JPH1114867A - 多心端末型光部品の調心方法およびその装置 - Google Patents
多心端末型光部品の調心方法およびその装置Info
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- JPH1114867A JPH1114867A JP18055597A JP18055597A JPH1114867A JP H1114867 A JPH1114867 A JP H1114867A JP 18055597 A JP18055597 A JP 18055597A JP 18055597 A JP18055597 A JP 18055597A JP H1114867 A JPH1114867 A JP H1114867A
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- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
- G02B6/422—Active alignment, i.e. moving the elements in response to the detected degree of coupling or position of the elements
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
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- G02B6/4249—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details comprising arrays of active devices and fibres
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 多心端末型光部品を迅速正確に調心可能な調
心方法を提供する。 【解決手段】 ファイバアレイ１の光ファイバＦ1 〜Ｆ
n に光を入射し導波路端末Ｄ1 〜Ｄn の出射光パワーを
測定し各光ファイバ端末と各導波路端末の軸ずれ量を検
出する。角度ずれ検出部18では光ファイバと導波路端末
の配列方向の角度ずれを検出する。次に角度ずれを解消
方向に回転したとの仮定上で光ファイバと導波路との端
末群軸ずれ量を検出する。そして、端末群軸ずれ量を解
消したとの仮定上で光ファイバ端末と導波路端末の軸ず
れ量を固有軸ずれ量として検出する。次に角度ずれと端
末群軸ずれ量を解消する方向に実際にファイバアレイ１
を移動した状態で１本の光ファイバに光を通して対応す
る導波路端末との代表軸ずれ量を検出する。次に代表軸
ずれ量から固有軸ずれ量を差し引き演算した軸ずれ量を
解消する方向にファイバアレイ１を調心移動する。
心方法を提供する。 【解決手段】 ファイバアレイ１の光ファイバＦ1 〜Ｆ
n に光を入射し導波路端末Ｄ1 〜Ｄn の出射光パワーを
測定し各光ファイバ端末と各導波路端末の軸ずれ量を検
出する。角度ずれ検出部18では光ファイバと導波路端末
の配列方向の角度ずれを検出する。次に角度ずれを解消
方向に回転したとの仮定上で光ファイバと導波路との端
末群軸ずれ量を検出する。そして、端末群軸ずれ量を解
消したとの仮定上で光ファイバ端末と導波路端末の軸ず
れ量を固有軸ずれ量として検出する。次に角度ずれと端
末群軸ずれ量を解消する方向に実際にファイバアレイ１
を移動した状態で１本の光ファイバに光を通して対応す
る導波路端末との代表軸ずれ量を検出する。次に代表軸
ずれ量から固有軸ずれ量を差し引き演算した軸ずれ量を
解消する方向にファイバアレイ１を調心移動する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、多心端末型光部品
相互を各心の光通路の光軸を総合的に見て最良の位置に
合わせる多心端末型光部品の調心方法およびその装置に
関するものである。
相互を各心の光通路の光軸を総合的に見て最良の位置に
合わせる多心端末型光部品の調心方法およびその装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】多心端末型光部品として、ファイバアレ
イや、導波路チップ素子や、発光素子アレイが知られて
いる。これらの多心端末型光部品同士の光接続（光学的
接続）を行う場合には、多心端末型光部品同士の調心を
行う必要があり、その調心を自動的あるいは半自動的に
行う方法や装置が提案されている。
イや、導波路チップ素子や、発光素子アレイが知られて
いる。これらの多心端末型光部品同士の光接続（光学的
接続）を行う場合には、多心端末型光部品同士の調心を
行う必要があり、その調心を自動的あるいは半自動的に
行う方法や装置が提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】多心端末型光部品は、
光通路の端末が端面に等ピッチ間隔で配列されるように
設計されるが、実際の多心端末型光部品の製造に際し
て、作製誤差（製造誤差）が生じ、光通路の端末の配列
ピッチ間隔が僅かにずれたり、その光通路端末の配列方
向（Ｘ方向）に対して垂直な直交方向（Ｙ方向）に対し
ても位置ずれが生じる場合がある。このため、多心端末
型光部品同士の調心を行う場合、代表的な１個の光通路
端末同士を軸合わせしたときに、場合によっては他の光
通路端末同士の位置ずれが大きくなるという問題が生
じ、このような事情から、多心端末型光部品同士を調心
する場合には、一方側の各心の光通路端末と他方側の光
部品の各心の光通路端末とを総合的に見て最良となる位
置、換言すれば、一方側の各心の光通路端末と他方側の
各心の光通路端末相互に軸ずれが残存した位置を調心位
置として決定する必要が生じる。
光通路の端末が端面に等ピッチ間隔で配列されるように
設計されるが、実際の多心端末型光部品の製造に際し
て、作製誤差（製造誤差）が生じ、光通路の端末の配列
ピッチ間隔が僅かにずれたり、その光通路端末の配列方
向（Ｘ方向）に対して垂直な直交方向（Ｙ方向）に対し
ても位置ずれが生じる場合がある。このため、多心端末
型光部品同士の調心を行う場合、代表的な１個の光通路
端末同士を軸合わせしたときに、場合によっては他の光
通路端末同士の位置ずれが大きくなるという問題が生
じ、このような事情から、多心端末型光部品同士を調心
する場合には、一方側の各心の光通路端末と他方側の光
部品の各心の光通路端末とを総合的に見て最良となる位
置、換言すれば、一方側の各心の光通路端末と他方側の
各心の光通路端末相互に軸ずれが残存した位置を調心位
置として決定する必要が生じる。
【０００４】また、調心を行う多心端末型光部品を互い
にその調心の端面を対向させてセットしたとき、互いの
端面が例えば光通路の光軸方向（Ｚ方向）回りに相対的
な回転ずれを生じた状態で配置される場合があり、この
ような場合には、その回転方向のずれを修正する方向に
回転すると、一方側の光部品の各心の光通路端末と他方
側の光部品の各心の光通路端末とのＸ方向およびＹ方向
に新たな軸ずれ量が生じるという厄介な問題がある。
にその調心の端面を対向させてセットしたとき、互いの
端面が例えば光通路の光軸方向（Ｚ方向）回りに相対的
な回転ずれを生じた状態で配置される場合があり、この
ような場合には、その回転方向のずれを修正する方向に
回転すると、一方側の光部品の各心の光通路端末と他方
側の光部品の各心の光通路端末とのＸ方向およびＹ方向
に新たな軸ずれ量が生じるという厄介な問題がある。
【０００５】近年、多心端末型光部品の自動あるいは半
自動の調心方法や装置が提案されているが、多心端末型
光部品の調心に際しては、前記の複雑な事情のため、多
心端末型光部品を正確に、かつ、迅速に調心を行う方法
や装置は見当たらず、その開発が望まれている。
自動の調心方法や装置が提案されているが、多心端末型
光部品の調心に際しては、前記の複雑な事情のため、多
心端末型光部品を正確に、かつ、迅速に調心を行う方法
や装置は見当たらず、その開発が望まれている。
【０００６】本発明は上記課題を解決するためになされ
たものであり、その目的は、多心端末型光部品を正確
に、かつ、迅速に作業効率良く調心することが可能な多
心端末型光部品の調心方法およびその装置を提供するこ
とにある。
たものであり、その目的は、多心端末型光部品を正確
に、かつ、迅速に作業効率良く調心することが可能な多
心端末型光部品の調心方法およびその装置を提供するこ
とにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、次のような手段を講じている。すなわち、
調心方法の第１の発明は、接続端面に複数の光通路端末
が配列して成る光部品同士の調心方法において、調心を
行う両光部品を互いに接続端面を対向させてセットし、
一方側の光部品の各光通路に測定光を入射し他方側の光
部品の対応する光通路から出射する光を観測しながら両
者の光部品の少なくとも一方を光通路端末の配列方向で
あるＸ方向と、このＸ方向に垂直に直交するＹ方向とに
移動して出射光の光パワーが最大になる位置への移動量
のデータから入射側光部品と出射側光部品の各光通路毎
のＸ方向とＹ方向の初期軸ずれ量を求め、次に、入射側
光部品の光通路端末の配列方向と出射側光部品の光通路
端末の配列方向の角度ずれを求めて、この角度ずれを修
正する方向に少なくとも一方の光部品を予め定めた点を
中心にして回転して両光部品の光通路端末の配列方向を
平行にしたと想定したときの入射側光部品の光通路端末
群と出射側光部品の光通路端末群とのＸ方向とＹ方向の
光通路端末群軸ずれ量を予め与えられる手法に従って求
めると共に入射側光部品と出射側光部品の少なくとも一
方をこの光通路端末群軸ずれ量を解消する方向に移動し
たと想定したときの入射側と出射側の光部品の対応する
光通路同士のＸ方向とＹ方向の固有軸ずれ量を求めてお
き、次に、実際に前記少なくとも一方の光部品を前記角
度ずれ分だけ解消する方向に回転し、かつ、Ｘ方向とＹ
方向の光通路端末群軸ずれ量分だけ解消する方向に移動
した後、入射側光部品の複数の光通路のうちから任意の
１個の光通路を代表光通路として選定してこの代表光通
路に測定光を入射し出射側光部品の対応する光通路の出
射光の光パワーが最大となるように少なくとも一方の光
部品をＸ方向とＹ方向に移動して入射側光部品の代表光
通路と出射側光部品の対応する光通路とのＸ方向とＹ方
向の代表軸ずれ量を実測し、然る後に、この代表軸ずれ
量から入射側光部品の代表光通路と出射側光部品の対応
する光通路の前記固有軸ずれ量を差し引いた調整軸ずれ
量をＸ方向とＹ方向に求め、このＸ方向とＹ方向の調整
軸ずれ量分だけこの軸ずれ量を解消する方向に入射側光
部品と出射側光部品の少なくとも一方をＸ方向とＹ方向
に移動して入射側光部品と出射側光部品を調心する構成
をもって課題を解決する手段としている。
するために、次のような手段を講じている。すなわち、
調心方法の第１の発明は、接続端面に複数の光通路端末
が配列して成る光部品同士の調心方法において、調心を
行う両光部品を互いに接続端面を対向させてセットし、
一方側の光部品の各光通路に測定光を入射し他方側の光
部品の対応する光通路から出射する光を観測しながら両
者の光部品の少なくとも一方を光通路端末の配列方向で
