JPH11164206A - 固体撮像素子及び電荷転送方法 - Google Patents
固体撮像素子及び電荷転送方法Info
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- JPH11164206A JPH11164206A JP9330414A JP33041497A JPH11164206A JP H11164206 A JPH11164206 A JP H11164206A JP 9330414 A JP9330414 A JP 9330414A JP 33041497 A JP33041497 A JP 33041497A JP H11164206 A JPH11164206 A JP H11164206A
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- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
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- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
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- Signal Processing (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 全画素読み出し又は間引き読み出しのいずれ
を行った際にも高速に電荷を垂直方向に転送することが
できる固体撮像素子又は電荷転送方法を提供することを
課題とする。 【解決手段】 受光した光を電荷に変換する複数の光電
変換手段(PD)と、複数の光電変換手段から電荷を受
ける複数のパケットを有し、該パケット内の電荷を転送
することができる転送手段(1)と、複数の光電変換手
段の各々から電荷を転送手段に読み出すゲート手段と、
第1又は第2のモードに応じて異なる駆動相数で転送手
段を駆動して電荷を転送する駆動手段(12)とを有す
る。
を行った際にも高速に電荷を垂直方向に転送することが
できる固体撮像素子又は電荷転送方法を提供することを
課題とする。 【解決手段】 受光した光を電荷に変換する複数の光電
変換手段(PD)と、複数の光電変換手段から電荷を受
ける複数のパケットを有し、該パケット内の電荷を転送
することができる転送手段(1)と、複数の光電変換手
段の各々から電荷を転送手段に読み出すゲート手段と、
第1又は第2のモードに応じて異なる駆動相数で転送手
段を駆動して電荷を転送する駆動手段(12)とを有す
る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、画像信号処理技術
に関し、特に固体撮像素子により撮像される画像信号を
処理する技術に関する。
に関し、特に固体撮像素子により撮像される画像信号を
処理する技術に関する。
【0002】
【従来の技術】図2(A)、(B)は、従来技術による
固体撮像素子を示す。固体撮像素子は、例えば1530
×1024画素からなる高解像度の画像を撮像すること
ができる。図2(A)は第1のモードにおける固体撮像
素子の制御方法を示し、図2(B)は第2のモードにお
ける固体撮像素子の制御方法を示す。
固体撮像素子を示す。固体撮像素子は、例えば1530
×1024画素からなる高解像度の画像を撮像すること
ができる。図2(A)は第1のモードにおける固体撮像
素子の制御方法を示し、図2(B)は第2のモードにお
ける固体撮像素子の制御方法を示す。
【0003】図2(A)において、第1のモードは、全
画素読み出しのモードであり、例えば1530×102
4画素の全てを読み出す。第1のモードは、例えば、プ
リンタに高精細な画像を印刷する際に用いられる。
画素読み出しのモードであり、例えば1530×102
4画素の全てを読み出す。第1のモードは、例えば、プ
リンタに高精細な画像を印刷する際に用いられる。
【0004】固体撮像素子は、フォトダイオードPDと
垂直転送路1と水平転送路2とアンプ3を有する。フォ
トダイオードPDは、実際には、画像を構成する画素数
だけ2次元に配列される。例えば、水平方向に1530
個、垂直方向に1024個である。図2(A)には、簡
略化のため、9個のフォトダイオードPD1〜PD9が
1つの列を構成する場合を示す。以下、フォトダイオー
ドPD1〜PD9の個々を又は全てをフォトダイオード
PDと呼ぶ。
垂直転送路1と水平転送路2とアンプ3を有する。フォ
トダイオードPDは、実際には、画像を構成する画素数
だけ2次元に配列される。例えば、水平方向に1530
個、垂直方向に1024個である。図2(A)には、簡
略化のため、9個のフォトダイオードPD1〜PD9が
1つの列を構成する場合を示す。以下、フォトダイオー
ドPD1〜PD9の個々を又は全てをフォトダイオード
PDと呼ぶ。
【0005】固体撮像素子は、上記の2次元に配列され
る複数のフォトダイオードPD、及び複数列の垂直転送
路1を有する。1つのフォトダイオードPDは、2次元
画像を構成する1つの画素に相当し、受光した光を電荷
に変換する。
る複数のフォトダイオードPD、及び複数列の垂直転送
路1を有する。1つのフォトダイオードPDは、2次元
画像を構成する1つの画素に相当し、受光した光を電荷
に変換する。
【0006】第1のモードでは、全てのフォトダイオー
ドPD1〜PD9から右隣の垂直転送路1に電荷を読み
出す。垂直転送路1は、1つのフォトダイオードPD当
たりに4電極を有する。その4電極には、転送パルスV
1〜V4が供給される。垂直転送路1は、転送パルスV
1〜V4により4相駆動され、電荷を垂直方向に転送す
る。
ドPD1〜PD9から右隣の垂直転送路1に電荷を読み
出す。垂直転送路1は、1つのフォトダイオードPD当
たりに4電極を有する。その4電極には、転送パルスV
1〜V4が供給される。垂直転送路1は、転送パルスV
1〜V4により4相駆動され、電荷を垂直方向に転送す
る。
【0007】垂直転送路1上の電荷は垂直下方向に転送
され、水平転送路2に移される。水平転送路2は、電荷
を水平左方向に転送する。アンプ3は、水平転送路1に
より転送された電荷を増幅して、外部に出力する。
され、水平転送路2に移される。水平転送路2は、電荷
を水平左方向に転送する。アンプ3は、水平転送路1に
