JP3221172B2 - 光結合装置 - Google Patents
光結合装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光通信装置等に用いら
れる光結合装置に関するものである。
れる光結合装置に関するものである。
【０００２】
【背景技術】光素子アレイと光ファイバアレイを結合し
たアレイモジュールは、多軸にわたり高精度な位置合わ
せ技術が必要なため、調整、組立工程に多大な時間を要
している。モジュールの低価格化、量産化の為には、光
軸調整、固定化の簡略化が必要である。そこで、部品加
工精度及び実装精度の向上を図り、無調整化の検討が進
められている。
たアレイモジュールは、多軸にわたり高精度な位置合わ
せ技術が必要なため、調整、組立工程に多大な時間を要
している。モジュールの低価格化、量産化の為には、光
軸調整、固定化の簡略化が必要である。そこで、部品加
工精度及び実装精度の向上を図り、無調整化の検討が進
められている。
【０００３】図３はこの一例を示す。この例は、光素子
として発光素子（ＬＤ）を用い、ファイバアレイと同一
基板上に実装した一体化モジュールである。図中に示す
ように、Ｓi基板０１上に、フォトリソ技術及び異方性
エッチングにより、μｍオーダ以下の精度で複数のＶ溝
が形成され、これらＶ溝に内径が光ファイバ０５の外径
と等しく、且つ、外径寸法精度がμｍオーダ以下で形成
された細管０４をそれぞれ固定し、これらの細管０４に
光ファイバ０５をそれぞれ挿入することで、複数の発光
素子である発光素子アレイ０６と結合させる。
として発光素子（ＬＤ）を用い、ファイバアレイと同一
基板上に実装した一体化モジュールである。図中に示す
ように、Ｓi基板０１上に、フォトリソ技術及び異方性
エッチングにより、μｍオーダ以下の精度で複数のＶ溝
が形成され、これらＶ溝に内径が光ファイバ０５の外径
と等しく、且つ、外径寸法精度がμｍオーダ以下で形成
された細管０４をそれぞれ固定し、これらの細管０４に
光ファイバ０５をそれぞれ挿入することで、複数の発光
素子である発光素子アレイ０６と結合させる。
【０００４】発光素子アレイ０６と光ファイバ０５の光
軸高さ調整は、発光素子アレイ０６の発光位置に対応す
る高さに光ファイバ０５が位置決めできるような細管０
４の外径寸法を選択することにより容易に調整可能であ
る。この方法は、幅、深さの寸法精度がμｍオーダ以下
のＶ溝と、外径、内径の寸法精度がμｍオーダ以下の細
管０４を使用することで、基板０１の表面に対して垂直
方向（Ｙ軸方向）及び平行方法（Ｘ方向）の位置合わせ
が不要となるため、調整は光軸方向（Ｚ方向）だけとな
り、組み立て工程の簡略化が可能である。しかも、発光
素子アレイ０６の発光位置が変わった場合には、ファイ
バ挿入用細管０４の外径を変えれば良く、再度、Ｖ溝基
板０１を設計し直す必要がなくなる。
軸高さ調整は、発光素子アレイ０６の発光位置に対応す
る高さに光ファイバ０５が位置決めできるような細管０
４の外径寸法を選択することにより容易に調整可能であ
る。この方法は、幅、深さの寸法精度がμｍオーダ以下
のＶ溝と、外径、内径の寸法精度がμｍオーダ以下の細
管０４を使用することで、基板０１の表面に対して垂直
方向（Ｙ軸方向）及び平行方法（Ｘ方向）の位置合わせ
が不要となるため、調整は光軸方向（Ｚ方向）だけとな
り、組み立て工程の簡略化が可能である。しかも、発光
素子アレイ０６の発光位置が変わった場合には、ファイ
バ挿入用細管０４の外径を変えれば良く、再度、Ｖ溝基
板０１を設計し直す必要がなくなる。
【０００５】この構造において、同一の基板０１上で発
光素子アレイ０６と複数の光ファイバ０５とを固定する
には、先ず、発光素子アレイ０６をはんだ固定した後
に、細管０４をＶ溝に接着剤により固定し、最後に光フ
ァイバ０５を細管０４に挿入して、接着剤で固定する。
この手順は、はんだ固定と接着剤固定の熱履歴を考慮し
た結果であると同時に、光ファイバ０５を先に固定した
場合、１ｍ程度の長さを持つ光ファイバピグテールが発
光素子アレイ０６との固定処理をしずらくさせることに
よる。
