JP2000115643A - 固体撮像装置の駆動方法、固体撮像装置、固体撮像素子、並びに撮像カメラ - Google Patents

固体撮像装置の駆動方法、固体撮像装置、固体撮像素子、並びに撮像カメラ

Info

Publication number
JP2000115643A
JP2000115643A JP10284367A JP28436798A JP2000115643A JP 2000115643 A JP2000115643 A JP 2000115643A JP 10284367 A JP10284367 A JP 10284367A JP 28436798 A JP28436798 A JP 28436798A JP 2000115643 A JP2000115643 A JP 2000115643A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
register
solid
vertical
horizontal
state imaging
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10284367A
Other languages
English (en)
Inventor
Tetsuya Iizuka
哲也 飯塚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP10284367A priority Critical patent/JP2000115643A/ja
Publication of JP2000115643A publication Critical patent/JP2000115643A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 垂直レジスタの転送電極を2層電極構造とし
て、水平方向の画素加算を可能にした固体撮像装置の駆
動方法、固体撮像装置、固体撮像素子、並びにこの撮像
素子を備えた撮像カメラを提供する。 【解決手段】 受光蓄積部と垂直レジスタ34、又は受
光機能を有する垂直レジスタを備えてなる画素と、水平
レジスタ36を有する2次元配列の固体撮像装置におい
て、垂直レジスタ34内での転送数が垂直レジスタ列に
関して周期的に異なるように電荷転送を行い、同一行の
互に離れた画素の信号電荷を順番に垂直レジスタ34か
ら水平レジスタ36へ転送し、先に水平レジスタへ転送
した画素の信号電荷を水平レジスタ36内で転送した
後、後から水平レジスタ36へ転送した画素の信号電荷
と加算する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばCCDレジ
スタを備えた2次元配列の固体撮像装置の駆動方法、固
体撮像装置、固体撮像素子、並びに撮像カメラに関す
る。
【0002】
【従来の技術】CCD固体撮像装置においては、その固
体撮像素子の画素数が近年の技術の進歩に伴い著しく増
加してきた。このような画素数の増加に伴い、1フレー
ム期間の出力データ数を必要に応じて削減する機能が強
く臨まれている。このような機能の例としては、電子ス
チルカメラにおいて、撮像時には静止画の解像度を優先
して例えば15フレーム/秒の速度でCCD固体撮像素
子から例えば1000ラインを出力させる。一方、電子
ファインダでの観測時には動解像度を優先し、60フレ
ーム/秒で250ラインを出力させる動作が実行されて
いる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述のよ
うなサンプル数を減少させる方法は、モワレが増加され
るため、垂直方向のサンプル数の低減にも限界が来る。
そこで、将来さらに画素数が増加していった場合を考
え、本発明者は先に、水平方向のサンプル数を低減し、
フレームレートを増加させるようにした固体撮像装置及
びその駆動方法を提案した(特願平10−31461号
及び特願平10−36152号参照)。
【0004】例えば、特願平10−31461号におけ
るCCD固体撮像素子は、図23及び図24に示すよう
に構成されている。即ち、このCCD固体撮像素子1
は、図23に示すように、複数の受光蓄積部となるフォ
トダイオード2が2次元配列され、各フォトダイオード
列に対応して読み出しゲート部3を介して垂直CCDレ
ジスタ4が形成された撮像領域5と、各垂直CCDレジ
スタ4に共通に接続された水平CCDレジスタ6と、水
平CCDレジスタ6の終端に接続された電荷検出アンプ
7を有して成る。撮像領域5と水平CCDレジスタ6の
間には垂直CCD4の延長部4Aが設けられている。フ
ォトダイオード2と読み出しゲート部3と垂直CCDレ
ジスタ4の対応する部分によって1画素8が構成され
る。このCCD固体撮像素子1は、いわゆるインターラ
イントランスファ型に構成されている。
【0005】このCCD固体撮像素子1では、図24の
拡大図で示すように、垂直CCDレジスタ4の転送電極
が3層電極構造にて形成される。即ち、1層目の多結晶
シリコン層からなる第1転送電極11、2層目の多結晶
シリコン層からなる第2転送電極12、3層目の多結晶
シリコン層からなる第3転送電極13が順次繰り返し配
列され、各転送電極11,12,13下に転送部が形成
され、各転送電極11,12及び13に3層の駆動パル
スφV1 ,φV2 及びφV3 が印さされて、いわゆる3
層駆動構造の垂直CCDレジスタ4が構成される。
【0006】さらに、垂直CCDレジスタ4の延長部4
Aの終段部分に、特殊な2つの転送電極15〔15A,
15B〕が設けられる。この2つの転送電極15A,1
5Bは、垂直CCDレジスタ4の2列毎に2つの転送電
極15A,15Bの位置が互に入れ替えるように配置さ
れ、それぞれに駆動パルスφVA 及びφVB が印加され
る。これにより、垂直CCDレジスタ4の4列(図24
において、垂直レジスタ4の上部に表記した〔1〕,
〔2〕,〔3〕,〔4〕に相当)を1周期として一方の
隣り合う2列を他方の隣り合う2列〔3〕,〔4〕の垂
直CCDレジスタ4から水平CCDレジスタ6への電荷
転送を別々に制御することができる。
【0007】ここで、転送電極15Aは2層目の多結晶
シリコン層で形成され、転送電極15Bは3層目の多結
晶シリコン層で形成される。この転送電極15A及び1
5Bを有して構成される転送ゲート部16と水平CCD
レジスタ6との間には、固定電位φVDCが印加される転
送電極18を有する読み出しゲート部19が設けられ
る。
【0008】水平CCDレジスタ6は、2層目の多結晶
シリコン層からなるストレージ電極21sと3層目の多
結晶シリコン層からなるトランスファ電極21tからな
る転送電極21が順次配列され、2相の水平駆動パルス
φH1 及びφH2 が印さされる、いわゆる2相駆動構造
の水平CCDレジスタとして構成される。なお、23は
チャネルストップ領域を示す。
【0009】このCCD固体撮像素子1においては、詳
細説明は省くも、ある画素の信号電荷と、この画素から
水平方向の2画素離れた画素の信号電荷とが加算され
る。これにより水平方向のサンプル数を半分にするもの
である。従って、通常の1フレーム期間に2フレームの
画像がCCD固体撮像素子1から出力できる。この処理
には水平方向2画素周期の色フィルタが適合する。
【0010】更に、このCCD固体撮像素子1は、水平
2画素かつ垂直2画素周期の色フィルタ(いわゆるベイ
ヤー配列)に対し、垂直方向のサブサンプリングを組み
合わせることでサンプル数を水平、垂直共に1/2にす
ることができる。この場合、通常の1フレーム期間に4
フレームの画像がCCD固体撮像素子1から出力され
る。例えば1000×1000画素のCCD固体撮像素
子1から、500×500画素相当の信号が得られ、か
つ画角も変化しない。
【0011】上記特願平10−31461号の発明は、
カラーCCD固体撮像素子において、水平方向の画素加
算を実現するものである。ただし、具体的に例示した構
造は、転送ゲート部16の転送電極15Aと転送電極1
5Bの重なり部分Aと、φV 1 が印加される転送電極1
1と両転送電極15A,15Bの重なり部分Bを有して
おり、3層電極構造を必要とした。
【0012】一方、CCD固体撮像素子における転送レ
ジスタには、2相電極構造の転送レジスタの方が多い。
これは、歴史的経緯の他に、3層電極構造に比べ、構造
が簡易、製造も簡易で、経済面で有利であるからであ
る。従って、2層電極構造の転送レジスタを有するCC
D固体撮像素子には、2層電極構造で水平方向の画素加
算を実現することが望まれる。
【0013】本発明は、上述の点に鑑み、2層電極構造
で水平方向の画素加算を可能にした固体撮像装置の駆動
方法、固体撮像装置、固体撮像素子、並びに撮像カメラ
を提供するものである。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明の固体撮像装置の
駆動方法は、2次元配列の固体撮像装置において、垂直
レジスタ内での転送数が垂直レジスタ列に関して周期的
に異なるように電荷転送を行い、同一行の互に離れた画
素の信号電荷を順番に垂直レジスタから水平レジスタへ
転送し、先に水平レジスタへ転送した画素の信号電荷を
水平レジスタ内で転送した後、後から水平レジスタへ転
送した画素の信号電荷と加算する。
【0015】この駆動方法においては、同じ行の互に離
れた画素の信号電荷を水平レジスタ内で加算できるの
で、水平方向のデータ数を削減できる。そして、垂直レ
