JPH11154788A - 多層プリント配線板の製造方法 - Google Patents

多層プリント配線板の製造方法

Info

Publication number
JPH11154788A
JPH11154788A JP9319964A JP31996497A JPH11154788A JP H11154788 A JPH11154788 A JP H11154788A JP 9319964 A JP9319964 A JP 9319964A JP 31996497 A JP31996497 A JP 31996497A JP H11154788 A JPH11154788 A JP H11154788A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrates
wiring board
substrate
printed wiring
copper
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP9319964A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3001485B2 (ja
Inventor
Yoshiaki Horii
良晃 堀井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Toppan Circuit Solutions Toyama Inc
Original Assignee
NEC Toppan Circuit Solutions Toyama Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Toppan Circuit Solutions Toyama Inc filed Critical NEC Toppan Circuit Solutions Toyama Inc
Priority to JP9319964A priority Critical patent/JP3001485B2/ja
Publication of JPH11154788A publication Critical patent/JPH11154788A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3001485B2 publication Critical patent/JP3001485B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23FNON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/10Etching compositions
    • C23F1/14Aqueous compositions
    • C23F1/16Acidic compositions
    • C23F1/18Acidic compositions for etching copper or alloys thereof

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】厚さ等の異なる銅箔を有する基板を使用した生
産性の高い多層プリント配線板の製造方法を提供する。 【解決手段】厚さが異なる銅箔3,4を有する両面銅張
りの基板1,2の銅箔4同士を銅箔4上に化学析出した
粘着性の粘着性有機被膜層20を介して圧着し、次いで
基板1,2の側面と周囲をアルカリ溶解型のマスキング
テープ5と、基板の表面をドライフィルム6で被覆し、
内層の回路9,10をエッチングで形成後、マスキング
テープ5とエッチングレジスト8を同時にアルカリ性剥
離液で除去し、分離した基板1a,基板2aを積層し、
多層化する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、多層プリント配線
板の製造方法に関し、特に金属箔の厚さや種類の異なる
導体層を有する金属箔張り内層材を使用した多層プリン
ト配線板の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】電子装置の高機能化に伴い、これらの電
子装置に使用されるプリント配線板においても、高密度
化、複雑化パターン対応が要求され、両面や内層の銅箔
の厚さが異なるプリント配線板が製造されるようになっ
ている。
【0003】従来、両面の銅箔の厚さが異なる両面銅張
り基板を使用したプリント配線板の製造技術が、特開昭
60−218486号公報に開示されている。この技術
によれば、図4の如く、厚さの異なる銅箔3,4を有す
る銅張りの基板1の両面にエッチングレジスト8のパタ
ーンを形成した2枚の基板1を同じ厚さの銅箔4を外側
にして重ね合わせる。この重ね合わせた基板をエッチン
グし、銅箔4のエッチングレジスト非被覆部をエッチン
グ後、2枚の基板を分離する。次いで、2枚の基板1を
銅箔4を内側にして重ね、同様にエッチング後、もとの
2枚にもどして変則両面板が得られる。上記の技術にお
ける基板の重ね合わせる方法としては、位置合わせ用ガ
イド穴等を使用してピン止めするか、テープ止めが使用
される。また、エッチング液の浸入が無視できないよう
な極薄銅箔のような場合には、重ねた基板の周辺をすべ
てテープ等でシールしエッチング液の浸入を防ぐように
される。
【0004】上記技術では、2枚の基板を重ね合わせる
方法として、ガイド穴を使用してピン止めする方法や重
ねた基板の周辺をテープ止めする方法が使用されている
が、特開昭62−247596号公報に開示された両面
テープで2枚の基板の周端部を張り合わせる方法も使用
される。
【0005】この技術について図5を参照して説明す
る。図5(a)は2枚の基板の周端部を両面テープで張
り合わせる場合の基板の構成斜視図であり、図5(b)
は、2枚の基板を張り合わせた後の基板の断面拡大図で
ある。まず、2枚の銅張り基板1の同じ厚さの銅箔4面
側を対向させ(図5(a))、次いで両面テープ12で
張り合わせ、図5(b)の如く2枚の基板は両面テープ
12で接着一体化する。次いで、銅箔3面を整面、ラミ
ネート、露光、現像、エッチング等の処理を行った後、
有機溶剤等で両面テープ12を溶解させ、2枚の基板を
分離する。一般にこの両面テープを使用した方法では、
銅箔4面は回路形成や酸化処理(積層前処理)等を行わ
ない面である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来技術におい
ては、基板の板端をテープ等でシールするため、もとの
2枚にするための剥離作業がおこなわれるので、作業工
教が増加して非効率的である。しかもプリント配線板の
薄板化が進むほど基板の板端のテ ー プの剥離が困難
で、その剥離の際に、基板の割れ等の不具合は発生しや
すい問題点があった。
【0007】上記の両面テープで2枚の基板を貼り合わ
せる方法では、処理液が両面テープと基板界面に浸入
し、基板表面を酸化させる不具合が発生し、また処理後
の両面テープ剥離には有機溶剤が必要であり、作業環境
面や製造コスト面で問題があった。
【0008】本発明は上記の従来の問題点を解決した多
層プリント配線板の製造方法を提供することを目的とす
る。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の多層プリント配
線板の製造方法は、厚さが異なる銅箔を両面に有する2
枚の両面銅張り基板の片面の同じ厚さの銅箔面に粘着性
有機被膜を化学析出し、前記2枚の銅張りの基板を前記
粘着性有機被膜を介して圧着する工程と、前記圧着した
基板の表面と側面にアルカリ現像型の感光性レジストで
エッチングレジストを形成してエッチングし前記圧着し
た基板の両面に回路を形成する工程と、前記圧着した基
板をアルカリ性の剥離液に浸漬して前記エッチングレジ
ストを除去すると工程と、前記圧着した基板を酸性水溶
液に浸漬して分離する工程と、前記分離した2枚の基板
を前記回路面を内側にプリプレグを介し積層する工程を
含むことを特徴とする。
【0010】本発明における前記粘着性有機被膜層は2
枚の基板の圧着固定し、以降の工程をあたかも1枚の基