光素子アレイ０６と複数の光ファイバ０５とを固定する
には、先ず、発光素子アレイ０６をはんだ固定した後
に、細管０４をＶ溝に接着剤により固定し、最後に光フ
ァイバ０５を細管０４に挿入して、接着剤で固定する。
この手順は、はんだ固定と接着剤固定の熱履歴を考慮し
た結果であると同時に、光ファイバ０５を先に固定した
場合、１ｍ程度の長さを持つ光ファイバピグテールが発
光素子アレイ０６との固定処理をしずらくさせることに
よる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の手順で
アレイモジュールを製作する場合、発光素子アレイ０６
と光ファイバ０５との間の結合距離が数十μｍ以下と短
いため、発光素子アレイ０６と光ファイバ０５の間に先
端揃え用の治具を設置させて、光ファイバ０５の先端を
一括に揃えられない。この為、複数の光ファイバ０５、
つまり、光ファイバアレイ０５をそれぞれ細管０４に一
括挿入し、ファイバ先端をμｍ以下の精度で揃えること
は難しかった。また、発光素子アレイ０６の端面である
発光面を基準にして、光ファイバ０５の先端を押し付け
てファイバ先端を揃える方法は、発光素子アレイ０６の
発光面がファイバ０５の先端により傷つけられるため、
実質上、実施不可能である。
アレイモジュールを製作する場合、発光素子アレイ０６
と光ファイバ０５との間の結合距離が数十μｍ以下と短
いため、発光素子アレイ０６と光ファイバ０５の間に先
端揃え用の治具を設置させて、光ファイバ０５の先端を
一括に揃えられない。この為、複数の光ファイバ０５、
つまり、光ファイバアレイ０５をそれぞれ細管０４に一
括挿入し、ファイバ先端をμｍ以下の精度で揃えること
は難しかった。また、発光素子アレイ０６の端面である
発光面を基準にして、光ファイバ０５の先端を押し付け
てファイバ先端を揃える方法は、発光素子アレイ０６の
発光面がファイバ０５の先端により傷つけられるため、
実質上、実施不可能である。
【０００７】そのため、複数の光ファイバ０５を一本づ
つ細管０４に挿入して結合位置で固定しなければなら
ず、ファイバアレイ数が増大すると、実装時間が長くな
るという問題点がある。本発明は、上記従来技術に鑑み
て成されたものであり、治具を用いて一括してファイバ
先端を揃えることができ、ファイバアレイ数が増大して
も、実装時間の増大することのない光結合装置を提供す
ることを目的とする。
つ細管０４に挿入して結合位置で固定しなければなら
ず、ファイバアレイ数が増大すると、実装時間が長くな
るという問題点がある。本発明は、上記従来技術に鑑み
て成されたものであり、治具を用いて一括してファイバ
先端を揃えることができ、ファイバアレイ数が増大して
も、実装時間の増大することのない光結合装置を提供す
ることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】斯かる目的を達成する本
発明の構成はＶ溝基板に光素子と細管を搭載した光素子
アレイ部と、厚さの等しい別のＶ溝基板上に同様のピッ
チでＶ溝を製作し、上述の細管と内径の等しい別の細管
を固定してこれに光ファイバを所定の長さに挿入・固定
したファイバアレイ部を別々に製作しておき、最後に光
素子アレイ部の細管に光ファイバアレイ部の光ファイバ
アレイを挿入して光結合を行う構成とした。
発明の構成はＶ溝基板に光素子と細管を搭載した光素子
アレイ部と、厚さの等しい別のＶ溝基板上に同様のピッ
チでＶ溝を製作し、上述の細管と内径の等しい別の細管
を固定してこれに光ファイバを所定の長さに挿入・固定
したファイバアレイ部を別々に製作しておき、最後に光
素子アレイ部の細管に光ファイバアレイ部の光ファイバ
アレイを挿入して光結合を行う構成とした。
【０００９】
【作用】このように、光素子アレイ部と光ファイバアレ
イ部とを別々に製作することで、光ファイバアレイ部
は、光素子アレイ搭載により制限を受けなくなり、前述
のように、光素子アレイ端面でファイバ先端を揃えなく
ても、治具を用いて一括してファイバ先端を揃えること
ができる。しかも、光素子アレイ部と光ファイバアレイ
の細管内径が共にファイバ外径に等しいため、光素子ア
