JP2846594B2 - 光基板の端面の平行度の調整装置 - Google Patents
光基板の端面の平行度の調整装置Info
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
- G02B6/422—Active alignment, i.e. moving the elements in response to the detected degree of coupling or position of the elements
- G02B6/4225—Active alignment, i.e. moving the elements in response to the detected degree of coupling or position of the elements by a direct measurement of the degree of coupling, e.g. the amount of light power coupled to the fibre or the opto-electronic element
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- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光基板の端面の平行度
の調整装置に関するものである。
の調整装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】最近、ニオブ酸リチウム(LiNbO3)単結晶
基板にチタン内拡散法によって光導波路を形成する技術
が注目されている。こうした光導波路基板は、導波路型
光変調素子、導波路形分岐結合回路、導波路形光合分波
回路用の基板として用いられ、将来的には導波路形光集
積回路用の基板として期待されている。
基板にチタン内拡散法によって光導波路を形成する技術
が注目されている。こうした光導波路基板は、導波路型
光変調素子、導波路形分岐結合回路、導波路形光合分波
回路用の基板として用いられ、将来的には導波路形光集
積回路用の基板として期待されている。
【０００３】こうした光導波路基板においては、光導波
路の端面と外部の光ファイバの端面とを端面結合し、光
ファイバと光導波路の間で光を効率的に伝送しなけれな
らない。この際、光ファイバの端面と光導波路の端面と
の間に隙間があったり、両者の光軸が位置ズレしている
と、光の伝播損失が大きくなるので、端面結合を精度よ
く行わなければならない。具体的には両者の端面を互い
に平行にして密着させることと、光ファイバのコア部と
導波路との位置ずれをなくすことが必要になる。こうし
た端面結合の方法はいくつか知られている。しかし、従
来の方法では、いずれも、光導波路と光ファイバとの端
面結合の段階で、両者に実際にレーザー光を通し、伝播
光量が最大となるように光軸合わせを行わなければなら
ない。この光軸合わせには非常に長い時間がかかるの
で、作業効率が悪くなり、生産性が低くなっていた。
路の端面と外部の光ファイバの端面とを端面結合し、光
ファイバと光導波路の間で光を効率的に伝送しなけれな
らない。この際、光ファイバの端面と光導波路の端面と
の間に隙間があったり、両者の光軸が位置ズレしている
と、光の伝播損失が大きくなるので、端面結合を精度よ
く行わなければならない。具体的には両者の端面を互い
に平行にして密着させることと、光ファイバのコア部と
導波路との位置ずれをなくすことが必要になる。こうし
た端面結合の方法はいくつか知られている。しかし、従
来の方法では、いずれも、光導波路と光ファイバとの端
面結合の段階で、両者に実際にレーザー光を通し、伝播
光量が最大となるように光軸合わせを行わなければなら
ない。この光軸合わせには非常に長い時間がかかるの
で、作業効率が悪くなり、生産性が低くなっていた。
【０００４】これらの問題を解決する方法として、特開
平2-125209号公報において、光導波路基板にガイド溝を
形成し、光ファイバ保持コネクタ部材にガイドピンを設
け、ガイドピンをガイド溝に係合させることによって光
導波路の端面と光ファイバの端面とを位置合わせする方
法が開示されている。
平2-125209号公報において、光導波路基板にガイド溝を
形成し、光ファイバ保持コネクタ部材にガイドピンを設
け、ガイドピンをガイド溝に係合させることによって光
導波路の端面と光ファイバの端面とを位置合わせする方
法が開示されている。
【０００５】しかし、本発明者の検討によると、光ファ
イバ保持コネクタ部材の上側プレート及び下側プレート
をSiチップやプラスチックなどで形成しているが、光導
波路端面と光ファイバの端面とを高精度で結合すること
は困難であり、結果として良好な結合効率を得ることは
非常に困難であった。
イバ保持コネクタ部材の上側プレート及び下側プレート
をSiチップやプラスチックなどで形成しているが、光導
波路端面と光ファイバの端面とを高精度で結合すること
は困難であり、結果として良好な結合効率を得ることは
非常に困難であった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明者は、光導波路
基板材に光導波路を形成して光導波路基板とし、光ファ
イバ整列用基板材に所定数のＶ溝を形成して整列用基板
（光ファイバアレイ）とし、各基板の結合面をできるだ
け高精度に機械加工し、かつ光学研摩し、その上で各基
板の外側輪郭を基準面として端面結合を行うことを検討
した。この方法では、特に光ファイバアレイと光導波路
基板との端面同士を対向させ、端面同士を平行とした上
で、光軸合わせを行う。しかし、これらの端面の加工精
度は、例えば５０μｍ程度の寸法精度であり、端面の角
度の精度にすると、１度以上のばらつきが発生する。光
ファイバアレイと導波路の平行度が悪くなると、伝搬損
失の増加や耐久性の劣化等が発生するため、望ましくは
０．１度以下の平行度に調整する必要がある。このた
め、単に端面同士を対向させただけでは、端面同士を正
確に平行にすることができない。しかし、このように高
い光学的な精度で端面の平行度を調整するための適当な
装置がなかった。
基板材に光導波路を形成して光導波路基板とし、光ファ
イバ整列用基板材に所定数のＶ溝を形成して整列用基板
（光ファイバアレイ）とし、各基板の結合面をできるだ
け高精度に機械加工し、かつ光学研摩し、その上で各基
板の外側輪郭を基準面として端面結合を行うことを検討
した。この方法では、特に光ファイバアレイと光導波路
基板との端面同士を対向させ、端面同士を平行とした上
で、光軸合わせを行う。しかし、これらの端面の加工精
度は、例えば５０μｍ程度の寸法精度であり、端面の角
度の精度にすると、１度以上のばらつきが発生する。光
ファイバアレイと導波路の平行度が悪くなると、伝搬損
失の増加や耐久性の劣化等が発生するため、望ましくは
０．１度以下の平行度に調整する必要がある。このた
め、単に端面同士を対向させただけでは、端面同士を正
確に平行にすることができない。しかし、このように高
い光学的な精度で端面の平行度を調整するための適当な
装置がなかった。
【０００７】本発明の課題は、光基板の端面同士を対向
させ、高精度で、これらの端面を平行とできるような装
置を提供することである。
させ、高精度で、これらの端面を平行とできるような装
置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、複数の光基板
の各端面の平行度を調整する装置であって、各光基板を
保持する保持装置と、の各光基板を相対的に移動させる
ための移動機構と、光基板のうち少なくとも一方の光基
板を回動可能に保持するための回転ステージであって、