板を処理する如くできるばかりでなく、圧着した基板の
間に異物が混入するのを防止し、また、粘着性有機被膜
は感光性レジストの現像中にアルカリ現像液が圧着した
基板間に万一浸入しても銅箔の表面を保護する作用があ
る。
【0011】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を参照して説明する。図1は本発明の第1の実施の形態
の多層プリント配線板の製造方法の工程順を説明するた
めの基板要部の断面図である。
【0012】まず厚さが異なる銅箔3と銅箔4を両面に
有する両面銅張りの基板1と基板2の銅箔4面に粘着性
有機被膜20を化学析出する(図1(a))。なお、基
板1,2の銅箔3としては、厚さ35μmや70μmの
銅箔を使用することができ、また銅箔4としては、厚さ
18μmの銅箔が使用できる。
【0013】次いで、基板1、2の銅箔4面同士を粘着
性有機被膜20層を介して圧着し、図1(b)の如く、
マスキングテープ5を基板1,2端から3〜10mmと
基板1,2の側面を覆うように貼り付ける。上記の粘着
性有機被膜20は、銅箔面をイミダゾール系化合物含有
水溶液に接触させることによって化学析出し、その好ま
しい膜厚は1〜5μmである。この粘着性有機被膜層2
0の剥離は有機溶剤を使用する必要はなく、酸水溶液等
で容易に剥離でき、また機械的にも基板1,2上のお互
いの粘着性有機被膜20の界面から容易に分離すること
ができる。
【0014】マスキングテープ5としては、アクリル系
樹脂、アルデヒド系樹脂、フェノール系樹脂、カルボン
酸系樹脂等の厚さ20〜50μmの強アルカリ溶解型の
感光性樹脂テープが使用できる。このマスキングテープ
5は2重量%程度の濃度の炭酸ソーダ、メタケイ酸ソー
ダ等の水溶液の現像液には耐性を有し、2〜5重量%の
水酸化ナトリウム等の強アルカリ性の剥離液で剥離でき
る。なお、マスキングテープ5は100〜130℃のヒ
ートロールにより基板に熱圧着する。次に、10〜20
重量%の硫酸と0.2〜1重量%の過酸化水素含有のソ
フトエッチング液により基板1,2の銅箔3の表面を表
面処理を施した後、マスキングテープ5に重ならないよ
うに感光性のドライフィルム6をラミネートする(図1
(c))。
【0015】更に、図1(d)の如くマスキングテープ
5も露光できる内層パターンのマスクフィルム7を基板
1,2の両面に合わせ、紫外線をドライフィルム6に照
射して露光後、0.8〜1.2重量%の炭酸ナトリウム
水溶液等の現像液で未露光部のドライフィルム6を除去
してエッチングレジスト8を得る(図1(e))。
【0016】次いで、図1(f)の如く露出した銅箔3
を温度40〜60℃の5〜15重量%の塩酸、2〜10
重量%の過酸化水素を含む塩化第二銅水溶液または、塩
化第二鉄水溶液のエッチング液でエッチングして除去
後、2〜5重量%の水酸化ナトリウム水溶液等のアルカ
リ性剥離液でエッチングレジスト8とマスキングテープ
5を同時に除去し、次いで銅箔4面同士を分離し、片面
に回路9,回路10がそれぞれ形成された基板1a,基
板2aを得る(図1(g)。この分離は銅箔4上の粘着
性有機被膜層20を5〜10重量%濃度の塩酸や硫酸溶
液で溶解させる方法や基板1,2の銅箔上のお互いの粘
着性有機被膜層20の界面を機械的に分離させる方法に
よって行うことができる。
【0017】これらの基板1a,基板2aを回路9,1
0を内側にしてプリプレグを介して積層し、通常技術を
使用して穴あけ、めっき、印刷、エッチングして多層プ
リント配線板を製造する。
【0018】次に、本発明の第2の実施の形態について
説明する。図2は、本発明の第2の実施の形態の多層プ
リント配線板の製造方法の工程順を説明するための基板
要部の断面図である。本実施の形態では、上記第1の実
施の形態におけるマスキングテープの代わりにドライフ
ィルムを使用し、ドライフィルムで基板表面と側面をマ
スキングする。
【0019】まず、上記第1の実施の形態と同様に、厚
さが異なる銅箔3と銅箔4を両面に有する両面銅張りの
基板1と基板2の銅箔4面に粘着性を有する粘着性有機
被膜層20を化学析出する(図2(a))。次いで、基
板1、2の銅箔4面同士を銅箔4上の粘着性有機被膜2
0層を介して圧着し、図2(b)の如く基板1、2の銅
箔3面に、基板端から2mmから10mm程度はみ出す
ようにドライフィルム6をラミネートする。尚、非ラミ
ネート側は、マイラー等の耐熱樹脂でドライフィルムを
保護する。次に、図2(c)の如く基板1、2の板端か
ら出ているドライフィルム同士を合わせ温度100〜1
30℃で熱圧着する。
【0020】以降の工程は上記第1の実施の形態と同様
な工程により露光(図2(d))、現像(図2
(e))、エッチング(図2(f)、エッチングレジス
ト剥離と基板分離(基板1a、基板2a形成)(図2
(g))を行う。次いで分離した基板1a,基板2aを
プリプレグを介して積層し、通常の穴あけ、めっき、印
刷、エッチング技術を使用して多層プリント配線板を製
造する。
【0021】第2の実施の形態の多層プリント配線板の
製造方法では、圧着した基板1,2の側面もドライフィ
ルム6で被覆するために、上記第1の実施の形態の多層
プリント配線板の製造方法と比較して、製造工程の簡略
化ができる。
【0022】次に、本発明の第3の実施の形態について
説明する。図3は、本発明の第2の実施の形態の多層プ
リント配線板の製造方法の工程順を説明するための基板
要部の断面図である。本実施の形態では、上記第2の実
施の形態におけるドライフィルムの代わりに感光性の液
状レジストで基板表面と側面をマスキングする。
【0023】まず、上記第1、第2の実施の形態と同様
に、厚さが異なる銅箔3と銅箔4を両面に有する2枚の
両面銅張りの基板1と基板2の銅箔4面に粘着性を有す
る粘着性有機被膜層20を形成する(図3(a))。次
いで、基板1、2の銅箔4面同士を銅箔4上の粘着性有
機被膜20層を介して圧着し、図3(b)の如く基板
1,2の銅箔3面に、感光性の液状レジスト11を塗布
する。塗布方法としては、浸漬法が適している。 ま
た、液状レジストの成分としては、アクリル系樹脂、ア
ルデヒド系樹脂、フェノール系樹脂、カルボン酸系樹脂
等を使用でき、その塗布厚は10〜20μmが適当であ
る。液状レジスト11を塗布後、温度80〜100℃で
約30分熱風乾燥する。以降、上記第1、第2の実施の
形態と同様な工程によって多層プリント配線板を製造す
る。
【0024】
【発明の効果】本発明は、厚さの異なる銅箔を両面に有
する2枚の両面銅張りの基板の同じ厚さの銅箔面を化学
的に析出した粘着性有機被膜を介して張り合わせた後、
基板の表面と側面に感光性のドライフィルム等を形成し
てパターン形成処理をすることによって次のような効果
が得られる。 (1)従来例のように基板周辺部につけたテープの剥離
作業を必要としないためにパターン形成の作業能率を1
0〜30%向上することができる。 (2)従来のようなテープ剥離のための有機溶剤の使用
は必要としないために製造コストの削減ができる。 (3)張り合わせた基板の分離が容易であり、基板のカ
ケ割れの発生を防止できるために多層プリント配線板の
品質を向上できる。 (4)張り合わせた銅箔面がパターン形成中、粘着性有
機被膜で保護され、該銅箔面の酸化、変色の発生を防止
できるために多層板プリント配線板の外層回路パターン
の品質を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態の多層プリント配線
板の製造方法の工程順を説明するための基板要部の断面
図である。
【図2】本発明の第2の実施の形態の多層プリント配線
板の製造方法の工程順を説明するための基板要部の断面
図である。
【図3】本発明の第3の実施の形態の多層プリント配線
板の製造方法の工程順を説明するための基板要部の断面
図である。
【図4】従来のプリント配線板の製造例を示す基板要部
の断面図である。
【図5】従来のプリント配線板の製造例を示す基板要部
の断面図である。
【符号の説明】
1,2,1a,2a 基板 3,4 銅箔 5 マスキングテープ 6 ドライフィルム 7 マスクフィルム 8 エッチングレジスト 9,10 回路 11 液状レジスト 12 両面テープ 20 粘着性有機被膜層