レイ部の細管にファイバアレイを挿入・固定すること
で、複雑な位置合わせ作業を必要とせず、多芯のファイ
バを同時に光結合させることができる。また、光素子ア
レイ部の細管長さをＶ溝より短く、光ファイバアレイ部
の細管の長さをＶ溝より長くしておくことで、光結合部
の機械的強度が保たれる。
イ部とを別々に製作することで、光ファイバアレイ部
は、光素子アレイ搭載により制限を受けなくなり、前述
のように、光素子アレイ端面でファイバ先端を揃えなく
ても、治具を用いて一括してファイバ先端を揃えること
ができる。しかも、光素子アレイ部と光ファイバアレイ
の細管内径が共にファイバ外径に等しいため、光素子ア
レイ部の細管にファイバアレイを挿入・固定すること
で、複雑な位置合わせ作業を必要とせず、多芯のファイ
バを同時に光結合させることができる。また、光素子ア
レイ部の細管長さをＶ溝より短く、光ファイバアレイ部
の細管の長さをＶ溝より長くしておくことで、光結合部
の機械的強度が保たれる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明について、図面に示す実施例を
参照して詳細に説明する。図１に本発明の第一の実施例
を示す。本実施例は、光素子として発光素子を適用した
ものである。図１において、１は光素子アレイ部、２は
ファイバアレイ部、３、３１はＶ溝基板、４、４１は光
ファイバ挿入用細管、５は光ファイバ、６は発光素子ア
レイ（光素子アレイ）、８は最大結合効率が得られるフ
ァイバ先端位置を示すマーカである。
参照して詳細に説明する。図１に本発明の第一の実施例
を示す。本実施例は、光素子として発光素子を適用した
ものである。図１において、１は光素子アレイ部、２は
ファイバアレイ部、３、３１はＶ溝基板、４、４１は光
ファイバ挿入用細管、５は光ファイバ、６は発光素子ア
レイ（光素子アレイ）、８は最大結合効率が得られるフ
ァイバ先端位置を示すマーカである。
【００１１】光素子アレイ部１は、Ｖ溝基板３、細管
４、発光素子６、マーカ７により構成される。ファイバ
アレイ部２は、Ｖ溝基板３１、細管４１、光ファイバア
レイ５により構成される。Ｖ溝基板３は、幅５ｍｍ×長
さ１０ｍｍ、厚さ４５０μｍのＳi基板上に、薄膜技術
により、光素子搭載部とマーカ８を形成し、更に、フォ
トリソ技術・異方性エッチングにより精度μｍ以下で幅
１７８μｍ、深さ１２３μｍ、ピッチ５００μｍのＶ溝
を４本形成したものである。
４、発光素子６、マーカ７により構成される。ファイバ
アレイ部２は、Ｖ溝基板３１、細管４１、光ファイバア
レイ５により構成される。Ｖ溝基板３は、幅５ｍｍ×長
さ１０ｍｍ、厚さ４５０μｍのＳi基板上に、薄膜技術
により、光素子搭載部とマーカ８を形成し、更に、フォ
トリソ技術・異方性エッチングにより精度μｍ以下で幅
１７８μｍ、深さ１２３μｍ、ピッチ５００μｍのＶ溝
を４本形成したものである。
【００１２】Ｖ溝に固定する細管４としては、例えば、
ガラス製を使用し、外径２５０±１μｍ、内径１２６μ
ｍ±１μｍ（片端の内径は、コーン状に拡がり、最大１
８０±５μｍ）、長さ７ｍｍである。Ｖ溝基板３１は、
Ｖ溝基板３と厚さが等しく、幅５ｍｍ×長さ５ｍｍであ
り、上記と同じ工程で作製した。Ｖ溝に固定する細管４
２は、例えば、外径２５０μｍ±１μｍ（片端の外径は
除々に先細り、最小２００±５μｍ）、内径１２６±１
μｍ、長さ７ｍｍである。光ファイバ５としては、外径
１２５μｍの先球ファイバを使用した。
ガラス製を使用し、外径２５０±１μｍ、内径１２６μ
ｍ±１μｍ（片端の内径は、コーン状に拡がり、最大１
８０±５μｍ）、長さ７ｍｍである。Ｖ溝基板３１は、
Ｖ溝基板３と厚さが等しく、幅５ｍｍ×長さ５ｍｍであ
り、上記と同じ工程で作製した。Ｖ溝に固定する細管４
２は、例えば、外径２５０μｍ±１μｍ（片端の外径は
除々に先細り、最小２００±５μｍ）、内径１２６±１
μｍ、長さ７ｍｍである。光ファイバ５としては、外径
１２５μｍの先球ファイバを使用した。
【００１３】本実施例の光結合装置は、次のようにして
作製する。先ず、Ｖ溝基板３上の光素子搭載部に、図示