より転送された電荷を増幅して、外部に出力する。
【0008】図2(B)において、第2のモードは、間
引き読み出しのモードであり、例えば1530×102
4画素の画像を間引いて1530×256画素の画像を
読み出す。つまり、垂直方向について、4画素毎に3画
素を間引いて、1024画素中の256画素を読み出
す。
引き読み出しのモードであり、例えば1530×102
4画素の画像を間引いて1530×256画素の画像を
読み出す。つまり、垂直方向について、4画素毎に3画
素を間引いて、1024画素中の256画素を読み出
す。
【0009】第2のモードは、例えば、画角を合わせる
ためにカメラに搭載された小型液晶表示器に画像を表示
する際、又はオートフォーカス(自動焦点)を行うため
に画像を読み出す際に用いられ、1フィールド画像を速
く(1/60秒〜1/30秒)読み出すことが要求され
る。
ためにカメラに搭載された小型液晶表示器に画像を表示
する際、又はオートフォーカス(自動焦点)を行うため
に画像を読み出す際に用いられ、1フィールド画像を速
く(1/60秒〜1/30秒)読み出すことが要求され
る。
【0010】第2のモードでは、垂直方向に4画素毎の
フォトダイオードPD1,PD5,PD9から右隣の垂
直転送路1に電荷を読み出す。垂直転送路1の4電極に
は、第1のモードと同様、転送パルスV1〜V4が供給
される。垂直転送路1は、転送パルスV1〜V4により
4相駆動され、垂直方向において4画素毎に1画素読み
出された電荷を垂直方向に転送する。水平転送路2は、
垂直転送路1から受けた電荷を水平左方向に転送する。
アンプ3は、水平転送路1により転送された電荷を増幅
して、外部に出力する。
フォトダイオードPD1,PD5,PD9から右隣の垂
直転送路1に電荷を読み出す。垂直転送路1の4電極に
は、第1のモードと同様、転送パルスV1〜V4が供給
される。垂直転送路1は、転送パルスV1〜V4により
4相駆動され、垂直方向において4画素毎に1画素読み
出された電荷を垂直方向に転送する。水平転送路2は、
垂直転送路1から受けた電荷を水平左方向に転送する。
アンプ3は、水平転送路1により転送された電荷を増幅
して、外部に出力する。
【0011】上記のように、固体撮像素子は、第1のモ
ードと第2のモードを有する。第1及び第2のモードの
いずれにおいても、垂直転送路1は、4電極4相駆動さ
れる。次に、4電極4相駆動の転送方法を示す。
ードと第2のモードを有する。第1及び第2のモードの
いずれにおいても、垂直転送路1は、4電極4相駆動さ
れる。次に、4電極4相駆動の転送方法を示す。
【0012】図3は、上記の転送パルスV1〜V4のタ
イミングチャートである。ある転送パルスと他の転送パ
ルスの重なり時間を単位時間として、横軸に時間tを示
す。
イミングチャートである。ある転送パルスと他の転送パ
ルスの重なり時間を単位時間として、横軸に時間tを示
す。
【0013】図4は、上記の時間tを縦軸にとったとき
の垂直転送路のポテンシャル遷移図である。縦軸は図3
の時間tを示し、横軸は垂直転送路上の垂直位置を示
す。例えば8つのフォトダイオードPD1〜PD8は、
垂直方向に配列され1つの垂直転送路に接続される。垂
直転送路上には、1つのフォトダイオードPD毎に4個
の電極が設けられる。その4電極には、転送パルスV1
〜V4が供給される。ポテンシャルの低いところに、電
荷が蓄積される。ポテンシャルの遷移に従い、電荷が垂
直転送路上で転送される様子がわかる。
の垂直転送路のポテンシャル遷移図である。縦軸は図3
の時間tを示し、横軸は垂直転送路上の垂直位置を示
す。例えば8つのフォトダイオードPD1〜PD8は、
垂直方向に配列され1つの垂直転送路に接続される。垂
直転送路上には、1つのフォトダイオードPD毎に4個
の電極が設けられる。その4電極には、転送パルスV1
〜V4が供給される。ポテンシャルの低いところに、電
荷が蓄積される。ポテンシャルの遷移に従い、電荷が垂
直転送路上で転送される様子がわかる。
【0014】時間t=0において、電荷5は、フォトダ
イオードPD5に隣接する垂直転送路上に位置する。時
間の経過と共に、電荷5は、垂直方向(図の左方向)に
転送される。時間t=32において、電荷5は、フォト
ダイオードPD1に隣接する垂直転送路上に位置する。
つまり、フォトダイオードPD5に隣接する位置からフ
ォトダイオードPD1に隣接する位置に、電荷5を転送
するために要する時間は32サイクルである。
イオードPD5に隣接する垂直転送路上に位置する。時
間の経過と共に、電荷5は、垂直方向(図の左方向)に
転送される。時間t=32において、電荷5は、フォト
ダイオードPD1に隣接する垂直転送路上に位置する。
つまり、フォトダイオードPD5に隣接する位置からフ
ォトダイオードPD1に隣接する位置に、電荷5を転送
するために要する時間は32サイクルである。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】図4に示すように、垂
直転送路上には、1つのフォトダイオードPD当たりに
1つの電荷蓄積領域(パケット)が形成される。第1の
モード(全画素読み出しモード)では、垂直転送路は効
率的に電荷を転送することできる。
直転送路上には、1つのフォトダイオードPD当たりに
1つの電荷蓄積領域(パケット)が形成される。第1の
モード(全画素読み出しモード)では、垂直転送路は効
率的に電荷を転送することできる。
【0016】しかし、第2のモード(間引き読み出しモ
ード)では、例えば4画素毎に3画素を間引くので、垂
直転送路上の4パケット毎に3パケットは無駄なパケッ
トである。第2のモードにおいては、垂直転送路上の上
記の電荷転送は効率的とはいえない。
ード)では、例えば4画素毎に3画素を間引くので、垂
直転送路上の4パケット毎に3パケットは無駄なパケッ
トである。第2のモードにおいては、垂直転送路上の上
記の電荷転送は効率的とはいえない。
【0017】本発明の目的は、全画素読み出し又は間引
き読み出しのいずれを行った際にも高速に電荷を垂直方
向に転送することができる固体撮像素子又は電荷転送方
法を提供することである。
き読み出しのいずれを行った際にも高速に電荷を垂直方
向に転送することができる固体撮像素子又は電荷転送方
法を提供することである。
【0018】
【課題を解決するための手段】本発明の一観点によれ
ば、受光した光を電荷に変換する複数の光電変換手段
と、前記複数の光電変換手段から電荷を受ける複数のパ