あるＸ方向と、このＸ方向に垂直に直交するＹ方向とに
移動して出射光の光パワーが最大になる位置への移動量
のデータから入射側光部品と出射側光部品の各光通路毎
のＸ方向とＹ方向の初期軸ずれ量を求め、次に、入射側
光部品の光通路端末の配列方向と出射側光部品の光通路
端末の配列方向の角度ずれを求めて、この角度ずれを修
正する方向に少なくとも一方の光部品を予め定めた点を
中心にして回転して両光部品の光通路端末の配列方向を
平行にしたと想定したときの入射側光部品の光通路端末
群と出射側光部品の光通路端末群とのＸ方向とＹ方向の
光通路端末群軸ずれ量を予め与えられる手法に従って求
めると共に入射側光部品と出射側光部品の少なくとも一
方をこの光通路端末群軸ずれ量を解消する方向に移動し
たと想定したときの入射側と出射側の光部品の対応する
光通路同士のＸ方向とＹ方向の固有軸ずれ量を求めてお
き、次に、実際に前記少なくとも一方の光部品を前記角
度ずれ分だけ解消する方向に回転し、かつ、Ｘ方向とＹ
方向の光通路端末群軸ずれ量分だけ解消する方向に移動
した後、入射側光部品の複数の光通路のうちから任意の
１個の光通路を代表光通路として選定してこの代表光通
路に測定光を入射し出射側光部品の対応する光通路の出
射光の光パワーが最大となるように少なくとも一方の光
部品をＸ方向とＹ方向に移動して入射側光部品の代表光
通路と出射側光部品の対応する光通路とのＸ方向とＹ方
向の代表軸ずれ量を実測し、然る後に、この代表軸ずれ
量から入射側光部品の代表光通路と出射側光部品の対応
する光通路の前記固有軸ずれ量を差し引いた調整軸ずれ
量をＸ方向とＹ方向に求め、このＸ方向とＹ方向の調整
軸ずれ量分だけこの軸ずれ量を解消する方向に入射側光
部品と出射側光部品の少なくとも一方をＸ方向とＹ方向
に移動して入射側光部品と出射側光部品を調心する構成
をもって課題を解決する手段としている。
【０００８】また調心方法の第２の発明は、前記第１の
発明の構成を備えたものにおいて、角度ずれの判定基準
値と光通路端末群軸ずれ量の判定基準値とを予め与えて
おき、各光通路毎の初期軸ずれ量を求める動作から調整
ずれ量分だけこの軸ずれ量を解消する方向に入射側光部
品と出射側光部品の少なくとも一方をＸ方向とＹ方向に
移動するまでの一連の調心動作は角度ずれと光通路端末
群軸ずれ量が共に対応する判定基準値よりも小さくなる
まで繰り返し行う構成をもって課題を解決する手段とし
ている。
発明の構成を備えたものにおいて、角度ずれの判定基準
値と光通路端末群軸ずれ量の判定基準値とを予め与えて
おき、各光通路毎の初期軸ずれ量を求める動作から調整
ずれ量分だけこの軸ずれ量を解消する方向に入射側光部
品と出射側光部品の少なくとも一方をＸ方向とＹ方向に
移動するまでの一連の調心動作は角度ずれと光通路端末
群軸ずれ量が共に対応する判定基準値よりも小さくなる
まで繰り返し行う構成をもって課題を解決する手段とし
ている。
【０００９】さらに調心装置の発明は、接続端面に複数
の光通路端末が配列して成る光部品同士を調心する装置
において、調心を行う一方側の光部品と他方側の光部品
を互いに接続端面を対向させてセットし両者の光部品間
の光通路端末配列方向であるＸ方向と、このＸ方向に垂
直に直交するＹ方向と、Ｘ，Ｙ両方向に直交する光軸方
向のＺ方向軸回りの回転との相対制御移動が可能な調心
ステージと；一方側の光部品の光通路に測定光を入射す
る光入射手段と；他方側の光部品の光通路から出射され
る出射光を測定する出射光測定手段と；出射光の光パワ
ーが最大となる入射側光部品と出射側光部品との相対移
動量の情報から入射側光部品の各光通路と出射側光部品
の対応する各光通路とのＸ方向とＹ方向の初期軸ずれ量
を求める軸ずれ量検出部と；入射側光部品の光通路端末
配列方向と出射側光部品の光通路端末配列方向の角度ず
れを求める角度ずれ検出部と；前記初期軸ずれ量のデー
タを取り込み、前記角度ずれ検出部によって求められた
角度ずれをそのずれ分だけ解消する方向に入射側と出射
側の光部品の少なくとも一方を予め定められた点を中心
にして回転して両光部品における光通路端末の配列方向
を平行にしたと想定したときの入射側光部品の光通路端
末群と出射側光部品の光通路端末群とのＸ方向とＹ方向
の光通路端末群軸ずれ量を予め与えられる手法に従って
求める端末群軸ずれ量検出部と；前記角度ずれと光通路
端末群軸ずれが共に解消されたものと仮定したときの入
射側と出射側の光部品の対応する光通路同士のＸ方向と
Ｙ方向の固有軸ずれ量を求める固有軸ずれ量検出部と；
実際に少なくとも一方の光部品が前記角度ずれを解消す
る方向にその角度ずれ分だけ回転され、かつ、前記光通
路端末群軸ずれ量分だけＸ方向とＹ方向にその軸ずれを
解消する方向に移動された状態で検出される入射側光部
品の任意の１個の代表光通路と出射側光部品の対応する
光通路とのＸ方向とＹ方向の代表軸ずれ量の実測データ
を得て該代表軸ずれ量から同じ代表光通路の前記固有軸
ずれ量を差し引いたＸ方向とＹ方向の調整軸ずれ量を求
める調整軸ずれ量演算部と；この調整軸ずれ量演算部に
よって求められた調整軸ずれ量だけそのずれ量を解消す
る方向に入射側と出射側の光部品の少なくとも一方をＸ
方向とＹ方向に調心移動する調心移動制御部と；を有す
る構成をもって課題を解決する手段としている。
の光通路端末が配列して成る光部品同士を調心する装置
において、調心を行う一方側の光部品と他方側の光部品
を互いに接続端面を対向させてセットし両者の光部品間
の光通路端末配列方向であるＸ方向と、このＸ方向に垂
直に直交するＹ方向と、Ｘ，Ｙ両方向に直交する光軸方
向のＺ方向軸回りの回転との相対制御移動が可能な調心
ステージと；一方側の光部品の光通路に測定光を入射す
る光入射手段と；他方側の光部品の光通路から出射され
る出射光を測定する出射光測定手段と；出射光の光パワ
ーが最大となる入射側光部品と出射側光部品との相対移
動量の情報から入射側光部品の各光通路と出射側光部品
の対応する各光通路とのＸ方向とＹ方向の初期軸ずれ量
を求める軸ずれ量検出部と；入射側光部品の光通路端末
配列方向と出射側光部品の光通路端末配列方向の角度ず
れを求める角度ずれ検出部と；前記初期軸ずれ量のデー
タを取り込み、前記角度ずれ検出部によって求められた
角度ずれをそのずれ分だけ解消する方向に入射側と出射
側の光部品の少なくとも一方を予め定められた点を中心
にして回転して両光部品における光通路端末の配列方向
を平行にしたと想定したときの入射側光部品の光通路端
末群と出射側光部品の光通路端末群とのＸ方向とＹ方向
の光通路端末群軸ずれ量を予め与えられる手法に従って
求める端末群軸ずれ量検出部と；前記角度ずれと光通路
端末群軸ずれが共に解消されたものと仮定したときの入
射側と出射側の光部品の対応する光通路同士のＸ方向と
Ｙ方向の固有軸ずれ量を求める固有軸ずれ量検出部と；
実際に少なくとも一方の光部品が前記角度ずれを解消す
る方向にその角度ずれ分だけ回転され、かつ、前記光通
路端末群軸ずれ量分だけＸ方向とＹ方向にその軸ずれを
解消する方向に移動された状態で検出される入射側光部
品の任意の１個の代表光通路と出射側光部品の対応する
光通路とのＸ方向とＹ方向の代表軸ずれ量の実測データ
を得て該代表軸ずれ量から同じ代表光通路の前記固有軸
ずれ量を差し引いたＸ方向とＹ方向の調整軸ずれ量を求
める調整軸ずれ量演算部と；この調整軸ずれ量演算部に
よって求められた調整軸ずれ量だけそのずれ量を解消す
る方向に入射側と出射側の光部品の少なくとも一方をＸ
方向とＹ方向に調心移動する調心移動制御部と；を有す
る構成をもって課題を解決する手段としている。
【００１０】本発明においては、調心を行う互いの多心
端末型光部品がその接続端面を互いに対向させた状態で
調心ステージにセットされる。そして、一方側の多心端
末型光部品に光入射手段から測定光が入射され、他方側
の多心端末型光部品の出射端から出射される光パワーが
出射光測定手段によって測定される。
端末型光部品がその接続端面を互いに対向させた状態で
調心ステージにセットされる。そして、一方側の多心端
末型光部品に光入射手段から測定光が入射され、他方側
の多心端末型光部品の出射端から出射される光パワーが
出射光測定手段によって測定される。
【００１１】この出射光パワーの測定に際し、各光通路
毎に、出射光の光パワーが最大となるように入射側の光
部品と出射側の光部品の少なくとも一方がＸ方向とＹ方
向に相対移動しながら測定され、この出射光パワーが最
大となるＸ方向とＹ方向の移動量に基づき、各光通路毎
に、そのＸ方向とＹ方向の軸ずれ量が初期軸ずれ量とし
て求められ、その値が記憶される。
毎に、出射光の光パワーが最大となるように入射側の光
部品と出射側の光部品の少なくとも一方がＸ方向とＹ方
向に相対移動しながら測定され、この出射光パワーが最
大となるＸ方向とＹ方向の移動量に基づき、各光通路毎
に、そのＸ方向とＹ方向の軸ずれ量が初期軸ずれ量とし
て求められ、その値が記憶される。
【００１２】次に、例えば入射側と出射側の一方側の光
通路端末が設計通りに正しく配列配置されているものと
仮定した状態の下で、前記初期軸ずれ量のデータに基づ
き、入射側の光部品端末の配列方向と出射側の光通路端
末の配列方向との角度ずれが求められる。
通路端末が設計通りに正しく配列配置されているものと
仮定した状態の下で、前記初期軸ずれ量のデータに基づ
き、入射側の光部品端末の配列方向と出射側の光通路端
末の配列方向との角度ずれが求められる。
【００１３】次に、一方側の光部品が予め定めた点を中
心にしてその角度ずれを修正する方向に回転したものと
仮定したときの、つまり、入射側の光部品と出射側の光
部品の光通路端末の配列方向を平行にしたと仮定した状
態で、入射側光部品の光通路端末群と出射側光部品の光
通路端末群とのＸ方向とＹ方向の光通路端末群軸ずれ量
が予め与えられる手法に従って求められる。
心にしてその角度ずれを修正する方向に回転したものと
仮定したときの、つまり、入射側の光部品と出射側の光
部品の光通路端末の配列方向を平行にしたと仮定した状
態で、入射側光部品の光通路端末群と出射側光部品の光
通路端末群とのＸ方向とＹ方向の光通路端末群軸ずれ量
が予め与えられる手法に従って求められる。
【００１４】次に、前記角度ずれを解消する方向の回転
と光通路端末群軸ずれ量を解消する方向のＸ方向とＹ方
向の光部品相互の相対移動が行われたものと仮定した状
態で、入射側と出射側の光部品の対応する光通路同士の
Ｘ方向とＹ方向の固有軸ずれ量が求められる。この固有
軸ずれ量が残存した状態が入射側光部品と出射側光部品
の各心の光通路端末を総合的に見た場合に最良の調心位
置になることを意味する。
と光通路端末群軸ずれ量を解消する方向のＸ方向とＹ方
向の光部品相互の相対移動が行われたものと仮定した状
態で、入射側と出射側の光部品の対応する光通路同士の
Ｘ方向とＹ方向の固有軸ずれ量が求められる。この固有
軸ずれ量が残存した状態が入射側光部品と出射側光部品
の各心の光通路端末を総合的に見た場合に最良の調心位
置になることを意味する。
【００１５】次に、実際に入射側と出射側の光部品の角
度ずれを解消する回転と光通路端末群軸ずれ量を解消す
るＸ方向とＹ方向の相対移動が行われた状態で、入射側
光部品の任意の１個の代表光通路と出射側光部品の対応
する光通路のＸ方向とＹ方向の代表軸ずれ量の実測が行
われ、その実測データが調整軸ずれ量演算部に取り込ま