しない高精度ボンディング装置にて発光素子６をμｍ以
下の精度で位置合わせ・固定する。発光素子６を固定す
るため、予め光素子搭載部には、例えばＡuＳnを所定量
蒸着した。次に、細管４を図示していない固定治具も用
いてＶ溝に整列させ、例えば、紫外線硬化剤によりμｍ
以下の精度で接着・固定し、光素子アレイ部１を作製す
る。この時、細管４は光ファイバ挿入側のＶ溝基板３の
端から２ｍｍ内側に固定した。
作製する。先ず、Ｖ溝基板３上の光素子搭載部に、図示
しない高精度ボンディング装置にて発光素子６をμｍ以
下の精度で位置合わせ・固定する。発光素子６を固定す
るため、予め光素子搭載部には、例えばＡuＳnを所定量
蒸着した。次に、細管４を図示していない固定治具も用
いてＶ溝に整列させ、例えば、紫外線硬化剤によりμｍ
以下の精度で接着・固定し、光素子アレイ部１を作製す
る。この時、細管４は光ファイバ挿入側のＶ溝基板３の
端から２ｍｍ内側に固定した。
【００１４】同様にして、光ファイバアレイ部２を製作
する。先ず、Ｖ溝基板３１に細管４１を接着・固定す
る。この時、細管４１は、Ｖ溝基板３１の端より２ｍｍ
突き出させた。この細管４１に、図示しない治具を用い
て、光ファイバ５を多数本一括して挿入し、μｍ以下の
精度で先端揃えした後、固定する。光ファイバ５の長さ
は、結合時に先端がＶ溝基板３のマーカ８に一致するよ
うに前もって合わせた。尚、この合わせ方は、例えば、
光素子を搭載していない別の光素子アレイ部１を用い、
そのＶ溝基板３に設けたマーカ８にファイバ５の先端が
一致するように、治具を用いて細管４１内での挿入長を
調整すれば良い。最後に、光素子アレイ部１の細管４
に、光ファイバアレイ部２の光ファイバアレイ５を挿入
・固定し、本実施例の光結合素子が完成する。
する。先ず、Ｖ溝基板３１に細管４１を接着・固定す
る。この時、細管４１は、Ｖ溝基板３１の端より２ｍｍ
突き出させた。この細管４１に、図示しない治具を用い
て、光ファイバ５を多数本一括して挿入し、μｍ以下の
精度で先端揃えした後、固定する。光ファイバ５の長さ
は、結合時に先端がＶ溝基板３のマーカ８に一致するよ
うに前もって合わせた。尚、この合わせ方は、例えば、
光素子を搭載していない別の光素子アレイ部１を用い、
そのＶ溝基板３に設けたマーカ８にファイバ５の先端が
一致するように、治具を用いて細管４１内での挿入長を
調整すれば良い。最後に、光素子アレイ部１の細管４
に、光ファイバアレイ部２の光ファイバアレイ５を挿入
・固定し、本実施例の光結合素子が完成する。
【００１５】このように本実施例では、複雑な位置合わ
せを必要とせずに多芯のファイバを同時に光結合させる
ことができ、結合に要する時間を短縮することができ
る。また、光素子アレイ部１の細管４の長さをＶ溝より
短く、光ファイバアレイ部２の細管４１の長さをＶ溝よ
り長くしたため、光ファイバアレイ部２の細管４１が光
素子アレイ部１のＶ溝に位置決めされ、光結合部の機械
的強度を保つことができる。
せを必要とせずに多芯のファイバを同時に光結合させる
ことができ、結合に要する時間を短縮することができ
る。また、光素子アレイ部１の細管４の長さをＶ溝より
短く、光ファイバアレイ部２の細管４１の長さをＶ溝よ
り長くしたため、光ファイバアレイ部２の細管４１が光
素子アレイ部１のＶ溝に位置決めされ、光結合部の機械
的強度を保つことができる。
【００１６】尚、必要に応じて、本実施例では、図示し
ない平坦基板、例えばＳi基板に固定しても良い。ま
た、発光素子６とＶ溝基板３とは一体化されていても良
い。更に、Ｖ溝は、厳密な意味のＶ溝に限らず、高精度
切削加工でＵ溝等に加工されていても良い。更に、Ｖ溝
基板３とＶ溝基板３１のＶ溝の幅、深さ及び細管４、４
１の外径は異なっていても良い。
ない平坦基板、例えばＳi基板に固定しても良い。ま
た、発光素子６とＶ溝基板３とは一体化されていても良
い。更に、Ｖ溝は、厳密な意味のＶ溝に限らず、高精度
切削加工でＵ溝等に加工されていても良い。更に、Ｖ溝
基板３とＶ溝基板３１のＶ溝の幅、深さ及び細管４、４
１の外径は異なっていても良い。
【００１７】次に、本発明の第二の実施例について、図