ケットを有し、該パケット内の電荷を転送することがで
きる転送手段と、前記複数の光電変換手段の各々から電
荷を前記転送手段に読み出すゲート手段と、第1又は第
2のモードに応じて異なる駆動相数で前記転送手段を駆
動して電荷を転送する駆動手段とを有する固体撮像素子
が提供される。
ば、受光した光を電荷に変換する複数の光電変換手段
と、前記複数の光電変換手段から電荷を受ける複数のパ
ケットを有し、該パケット内の電荷を転送することがで
きる転送手段と、前記複数の光電変換手段の各々から電
荷を前記転送手段に読み出すゲート手段と、第1又は第
2のモードに応じて異なる駆動相数で前記転送手段を駆
動して電荷を転送する駆動手段とを有する固体撮像素子
が提供される。
【0019】例えば、第1のモードは全画素読み出しモ
ードであり、第2のモードは間引き読み出しモードであ
る。駆動手段は、第1のモードでは転送手段を例えば4
相駆動し、第2のモードでは転送手段を例えば16相駆
動することができる。固体撮像素子は、そのモードに適
した駆動相数で転送手段を駆動することができる。
ードであり、第2のモードは間引き読み出しモードであ
る。駆動手段は、第1のモードでは転送手段を例えば4
相駆動し、第2のモードでは転送手段を例えば16相駆
動することができる。固体撮像素子は、そのモードに適
した駆動相数で転送手段を駆動することができる。
【0020】本発明の他の観点によれば、(a)複数の
光電変換手段の各々から電荷を転送手段に読み出す工程
と、(b)第1又は第2のモードに応じて異なる駆動相
数で転送手段を駆動して電荷を転送する工程とを含む電
荷転送方法が提供される。
光電変換手段の各々から電荷を転送手段に読み出す工程
と、(b)第1又は第2のモードに応じて異なる駆動相
数で転送手段を駆動して電荷を転送する工程とを含む電
荷転送方法が提供される。
【0021】
【発明の実施の形態】図1(A)、(B)は、本発明の
実施例による固体撮像素子の概念図を示す。固体撮像素
子は、例えば1530×1024画素からなる高解像度
の画像を撮像することができる。図1(A)は第1のモ
ードにおける固体撮像素子の制御方法を示し、図1
(B)は第2のモードにおける固体撮像素子の制御方法
を示す。
実施例による固体撮像素子の概念図を示す。固体撮像素
子は、例えば1530×1024画素からなる高解像度
の画像を撮像することができる。図1(A)は第1のモ
ードにおける固体撮像素子の制御方法を示し、図1
(B)は第2のモードにおける固体撮像素子の制御方法
を示す。
【0022】図1(A)において、第1のモードは、全
画素読み出しのモードであり、例えば1530×102
4画素の全てを読み出す。第1のモードは、例えば、プ
リンタに高精細な画像を印刷する際に用いられる。
画素読み出しのモードであり、例えば1530×102
4画素の全てを読み出す。第1のモードは、例えば、プ
リンタに高精細な画像を印刷する際に用いられる。
【0023】固体撮像素子は、電荷結合素子(CCD)
チップ11と垂直転送制御部12を有する。第1のモー
ドでは、第1のモード信号M1がCCDチップ11及び
垂直転送制御部12に供給される。
チップ11と垂直転送制御部12を有する。第1のモー
ドでは、第1のモード信号M1がCCDチップ11及び
垂直転送制御部12に供給される。
【0024】CCDチップ11は、フォトダイオードP
Dと垂直転送路1と水平転送路2とアンプ3を有する。
垂直転送制御部12は、4相駆動制御部12aと16相
駆動制御部12bを有する。
Dと垂直転送路1と水平転送路2とアンプ3を有する。
垂直転送制御部12は、4相駆動制御部12aと16相
駆動制御部12bを有する。
【0025】フォトダイオードPDは、実際には、画像
を構成する画素数(1530×1024)だけ2次元に
配列されるが、図1(A)には、簡略化のため、9個の
フォトダイオードPD1〜PD9が1つの列を構成する
場合を示す。
を構成する画素数(1530×1024)だけ2次元に
配列されるが、図1(A)には、簡略化のため、9個の
フォトダイオードPD1〜PD9が1つの列を構成する
場合を示す。
【0026】固体撮像素子は、上記の2次元配列の複数
のフォトダイオードPD、及び複数列の垂直転送路1を
有する。1つのフォトダイオードPDは、2次元画像を
構成する1つの画素に相当し、受光した光を電荷に変換
する。
のフォトダイオードPD、及び複数列の垂直転送路1を
有する。1つのフォトダイオードPDは、2次元画像を
構成する1つの画素に相当し、受光した光を電荷に変換
する。
【0027】CCDチップ11に第1のモード信号M1
が供給されると、全てのフォトダイオードPD1〜PD
9から右隣の垂直転送路1に電荷を読み出す。垂直転送
路1は、1つのフォトダイオードPD当たりに4電極を
有する。
が供給されると、全てのフォトダイオードPD1〜PD
9から右隣の垂直転送路1に電荷を読み出す。垂直転送
路1は、1つのフォトダイオードPD当たりに4電極を
有する。
【0028】垂直転送制御部12に第1のモード信号M
1が供給されると、4相駆動制御部12aが選択され
る。4相駆動制御部12aは、上記の4電極に転送パル
スV1〜V4を供給する。垂直転送路1は、転送パルス
V1〜V4により4相駆動され、電荷を垂直方向に転送
する。
1が供給されると、4相駆動制御部12aが選択され
る。4相駆動制御部12aは、上記の4電極に転送パル
スV1〜V4を供給する。垂直転送路1は、転送パルス
V1〜V4により4相駆動され、電荷を垂直方向に転送
する。
【0029】垂直転送路1上の電荷は垂直下方向に転送
され、水平転送路2に移される。水平転送路2は、電荷
を水平左方向に転送する。アンプ3は、水平転送路1に
より転送された電荷を増幅して、外部に出力する。
され、水平転送路2に移される。水平転送路2は、電荷
を水平左方向に転送する。アンプ3は、水平転送路1に
より転送された電荷を増幅して、外部に出力する。
【0030】図1(B)において、第2のモードは、間
引き読み出しのモードであり、例えば1530×102
4画素の画像を間引いて1530×256画素の画像を
読み出す。つまり、垂直方向について、4画素毎に3画
素を間引いて、1024画素中の256画素を読み出
す。なお、垂直方向だけでなく、水平方向も間引くよう
にしてもよい。
引き読み出しのモードであり、例えば1530×102
4画素の画像を間引いて1530×256画素の画像を