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 厚さが異なる銅箔を両面に有する2枚の
    両面銅張り基板の片面の同じ厚さの銅箔面に粘着性有機
    被膜を化学析出し、前記2枚の銅張りの基板を前記粘着
    性有機被膜を介して圧着する工程と、前記圧着した基板
    の表面と側面にアルカリ現像型の感光性レジストでエッ
    チングレジストを形成してエッチングし前記圧着した基
    板の両面に回路を形成する工程と、前記圧着した基板を
    アルカリ性の剥離液に浸漬して前記エッチングレジスト
    を除去すると工程と、前記圧着した基板を酸性水溶液に
    浸漬して分離する工程と、前記分離した2枚の基板を前
    記回路面を内側にプリプレグを介し積層する工程を含む
    ことを特徴とする多層プリント配線板の製造方法。
  2. 【請求項2】 前記粘着性有機被膜を前記銅張り基板を
    イミダゾール系化合物含有水溶液に接触させることによ
    って厚さ1乃至5μmを化学析出させた請求項1記載の
    多層プリント配線板の製造方法。
  3. 【請求項3】 前記感光性レジストとしてアルカリ現像
    型のドライフィルムを使用した請求項1または2記載の
    多層プリント配線板の製造方法。
  4. 【請求項4】 前記感光性レジストとしてアルカリ現像
    型のマスキングテープとアルカリ現像型のドライフィル
    ムを使用し、該マスキングテープを前記圧着した基板の
    側面と周辺部に形成し、該アルカリ現像型のドライフィ
    ルムを前記圧着した基板の表面に形成した請求項1また
    は2記載の多層プリント配線板の製造方法。
  5. 【請求項5】 前記感光性レジストとしてアルカリ現像
    型の液状レジストをを使用した請求項1または2記載の
    多層プリント配線板の製造方法。
JP9319964A 1997-11-20 1997-11-20 多層プリント配線板の製造方法 Expired - Fee Related JP3001485B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9319964A JP3001485B2 (ja) 1997-11-20 1997-11-20 多層プリント配線板の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9319964A JP3001485B2 (ja) 1997-11-20 1997-11-20 多層プリント配線板の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH11154788A true JPH11154788A (ja) 1999-06-08
JP3001485B2 JP3001485B2 (ja) 2000-01-24