この回転ステージの回転軸が一方の光基板の端面に対し
て平行である回転ステージと、この回転ステージが回転
しないようにチャックするチャック装置とを備えてお
り、各光基板の各端面を互いに接触させ、一方の光基板
の端面と垂直な方向に圧力を加えることによって、少な
くとも一方の光基板および回転ステージを回転軸を中心
として回動させ、各光基板の各端面を平行にし、次いで
回転ステージをチャック装置によって回転しないように
チャックすることを特徴とする。
の各端面の平行度を調整する装置であって、各光基板を
保持する保持装置と、の各光基板を相対的に移動させる
ための移動機構と、光基板のうち少なくとも一方の光基
板を回動可能に保持するための回転ステージであって、
この回転ステージの回転軸が一方の光基板の端面に対し
て平行である回転ステージと、この回転ステージが回転
しないようにチャックするチャック装置とを備えてお
り、各光基板の各端面を互いに接触させ、一方の光基板
の端面と垂直な方向に圧力を加えることによって、少な
くとも一方の光基板および回転ステージを回転軸を中心
として回動させ、各光基板の各端面を平行にし、次いで
回転ステージをチャック装置によって回転しないように
チャックすることを特徴とする。
【０００９】本発明者は、各光基板を保持し、光基板の
うち一方を回転ステージによって保持し、この際、回転
ステージの回転軸が一方の光基板の端面に対して平行で
あるようにし、各光基板の各端面を互いに接触させ、一
方の光基板の端面と垂直な方向に圧力を加えることによ
って、一方の基板および回転ステージを回転軸を中心と
して回動させ、各光基板の各端面を平行にし、次いで回
転ステージをチャック装置によって回転しないようにチ
ャックすることを想到した。この結果、光基板の端面同
士を、きわめて簡単な操作および機構で、かつ高精度で
平行にできることを発見し、本発明に到達した。
うち一方を回転ステージによって保持し、この際、回転
ステージの回転軸が一方の光基板の端面に対して平行で
あるようにし、各光基板の各端面を互いに接触させ、一
方の光基板の端面と垂直な方向に圧力を加えることによ
って、一方の基板および回転ステージを回転軸を中心と
して回動させ、各光基板の各端面を平行にし、次いで回
転ステージをチャック装置によって回転しないようにチ
ャックすることを想到した。この結果、光基板の端面同
士を、きわめて簡単な操作および機構で、かつ高精度で
平行にできることを発見し、本発明に到達した。
【００１０】
【実施例】最初に、図１を参照しつつ、本発明を、いわ
ゆる４×４列の光スイッチング素子に対して適用した実
施例について説明する。むろん、他の光基板、例えば後
述する図８に示すような光基板に対しても、本発明を適
用することができる。
ゆる４×４列の光スイッチング素子に対して適用した実
施例について説明する。むろん、他の光基板、例えば後
述する図８に示すような光基板に対しても、本発明を適
用することができる。
【００１１】光導波路基板３６には、例えば４列の光導
波路３７を形成する。この光導波路の形成技術自体は、
例えばチタン内拡散法、リチウム外拡散法、プロトン交
換法等による。むろん、光導波路３７の列数や平面形状
は、製品仕様に応じて適宜変更することができる。
波路３７を形成する。この光導波路の形成技術自体は、
例えばチタン内拡散法、リチウム外拡散法、プロトン交
換法等による。むろん、光導波路３７の列数や平面形状
は、製品仕様に応じて適宜変更することができる。
【００１２】一対の光ファイバアレイ３１Ａ、３１Ｂに
は、それぞれ各４列毎のＶ溝（ガイド溝）３２を機械加
工によって形成する。むろん、ガイド溝３２の列数と形
成位置とは、光導波路３７の列数とその端面の位置に合
わせなければならない。また、各光ファイバアレイ３１
Ａ、３１Ｂに、それぞれ座ぐり３５を形成しておく。次
いで、一対の光ファイバアレイ３１Ａ、３１Ｂの各ガイ
ド溝３２に、それぞれ光ファイバ３３を収容し、位置決
めする。ただし、図１においては、光ファイバ３３は被
覆３４の中に収容されており、被覆３４が座ぐり３５中
に収容、固定されている。そして、光ファイバアレイ３
１Ａ、３１Ｂの端面３８をそれぞれ光学研摩すると共
に、光導波路基板３６の一対の端面３９をそれぞれ光学
研摩する。
は、それぞれ各４列毎のＶ溝（ガイド溝）３２を機械加
工によって形成する。むろん、ガイド溝３２の列数と形
成位置とは、光導波路３７の列数とその端面の位置に合
わせなければならない。また、各光ファイバアレイ３１
Ａ、３１Ｂに、それぞれ座ぐり３５を形成しておく。次
いで、一対の光ファイバアレイ３１Ａ、３１Ｂの各ガイ
ド溝３２に、それぞれ光ファイバ３３を収容し、位置決
めする。ただし、図１においては、光ファイバ３３は被
覆３４の中に収容されており、被覆３４が座ぐり３５中
に収容、固定されている。そして、光ファイバアレイ３
１Ａ、３１Ｂの端面３８をそれぞれ光学研摩すると共
に、光導波路基板３６の一対の端面３９をそれぞれ光学
研摩する。
【００１３】各端面の平行度を調整する前の時点では、
図１（ａ）に示すように、端面３８と３９とが所定の角
度をもって相対的に傾斜している。そして、実際の端面
の精度が５０μｍ程度であり、角度の精度に換算すると
１度以上になる一方、光量損失を低減や耐久性の向上の
ためには、０．１度程度の精度の平行度が要求される。
こうした精度で機械的に端面３８と３９とを加工するこ
とは困難であり、高コストでもある。
図１（ａ）に示すように、端面３８と３９とが所定の角
度をもって相対的に傾斜している。そして、実際の端面
の精度が５０μｍ程度であり、角度の精度に換算すると
１度以上になる一方、光量損失を低減や耐久性の向上の
ためには、０．１度程度の精度の平行度が要求される。
こうした精度で機械的に端面３８と３９とを加工するこ
とは困難であり、高コストでもある。
【００１４】しかし、本発明に従って、光導波路基板３
６を回動可能に保持し、光導波路基板３６を光ファイバ
アレイ３１Ａ、３１Ｂの方へと移動させ、光導波路基板
３６の端面３９と光ファイバアレイ３１Ａ、３１Ｂとの
端面３８とを当接させ、この接触の方向に圧力を加える
ことによって、端面３８と３９とを、高精度で平行にで
きることを見いだした。
６を回動可能に保持し、光導波路基板３６を光ファイバ
アレイ３１Ａ、３１Ｂの方へと移動させ、光導波路基板
３６の端面３９と光ファイバアレイ３１Ａ、３１Ｂとの
端面３８とを当接させ、この接触の方向に圧力を加える
ことによって、端面３８と３９とを、高精度で平行にで
きることを見いだした。
【００１５】また、光ファイバアレイ３１Ａ、３１Ｂを
回動可能に保持し、光ファイバアレイ３１Ａ、３１Ｂを
光導波路基板３６の方へと移動させ、端面３９と端面３
８とを当接させた場合にも、ほぼ同様の結果が得られる
ことを確認した。
回動可能に保持し、光ファイバアレイ３１Ａ、３１Ｂを
光導波路基板３６の方へと移動させ、端面３９と端面３
８とを当接させた場合にも、ほぼ同様の結果が得られる
ことを確認した。
【００１６】また、本発明の装置において、光基板の端
面同士を互いに接触させたときに、接触による圧力変動
を感知する圧力感知装置を備えることができる。セラミ
ックスの光ファイバアレイや光導波路基板は、強い衝撃
を受けるとクラックが発生し、不良品の比率が上昇して
歩留りが低下するおそれがあるので、これによって、圧
力が過大にならないように圧力を調整することが好まし
い。
面同士を互いに接触させたときに、接触による圧力変動
を感知する圧力感知装置を備えることができる。セラミ
ックスの光ファイバアレイや光導波路基板は、強い衝撃
を受けるとクラックが発生し、不良品の比率が上昇して
歩留りが低下するおそれがあるので、これによって、圧
力が過大にならないように圧力を調整することが好まし
い。
【００１７】また、光基板の端面同士を互いに接触させ