れる。調整軸ずれ量演算部では、この代表軸ずれ量から
同じ代表光通路の前記固有軸ずれ量を差し引いたＸ方向
とＹ方向の調整軸ずれ量を演算により求める。そして、
この求められた調整軸ずれ量だけその軸ずれ量を解消す
る方向に入射側と出射側の光部品の少なくとも一方がＸ
方向とＹ方向に調心移動されることで、この調心移動後
には、入射側と出射側の対応する光通路端末間に目的と
する固有軸ずれ量が実際に残存した状態となり、これに
より入射側の光部品と出射側の光部品は互いの光通路端
末群を総合的に見て最良の位置に調心されたものとな
る。
度ずれを解消する回転と光通路端末群軸ずれ量を解消す
るＸ方向とＹ方向の相対移動が行われた状態で、入射側
光部品の任意の１個の代表光通路と出射側光部品の対応
する光通路のＸ方向とＹ方向の代表軸ずれ量の実測が行
われ、その実測データが調整軸ずれ量演算部に取り込ま
れる。調整軸ずれ量演算部では、この代表軸ずれ量から
同じ代表光通路の前記固有軸ずれ量を差し引いたＸ方向
とＹ方向の調整軸ずれ量を演算により求める。そして、
この求められた調整軸ずれ量だけその軸ずれ量を解消す
る方向に入射側と出射側の光部品の少なくとも一方がＸ
方向とＹ方向に調心移動されることで、この調心移動後
には、入射側と出射側の対応する光通路端末間に目的と
する固有軸ずれ量が実際に残存した状態となり、これに
より入射側の光部品と出射側の光部品は互いの光通路端
末群を総合的に見て最良の位置に調心されたものとな
る。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態例を図面
に基づき説明する。図１には本発明の調心方法を行う多
心端末型光部品の調心装置の要部構成が示されている。
この実施形態例では、ファイバアレイ１と導波路チップ
素子２を調心対象の光部品として示してある。ファイバ
アレイ１はテープファイバ３の先端側にフェルール４を
固定して成るものであり、テープファイバ３の被覆材５
の内部にはｎ本（ｎは２以上の整数）の光ファイバＦ1
〜Ｆn がほぼ等ピッチ間隔に配列されており、テープフ
ァイバ３の先端側は、被覆材５が除去されて光ファイバ
Ｆ1 〜Ｆn が露出されている。
に基づき説明する。図１には本発明の調心方法を行う多
心端末型光部品の調心装置の要部構成が示されている。
この実施形態例では、ファイバアレイ１と導波路チップ
素子２を調心対象の光部品として示してある。ファイバ
アレイ１はテープファイバ３の先端側にフェルール４を
固定して成るものであり、テープファイバ３の被覆材５
の内部にはｎ本（ｎは２以上の整数）の光ファイバＦ1
〜Ｆn がほぼ等ピッチ間隔に配列されており、テープフ
ァイバ３の先端側は、被覆材５が除去されて光ファイバ
Ｆ1 〜Ｆn が露出されている。
【００１７】フェルール４には図２に示す如く、等ピッ
チ間隔のファイバ挿通孔６が配列形成されており、この
各ファイバ挿通孔６にテープファイバ３の先端側の露出
した光ファイバＦ1 〜Ｆn が挿通されており、この光フ
ァイバＦ1 〜Ｆn はファイバ挿通孔６内で接着剤（図示
せず）を用いてフェルール４と一体的に固定されてい
る。フェルール４の接続端面７は光ファイバＦ1 〜Ｆn
の先端面と共に研磨されて平坦面となっている。なお、
本明細書においては、光ファイバＦ1 〜Ｆn の配列方向
をＸ方向とし、このＸ方向に垂直な上下方向をＹ方向と
し、Ｘ軸およびＹ軸に垂直な光ファイバ挿通孔６の中心
軸方向、すなわち、光ファイバＦ1 〜Ｆnの光軸方向を
Ｚ方向としている。
チ間隔のファイバ挿通孔６が配列形成されており、この
各ファイバ挿通孔６にテープファイバ３の先端側の露出
した光ファイバＦ1 〜Ｆn が挿通されており、この光フ
ァイバＦ1 〜Ｆn はファイバ挿通孔６内で接着剤（図示
せず）を用いてフェルール４と一体的に固定されてい
る。フェルール４の接続端面７は光ファイバＦ1 〜Ｆn
の先端面と共に研磨されて平坦面となっている。なお、
本明細書においては、光ファイバＦ1 〜Ｆn の配列方向
をＸ方向とし、このＸ方向に垂直な上下方向をＹ方向と
し、Ｘ軸およびＹ軸に垂直な光ファイバ挿通孔６の中心
軸方向、すなわち、光ファイバＦ1 〜Ｆnの光軸方向を
Ｚ方向としている。
【００１８】このファイバアレイ１は移動ステージ８上
に着脱自在に固定されており、テープファイバ３の入射
端側は光入射手段10に着脱自在に接続されている。この
光入射手段10は光源を備え、この光源の光を測定光とし
て指定される光ファイバＦ1〜Ｆn に自在に入射する構
成を備えている。
に着脱自在に固定されており、テープファイバ３の入射
端側は光入射手段10に着脱自在に接続されている。この
光入射手段10は光源を備え、この光源の光を測定光とし
て指定される光ファイバＦ1〜Ｆn に自在に入射する構
成を備えている。
【００１９】前記移動ステージ８に対向配置される固定
ステージ上には導波路チップ素子２が着脱自在に固定さ
れている。この導波路チップ素子２はその内部に光導波
路が形成されており、導波路チップ素子２の両接続端面
12，13にはその光導波路の多心のｎ個の導波路端末Ｄ1
〜Ｄn が等ピッチ間隔で配列形成されている。この導波
路端末Ｄ1 〜Ｄn の配列方向はＸ方向であり、その配列
ピッチ間隔は前記ファイバアレイ１の光ファイバＦ1 か
らＦn のピッチ間隔と同一となっており、導波路チップ
素子２の接続端面12は前記ファイバアレイ１の接続端面
７と対向されている。
ステージ上には導波路チップ素子２が着脱自在に固定さ
れている。この導波路チップ素子２はその内部に光導波
路が形成されており、導波路チップ素子２の両接続端面
12，13にはその光導波路の多心のｎ個の導波路端末Ｄ1
〜Ｄn が等ピッチ間隔で配列形成されている。この導波
路端末Ｄ1 〜Ｄn の配列方向はＸ方向であり、その配列
ピッチ間隔は前記ファイバアレイ１の光ファイバＦ1 か
らＦn のピッチ間隔と同一となっており、導波路チップ
素子２の接続端面12は前記ファイバアレイ１の接続端面
７と対向されている。
【００２０】本実施形態例では、移動ステージ８と固定
ステージ11で調心ステージを構成しており、移動ステー
ジ８はＸ方向とＹ方向とＺ方向の進退移動とＺ軸回りの
正逆回転が可能となっており、これらＸ，Ｙ，Ｚの３軸
方向の移動と回転θz の移動はステージ駆動部14によっ
て駆動されている。なお、このステージ駆動部14の駆動
源として、例えばパルスモータ等が使用される。
ステージ11で調心ステージを構成しており、移動ステー
ジ８はＸ方向とＹ方向とＺ方向の進退移動とＺ軸回りの
正逆回転が可能となっており、これらＸ，Ｙ，Ｚの３軸
方向の移動と回転θz の移動はステージ駆動部14によっ
て駆動されている。なお、このステージ駆動部14の駆動
源として、例えばパルスモータ等が使用される。
【００２１】導波路チップ素子２の出射端側には入射端
側と同様に導波路の端末Ｄ1 〜Ｄnが配列形成されてお
り、この導波路チップ素子２の出射端側には出射光測定
手段15が設けられている。この出射光測定手段15はパワ
ーメータを備えており、各導波路端末Ｄ1 〜Ｄn の出射
端から出射する光パワーを測定する機能を備えている。
側と同様に導波路の端末Ｄ1 〜Ｄnが配列形成されてお
り、この導波路チップ素子２の出射端側には出射光測定
手段15が設けられている。この出射光測定手段15はパワ
ーメータを備えており、各導波路端末Ｄ1 〜Ｄn の出射
端から出射する光パワーを測定する機能を備えている。
【００２２】ファイバアレイ１と導波路チップ素子２の
調心動作を制御する制御装置25は、ステージ移動制御部
16と、軸ずれ量検出部17と、角度ずれ検出部18と、端末
群軸ずれ量検出部20と、固有軸ずれ量検出部21と、代表
軸ずれ量検出部22と、調整軸ずれ量演算部23と、調心移
動制御部24とを有して構成されている。
調心動作を制御する制御装置25は、ステージ移動制御部
16と、軸ずれ量検出部17と、角度ずれ検出部18と、端末
群軸ずれ量検出部20と、固有軸ずれ量検出部21と、代表
軸ずれ量検出部22と、調整軸ずれ量演算部23と、調心移
動制御部24とを有して構成されている。
【００２３】制御装置25は調心動作のシーケンスプログ
ラムを持ち、前記各構成部16〜24はシーケンスプログラ
ムに従い、所定のタイミングでそれぞれの動作を行う構
成となっている。また、光入射手段10も制御装置25のシ
ーケンスプログラムによってその動作が制御されてい
る。
ラムを持ち、前記各構成部16〜24はシーケンスプログラ
ムに従い、所定のタイミングでそれぞれの動作を行う構
成となっている。また、光入射手段10も制御装置25のシ
ーケンスプログラムによってその動作が制御されてい
る。
【００２４】前記ステージ移動制御部16は軸ずれ量検出
部17で軸ずれ量を求めるときにステージ駆動部14を介し
て移動ステージ８をＸ方向とＹ方向に移動制御し、ま
た、代表軸ずれ量検出部22で代表軸ずれ量を求める際に
ステージ駆動部14を介して移動ステージのＸ，Ｙ方向の
移動とθz の回転を制御する。さらに、ステージ移動制
御部16は調心移動制御部24から調心移動の制御信号が加
えられたときに、そのＸ方向とＹ方向の調心移動量のデ
ータに基づき移動ステージ８をその調心移動量だけＸ方
向とＹ方向に移動制御する。
部17で軸ずれ量を求めるときにステージ駆動部14を介し
て移動ステージ８をＸ方向とＹ方向に移動制御し、ま
た、代表軸ずれ量検出部22で代表軸ずれ量を求める際に
ステージ駆動部14を介して移動ステージのＸ，Ｙ方向の
移動とθz の回転を制御する。さらに、ステージ移動制
御部16は調心移動制御部24から調心移動の制御信号が加
えられたときに、そのＸ方向とＹ方向の調心移動量のデ
ータに基づき移動ステージ８をその調心移動量だけＸ方
向とＹ方向に移動制御する。
【００２５】軸ずれ量検出部17は、前記ステージ移動制
御部16による移動ステージ８の移動制御データから、移
動ステージ８のＸ方向とＹ方向の移動量を追跡記憶す
る。そして、ファイバアレイ１の光ファイバＦ1 に対応
する導波路端末Ｄ1 の出射端から出射される光パワーの
出射光測定手段15による測定データを取り込み、光パワ
ーが最大となるファイバアレイ１側のＸ方向とＹ方向の
初期定位置からの移動量によって、接続端面７側の光フ
ァイバＦ1 の端末のポートと導波路チップ素子２の接続
端面12における導波路端末Ｄ1 のポートとのＸ方向とＹ
方向の軸ずれ量を求める。同様にして、軸ずれ量検出部
17はファイバアレイ１側の光ファイバＦ2〜Ｆn と対応
する導波路チップ素子２側の導波路端末Ｄ2 〜Ｄn のＸ
方向とＹ方向のそれぞれの軸ずれ量を初期軸ずれ量とし
て求め、これらの値を記憶する。
御部16による移動ステージ８の移動制御データから、移
動ステージ８のＸ方向とＹ方向の移動量を追跡記憶す
る。そして、ファイバアレイ１の光ファイバＦ1 に対応
する導波路端末Ｄ1 の出射端から出射される光パワーの
出射光測定手段15による測定データを取り込み、光パワ
ーが最大となるファイバアレイ１側のＸ方向とＹ方向の
初期定位置からの移動量によって、接続端面７側の光フ
ァイバＦ1 の端末のポートと導波路チップ素子２の接続
端面12における導波路端末Ｄ1 のポートとのＸ方向とＹ
方向の軸ずれ量を求める。同様にして、軸ずれ量検出部
17はファイバアレイ１側の光ファイバＦ2〜Ｆn と対応
する導波路チップ素子２側の導波路端末Ｄ2 〜Ｄn のＸ