読み出す。つまり、垂直方向について、4画素毎に3画
素を間引いて、1024画素中の256画素を読み出
す。なお、垂直方向だけでなく、水平方向も間引くよう
にしてもよい。
【0031】第2のモードは、例えば、画角を合わせる
ためにカメラに搭載された小型液晶表示器に画像を表示
する際、又はオートフォーカス(自動焦点)を行うため
に画像を読み出す際に用いられる。
ためにカメラに搭載された小型液晶表示器に画像を表示
する際、又はオートフォーカス(自動焦点)を行うため
に画像を読み出す際に用いられる。
【0032】第2のモードでは、第2のモード信号M2
がCCDチップ11及び垂直転送制御部12に供給され
る。
がCCDチップ11及び垂直転送制御部12に供給され
る。
【0033】CCDチップ11に第2のモード信号M2
が供給されると、垂直方向に4画素毎のフォトダイオー
ドPD1,PD5,PD9から右隣の垂直転送路1に電
荷が読み出される。垂直転送路1は、1つのフォトダイ
オードPD当たりに4電極を有し、4つのフォトダイオ
ードPD当たりに16電極を有する。
が供給されると、垂直方向に4画素毎のフォトダイオー
ドPD1,PD5,PD9から右隣の垂直転送路1に電
荷が読み出される。垂直転送路1は、1つのフォトダイ
オードPD当たりに4電極を有し、4つのフォトダイオ
ードPD当たりに16電極を有する。
【0034】垂直転送制御部12に第2のモード信号M
2が供給されると、16相駆動制御部12bが選択され
る。16相駆動制御部12bは、上記の16電極に転送
パルスV1〜V16を供給する。垂直転送路1は、転送
パルスV1〜V16により16相駆動され、間引き読み
出しされた電荷を垂直方向に転送する。垂直転送路1を
16相駆動することにより、4相駆動する場合に比べ、
間引き読み出しされた電荷を効率的にかつ高速に転送す
ることできる。その理由は、後に図8のタイミングチャ
ートを参照しながら説明する。
2が供給されると、16相駆動制御部12bが選択され
る。16相駆動制御部12bは、上記の16電極に転送
パルスV1〜V16を供給する。垂直転送路1は、転送
パルスV1〜V16により16相駆動され、間引き読み
出しされた電荷を垂直方向に転送する。垂直転送路1を
16相駆動することにより、4相駆動する場合に比べ、
間引き読み出しされた電荷を効率的にかつ高速に転送す
ることできる。その理由は、後に図8のタイミングチャ
ートを参照しながら説明する。
【0035】垂直転送路1上の電荷は垂直下方向に転送
され、水平転送路2に移される。水平転送路2は、電荷
を水平左方向に転送する。アンプ3は、水平転送路1に
より転送された電荷を増幅して、外部に出力する。
され、水平転送路2に移される。水平転送路2は、電荷
を水平左方向に転送する。アンプ3は、水平転送路1に
より転送された電荷を増幅して、外部に出力する。
【0036】上記のように、垂直転送路1は、第1のモ
ードでは4相駆動され、第2のモードでは16相駆動さ
れる。モードに応じて、垂直転送路1の駆動相数を変え
ることにより、各モードに適した垂直転送を行うことが
できる。つまり、第1及び第2のモードの両者におい
て、効率的かつ高速な電荷の垂直転送を行うことができ
る。
ードでは4相駆動され、第2のモードでは16相駆動さ
れる。モードに応じて、垂直転送路1の駆動相数を変え
ることにより、各モードに適した垂直転送を行うことが
できる。つまり、第1及び第2のモードの両者におい
て、効率的かつ高速な電荷の垂直転送を行うことができ
る。
【0037】第2のモードは、間引き読み出しを行うモ
ードであり、ノンインタレース方式にもインタレース方
式にも適用することができる。次に、インタレース方式
の場合を説明する。
ードであり、ノンインタレース方式にもインタレース方
式にも適用することができる。次に、インタレース方式
の場合を説明する。
【0038】図5(A)、(B)は、インタレース方式
の画像を第2のモードを用いて読み出す例を示す。イン
タレース方式は、AフィールドとBフィールドとの2つ
のフィールドにより1フレームを構成する。図5(A)
は、Aフィールドを読み出す際の固体撮像素子を示し、
図5(B)は、Bフィールドを読み出す際の固体撮像素
子を示す。
の画像を第2のモードを用いて読み出す例を示す。イン
タレース方式は、AフィールドとBフィールドとの2つ
のフィールドにより1フレームを構成する。図5(A)
は、Aフィールドを読み出す際の固体撮像素子を示し、
図5(B)は、Bフィールドを読み出す際の固体撮像素
子を示す。
【0039】固体撮像素子上の1530×1024画素
の画像を間引いて1530×512画素の画像を読み出
す。垂直方向について4画素毎に3画素を間引いて、1
024画素を1フィールド当たり256画素(1フレー
ム当たり512画素)とする。なお、垂直方向だけでな
く、水平方向も間引くようにしてもよい。間引かれた画
像は、NTSCフォーマットに準拠しているので、その
画像を通常のモニタに表示させることできる。
の画像を間引いて1530×512画素の画像を読み出
す。垂直方向について4画素毎に3画素を間引いて、1
024画素を1フィールド当たり256画素(1フレー
ム当たり512画素)とする。なお、垂直方向だけでな
く、水平方向も間引くようにしてもよい。間引かれた画
像は、NTSCフォーマットに準拠しているので、その
画像を通常のモニタに表示させることできる。
【0040】図5(A)において、Aフィールドを読み
出す際には、垂直方向に4画素毎のフォトダイオードP
D1,PD5,PD9から右隣の垂直転送路1に電荷を
読み出す。つまり、垂直方向において4画素毎に1画素
を読み出す。垂直転送路1は、第2のモード信号を受け
て16相駆動され、垂直方向に間引き読み出しされた電
荷を垂直方向に転送する。水平転送路2は、垂直転送路
1から受けた電荷を水平左方向に転送する。アンプ3
は、水平転送路1により転送された電荷を増幅して、外
部に出力する。
出す際には、垂直方向に4画素毎のフォトダイオードP
D1,PD5,PD9から右隣の垂直転送路1に電荷を
読み出す。つまり、垂直方向において4画素毎に1画素
を読み出す。垂直転送路1は、第2のモード信号を受け
て16相駆動され、垂直方向に間引き読み出しされた電
荷を垂直方向に転送する。水平転送路2は、垂直転送路
1から受けた電荷を水平左方向に転送する。アンプ3
は、水平転送路1により転送された電荷を増幅して、外
部に出力する。
【0041】図5(B)において、Bフィールドを読み