ジスタ内での転送数が垂直レジスタ列に関して周期的に
異なるように電荷転送し、同一行の互にはなさた画素の
信号電荷を順番に垂直レジスタから水平レジスタへ転送
するようにしているので、転送レジスタの転送電極とし
て2層電極構造での水平方向の画素(信号電荷)加算が
可能になる。
【0016】本発明の固体撮像装置は、1行の画素の信
号を順次に出力する第1の動作と、同一行の画素の信号
を水平方向に加算して合成信号を得、異なる行の合成信
号を周期的に順次出力する第2の動作とを行えるように
した構成とする。
【0017】この固体撮像装置においては、1水平走査
で1行の画素の信号を順次出力する第1の動作と、同じ
行の画素の信号を加算して1水平走査で異なる行の合成
信号を周期的に順次出力する第2の動作を行えることに
より、水平方向のデータ数が削減されない画像と、水平
方向のデータ数が削減された画像を選択的に切換えて得
ることができる。また、第2の動作では1水平走査で複
数行分の信号を出力するのでフレームレートが速くな
る。
【0018】本発明の固体撮像装置は、異なる行の画素
の信号を周期的に順次出力する第1の動作と、同じ行の
画素の信号を水平方向に加算して合成信号を得、異なる
行の合成信号を周期的に順次出力する第2の動作とを行
うようにした構成とする。
【0019】この固体撮像装置においては、1水平走査
で異なる行の画素の信号を周期的に順次に出力する第1
の動作と、同じ行の画素の信号を加算して1水平走査で
異なる行の合成信号を周期的に順次出力する第2の動作
を行えることにより、水平方向のデータ数が削減されな
い画像と、水平方向のデータ数が削減された画像を、選
択的に切換えて得ることができる。また、第1及び第2
の動作ともに複数行分の信号を出力するので、フレーム
レートが速くなる。
【0020】本発明の固体撮像素子は、2次元の固体撮
像素子であって、垂直レジスタのパケット数が垂直レジ
スタ列に関して周期的に異なる領域部を有した構成とす
る。
【0021】この固体撮像素子においては、垂直レジス
タのパケット数が垂直レジスタ列に関して周期的に異な
るので、同一行の互には離れた画素の信号電荷が順番に
垂直レジスタの上記領域部から水平レジスタへ転送し、
先に水平レジスタへ転送した画素の信号電荷が水平レジ
スタ内で転送した後、後から水平レジスタへ転送した画
素の信号電荷と加算することができる。このように、垂
直レジスタのパケット数を異にしたことにより、水平方
向の画素の信号電荷の加算を可能にすると共に、2層電
極構造での加算が可能となる。
【0022】本発明の固体撮像素子は、垂直レジスタと
水平レジスタとの間に転送ゲート部を有し、この転送ゲ
ート部において、第1相及び第2相の転送電極が、垂直
レジスタの一定の列毎に互に違いに配置され、垂直レジ
スタの転送電極及び転送ゲート部の転送電極が2層電極
構造で形成された構成とする。
【0023】この固体撮像素子によれば、転送ゲート部
において、第1相及び第2相の転送電極が、垂直レジス
タの一定の列毎に互い違いに配置されていることによ
り、垂直レジスタの一定の列単位毎に別々に信号電荷を
水平レジスタへ転送することができるので、この間に水
平レジスタを動作させて別々に転送した信号電荷を水平
レジスタ内で混合することができる。
【0024】本発明の撮像カメラは、垂直レジスタのパ
ケット数が垂直レジスタ列に関して周期的に異なる領域
部を有する2次元配列の固体撮像素子を備え、同じ行の
互に離れた画素の信号電荷を水平レジスタ内で加算し、
加算後の信号電荷を水平転送する動作モードと、通常の
動作モードとを切替え可能にした構成とする。
【0025】この撮像カメラにおいては、同じ行の互に
離れた画素の信号電荷を水平レジスタ内で加算し、異な
る行の加算電荷を周期的に順次に出力する動作モードを
有することにより、このモードでは通常の動作より高速
動作となり、例えばこのモードを用いてファインダでの
観察や、撮影範囲のモニタ等を行うことができる。
【0026】
【発明の実施の形態】本発明に係る固体撮像装置の駆動
方法は、受光蓄積部と垂直レジスタ(インターライント
ランスファ型又はフレームインターライントランスファ
型等)、または受光機能を有する垂直レジスタ(フレー
ムトランスファ型等)を備えてなる画素と、水平レジス
タを有する2次元配列の固体撮像装置の駆動方法であっ
て、垂直レジスタ内での転送数が垂直レジスタ列に関し
て周期的に異なるように電荷転送を行い、同一行の互に
離れた画素の信号電荷を順番に垂直レジスタから水平レ
ジスタへ転送し、先に水平レジスタへ転送した画素の信
号電荷を水平レジスタ内で転送した後、後から水平レジ
スタへ転送した画素の信号電荷を加算する。
【0027】本発明に係る固体撮像装置の駆動方法は、
上記駆動方法において、さらに他の同一行の互に離れた
画素の信号電荷を順番に垂直レジスタから水平レジスタ
へ転送し、先に水平レジスタへ転送した画素の信号電荷
を水平レジスタ内で転送した後、後から水平レジスタへ
転送した画素の信号電荷を加算し、水平レジスタから異
なる行の加算電荷を周期的に順次出力する。
【0028】本発明は、上記固体撮像装置の駆動方法に
おいて、垂直レジスタの転送数が異なる領域部と、垂直
レジスタの該領域部以外の領域とに、共通の駆動パルス
を印加する。
【0029】本発明は、上記固体撮像装置の駆動方法に
おいて、垂直レジスタの転送数が異なる領域部と、垂直
レジスタの該領域部以外の領域に、夫々独立の駆動パル
スを印加する。
【0030】本発明に係る固体撮像装置は、固体撮像素
子から1行の画素の信号を順次出力する第1の動作と、
同一行の画素の信号を水平方向に加算して合成信号を
得、固体撮像素子から異なる行の合成信号を周期的に順
次出力する第2の動作を行う構成とする。
【0031】この固体撮像装置の第2の動作としては、
隣接する2行の合成信号を所定の周期で交互に出力する
ような動作とすることができる。
【0032】本発明に係る固体撮像装置は、固体撮像素
子から異なる行の信号を周期的に順次出力する第1の動
作と、同一行の画素の信号を水平方向に加算して合成信
号を得、固体撮像素子から異なる行の合成信号を周期的
に順次出力する第2の動作を行う構成とする。
【0033】この固体撮像装置の第1の動作としては隣
接する2行の信号を所定の周期で交互に出力するような
動作とし、第2の動作としては隣接する2行の夫々の合
成信号を所定の周期で交互に出力するような動作とする
ことができる。
【0034】本発明に係る固体撮像素子は、受光蓄積部
と垂直レジスタ、または受光機能を有する垂直レジスタ
を備えてなる画素と、水平レジスタを有する2次元配列
の固体撮像素子であって、垂直レジスタのパケット数が
垂直レジスタ列に関して周期的に異なる領域部を有した
構成とする。
【0035】本発明は、上記固体撮像素子において、垂
直レジスタの領域部のパケット数を垂直レジスタの複数
列毎に異ならした構成とする。
【0036】本発明は、上記固体撮像素子において、垂
直レジスタの領域部のパケット数を、垂直レジスタの4
列周期で2列毎に異ならした構成とする。
【0037】本発明の固体撮像素子では、上記垂直レジ
スタの転送電極を2層電極構造で形成する。
【0038】本発明は、上記固体撮像素子において、垂
直レジスタの転送電極を2層電極構造とし、領域部のパ
ケット数を異にした隣接する垂直レジスタ間において、
一方の垂直レジスタのn個のパケット(nは整数)に対
して他方の垂直レジスタのn+1個のパケットが対向
し、一方の垂直レジスタの1パケットを構成する複数の
転送電極が、夫々対応する他方の垂直レジスタの2パケ
ットを構成する2倍の数の転送電極のうちの前段と後段
に配された同一駆動パルスが印加される転送電極に主接
続され、他方の垂直レジスタの2パケットを構成する上
記転送電極のうちの残りの中段の複数の転送電極が、夫
々対応する同一の駆動パルスが印加される主接続された
転送電極に従接続された構成とする。
【0039】本発明に係る固体撮像素子は、受光蓄積部
と垂直レジスタ、または受光機能を有する垂直レジスタ
を備えてなる画素と、水平レジスタを有する2次元配列
の固体撮像素子であって、垂直レジスタと水平レジスタ
との間に転送ゲート部を有し、転送ゲート部において、
第1相及び第2相の転送電極が、垂直レジスタの一定の
列毎に互い違いに配置され、垂直レジスタの転送電極及
び転送ゲート部の転送電極が2層電極構造で形成された
構成とする。
【0040】本発明に係る撮像カメラは、受光蓄積部と
垂直レジスタ、または受光機能を有する垂直レジスタを
備えてなる画素と、水平レジスタを有し、垂直レジスタ
のパケット数が垂直レジスタ列に関して周期的に異なる
領域部が設けられた2次元配列の固体撮像素子を備え、
同一行の互に離れた画素の信号電荷を水平レジスタ内で
加算し、加算後の信号電荷を水平転送する動作モード
と、通常の動作モードとを切替え可能にした構成とす
る。
【0041】通常の動作モードとしては、異なる行の信
号電荷を周期的に順次に出力する動作モードとすること
ができる。
【0042】また、通常の動作モードとしては、1行の
信号電荷を順次出力する動作モードとすることができ
る。
【0043】以下、図面を参照して説明する。
【0044】図1〜図3は、本発明をカラーCCD固体
撮像装置に適用した場合の一実施の形態を示す。図1
は、インターライントランスファ型のCCD固体撮像素
子の概略構成図である。このCCD固体撮像素子31
は、複数の受光蓄積部となるフォトダイオード(受光