たときに、光基板に過荷重が加わるのを防止するために
保持装置が荷重の加わった方向へとスライドしうるよう
なスライド機構を備えることができる。更に、保持装置
がスライドした後にこのスライド機構を固定するための
クランプ機構を備えることが好ましい。
たときに、光基板に過荷重が加わるのを防止するために
保持装置が荷重の加わった方向へとスライドしうるよう
なスライド機構を備えることができる。更に、保持装置
がスライドした後にこのスライド機構を固定するための
クランプ機構を備えることが好ましい。
【００１８】更に、２組の共に自由に回転しうる回転ス
テージによって光基板を回動可能に保持することが好ま
しい。このような回転ステージ自体は、きわめて高精度
のものが市販されているので、有利である。
テージによって光基板を回動可能に保持することが好ま
しい。このような回転ステージ自体は、きわめて高精度
のものが市販されているので、有利である。
【００１９】回転ステージの回転中心を、光基板の端面
と実質的に一致させることによって、端面同士を接触さ
せる際に、光基板を回転させるトルクをもっとも有効に
伝達することができ、これによって光基板へと過大な応
力が加わることによる破損のおそれを防止することがで
きる。
と実質的に一致させることによって、端面同士を接触さ
せる際に、光基板を回転させるトルクをもっとも有効に
伝達することができ、これによって光基板へと過大な応
力が加わることによる破損のおそれを防止することがで
きる。
【００２０】この場合、回転ステージの回転中心から見
て光基板の反対側に、静状態で回転ステージの釣り合い
をとるための重りを設けることによって、光基板の傾斜
を防止することが好ましい。
て光基板の反対側に、静状態で回転ステージの釣り合い
をとるための重りを設けることによって、光基板の傾斜
を防止することが好ましい。
【００２１】図２は、本発明の実施例に係る端面調整装
置を示す正面図であり（Ｚ方向から見たもの）、図３
は、図２の端面調整装置を示す上面図であり（Ｙ方向か
ら見たもの）、図４はこの側面図である。
置を示す正面図であり（Ｚ方向から見たもの）、図３
は、図２の端面調整装置を示す上面図であり（Ｙ方向か
ら見たもの）、図４はこの側面図である。
【００２２】装置の下側から順に、Ｙ軸ステージ１、Ｘ
軸ステージ２、Ｚ軸ステージ３が設けられている。各ス
テージ１、２、３は、それぞれ、上側部１Ａ、２Ａ、３
Ａと下側部１Ｂ、２Ｂ、３Ｂとからなっており、各上側
部と下側部とは、ステージレール１７に沿って互いに平
行移動できる機構になっている。各ステージにはそれぞ
れステッピングモーター４が取り付けられており、この
回転軸には、送りネジによる送り機構が接続されてい
る。送りネジを回転させることによって、上側部１Ａ、
２Ａ、３Ａと下側部１Ｂ、２Ｂ、３Ｂとを平行に移動さ
せる。
軸ステージ２、Ｚ軸ステージ３が設けられている。各ス
テージ１、２、３は、それぞれ、上側部１Ａ、２Ａ、３
Ａと下側部１Ｂ、２Ｂ、３Ｂとからなっており、各上側
部と下側部とは、ステージレール１７に沿って互いに平
行移動できる機構になっている。各ステージにはそれぞ
れステッピングモーター４が取り付けられており、この
回転軸には、送りネジによる送り機構が接続されてい
る。送りネジを回転させることによって、上側部１Ａ、
２Ａ、３Ａと下側部１Ｂ、２Ｂ、３Ｂとを平行に移動さ
せる。
【００２３】Ｚ軸ステージ３の上にＺ軸可動ステージ５
が設けられており、Ｚ軸可動ステージ５も、互いに平行
に移動可能な、上側部５Ａと下側部５Ｂとを備えてい
る。パイプ状のスプリングケース６の中に内接するよう
に、スプリング２０とスプリングキャップ２１とが挿入
されている。スプリングキャップ２１は、スプリングケ
ース６の内側面に沿ってスライドできるようになってお
り、スプリングキャップ２１に対して力が加わると、ス
プリング２０が縮む。可動ステージチャック２２内に
は、好ましくはソレノイドと磁石とが内蔵されており、
外部からの電気的操作によって、可動ステージ５を所定
位置に固定することができる。
が設けられており、Ｚ軸可動ステージ５も、互いに平行
に移動可能な、上側部５Ａと下側部５Ｂとを備えてい
る。パイプ状のスプリングケース６の中に内接するよう
に、スプリング２０とスプリングキャップ２１とが挿入
されている。スプリングキャップ２１は、スプリングケ
ース６の内側面に沿ってスライドできるようになってお
り、スプリングキャップ２１に対して力が加わると、ス
プリング２０が縮む。可動ステージチャック２２内に
は、好ましくはソレノイドと磁石とが内蔵されており、
外部からの電気的操作によって、可動ステージ５を所定
位置に固定することができる。
【００２４】Ｚ軸可動ステージ５は、光基板同士が接触
したときに過荷重が加わるのを避けるための可動機構で
あり、スプリング２０はこの荷重が過大にならないよう
に調整するための機構である。Ｚ軸可動ステージ５には
送り機構は設けられておらず、クランプおよびスプリン
グがなければ、上側部と下側部とは自由に動くようにな
っている。スプリングケース６は、留め具１８によって
下側部５Ｂに対して固定されており、スプリングキャッ
プ２１は留め具１９によって上側部５Ａに固定されてい
る。上側部５Ａに対して＋Ｚ方向に対して力が加わる
と、上側部５Ａが５Ｂに対して＋Ｚ側に移動する。この
結果、留め具１９がスプリングキャップ２１を＋Ｚ側に
向かって押し、スプリング２０が縮む。この反作用で、
スプリングの弾性復元力によって上側部５Ａが−Ｚ側に
向かって押される。可動ステージチャック２２は下側部
５Ｂに取り付けられており、これをチャック状態にする
と、下側部５Ｂと上側部５Ａとの相対的位置関係が固定
される。
したときに過荷重が加わるのを避けるための可動機構で
あり、スプリング２０はこの荷重が過大にならないよう
に調整するための機構である。Ｚ軸可動ステージ５には
送り機構は設けられておらず、クランプおよびスプリン
グがなければ、上側部と下側部とは自由に動くようにな
っている。スプリングケース６は、留め具１８によって
下側部５Ｂに対して固定されており、スプリングキャッ
プ２１は留め具１９によって上側部５Ａに固定されてい
る。上側部５Ａに対して＋Ｚ方向に対して力が加わる
と、上側部５Ａが５Ｂに対して＋Ｚ側に移動する。この
結果、留め具１９がスプリングキャップ２１を＋Ｚ側に
向かって押し、スプリング２０が縮む。この反作用で、
スプリングの弾性復元力によって上側部５Ａが−Ｚ側に
向かって押される。可動ステージチャック２２は下側部
５Ｂに取り付けられており、これをチャック状態にする
と、下側部５Ｂと上側部５Ａとの相対的位置関係が固定
される。
【００２５】ステージ５の上には、回転ステージ支持治
具２３が取り付けられており、治具２３に、ベアリング
８を介してθＸ軸ステージ１４が取り付けられている。
ステージ１４は、回転軸２４を中心としてθＸ軸方向に
自由に回転できる。ステージ１４にも電磁チャック７が
取り付けられており、この作動によってステージ１４が
回転しないようにベアリングの回転軸部分をチャックす
ることができる。
具２３が取り付けられており、治具２３に、ベアリング
８を介してθＸ軸ステージ１４が取り付けられている。
ステージ１４は、回転軸２４を中心としてθＸ軸方向に
自由に回転できる。ステージ１４にも電磁チャック７が
取り付けられており、この作動によってステージ１４が
回転しないようにベアリングの回転軸部分をチャックす
ることができる。
【００２６】更に、ステージ１４の先端部分に、ベアリ
ング８を介してθＹ軸ステージ１５が取り付けられてい
る。ステージ１５は、回転軸２５を中心としてθＹ軸方
向に自由に回転できる。ステージ１５にも電磁チャック
７が取り付けられており、この作動によってステージ１