Family

ID=18116223

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9319964A Expired - Fee Related JP3001485B2 (ja) 1997-11-20 1997-11-20 多層プリント配線板の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3001485B2 (ja)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1063873A2 (de) * 1999-06-22 2000-12-27 Dr.-Ing. Jürgen Schulz-Harder Verfahren zum Herstellen von Substraten mit strukturierten Metallisierungen sowie Halte-und Fixierelement zur Verwendung bei dem Verfahren
US6918529B2 (en) * 2001-09-28 2005-07-19 Dowa Mining Co., Ltd. Method for producing metal/ceramic bonding circuit board
JP2008078487A (ja) * 2006-09-22 2008-04-03 Samsung Electro Mech Co Ltd Vop用銅張積層板の製造方法
KR100842781B1 (ko) 2006-06-16 2008-07-02 후지쯔 가부시끼가이샤 배선 기판의 제조 방법
KR100858305B1 (ko) 2006-06-16 2008-09-11 후지쯔 가부시끼가이샤 배선 기판의 제조 방법
WO2009008307A1 (ja) * 2007-07-12 2009-01-15 Sony Chemical & Information Device Corporation 配線基板の製造方法
US7807215B2 (en) 2006-09-21 2010-10-05 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Method of manufacturing copper-clad laminate for VOP application
KR101180355B1 (ko) 2012-02-21 2012-09-07 주식회사 비에이치 양면형 다층 구조의 연성인쇄회로기판 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 양면형 다층 구조의 연성인쇄회로기판
WO2022050360A1 (ja) * 2020-09-03 2022-03-10 積水化学工業株式会社 端部保護された金属張積層板、プリント配線基板の製造方法、及び、プリント配線基板用中間体の製造方法
CN116162369A (zh) * 2021-11-25 2023-05-26 信越化学工业株式会社 有机膜形成材料、半导体装置制造用基板、有机膜的形成方法、及图案形成方法