方向とＹ方向のそれぞれの軸ずれ量を初期軸ずれ量とし
て求め、これらの値を記憶する。
【００２６】すなわち、導波路端末Ｄ1 のポートに対し
て光ファイバＦ1 の端末のポートがＸ方向にＸ1 、Ｙ方
向にＹ1 ずれているときには（Ｘ1 ，Ｙ1 ）として求め
られ、同様に、導波路端末Ｄ2 に対する光ファイバＦ2
の端末ポートの軸ずれ量は（Ｘ2 ，Ｙ2 ）として求めら
れ、最終的に、導波路端末Ｄ1 〜Ｄn のそれぞれのポー
トに対する光ファイバＦ1 〜Ｆn の軸ずれ量が
｛（Ｘ1 ，Ｙ1 ），（Ｘ2 ，Ｙ2 ），・・・・・，（Ｘ
n ，Ｙn ）｝として求められ、これらのデータが記憶さ
れるのである。
て光ファイバＦ1 の端末のポートがＸ方向にＸ1 、Ｙ方
向にＹ1 ずれているときには（Ｘ1 ，Ｙ1 ）として求め
られ、同様に、導波路端末Ｄ2 に対する光ファイバＦ2
の端末ポートの軸ずれ量は（Ｘ2 ，Ｙ2 ）として求めら
れ、最終的に、導波路端末Ｄ1 〜Ｄn のそれぞれのポー
トに対する光ファイバＦ1 〜Ｆn の軸ずれ量が
｛（Ｘ1 ，Ｙ1 ），（Ｘ2 ，Ｙ2 ），・・・・・，（Ｘ
n ，Ｙn ）｝として求められ、これらのデータが記憶さ
れるのである。
【００２７】角度ずれ検出部18は接続端面７に配列され
る光ファイバＦ1 〜Ｆn の端末ポートの配列方向と同じ
く接続端面12に配列される導波路端末Ｄ1 〜Ｄn の各ポ
ートの配列方向との角度ずれΔθを前記軸ずれ量検出部
17の軸ずれ量検出結果に基づき求める。本実施形態例で
は、導波路チップ素子２側の導波路端末Ｄ1 〜Ｄn はそ
の配列が設計通りに等ピッチ間隔で配列され、その各導
波路端末Ｄ1 〜Ｄn の中心を結ぶ配列方向の線Ｌ（図３
参照）はＸ軸に平行と仮定し、この導波路チップ素子２
側の直線Ｌを基準としてファイバアレイ１側の各光ファ
イバ端末Ｆ1 〜Ｆn の配列方向の線Ｌ′との角度Δθを
求める。具体的には、導波路端末Ｄ1 を基準としてＸ方
向とＹ方向のずれ位置に光ファイバ端末Ｆ1 の位置をプ
ロットし、同様に、導波路端末Ｄ1 〜Ｄn のそれぞれに
対応させてＸ方向とＹ方向の位置ずれ位置に光ファイバ
Ｆ1 〜Ｆn の端末位置をプロットし、これらＦ1 〜Ｆn
のプロット点を結ぶことにより直線Ｌ′が得られ、これ
によりＬとＬ′の角度Δθが光ファイバＦ1 〜Ｆn の配
列方向と導波路端末Ｄ1 〜Ｄn の配列方向の角度ずれと
して求められる。
る光ファイバＦ1 〜Ｆn の端末ポートの配列方向と同じ
く接続端面12に配列される導波路端末Ｄ1 〜Ｄn の各ポ
ートの配列方向との角度ずれΔθを前記軸ずれ量検出部
17の軸ずれ量検出結果に基づき求める。本実施形態例で
は、導波路チップ素子２側の導波路端末Ｄ1 〜Ｄn はそ
の配列が設計通りに等ピッチ間隔で配列され、その各導
波路端末Ｄ1 〜Ｄn の中心を結ぶ配列方向の線Ｌ（図３
参照）はＸ軸に平行と仮定し、この導波路チップ素子２
側の直線Ｌを基準としてファイバアレイ１側の各光ファ
イバ端末Ｆ1 〜Ｆn の配列方向の線Ｌ′との角度Δθを
求める。具体的には、導波路端末Ｄ1 を基準としてＸ方
向とＹ方向のずれ位置に光ファイバ端末Ｆ1 の位置をプ
ロットし、同様に、導波路端末Ｄ1 〜Ｄn のそれぞれに
対応させてＸ方向とＹ方向の位置ずれ位置に光ファイバ
Ｆ1 〜Ｆn の端末位置をプロットし、これらＦ1 〜Ｆn
のプロット点を結ぶことにより直線Ｌ′が得られ、これ
によりＬとＬ′の角度Δθが光ファイバＦ1 〜Ｆn の配
列方向と導波路端末Ｄ1 〜Ｄn の配列方向の角度ずれと
して求められる。
【００２８】端末群軸ずれ量検出部20は図３の（ａ）か
ら（ｂ）に示す如く、ファイバアレイ１を予め定められ
た点、この実施形態例では光ファイバアレイ１の接続端
面７の中心点Ｃを中心にして前記角度ずれΔθを解消す
る方向に回転して図３の（ｂ）に示す如く導波路端末Ｄ
1 〜Ｄn の配列方向Ｌと光ファイバＦ1 〜Ｆn の配列方
向Ｌ′とを平行にしたと仮定した状態の下で、導波路端
末Ｄ1 〜Ｄn の群と光ファイバＦ1 〜Ｆn の端末群とを
総合的に見たＸ方向とＹ方向の軸ずれ量を光通路端末群
軸ずれ量として求める。
ら（ｂ）に示す如く、ファイバアレイ１を予め定められ
た点、この実施形態例では光ファイバアレイ１の接続端
面７の中心点Ｃを中心にして前記角度ずれΔθを解消す
る方向に回転して図３の（ｂ）に示す如く導波路端末Ｄ
1 〜Ｄn の配列方向Ｌと光ファイバＦ1 〜Ｆn の配列方
向Ｌ′とを平行にしたと仮定した状態の下で、導波路端
末Ｄ1 〜Ｄn の群と光ファイバＦ1 〜Ｆn の端末群とを
総合的に見たＸ方向とＹ方向の軸ずれ量を光通路端末群
軸ずれ量として求める。
【００２９】微視的に見た場合、光ファイバアレイ１の
光ファイバＦ1 〜Ｆn の配列位置は製造誤差等により必
ずしも設計通りに配置されていない場合が想定され、こ
の場合には、各光ファイバＦ1 〜Ｆn の端末ポートはＸ
方向とＹ方向にずれが生じており、同様に、導波路端末
Ｄ1 〜Ｄn 側も、各端末ポートはＸ方向とＹ方向にずれ
が生じている場合が想定される。このような事情の下
で、例えば、光ファイバ端末Ｆ1 と導波路端末Ｄ1 を正
確に軸合わせしたときに、他の光ファイバＦ2 の端末と
導波路Ｄ2 の端末は必ずしも軸が一致せず、寧ろ、軸ず
れ量が大きくなる場合があり、このような場合には、光
ファイバＦ1 の端末と導波路端末Ｄ1 を多少軸ずれが残
る状態にして光ファイバＦ2 の端末と導波路端末Ｄ2 と
の軸ずれ量を少なくし、総合的に見て光ファイバＦ1 〜
Ｆn の群と導波路端末Ｄ1 〜Ｄn の群とを最良の位置に
合わせることが必要となり、この最良の位置合わせ位置
からのずれ量が端末群軸ずれ量であり、この端末群軸ず
れ量は次のようにして求められる。
光ファイバＦ1 〜Ｆn の配列位置は製造誤差等により必
ずしも設計通りに配置されていない場合が想定され、こ
の場合には、各光ファイバＦ1 〜Ｆn の端末ポートはＸ
方向とＹ方向にずれが生じており、同様に、導波路端末
Ｄ1 〜Ｄn 側も、各端末ポートはＸ方向とＹ方向にずれ
が生じている場合が想定される。このような事情の下
で、例えば、光ファイバ端末Ｆ1 と導波路端末Ｄ1 を正
確に軸合わせしたときに、他の光ファイバＦ2 の端末と
導波路Ｄ2 の端末は必ずしも軸が一致せず、寧ろ、軸ず
れ量が大きくなる場合があり、このような場合には、光
ファイバＦ1 の端末と導波路端末Ｄ1 を多少軸ずれが残
る状態にして光ファイバＦ2 の端末と導波路端末Ｄ2 と
の軸ずれ量を少なくし、総合的に見て光ファイバＦ1 〜
Ｆn の群と導波路端末Ｄ1 〜Ｄn の群とを最良の位置に
合わせることが必要となり、この最良の位置合わせ位置
からのずれ量が端末群軸ずれ量であり、この端末群軸ず
れ量は次のようにして求められる。
【００３０】まず、図３の（ａ）の状態で、前記軸ずれ
量検出部17により、対応する各ポート毎に導波路端末Ｄ
1 〜Ｄn と対応する光ファイバ端末Ｆ1 〜Ｆn のＸ方向
と軸方向の軸ずれ量が検出されており、端末群軸ずれ量
検出部20はこの軸ずれ量検出部17の検出結果を取り込
む。そして、角度ずれ検出部18で求められた角度ずれΔ
θを解消する方向にそのΔθだけ予め与えられた点Ｃを
回転中心にして回転し図３の（ｂ）に示すように計算上
で導波路端末Ｄ1 〜Ｄn の配列方向の線Ｌと光ファイバ
端末Ｆ1 〜Ｆn の配列方向の線Ｌ′とを平行状態にする
（Δθは仮想上回転するのであって、実際には回転しな
い）。
量検出部17により、対応する各ポート毎に導波路端末Ｄ
1 〜Ｄn と対応する光ファイバ端末Ｆ1 〜Ｆn のＸ方向
と軸方向の軸ずれ量が検出されており、端末群軸ずれ量
検出部20はこの軸ずれ量検出部17の検出結果を取り込
む。そして、角度ずれ検出部18で求められた角度ずれΔ
θを解消する方向にそのΔθだけ予め与えられた点Ｃを
回転中心にして回転し図３の（ｂ）に示すように計算上
で導波路端末Ｄ1 〜Ｄn の配列方向の線Ｌと光ファイバ
端末Ｆ1 〜Ｆn の配列方向の線Ｌ′とを平行状態にする
（Δθは仮想上回転するのであって、実際には回転しな
い）。
【００３１】この中心点Ｃを中心にしての仮想上の回転
により、各光ファイバ端末Ｆ1 〜Ｆn はＸ方向とＹ方向
に移動する結果、図３の（ｂ）の如く、直線ＬとＬ′が
平行となることによって、各導波路端末Ｄ1 〜Ｄn と対
応する各光ファイバ端末Ｆ1〜Ｆn のＸ方向とＹ方向の
軸ずれ量が前記軸ずれ量検出部17で検出された初期軸ず
れ量とは異なる値となる。そこで、端末群軸ずれ量検出
部20は、まず、前記軸ずれ量検出部17で検出された初期
軸ずれ量を回転Δθによる新たなＸ方向とＹ方向のずれ
量を考慮して修正する。
により、各光ファイバ端末Ｆ1 〜Ｆn はＸ方向とＹ方向
に移動する結果、図３の（ｂ）の如く、直線ＬとＬ′が
平行となることによって、各導波路端末Ｄ1 〜Ｄn と対
応する各光ファイバ端末Ｆ1〜Ｆn のＸ方向とＹ方向の
軸ずれ量が前記軸ずれ量検出部17で検出された初期軸ず
れ量とは異なる値となる。そこで、端末群軸ずれ量検出
部20は、まず、前記軸ずれ量検出部17で検出された初期
軸ずれ量を回転Δθによる新たなＸ方向とＹ方向のずれ
量を考慮して修正する。
【００３２】例えば、図３の（ａ）の状態で、導波路端
末Ｄn と光ファイバ端末Ｆn とのＸ方向の軸ずれ量がＸ
n であり、Ｙ方向の軸ずれ量がＹn であったとき、前記
Δθのファイバアレイ１側のＣを中心とした回転により
光ファイバＦn の端末がＸ方向にδX 、Ｙ方向にδY 移
動したとすると、端末Ｄn とＦn の軸ずれ量は（Ｘn＋
δX ，Ｙn ＋δY ）に修正される。このようにして、直
線ＬとＬ′が平行の状態と仮定したときの各導波路端末
Ｄ1 〜Ｄn とこれに対応する光ファイバ端末Ｆ1 〜Ｆn
との修正された軸ずれ量（修正軸ずれ量）を求めた後、
端末群軸ずれ量を予め与えられた手法により求める。
末Ｄn と光ファイバ端末Ｆn とのＸ方向の軸ずれ量がＸ
n であり、Ｙ方向の軸ずれ量がＹn であったとき、前記
Δθのファイバアレイ１側のＣを中心とした回転により
光ファイバＦn の端末がＸ方向にδX 、Ｙ方向にδY 移
動したとすると、端末Ｄn とＦn の軸ずれ量は（Ｘn＋
δX ，Ｙn ＋δY ）に修正される。このようにして、直
線ＬとＬ′が平行の状態と仮定したときの各導波路端末
Ｄ1 〜Ｄn とこれに対応する光ファイバ端末Ｆ1 〜Ｆn
との修正された軸ずれ量（修正軸ずれ量）を求めた後、
端末群軸ずれ量を予め与えられた手法により求める。
【００３３】端末群軸ずれ量を求める手法としては、様
々な提案がされており、例えば、導波路端末Ｄ1 〜Ｄn
と光ファイバ端末Ｆ1 〜Ｆn のそれぞれの軸ずれ量を合
算した値が最小となる位置を調心位置とし、この調心位
置からのずれ量とする手法や、光導波路Ｄ1 〜Ｄn の各
端末と光ファイバＦ1 〜Ｆn の各端末との接続損失がト
ータル的に最小になるような位置を調心位置とし、この
調心位置からのずれ量として端末群軸ずれ量を求める手
法や、あるいは、光導波路の出射端側で計測される各導
波路端末の光パワーのうち、その最も小さい光パワーが
あるレベルまで高くなる位置を調心位置とし、その調心
位置からのずれ量を端末群軸ずれ量として求める手法
や、さらには、各導波路端末Ｄ1 〜Ｄn と対応する光フ
ァイバ端末Ｆ1 〜Ｆn の軸ずれ量（前記修正軸ずれ量）
が最小二乗法の演算によって最小となる位置を調心位置
とし、この調心位置からのずれ量を端末群軸ずれ量とし
て求める手法等があり、それらの適宜の指定される手法
に従いＸ方向の端末群軸ずれ量ΔＸと、Ｙ方向の端末群
軸ずれ量ΔＹとを求める。
々な提案がされており、例えば、導波路端末Ｄ1 〜Ｄn
と光ファイバ端末Ｆ1 〜Ｆn のそれぞれの軸ずれ量を合
算した値が最小となる位置を調心位置とし、この調心位
置からのずれ量とする手法や、光導波路Ｄ1 〜Ｄn の各
端末と光ファイバＦ1 〜Ｆn の各端末との接続損失がト
ータル的に最小になるような位置を調心位置とし、この
調心位置からのずれ量として端末群軸ずれ量を求める手
法や、あるいは、光導波路の出射端側で計測される各導
波路端末の光パワーのうち、その最も小さい光パワーが
あるレベルまで高くなる位置を調心位置とし、その調心
位置からのずれ量を端末群軸ずれ量として求める手法
や、さらには、各導波路端末Ｄ1 〜Ｄn と対応する光フ
ァイバ端末Ｆ1 〜Ｆn の軸ずれ量（前記修正軸ずれ量）
が最小二乗法の演算によって最小となる位置を調心位置
とし、この調心位置からのずれ量を端末群軸ずれ量とし
て求める手法等があり、それらの適宜の指定される手法
に従いＸ方向の端末群軸ずれ量ΔＸと、Ｙ方向の端末群
軸ずれ量ΔＹとを求める。
【００３４】固有軸ずれ量検出部21は、前記端末群軸ず
れ量検出部20で求められた端末群軸ずれ量のデータを取
り込み、図３の（ｂ）に示されるように導波路端末Ｄ1
〜Ｄn の配列方向の線Ｌと光ファイバ端末Ｆ1 〜Ｆn の
配列方向の線Ｌ′とが平行になっている条件の下で、光
ファイバアレイ１側をその端末群軸ずれ量だけその軸ず
れ量を解消するＸ方向とＹ方向に移動したと仮定したと
きの各導波路端末Ｄ1〜Ｄn と対応する各光ファイバＦ
1 〜Ｆn とのＸ方向とＹ方向の軸ずれ量を固有軸ずれ量
として｛（ＡＸ1 ，ＡＹ1 ），（ＡＸ2 ，ＡＹ2 ），・
・・・・，（ＡＸn ，ＡＹn ）｝の如く求められる。各
導波路端末Ｄ1 〜Ｄn と対応する光ファイバ端末Ｆ1 〜
Ｆn 間にそれぞれ前記固有軸ずれ量を残存させた状態が
導波路端末Ｄ1 〜Ｄn 群と光ファイバ端末Ｆ1 〜Ｆn 群
とが最良の位置で調心された状態を意味する。
れ量検出部20で求められた端末群軸ずれ量のデータを取
り込み、図３の（ｂ）に示されるように導波路端末Ｄ1
〜Ｄn の配列方向の線Ｌと光ファイバ端末Ｆ1 〜Ｆn の
配列方向の線Ｌ′とが平行になっている条件の下で、光
ファイバアレイ１側をその端末群軸ずれ量だけその軸ず
れ量を解消するＸ方向とＹ方向に移動したと仮定したと
きの各導波路端末Ｄ1〜Ｄn と対応する各光ファイバＦ
1 〜Ｆn とのＸ方向とＹ方向の軸ずれ量を固有軸ずれ量
として｛（ＡＸ1 ，ＡＹ1 ），（ＡＸ2 ，ＡＹ2 ），・
・・・・，（ＡＸn ，ＡＹn ）｝の如く求められる。各
導波路端末Ｄ1 〜Ｄn と対応する光ファイバ端末Ｆ1 〜
Ｆn 間にそれぞれ前記固有軸ずれ量を残存させた状態が
導波路端末Ｄ1 〜Ｄn 群と光ファイバ端末Ｆ1 〜Ｆn 群
とが最良の位置で調心された状態を意味する。
【００３５】代表軸ずれ量検出部22は前記角度ずれ検出
部18で求められた角度ずれΔθ分だけその角度ずれを解
消する方向にファイバアレイ１を実際に回転し、図３の
（ｂ）に示す如く導波路端末Ｄ1 〜Ｄn の配列方向と光
ファイバ端末Ｆ1 〜Ｆn の配列方向を平行にし、その状
態で、前記端末群軸ずれ量検出部20で求められたＸ方向
の端末群軸ずれ量ΔＸと、Ｙ方向の端末群軸ずれ量ΔＹ
を解消する方向にそれぞれそのずれ量分だけＸ方向とＹ
方向にファイバアレイ１を導波路チップ素子２に対して
相対的に移動させた後に、光ファイバ端末Ｆ1 〜Ｆn の
うちの任意の光ファイバ、例えば一端側からｍ番目の光
ファイバを代表光通路として選定し、この代表光通路の
光ファイバ端末Ｆm と対応する導波路端末Ｄm とのＸ方
向とＹ方向の軸ずれ量を代表軸ずれ量として実測する。
部18で求められた角度ずれΔθ分だけその角度ずれを解
消する方向にファイバアレイ１を実際に回転し、図３の
（ｂ）に示す如く導波路端末Ｄ1 〜Ｄn の配列方向と光
ファイバ端末Ｆ1 〜Ｆn の配列方向を平行にし、その状
態で、前記端末群軸ずれ量検出部20で求められたＸ方向
の端末群軸ずれ量ΔＸと、Ｙ方向の端末群軸ずれ量ΔＹ
を解消する方向にそれぞれそのずれ量分だけＸ方向とＹ
方向にファイバアレイ１を導波路チップ素子２に対して
相対的に移動させた後に、光ファイバ端末Ｆ1 〜Ｆn の
うちの任意の光ファイバ、例えば一端側からｍ番目の光
ファイバを代表光通路として選定し、この代表光通路の
光ファイバ端末Ｆm と対応する導波路端末Ｄm とのＸ方
向とＹ方向の軸ずれ量を代表軸ずれ量として実測する。
【００３６】この代表軸ずれ量の実測は、光ファイバＦ
m に光を入射し、導波路端末Ｄm の出力パワーを出射光
測定手段15で検出し、出射光の出力パワーが最大となる
ファイバアレイ位置側のＸ方向とＹ方向の移動量を軸ず
れ量検出部17で検出することによりＸ方向の代表軸ずれ
量がＢＸm として求められ、Ｙ方向の代表軸ずれ量がＢ
Ｙm として求められる。この代表軸ずれ量ＢＸm ，ＢＹ
m は前記端末群軸ずれ量検出部20で想定上ファイバアレ
イ１をΔθだけ回転させた回転中心Ｃと、代表軸ずれ量
を検出する際に実際にΔθだけファイバアレイ１を回転
させた回転中心とが一致していれば、代表軸ずれ量ＢＸ
m ，ＢＹm は前記固有軸ずれ量検出部21で計算上求めら
れる同じ代表光通路の光ファイバ端末Ｆm と導波路端末
Ｄm 間のＸ方向とＹ方向の固有軸ずれ量ＡＸm ，ＡＹm
と同じ値になるはずであるが、実際には、計算上ファイ
バアレイ１をΔθだけ回転する回転中心Ｃと実際にファ
イバアレイ１を回転するときの回転中心Ｃ′（図２参
照）は一致せず、Ｃ点を中心とした計算上の回転による
各光ファイバ端末Ｆ1 〜Ｆn のＸ方向とＹ方向の移動量
と実際のファイバアレイ１の回転中心Ｃ′を中心として
回転したときの各光ファイバ端末Ｆ1 〜Ｆn のＸ方向と
Ｙ方向の移動量にずれが生じる。
m に光を入射し、導波路端末Ｄm の出力パワーを出射光
測定手段15で検出し、出射光の出力パワーが最大となる
ファイバアレイ位置側のＸ方向とＹ方向の移動量を軸ず
れ量検出部17で検出することによりＸ方向の代表軸ずれ
量がＢＸm として求められ、Ｙ方向の代表軸ずれ量がＢ
Ｙm として求められる。この代表軸ずれ量ＢＸm ，ＢＹ
m は前記端末群軸ずれ量検出部20で想定上ファイバアレ
イ１をΔθだけ回転させた回転中心Ｃと、代表軸ずれ量
を検出する際に実際にΔθだけファイバアレイ１を回転
させた回転中心とが一致していれば、代表軸ずれ量ＢＸ
m ，ＢＹm は前記固有軸ずれ量検出部21で計算上求めら
れる同じ代表光通路の光ファイバ端末Ｆm と導波路端末
Ｄm 間のＸ方向とＹ方向の固有軸ずれ量ＡＸm ，ＡＹm
と同じ値になるはずであるが、実際には、計算上ファイ
バアレイ１をΔθだけ回転する回転中心Ｃと実際にファ
イバアレイ１を回転するときの回転中心Ｃ′（図２参
照）は一致せず、Ｃ点を中心とした計算上の回転による
各光ファイバ端末Ｆ1 〜Ｆn のＸ方向とＹ方向の移動量
と実際のファイバアレイ１の回転中心Ｃ′を中心として
回転したときの各光ファイバ端末Ｆ1 〜Ｆn のＸ方向と
Ｙ方向の移動量にずれが生じる。
【００３７】調整軸ずれ量演算部23は前記計算上の回転
中心Ｃと実際の回転中心Ｃ′との回転中心の違いによる
Ｘ方向とＹ方向のずれ量の差を考慮して光ファイバ端末
Ｆ1〜Ｆn 群と導波路端末Ｄ1 〜Ｄn 群との端末群軸ず
れ量を解消するＸ方向とＹ方向の調整軸ずれ量を演算に
より求める。すなわち、Ｘ方向の調整軸ずれ量は前記代
表軸ずれ量検出部22で求められたＸ方向の代表軸ずれ量
ＢＸm から同じ代表光通路の光ファイバ端末Ｆm と対応
する導波路端末Ｄm とのＸ方向の固有軸ずれ量ＡＸm を
差し引いたＢＸm −ＡＸm の演算により求め、同じくＹ
方向の調整軸ずれ量はＹ方向の代表軸ずれ量ＢＹm から
同じ代表光通路上で求められた固有軸ずれ量ＡＹm を差
し引いたＢＹm −ＡＹm の演算により求める。
中心Ｃと実際の回転中心Ｃ′との回転中心の違いによる
Ｘ方向とＹ方向のずれ量の差を考慮して光ファイバ端末
Ｆ1〜Ｆn 群と導波路端末Ｄ1 〜Ｄn 群との端末群軸ず
れ量を解消するＸ方向とＹ方向の調整軸ずれ量を演算に
より求める。すなわち、Ｘ方向の調整軸ずれ量は前記代
表軸ずれ量検出部22で求められたＸ方向の代表軸ずれ量
ＢＸm から同じ代表光通路の光ファイバ端末Ｆm と対応
する導波路端末Ｄm とのＸ方向の固有軸ずれ量ＡＸm を
差し引いたＢＸm −ＡＸm の演算により求め、同じくＹ
方向の調整軸ずれ量はＹ方向の代表軸ずれ量ＢＹm から
同じ代表光通路上で求められた固有軸ずれ量ＡＹm を差
し引いたＢＹm −ＡＹm の演算により求める。
【００３８】調心移動制御部24は、ステージ移動制御部
16によるステージ移動の制御動作を介し、ステージ駆動
部14を駆動させてファイバアレイ１側をＸ方向に調整軸
ずれ量（ＢＸm −ＡＸm ）を解消する方向にその軸ずれ
量だけ移動し、Ｙ方向に該Ｙ方向の調整軸ずれ量（ＢＹ
m −ＡＹm ）を解消する方向にその軸ずれ量分だけ移動
する。この調心移動制御部24の調心移動により、各光フ
ァイバ端末Ｆ1 〜Ｆnと対応する各導波路端末Ｄ1 〜Ｄ
n 間にはＸ方向とＹ方向に固有軸ずれ量が残存した状態
となり、ファイバアレイ１と導波路チップ素子２の好適
な調心が達成される。
16によるステージ移動の制御動作を介し、ステージ駆動
部14を駆動させてファイバアレイ１側をＸ方向に調整軸
ずれ量（ＢＸm −ＡＸm ）を解消する方向にその軸ずれ
量だけ移動し、Ｙ方向に該Ｙ方向の調整軸ずれ量（ＢＹ
m −ＡＹm ）を解消する方向にその軸ずれ量分だけ移動
する。この調心移動制御部24の調心移動により、各光フ
ァイバ端末Ｆ1 〜Ｆnと対応する各導波路端末Ｄ1 〜Ｄ
n 間にはＸ方向とＹ方向に固有軸ずれ量が残存した状態
となり、ファイバアレイ１と導波路チップ素子２の好適
な調心が達成される。
【００３９】本実施形態例は上記のように構成されてお
り、次に本発明の調心方法の動作を図４のフローチャー
トに基づき説明する。まず、固定ステージ11に導波路チ
ップ素子２が載置固定され、この導波路チップ素子２の
接続端面12にファイバアレイ１の接続端面７を対向状態
にして該ファイバアレイ１を移動ステージ８に載置固定
してスタート状態となる。
り、次に本発明の調心方法の動作を図４のフローチャー
トに基づき説明する。まず、固定ステージ11に導波路チ
ップ素子２が載置固定され、この導波路チップ素子２の
接続端面12にファイバアレイ１の接続端面７を対向状態
にして該ファイバアレイ１を移動ステージ８に載置固定
してスタート状態となる。
【００４０】ステップ101 ではファイバアレイ１の各光
ファイバ端末Ｆ1 〜Ｆn と対応する導波路チップ素子２
側の導波路端末Ｄ1 〜Ｄn の各端末（各ポート）毎のＸ
方向とＹ方向の軸ずれ量を測定する。この軸ずれ量の測
定は、前記した如く、ファイバアレイ１側を初期定位置
から各導波路端末Ｄ1 〜Ｄn の出射端から出力される出
力パワーが最大となる位置まで移動されるＸ方向とＹ方
向の移動量によって求められる。
ファイバ端末Ｆ1 〜Ｆn と対応する導波路チップ素子２
側の導波路端末Ｄ1 〜Ｄn の各端末（各ポート）毎のＸ
方向とＹ方向の軸ずれ量を測定する。この軸ずれ量の測
定は、前記した如く、ファイバアレイ１側を初期定位置
から各導波路端末Ｄ1 〜Ｄn の出射端から出力される出
力パワーが最大となる位置まで移動されるＸ方向とＹ方
向の移動量によって求められる。
【００４１】ステップ102 では導波路チップ素子２側の
導波路端末Ｄ1 〜Ｄn の配列方向をＸ軸に平行であると
仮定し、かつ、各導波路端末Ｄ1 〜Ｄn の配列位置が設
計通りに作製されているものとして固定側の導波路端末
Ｄ1 〜Ｄn を基準とし、これら各導波路端末Ｄ1 〜Ｄn
に対応する光ファイバ端末Ｆ1 〜Ｆn のＸ方向とＹ方向
の軸ずれ量のデータに基づき図３に示されるような導波
路端末Ｄ1 〜Ｄn の配列方向の直線Ｌと光ファイバ端末
Ｆ1 〜Ｆn の配列方向の直線Ｌ′との角度ずれΔθを求
める。そして、この角度ずれΔθを求めた後に、計算上
（仮想上）図３の（ａ）に示す状態から同図の（ｂ）に
示すように、Ｃ点を中心にして角度ずれΔθをそのずれ
量だけ解消する方向に回転したと仮定したときの導波路
端末Ｄ1〜Ｄn の群と光ファイバ端末Ｆ1 〜Ｆn の群の
Ｘ方向の端末群軸ずれ量ΔＸとＹ方向の端末群軸ずれ量
ΔＹを算出する。
導波路端末Ｄ1 〜Ｄn の配列方向をＸ軸に平行であると
仮定し、かつ、各導波路端末Ｄ1 〜Ｄn の配列位置が設
計通りに作製されているものとして固定側の導波路端末
Ｄ1 〜Ｄn を基準とし、これら各導波路端末Ｄ1 〜Ｄn
に対応する光ファイバ端末Ｆ1 〜Ｆn のＸ方向とＹ方向
の軸ずれ量のデータに基づき図３に示されるような導波
路端末Ｄ1 〜Ｄn の配列方向の直線Ｌと光ファイバ端末
Ｆ1 〜Ｆn の配列方向の直線Ｌ′との角度ずれΔθを求
める。そして、この角度ずれΔθを求めた後に、計算上
（仮想上）図３の（ａ）に示す状態から同図の（ｂ）に
示すように、Ｃ点を中心にして角度ずれΔθをそのずれ
量だけ解消する方向に回転したと仮定したときの導波路
端末Ｄ1〜Ｄn の群と光ファイバ端末Ｆ1 〜Ｆn の群の
Ｘ方向の端末群軸ずれ量ΔＸとＹ方向の端末群軸ずれ量
ΔＹを算出する。
【００４２】次にステップ103 では仮想上前記角度ずれ
Δθを解消する方向に回転し、かつ、前記ステップ102
で求められたＸ方向とＹ方向の端末群軸ずれ量ΔＸ，Δ
Ｙを解消する方向にそのずれ分だけファイバアレイ１側
を移動したと仮定したときの各導波路端末Ｄ1 〜Ｄn と
対応する光ファイバ端末Ｆ1 〜Ｆn のそれぞれのＸ方向
とＹ方向の固有軸ずれ量を算出する。
Δθを解消する方向に回転し、かつ、前記ステップ102
で求められたＸ方向とＹ方向の端末群軸ずれ量ΔＸ，Δ
Ｙを解消する方向にそのずれ分だけファイバアレイ１側
を移動したと仮定したときの各導波路端末Ｄ1 〜Ｄn と
対応する光ファイバ端末Ｆ1 〜Ｆn のそれぞれのＸ方向
とＹ方向の固有軸ずれ量を算出する。
【００４３】次にステップ104 では前記ステップ102 で
求められた角度ずれΔθが予め与えられている判定基準
値よりも小さいか否かを判断する。角度ずれの判定基準
値は、角度検出の分解能や移動ステージ８側の回転移動
の精度を考慮して与えられ、例えば0.0005度の角度の値
が角度ずれ判定基準値の値として与えられる。前記ステ
ップ102 で求められた角度ずれΔθが角度ずれの判定基
準値以上のときには、ステップ105 以降の動作を行う。
求められた角度ずれΔθが予め与えられている判定基準
値よりも小さいか否かを判断する。角度ずれの判定基準
値は、角度検出の分解能や移動ステージ８側の回転移動
の精度を考慮して与えられ、例えば0.0005度の角度の値
が角度ずれ判定基準値の値として与えられる。前記ステ
ップ102 で求められた角度ずれΔθが角度ずれの判定基
準値以上のときには、ステップ105 以降の動作を行う。
【００４４】すなわち、ステップ105 では実際に角度ず
れΔθを解消する方向にその角度ずれ分だけファイバア
レイ１側を回転し、また、前記ステップ102 で求められ
たＸ方向とＹ方向の端末群軸ずれ量ΔＸ，ΔＹのずれ分
だけそのずれを解消する方向にファイバアレイ１側をＸ
方向とＹ方向に移動する。
れΔθを解消する方向にその角度ずれ分だけファイバア
レイ１側を回転し、また、前記ステップ102 で求められ
たＸ方向とＹ方向の端末群軸ずれ量ΔＸ，ΔＹのずれ分
だけそのずれを解消する方向にファイバアレイ１側をＸ
方向とＹ方向に移動する。
【００４５】次にステップ106 ではファイバアレイ１側
の複数の光ファイバＦ1 〜Ｆn のうちの１本の光ファイ
バを代表光通路として選定し、その代表光通路の光ファ
イバ、例えば光ファイバＦm に光を通し、対応する導波
路端末Ｄm の出射端から出射される光パワーを測定し、
その光パワーが最大となる位置まで移動するのに要した
Ｘ方向とＹ方向の移動量からＸ方向とＹ方向の代表軸ず
れ量を測定する。そして、ステップ107 ではＸ方向の調
整軸ずれ量ΔＸOUT とＹ方向の調整軸ずれ量ΔＹOUT を
算出する。Ｘ方向の調整軸ずれ量ΔＸOUT はＸ方向の代
表軸ずれ量ＢＸm からＸ方向の固有軸ずれ量ＡＸm を差
し引きすることにより求める。同様に、Ｙ方向の調整軸
ずれ量ΔＹOUT はＹ方向の代表軸ずれ量Ｙm からＸ方向
の固有軸ずれ量ＡＹm を差し引くことにより求める。す
なわち、ΔＸOUT ＝ＢＸm −ＡＸm ，ΔＹOUT ＝ＢＹm
−ＡＹm の演算により求める。
の複数の光ファイバＦ1 〜Ｆn のうちの１本の光ファイ
バを代表光通路として選定し、その代表光通路の光ファ
イバ、例えば光ファイバＦm に光を通し、対応する導波
路端末Ｄm の出射端から出射される光パワーを測定し、
その光パワーが最大となる位置まで移動するのに要した
Ｘ方向とＹ方向の移動量からＸ方向とＹ方向の代表軸ず
れ量を測定する。そして、ステップ107 ではＸ方向の調
整軸ずれ量ΔＸOUT とＹ方向の調整軸ずれ量ΔＹOUT を
算出する。Ｘ方向の調整軸ずれ量ΔＸOUT はＸ方向の代
表軸ずれ量ＢＸm からＸ方向の固有軸ずれ量ＡＸm を差
し引きすることにより求める。同様に、Ｙ方向の調整軸
ずれ量ΔＹOUT はＹ方向の代表軸ずれ量Ｙm からＸ方向
の固有軸ずれ量ＡＹm を差し引くことにより求める。す
なわち、ΔＸOUT ＝ＢＸm −ＡＸm ，ΔＹOUT ＝ＢＹm
−ＡＹm の演算により求める。
【００４６】そして、ステップ108 でファイバアレイ１
側を調整軸ずれ量を解消する方向にそのずれ量だけＸ方
向とＹ方向に調心移動する。
側を調整軸ずれ量を解消する方向にそのずれ量だけＸ方
向とＹ方向に調心移動する。
【００４７】ステップ109 では前記ステップ107 で求め
られた調整軸ずれ量ΔＸOUT ，ΔＹOUT が予め与えられ
る軸ずれ量の判定基準値よりも小さいか否かを判断す
る。この軸ずれ量の判定基準値も、移動量測定の分解能
や、移動ステージ８のＸ方向とＹ方向の移動の精度を考
慮して与えられ、例えば、0.05μｍの値が軸ずれ量の判
定基準値として与えられる。調整軸ずれ量ΔＸOUT ，Δ
ＹOUT が軸ずれ量の判定基準値よりも小さい場合には、
ΔＸOUT とΔＹOUT の調整軸ずれ量が極めて小さくなっ
ており、それ以上の調心動作を繰り返すことは装置の測
定精度や分解能を越えた能力を要求することとなり、意
味がないので調心動作を終了する。
られた調整軸ずれ量ΔＸOUT ，ΔＹOUT が予め与えられ
る軸ずれ量の判定基準値よりも小さいか否かを判断す
る。この軸ずれ量の判定基準値も、移動量測定の分解能
や、移動ステージ８のＸ方向とＹ方向の移動の精度を考
慮して与えられ、例えば、0.05μｍの値が軸ずれ量の判
定基準値として与えられる。調整軸ずれ量ΔＸOUT ，Δ
ＹOUT が軸ずれ量の判定基準値よりも小さい場合には、
ΔＸOUT とΔＹOUT の調整軸ずれ量が極めて小さくなっ
ており、それ以上の調心動作を繰り返すことは装置の測
定精度や分解能を越えた能力を要求することとなり、意
味がないので調心動作を終了する。
【００４８】これに対し、調整軸ずれ量ΔＸOUT ，ΔＹ
OUT が軸ずれ量が判定基準値以上の場合には、調心動作
はまだ十分でないので、ステップ101 以降の動作を繰り
返し行う。本実施形態例の調心動作では、導波路チップ
素子２側の導波路端末Ｄ1 〜Ｄn の配列方向はＸ軸と平
行であるものと仮定し、各導波路端末Ｄ1 〜Ｄn は等ピ
ッチ間隔で設計通りに作製されているものと仮定して調
心動作を行っており、実際には導波路端末Ｄ1 〜Ｄn の
配列方向がＸ軸とずれている場合が想定され、また、各
導波路端末Ｄ1 〜Ｄn の配列位置も設計通りになってい
ないことが想定され、これらの仮定と実際のずれや、軸
ずれ量等の測定誤差等のため、前記ステップ107 で算出
される調整軸ずれ量ΔＸOUT ，ΔＹOUT はその軸ずれ量
の判定基準値よりも大きくなる場合があり、このような
場合には、ステップ101 以降の動作を繰り返し行うこと
により、仮定と実際によるずれ量や測定誤差の影響が解
消される方向にデータ処理が行われる結果、最終的には
調整軸ずれ量ΔＸOUT ，ΔＹOUT は軸ずれ量の判定基準
値よりも小さくなり、判定基準値を十分満足する範囲で
ファイバアレイ１と導波路チップ素子２の調心が行われ
る。
OUT が軸ずれ量が判定基準値以上の場合には、調心動作
はまだ十分でないので、ステップ101 以降の動作を繰り
返し行う。本実施形態例の調心動作では、導波路チップ
素子２側の導波路端末Ｄ1 〜Ｄn の配列方向はＸ軸と平
行であるものと仮定し、各導波路端末Ｄ1 〜Ｄn は等ピ
ッチ間隔で設計通りに作製されているものと仮定して調
心動作を行っており、実際には導波路端末Ｄ1 〜Ｄn の
配列方向がＸ軸とずれている場合が想定され、また、各
導波路端末Ｄ1 〜Ｄn の配列位置も設計通りになってい
ないことが想定され、これらの仮定と実際のずれや、軸
ずれ量等の測定誤差等のため、前記ステップ107 で算出
される調整軸ずれ量ΔＸOUT ，ΔＹOUT はその軸ずれ量
の判定基準値よりも大きくなる場合があり、このような
場合には、ステップ101 以降の動作を繰り返し行うこと
により、仮定と実際によるずれ量や測定誤差の影響が解
消される方向にデータ処理が行われる結果、最終的には
調整軸ずれ量ΔＸOUT ，ΔＹOUT は軸ずれ量の判定基準
値よりも小さくなり、判定基準値を十分満足する範囲で
ファイバアレイ１と導波路チップ素子２の調心が行われ
る。
【００４９】なお、前記ステップ104 で角度ずれΔθが
その角度ずれの判定基準値よりも小さい場合には、ステ
ップ110 で前記ステップ102 で求められたＸ方向とＹ方
向の端末群軸ずれ量ΔＸ，ΔＹがその軸ずれ量の判定基
準値（この判定基準値も例えば0.05μｍの値で与えられ
る）よりも小さいか否かが判断される。このＸ方向とＹ
方向の端末群軸ずれ量ΔＸ，ΔＹがその判定基準値より
も小さい場合には、ファイバアレイ１側をその端末群軸
ずれ量ΔＸ，ΔＹだけそのずれ量を修正する方向にＸ方
向とＹ方向に移動し、調心動作を終了する。
その角度ずれの判定基準値よりも小さい場合には、ステ
ップ110 で前記ステップ102 で求められたＸ方向とＹ方
向の端末群軸ずれ量ΔＸ，ΔＹがその軸ずれ量の判定基
準値（この判定基準値も例えば0.05μｍの値で与えられ
る）よりも小さいか否かが判断される。このＸ方向とＹ
方向の端末群軸ずれ量ΔＸ，ΔＹがその判定基準値より
も小さい場合には、ファイバアレイ１側をその端末群軸
ずれ量ΔＸ，ΔＹだけそのずれ量を修正する方向にＸ方
向とＹ方向に移動し、調心動作を終了する。
【００５０】これに対し、端末群軸ずれ量ΔＸ，ΔＹが
その判定基準値以上の場合にはステップ111 でそのＸ方
向とＹ方向の端末群軸ずれ量を修正する方向にファイバ
アレイ１をＸ方向とＹ方向に移動した後、ステップ101
以降の動作を繰り返し行う。この調心動作の繰り返しに
より、前記の如く、仮定と実際の相違によるずれや測定
誤差の影響が解消される方向にデータ処理され、最終的
には、角度ずれΔθや端末群軸ずれ量ΔＸ，ΔＹはそれ
ぞれの判定基準値よりも小さな値に収束され、ファイバ
アレイ１と導波路チップ素子２との最良の調心状態が得
られるのである。
その判定基準値以上の場合にはステップ111 でそのＸ方
向とＹ方向の端末群軸ずれ量を修正する方向にファイバ
アレイ１をＸ方向とＹ方向に移動した後、ステップ101
以降の動作を繰り返し行う。この調心動作の繰り返しに
より、前記の如く、仮定と実際の相違によるずれや測定
誤差の影響が解消される方向にデータ処理され、最終的
には、角度ずれΔθや端末群軸ずれ量ΔＸ，ΔＹはそれ
ぞれの判定基準値よりも小さな値に収束され、ファイバ
アレイ１と導波路チップ素子２との最良の調心状態が得
られるのである。
【００５１】本実施形態例によれば、ファイバアレイ１
側と導波路チップ素子２側との角度ずれを求め、この角
度ずれを解消した状態で端末群軸ずれ量を計算上求めた
後に、実際にファイバアレイを角度ずれを解消する方向
に回転し、かつ、端末群軸ずれ量を解消する方向に移動
した後に、各導波路端末Ｄ1 〜Ｄn と対応する光ファイ
バ端末Ｆ1 〜Ｆn との固有軸ずれ量を求めておき、前記
角度ずれΔθを解消する方向のファイバアレイ１の実際
の回転中心軸Ｃ′と計算上の回転中心軸Ｃとの違いに起
因する端末群軸ずれ量の実際と計算上の誤差は代表する
１本の光ファイバに光を通して代表光通路の光ファイバ
端末と導波路端末とのＸ方向とＹ方向の軸ずれ量を検出
するだけで求められることとなり、これにより、計算上
の端末群軸ずれ量の誤差を修正する調整軸ずれ量を前記
固有軸ずれ量との差により容易に、かつ、迅速に求めて
ファイバアレイ１側の調心移動を行って調心することが
できるので、多心端末型光部品の調心動作を迅速に、か
つ、効率的に行うことが可能となる。
側と導波路チップ素子２側との角度ずれを求め、この角
度ずれを解消した状態で端末群軸ずれ量を計算上求めた
後に、実際にファイバアレイを角度ずれを解消する方向
に回転し、かつ、端末群軸ずれ量を解消する方向に移動
した後に、各導波路端末Ｄ1 〜Ｄn と対応する光ファイ
バ端末Ｆ1 〜Ｆn との固有軸ずれ量を求めておき、前記
角度ずれΔθを解消する方向のファイバアレイ１の実際
の回転中心軸Ｃ′と計算上の回転中心軸Ｃとの違いに起
因する端末群軸ずれ量の実際と計算上の誤差は代表する
１本の光ファイバに光を通して代表光通路の光ファイバ
端末と導波路端末とのＸ方向とＹ方向の軸ずれ量を検出
するだけで求められることとなり、これにより、計算上
の端末群軸ずれ量の誤差を修正する調整軸ずれ量を前記
固有軸ずれ量との差により容易に、かつ、迅速に求めて
ファイバアレイ１側の調心移動を行って調心することが
できるので、多心端末型光部品の調心動作を迅速に、か
つ、効率的に行うことが可能となる。
【００５２】また、ファイバアレイ１側と導波路チップ
素子２側の角度ずれを検出した後、その角度ずれの修正
はファイバアレイ側に予め与えた点Ｃを回転中心軸とし
て回転することで端末群軸ずれ量が計算できることとな
り、この計算上の回転中心Ｃは計算のし易い例えばファ
イバアレイ１の端末７の中心位置で与えることができ、
端末群軸ずれ量の算出を容易、かつ、迅速に行うことが
できる。ファイバアレイ１側の実際の回転中心を求める
ことは極めて困難であり、このような困難を全く要する
ことなく端末群軸ずれ量を容易に求めることができる上
に、この実際の回転中心と計算上の仮想上の回転中心と
のずれによる誤差は前記の如く１本の代表的な光通路
（光ファイバ）に光を通してその代表光通路のＸ方向と
Ｙ方向の代表軸ずれ量を測定し、その代表光通路に対応
する固有軸ずれ量との差引演算により容易に求められる
調整軸ずれ量によって解消されるので、調心精度上特に
問題は生じない。
素子２側の角度ずれを検出した後、その角度ずれの修正
はファイバアレイ側に予め与えた点Ｃを回転中心軸とし
て回転することで端末群軸ずれ量が計算できることとな
り、この計算上の回転中心Ｃは計算のし易い例えばファ
イバアレイ１の端末７の中心位置で与えることができ、
端末群軸ずれ量の算出を容易、かつ、迅速に行うことが
できる。ファイバアレイ１側の実際の回転中心を求める
ことは極めて困難であり、このような困難を全く要する
ことなく端末群軸ずれ量を容易に求めることができる上
に、この実際の回転中心と計算上の仮想上の回転中心と
のずれによる誤差は前記の如く１本の代表的な光通路
（光ファイバ）に光を通してその代表光通路のＸ方向と
Ｙ方向の代表軸ずれ量を測定し、その代表光通路に対応
する固有軸ずれ量との差引演算により容易に求められる
調整軸ずれ量によって解消されるので、調心精度上特に
問題は生じない。
【００５３】前記のように、実際と計算上の違いや測定
誤差が生じても、調心動作を繰り返し行うことにより、
角度ずれΔθや端末群軸ずれ量ΔＸ，ΔＹや、調整軸ず
れ量ΔＸOUT ，ΔＹOUT は、最終的には測定精度や分解
能を考慮して与えられる判定基準値よりも小さな値にし
た状態で調心が行われることとなるので、その調心精度
が格段にアップし、調心動作の信頼性は抜群となる。
誤差が生じても、調心動作を繰り返し行うことにより、
角度ずれΔθや端末群軸ずれ量ΔＸ，ΔＹや、調整軸ず
れ量ΔＸOUT ，ΔＹOUT は、最終的には測定精度や分解
能を考慮して与えられる判定基準値よりも小さな値にし
た状態で調心が行われることとなるので、その調心精度
が格段にアップし、調心動作の信頼性は抜群となる。
【００５４】さらに、本実施形態例では図４のフローチ
ャートに示す如く角度ずれΔθの判定基準値と調整軸ず
れ量ΔＸOUT ，ΔＹOUT の判定基準値と、端末群軸ずれ
量ΔＸ，ΔＹの判定基準値とをそれぞれ別個に与えて、
各ずれ量がそれぞれ与えられた判定基準値よりも小さく
なったときにはそれ以降の動作を行わないようにしてい
るので、繰り返しの動作が少なくなり、その分、調心動
作のスピードアップが図られ、調心動作をより迅速に終
了させることが可能となる。
ャートに示す如く角度ずれΔθの判定基準値と調整軸ず
れ量ΔＸOUT ，ΔＹOUT の判定基準値と、端末群軸ずれ
量ΔＸ，ΔＹの判定基準値とをそれぞれ別個に与えて、
各ずれ量がそれぞれ与えられた判定基準値よりも小さく
なったときにはそれ以降の動作を行わないようにしてい
るので、繰り返しの動作が少なくなり、その分、調心動
作のスピードアップが図られ、調心動作をより迅速に終
了させることが可能となる。
【００５５】なお、本発明は上記実施形態例に限定され
ることはなく、様々な実施の形態を採り得る。例えば、
上記実施形態例では、導波路チップ素子２側を固定側と
し、この導波路チップ素子２に対してファイバアレイ１
側を相対的にＸ，Ｙ，Ｚ方向の移動とθz の回転移動を
行ったが、ファイバアレイ１側を固定側とし、導波路チ
ップ素子２側を移動側としてもよく、また、ファイバア
レイ１側と導波路チップ素子２側を共に移動側としても
よく、ファイバアレイ１側と導波路チップ素子２側が
Ｘ，Ｙ，Ｚ，θz の各方向に相対移動できる構成であれ
ばよい。
ることはなく、様々な実施の形態を採り得る。例えば、
上記実施形態例では、導波路チップ素子２側を固定側と
し、この導波路チップ素子２に対してファイバアレイ１
側を相対的にＸ，Ｙ，Ｚ方向の移動とθz の回転移動を
行ったが、ファイバアレイ１側を固定側とし、導波路チ
ップ素子２側を移動側としてもよく、また、ファイバア
レイ１側と導波路チップ素子２側を共に移動側としても
よく、ファイバアレイ１側と導波路チップ素子２側が
Ｘ，Ｙ，Ｚ，θz の各方向に相対移動できる構成であれ
ばよい。
【００５６】また、上記実施形態例では調心対象の多心
端末型光部品としてファイバアレイ１と導波路チップ素
子２を例にして説明したが、多心端末型光部品としては
ファイバアレイ１や導波路チップ素子２以外にも例えば
多心端末を持つ発光素子アレイ等があり、本発明はこれ
らファイバアレイ同士の調心、導波路チップ素子同士の
調心、ファイバアレイと発光素子アレイの調心、導波路
チップ素子と発光素子アレイの調心等、各種多心端末型
光部品の任意の組み合わせによる調心方法およびその装
置として適用されるものである。
端末型光部品としてファイバアレイ１と導波路チップ素
子２を例にして説明したが、多心端末型光部品としては
ファイバアレイ１や導波路チップ素子２以外にも例えば
多心端末を持つ発光素子アレイ等があり、本発明はこれ
らファイバアレイ同士の調心、導波路チップ素子同士の
調心、ファイバアレイと発光素子アレイの調心、導波路
チップ素子と発光素子アレイの調心等、各種多心端末型
光部品の任意の組み合わせによる調心方法およびその装
置として適用されるものである。
【００５７】さらに上記実施形態例では、固有軸ずれ量
検出部21で、各光ファイバ端末Ｆ1〜Ｆn と対応する導
波路端末Ｄ1 〜Ｄn の全ての端末について固有軸ずれ量
を求めたが、この固有軸ずれ量は代表軸ずれ量検出部22
で検出する代表光通路の光ファイバ端末Ｆm と対応する
導波路端末Ｄm のみについて求めるようにしてもよい。
このように１本の代表光通路に対して固有軸ずれ量が求
まれば、調整軸ずれ量演算部23でその代表軸ずれ量から
同じ代表光通路の固有軸ずれ量を差し引くことにより調
整軸ずれ量を支障なく求めることができる。このように
固有軸ずれ量の検出を簡易化することにより、調心動作
のよりスピードアップを図ることが可能となる。
検出部21で、各光ファイバ端末Ｆ1〜Ｆn と対応する導
波路端末Ｄ1 〜Ｄn の全ての端末について固有軸ずれ量
を求めたが、この固有軸ずれ量は代表軸ずれ量検出部22
で検出する代表光通路の光ファイバ端末Ｆm と対応する
導波路端末Ｄm のみについて求めるようにしてもよい。
このように１本の代表光通路に対して固有軸ずれ量が求
まれば、調整軸ずれ量演算部23でその代表軸ずれ量から
同じ代表光通路の固有軸ずれ量を差し引くことにより調
整軸ずれ量を支障なく求めることができる。このように
固有軸ずれ量の検出を簡易化することにより、調心動作
のよりスピードアップを図ることが可能となる。
【００５８】さらに上記実施形態例ではＸ方向とＹ方向
の軸ずれ量を求める場合、出射光の光パワーが最大とな
る位置まで実際にファイバアレイ１側を移動させて、そ
の実際の移動量により軸ずれ量を求めたが、出射光の光
パワーが最大となる位置を推定し、その推定位置までの
Ｘ方向とＹ方向の移動量を演算により算出して軸ずれ量
を求めるようにしてもよい。
の軸ずれ量を求める場合、出射光の光パワーが最大とな
る位置まで実際にファイバアレイ１側を移動させて、そ
の実際の移動量により軸ずれ量を求めたが、出射光の光
パワーが最大となる位置を推定し、その推定位置までの
Ｘ方向とＹ方向の移動量を演算により算出して軸ずれ量
を求めるようにしてもよい。