５が回転しないようにベアリングの回転軸部分をチャッ
クすることができる。これらの回転軸２４、２５は、光
ファイバアレイ３１の端面を通る。
ング８を介してθＹ軸ステージ１５が取り付けられてい
る。ステージ１５は、回転軸２５を中心としてθＹ軸方
向に自由に回転できる。ステージ１５にも電磁チャック
７が取り付けられており、この作動によってステージ１
５が回転しないようにベアリングの回転軸部分をチャッ
クすることができる。これらの回転軸２４、２５は、光
ファイバアレイ３１の端面を通る。
【００２７】ステージ１５の上に固定治具９が取り付け
られており、この上に光ファイバアレイ３１が支持され
ている。図５（ａ）、（ｂ）に、この部分の拡大図を示
す。治具９の凹部５０内に光ファイバアレイ３１が収容
されており、固定用ピン１６をアレイ３１の側面に接触
させることによって、光ファイバアレイ３１が位置ズレ
しないように押さえている。４２は光ファイバである。
られており、この上に光ファイバアレイ３１が支持され
ている。図５（ａ）、（ｂ）に、この部分の拡大図を示
す。治具９の凹部５０内に光ファイバアレイ３１が収容
されており、固定用ピン１６をアレイ３１の側面に接触
させることによって、光ファイバアレイ３１が位置ズレ
しないように押さえている。４２は光ファイバである。
【００２８】ステージ１４上に載っている部品は、静電
チャック７がオフの状態では、自重によって傾斜するこ
とがある。そこで、回転軸２４が回転して傾斜が発生し
ないように、重り１３によってバランスをとっている。
チャック７がオフの状態では、自重によって傾斜するこ
とがある。そこで、回転軸２４が回転して傾斜が発生し
ないように、重り１３によってバランスをとっている。
【００２９】一方、この光ファイバアレイの保持装置４
３に対向して、光導波路基板の保持装置４１が配置され
ている。図６に示すように、保持装置４１の上端部に治
具１２が設けられており、この治具１２に光導波路基板
３６が収容され、ネジ４０によって位置固定されてい
る。なお、本実施例においては、図７の模式図に示すよ
うに、上記した光ファイバアレイの保持装置４３Ａと４
３Ｂとの一対を、保持装置４１の両側に配置する。光導
波路基板３６の出射側端面を、正面からカメラ４４によ
って観察し、撮影できるように構成されている。カメラ
４４からの配線４５がテレビジョン４６およびコントロ
ーラー４７に結合されている。
３に対向して、光導波路基板の保持装置４１が配置され
ている。図６に示すように、保持装置４１の上端部に治
具１２が設けられており、この治具１２に光導波路基板
３６が収容され、ネジ４０によって位置固定されてい
る。なお、本実施例においては、図７の模式図に示すよ
うに、上記した光ファイバアレイの保持装置４３Ａと４
３Ｂとの一対を、保持装置４１の両側に配置する。光導
波路基板３６の出射側端面を、正面からカメラ４４によ
って観察し、撮影できるように構成されている。カメラ
４４からの配線４５がテレビジョン４６およびコントロ
ーラー４７に結合されている。
【００３０】次に、光軸を合わせるための調芯方法につ
いて例示する。図７に示すように、光入射側の光ファイ
バアレイと光導波路基板と光出射側の光ファイバアレイ
とを対向させ、順次に光軸を合わせる。
いて例示する。図７に示すように、光入射側の光ファイ
バアレイと光導波路基板と光出射側の光ファイバアレイ
とを対向させ、順次に光軸を合わせる。
【００３１】（ア）モーター４、チャック７、２２は、
コントローラー４７に接続されており、信号Ｂによって
外部から操作することができる。 （イ）入射側、出射側の光ファイバアレイ３１Ａ、３１
Ｂを治具９に設置し、入射側の光ファイバーをレーザー
光源に接続し、出射側の光ファイバを光強度検出器に接
続する。 （ウ）光導波路基板３６を保持装置上に設置し、固定す
る。 （エ）ここで、光導波路基板、光ファイバアレイの端面
３８、３９は、おおむね５０μｍ程度の寸法精度で外形
が加工されており、これらの初期位置を所定位置に設定
すれば、５０μｍ程度の誤差はあるが、光導波路基板の
端面と光ファイバアレイの端面とを、ほぼ対向する位置
に置くことができる。
コントローラー４７に接続されており、信号Ｂによって
外部から操作することができる。 （イ）入射側、出射側の光ファイバアレイ３１Ａ、３１
Ｂを治具９に設置し、入射側の光ファイバーをレーザー
光源に接続し、出射側の光ファイバを光強度検出器に接
続する。 （ウ）光導波路基板３６を保持装置上に設置し、固定す
る。 （エ）ここで、光導波路基板、光ファイバアレイの端面
３８、３９は、おおむね５０μｍ程度の寸法精度で外形
が加工されており、これらの初期位置を所定位置に設定
すれば、５０μｍ程度の誤差はあるが、光導波路基板の
端面と光ファイバアレイの端面とを、ほぼ対向する位置
に置くことができる。
【００３２】（オ）チャック７、２２をオフの状態にす
る。 （カ）入射側でステージ３のステッピングモーター４を
動かし、３Ａを−Ｚ方向に向かって動かし、光導波路基
板と光ファイバアレイとを接触させる。この際、圧力セ
ンサによって接触を検出すると共に、スプリング２０に
よって接触時の応力を緩和し、適当な大きさの応力を加
える。この圧力は、回転ステージ１４、１５を動かすの
に必要なトルクを得るために必要な圧力以上である。こ
れは、ベアリング８の滑らかさと光導波路基板および光
導波路基板の端面寸法とによって決定される。回転ステ
ージ１４と１５との回転によって、光ファイバアレイの
端面の方向が変わり、光導波路基板の端面と密着した平
行の状態となる。この状態で各回転ステージの静電チャ
ック７をロックして、回転ステージ１４と１５とが回転
しないように固定する。また、チャック２２を作動さ
せ、ステージ５を固定する。
る。 （カ）入射側でステージ３のステッピングモーター４を
動かし、３Ａを−Ｚ方向に向かって動かし、光導波路基
板と光ファイバアレイとを接触させる。この際、圧力セ
ンサによって接触を検出すると共に、スプリング２０に
よって接触時の応力を緩和し、適当な大きさの応力を加
える。この圧力は、回転ステージ１４、１５を動かすの
に必要なトルクを得るために必要な圧力以上である。こ
れは、ベアリング８の滑らかさと光導波路基板および光
導波路基板の端面寸法とによって決定される。回転ステ
ージ１４と１５との回転によって、光ファイバアレイの
端面の方向が変わり、光導波路基板の端面と密着した平
行の状態となる。この状態で各回転ステージの静電チャ
ック７をロックして、回転ステージ１４と１５とが回転
しないように固定する。また、チャック２２を作動さ
せ、ステージ５を固定する。
【００３３】（キ）出力側の光ファイバアレイについ
て、入力側と同じ操作をする。 （ク）入射側のステージ３のステッピングモーター４を
動かし、上側部３Ａを＋Ｚ方向に動かす。この状態で
は、チャック２２がロックされているので、上側部２２
の移動量と、光導波路基板と光ファイバアレイとの端面
の間隔とは、一致する。この端面の間隔は、誤差１μｍ
以下で制御しなければならないので、端面の外形のみで
はこうした高精度での調整は実現できない。ところが、
こうしたステージの位置決め精度は、０．１μｍ以下を
実現することができ、正確な端面平行度の調整が可能と
なる。端面の間隔は、調芯時に光ファイバアレイの端面
からの光が光導波路基板に入射できる範囲内であって、
調芯時に端面同士が接触しないように、ある程度開ける
必要がある。
て、入力側と同じ操作をする。 （ク）入射側のステージ３のステッピングモーター４を
動かし、上側部３Ａを＋Ｚ方向に動かす。この状態で
は、チャック２２がロックされているので、上側部２２
の移動量と、光導波路基板と光ファイバアレイとの端面
の間隔とは、一致する。この端面の間隔は、誤差１μｍ
以下で制御しなければならないので、端面の外形のみで