部)32が2次元配列され、各フォトダイオード32の
列に対応して読み出しゲート部33を介して垂直CCD
レジスタ34が形成された撮像領域35と、各垂直CC
Dレジスタ34に共通に接続された水平CCDレジスタ
36と、水平CCDレジスタ36の終端に接続された電
荷検出アンプ37を有して成る。
【0045】撮像領域35と水平CCDレジスタ36の
間には、垂直CCDレジスタ34の延長部34Aが設け
られる。38は出力端子示す。また、フォトダイオード
32、読み出しゲート部33及び垂直CCDレジスタ3
4の対応する部分によって1画素39が形成される。
【0046】そして、撮像領域35上には、その各画素
38に各色が対応するように、例えば図2に示す色フィ
ルタ40が設けられ、この色フィルタ40を介してそれ
ぞれ赤、緑、青の3色の光信号を得て、カラーCCD固
体撮像素子31が構成される。この色フィルタ40は、
例えば奇数列の色フィルタが全て緑色Gであり、偶数列
の色フィルタは赤Rと青Bの色フィルタが交互に2画素
周期に配置され、各偶数列の色配置は同一となってい
る。即ち、この色フィルタ40は、水平方向2画素周期
の色フィルタである。
【0047】そして、本実施の形態においては、図3に
示すように、特に、垂直CCDレジスタ34の垂直転送
電極及び水平CCDレジスタ36の水平転送電極が例え
ば1層目の多結晶シリコン層と2層目の多結晶シリコン
層とからなるいわゆる2層電極構造で形成されると共
に、垂直CCDレジスタ34の延長部34Aに、垂直C
CDレジスタ列に関して周期的に電荷のパケット数が異
なる領域部45が設けられる。
【0048】即ち、図3は、図1における垂直CCDレ
ジスタ34の延長部34Aと之に接続する水平CCDレ
ジスタ36の一部を示している。垂直CCDレジスタ3
4では、1層目の多結晶シリコン層(破線図示)による
転送電極41と2層目の多結晶シリコン層(実線図示)
による転送電極42とが電荷転送方向に交互に配列さ
れ、4相駆動形式がとられる。
【0049】図3では、垂直CCDレジスタ34の4列
を1周期とし、説明のために1周期中の垂直CCDレジ
スタ34に番号〔1〕,〔2〕,〔3〕,〔4〕を付
す。垂直CCDレジスタ〔1〕,〔2〕,〔3〕,
〔4〕は相互にチャネルストップ領域43により分離さ
れる。垂直CCDレジスタ34において、パケット数が
異なる領域部45以外の他の領域46(延長部34A及
び撮像領域35を含む)では各垂直CCDレジスタ
〔1〕〜〔4〕のパケット数が同じになるように、共通
の4つの垂直転送電極G1〜G4 が繰り返し配列形成さ
れて、1層目の多結晶シリコン層からなる第1の垂直転
送電極G1 に駆動パルスφV1 が、2層目の多結晶シリ
コン層からなる第2の垂直転送電極G2 に駆動パルスφ
2 が、1層目の多結晶シリコン層からなる第3の垂直
転送電極G3 に駆動パルスφV3 が、2層目の多結晶シ
リコン層からなる第4の垂直転送電極G4 に駆動パルス
φV4 が夫々印加される。垂直転送電極G1 〜G4 下に
形成される4つの転送部で1つのパケットが形成され
る。
【0050】一方、垂直CCDレジスタ34における延
長部34Aの領域部42においては、2列の垂直CCD
レジスタ〔1〕,〔2〕より他の2列の垂直CCDレジ
スタ〔3〕,〔4〕の方にパケットが1つ余分に形成さ
れるように、垂直CCDレジスタ〔3〕,〔4〕の転送
電極数を垂直CCDレジスタ〔1〕,〔2〕より4つ多
く配列形成される。即ち、垂直CCDレジスタ〔1〕,
〔2〕では、1パケットを構成するように水平CCDレ
ジスタに向って各共通の第1の垂直転送電極g1 、第2
の垂直転送電極g2 、第3の垂直転送電極g3 及び第4
の垂直転送電極g4 が形成される。垂直CCDレジスタ
〔3〕,〔4〕では、2パケットを形成するように水平
CCDレジスタに向って、各共通の第1の垂直転送電極
1 、第2の垂直転送電極g2 、第3の垂直転送電極g
3 ′、第4の垂直転送電極g4 ′、第1の垂直転送電極
1 ′、第2の垂直転送電極g2 ′、第3の垂直転送電
極g3 及び第4の垂直転送電極g4 が形成される。
【0051】そして、垂直CCDレジスタ〔1〕〜
〔4〕の夫々対応する垂直転送電極g1同士、g2
士、g3 同士、g4 同士が共通配線され、垂直CCDレ
ジスタ〔3〕,〔4〕の中段で独立する垂直転送電極g
1 ′、g2 ′、g3 ′、g4 ′が垂直転送電極g1 ,g
2 ,g3 及びg4 から夫々独立配線される。図3中、太
線の破線47は1層目の多結晶シリコン層による配線、
太線の実線48は2層目の多結晶シリコン層による配線
を示す。
【0052】即ち、垂直CCDレジスタ〔1〕,〔2〕
の垂直転送電極g1 ,g2 及びg3,g4 が垂直CCD
レジスタ〔3〕,〔4〕の前段の垂直転送電極g1 ,g
2 及び後段の垂直転送電極g3 ,g4 に配線により主接
続され、垂直CCDレジスタ〔3〕,〔4〕の中段に独
立する垂直転送電極g1 ′、g2 ′,g3 ′及びg4
が夫々配線により主接続された垂直転送電極g1
2 ,g3 及びg4 に従接続される。この場合、電極g
1 ′、g4 ′が垂直CCDレジスタ〔2〕及び〔3〕間
のチャネルストップ領域45上で電極g1 ,g4 に夫々
配線され、電極g2′,g3 ′が垂直CCDレジスタ
〔4〕及び〔1〕間のチャネルストップ領域45上で電
極g2 ,g3 に夫々配線される。
【0053】そして、垂直転送電極g1 ,g1 ′に駆動
パルスφV1 ′又はφV1 が、垂直転送電極g2
2 ′に駆動パルスφV2 ′又はφV2 が、垂直転送電
極g3 ,g3 ′に駆動パルスφV3 ′又はφV3 が、垂
直転送電極g4 、g4 ′に駆動パルスφV4 ′又はφV
4 が夫々印加される。
【0054】このような配線構造をとることにより、領
域部42における各垂直CCDレジスタ列は、パケット
数が異なっても、垂直転送電極g1 〜g4 、g1 ′〜g
4 ′を駆動する端子tV1 ′〜tV4 ′の周期性が保た
れる。従って、端子tV1 ′、〜tV4 ′に適正な駆動
パルスφV1 ′〜φV4 ′又はφV1 〜φV4 を印加す
ることにより、各垂直CCDレジスタ〔1〕〜〔4〕は
信号電荷を水平CCDレジスタ36側へと転送できる。
なお、チャネルストップ領域43の幅を垂直CCDレジ
スタ2列毎に変えているのは、垂直転送電極g1 〜g4
と垂直転送電極g1 ′〜g4 ′間の配線する領域を広く
とるためである。
【0055】一方、水平CCDレジスタ36は、一般に
用いられる2相駆動とし、2相の駆動パルスφH1 ,φ
2 が水平転送電極49,50に印加される。水平転送
電極49,50は、垂直転送電極と同様に例えば1層目
の多結晶シリコン層と2層目の多結晶シリコン層による
2層電極構造で形成され、1層目の多結晶シリコン層
(破線図示)からなる電極をストレージ電極49s,5
0sとしてこのストレージ電極49s,50sに対応す
る領域をストレージ領域とし、2層目の多結晶シリコン
層(実線図示)からなる電極をトランスファ電極49
t,50tとしてこのトランスファ電極49t,50t
に対応する領域をトランスファ領域として、電極49s
及び49t、電極50s及び50tが夫々共通接続とさ
れる。
【0056】次に、上述のCCD固体撮像素子31を備
えたCCD固体撮像装置の動作を説明する。本実施の形
態では2つの動作を行う。第1の動作は通常撮像の動作
であり、第2の動作は水平方向の加算動作である。
【0057】先ず、第1の動作である通常動作について
説明する。 〈通常動作1〉図6A,Bを参照する。□はCCDレジ
スタのパケットを表わし、●は奇(偶)数行の信号電
荷、○は偶(奇)数行の信号電荷を表わす。この通常動
作1では、垂直CCDレジスタ34の垂直転送電極への
駆動パルスの入力端子tV1 〜tV4 とtV1 ′〜tV
4 ′に同一の駆動パルス、即ち、図4に示す普通に使用
されている4相駆動パルスφV1 〜φV4 を印加する。
【0058】図1において、受光及び光電変換によりフ
ォトダイオード32に蓄積された信号電荷は、フォトダ
イオード32から読み出しゲート部33を介して垂直C
CDレジスタ34のパケットへ転送される。さらに、垂
直CCDレジスタ34において、信号電荷は水平CCD
レジスタ36方向へ垂直転送される。この垂直転送動作
により、信号電荷は図3の垂直CCDレジスタ34の延
長部34A、即ちその領域部42に至る。垂直CCDレ
ジスタ〔1〕,〔2〕と垂直CCDレジスタ〔3〕,
〔4〕とでは、パケット数が異なるため、例えばm行目
の画素の信号電荷が垂直CCDレジスタ〔1〕,〔2〕
を介して水平CCDレジスタ36に転送されたとき、垂
直CCDレジスタ〔3〕,〔4〕を介して水平CCDレ
ジスタ36に転送される信号電荷はm−1行目の画素の
信号電荷となる。
【0059】この様子を図6A,Bに示す。図6Aは図
4の時刻TA における信号電荷の蓄積状態で、垂直CC
Dレジスタ〔1〕,〔2〕の最終段にm行目の信号電荷
が蓄積され、垂直CCDレジスタ〔3〕,〔4〕の最終
段にm−1行目の信号電荷が蓄積される。図6Bは図4
の時刻TB における信号電荷の水平CCDレジスタ36
への転送状態で、垂直CCDレジスタ〔1〕,〔2〕の
m行目の信号電荷と、垂直CCDレジスタ〔3〕,
〔4〕のm−1行目の信号電荷が交互に配列されるよう
に、水平CCDレジスタ36へ転送される。
【0060】従って、水平CCDレジスタ36による水
平転送により、CCD固体撮像素子31の出力端子38