２を参照して説明する。本実施例は、光素子アレイとし
て、面発光素子アレイ又は受光素子アレイを適用した例
である。本実施例では、光ファイバは、斜め研磨ファイ
バアレイ７を使用する必要があるが、特願平４−１５９
４２０号に係る発明により作製したファイバアレイで
は、Ｖ溝基板３１から、ファイバ先端を数ｍｍ突き出さ
せることができるため、上述の先球ファイバと同様にし
て結合構造を短時間で容易に製作することができる。
２を参照して説明する。本実施例は、光素子アレイとし
て、面発光素子アレイ又は受光素子アレイを適用した例
である。本実施例では、光ファイバは、斜め研磨ファイ
バアレイ７を使用する必要があるが、特願平４−１５９
４２０号に係る発明により作製したファイバアレイで
は、Ｖ溝基板３１から、ファイバ先端を数ｍｍ突き出さ
せることができるため、上述の先球ファイバと同様にし
て結合構造を短時間で容易に製作することができる。
【００１８】尚、斜め研磨ファイバ７は光素子アレイ６
の上部に位置するように、細管４及び４１の外径を選べ
ば良い。尚、光素子アレイ部とファイバアレイ部の突合
せ面はＳi基板だけでなく、端面が研磨面であるガラス
面とすることであっても良い。
の上部に位置するように、細管４及び４１の外径を選べ
ば良い。尚、光素子アレイ部とファイバアレイ部の突合
せ面はＳi基板だけでなく、端面が研磨面であるガラス
面とすることであっても良い。
【００１９】
【発明の効果】以上、実施例に基づいて具体的に説明し
たように、本発明の光結合装置では、光素子アレイ部と
光ファイバアレイ部とを別々に製作するため、光ファイ
バアレイ部は光素子アレイ搭載による影響を受けなくな
り、治具を用いて一括してファイバ先端を揃えることが
できる。この為、ファイバ芯数が多くなっても先端揃え
に要する時間は長くはならない。しかも、光素子アレイ
部の細管内径と光ファイバアレイ部の細管内径が共にフ
ァイバ外径に等しいため、光素子アレイ部の細管にファ
イバアレイを挿入・固定することで、複雑な位置合わせ
を必要とせずに多芯のファイバを同時に光結合させるこ
とができ、結合に要する時間を短縮することができる。
この時、少なくとも光素子アレイ部の細管整列精度が±
１μｍ以内であれば、ファイバアレイ部におけるファイ
バアレイの整列精度は±１μｍ以内に収められる。その
上、光素子アレイ部とファイバアレイ部を別々に製作で
きるため、光結合装置の歩留りが向上する。また、光素
子アレイ部の細管長さをＶ溝より短く、光ファイバアレ
イ部の細管長さをＶ溝より長くしておくことで、光結合
部の機械的強度を保つことができる。
たように、本発明の光結合装置では、光素子アレイ部と
光ファイバアレイ部とを別々に製作するため、光ファイ
バアレイ部は光素子アレイ搭載による影響を受けなくな
り、治具を用いて一括してファイバ先端を揃えることが
できる。この為、ファイバ芯数が多くなっても先端揃え
に要する時間は長くはならない。しかも、光素子アレイ
部の細管内径と光ファイバアレイ部の細管内径が共にフ
ァイバ外径に等しいため、光素子アレイ部の細管にファ
イバアレイを挿入・固定することで、複雑な位置合わせ
を必要とせずに多芯のファイバを同時に光結合させるこ
とができ、結合に要する時間を短縮することができる。
この時、少なくとも光素子アレイ部の細管整列精度が±
１μｍ以内であれば、ファイバアレイ部におけるファイ
バアレイの整列精度は±１μｍ以内に収められる。その
上、光素子アレイ部とファイバアレイ部を別々に製作で
きるため、光結合装置の歩留りが向上する。また、光素
子アレイ部の細管長さをＶ溝より短く、光ファイバアレ
イ部の細管長さをＶ溝より長くしておくことで、光結合
部の機械的強度を保つことができる。
【図１】本発明の第一の実施例に係る光結合装置の構成
図である。
図である。
【図２】本発明の第二の実施例に係る光結合装置の構成
図である。
図である。
【図３】従来の光結合装置の概略図である。