はこうした高精度での調整は実現できない。ところが、
こうしたステージの位置決め精度は、０．１μｍ以下を
実現することができ、正確な端面平行度の調整が可能と
なる。端面の間隔は、調芯時に光ファイバアレイの端面
からの光が光導波路基板に入射できる範囲内であって、
調芯時に端面同士が接触しないように、ある程度開ける
必要がある。
【００３４】（ケ）次いで、出力側について、（ク）と
同じ操作をする。 （コ）出射側のステージ２のステッピングモーター４を
動かし、上側部２Ａを＋Ｘ方向に動かし、光ファイバア
レイおよびその回りの部品が光導波路基板の端面の観察
を妨げないような位置にまで、移動させる。 （サ）光導波路基板の出射側端面の光導波路があると思
われる領域に、５００μｍ程度の視野を観察できるよう
にテレビカメラ４４をセットする。テレビカメラからの
画像を、配線４５を通して、矢印Ａのようにコントロー
ラー４７およびテレビジョン４６へと送る。前記の加工
精度から考えて、この視野の範囲内に光導波路を位置さ
せることは、十分に可能である。
同じ操作をする。 （コ）出射側のステージ２のステッピングモーター４を
動かし、上側部２Ａを＋Ｘ方向に動かし、光ファイバア
レイおよびその回りの部品が光導波路基板の端面の観察
を妨げないような位置にまで、移動させる。 （サ）光導波路基板の出射側端面の光導波路があると思
われる領域に、５００μｍ程度の視野を観察できるよう
にテレビカメラ４４をセットする。テレビカメラからの
画像を、配線４５を通して、矢印Ａのようにコントロー
ラー４７およびテレビジョン４６へと送る。前記の加工
精度から考えて、この視野の範囲内に光導波路を位置さ
せることは、十分に可能である。
【００３５】（シ）上記の（イ）で接続してあったレー
ザー光源５１を点灯させ、光ファイバー４９を通してレ
ーザー光を送る。入射側のステージ１、２、モーター４
を動かし、入射側の調芯を行う。この位置が調整されて
光が通る状態になると、（サ）でセットしたテレビカメ
ラからの画像において、光導波路の部分が光って見え
る。 （ス）出射側のステージの位置を、（ク）における移動
の前の位置に戻す。 （セ）出射側のステージ１、２、モーター４を動かし、
出射側の調芯を行う。調整された光が通る状態になる
と、（イ）で接続した光強度検出器４８の出力が増加す
る。出力が最大になるように、ステージ１、２を調整す
る。以上で、光ファイバと光導波路との接続の調整が終
わり、光が通る状態となった。
ザー光源５１を点灯させ、光ファイバー４９を通してレ
ーザー光を送る。入射側のステージ１、２、モーター４
を動かし、入射側の調芯を行う。この位置が調整されて
光が通る状態になると、（サ）でセットしたテレビカメ
ラからの画像において、光導波路の部分が光って見え
る。 （ス）出射側のステージの位置を、（ク）における移動
の前の位置に戻す。 （セ）出射側のステージ１、２、モーター４を動かし、
出射側の調芯を行う。調整された光が通る状態になる
と、（イ）で接続した光強度検出器４８の出力が増加す
る。出力が最大になるように、ステージ１、２を調整す
る。以上で、光ファイバと光導波路との接続の調整が終
わり、光が通る状態となった。
【００３６】（ソ）光導波路基板と光ファイバアレイと
を接着する接着剤（例えば、紫外線硬化型接着剤）を接
着面に滴下する。 （タ）入射側のモーター４を動かし、光ファイバアレイ
と光導波路基板との端面の間隔を一定にする。（ク）工
程における移動量から、この工程での移動量が決まる。
端面の間隔は、使用する樹脂の種類、導波路、光ファイ
バアレイの材質によって決定される。 （チ）出射側について、（タ）と同じ操作を行う。 （ツ）接着剤の滴下と端面間隔の調整とによって、光の
透過状態が多少変化してしまうので、再度調芯を行う。
入射側のステージ１、２、モーター４を動かし、光強度
検出器の出力が最大になるように調芯する。 （テ）出射側について、（ツ）と同じ操作をする。 （ト）接着剤を硬化させる。 （ナ）光ファイバアレイと光導波路基板とを保持装置か
ら外す。
を接着する接着剤（例えば、紫外線硬化型接着剤）を接
着面に滴下する。 （タ）入射側のモーター４を動かし、光ファイバアレイ
と光導波路基板との端面の間隔を一定にする。（ク）工
程における移動量から、この工程での移動量が決まる。
端面の間隔は、使用する樹脂の種類、導波路、光ファイ
バアレイの材質によって決定される。 （チ）出射側について、（タ）と同じ操作を行う。 （ツ）接着剤の滴下と端面間隔の調整とによって、光の
透過状態が多少変化してしまうので、再度調芯を行う。
入射側のステージ１、２、モーター４を動かし、光強度
検出器の出力が最大になるように調芯する。 （テ）出射側について、（ツ）と同じ操作をする。 （ト）接着剤を硬化させる。 （ナ）光ファイバアレイと光導波路基板とを保持装置か
ら外す。
【００３７】なお、上記の他、参考として、次の方法を
とることもできる。図２〜図７に示す調芯装置におい
て、治具２３、ベアリング８、回転ステージ１４、１５
を取り外す。この代わりに、回転角度を電気的に制御で
きる自動回転ステージを２つ設け、この上に前記と同様
にして光ファイバアレイを設置する。こうした自動回転
ステージ自体は公知である。自動回転ステージのうち、
一方は回転軸２５を回転軸としており、他方は回転軸２
４を回転軸としている。入射側の光ファイバアレイと光
導波路基板との入射側端面の上面、側面を観察するため
のテレビカメラを設置する。同じく、出射側の光導波路
基板と光ファイバアレイとの端面の側面、上面を観察す
るためのテレビカメラを設置する。これらのカメラの出
力画像を画像処理するコンピューターを設置する。
とることもできる。図２〜図７に示す調芯装置におい
て、治具２３、ベアリング８、回転ステージ１４、１５
を取り外す。この代わりに、回転角度を電気的に制御で
きる自動回転ステージを２つ設け、この上に前記と同様
にして光ファイバアレイを設置する。こうした自動回転
ステージ自体は公知である。自動回転ステージのうち、
一方は回転軸２５を回転軸としており、他方は回転軸２
４を回転軸としている。入射側の光ファイバアレイと光
導波路基板との入射側端面の上面、側面を観察するため
のテレビカメラを設置する。同じく、出射側の光導波路
基板と光ファイバアレイとの端面の側面、上面を観察す
るためのテレビカメラを設置する。これらのカメラの出
力画像を画像処理するコンピューターを設置する。
【００３８】調芯の際には、前記の工程（ア）〜（エ）
を実施する。次いで、前記の工程（オ）〜（キ）を実施
せず、この代わりに、次の工程を実施する。
を実施する。次いで、前記の工程（オ）〜（キ）を実施
せず、この代わりに、次の工程を実施する。
【００３９】（マ）入射側の上面の画像について、２値
化とエッジ検出処理とを行い、光導波路基板の端面と光
ファイバアレイの端面とのθＹ方向の傾き角を検出す
る。 （ミ） （マ）の測定を行いながら、光ファイバアレイ
の端面と光導波路基板の端面とのθＹ方向の傾き角が一
致するように、回転軸２５を回転軸とする方の自動回転
ステージを回転させる。 （ム）入射側の側面の画像について、２値化とエッジ検
出処理とを行い、光導波路基板の端面と光ファイバアレ
イの端面とのθＸ方向の傾き角を検出する。 （メ） （ム）の測定を行いながら、光ファイバアレイ
の端面と光導波路基板の端面とのθＸ方向の傾き角が一
致するように、回転軸２４を回転軸とする方の自動回転
ステージを回転させる。 （モ）出射側について、（マ）〜（メ）と同じ処理を行
い、出射側の端面の平行度を調整する。
化とエッジ検出処理とを行い、光導波路基板の端面と光
ファイバアレイの端面とのθＹ方向の傾き角を検出す
る。 （ミ） （マ）の測定を行いながら、光ファイバアレイ
の端面と光導波路基板の端面とのθＹ方向の傾き角が一