からは、2画素毎に異なる行の信号電荷が交互に出力さ
れることになる。つまり、フォトダイオード32から垂
直CCDレジスタ34のパケットへ転送された時点での
信号電荷の(j行、k列)の配置をQ(j,k)として
表わすと、CCD固体撮像素子31の出力端子38から
の出力は、 Q(j,1),Q(j,2),Q(j−1,3),Q(j−1,4), Q(j,5),Q(j,6),Q(j−1,7),Q(j−1,8),‥‥ Q(j+1,1),Q(j+1,2),Q(j,3),Q(j,4), Q(j+1,5),Q(j+1,6),Q(j,7),Q(j,8),‥‥ Q(j+2,1),Q(j+2,2),Q(j+1,3),Q(j+1,4), Q(j+2,5),Q(j+2,6),Q(j+1,7),Q(j+1,8),‥‥ となる。
【0061】上述のように出力信号が、隣接ライン
(行)間と交互の並びになるため、CCD固体撮像装置
においては、メモリを使用し、メモリ空間内で再配置を
行うことで、通常の配列の信号として扱うことができ
る。もちろん、隣接ライン間と交互の並びとなることを
予め考慮した処理システムでは、仮想的な再配置として
扱うこともできる。
【0062】〈通常動作2〉図7A,B,Cを参照す
る。同図のパケット、信号電荷の表記は図6と同じであ
る。この通常動作2では、垂直CCDレジスタ34の入
力端子tV1 〜tV4 と入力端子tV1 ′〜tV4 ′と
には夫々別の駆動パルスを印加する。即ち、図5に示す
ように入力端子tV1 〜tV4 には4相駆動パルスφV
1 〜φV4 を印加し、入力端子tV1 ′〜tV4 ′には
4相駆動パルスφV1 ′〜φV4 ′を印加する。図から
明らかなように駆動パルスφV1 ′〜φV4 ′を印加す
る電極群(g1 〜g4 ,g1 ′〜g4 ′)は、駆動パル
スφV1 〜φV4 を印加する電極郡(G1 〜G4 )に比
べ2倍の回数の転送を行う。
【0063】従って、図5の駆動パルスφV1 〜φ
4 、駆動パルスφV1 ′〜φV4 ′を印加した場合
に、駆動パルスφV1 〜φV4 を印加する電極群(G1
〜G4 )から駆動パルスφV1 ′〜φV4 ′を印加する
電極群(g1 〜g4 ,g1 ′〜g4′)へ信号電荷が順
次送られるのに対し、駆動パルスφV1 ′〜φV4 ′を
印加する電極群(g1 〜g4 ,g1 ′〜g4 ′)では信
号電荷のパケットと空パケットが存在するように信号電
荷が水平CCDレジスタ36方向に転送されることとな
る。
【0064】今、図5の第2の転送期間T3 を経て駆動
パルスφV1 〜φV4 を印加する電極群(G1 〜G4
から駆動パルスφV1 ′〜φV4 ′を印加する電極群
(g1〜g4 ,g1 ′〜g4 ′)へj行目の電荷が転送
されたとする。一方、駆動パルスφV1 〜φV4 を印加
する電極群(G1 〜G4 )は、第2の転送期間T3 の他
に第1の転送期間T2 があるため、垂直CCDレジスタ
〔1〕,〔2〕と垂直CCDレジスタ〔3〕,〔4〕の
パケット数の違いは吸収され、水平走査期間T1 に蓄積
されたj行目の信号電荷を水平CCDレジスタ36に転
送することができる。
【0065】すなわち、図7Aは、水平走査期間T1
おける垂直CCDレジスタ34での信号電荷の蓄積状態
を示す。水平ブランキング期間HBLK の第1の転送期間
2 において、図7Bに示すように、垂直CCDレジス
タ〔1〕,〔2〕の領域部42におけるj行目の信号電
荷が水平CCDレジスタ36に転送され、垂直CCDレ
ジスタ〔3〕,〔4〕の領域部42におけるj行目の信
号電荷が垂直CCDレジスタの最終段へと1パケット分
垂直転送される。次いで、第2の転送期間T3 におい
て、図7Cに示すように、垂直CCDレジスタ〔3〕,
〔4〕のj行目の信号電荷が水平CCDレジスタ36へ
転送されると共に、垂直CCDレジスタ〔1〕,
〔2〕,〔3〕,〔4〕のj−1行目の信号電荷が垂直
CCDレジスタ34の領域部42へ転送されることにな
る。
【0066】従って通常動作2では、出力信号が隣接行
間と交互の並びとなることはなく、1行の信号電荷が順
次出力されることになる、という利点がある。ただし、
通常動作1に比べてCCD固体撮像素子の端子数及び駆
動パルスは増加する。
【0067】次に、第2の動作である水平加算動作につ
いて説明する。
【0068】〈水平方向の加算動作1〉図10〜図12
を参照する。同図のパケット、信号電荷の表記は図6と
同じである。この加算動作1では、垂直CCDレジスタ
34の垂直転送電極への入力端子tV1 〜tV4 を入力
端子tV1 ′〜tV4 ′に同一の駆動パルス、即ち、図
8に示す4相駆動パルスφV1 〜φV4 を印加する。ま
た水平CCDレジスタ36の水平転送電極には2相駆動
パルスφH1 ,φH2 を印加する。
【0069】この加算動作1では、1水平操作に対応す
る垂直転送で垂直CCDレジスタ(領域部45、領域4
6共に)を4パケット分転送する。また、この垂直CC
Dレジスタの転送のうち初めのパケットの転送終了後
と、かつ4回目の転送開始前に、水平CCDレジスタを
2パケット分、計4パケットの水平転送を行う。更に、
図10に示すように、領域46に対応する垂直CCDレ
ジスタのパケットは、信号電荷のパケットと空きパケッ
トが交互に配置されるようにしておく。
【0070】信号電荷の動きとしては、先ず図8の水平
走査期間T1 の終わりには水平操作が終了し、水平CC
Dレジスタのパケットは空になっている。この状態が図
10Aに相当する。
【0071】次に、水平ブランキング期間HBLK のうち
の第1の期間T2 において、第1の垂直転送が行われ、
信号電荷は1パケット分垂直方向へ転送され、図10B
の状態となる。この状態ではある行、例えばj行の信号
電荷のうち、一部の列、従って垂直CCDレジスタ
〔1〕,〔2〕の信号電荷が水平CCDレジスタ36へ
転送され、j行の残りの列、従って垂直CCDレジスタ
〔3〕,〔4〕の信号電荷が垂直CCDレジスタ34の
最終段へと転送される。
【0072】次に、第2の期間T3 において、水平CC
Dレジスタ36で信号電荷を2パケット分の転送を行
う。図11Cの状態は、この終了後の信号電荷を示す。
この操作により、同一行の2画素列方向に離れた信号電
荷同士が同一列に移動される。
【0073】この結果、次の第3の期間T4 における垂
直転送により、垂直CCDレジスタ〔3〕,〔4〕の最
終段の信号電荷が水平CCDレジスタ36へ転送され、
先に水平CCDレジスタ36に転送された垂直CCDレ
ジスタ〔1〕,〔2〕の信号電荷に加算される。すなわ
ち、水平CCDレジスタ36内で、同一行の2画素列方
向に離れた信号電荷同士が加算され、かつ2画素分の空
パケットが交互に生ずる。この状態が図11Dに相当す
る。
【0074】さらに、第4の期間T2 ′から第6の期間
4 ′において、前述の第1の期間T2 から第3の期間
4 と同様の動作を行うことにより、水平CCDレジス
タ36の空きパケットにj+1行目の信号電荷が、同一
行の2画素列方向に離れた信号電荷同士で加算され蓄積
される。この状態を示したのが、図12E〜図12Gで
ある。
【0075】以上の動作の結果、図12Gに示すように
水平方向に加算された信号電荷2行分が、水平CCDレ
ジスタ36に蓄積される。したがって、水平CCDレジ
スタ36を駆動し、水平走査を1回行うことで、2行分
の画素の信号がCCD固体撮像素子31の出力端子38
より出力される。
【0076】この水平加算動作1において、垂直CCD
レジスタ34に空パケットを作る方法は、例えば垂直方
向に画素を間引く方法、垂直方向の画素加算する方法等
を用いることができる。
【0077】かかる水平加算動作1においては、パケッ
ト数が異なる領域部45及びそれ以外の領域46に対し
て、共通の4相駆動パルスφV1 〜φV4 を印加するの
で、CCD固体撮像装置における端子数、駆動パルスが
少なくて済む。
【0078】〈水平方向の加算動作2〉図13〜図14
を参照する。同図のパケット、信号電荷の表記は図6と
同じである。この加算動作2では、垂直CCDレジスタ
34の入力端子tV1 〜tV4 に図9に示す4相駆動パ
ルスφV1 〜φV4 を印加し、入力端子tV1 ′〜tV
4 ′に同図に示す4相駆動パルスφV1 ′〜φV4 ′を
印加する。また、水平CCDレジスタ36には、同図に
示す2相駆動パルスφH1 及びφH2 を印加する。
【0079】図13A〜図14Fの信号電荷の状態と図
9の駆動パルスとの対応は次の通りである。先ず、図9
の水平走査期間T1 の終了時が図13Aに相当する。次
に、水平ブランキング期間HBLK のうちの第1の期間T
2 において、図13Bに示すように、垂直CCDレジス
タ〔1〕,〔2〕の信号電荷が水平CCDレジスタ36
へ転送されると共に、垂直CCDレジスタ〔3〕,
〔4〕の信号電荷が垂直CCDレジスタ34の最終段へ
垂直転送される。
【0080】次に、第2の期間T3 において、図13C
に示すように、水平CCDレジスタ36で2パケット分
の転送が行われる。この操作で同一行の2画素列方向に
離れた信号電荷同士が同一列に移動される。
【0081】次に、第3の期間T4 において、図14D
に示すように、垂直転送により垂直CCDレジスタ
〔3〕,〔4〕の最終段の信号電荷が水平CCDレジス
タ36へ転送され、先に水平CCDレジスタ36に転送
された垂直CCDレジスタ〔1〕,〔2〕の信号電荷に
加算される。すなわち、水平CCDレジスタ36内で同
一行の2画素列方向に離れた信号電荷同士が加算され