１ 光素子アレイ部 ２ ファイバアレイ部 ３，３１ Ｖ溝基板 ４，４１ 細管 ５ 光ファイバアレイ ６ 発光素子アレイ（発光素子アレイ） ７ 斜め研磨ファイバアレイ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 入田 幸男 東京都武蔵野市御殿山一丁目１番３号 エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロ ジ株式会社内 (56)参考文献 特開 平５−60950（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−161907（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−224711（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 6/42 - 6/43 G02B 6/30 - 6/35 G02B 6/26 - 6/27
Claims (2)
- 【請求項１】 第一の基板上に光素子搭載部及び第一の
Ｖ溝が形成され、該第一のＶ溝に光ファイバの外径に等
しい内径を持つ第一の細管が固定された光素子アレイ部
と、前記第一の基板と厚さが等しい第二の基板上に、前
記第一のＶ溝とピッチが等しい第二のＶ溝が形成される
と共に該第二のＶ溝に前記第一の細管と同一内径を持つ
第二の細管が固定され、更に、該第二の細管に光ファイ
バが挿入された光ファイバアレイ部とから構成され、前
記光素子アレイ部の前記第一の細管内に前記光ファイバ
アレイ部の前記光ファイバを挿入することにより光結合
する光結合装置であって、前記第一の細管端は、前記第
一の基板端よりも奥に固定され、且つ、前記第二の細管
端は、前記第二の基板端よりも突き出していることを特
徴とする光結合装置。 - 【請求項２】 請求項１において、前記第一の細管は、
光ファイバ挿入口近傍の内径が光ファイバ外径よりも大
きいこと、前記第二の細管は、端付近の外径が前記第二
の細管中央部の外径よりも小さいことを特徴とする光結
合装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22413893A JP3221172B2 (ja) | 1993-09-09 | 1993-09-09 | 光結合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22413893A JP3221172B2 (ja) | 1993-09-09 | 1993-09-09 | 光結合装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0777633A JPH0777633A (ja) | 1995-03-20 |
| JP3221172B2 true JP3221172B2 (ja) | 2001-10-22 |
Family
ID=16809148
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22413893A Expired - Fee Related JP3221172B2 (ja) | 1993-09-09 | 1993-09-09 | 光結合装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3221172B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3853866B2 (ja) * | 1995-02-21 | 2006-12-06 | 日本碍子株式会社 | 光ファイバー固定用基板 |
| JP2001074982A (ja) | 1999-09-08 | 2001-03-23 | Nec Corp | 光モジュールの光結合装置及びその光結合方法 |
-
1993
- 1993-09-09 JP JP22413893A patent/JP3221172B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH0777633A (ja) | 1995-03-20 |
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