【００５９】
【発明の効果】本発明は、一方側の多心端末型光部品と
他方側の多心端末型光部品の初期軸ずれ量と角度ずれを
検出した後、少なくとも一方側の多心端末型光部品を前
記角度ずれを解消する方向にその角度ずれ分だけ予め与
えた回転中心位置を中心にして想定上回転し、端末群軸
ずれ量を求める構成としており、前記角度ずれを解消す
る方向の回転中心は計算のし易い位置を自在に設定で
き、実際の回転中心を求める必要がないので、その端末
群軸ずれ量を求める演算処理を迅速に行うことが可能と
なる。
他方側の多心端末型光部品の初期軸ずれ量と角度ずれを
検出した後、少なくとも一方側の多心端末型光部品を前
記角度ずれを解消する方向にその角度ずれ分だけ予め与
えた回転中心位置を中心にして想定上回転し、端末群軸
ずれ量を求める構成としており、前記角度ずれを解消す
る方向の回転中心は計算のし易い位置を自在に設定で
き、実際の回転中心を求める必要がないので、その端末
群軸ずれ量を求める演算処理を迅速に行うことが可能と
なる。
【００６０】しかも、角度ずれを解消する計算上の回転
中心と実際の回転中心とのずれによる影響は多心端末型
光部品の１本の光通路を代表光通路として選定し、その
１本の代表光通路と他方側の多心端末型光部品の対応す
る光通路端末とのＸ方向とＹ方向の代表軸ずれ量を演算
し、計算上端末群軸ずれ量を解消したと仮定される状態
の下で求められる同じ代表光通路の固有軸ずれ量との差
を調整軸ずれ量として求めてそのずれ量を解消する方向
に調心移動することにより解消されるので、計算上の回
転中心と実際上の回転中心との誤差の影響を容易に解消
して正確な調心を行うことができる。
中心と実際の回転中心とのずれによる影響は多心端末型
光部品の１本の光通路を代表光通路として選定し、その
１本の代表光通路と他方側の多心端末型光部品の対応す
る光通路端末とのＸ方向とＹ方向の代表軸ずれ量を演算
し、計算上端末群軸ずれ量を解消したと仮定される状態
の下で求められる同じ代表光通路の固有軸ずれ量との差
を調整軸ずれ量として求めてそのずれ量を解消する方向
に調心移動することにより解消されるので、計算上の回
転中心と実際上の回転中心との誤差の影響を容易に解消
して正確な調心を行うことができる。
【００６１】さらに、端末群軸ずれ量を算出する際の仮
定と実際との違いによるずれや測定誤差が生じても、調
心動作を繰り返すことにより、角度ずれや端末群軸ずれ
量や調整軸ずれ量は分解能や測定精度を考慮して与えら
れる判定基準値よりも小さな値となった状態で調心が行
われるので、調心の精度が格段にアップし、その調心の
信頼性は抜群となる。
定と実際との違いによるずれや測定誤差が生じても、調
心動作を繰り返すことにより、角度ずれや端末群軸ずれ
量や調整軸ずれ量は分解能や測定精度を考慮して与えら
れる判定基準値よりも小さな値となった状態で調心が行
われるので、調心の精度が格段にアップし、その調心の
信頼性は抜群となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の調心方法を行う調心装置の一実施形態
例の要部構成図である。
例の要部構成図である。
【図２】ファイバアレイの接続端面７の拡大説明図であ
る。
る。
【図３】本実施形態例における調心動作中の角度ずれΔ
θを持った状態からその角度ずれを解消する方向に回転
した状態の説明図である。
θを持った状態からその角度ずれを解消する方向に回転
した状態の説明図である。
【図４】調心方法の実施形態例の動作を示すフローチャ
ートである。
ートである。
【符号の説明】 １ ファイバアレイ ２ 導波路チップ素子 17 軸ずれ量検出部 18 角度ずれ検出部 20 端末群軸ずれ量検出部 21 固有軸ずれ量検出部 22 代表軸ずれ量検出部 23 調整軸ずれ量演算部 24 調心移動制御部
Claims (3)
- 【請求項１】 接続端面に複数の光通路端末が配列して
成る光部品同士の調心方法において、調心を行う両光部
品を互いに接続端面を対向させてセットし、一方側の光
部品の各光通路に測定光を入射し他方側の光部品の対応
する光通路から出射する光を観測しながら両者の光部品
の少なくとも一方を光通路端末の配列方向であるＸ方向
と、このＸ方向に垂直に直交するＹ方向とに移動して出
射光の光パワーが最大になる位置への移動量のデータか
ら入射側光部品と出射側光部品の各光通路毎のＸ方向と
Ｙ方向の初期軸ずれ量を求め、次に、入射側光部品の光
通路端末の配列方向と出射側光部品の光通路端末の配列
方向の角度ずれを求めて、この角度ずれを修正する方向
に少なくとも一方の光部品を予め定めた点を中心にして
回転して両光部品の光通路端末の配列方向を平行にした
と想定したときの入射側光部品の光通路端末群と出射側
光部品の光通路端末群とのＸ方向とＹ方向の光通路端末
群軸ずれ量を予め与えられる手法に従って求めると共に
入射側光部品と出射側光部品の少なくとも一方をこの光
通路端末群軸ずれ量を解消する方向に移動したと想定し
たときの入射側と出射側の光部品の対応する光通路同士
のＸ方向とＹ方向の固有軸ずれ量を求めておき、次に、
実際に前記少なくとも一方の光部品を前記角度ずれ分だ
け解消する方向に回転し、かつ、Ｘ方向とＹ方向の光通
路端末群軸ずれ量分だけ解消する方向に移動した後、入
射側光部品の複数の光通路のうちから任意の１個の光通
路を代表光通路として選定してこの代表光通路に測定光
を入射し出射側光部品の対応する光通路の出射光の光パ
ワーが最大となるように少なくとも一方の光部品をＸ方
向とＹ方向に移動して入射側光部品の代表光通路と出射
側光部品の対応する光通路とのＸ方向とＹ方向の代表軸
ずれ量を実測し、然る後に、この代表軸ずれ量から入射
側光部品の代表光通路と出射側光部品の対応する光通路
の前記固有軸ずれ量を差し引いた調整軸ずれ量をＸ方向
とＹ方向に求め、このＸ方向とＹ方向の調整軸ずれ量分
だけこの軸ずれ量を解消する方向に入射側光部品と出射
側光部品の少なくとも一方をＸ方向とＹ方向に移動して
入射側光部品と出射側光部品を調心することを特徴とす
る多心端末型光部品の調心方法。 - 【請求項２】 角度ずれの判定基準値と光通路端末群軸
ずれ量の判定基準値とを予め与えておき、各光通路毎の
初期軸ずれ量を求める動作から調整ずれ量分だけこの軸
ずれ量を解消する方向に入射側光部品と出射側光部品の
少なくとも一方をＸ方向とＹ方向に移動するまでの一連
の調心動作は角度ずれと光通路端末群軸ずれ量が共に対
応する判定基準値よりも小さくなるまで繰り返し行うこ
とを特徴とする請求項１記載の多心端末型光部品の調心
方法。 - 【請求項３】 接続端面に複数の光通路端末が配列して
成る光部品同士を調心する装置において、調心を行う一
方側の光部品と他方側の光部品を互いに接続端面を対向
させてセットし両者の光部品間の光通路端末配列方向で
あるＸ方向と、このＸ方向に垂直に直交するＹ方向と、
Ｘ，Ｙ両方向に直交する光軸方向のＺ方向軸回りの回転
との相対制御移動が可能な調心ステージと；一方側の光
部品の光通路に測定光を入射する光入射手段と；他方側
の光部品の光通路から出射される出射光を測定する出射
光測定手段と；出射光の光パワーが最大となる入射側光
部品と出射側光部品との相対移動量の情報から入射側光
部品の各光通路と出射側光部品の対応する各光通路との
Ｘ方向とＹ方向の初期軸ずれ量を求める軸ずれ量検出部
と；入射側光部品の光通路端末配列方向と出射側光部品
の光通路端末配列方向の角度ずれを求める角度ずれ検出
部と；前記初期軸ずれ量のデータを取り込み、前記角度
ずれ検出部によって求められた角度ずれをそのずれ分だ
け解消する方向に入射側と出射側の光部品の少なくとも
一方を予め定められた点を中心にして回転して両光部品
における光通路端末の配列方向を平行にしたと想定した
ときの入射側光部品の光通路端末群と出射側光部品の光
通路端末群とのＸ方向とＹ方向の光通路端末群軸ずれ量
を予め与えられる手法に従って求める端末群軸ずれ量検
出部と；前記角度ずれと光通路端末群軸ずれが共に解消
されたものと仮定したときの入射側と出射側の光部品の
対応する光通路同士のＸ方向とＹ方向の固有軸ずれ量を
求める固有軸ずれ量検出部と；実際に少なくとも一方の
光部品が前記角度ずれを解消する方向にその角度ずれ分
だけ回転され、かつ、前記光通路端末群軸ずれ量分だけ
Ｘ方向とＹ方向にその軸ずれを解消する方向に移動され
た状態で検出される入射側光部品の任意の１個の代表光
通路と出射側光部品の対応する光通路とのＸ方向とＹ方
向の代表軸ずれ量の実測データを得て該代表軸ずれ量か
ら同じ代表光通路の前記固有軸ずれ量を差し引いたＸ方
向とＹ方向の調整軸ずれ量を求める調整軸ずれ量演算部
と；この調整軸ずれ量演算部によって求められた調整軸
ずれ量だけそのずれ量を解消する方向に入射側と出射側
の光部品の少なくとも一方をＸ方向とＹ方向に調心移動
する調心移動制御部と；を有する多心端末型光部品の調
心装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18055597A JPH1114867A (ja) | 1997-06-20 | 1997-06-20 | 多心端末型光部品の調心方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18055597A JPH1114867A (ja) | 1997-06-20 | 1997-06-20 | 多心端末型光部品の調心方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1114867A true JPH1114867A (ja) | 1999-01-22 |
Family
ID=16085335
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18055597A Pending JPH1114867A (ja) | 1997-06-20 | 1997-06-20 | 多心端末型光部品の調心方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1114867A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100929542B1 (ko) | 2002-03-08 | 2009-12-03 | 가부시키가이샤 모리텍스 | 도파로형 광부재와 파이버 어레이의 조심기구 |
| KR101327200B1 (ko) * | 2012-05-04 | 2013-11-11 | 에스팩 주식회사 | 광섬유 어레이의 정렬 방법 |
-
1997
- 1997-06-20 JP JP18055597A patent/JPH1114867A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100929542B1 (ko) | 2002-03-08 | 2009-12-03 | 가부시키가이샤 모리텍스 | 도파로형 광부재와 파이버 어레이의 조심기구 |
| KR101327200B1 (ko) * | 2012-05-04 | 2013-11-11 | 에스팩 주식회사 | 광섬유 어레이의 정렬 방법 |
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