る。同時に、水平CCDレジスタ36の空パケットに垂
直CCDレジスタ〔1〕,〔2〕から次の行の信号電荷
が転送される。
【0082】さらに、第4の期間T5 において、図14
Eに示すように、水平CCDレジスタ36内で2パケッ
ト分の転送が行われ、上記次の行の2画素列方向に離れ
た信号電荷同士が同一列に移動される。
【0083】次いで、第5の期間T6 において、図14
Fに示すように、垂直転送により垂直CCDレジスタ
〔3〕,〔4〕の最終段の信号電荷が水平CCDレジス
タ36へ転送され、先に転送された垂直CCDレジスタ
〔1〕,〔2〕の信号電荷に加算される。即ち水平CC
Dレジスタ36内で上記次の行の2画素列方向に離れた
信号電荷同士が加算される。この結果、水平CCDレジ
スタ36に水平方向に2画素加算された信号電荷が2行
分、蓄積されることになる。
【0084】従って、水平走査期間T1 において、水平
CCDレジスタ36を2相駆動し、水平走査を1回行う
ことで、2行分の信号がCCD固体撮像素子31の出力
端子38より出力される。
【0085】この水平方向の加算動作2によれば、入力
端子tV1 〜tV4 及び入力端子tV1 ′〜tV4 ′の
夫々に独立に4相駆動パルスφV1 〜φV4 ,φV1
〜φV4 ′を印加するので、加算動作1に比べて垂直C
CDレジスタ34のパケットの転送回数を少なくするこ
とができる。また、独立に駆動パルスφV1 〜φV4
φV1 ′〜φV4 ′を印加できるので、図13〜図14
に示す垂直CCDレジスタ34に空きパケットを作らな
いようにした読み出し方法、あるいは前述の水平加算動
作1(図10〜図12参照)のような垂直CCDレジス
タ34に空きパケットを作った読み出し方法等、読み出
し方の自由度を増すことができる。
【0086】本発明では、入力端子tV1 〜tV4 と入
力端子tV1 ′〜tV4 ′に同一の4相駆動パルスφV
1 〜φV4 を印加するときは、通常動作1と水平加算動
作1とを選択的にモード切換できるCCD固体撮像装置
を構成できる。
【0087】また、入力端子tV1 〜tV4 と入力端子
tV1 ′〜tV4 ′に夫々独立の4相駆動パルスφV1
〜φV4 ,φV1 ′〜φV4 ′を印加するときは、通常
動作2と水平加算動作2とを選択的にモード切換できる
CCD固体撮像装置を構成することができる。
【0088】上述の本実施の形態によれば、2層多結晶
シリコン構造の転送電極41,42を使用したCCD固
体撮像素子において、水平画素加算を可能にする。そし
て、カラーCCD固体撮像素子31に使用する色フィル
タとして、図2に示す水平2画素周期の色フィルタ40
を用いるときは、各々の行の画素の偶数列同士、奇数列
同士が同一色であるので、混合しても混色が発生しな
い。また、水平方向に2画素離れた信号電荷同士を加算
混合することで、水平方向のデータレートを1/2に削
減できる。これにより高速に動作を行うことができる。
【0089】そして、j行目の信号電荷を水平CCDレ
ジスタ36で加算混合したときに発生する空パケット
に、j+1行目の信号電荷を転送し混合するため、j行
目とj+1行目の信号電荷が混色することもない。即
ち、色が混合されることなく水平方向のデータレートを
削減できる。
【0090】さらに、上記空パケットをj+1行目の信
号電荷で埋めることで、水平CCDレジスタ34のパケ
ットが有効に利用でき、データ数と水平転送パルス数の
比をほぼ一定にできる上、信号電荷を捨てないで済む。
【0091】また、撮像領域の画素全体の信号に対し合
成を行えるため水平方向のデータ数を1/2にしても画
角が変わらない。
【0092】さらに、通常動作1と水平加算動作1は、
入力端子tV1 〜tV4 、入力端子tV1 ′〜tV4
とを撮像チップ内部で共通にできるため、端子数の低域
が可能となる。通常動作2と水平加算動作2は、入力端
子tV1 〜tV4 、入力端子tV1 ′〜tV4 ′を通じ
て夫々独立の駆動パルスφV1 〜φV4 ,φV1 ′〜φ
4 ′を印加する構成をとるので、垂直CCDレジスタ
34のパケットの転送回数を少なくすることができる。
また、垂直CCDレジスタ34の転送状態を空パケット
無し、空きパケット有、等目的に応じて選択でき、読み
出し方の自由度が増す。
【0093】尚、水平加算動作1,2において、空パケ
ットが追加された状態が考えられるが、垂直CCDレジ
スタ34のφV1 〜φV4 が印加される領域46、φV
1 ′〜φV4 ′が印加される領域部45の転送回数を追
加することで対応できる。また上述の実施の形態では、
水平2画素加算について述べたが、その他、水平3画素
以上の画素加算も可能である。
【0094】本発明では、垂直画素間引き(垂直画素加
算を含む)と本実施の形態の水平画素加算を組み合わせ
ることによって、垂直及び水平共にデータ数の削減が可
能となる。前述の図2の色フィルタ40を用いたカラー
CCD固体撮像素子31における垂直画素の間引き読み
出しの一例を図15を用いて説明する。
【0095】先ず、図15Aに示すように、例えば青色
(B)に対応する画素を含むライン(行)で且つ垂直方
向に3つ置きのライン毎の画素(受光部32)の信号電
荷を垂直CCDレジスタ34へ読み出す。次に、図15
Bに示すように、垂直CCDレジスタ34へ読み出され
た信号電荷を1パケット分垂直転送する。
【0096】次に、図15Cに示すように、赤色(R)
に対応する画素を含むラインで且つ垂直方向に3つ置き
のライン毎の画素(受光部32)の信号電荷を垂直CC
Dレジスタ34へ読み出す。これにより、垂直方向の画
素の間引きができ、垂直CCDレジスタ34では、信号
電荷が蓄積したパケットと信号電荷が蓄積しない空パケ
ットが交互に配列された状態となり、以後順次垂直転送
される。なお、垂直画素の間引きとしては、その他、垂
直加算方法も可能である。
【0097】色フィルタとして、水平2画素かつ垂直2
画素周期の色フィルタ(ベイヤー配列)を用いるとき
は、サンプル数を水平、垂直共に1/2にすることがで
きる。この場合、通常の1フレーム期間に4フレームの
画像が出力できる。
【0098】図16は、本発明の他の実施の形態を示
す。本実施の形態は、図1と同様のインターライントラ
ンスファ型のCCD固体撮像素子に適用した場合であ
り、図16は図1における垂直CCDレジスタの延長部
と水平CCDレジスタの一部に対応した構成部分を示
す。色フィルタとしては図2の色フィルタを用いた例で
ある。
【0099】本実施の形態に係るカラーCCD固体撮像
素子51においては、図16に示すように、垂直CCD
レジスタ34及び水平CCDレジスタ36が前述と同様
に1層目の多結晶シリコン層と2層目の多結晶シリコン
層とからなる2層電極構造で形成されると共に、垂直C
CDレジスタ34の延長部34Aに一定の列毎に電極位
置が互い違いに入れ替え2つの転送電極52〔52A,
52B〕を有した転送ゲート部54が設けられて成る。
【0100】垂直CCDレジスタ34では、1層目の多
結晶シリコン層(破線図示)による転送電極41と、2
層目の多結晶シリコン層(実線図示)による転送電極4
2とが、電荷転送方向に交互に配列され、3相駆動形成
がとられる。即ち第1の転送電極56に駆動パルスφV
1 が、第2の転送電極57に駆動パルスφV2 が、第3
の転送電極58に駆動パルスφV3 が夫々印加される。
【0101】一方、垂直CCDレジスタ34の延長部3
4Aにおける最終段に配された転送ゲート部54におい
ては、垂直CCDレジスタ34の4列〔1〕,〔2〕,
〔3〕,〔4〕を1周期として隣り合う2列(即ち垂直
CCDレジスタ〔1〕,〔2〕)と他の2列(即ち垂直
CCDレジスタ〔3〕,〔4〕)との夫々の転送電極5
2A,52Bが電荷転送方向に関して逆となるように配
置され、夫々の転送電極52A及び52Bに2相の駆動
パルスφVA 及びφVB が印加される。
【0102】なお、これら2つの転送電極52A及び5
2Bからなる転送部は、図示しないが夫々ポテンシャル
差を設けた2つの部分から構成され、水平CCDレジス
タ側の部分のポテンシャルが深く、反対側の部分のポテ
ンシャルが浅くなるように構成される。ポテンシャル差
を設ける方法としては、従来、公知の方法、例えば不純
物濃度を変える方法、転送電極下のゲート絶縁膜の厚さ
に差をつける方法等を採ることができる。
【0103】転送ゲート部54と水平CCDレジスタ3
6との間には、固定電圧VDCが印加されるゲート電極5
3を有する読み出しゲート部55が設けられる。この固
定電圧VDCの変わりにパルス状の電圧を印加してもよ
い。
【0104】水平CCDレジスタは図3と同様であるの
で対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略す
る。63はチャネルストップ領域である。
【0105】各転送電極に印加する駆動パルスφV1
φV2 ,φV3 ,φVA ,φVB ,φH1 ,φH2 のタ
イミングチャートを図17に示す。この図17では、2
つの垂直転送期間V1 ,V2 と2つの水平CCDレジス
タでの電荷混合期間HM1 ,HM2 とを有する。それ以
外の期間は水平CCDレジスタ36で転送が行われる水
平走査期間Hとなっている。
【0106】次に、図18〜図21を用いて本実施の形
態のカラーCCD固体撮像素子51の動作を説明する。
なお、色フィルタ40に対応した画素G11,R12
13,R14,‥‥‥,G21,B22,G23,B24,‥‥に
おける信号電荷を、同様にG11,R12,G13,R14‥‥