出す際には、Aフィールド(図5(A))に比べて垂直
方向に2画素ずらし、垂直方向に4画素毎のフォトダイ
オードPD3,PD7から右隣の垂直転送路1に電荷を
読み出す。つまり、垂直方向において4画素毎に1画素
を読み出す。垂直転送路1は、第2のモード信号を受け
て16相駆動され、電荷を垂直方向に転送する。水平転
送路2は、垂直転送路1から受けた電荷を水平左方向に
転送する。アンプ3は、水平転送路2により転送された
電荷を増幅して、外部に出力する。
出す際には、Aフィールド(図5(A))に比べて垂直
方向に2画素ずらし、垂直方向に4画素毎のフォトダイ
オードPD3,PD7から右隣の垂直転送路1に電荷を
読み出す。つまり、垂直方向において4画素毎に1画素
を読み出す。垂直転送路1は、第2のモード信号を受け
て16相駆動され、電荷を垂直方向に転送する。水平転
送路2は、垂直転送路1から受けた電荷を水平左方向に
転送する。アンプ3は、水平転送路2により転送された
電荷を増幅して、外部に出力する。
【0042】次に、Aフィールドを読み出す場合を例
に、固体撮像素子の具体的動作を示す。まず、先に図6
を参照しながら第2のモードにおける制御方法を説明
し、その後に図9を参照しながら第1のモードにおける
制御方法を説明する。
に、固体撮像素子の具体的動作を示す。まず、先に図6
を参照しながら第2のモードにおける制御方法を説明
し、その後に図9を参照しながら第1のモードにおける
制御方法を説明する。
【0043】図6は、第2のモードにおける固体撮像素
子の構成を示す。固体撮像素子は、上記のようにCCD
チップ11と垂直転送制御部12を有する。CCDチッ
プ11は、2次元配列されたフォトダイオードPD、複
数列の垂直転送路1、水平転送路2及びアンプ3を有す
る。
子の構成を示す。固体撮像素子は、上記のようにCCD
チップ11と垂直転送制御部12を有する。CCDチッ
プ11は、2次元配列されたフォトダイオードPD、複
数列の垂直転送路1、水平転送路2及びアンプ3を有す
る。
【0044】垂直転送制御部12は、第2のモード信号
を受けると、図7に示す16相駆動パルスV1〜V16
を生成し、スイッチ13を制御する。図7は、横軸に時
間tをとった転送パルスV1〜V16のタイミングチャ
ートである。垂直転送制御部12は、パルスV5〜V1
6のスイッチ13を閉じて、16相パルスV1〜V16
をCCDチップ11に供給する。
を受けると、図7に示す16相駆動パルスV1〜V16
を生成し、スイッチ13を制御する。図7は、横軸に時
間tをとった転送パルスV1〜V16のタイミングチャ
ートである。垂直転送制御部12は、パルスV5〜V1
6のスイッチ13を閉じて、16相パルスV1〜V16
をCCDチップ11に供給する。
【0045】垂直転送路1は、1つのフォトダイオード
PD当たり4電極を有し、4つのフォトダイオードPD
当たり16電極を有する。その16電極に転送パルスV
1〜V16が供給される。垂直転送路1は、転送パルス
V1〜V16により16相駆動され、フォトダイオード
PD1,PD5,PD9から読み出された電荷を垂直方
向に転送する。
PD当たり4電極を有し、4つのフォトダイオードPD
当たり16電極を有する。その16電極に転送パルスV
1〜V16が供給される。垂直転送路1は、転送パルス
V1〜V16により16相駆動され、フォトダイオード
PD1,PD5,PD9から読み出された電荷を垂直方
向に転送する。
【0046】図8は、時間tを縦軸にとったときの垂直
転送路のポテンシャル遷移図である。縦軸は図7の時間
tを示し、横軸は垂直転送路上の垂直位置を示す。例え
ば8つのフォトダイオードPD1〜PD8が垂直方向に
配列されて、1つの垂直転送路に接続される。垂直転送
路上には、1つのフォトダイオードPD毎に4つの電極
が設けられ、4つのフォトダイオードPD毎に16個の
電極が設けられる。その16電極には、駆動パルスV1
〜V16が供給される。ポテンシャルの低いところに、
電荷が蓄積される。ポテンシャルの遷移に従い、電荷が
垂直転送路上で転送される様子がわかる。
転送路のポテンシャル遷移図である。縦軸は図7の時間
tを示し、横軸は垂直転送路上の垂直位置を示す。例え
ば8つのフォトダイオードPD1〜PD8が垂直方向に
配列されて、1つの垂直転送路に接続される。垂直転送
路上には、1つのフォトダイオードPD毎に4つの電極
が設けられ、4つのフォトダイオードPD毎に16個の
電極が設けられる。その16電極には、駆動パルスV1
〜V16が供給される。ポテンシャルの低いところに、
電荷が蓄積される。ポテンシャルの遷移に従い、電荷が
垂直転送路上で転送される様子がわかる。
【0047】時間t=0において、電荷15は、フォト
ダイオードPD5に隣接する垂直転送路上に位置する。
時間の経過と共に、電荷15は、垂直方向(図の左方
向)に転送される。時間t=16において、電荷15
は、フォトダイオードPD1に隣接する垂直転送路上に
位置する。つまり、フォトダイオードPD5に隣接する
位置からフォトダイオードPD1に隣接する位置に、電
荷15を転送するために要する時間は16サイクルであ
る。
ダイオードPD5に隣接する垂直転送路上に位置する。
時間の経過と共に、電荷15は、垂直方向(図の左方
向)に転送される。時間t=16において、電荷15
は、フォトダイオードPD1に隣接する垂直転送路上に
位置する。つまり、フォトダイオードPD5に隣接する
位置からフォトダイオードPD1に隣接する位置に、電
荷15を転送するために要する時間は16サイクルであ
る。
【0048】次に、4電極4相駆動(図4)の垂直転送
時間と16電極16相駆動(図8)の垂直転送時間を比
較する。以下の2つの理由により、16電極16相駆動
は、4電極4相駆動に比べ、高速に電荷を垂直方向に転
送することができる。
時間と16電極16相駆動(図8)の垂直転送時間を比
較する。以下の2つの理由により、16電極16相駆動
は、4電極4相駆動に比べ、高速に電荷を垂直方向に転
送することができる。
【0049】まず、第1の理由を説明する。4電極4相
駆動の場合は、上記で図4を参照しながら説明したよう
に、フォトダイオードPD5に隣接する位置からフォト
ダイオードPD1に隣接する位置に、電荷5を転送する
ために要する時間は32サイクルである。
駆動の場合は、上記で図4を参照しながら説明したよう
に、フォトダイオードPD5に隣接する位置からフォト
ダイオードPD1に隣接する位置に、電荷5を転送する
ために要する時間は32サイクルである。
【0050】16電極16相駆動の場合は、図8に示す
ように、フォトダイオードPD5に隣接する位置からフ
ォトダイオードPD1に隣接する位置に、電荷15を転
送するために要する時間は16サイクルである。
ように、フォトダイオードPD5に隣接する位置からフ
ォトダイオードPD1に隣接する位置に、電荷15を転
送するために要する時間は16サイクルである。
【0051】16電極16相駆動は、4電極4相駆動に
比べ、垂直転送時間を1/2(=16サイクル/32サ
イクル)にすることができる。つまり、本実施例(図
6)によれば、従来技術(図2(B))に比べ、垂直転
送速度を2倍にすることができる。
比べ、垂直転送時間を1/2(=16サイクル/32サ
イクル)にすることができる。つまり、本実施例(図
6)によれば、従来技術(図2(B))に比べ、垂直転
送速度を2倍にすることができる。
【0052】次に、第2の理由を説明する。16電極1
6相駆動は、4電極4相駆動に比べ、垂直転送路を駆動
するドライバの1個当たりの電極数を1/4にすること
ができる。すなわち、4電極4相駆動の場合は、図2
(B)に示すように、例えばパルスV1は4個のフォト
ダイオードPD当たり4個の電極に供給される。それに
対し、16電極16相駆動の場合は、図6に示すよう
に、例えばパルスV1は4個のフォトダイオードPD当
たり1個の電極に供給される。
6相駆動は、4電極4相駆動に比べ、垂直転送路を駆動
するドライバの1個当たりの電極数を1/4にすること
ができる。すなわち、4電極4相駆動の場合は、図2
(B)に示すように、例えばパルスV1は4個のフォト
ダイオードPD当たり4個の電極に供給される。それに
対し、16電極16相駆動の場合は、図6に示すよう
に、例えばパルスV1は4個のフォトダイオードPD当
たり1個の電極に供給される。
【0053】16電極16相駆動は、1つのパルスを供
給する電極数が1/4になるので、ドライバの負荷が1
/4になる。垂直転送路にパルスV1〜V16を印加す
ることは、CR回路にパルスV1〜V16を印加するこ
とと等価である。上記のように、電極数が1/4になれ
ば、垂直転送パルスのCR時定数は1/4になる。つま
り、本実施例(図6)によれば、従来技術(図2
(B))に比べ、垂直転送速度を4倍にすることができ
る。
給する電極数が1/4になるので、ドライバの負荷が1
/4になる。垂直転送路にパルスV1〜V16を印加す
ることは、CR回路にパルスV1〜V16を印加するこ
とと等価である。上記のように、電極数が1/4になれ
ば、垂直転送パルスのCR時定数は1/4になる。つま
り、本実施例(図6)によれば、従来技術(図2
(B))に比べ、垂直転送速度を4倍にすることができ
る。
【0054】本実施例は、上記の第1の理由により垂直
転送速度を2倍することができ、上記の第2の理由によ
り垂直転送速度を4倍にすることができる。本実施例
は、合計して垂直転送速度を8倍にすることができる。
転送速度を2倍することができ、上記の第2の理由によ
り垂直転送速度を4倍にすることができる。本実施例
は、合計して垂直転送速度を8倍にすることができる。
【0055】また、本実施例は、垂直転送路上の1パケ
ットの容量を大きくすることができる。従来技術によれ
ば、図4に示すように、1パケットの容量は2つの電極
の面積に相当する。本実施例によれば、図8に示すよう
に、1パケットの容量は14個の電極の面積に相当す
る。つまり、本実施例によるパケットは、従来技術に比
べ、7倍(=14/2)の容量を有する。本実施例によ
れば、垂直転送路の転送容量を大きくすることができ
る。
ットの容量を大きくすることができる。従来技術によれ
ば、図4に示すように、1パケットの容量は2つの電極
の面積に相当する。本実施例によれば、図8に示すよう
に、1パケットの容量は14個の電極の面積に相当す
る。つまり、本実施例によるパケットは、従来技術に比
べ、7倍(=14/2)の容量を有する。本実施例によ
れば、垂直転送路の転送容量を大きくすることができ
る。
【0056】また、本実施例は、いわゆるスミアによる
弊害を防止することができる。スミアは、例えばストロ
ボ光がガラス窓に反射し、かなり強い光が垂直転送路に
漏れて入り、垂直転送路に電荷が発生する現象である。
このスミア電荷は、不必要な電荷である。
弊害を防止することができる。スミアは、例えばストロ
ボ光がガラス窓に反射し、かなり強い光が垂直転送路に
漏れて入り、垂直転送路に電荷が発生する現象である。
このスミア電荷は、不必要な電荷である。
【0057】フォトダイオードから読み出される電荷を
画素電荷とすると、垂直転送路上では、画素電荷とスミ
ア電荷が混ざる。垂直転送パケット内の電荷は、転送回
数を重ねる毎にスミア電荷が累算されていく。垂直転送
路に強い光が入射し大量のスミア電荷が発生すると、パ
ケットから電荷があふれ、正確な画像信号を読み出すこ
とができない場合がある。
画素電荷とすると、垂直転送路上では、画素電荷とスミ
ア電荷が混ざる。垂直転送パケット内の電荷は、転送回
数を重ねる毎にスミア電荷が累算されていく。垂直転送
路に強い光が入射し大量のスミア電荷が発生すると、パ
ケットから電荷があふれ、正確な画像信号を読み出すこ
とができない場合がある。
【0058】本実施例によれば、垂直転送パケットの容
量を大きくすることできるので、スミアが発生した場合
にも、パケットから電荷があふれることがなく、スミア
による画像劣化を防止することができる。
量を大きくすることできるので、スミアが発生した場合
にも、パケットから電荷があふれることがなく、スミア
による画像劣化を防止することができる。
【0059】以上で第2のモードの説明を終了する。次
に、第1のモードを説明する。固体撮像素子は、垂直転
送制御部12における制御方法を工夫することにより、
第1のモード(4相駆動)と第2のモード(16相駆
動)を切り換えることができる。
に、第1のモードを説明する。固体撮像素子は、垂直転
送制御部12における制御方法を工夫することにより、
第1のモード(4相駆動)と第2のモード(16相駆
動)を切り換えることができる。
【0060】図9は、第1のモードにおける固体撮像素
子の構成を示す。垂直転送制御部12は、第1のモード
信号を受けると、図3に示す4相パルスV1〜V4を生
成し、スイッチ13を制御する。パルスV5〜V16の
スイッチ13を開き、パルスV1〜V16のうち、4相