致するように、回転軸２５を回転軸とする方の自動回転
ステージを回転させる。 （ム）入射側の側面の画像について、２値化とエッジ検
出処理とを行い、光導波路基板の端面と光ファイバアレ
イの端面とのθＸ方向の傾き角を検出する。 （メ） （ム）の測定を行いながら、光ファイバアレイ
の端面と光導波路基板の端面とのθＸ方向の傾き角が一
致するように、回転軸２４を回転軸とする方の自動回転
ステージを回転させる。 （モ）出射側について、（マ）〜（メ）と同じ処理を行
い、出射側の端面の平行度を調整する。
【００４０】（ヤ）チャック２２をオフ状態にする。 （ユ）入射側のステージ３のモーター４を動かし、上側
部３Ａを−Ｚ方向に動かし、光導波路基板と光ファイバ
アレイとを接触させる。可動ステージ５は、接触時に過
荷重がかかり、光部品が破損するのをを防止するため
に、必要である。この状態でチャック２２をロックし、
可動ステージ５の上側部５Ａと下側部５Ｂとを固定す
る。 （ヨ）出射側について、（ユ）と同じ操作を行う。この
後、（ク）〜（ナ）の調芯や接着の工程を実施すること
ができる。
部３Ａを−Ｚ方向に動かし、光導波路基板と光ファイバ
アレイとを接触させる。可動ステージ５は、接触時に過
荷重がかかり、光部品が破損するのをを防止するため
に、必要である。この状態でチャック２２をロックし、
可動ステージ５の上側部５Ａと下側部５Ｂとを固定す
る。 （ヨ）出射側について、（ユ）と同じ操作を行う。この
後、（ク）〜（ナ）の調芯や接着の工程を実施すること
ができる。
【００４１】なお、上記した例では、画像処理によって
光ファイバアレイの端面および光導波路基板の端面の角
度を測定していた。しかし、この測定については、オー
トコリメーターを使用することもできる。
光ファイバアレイの端面および光導波路基板の端面の角
度を測定していた。しかし、この測定については、オー
トコリメーターを使用することもできる。
【００４２】図８は、本発明によって結合できる、光導
波路基板５４と、一対の光ファイバアレイ５３Ａ、５３
Ｂとを示す平面図である。この光導波路基板５４には、
いわゆるＹ分岐形の光導波路５６が形成されており、こ
の一方には一列の光導波路部分５６ａが形成されてお
り、これがＹ字形の分岐部分を介して２列の光導波路部
分５６ｂに分岐している。分岐した各光導波路部分５６
ｂに対して、それぞれ制御用電極５５によって所定の信
号電圧を印加できるようになっている。
波路基板５４と、一対の光ファイバアレイ５３Ａ、５３
Ｂとを示す平面図である。この光導波路基板５４には、
いわゆるＹ分岐形の光導波路５６が形成されており、こ
の一方には一列の光導波路部分５６ａが形成されてお
り、これがＹ字形の分岐部分を介して２列の光導波路部
分５６ｂに分岐している。分岐した各光導波路部分５６
ｂに対して、それぞれ制御用電極５５によって所定の信
号電圧を印加できるようになっている。
【００４３】一対の光ファイバアレイ５３Ａ、５３Ｂに
は、それぞれＶ溝（ガイド溝）が、機械加工によって形
成されている。光ファイバアレイ５３Ａに対しては、２
列の光ファイバ４９が保持されており、この各光ファイ
バが各光導波路部分５６ｂに結合している。光ファイバ
アレイ５３Ｂに対しては、一方の光ファイバ４９が保持
されており、この光ファイバが光導波路部分５６ａに結
合している。本実施例では、光ファイバアレイ５３Ｂに
保持された光ファイバ４９から入射した光の中で特定の
偏光方向の光のみを光導波路部分５６ｂに透過させ、電
極５５によって変調を加えるため、偏光子５７を光導波
路部分５６ａ上に形成した。光導波路基板５４の端面５
４ａと、各光ファイバアレイ５３Ａ、５３Ｂの端面５３
ａとを結合するのに際して、本発明に従って端面同士の
平行度を向上させ、端面を結合する。
は、それぞれＶ溝（ガイド溝）が、機械加工によって形
成されている。光ファイバアレイ５３Ａに対しては、２
列の光ファイバ４９が保持されており、この各光ファイ
バが各光導波路部分５６ｂに結合している。光ファイバ
アレイ５３Ｂに対しては、一方の光ファイバ４９が保持
されており、この光ファイバが光導波路部分５６ａに結
合している。本実施例では、光ファイバアレイ５３Ｂに
保持された光ファイバ４９から入射した光の中で特定の
偏光方向の光のみを光導波路部分５６ｂに透過させ、電
極５５によって変調を加えるため、偏光子５７を光導波
路部分５６ａ上に形成した。光導波路基板５４の端面５
４ａと、各光ファイバアレイ５３Ａ、５３Ｂの端面５３
ａとを結合するのに際して、本発明に従って端面同士の
平行度を向上させ、端面を結合する。
【００４４】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の調芯装置に
よれば、きわめて高精度で、自動的に、光基板の端面を
平行とし、調芯することができる。
よれば、きわめて高精度で、自動的に、光基板の端面を
平行とし、調芯することができる。
【図１】（ａ）は、光導波路基板と光ファイバアレイと
を調芯する前の状態を示す平面図であり、（ｂ）は、調
芯した後の状態を示す平面図である。
を調芯する前の状態を示す平面図であり、（ｂ）は、調
芯した後の状態を示す平面図である。
【図２】本発明の実施例に係る端面調整装置を示す正面
図である（Ｚ方向から見たもの）。
図である（Ｚ方向から見たもの）。
【図３】図２の端面調整装置を示す上面図である（Ｙ方
向から見たもの）。
向から見たもの）。
【図４】図２の端面調整装置を示す側面図である（Ｘ方
向から見たもの）。
向から見たもの）。
【図５】（ａ）は、治具９内に光ファイバアレイ３１を
収容し、固定した状態を示す斜視図であり、（ｂ）は、
治具９内に光ファイバアレイ３１を収容し、固定した状
態を示す断面図である。
収容し、固定した状態を示す斜視図であり、（ｂ）は、
治具９内に光ファイバアレイ３１を収容し、固定した状
態を示す断面図である。
【図６】保持装置４１に光導波路基板３６を収容し、固
定した状態を示す斜視図である。
定した状態を示す斜視図である。
【図７】一対の光ファイバアレイの端面を光導波路基板
の端面に対して調整するための調芯装置を模式的に示す
模式図である。
の端面に対して調整するための調芯装置を模式的に示す
模式図である。
【図８】本発明によって結合できる、光導波路基板５４
と、一対の光ファイバアレイ５３Ａ、５３Ｂとを示す平
面図である。
と、一対の光ファイバアレイ５３Ａ、５３Ｂとを示す平
面図である。
１ Ｙ軸ステージ ２ Ｘ軸ステージ ３ Ｚ軸ス
テージ ４ ステッピングモーター ５ Ｚ軸可動ステージ
７ 静電チャック ８ ベアリング ９ 治具 １３ 重り １４、
１５ 回転ステージ １６ 固定用ピン ２０ スプリング ２１ スプ
リングキャップ ２４、２５ 回転軸 ３１、３１
Ａ、３１Ｂ 光ファイバアレイ ３３ 光ファイバ
３４ 被覆 ３６ 光導波路基板 ３７ 光導波
路 ３８ 光ファイバアレイの端面 ３９ 光導波
路基板の端面 ４１ 光導波路基板の保持装置 ４
３、４３Ａ、４３Ｂ 保持装置 ４４ テレビカメラ
４６テレビジョン ４７ コントローラー
テージ ４ ステッピングモーター ５ Ｚ軸可動ステージ
７ 静電チャック ８ ベアリング ９ 治具 １３ 重り １４、
１５ 回転ステージ １６ 固定用ピン ２０ スプリング ２１ スプ
リングキャップ ２４、２５ 回転軸 ３１、３１
Ａ、３１Ｂ 光ファイバアレイ ３３ 光ファイバ
３４ 被覆 ３６ 光導波路基板 ３７ 光導波
路 ３８ 光ファイバアレイの端面 ３９ 光導波
路基板の端面 ４１ 光導波路基板の保持装置 ４
３、４３Ａ、４３Ｂ 保持装置 ４４ テレビカメラ
４６テレビジョン ４７ コントローラー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G02B 6/30