‥,G21,B22,G23,B24,‥‥‥の記号で表わす。
また、図18〜図21においてPV は垂直CCDレジス
タのパケット、PABはA領域・B領域のパケット(斜線
図示)、PH は水平CCDレジスタのパケットを示す。
【0107】先ず、図17のタイミングにおいて、第1
回目の垂直転送期間V1 が終了した後の時刻t11では、
信号電荷は垂直CCDレジスタ34のφV2 が印加され
る領域に蓄積されると共に、転送ゲート部54の前段の
パケット、すなわちφVA が印加されるA領域及びφV
B が印加されるB領域にそれぞれ1行目の信号電荷
11,R12,G13,R14,G15,R16,G17,R18が転
送され蓄積される(図18A参照)。
【0108】次に、時刻t12において、φVA が高レベ
ルを維持し、φVB が低レベルとなることによって、4
列〔1〕,〔2〕,〔3〕,〔4〕を1周期としたとき
の第3列及び第4列の垂直CCDレジスタ〔3〕,
〔4〕の信号電荷G13,R14,G17,R18が後段のA領
域に転送される(図18B参照)。
【0109】次に時刻t13において、φVA が低レベル
に、φVB が高レベルになることによって、第1列及び
第2列の垂直CCDレジスタ〔1〕,〔2〕の信号電荷
11,R12,G15,R16が転送ゲート部54の後段のB
領域に転送され、第3列及び第4列の垂直CCDレジス
タ〔3〕,〔4〕の信号電荷G13,R14,G17,R18
水平CCDレジスタ36へ転送される(図10C参
照)。
【0110】次に、時刻t14において、水平CCDレジ
スタ46に転送された信号電荷G13,R14,G17,R18
を水平方向に2パット分転送する(図19D参照)。
【0111】次に、時刻t15においてφVA を高レベル
にし、φVB を低レベルにすることによって、第1列及
び第2列の垂直CCDレジスタ〔1〕,〔2〕の信号電
荷G11,R12,G15,R16が水平CCDレジスタ36へ
転送され、水平CCDレジスタ36内に信号電荷G11
13、信号電荷R12とR14、信号電荷G15とG17、信号
電荷R16,R18が夫々加算される(図19E参照)。
【0112】次に、第2回目の垂直転送期間V2 におい
て垂直転送が行われ期間V2 後の時刻t21において2行
目の信号電荷G21,B22,G23,B24,G25,B26,G
27,B28が夫々転送ゲート部54の前段のA領域、B領
域に蓄積される(図20F参照)。
【0113】そして、時刻t22〜t25で、前述の時刻t
12〜t15と同様の動作が行われ、2行目の信号電荷G21
とG23、信号電荷B22とB24、信号電荷G25とG27、信
号電荷B25とB28が夫々水平CCDレジスタ内で加算さ
れる(図20G〜図21J参照)。
【0114】水平CCDレジスタ36では空きパケット
がない状態となり、2画素離れた列同士の信号電荷が加
算合成されると共に、水平CCDレジスタ36内で2列
毎に1行目の加算電荷と2行目の加算電荷が交互に配列
された形となる。従って、水平CCDレジスタから、合
成信号G11+G13,R12+R14,G21+G23,B22+B
24,G15+G17,R16+R18,G25+G27,B26
28,‥‥‥の順に出力される。
【0115】これにより、1回の水平走査で2行分の信
号が得られ、水平CCDレジスタの駆動周波数が一定の
場合には、前述の実施の形態と同様に約2倍のフレーム
レートが得られる。
【0116】この実施の形態においても、レジスタの転
送電極を2相電極構造として水平方向に2画素離れた信
号電荷同士を加算混合することができ、水平方向のデー
タレートを1/2に削減することができる。その他、前
述の実施の形態と同様の効果を奏する。即ち、水平方向
に2画素周期の色フィルタを用いるため、各々の行の画
素の偶数列同士、奇数列同士が同一色のフィルタであ
り、混合しても色の混合が発生しない。また、j行目の
信号電荷を水平CCDレジスタで加算混合したときに発
生する空パケットに、j+1行目の信号電荷を転送し混
合するため、j行目とj+1行目の信号電荷で色が混合
されることもない。即ち、色が混合されることなく水平
方向のデータレートを削減できる。
【0117】空パケットをj+1行目の信号電荷で埋め
ることから水平CCDレジスタのパケットが有効利用で
き、データ数と水平転送パルスの比をほぼ一定にできる
上に、信号電荷を捨てないで済み、全ての信号電荷を利
用できる。2つの画素の信号電荷を加算するため、加算
を行わない場合と比較して感度が向上する。撮像領域の
画素全体の信号に対して合成を行えるため、水平方向の
データ数を1/2にしても画角が変わらない。垂直画素
間引き(垂直画素加算を含む)と、本実施の形態の水平
画素加算を組み合わせれば、垂直、水平共にデータ数の
削減が可能になる。
【0118】尚、水平方向のデータ数を削減しない、通
常のCCD固体撮像装置と同じ出力信号を得るために
は、図17のタイミングにおいて、時刻t13〜t14間の
水平転送パルスφH1 ,φH2 を除去し、かつ時刻t15
の後の第2回目の垂直転送期間V2 、及び第2回目の水
平CCDレジスタ混合期間HM2 (時刻t21〜t25を含
む)とを削除して、すぐ次の水平走査期間となるように
すればよい。
【0119】本発明は、インターライントランスファ型
又はフレームインターライントランスファ型の他、受光
機能を持つ垂直CCDレジスタを画素とするフレームト
ランスファ型の固体撮像素子及びこの撮像素子を用いた
固体撮像装置にも適用できる。
【0120】上述の構成の固体撮像装置及びその駆動方
法を用いた本発明に係る撮像カメラの実施の形態の概略
構成図を図22に示す。
【0121】図22において、被写体からの入射光はレ
ンズ61を含む光学系によってCCD固体撮像素子62
の撮像面上に結像される。固体撮像素子62としては、
図2又は図16に示した構成と同様の固体撮像素子31
又は51が用いられる。この固体撮像素子62は駆動系
63によって前述した駆動方法に基づき駆動される。そ
して、固体撮像素子62の出力信号は、信号処理系64
で種々の信号処理が施されて映像信号となる。
【0122】そして、上記構成の撮像カメラにおいて、
同じ行の互に離れた画素の信号電荷を水平CCDレジス
タ内で加算混合し、混合後の信号電荷を水平転送する高
速動作のモードと、通常の撮像モードを切換え可能とす
ることにより、電子ファインダでの観測時には高速動作
のモードで受光量の変化に高速に対応して高い動解像度
の画像を得ることができ、一方、撮影時には通常の撮像
モードで静止画の解像度を高くすることができる。
【0123】本発明の固体撮像装置の駆動方法、固体撮
像装置、固体撮像素子、並びに撮像カメラは、上述の実
施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸
脱しない範囲でその他様々な構成が取り得る。
【0124】
【発明の効果】本発明の固体撮像装置の駆動方法によれ
ば、2層電極構造の転送電極を用いた固体撮像素子にお
いて、水平方向に互に離れた画素の信号電荷同士を加算
混合することができ、水平方向のデータレートを削減す
ることができる。これにより固体撮像装置を高速に動作
させることができる。
【0125】1の行の信号電荷を水平レジスタで加算混
合したときに発生する水平レジスタの空パケットに、次
の行の加算混合した信号電荷で埋めることから、水平レ
ジスタのパケットが有効に利用でき、データ数と水平転
送パルス数の比をほぼ一定にできる上に、信号電荷を捨
てないで済む。
【0126】撮像領域の画素全体の信号に対して合成を
行えるため、水平方向のデータ数を削減しても画角が変
わらない。
【0127】カラー用固体撮像装置においては、同じ行
の互に離れた同色の画素の信号電荷を水平レジスタ内で
加算混合できるので、色の混合が発生しない。従って、
色の混合を生じることなく水平方向のデータレートを削
減できる。
【0128】垂直レジスタの転送数が異なる領域部と、
垂直レジスタのそれ以外の領域に、共通の駆動パルスを
印加するときは、固体撮像装置における端子数及び駆動
パルス数を少なくすることができる。
【0129】垂直レジスタの転送数が異なる領域部と、
垂直レジスタのそれ以外の領域に、夫々独立の駆動パル
スを印加するときは、垂直レジスタのパケットの転送回
数を少なくすることができる。また、垂直レジスタに空
きパケットを作らない読み出し法、あるいは垂直レジス
タに空きパケットを作る読み出し法等、読み出し法の自
由度を増すことができる。
【0130】本発明の固体撮像装置によれば、1行の画
素の信号を順次出力する第1の動作と、異なる行の合成
信号を周期的に順次出力する第2の動作を行う構成とす
ることにより、全画素の信号を出力する通常の撮像モー
ドの画像と、水平加算による高速の撮像モードの画像と
を選択的に得ることができる。第1の動作では、1行の
画素の信号を順次出力するので、従来と同様の通常動作
とすることができる。
【0131】また、本発明の固体撮像装置によれば、異
なる行の信号を周期的に順次出力する第1の動作と、異
なる行の合成信号を周期的に順次出力する第2の動作を
行う構成とすることにより、全画素の信号を出力する通
常の撮像モードの画像と、水平加算による高速の撮像モ
ードの画像を選択的に得ることができる。
【0132】本発明の固体撮像素子によれば、垂直レジ
スタのパケット数が垂直レジスタ列に関して周期的に異
なる領域部を有することにより、垂直レジスタ列の1周
期内で順番に信号電荷を水平レジスタへ転送することが