パルスV1〜V4のみをCCDチップ11に供給する。
子の構成を示す。垂直転送制御部12は、第1のモード
信号を受けると、図3に示す4相パルスV1〜V4を生
成し、スイッチ13を制御する。パルスV5〜V16の
スイッチ13を開き、パルスV1〜V16のうち、4相
パルスV1〜V4のみをCCDチップ11に供給する。
【0061】例えば、フォトダイオードPD1には4電
極VE1〜VE4、フォトダイオードPD2には4電極
VE5〜VE8、フォトダイオードPD3には4電極V
E9〜VE12、フォトダイオードPD4には4電極V
E13〜VE16が設けられているとする。
極VE1〜VE4、フォトダイオードPD2には4電極
VE5〜VE8、フォトダイオードPD3には4電極V
E9〜VE12、フォトダイオードPD4には4電極V
E13〜VE16が設けられているとする。
【0062】スイッチ13は、電極VE1とVE5とV
E9とVE13を接続し、それらにパルスV1を供給す
る。また、電極VE2とVE6とVE10とVE14を
接続し、それらにパルスV2を供給する。また、電極V
E3とVE7とVE11とVE15を接続し、それらに
パルスV3を供給する。さらに、電極VE4とVE8と
VE12とVE16を接続し、それらにパルスV4を供
給する。
E9とVE13を接続し、それらにパルスV1を供給す
る。また、電極VE2とVE6とVE10とVE14を
接続し、それらにパルスV2を供給する。また、電極V
E3とVE7とVE11とVE15を接続し、それらに
パルスV3を供給する。さらに、電極VE4とVE8と
VE12とVE16を接続し、それらにパルスV4を供
給する。
【0063】上記のスイッチ13の接続により、図4に
示す4相駆動と同じ動作で垂直転送路1を駆動すること
ができる。第1のモードでは、全てのフォトダイオード
PDから電荷を読み出し、垂直転送路1を4相駆動して
電荷を転送する。
示す4相駆動と同じ動作で垂直転送路1を駆動すること
ができる。第1のモードでは、全てのフォトダイオード
PDから電荷を読み出し、垂直転送路1を4相駆動して
電荷を転送する。
【0064】垂直転送制御部12は、第1のモード信号
M1又は第2のモード信号M2のいずれを受け取るかに
より、制御方法が異なる。垂直転送制御部12は、第1
のモードのときには垂直転送路1を4相駆動し、第2の
モードのときには垂直転送路1を16相駆動する。
M1又は第2のモード信号M2のいずれを受け取るかに
より、制御方法が異なる。垂直転送制御部12は、第1
のモードのときには垂直転送路1を4相駆動し、第2の
モードのときには垂直転送路1を16相駆動する。
【0065】固体撮像素子は、モードに応じて、垂直転
送路1の駆動相数を変えることができる。第1のモード
(全画素読み出しモード)では、垂直転送路内のパケッ
トの使用率が高いので、少ない相数(例えば4相)で垂
直転送路を駆動する。第2のモード(間引き読み出しモ
ード)では、垂直転送路内のパケットの使用率が低いの
で、多い相数(例えば16相)で垂直転送路を駆動す
る。
送路1の駆動相数を変えることができる。第1のモード
(全画素読み出しモード)では、垂直転送路内のパケッ
トの使用率が高いので、少ない相数(例えば4相)で垂
直転送路を駆動する。第2のモード(間引き読み出しモ
ード)では、垂直転送路内のパケットの使用率が低いの
で、多い相数(例えば16相)で垂直転送路を駆動す
る。
【0066】固体撮像素子は、モードに応じて、垂直転
送路を効率的に駆動し、そのモードに適した垂直転送を
行うことができる。特に、第2のモードでは、第1のモ
ードに比べ、高速に電荷を垂直方向に転送することがで
き、また1パケット内の転送容量を多くすることができ
る。
送路を効率的に駆動し、そのモードに適した垂直転送を
行うことができる。特に、第2のモードでは、第1のモ
ードに比べ、高速に電荷を垂直方向に転送することがで
き、また1パケット内の転送容量を多くすることができ
る。
【0067】なお、第2のモードでは、垂直転送路を1
6相で駆動する場合を説明したが、8相で駆動してもよ
い。ただし、相数が多い方が高速に電荷を転送すること
ができる。
6相で駆動する場合を説明したが、8相で駆動してもよ
い。ただし、相数が多い方が高速に電荷を転送すること
ができる。
【0068】例えば、1つのフォトダイオードPD当た
りM個の電極が垂直転送路に設けられているとする。第
1のモードでは、M電極M相駆動することができる。第
2のモードでは、垂直方向に並ぶN個のフォトダイオー
ドPD当たり1個のフォトダイオードPDから電荷を読
み出す場合には、M×2n 電極M×2n 相駆動すること
ができる。ただし、nは1以上かつlog2 N以下であ
る。
りM個の電極が垂直転送路に設けられているとする。第
1のモードでは、M電極M相駆動することができる。第
2のモードでは、垂直方向に並ぶN個のフォトダイオー
ドPD当たり1個のフォトダイオードPDから電荷を読
み出す場合には、M×2n 電極M×2n 相駆動すること
ができる。ただし、nは1以上かつlog2 N以下であ
る。
【0069】以上実施例に沿って本発明を説明したが、
本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種
々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に
自明であろう。
本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種
々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に
自明であろう。
【0070】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
例えば、第1のモードが全画素読み出しモードであると
きには転送手段を4相駆動し、第2のモードが間引き読
み出しモードであるときには転送手段を16相駆動する
ことができる。固体撮像素子は、第1及び第2のモード
のいずれにおいても、効率的かつ高速に電荷を転送する
ことができる。また、駆動相数を多くすれば、転送容量
を大きくすることができる。
例えば、第1のモードが全画素読み出しモードであると
きには転送手段を4相駆動し、第2のモードが間引き読
み出しモードであるときには転送手段を16相駆動する
ことができる。固体撮像素子は、第1及び第2のモード
のいずれにおいても、効率的かつ高速に電荷を転送する
ことができる。また、駆動相数を多くすれば、転送容量
を大きくすることができる。
【図1】図1(A)は本発明の実施例による第1のモー
ドの固体撮像素子を示す概念図であり、図1(B)は本
発明の実施例による第2のモードの固体撮像素子を示す
概念図である。
ドの固体撮像素子を示す概念図であり、図1(B)は本
発明の実施例による第2のモードの固体撮像素子を示す
概念図である。
【図2】図2(A)は従来技術による第1のモードの固
体撮像素子を示す平面図であり、図2(B)は従来技術
による第2のモードの固体撮像素子を示す平面図であ
る。
体撮像素子を示す平面図であり、図2(B)は従来技術
による第2のモードの固体撮像素子を示す平面図であ
る。
【図3】4電極4相駆動を行うための駆動パルスのタイ
ミングチャートである。
ミングチャートである。
【図4】4電極4相駆動のポテンシャル遷移図である。
【図5】インタレース読み出しを示す。図5(A)はA
フィールドを読み出す際の固体撮像素子を示す平面図で
あり、図5(B)はBフィールドを読み出す際の固体撮
像素子を示す平面図である。
フィールドを読み出す際の固体撮像素子を示す平面図で
あり、図5(B)はBフィールドを読み出す際の固体撮
像素子を示す平面図である。
【図6】本実施例による第2のモードの固体撮像素子を
示す平面図である。
示す平面図である。
【図7】16電極16相駆動を行うための駆動パルスの
タイミングチャートである。
タイミングチャートである。
【図8】16電極16相駆動のポテンシャル遷移図であ
る。
る。
【図9】本実施例による第1のモードの固体撮像素子を
示す平面図である。
示す平面図である。
1 垂直転送路 2 水平転送路 3 アンプ 5 電荷 11 CCDチップ 12 垂直転送制御部 12a 4相駆動制御部 12b 16相駆動制御部 13 スイッチ 15 電荷 PD フォトダイオード M1 第1のモード信号 M2 第2のモード信号
Claims (12)
- 【請求項1】受光した光を電荷に変換する複数の光電変
換手段と、 前記複数の光電変換手段から電荷を受ける複数のパケッ
トを有し、該パケット内の電荷を転送することができる
転送手段と、 前記複数の光電変換手段の各々から電荷を前記転送手段
に読み出すゲート手段と、 第1又は第2のモードに応じて異なる駆動相数で前記転
送手段を駆動して電荷を転送する駆動手段とを有する固
体撮像素子。 - 【請求項2】前記ゲート手段は、第1のモードで読み出
す光電変換手段の数よりも、第2のモードで読み出す光
電変換手段の数の方が少ない請求項1記載の固体撮像素
子。 - 【請求項3】前記駆動手段は、第1のモードで駆動する
相数よりも第2のモードで駆動する相数の方が多い請求
項2記載の固体撮像素子。 - 【請求項4】前記転送手段は、1つの光電変換手段当た
りM個の電極を有し、 前記ゲート手段は、第2のモードにおいて隣接するN個
の光電変換手段当たり1個の光電変換手段から電荷を読
み出し、 前記駆動手段は、第2のモードにおいてM×2n (nは
1以上かつlog2 N以下)相駆動する請求項3記載の
固体撮像素子。 - 【請求項5】前記ゲート手段は、第1のモードにおいて
全ての光電変換手段から電荷を読み出し、 前記駆動手段は、第1のモードにおいてM相駆動する請
求項4記載の固体撮像素子。 - 【請求項6】前記駆動手段は、第1のモードで4相駆動
し、第2のモードで16相駆動する請求項4又は5記載
の固体撮像素子。 - 【請求項7】(a)複数の光電変換手段の各々から電荷
を転送手段に読み出す工程と、 (b)第1又は第2のモードに応じて異なる駆動相数で
転送手段を駆動して電荷を転送する工程とを含む電荷転
送方法。 - 【請求項8】前記工程(a)は、第1のモードで読み出
す光電変換手段の数よりも、第2のモードで読み出す光
電変換手段の数の方が少ない請求項7記載の電荷転送方
法。 - 【請求項9】前記工程(b)は、第1のモードで駆動す
る相数よりも第2のモードで駆動する相数の方が多い請
求項8記載の電荷転送方法。 - 【請求項10】前記転送手段は、1つの光電変換手段当
たりM個の電極を有し、 前記工程(a)は、第2のモードにおいて隣接するN個
の光電変換手段当たり1個の光電変換手段から電荷を読
み出し、 前記工程(b)は、第2のモードにおいてM×2n (n
は1以上かつlog2N以下)相駆動する請求項9記載
の電荷転送方法。 - 【請求項11】前記工程(a)は、第1のモードにおい
て全ての光電変換手段から電荷を読み出し、 前記工程(b)は、第1のモードにおいてM相駆動する
請求項10記載の電荷転送方法。 - 【請求項12】前記工程(b)は、第1のモードで4相
駆動し、第2のモードで16相駆動する請求項10又は
11記載の電荷転送方法。
Priority Applications (2)
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JP9330414A JPH11164206A (ja) | 1997-12-01 | 1997-12-01 | 固体撮像素子及び電荷転送方法 |
US09/201,897 US6583818B1 (en) | 1997-12-01 | 1998-11-30 | Solid state image sensor with readout modes having different drive phases |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9330414A JPH11164206A (ja) | 1997-12-01 | 1997-12-01 | 固体撮像素子及び電荷転送方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JPH11164206A true JPH11164206A (ja) | 1999-06-18 |
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JP (1) | JPH11164206A (ja) |
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A02 | Decision of refusal |
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