実施例2においても実施例1と同様
に、チオフェン溶液とベンゼルスルホン酸鉄水溶液との
比重の差は0.33でチオフェン溶液の方が大きく、1
000ccの水に対するチオフェン溶液の溶解度は0.
2gである。
【0047】その後、実施例1と同様に作業を行い、固
体電解コンデンサのチップコンデンサを完成した。
【0048】この実施例2の方法は、実施例1より自然
乾燥により酸化剤をより浸み込ませESRをより低くす
る成果があるものの、酸化剤水溶液を自然乾燥したまま
でチオフェン溶液に浸漬したのでは酸化皮膜を形成した
焼結ペレットが乾燥しており、前述した比重差及び不溶
性による選択的なポリマー形成が不可能であるため、自
然乾燥後に所定時間純水に浸漬し酸化皮膜を形成した焼
結ペレットを純水で濡らしておく。このことにより、ペ
レット表面は再び酸化剤水溶液が付着した場合と同様に
なり、比重が小さい酸化剤水溶液が浮き上がり且つチオ
フェン溶液と酸化剤水溶液が互いに不溶であることか
ら、焼結ペレットの陽極リード導出部近傍に酸化剤溶液
が集結する。
【0049】このことから、実施例1と同様に、酸化剤
集結部に優勢的に重合反応が起き、すなわち重合された
導電性高分子化合物が陽極リード導出部近傍のみ選択的
に厚く形成される。
【0050】重合に使用する酸化剤水溶液とモノマー溶
液の比重差が0.1以上でモノマー溶液の比重が大き
く、かつモノマー溶液と酸化剤水溶液とが実質的に不溶
であること、具体的には1000ccの水に対するモノ
マー溶液の溶解度が3.0g以下であれば、上記実施例
以外のモノマー溶液、酸化剤水溶液(例えば、トルエン
スルホン酸第二鉄水溶液)であっても同様の効果が得ら
れる。
【0051】また、上記実施例について種々の実験を行
った結果、図3において、陽極リードが導出する面から
L/4〜L/3よりも離れた箇所のポリマー(導電性高
分子層)の膜厚T1 が0.05μm〜10μmであり、
陽極リードが導出する面からL/4〜L/3以内の箇所
のポリマーの膜厚T2 がT1 +(1μm〜40μm)と
なること、またこのような膜厚分布がESRおよび耐応
力特性の両者を考慮して実用的に適したものであること
が判明した。
【0052】耐応力特性を熱処理を伴う外装樹脂形成及
び半田デップ工程後の漏れ電流不良率で評価した実験結
果の一部を図4に示す。
【0053】図4によれば、ポリマーの膜厚差(T2
1 )が1μm未満の場合は、ESRが小さくて良好で
あるが、陽極リード近傍の誘電体皮膜が絶縁不良となり
漏れ電流不良率が増加する。この増加は外部樹脂のスト
レスによるものである。
【0054】これに対して、ポリマー膜厚差が1μm〜
40μmの範囲においては、ESRは1μm未満の場合
と同等であり、かつ漏れ電流不良率に顕著な低減効果が
認められる。この低減効果は、脆弱部である陽極リード
埋設部の近傍においてポリマーを厚くすることにより半
田工程の加熱による外部樹脂のストレスに対して緩衝効
果として働く現れである。
【0055】また、ポリマー膜厚差が40μmより大き
くなると、ポリマー膜厚T2 が大きくなり、この箇所に
起因するてESRの増加が認められる。
【0056】また、半田工程後の漏れ電流のバラツキを
示す漏れ電流の工程能力(この値が大きいほどバラツキ
が少なくて好ましい)はポリマー膜厚差が1μm以上で
大きくなり、特にポリマー膜厚差が1μm〜20μmの
範囲が最も大きい範囲、すなわち最もバラツキが少なく
安定した生産が可能になる範囲である。
【0057】以上のことから、ポリマー膜厚差(T2
1 )が1μm〜40μmであることが好ましく、さら
に最もバラツキが少なく安定した1μm〜20μmが最
も好ましい範囲になる。
【0058】一方、陽極リードが導出する面から離れた
箇所のポリマー膜厚T1 は、その箇所に起因するESR
が大きくなりすぎないために10μm以下とし、その箇
所における必要な耐電圧を維持するために0.05μm