Claims (7)
- 【請求項１】複数の光基板の各端面の平行度を調整する
装置であって、各光基板を保持する保持装置と、前記の
各光基板を相対的に移動させるための移動機構と、前記
光基板のうち少なくとも一方の光基板を回動可能に保持
するための回転ステージであって、この回転ステージの
回転軸が前記一方の光基板の前記端面に対して平行であ
る回転ステージと、この回転ステージが回転しないよう
にチャックするチャック装置とを備えており、前記各光
基板の各端面を互いに接触させ、前記一方の光基板の端
面と垂直な方向に圧力を加えることによって、少なくと
も前記一方の光基板および前記回転ステージを前記回転
軸を中心として回動させ、前記各光基板の前記各端面を
平行にし、次いで前記回転ステージを前記チャック装置
によって回転しないようにチャックすることを特徴とす
る、光基板の端面の平行度の調整装置。 - 【請求項２】前記回転ステージが一方の回転ステージと
他方の回転ステージとを含んでおり、前記一方の回転ス
テージの前記回転軸と前記他方の回転ステージの前記回
転軸とが互いに直交しており、前記一方の光基板の端面
と垂直な方向に圧力を加えたときに、前記一方の基板お
よび前記一方の回転ステージを前記一方の回転ステージ
の前記回転軸を中心として回動させ、前記一方の基板お
よび前記他方の回転ステージを前記他方の回転ステージ
の前記回転軸を中心として回動させることを特徴とす
る、請求項１記載の光基板の端面の平行度の調整装置。 - 【請求項３】前記一方の基板の端面と垂直な方向をＺ軸
とし、前記一方の基板の端面と平行であって、前記一方
の基板の主面と平行な方向をＸ軸とし、前記一方の基板
の端面と平行であって、前記一方の基板の主面と垂直な
方向をＹ軸としたときに、前記一方の回転ステージの前
記回転軸がＸ軸方向であり、前記他方の回転ステージの
前記回転軸がＹ軸方向であることを特徴とする、請求項
２記載の光基板の端面の平行度の調整装置。 - 【請求項４】前記回転ステージの回転軸が、前記光基板
の前記端面上を通ることを特徴とする、請求項１−３の
いずれか一つの請求項に記載の光基板の端面の平行度の
調整装置。 - 【請求項５】前記光基板の端面同士を互いに接触させた
ときに、接触による圧力変動を感知する圧力感知装置を
備えていることを特徴とする、請求項１−４のいずれか
一つの請求項に記載の光基板の端面の平行度の調整装
置。 - 【請求項６】前記光基板の端面同士を互いに接触させた
ときに、前記光基板に過荷重が加わるのを防止するため
に前記保持装置が荷重の加わった方向へとスライドしう
るようなスライド機構と、前記保持装置がスライドした
後にこのスライド機構を固定するためのクランプ機構を
備えていることを特徴とする、請求項１−５のいずれか
一つの請求項に記載の光基板の端面の平行度の調整装
置。 - 【請求項７】前記回転ステージの前記回転中心から見て
前記光基板の反対側に、静状態で前記回転ステージの釣
り合いをとるための重りが設けられていることを特徴と
する、請求項１−６のいずれか一つの請求項に記載の光
基板の端面の平行度の調整装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7011335A JP2846594B2 (ja) | 1995-01-27 | 1995-01-27 | 光基板の端面の平行度の調整装置 |
| US08/590,456 US5715341A (en) | 1995-01-27 | 1996-01-23 | Apparatus having at least one rotatable holder for adjusting alignment between end faces of optical substrates |
| DE69631916T DE69631916T2 (de) | 1995-01-27 | 1996-01-25 | Apparat zur Einstellung der Parallelität der Stirnflächen von optischen Substraten |
| EP96300515A EP0724172B1 (en) | 1995-01-27 | 1996-01-25 | An apparatus for adjusting the parallel degree of end faces of optical substrates |
| CN96101239A CN1093942C (zh) | 1995-01-27 | 1996-01-26 | 光导基片端平行度调节设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7011335A JP2846594B2 (ja) | 1995-01-27 | 1995-01-27 | 光基板の端面の平行度の調整装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08201650A JPH08201650A (ja) | 1996-08-09 |
| JP2846594B2 true JP2846594B2 (ja) | 1999-01-13 |
Family
ID=11775169
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7011335A Expired - Fee Related JP2846594B2 (ja) | 1995-01-27 | 1995-01-27 | 光基板の端面の平行度の調整装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5715341A (ja) |
| EP (1) | EP0724172B1 (ja) |
| JP (1) | JP2846594B2 (ja) |
| CN (1) | CN1093942C (ja) |
| DE (1) | DE69631916T2 (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20080177603A1 (en) * | 1999-11-30 | 2008-07-24 | Coupons, Inc. | System and method for controlling distribution of electronic coupons |
| EP1170606A1 (en) * | 2000-07-06 | 2002-01-09 | Corning Incorporated | Multiple planar complex optical devices and the process of manufacturing the same |
| US6480651B1 (en) | 2001-07-13 | 2002-11-12 | Jds Uniphase Inc. | Method and apparatus for aligning optical components |
| US6676305B2 (en) | 2002-01-28 | 2004-01-13 | Coviant, Inc. | Apparatus and method of aligning optical fibers to optical devices |
| US20030142945A1 (en) * | 2002-01-28 | 2003-07-31 | Dallas Joseph L. | Method and system for attaching one or more optical fibers to a retaining device |