でき、この間に水平レジスタを動作させて先に転送した
信号電荷と後に転送した信号電荷を水平レジスタ内で混
合することができる。
【0133】垂直レジスタの領域部のパケット数が垂直
レジスタの複数列毎に異ならすときは、カラー固体撮像
素子において、同色の信号電荷同士の加算混合ができ、
混色が生じることがない。
【0134】垂直レジスタの4列を1周期として、垂直
レジスタの領域部のパケット数が2列毎に異ならすとき
は、水平方向に2画素離れた信号電荷同士を加算混合す
ることができ、水平方向のデータレートを1/2に削減
できる。また、水平方向も2画素周期の色フィルタを適
用することにより、混色を生ずることなく水平画素が加
算出来る。
【0135】本発明の固体撮像素子は、垂直レジスタの
転送電極を2層電極構造で形成することができる。
【0136】本発明の固体撮像素子において、一方の垂
直レジスタの1パケットを構成する複数の転送電極を、
隣接する他方の垂直レジスタの2パケットを構成する2
倍の数の転送電極のうちの前段と後段に配された夫々対
応する同一駆動パルスが印加される転送電極に主接続
し、上記他方の垂直レジスタの2パケットを構成する転
送電極のうちの残りの中段の複数の転送電極を夫々対応
する同一の駆動パルスが印加される上記主接続された転
送電極に従接続することにより、垂直レジスタの転送電
極を2層電極構造で形成することを可能にする。
【0137】本発明の固体撮像素子によれば、垂直レジ
スタの転送電極を2層電極構造とし、転送ゲート部にお
いて、第1相及び第2相の転送電極が、垂直レジスタの
一定の列毎に互に違いに配置されていることにより、垂
直レジスタの一定の列単位毎に順番に信号電荷を水平レ
ジスタへ転送することができ、この間に水平レジスタを
動作させて順番に転送した信号電荷を水平レジスタ内で
加算混合することができる。
【0138】本発明の撮像カメラによれば、垂直レジス
タのパケット数が垂直レジスタ列に関して周期的に異な
る領域部を有する固体撮像素子を備え、同一行の互に離
れた画素の信号電荷を水平レジスタ内で加算し、加算後
の信号電荷を水平転送する動作モードと、通常の動作モ
ードを切換え可能に構成することにより、例えば電子フ
ァインダでの観測時には高速動作のモードで高い動解像
度の画像を得ることができ、一方撮像時には通常の撮像
モードで例えば静止画の解像度を高くすることができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るCCD固体撮像素子の概略構成図
である。
【図2】図1のCCD固体撮像素子に用いられる色フィ
ルタの平面図である。
【図3】図1のCCD固体撮像素子における垂直CCD
レジスタと水平CCDレジスタの一実施の形態を示す要
部の平面図である。
【図4】図3のCCD固体撮像素子で通常動作1を行う
ための各種転送電極に印加する駆動パルス波形及びタイ
ミングを示すタイミングチャートである。
【図5】図3のCCD固体撮像素子で通常動作2を行う
ための各転送電極に印加する駆動パルス波形及びタイミ
ングを示すタイミングチャートである。
【図6】A〜B 通常動作1を示す動作図である。
【図7】A〜C 動作2を示す動作図である。
【図8】図3のCCD固体撮像素子で水平加算動作1を
行うための各種転送電極に印加する駆動パルス波形及び
タイミングを示すタイミングチャートである。
【図9】図3のCCD固体撮像素子で水平加算動作2を
行うための各転送電極に印加する駆動パルス波形及びタ
イミングを示すタイミングチャートである。
【図10】A〜B 水平加算動作1を示す動作図(その
1)である。
【図11】C〜D 水平加算動作1を示す動作図(その
2)である。
【図12】E〜G 水平加算動作1を示す動作図(その
3)である。
【図13】A〜C 水平加算動作2を示す動作図(その
1)である。
【図14】D〜F 水平加算動作2を示す動作図(その
2)である。
【図15】A〜C 垂直画素間引きの一例を示す動作図
である。
【図16】本発明に係るCCD固体撮像素子の他の実施
の形態を示す要部の平面図である。
【図17】図16のCCD固体撮像素子の各転送電極に
印加する駆動パルス波形及びタイミングを示すタイミン
グチャートである。
【図18】A〜B 図16のCCD固体撮像素子におけ
る水平加算を示す動作図(その1)である。
【図19】C〜E 図16のCCD固体撮像素子におけ
る水平加算を示す動作図(その2)である。
【図20】F〜H 図16のCCD固体撮像素子におけ
る水平加算を示す動作図(その3)である。
【図21】I〜J 図16のCCD固体撮像素子におけ
る水平加算を示す動作図(その4)である。
【図22】本発明の撮像カメラの一実施の形態の概略構
成図(ブロック図)である。
【図23】比較例に係るCCD固体撮像素子の概略構成
図である。
【図24】図23のCCD固体撮像素子における垂直C
CDレジスタと水平CCDレジスタの要部の平面図であ
る。
【符号の説明】
31‥‥CCD固体撮像素子、32‥‥フォトダイオー
ド(受光部)、33‥‥読み出しゲート部、34‥‥垂
直CCDレジスタ、34A‥‥延長部、36‥‥水平C
CDレジスタ、37‥‥電荷検出アンプ、G1 〜G4
‥転送電極、g1 〜g4 ,g1 ′〜g4 ′‥‥転送電
極、47,48‥‥配線、φV1 〜φV4,φV1 ′〜
φV4 ′‥‥4相の垂直駆動パルス、φV1 ,〜φV3
‥‥3相の垂直駆動パルス、φH1 ,φH2 ‥‥水平駆
動パルス、56,57,58‥‥転送電極、52A,5
2B‥‥転送電極、54‥‥転送ゲート部
フロントページの続き Fターム(参考) 4M118 AA10 AB01 BA12 BA13 CA02 DA18 DB01 DB06 DB07 DB08 FA06 FA26 FA38 FA43 GC08 GC14 GC15 5C024 AA01 BA01 CA11 CA16 DA05 FA01 FA11 GA15 GA16 GA17 GA48 JA21

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 受光蓄積部と垂直レジスタ、または受光
    機能を有する垂直レジスタを備えてなる画素と、水平レ
    ジスタを有する2次元配列の固体撮像装置の駆動方法で
    あって、 前記垂直レジスタ内での転送数が垂直レジスタ列に関し
    て周期的に異なるように電荷転送を行い、 同一行の互に離れた画素の信号電荷を順番に前記垂直レ
    ジスタから前記水平レジスタへ転送し、 先に前記水平レジスタへ転送した画素の信号電荷を水平
    レジスタ内で転送した後、後から前記水平レジスタへ転
    送した画素の信号電荷を加算することを特徴とする固体
    撮像装置の駆動方法。
  2. 【請求項2】 さらに、他の同一行の互に離れた画素の
    信号電荷を順番に前記垂直レジスタから前記水平レジス
    タへ転送し、 先に前記水平レジスタへ転送した画素の信号電荷を水平
    レジスタ内で転送した後、後から前記水平レジスタへ転
    送した画素の信号電荷と加算し、 前記水平レジスタから異なる行の加算電荷を周期的に順
    次出力することを特徴とする請求項1に記載の固体撮像
    装置の駆動方法。
  3. 【請求項3】 前記垂直レジスタの転送数が異なる領域
    部と、前記垂直レジスタの該領域部以外の領域に、共通
    の駆動パルスを印加することを特徴とする請求項1に記
    載の固体撮像装置の駆動方法。
  4. 【請求項4】 前記垂直レジスタの転送数が異なる領域
    部と、前記垂直レジスタの該領域部以外の領域に、夫々
    独立の駆動パルスを印加することを特徴とする請求項1
    に記載の固体撮像装置の駆動方法。
  5. 【請求項5】 固体撮像素子から1行の画素の信号を順
    次出力する第1の動作と、 同一行の画素の信号を水平方向に加算して合成信号を
    得、前記固体撮像素子から異なる行の合成信号を周期的
    に順次出力する第2の動作を行うことを特徴とする固体
    撮像装置。
  6. 【請求項6】 前記第2の動作は、隣接する2行の合成
    信号を所定の周期で交互に出力する動作であることを特
    徴とする請求項5に記載の固体撮像装置。
  7. 【請求項7】 固体撮像素子から異なる行の信号を周期
    的に順次出力する第1の動作と、 同一行の画素の信号を水平方向に加算して合成信号を
    得、前記固体撮像素子から異なる行の合成信号を周期的
    に順次出力する第2の動作を行うことを特徴とする固体
    撮像装置。
  8. 【請求項8】 前記第1の動作は、隣接する2行の信号
    を所定の周期で交互に出力する動作であり、 前記第2の動作は、隣接する2行の夫々の合成信号を所
    定の周期で交互に出力する動作であることを特徴とする
    請求項7に記載の固体撮像装置。
  9. 【請求項9】 受光蓄積部と垂直レジスタ、または受光
    機能を有する垂直レジスタを備えてなる画素と、水平レ
    ジスタを有する2次元配列の固体撮像素子であって、 前記垂直レジスタのパケット数が垂直レジスタ列に関し
    て周期的に異なる領域部を有して成ることを特徴とする
    固体撮像素子。
  10. 【請求項10】 前記垂直レジスタの領域部のパケット
    数が前記垂直レジスタの複数列毎に異なることを特徴と
    する請求項9に記載の固体撮像素子。
  11. 【請求項11】 前記垂直レジスタ4列を1周期とし
    て、前記垂直をレジスタの領域部のパケット数が2列毎
    に異なることを特徴とする請求項9に記載の固体撮像素
    子。
  12. 【請求項12】 前記垂直レジスタの転送電極が2層電
    極構造で形成されて成ることを特徴とする請求項9に記
    載の固体撮像素子。
  13. 【請求項13】 前記領域部のパケット数を異にした隣
    接する垂直レジスタ間において、 一方の垂直レジスタのn個のパケット(nは整数)に対
    して他方の垂直レジスタのn+1個のパケットが対向
    し、 一方の垂直レジスタの1パケットを構成する複数の転送
    電極が、夫々対応する他方の垂直レジスタの2パケット
    を構成する2倍の数の転送電極のうちの前段と後段に配
    された同一駆動パルスが印加される転送電極に主接続さ
    れ、 前記他方の垂直レジスタの2パケットを構成する上記転
    送電極のうちの残りの中段の複数の転送電極が、夫々対
    応する同一の駆動パルスが印加される上記主接続された
    転送電極に従接続されて成ることを特徴とする請求項1
    2に記載の固体撮像素子。
  14. 【請求項14】 受光蓄積部と垂直レジスタ、または受
    光機能を有する垂直レジスタを備えてなる画素と、水平
    レジスタを有する2次元配列の固体撮像素子であって、 前記垂直レジスタと前記水平レジスタとの間に転送ゲー
    ト部を有し、 前記転送ゲート部において、第1相及び第2相の転送電
    極が、前記垂直レジスタの一定の列毎に互い違いに配置
    され、 前記垂直レジスタの転送電極及び前記転送ゲート部の転
    送電極が2層電極構造で形成されて成ることを特徴とす
    る固体撮像素子。
  15. 【請求項15】 受光蓄積部と垂直レジスタ、または受
    光機能を有する垂直レジスタを備えてなる画素と、水平
    レジスタを有し、前記垂直レジスタのパケット数が垂直
    レジスタ列に関して周期的に異なる領域部が設けられた
    2次元配列の固体撮像素子を備え、 同一行の互に離れた画素の信号電荷を水平レジスタ内で
    加算し、加算後の信号電荷を水平転送する動作モード
    と、 通常の動作モードとを切替え可能にして成ることを特徴
    とする撮像カメラ。
  16. 【請求項16】 前記通常の動作モードは、異なる行の
    信号電荷を周期的に順次に出力する動作モードであるこ
    とを特徴とする請求項15に記載の撮像カメラ。
  17. 【請求項17】 前記通常の動作モードは1行の信号電
    荷を順次出力する動作モードであることを特徴とする請
    求項15に記載の撮像カメラ。
JP10284367A 1998-10-06 1998-10-06 固体撮像装置の駆動方法、固体撮像装置、固体撮像素子、並びに撮像カメラ Pending JP2000115643A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10284367A JP2000115643A (ja) 1998-10-06 1998-10-06 固体撮像装置の駆動方法、固体撮像装置、固体撮像素子、並びに撮像カメラ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10284367A JP2000115643A (ja) 1998-10-06 1998-10-06 固体撮像装置の駆動方法、固体撮像装置、固体撮像素子、並びに撮像カメラ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000115643A true JP2000115643A (ja) 2000-04-21

Family

ID=17677672

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10284367A Pending JP2000115643A (ja) 1998-10-06 1998-10-06 固体撮像装置の駆動方法、固体撮像装置、固体撮像素子、並びに撮像カメラ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000115643A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005166725A (ja) * 2003-11-28 2005-06-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 固体撮像素子、固体撮像装置及びカメラ
JP2005354656A (ja) * 2003-10-24 2005-12-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 画素配列装置、固体撮像装置及びカメラ
US7148524B2 (en) 2003-07-15 2006-12-12 Sharp Kabushiki Kaisha Solid-state imaging device and method for driving the same
JP2007134774A (ja) * 2005-11-08 2007-05-31 Fujifilm Corp 固体撮像素子の駆動方法
CN100459661C (zh) * 2004-01-30 2009-02-04 佳能株式会社 摄像装置及其控制方法

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7148524B2 (en) 2003-07-15 2006-12-12 Sharp Kabushiki Kaisha Solid-state imaging device and method for driving the same
CN100440527C (zh) * 2003-07-15 2008-12-03 夏普株式会社 固态成像器件及其驱动方法
JP2005354656A (ja) * 2003-10-24 2005-12-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 画素配列装置、固体撮像装置及びカメラ
JP4537825B2 (ja) * 2003-10-24 2010-09-08 パナソニック株式会社 画素配列装置、固体撮像装置及びカメラ
JP2005166725A (ja) * 2003-11-28 2005-06-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 固体撮像素子、固体撮像装置及びカメラ
JP4658470B2 (ja) * 2003-11-28 2011-03-23 パナソニック株式会社 固体撮像素子、固体撮像装置及びカメラ
CN100459661C (zh) * 2004-01-30 2009-02-04 佳能株式会社 摄像装置及其控制方法
US7760257B2 (en) 2004-01-30 2010-07-20 Canon Kabushiki Kaisha Image capturing apparatus, control method and program thereof, and storage medium
JP2007134774A (ja) * 2005-11-08 2007-05-31 Fujifilm Corp 固体撮像素子の駆動方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3906496B2 (ja) 固体撮像装置およびその駆動方法、並びにカメラ
JP3800673B2 (ja) 固体撮像装置およびその駆動方法
JPH11234569A (ja) 固体撮像装置の駆動方法及び固体撮像素子、並びにカメラ
JPH0522668A (ja) 固体撮像装置
JP3854662B2 (ja) 撮像装置
JP3102557B2 (ja) 固体撮像素子およびその駆動方法
JP4078741B2 (ja) 固体撮像装置およびその駆動方法並びにカメラシステム
JP2005039561A (ja) 固体撮像装置およびその駆動方法
JP3459738B2 (ja) 撮像装置
JP2000115643A (ja) 固体撮像装置の駆動方法、固体撮像装置、固体撮像素子、並びに撮像カメラ
JPH11146408A (ja) 固体撮像装置及びその電荷読み出し方法
JP3948042B2 (ja) カメラシステム、撮像装置および撮像方法
JP4321620B2 (ja) 固体撮像装置および固体撮像装置の駆動方法
JP2799003B2 (ja) 固体撮像素子の駆動方式
JP2005191943A (ja) 固体撮像装置およびこれを備えたカメラ
JPH10200819A (ja) 固体撮像装置およびその駆動方法並びにカメラ
JP2966740B2 (ja) 固体撮像素子及びその駆動方法
JP2001145025A (ja) 固体撮像装置およびその駆動方法
JPH0723294A (ja) 固体撮像装置
JP2666398B2 (ja) 固体撮像素子及びその駆動方法
JP3392607B2 (ja) 固体撮像素子の駆動方法
JPH09312849A (ja) 固体撮像装置
JP3948456B2 (ja) 固体撮像素子および固体撮像素子の制御方法
JPH10336510A (ja) 固体撮像装置
JP2614263B2 (ja) 固体撮像素子カメラ