以上にするのが実用的な範囲である。
【0059】次に図5は、本発明のESR及び半田工程
後の漏れ電流不良率を従来技術(比較例)と比較して示
した表である。
【0060】上段に実施例1による、T1 =7.22μ
m、T2 =27.1μm、従ってポリマー膜厚差=1
9.88μmの場合を示す。中段に実施例2による、T
1 =8.15μm、T2 =32.3μm、従って膜厚ポ
リマー差=24.15μmの場合を示しす。また、下段
に従来技術である比較例による、T1 =5.27μm、
2 =5.00μmの場合を示す。
【0061】尚この比較例は、実施例1と同様にベンゼ
ンスルホン酸第二鉄10〜50%水溶液に5分間浸漬し
た後、10分自然乾燥を行い、その後、モノマー溶液で
あるチオフェン溶液に5分間浸漬する。そして浸漬後、
10分間自然乾燥した後、有機溶剤にて10分洗浄を行
った。上記操作を10回繰り返しベンゼンスルホン酸を
ドープしたポリチオフェンからなるポリマー(導電性高
分子化合物層)を形成した。その後、実施例1と同様に
して固体電解コンデンサを完成したものである。
【0062】実施例1,2及び比較例について得られた
コンデンサの、電子顕微鏡による焼結体上の各箇所のポ
リマー(導電性高分子化合物層)の厚さと、100kH
zでの等価直列抵抗(ESR)、漏れ電流不良率の結果
は、図4に示すように、比較例と比べ本発明のコンデン
サは優れた耐熱性を有していることが分かる。
【0063】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、半
田工程に起因して発生する外部樹脂ストレスにより、誘
電体皮膜が絶縁不良となり漏れ電流大となることを、E
SRの増加を伴うことなく、防止することができる。
【0064】その理由は、前述した方法により、脆弱部
である陽極体近傍部に導電性高分子化合物層を選択的に
厚く形成出来る為、はんだ耐熱での外部樹脂ストレスに
対して緩衝効果として働く為である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の製造方法の製造フローを
示す図である。
【図2】本発明の実施の形態の固体電解コンデンサの全
体の構成を示す図である。
【図3】図2の一部を拡大して示す図である。
【図4】本発明の評価結果を示す図である。
【図5】本発明の効果を従来技術と比較して示した図で
ある。
【符号の説明】
1 陽極リード 2 タンタルの焼結体ペレット 2A 表面を酸化皮膜にした焼結体ペレット 3 タンタル酸化皮膜 4 導電性高分子化合物層(ポリマー) 5 カーボンペースト層 6 銀ペースト層 7 陽極外部リード 8 導電性接着剤 9 陰極外部リード 10 エポキシ樹脂 21 第1の面 22 第2の面 23 第3の面 100〜600 工程
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高橋 健一 富山県下新川郡入善町入膳560番地 富山 日本電気株式会社内

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 陽極リードを導出し且つ表面を酸化皮膜
    にした弁作用金属陽極体を酸化剤水溶液に浸漬後、導電
    性高分子化合物のモノマー溶液に浸漬して化学酸化重合
    を行う固体電解コンデンサの製造方法において、前記モ
    ノマー溶液と前記酸化剤水溶液とが実質的に互いに不溶
    性であり、且つ前記モノマー溶液の方が前記酸化剤水溶
    液より比重が大きく、前記弁作用金属陽極体を前記酸化
    剤水溶液に浸漬後、未乾燥の状態で前記モノマー溶液に
    浸漬して化学酸化重合を行い、これにより前記陽極リー
    ドの埋設近傍部の表面部分上に、他の表面部分上と比較
    して、選択的に厚く導電性高分子化合物層を形成するこ
    とを特徴とする導電性高分子を用いた固体電解コンデン
    サの製造方法。
  2. 【請求項2】 陽極リードを導出し且つ表面を酸化皮膜
    にした弁作用金属陽極体を酸化剤水溶液に浸漬後、導電
    性高分子化合物のモノマー溶液に浸漬して化学酸化重合
    を行う固体電解コンデンサの製造方法において、前記モ
    ノマー溶液と前記酸化剤水溶液とが実質的に互いに不溶
    性であり、且つ前記モノマー溶液の方が前記酸化剤水溶
    液より比重が大きく、前記弁作用金属陽極体を前記酸化
    剤水溶液に浸漬し自然乾燥後、純水に所定時間浸漬しそ
    の後に、未乾燥の状態で前記モノマー溶液に浸漬して化
    学酸化重合を行い、これにより前記陽極リードの埋設近
    傍部の表面部分上に、他の表面部分上と比較して、選択
    的に厚く導電性高分子化合物層を形成することを特徴と
    する導電性高分子を用いた固体電解コンデンサの製造方
    法。
  3. 【請求項3】 前記モノマー溶液と前記酸化剤水溶液と
    の比重差が0.1以上でモノマー溶液の方が大きく、且
    つ、1000ccの水に対する前記モノマー溶液の溶解
    度が3.0g以下であることを特徴とする請求項1又は
    請求項2記載の導電性高分子を用いた固体電解コンデン
    サの製造方法。
  4. 【請求項4】 前記モノマー溶液が3,4エチレンジオ
    キシチオフェン溶液であり、前記酸化剤水溶液がトルエ
    ンスルホン酸第二鉄水溶液であることを特徴とする請求
    項1又は請求項2記載の導電性高分子を用いた固体電解
    コンデンサの製造方法。
  5. 【請求項5】 前記モノマー溶液が3,4エチレンジオ
    キシチオフェン溶液であり、前記酸化剤水溶液がベンゼ
    ンスルホン酸第二鉄水溶液であることを特徴とする請求
    項1又は請求項2記載の導電性高分子を用いた固体電解
    コンデンサの製造方法。
  6. 【請求項6】 表面を酸化皮膜にして内部から外部に陽
    極リードを導出した弁作用金属陽極体の該誘電体酸化被
    膜上に導電性高分子化合物層が形成された固体電解コン
    デンサにおいて、前記陽極リードの埋設近傍部の前記弁
    作用金属陽極体の第1の部分上の前記導電性高分子化合
    物層の膜厚は、前記弁作用金属陽極体の残りの部分であ
    る第2の部分上の前記導電性高分子化合物層の膜厚より
    厚くなっていることを特徴とする固体電解コンデンサ。
  7. 【請求項7】 前記第2の部分上の前記導電性高分子化
    合物層の膜厚が0.05μm〜10μmであり、前記第
    1の部分上の前記導電性高分子層の膜厚は前記第2の部
    分上の前記導電性高分子化合物層より1μm〜40μm
    だけ厚いことを特徴とする請求項6記載の固体電解コン
    デンサ。
  8. 【請求項8】 前記弁作用金属陽極体の前記陽極リード
    を導出した面と該面と対向する面との間の距離をLとし
    た場合、前記第1の部分と前記第2の部分との境界は、
    前記陽極リードを導出した面からL/4〜L/3の箇所
    に位置していることを特徴とする請求項6記載又は請求
    項7記載の固体電解コンデンサ。
  9. 【請求項9】 前記陽極リードに陽極外部リードが接続
    され、前記導電性高分子化合物層上にカーボンペースト
    層および銀ペースト層が順次形成され、前記銀ペースト
    層に陰極外部リードが接続されていることを特徴とする
    請求項6記載の固体電解コンデンサ。
  10. 【請求項10】 請求項1乃至請求項5のいずれかに記
    載の製造方法により得られた請求項5乃至請求項9のい
    ずれかに記載の固体電解コンデンサ。
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