| US20030161595A1 (en) * | 2002-02-27 | 2003-08-28 | Dallas Joseph L. | Method of bonding optical devices |
| US7120235B2 (en) | 2003-10-06 | 2006-10-10 | Ingenio, Inc. | Method and apparatus to provide pay-per-call performance based advertising |
| US9317855B2 (en) | 2006-10-24 | 2016-04-19 | Yellowpages.Com Llc | Systems and methods to provide voice connections via local telephone numbers |
| US8222347B2 (en) | 2007-07-25 | 2012-07-17 | Sabic Innovative Plastics Ip B.V. | Polyester-polycarbonate compositions |
| US20220260786A1 (en) * | 2019-06-20 | 2022-08-18 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Optical Fiber Guide Structure and Optical Fiber Connecting Structure |
| JP7394307B2 (ja) * | 2021-05-17 | 2023-12-08 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 光学調整装置、及び、光学調整方法 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB8417911D0 (en) * | 1984-07-13 | 1984-08-15 | British Telecomm | Connecting waveguides |
| US4725114A (en) * | 1984-09-28 | 1988-02-16 | American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories | Optical waveguide lateral alignment arrangement |
| JPS61278806A (ja) * | 1985-06-04 | 1986-12-09 | Hitachi Chem Co Ltd | 光導波路と光フアイバの接合方法 |
| US4781743A (en) * | 1987-01-16 | 1988-11-01 | American Telephone And Telegraph Company At&T Bell Laboratories | Method of improving waveguide uniformity in optical substrate and product |
| JPH02125209A (ja) * | 1988-11-02 | 1990-05-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光導波路・光ファイバ結合構造 |
| DE4002370B4 (de) * | 1990-01-27 | 2005-03-31 | Alcatel Sel Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Justieren der optischen Kopplung von Lichtwellenleitern und optischen Bauelementen |
| FR2660443A1 (fr) * | 1990-04-02 | 1991-10-04 | Alsthom Cge Alcatel | Procede de couplage collectif de guides de lumiere. |
| JP2773990B2 (ja) * | 1991-04-15 | 1998-07-09 | 日本碍子株式会社 | 光導波路基板と光ファイバ整列用基板との結合体の製造方法 |
| KR960014123B1 (ko) * | 1991-05-20 | 1996-10-14 | 후루카와덴기코교 카부시키가이샤 | 광도파로와 광파이버의 접속방법 |
| EP0527429A1 (en) * | 1991-08-14 | 1993-02-17 | Sumitomo Electric Industries, Ltd | Elements aligning/coupling apparatus and method |
| CA2076440C (en) * | 1991-08-21 | 1999-01-26 | Hisaharu Yanagawa | Optical connecting device |
| JPH05203833A (ja) * | 1992-01-27 | 1993-08-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光導波路型部品の製造装置 |
| JPH07104146A (ja) * | 1993-10-01 | 1995-04-21 | Ngk Insulators Ltd | 光部品の製造方法 |
-
1995
- 1995-01-27 JP JP7011335A patent/JP2846594B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-01-23 US US08/590,456 patent/US5715341A/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-01-25 DE DE69631916T patent/DE69631916T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1996-01-25 EP EP96300515A patent/EP0724172B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-01-26 CN CN96101239A patent/CN1093942C/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0724172B1 (en) | 2004-03-24 |
| US5715341A (en) | 1998-02-03 |
| EP0724172A3 (en) | 1996-08-14 |
| CN1093942C (zh) | 2002-11-06 |
| CN1176394A (zh) | 1998-03-18 |
| EP0724172A2 (en) | 1996-07-31 |
| DE69631916D1 (de) | 2004-04-29 |
| JPH08201650A (ja) | 1996-08-09 |
| DE69631916T2 (de) | 2005-03-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980929 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071030 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081030 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |