JP2851796B2 - 光ファイバアレイの基板への固定方法 - Google Patents

光ファイバアレイの基板への固定方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光ファイバアレイを素
子マウント基板へ厚さ方向の距離を正確に固定すること
のできる光ファイバアレイの基板への固定方法に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】従来、図6に一例を示すように、素子マ
ウント基板51上に、光ファイバ52の固定用のV溝5
3が形成されたV溝基板54と、V溝53中に挿入した
光ファイバ52を固定する固定基板55と、V溝基板5
4のV溝53の両端に設けた一対のガイド穴56とから
なる光ファイバアレイ57を固定する際、素子マウント
基板51に対する光ファイバ52の位置すなわち厚さ方
向の距離Aを正確に設定する必要がある場合が多い。こ
れは、通常、図6に示すように、光ファイバアレイ57
と光導波路素子等の光素子58とを素子マウント基板5
1上で結合して、光素子58の光軸と光ファイバアレイ
57の光ファイバ52の光軸とを、光学的に一致させる
必要があるためである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上述した場合、光ファ
イバアレイ57の厚さ方向の距離Aおよび光素子58の
厚さ方向の距離Bを正確に得るため、それぞれ加工の
際、素子マウント基板51と接する面を基準面としてこ
の基準面からの距離がそれぞれA、Bとなるように加工
を行っている。この場合、光素子58の厚さ方向の距離
Bは、加工形状が簡単であるため比較的正確な値にする
ことができるが、光ファイバアレイ57の厚さ方向の距
離Aは、形状が複雑であり正確な値にすることが難しい
問題があった。
【0004】そのため、光ファイバアレイ57と光素子
58とを素子マウント基板51上で相対的に動かしなが
ら、一方から光を入射し他方の側からの出射光をモニタ
ーして、出射光のパワーが最大の所で素子マウント基板
51にそれぞれを固定して、互いの光軸を一致させてい
た。その際、上述したように光ファイバアレイ57の厚
さ方向の距離Aが不正確であると、素子マウント基板5
1と光素子58または光ファイバアレイ57との間に隙
間が生じ、この隙間を接着剤で埋める必要があるため、
接着剤の収縮・膨張で厚さ方向に応力が発生し、信頼性
が低下する恐れもあった。
【0005】本発明の目的は上述した課題を解消して、
光ファイバアレイを素子マウント基板上に正確に位置さ
せることができる光ファイバアレイの基板への固定方法
を提供しようとするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の光ファイバアレ
イの基板への固定方法は、光ファイバ固定用のV溝が形
成されたV溝基板と、V溝中に挿入した光ファイバを固
定する固定基板と、V溝基板のV溝の両端に設けた、接
続用のガイドピンを挿入する一対のガイド穴とからなる
光ファイバアレイを素子マウント基板上に厚み方向の距
離を正確に規定する固定方法であって、前記ガイドピン
を前記ガイド穴に挿入して各ガイドピンの一点が前記素
子マウント基板に接した状態で、前記光ファイバアレイ
を素子マウント基板上に固定することを特徴とするもの
である。
【0007】
【作用】上述した構成において、V溝基板に設けたガイ
ド穴にガイドピンを挿入して各ガイドピンの一点が素子
マウント基板に接した状態で、光ファイバアレイの素子
マウント基板への固定を行うことで、各ガイドピンの中
心と光ファイバの中心の相対的な位置関係がサブミクロ
ンのオーダの精度となるようV溝基板を加工できるた
め、素子マウント基板の上面(素子を載せる面)から光
ファイバまでの距離はサブミクロンのオーダで設定した
値となる。そのため、同一の素子マウント基板上に配置
した光素子と光ファイバアレイの光ファイバとの光軸合
わせを行う場合、両者の厚さ方向には正確に光軸があっ
ているため、光軸調整作業が簡単になる。
【0008】
【実施例】図1は本発明の光ファイバアレイの基板への
固定方法を利用して得た1×4光分岐器の一例を示す図
である。図1に示す例において、1は素子マウント基
板、2は素子マウント基板1上に設けた入射側の光ファ
イバアレイ、3は素子マウント基板1上に設けた出射側
の光ファイバアレイ、4は光ファイバアレイ2および3
の間に設けた光導波路素子である。
【0009】光ファイバアレイ2および光ファイバアレ
イ3は、それぞれV溝基板11に、光ファイバ12を固
定するためのV溝13(光ファイバアレイ2では1個、
光ファイバアレイ3では4個)と、V溝基板11中に挿
入した光ファイバ12を固定する固定基板14と、V溝
の両端に設けた図示しないガイドピンを挿入するための
一対のガイド穴15とを設けて構成される。そして、光
ファイバアレイ2および光ファイバアレイ3は、それぞ
れ接着剤層16、17を介して素子マウント基板1上に
設けられている。また、光導波路素子は、入射側と出射
側の光軸が、それぞれ光ファイバアレイ2および3の光
ファイバ12の光軸と一致する状態で、接着剤により素
子マウント基板1上に設けられる。
【0010】図2および図3は本発明の光ファイバアレ
イの基板への固定方法を利用して得た光電変換モジュー
ルの一例を示す図であり、図1に示した部材と同一の部
材には同一の符号を付し、その説明を省略する。図2に
示す例では、素子マウント基板1上に、入射側の光ファ
イバアレイ2(光ファイバ12およびV溝13の数は異
なる)を設けるとともに、この光ファイバ12に対応し
て受光素子21を設けて光電変換モジュールを得てい
る。図3は図2の変形例で、ガイド穴15を、光ファイ
バアレイ2に設けたガイド溝22と素子マウント基板1
に設けたガイド溝23とにより構成している。なお、図
3に示したガイド穴15の構造は、図1に示す例にも適
用できることはいうまでもない。
【0011】図4は上述した例において、本発明の光フ
ァイバアレイの基板への固定方法の実際の例を工程ごと
に示す図である。図4に従って本発明を説明すると、ま
ず図4(a)に示すように、V溝基板11にサブミクロ
ンオーダの加工を施すことで、V溝13に挿入した光フ
ァイバ12の光軸とガイド穴15に挿入したガイドピン
31の素子マウント基板1と接する点との距離Zが、相
手部材となる光導波路素子4や受光素子21等の光素子
の光軸と素子マウント基板1との距離になるようにす
る。
【0012】また、V溝基板11の端部11aは、接着
剤層16、17を設けるために、Xだけガイドピン31
の素子マウント基板1と接する点からひかえるよう加工
する。なお、光ファイバ12の光軸とガイドピン31の
中心とは必ずしも厚さ方向に一致させる必要はないが、
単心または多心の光コネクタと直接ガイドピン31を介
して接続する場合は、図4(a)に示すように光ファイ
バ12の光軸とガイドピン31の中心とを厚さ方向に一
致させると、光ファイバアレイ2(3)の光ファイバ1
2と図示しない光コネクタの光ファイバとの相対的位置
関係を一致させることができ好ましい。
【0013】次に、図4(b)に示すように、光ファイ
バ12をV溝基板11のV溝13に挿入して、固定基板
14により接着固定する。このとき、固定基板14の厚
みは上述したZ以下として、ガイドピン31が素子マウ
ント基板に常に接するようにする必要がある。次に、図
4(c)に示すように、組み立てた光ファイバアレイ2
(3)の両端を光学端面研磨して、光ファイバアレイ2
(3)を得る。
【0014】最後に、得られた光ファイバアレイ2
(3)を素子マウント基板1上に固定してモジュール化
する。すなわち、まず図4(d)に示すように、光ファ
イバアレイ2を、ガイドピン31をガイド穴15に挿入
した状態で素子マウント基板1上に載置する。このと
き、V溝基板11の端部11aは、素子マウント基板1
からXだけ浮いた状態となる。この状態で、光ファイバ
アレイ2(3)の光軸と光導波路4や受光素子21等の
光素子の光軸を例えば従来のように光を入射することに
より光軸調整する。このとき、厚さ方向は正確に光軸が
合致するため、基板面と平行な方向のずれおよびこの面
に対する回転ずれを調整するだけで光軸を調整すること
ができる。そして、光軸が合った段階で、光ファイバア
レイ2(3)の両端11aにXだけ浮いた空間に接着剤
を供給し、接着剤層16(17)を形成して固定してい
る。
【0015】上述した例では、素子マウント基板1の上
から光ファイバ12までの距離Zをサブミクロンオーダ
例えばZ±0.5μm 程度に加工できるため、ガイドピ
ン31の1点が素子マウント基板1に接した状態(ガイ
ドピン31はその他2点でガイド穴15と接している)
で、光ファイバアレイ2(3)を素子マウント基板1に
固定することで、光ファイバアレイ2(3)と光素子と
の間で厚み方向の光軸は一致するため、光軸調整を簡単
にすることができる。
【0016】なお、光ファイバアレイ3がある場合(図
1の例)でも、光ファイバアレイ2を固定後同様にして
素子マウント基板1に固定することができる。この場合
は、図5に示すように、先に固定した光ファイバアレイ
2とこれから固定する光ファイバアレイ3とに同一のガ
イドピン31を挿入して、光ファイバアレイ3を固定す
れば、光素子の光軸に対して光ファイバアレイ3の光フ
ァイバ12の光軸は自動的に一致するため、光ファイバ
アレイ3の光軸調整を行う必要がなく、作業を大幅に簡
単にすることができる。
【0017】本発明は上述した実施例にのみ限定される
ものでなく、幾多の変形、変更が可能である。上述した
実施例では、光ファイバアレイの固定を光素子との光軸
合わせの観点から説明したが、光ファイバアレイを単独
で基板上に固定する際にも、本発明の厚み方向の距離を
正確に規定できる効果を発揮させることができることは
いうまでもない。
【0018】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、V溝基板に設けたガイド穴にガイドピンを挿入し
て各ガイドピンの一点が素子マウント基板に接した状態
で、光ファイバアレイの素子マウント基板への固定を行
うことで、素子マウント基板の上面(素子を載せる面)
から光ファイバまでの距離はサブミクロンのオーダで設
定した値となる。そのため、同一の素子マウント基板上
に配置した光素子と光ファイバアレイの光ファイバとの
光軸合わせを行う場合、両者の厚さ方向には正確に光軸
があっているため、光軸調整作業が簡単になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光ファイバアレイの基板への固定方法
を利用した装置の一例の構成を示す図である。
【図2】本発明の光ファイバアレイの基板への固定方法
を利用した装置の他の例の構成を示す図である。
【図3】本発明の光ファイバアレイの基板への固定方法
を利用した装置のさらに他の例の構成を示す図である。
【図4】本発明の光ファイバアレイの基板への固定方法
を工程ごとに示す図である。
【図5】本発明の光ファイバアレイの基板への固定方法
の一例を示す図である。
【図6】従来の光ファイバアレイの固定方法を説明する
ための図である。
【符号の説明】
1 素子マウント基板、2、3 光ファイバアレイ、4
光導波路素子、11V溝基板、12 光ファイバ、1
3 V溝、14 固定基板、15 ガイド穴、31 ガ
イドピン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G02B 6/30 G02B 6/00 346

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】光ファイバ固定用のV溝が形成されたV溝
    基板と、V溝中に挿入した光ファイバを固定する固定基
    板と、V溝基板のV溝の両端に設けた、接続用のガイド
    ピンを挿入する一対のガイド穴とからなる光ファイバア
    レイを素子マウント基板上に厚み方向の距離を正確に規
    定する固定方法であって、前記ガイドピンを前記ガイド
    穴に挿入して各ガイドピンの一点が前記素子マウント基
    板に接した状態で、前記光ファイバアレイを素子マウン
    ト基板上に固定することを特徴とする光ファイバアレイ
    の基板への固定方法。
  2. 【請求項2】前記素子マウント基板上に光素子を固定
    し、この光素子の光軸と前記光ファイバアレイの光ファ
    イバの光軸とを一致させる請求項1記載の光ファイバア
    レイの基板への固定方法。
  3. 【請求項3】前記光ファイバアレイが複数であり、複数
    の光ファイバアレイの各ガイド穴に一本のガイドピンを
    挿入する請求項1または2記載の光ファイバアレイの基
    板への固定方法。
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Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB9700150D0 (en) 1997-01-07 1997-02-26 Cambridge Consultants Hybrid chip process
JPH11153730A (ja) * 1997-09-18 1999-06-08 Toshiba Corp 光半導体モジュール及びその製造方法
US6304695B1 (en) * 1999-05-17 2001-10-16 Chiaro Networks Ltd. Modulated light source
US6366720B1 (en) 1999-07-09 2002-04-02 Chiaro Networks Ltd. Integrated optics beam deflector assemblies utilizing side mounting blocks for precise alignment
US6986608B2 (en) 2001-01-16 2006-01-17 Molex Incorporated Passive alignment connection for fiber optics
US6813023B2 (en) 2002-01-03 2004-11-02 Chiaro Nerwork Ltd. Automatic optical inter-alignment of two linear arrangements
KR100442630B1 (ko) * 2002-01-04 2004-08-02 삼성전자주식회사 광섬유 블럭
US6676305B2 (en) 2002-01-28 2004-01-13 Coviant, Inc. Apparatus and method of aligning optical fibers to optical devices
US20030142945A1 (en) * 2002-01-28 2003-07-31 Dallas Joseph L. Method and system for attaching one or more optical fibers to a retaining device
US20030161595A1 (en) * 2002-02-27 2003-08-28 Dallas Joseph L. Method of bonding optical devices
US6886994B2 (en) * 2002-07-18 2005-05-03 Chiaro Networks Ltd. Optical assembly and method for manufacture thereof
JP4263509B2 (ja) * 2003-03-14 2009-05-13 株式会社フジクラ 光ファイバ把持装置及び光ファイバ突合わせ装置、並びに光ファイバ融着接続装置
US7197224B2 (en) * 2003-07-24 2007-03-27 Reflex Photonics Inc. Optical ferrule
CN101819300B (zh) * 2010-04-16 2011-08-31 中国人民解放军国防科学技术大学 高速光互连平台中的超薄连接器
US10663133B2 (en) * 2017-09-12 2020-05-26 Valeo North America, Inc. Construction method for 3D fiber optics
US10497820B1 (en) 2018-06-01 2019-12-03 Globalfoundries Singapore Pte. Ltd. Wedge-shaped fiber array on a silicon-photonic device and method for producing the same

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5545051A (en) * 1978-09-28 1980-03-29 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Multicore connector of optical fiber
JPS583209B2 (ja) * 1979-01-12 1983-01-20 日本電信電話株式会社 光↓−電気変換素子と光フアイバの位置合わせ法
JPS5932766B2 (ja) * 1980-09-25 1984-08-10 富士通株式会社 光コネクタの位置出し構造
US4639074A (en) * 1984-06-18 1987-01-27 At&T Bell Laboratories Fiber-waveguide self alignment coupler
JPS6161111A (ja) * 1984-09-01 1986-03-28 Sumitomo Electric Ind Ltd 多心光コネクタ
GB2191601A (en) * 1986-06-12 1987-12-16 Gen Electric Co Plc Alignment of arrays of optical waveguides
JPS63278004A (ja) * 1986-12-23 1988-11-15 Sumitomo Electric Ind Ltd 光フアイバ結合部材
US4818058B1 (en) * 1988-03-03 1995-04-25 Bell Telephone Labor Inc Optical connector.
US4875969A (en) * 1988-10-07 1989-10-24 Eastman Kodak Company Method of making a fiber optic array
JPH02125209A (ja) * 1988-11-02 1990-05-14 Sumitomo Electric Ind Ltd 光導波路・光ファイバ結合構造
DE3902022A1 (de) * 1989-01-20 1990-07-26 Siemens Ag Loesbarer lichtwellenleiter-verbinder
DE3908927A1 (de) * 1989-03-18 1990-09-27 Iot Entwicklungsgesellschaft F Mikromechanisches bauteil
JP2590266B2 (ja) * 1989-06-23 1997-03-12 住友電気工業株式会社 光コネクタ
JPH0421803A (ja) * 1990-05-17 1992-01-24 Sumitomo Electric Ind Ltd 集積光ファイバ機能部品
JPH04251806A (ja) * 1991-01-29 1992-09-08 Sumitomo Electric Ind Ltd 光コネクタ
JPH04291205A (ja) * 1991-03-19 1992-10-15 Fujitsu Ltd 導波路型光デバイス
DE69229708T2 (de) * 1991-05-20 1999-12-23 Furukawa Electric Co Ltd Verfahren zum verbinden eines optischen lichtwellenleiters mit einer optischen faser
JP2981313B2 (ja) * 1991-09-04 1999-11-22 住友電気工業株式会社 多心光コネクタの製造方法およびこれに用いる成形型
JPH05134135A (ja) * 1991-11-11 1993-05-28 Furukawa Electric Co Ltd:The 光導波路基板と光フアイバホルダとの接続方法
US5315678A (en) * 1992-03-30 1994-05-24 Nippon Telegraph & Telephone Corporation Optical fiber connector
US5379360A (en) * 1992-06-03 1995-01-03 Ngk Insulators, Ltd. Optical fiber connector and method of manufacturing the same

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