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1063873A2 (de) * 1999-06-22 2000-12-27 Dr.-Ing. Jürgen Schulz-Harder Verfahren zum Herstellen von Substraten mit strukturierten Metallisierungen sowie Halte-und Fixierelement zur Verwendung bei dem Verfahren
EP1063873A3 (de) * 1999-06-22 2003-04-23 Dr.-Ing. Jürgen Schulz-Harder Verfahren zum Herstellen von Substraten mit strukturierten Metallisierungen sowie Halte-und Fixierelement zur Verwendung bei dem Verfahren
US6918529B2 (en) * 2001-09-28 2005-07-19 Dowa Mining Co., Ltd. Method for producing metal/ceramic bonding circuit board
KR100842781B1 (ko) 2006-06-16 2008-07-02 후지쯔 가부시끼가이샤 배선 기판의 제조 방법
KR100858305B1 (ko) 2006-06-16 2008-09-11 후지쯔 가부시끼가이샤 배선 기판의 제조 방법
US7807215B2 (en) 2006-09-21 2010-10-05 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Method of manufacturing copper-clad laminate for VOP application
JP2008078487A (ja) * 2006-09-22 2008-04-03 Samsung Electro Mech Co Ltd Vop用銅張積層板の製造方法
WO2009008307A1 (ja) * 2007-07-12 2009-01-15 Sony Chemical & Information Device Corporation 配線基板の製造方法
KR101180355B1 (ko) 2012-02-21 2012-09-07 주식회사 비에이치 양면형 다층 구조의 연성인쇄회로기판 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 양면형 다층 구조의 연성인쇄회로기판
WO2022050360A1 (ja) * 2020-09-03 2022-03-10 積水化学工業株式会社 端部保護された金属張積層板、プリント配線基板の製造方法、及び、プリント配線基板用中間体の製造方法
CN116162369A (zh) * 2021-11-25 2023-05-26 信越化学工业株式会社 有机膜形成材料、半导体装置制造用基板、有机膜的形成方法、及图案形成方法
CN116162369B (zh) * 2021-11-25 2024-03-08 信越化学工业株式会社 有机膜形成材料、半导体装置制造用基板、有机膜的形成方法、及图案形成方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP3001485B2 (ja) 2000-01-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5258094A (en) Method for producing multilayer printed wiring boards
KR100688826B1 (ko) 리지드-플렉시블 인쇄회로기판 제조방법
KR101022873B1 (ko) 인쇄회로기판의 제조방법
JP4520392B2 (ja) プリント基板の製造方法
JP5526746B2 (ja) 多層基板の製造方法及び支持基板
JPWO2009069683A1 (ja) 多層プリント配線板の製造方法
JP3001485B2 (ja) 多層プリント配線板の製造方法
JP2010147452A (ja) 基板製造用キャリア部材及びこれを用いる基板製造方法
KR100674295B1 (ko) 다층 인쇄회로기판의 제조방법
KR100722599B1 (ko) 필 도금을 이용한 전층 이너비아홀 인쇄회로기판 및 그제조방법
JPH1187931A (ja) プリント配線板の製造方法
JP2003092461A (ja) プリント配線板の製造方法
JP3327189B2 (ja) 多層配線tabテープの製造方法
JPS5921095A (ja) 多層印刷配線板の製造方法
JPS6182497A (ja) 印刷配線板の製造法
JP3750603B2 (ja) 半導体装置用基板の製造方法
JP2581433B2 (ja) 多層印刷配線板の製造方法
JPH10224036A (ja) ビルドアッププリント配線板およびその製造方法
JPH06252529A (ja) プリント配線板の製造方法
JPH0499088A (ja) 多層プリント配線板の製造方法
KR100222753B1 (ko) 절연신뢰성이 향상된 다층 인쇄회로기판의 제조방법
JP2002111212A (ja) 多層プリント基板の製造方法
JP2001102753A (ja) 多層基板製造方法
JP2003347736A (ja) 多層配線基板の製造方法
JPH11284346A (ja) 多層プリント配線板の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19991019

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees