JP2806410B2 - 光素子アレイと多心光ファイバの光結合装置 - Google Patents
光素子アレイと多心光ファイバの光結合装置Info
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- JP2806410B2 JP2806410B2 JP4188137A JP18813792A JP2806410B2 JP 2806410 B2 JP2806410 B2 JP 2806410B2 JP 4188137 A JP4188137 A JP 4188137A JP 18813792 A JP18813792 A JP 18813792A JP 2806410 B2 JP2806410 B2 JP 2806410B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光素子アレイの各光素子
と多心光ファイバとを個別に光結合する光素子アレイと
多心光ファイバの光結合装置に関する。
と多心光ファイバとを個別に光結合する光素子アレイと
多心光ファイバの光結合装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の光結合装置の一例を図１
に示す。本図に示すように、シリコン基板１上に半導体
レーザアレイの如き光素子アレイ２を形成し、あるいは
後付けして、シリコン基板１の面に形成した複数本の平
行なＶ溝３内にそれぞれ多心光ファイバテープ４の各光
ファイバ心線５を配置し、接着剤により各光ファイバ心
線５をＶ溝３内に固定することにより光結合を実現して
いた。
に示す。本図に示すように、シリコン基板１上に半導体
レーザアレイの如き光素子アレイ２を形成し、あるいは
後付けして、シリコン基板１の面に形成した複数本の平
行なＶ溝３内にそれぞれ多心光ファイバテープ４の各光
ファイバ心線５を配置し、接着剤により各光ファイバ心
線５をＶ溝３内に固定することにより光結合を実現して
いた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の光
結合装置でも、Ｖ溝３によってある程度の軸調心はでき
る。しかしながら、Ｖ溝３の寸法誤差、光ファイバ心線
５の偏心により軸ずれが生じるので、光損失が生じ超低
接続損失の光結合を実現することはできなかった。
結合装置でも、Ｖ溝３によってある程度の軸調心はでき
る。しかしながら、Ｖ溝３の寸法誤差、光ファイバ心線
５の偏心により軸ずれが生じるので、光損失が生じ超低
接続損失の光結合を実現することはできなかった。
【０００４】本発明の目的は、上述の点に鑑みて、超低
接続損失の光結合ができる光素子アレイと多心光ファイ
バの光結合装置を提供することにある。
接続損失の光結合ができる光素子アレイと多心光ファイ
バの光結合装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の発明は、光素子アレイが形成されあるい
は後付けされ、該光素子アレイの各光軸方向にそれぞれ
Ｖ溝が形成され、該Ｖ溝のそれぞれの中央に貫通穴が形
成されたシリコン基板と、前記光素子アレイを発光させ
る電源と、それぞれの前記Ｖ溝内に設置され前記光素子
アレイと光結合させられる光ファイバと、前記貫通穴に
挿入されて前記光ファイバの心線を支える微調整板を駆
動することで前記光ファイバを個別に軸調心する多心光
ファイバ個別軸調心機と、前記光素子アレイの発光にと
もなって前記光ファイバの片端から放射される光のパワ
ーを測定する光パワー測定器と、該光パワー測定器の出
力レベルが最大となるように前記多心光ファイバ個別軸
調心機の軸調心制御を行うコントローラとを具備するこ
とを特徴とする。
め、請求項１の発明は、光素子アレイが形成されあるい
は後付けされ、該光素子アレイの各光軸方向にそれぞれ
Ｖ溝が形成され、該Ｖ溝のそれぞれの中央に貫通穴が形
成されたシリコン基板と、前記光素子アレイを発光させ
る電源と、それぞれの前記Ｖ溝内に設置され前記光素子
アレイと光結合させられる光ファイバと、前記貫通穴に
挿入されて前記光ファイバの心線を支える微調整板を駆
動することで前記光ファイバを個別に軸調心する多心光
ファイバ個別軸調心機と、前記光素子アレイの発光にと
もなって前記光ファイバの片端から放射される光のパワ
ーを測定する光パワー測定器と、該光パワー測定器の出
力レベルが最大となるように前記多心光ファイバ個別軸
調心機の軸調心制御を行うコントローラとを具備するこ
とを特徴とする。
【０００６】ここで、光素子アレイが形成あるいは後付
けされた第１のシリコン基板と、Ｖ溝が形成され、Ｖ溝
の中央に貫通穴が形成された第２のシリコン基板と、前
記第１と第２のシリコン基板を結合するための補強板と
を具備することができる。
けされた第１のシリコン基板と、Ｖ溝が形成され、Ｖ溝
の中央に貫通穴が形成された第２のシリコン基板と、前
記第１と第２のシリコン基板を結合するための補強板と
を具備することができる。
【０００７】
【作用】上記のように、本発明の光素子アレイと多心光
ファイバの光結合装置は、光素子アレイの光軸方向に形
成したＶ溝の中央に貫通穴を開口し、光パワー測定器の
出力レベルが最大となるように、シリコン基板の貫通穴
に挿入されて光ファイバ心線を支える微調整板を駆動制
御することで軸調心制御を行う点を特徴としている。上
記微調整板を挿入するための貫通穴が無いときには、光
素子アレイと光ファイバの接点から離れた位置に微調整
板を置かざるをえないので位置調整機構と位置決め場所
が遠くなり、調心の精度が悪くなる。また、シリコン基
板上に光ファイバを接着する場合に、固定位置（微調整
板）からの距離が長くなるので調心誤差が大きくなる。
さらに、光ファイバ同士はその軸ずれをカメラで観測で
きるが、光素子アレイと多心光ファイバの光結合の場合
にはカメラでその軸ずれを観測することは不可能であ
り、パワー測定方式が不可欠である。従って、本発明
は、上記特徴構成の多心光ファイバ個別軸調心機を使う
ことにより、光素子アレイと多心光ファイバの軸中心同
士をほとんど軸ずれの誤差なく一致させることができ
る。このため、本発明によれば、個別軸調心していない
従来の光結合に比べて、非常に低接続損失の光結合が実
現できる。
ファイバの光結合装置は、光素子アレイの光軸方向に形
成したＶ溝の中央に貫通穴を開口し、光パワー測定器の
出力レベルが最大となるように、シリコン基板の貫通穴
に挿入されて光ファイバ心線を支える微調整板を駆動制
御することで軸調心制御を行う点を特徴としている。上
記微調整板を挿入するための貫通穴が無いときには、光
素子アレイと光ファイバの接点から離れた位置に微調整
板を置かざるをえないので位置調整機構と位置決め場所
が遠くなり、調心の精度が悪くなる。また、シリコン基
板上に光ファイバを接着する場合に、固定位置（微調整
板）からの距離が長くなるので調心誤差が大きくなる。
さらに、光ファイバ同士はその軸ずれをカメラで観測で
きるが、光素子アレイと多心光ファイバの光結合の場合
にはカメラでその軸ずれを観測することは不可能であ
り、パワー測定方式が不可欠である。従って、本発明
は、上記特徴構成の多心光ファイバ個別軸調心機を使う
ことにより、光素子アレイと多心光ファイバの軸中心同
士をほとんど軸ずれの誤差なく一致させることができ
る。このため、本発明によれば、個別軸調心していない
従来の光結合に比べて、非常に低接続損失の光結合が実
現できる。
【０００８】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。
に説明する。
【０００９】図２は本発明の一実施例の光結合装置の構
成を示す。図２の（Ａ）に示すように、この光結合装置
にはシリコン基板１上に半導体レーザアレイ２が形成、
あるいは後付けされ、半導体レーザアレイ２の発光素子
の位置と数に対応した複数本（本例では４本）の平行な
Ｖ溝３が形成されている。これら複数のＶ溝３の中央に
これらＶ溝を横切ってシリコン基板１を貫通する長方形
の穴１１が形成されている。光ファイバテープ４の各光
ファイバ心線５がそのＶ溝３内に挿入され、その先端が
穴１１を横断して半導体レーザアレイ２の各光素子に近
接して配置される。次に、本願人が先に提案した図２の
（Ｂ）に示すような多心光ファイバ心線接続装置（特願
平３−２０５７６３号）のような多心光ファイバ個別軸
調心機構を用いて、半導体レーザアレイ２の各光素子に
対して各光ファイバ心線５を個別に高精度に軸合せし、
その後に接着剤等で各光ファイバ心線５をシリコン基板
１に対して固定する。
成を示す。図２の（Ａ）に示すように、この光結合装置
にはシリコン基板１上に半導体レーザアレイ２が形成、
あるいは後付けされ、半導体レーザアレイ２の発光素子
の位置と数に対応した複数本（本例では４本）の平行な
Ｖ溝３が形成されている。これら複数のＶ溝３の中央に
これらＶ溝を横切ってシリコン基板１を貫通する長方形
の穴１１が形成されている。光ファイバテープ４の各光
ファイバ心線５がそのＶ溝３内に挿入され、その先端が
穴１１を横断して半導体レーザアレイ２の各光素子に近
接して配置される。次に、本願人が先に提案した図２の
（Ｂ）に示すような多心光ファイバ心線接続装置（特願
平３−２０５７６３号）のような多心光ファイバ個別軸
調心機構を用いて、半導体レーザアレイ２の各光素子に
対して各光ファイバ心線５を個別に高精度に軸合せし、
その後に接着剤等で各光ファイバ心線５をシリコン基板
１に対して固定する。
【００１０】図２の（Ｂ）において、１２は半導体レー
ザアレイ用電源、１３は光パワー測定器、１４は圧電素
子コントローラである。１５は多心光ファイバ個別軸調
心機構であり、圧電素子１６，微調整板１８および上下
微動台１７等から構成される。
ザアレイ用電源、１３は光パワー測定器、１４は圧電素
子コントローラである。１５は多心光ファイバ個別軸調
心機構であり、圧電素子１６，微調整板１８および上下
微動台１７等から構成される。
【００１１】調整作業開始時において、シリコン基板１
は基台１９上に本図に示すように、軸調心機構１５の微
調整板１８の先端がシリコン基板１の貫通穴１１に挿入
され、光ファイバ心線５を支える状態で固定される。光
ファイバテープ４の片端は光パワー測定器１３に結合さ
れている。圧電素子コントローラ１４は光パワー測定器
１３から得られるパワー測定情報を用いて軸調心機構１
５の圧電素子１６を制御し、軸調心を行う。すなわち、
半導体レーザアレイ用電源１２からの供給電源により半
導体レーザアレイ２の各光素子が発光し、これらのレー
ザ光が光ファイバ心線５を通って光パワー測定器１３に
個別に受光され、電気的な測定信号に変換されて圧電素
子コントローラ１４に伝達される。半導体レーザアレイ
２の光素子と光ファイバ心線５とが高精度に軸合せされ
た場合には上記測定信号のレベルは最大値となるから、
圧電素子コントローラ１４はこれら測定信号のレベルが
それぞれ最大値となるように圧電素子１６を駆動制御し
て光ファイバ心線５の位置を微調整することにより、高
精度な軸調心が各光ファイバ心線５毎に個別に達成され
る。この圧電素子１６の駆動制御には、例えば自動焦点
調整などに良く用いられている所謂「山登り方式」など
が適用できる。
は基台１９上に本図に示すように、軸調心機構１５の微
調整板１８の先端がシリコン基板１の貫通穴１１に挿入
され、光ファイバ心線５を支える状態で固定される。光
ファイバテープ４の片端は光パワー測定器１３に結合さ
れている。圧電素子コントローラ１４は光パワー測定器
１３から得られるパワー測定情報を用いて軸調心機構１
５の圧電素子１６を制御し、軸調心を行う。すなわち、
半導体レーザアレイ用電源１２からの供給電源により半
導体レーザアレイ２の各光素子が発光し、これらのレー
ザ光が光ファイバ心線５を通って光パワー測定器１３に
個別に受光され、電気的な測定信号に変換されて圧電素
子コントローラ１４に伝達される。半導体レーザアレイ
２の光素子と光ファイバ心線５とが高精度に軸合せされ
た場合には上記測定信号のレベルは最大値となるから、
圧電素子コントローラ１４はこれら測定信号のレベルが
それぞれ最大値となるように圧電素子１６を駆動制御し
て光ファイバ心線５の位置を微調整することにより、高
精度な軸調心が各光ファイバ心線５毎に個別に達成され
る。この圧電素子１６の駆動制御には、例えば自動焦点
調整などに良く用いられている所謂「山登り方式」など
が適用できる。
【００１２】次に、図３及び図４を参照して、図２に示
す多心光ファイバ個別軸調心機構１５の構成について説
明する。図３の（Ａ）は正面図、（Ｂ）は側面図、
（Ｃ）は（Ａ）の上面図、（Ｄ）は微移動可能な各微調
整板１８の形状を示す側面図である。図４は図３の
（Ａ）の一部を拡大した図である。図３の（Ａ）、
（Ｂ）において、２０はシリコン基板面１に形成したＶ
溝基板であり、複数のＶ溝３により多心光ファイバの個
々の心線５を支持しており、基台（上下微動台）１７に
結合されている。基台１７には、複数の圧電素子１６が
図３の（Ｂ）に示すように、光ファイバ心線５に沿って
並列に植設されて固定されている。多心光ファイバ個別
軸調心機構１５の微調整部は、図３の（Ａ）および図４
に示すように、それぞれが２つの微調整板１８の組で構
成されるもので、その微調整板１８の各々には、頂部に
Ｖ溝基板２０のＶ溝３に合わせ、光ファイバ心線５をそ
の両側から斜めに支持可能なテーパー面が形成されてい
る。また、これらの微調整板１８は、側面から見た場
合、図３の（Ｂ）に示すように、ほぼＬ字型に形成され
ており、上記各圧電素子１６の上部先端にそれぞれ微調
整板１８が、図３の（Ｂ）および図４に示すように、立
設状態で取付けられている。更に、各微調整板１８の底
部（基部）には、図３の（Ｄ）に示すように、圧電素子
１６と接続するための突起１８１が各々間隔を変えて形
成されている。これらの突起１８１により各微調整板１
８はそれぞれ圧電素子１６と異なる位置で装着する。そ
して、この各微調整板１８は重ねられて支持ピン２８を
介して取付けられ、支持ピン２８によって揺動可能に支
持される。なお、各微調整板１８対の間には、図３の
（Ａ）に示すように、スペーサ３０が介装されて隣接す
る微調整板同士がその調整時に干渉しないようにしてあ
る。更に、好ましくは、これら微調整板１８とＶ溝基板
２０とは双方から弾性把持部材３５でソフトに把持され
る。
す多心光ファイバ個別軸調心機構１５の構成について説
明する。図３の（Ａ）は正面図、（Ｂ）は側面図、
（Ｃ）は（Ａ）の上面図、（Ｄ）は微移動可能な各微調
整板１８の形状を示す側面図である。図４は図３の
（Ａ）の一部を拡大した図である。図３の（Ａ）、
（Ｂ）において、２０はシリコン基板面１に形成したＶ
溝基板であり、複数のＶ溝３により多心光ファイバの個
々の心線５を支持しており、基台（上下微動台）１７に
結合されている。基台１７には、複数の圧電素子１６が
図３の（Ｂ）に示すように、光ファイバ心線５に沿って
並列に植設されて固定されている。多心光ファイバ個別
軸調心機構１５の微調整部は、図３の（Ａ）および図４
に示すように、それぞれが２つの微調整板１８の組で構
成されるもので、その微調整板１８の各々には、頂部に
Ｖ溝基板２０のＶ溝３に合わせ、光ファイバ心線５をそ
の両側から斜めに支持可能なテーパー面が形成されてい
る。また、これらの微調整板１８は、側面から見た場
合、図３の（Ｂ）に示すように、ほぼＬ字型に形成され
ており、上記各圧電素子１６の上部先端にそれぞれ微調
整板１８が、図３の（Ｂ）および図４に示すように、立
設状態で取付けられている。更に、各微調整板１８の底
部（基部）には、図３の（Ｄ）に示すように、圧電素子
１６と接続するための突起１８１が各々間隔を変えて形
成されている。これらの突起１８１により各微調整板１
８はそれぞれ圧電素子１６と異なる位置で装着する。そ
して、この各微調整板１８は重ねられて支持ピン２８を
介して取付けられ、支持ピン２８によって揺動可能に支
持される。なお、各微調整板１８対の間には、図３の
（Ａ）に示すように、スペーサ３０が介装されて隣接す
る微調整板同士がその調整時に干渉しないようにしてあ
る。更に、好ましくは、これら微調整板１８とＶ溝基板
２０とは双方から弾性把持部材３５でソフトに把持され
る。
【００１３】上記のように、圧電素子１６が装着される
上記突起１８１の位置はここで８つある微調整板１８別
に順次変えてあるので、圧電素子１６の複数組（ここで
は４組）を光ファイバ心線５の狭い配列間隔、例えば２
５０μｍ程度の間隔の配列に対して斜めに配列すること
により、その素子間の間隔を十分に保つことができる。
このような構造にすることでコンパクトになり、圧電素
子１６が独立に駆動できるように配置できる。各微調整
板１８は突起１８１を介して各々に取付けられた圧電素
子１６によって上下にサブミクロンオーダで微動できる
ようになっている。この４組の微調整板１８の上下微動
によって４本の光ファイバ心線５をそれぞれ２次元的に
独立して微移動させることができる。
上記突起１８１の位置はここで８つある微調整板１８別
に順次変えてあるので、圧電素子１６の複数組（ここで
は４組）を光ファイバ心線５の狭い配列間隔、例えば２
５０μｍ程度の間隔の配列に対して斜めに配列すること
により、その素子間の間隔を十分に保つことができる。
このような構造にすることでコンパクトになり、圧電素
子１６が独立に駆動できるように配置できる。各微調整
板１８は突起１８１を介して各々に取付けられた圧電素
子１６によって上下にサブミクロンオーダで微動できる
ようになっている。この４組の微調整板１８の上下微動
によって４本の光ファイバ心線５をそれぞれ２次元的に
独立して微移動させることができる。
【００１４】図４に軸調心の原理を示す。図４の（ａ）
は光ファイバ心線５を上方に微動する場合で、左右２つ
の圧電素子１６を両方伸ばす。図４の（ｂ）は光ファイ
バ心線５を下方に微動する場合で、左右２つの圧電素子
１６を両方縮める。図４の（ｃ）は光ファイバ心線５を
右方向に微動する場合で、左の圧電素子１６のみを伸ば
す。図４の（ｄ）は光ファイバ心線５を左方向に微動す
る場合で、右の圧電素子１６のみを伸ばす。このよう
に、左右の圧電素子１６の伸びの割合を変えることによ
り、光ファイバ心線５を２次元的に微動できる。
は光ファイバ心線５を上方に微動する場合で、左右２つ
の圧電素子１６を両方伸ばす。図４の（ｂ）は光ファイ
バ心線５を下方に微動する場合で、左右２つの圧電素子
１６を両方縮める。図４の（ｃ）は光ファイバ心線５を
右方向に微動する場合で、左の圧電素子１６のみを伸ば
す。図４の（ｄ）は光ファイバ心線５を左方向に微動す
る場合で、右の圧電素子１６のみを伸ばす。このよう
に、左右の圧電素子１６の伸びの割合を変えることによ
り、光ファイバ心線５を２次元的に微動できる。
【００１５】上下微動台１７は軸調心部の全体の上下に
微動させ、シリコン基板１の穴１１に調心部１８を挿入
したり、取り出すことができる。
微動させ、シリコン基板１の穴１１に調心部１８を挿入
したり、取り出すことができる。
【００１６】次に、超低損失の光結合を実現する本発明
の一実施例に係る調整工程を説明する。
の一実施例に係る調整工程を説明する。
【００１７】プロセス（１） 図２に示すようにシリコン基板１を基台１９の上に設置
する。
する。
【００１８】プロセス（２） 調心機構１５の調心部（微調整板）１８をシリコン基板
１の穴１１から挿入し、光パワー測定器１３によって測
定された個々の光ファイバ心線５の光パワーが最大にな
るように圧電素子コントローラ１４で圧電素子１６を制
御し、これにより半導体レーザアレイ２の個々の軸中心
と光ファイバ心線５の軸中心を一致させる。
１の穴１１から挿入し、光パワー測定器１３によって測
定された個々の光ファイバ心線５の光パワーが最大にな
るように圧電素子コントローラ１４で圧電素子１６を制
御し、これにより半導体レーザアレイ２の個々の軸中心
と光ファイバ心線５の軸中心を一致させる。
【００１９】プロセス（３） 全ての光ファイバ心線５の軸調心が終了したところで、
光ファイバ心線５を瞬間接着剤などで固定する。
光ファイバ心線５を瞬間接着剤などで固定する。
【００２０】以上のプロセスにより超低損失な光結合を
行うことができる光結合装置が得られる。
行うことができる光結合装置が得られる。
【００２１】（他の実施例） 図１の実施例では、本発明の適用対象としてシリコン基
板１上にＶ溝３が形成されているものを例示したが、本
発明はこれに限定されない。例えば図５に示すように、
シリコン基板１上にＶ溝が予め形成されてなく、基板１
の端に光素子アレイ２は配置されているような場合に
は、まず図６に示すように、別途設けたＶ溝基板３１の
Ｖ溝３と光素子アレイ２とを位置決めしてから、次いで
図５のシリコン基板１と図６のＶ溝基板３１とを図７に
示すような補強板３２等を用いて接続・固定し、その後
に、上述した本発明の微調整手順により光結合を行え
ば、前述と同様な作用効果が得られる。
板１上にＶ溝３が形成されているものを例示したが、本
発明はこれに限定されない。例えば図５に示すように、
シリコン基板１上にＶ溝が予め形成されてなく、基板１
の端に光素子アレイ２は配置されているような場合に
は、まず図６に示すように、別途設けたＶ溝基板３１の
Ｖ溝３と光素子アレイ２とを位置決めしてから、次いで
図５のシリコン基板１と図６のＶ溝基板３１とを図７に
示すような補強板３２等を用いて接続・固定し、その後
に、上述した本発明の微調整手順により光結合を行え
ば、前述と同様な作用効果が得られる。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
従来困難であった光素子アレイと多心光ファイバの高精
度の個別軸調心を実現することができるので、従来の光
結合に較べて非常に低損失な光結合を実現できるという
効果がある。
従来困難であった光素子アレイと多心光ファイバの高精
度の個別軸調心を実現することができるので、従来の光
結合に較べて非常に低損失な光結合を実現できるという
効果がある。
【図１】従来の光素子アレイと多心光ファイバの光結合
装置の構成例を示す平面図である。
装置の構成例を示す平面図である。
【図２】本発明の一実施例の光素子アレイと多心光ファ
イバの光結合装置の構成を示す平面図（Ａ）と側面図
（Ｂ）である。
イバの光結合装置の構成を示す平面図（Ａ）と側面図
（Ｂ）である。
【図３】図２の多心光ファイバ個別調心機構の構成を示
す正面図（Ａ）、側面図（Ｂ）、上面図（Ｃ）および説
明図（Ｄ）である。
す正面図（Ａ）、側面図（Ｂ）、上面図（Ｃ）および説
明図（Ｄ）である。
【図４】図３の調心機構による軸調心の原理を示す構成
図である。
図である。
【図５】本発明の他の実施例に用いる光素子アレイの設
置状態を示す平面図である。
置状態を示す平面図である。
【図６】図５のシリコン基板に接続するＶ溝基板を示す
平面図である。
平面図である。
【図７】図５のシリコン基板と図６のＶ溝基板を固定し
た状態を示す平面図である。
た状態を示す平面図である。
１ シリコン基板 ２ 光素子アレイ（半導体レーザアレイ） ３ Ｖ溝 ４ 光ファイバテープ ５ 光ファイバ心線 １１ 穴 １２ 半導体レーザアレイ用電源 １３ 光パワー測定器 １４ 圧電素子コントローラ １５ 多心光ファイバ個別軸調心機構 １６ 圧電素子 １７ 上下微動台（基台） １８ 微調整板 １９ 基台 ２０ Ｖ溝基板 ３１ Ｖ溝基板 ３２ 補強板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藪田 哲郎 東京都千代田区内幸町１丁目１番６号 日本電信電話株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−150603（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G02B 6/42
Claims (2)
- 【請求項１】 光素子アレイが形成されあるいは後付け
され、該光素子アレイの各光軸方向にそれぞれＶ溝が形
成され、該Ｖ溝のそれぞれの中央に貫通穴が形成された
シリコン基板と、 前記光素子アレイを発光させる電源と、それぞれの 前記Ｖ溝内に設置され前記光素子アレイと光
結合させられる光ファイバと、 前記貫通穴に挿入されて前記光ファイバの心線を支える
微調整板を駆動することで前記光ファイバを個別に軸調
心する多心光ファイバ個別軸調心機と、前記光素子アレイの発光にともなって 前記光ファイバの
片端から放射される光のパワーを測定する光パワー測定
器と、 該光パワー測定器の出力レベルが最大となるように前記
多心光ファイバ個別軸調心機の軸調心制御を行うコント
ローラとを具備することを特徴とする光素子アレイと多
心光ファイバの光結合装置。 - 【請求項２】 光素子アレイが形成あるいは後付けされ
た第１のシリコン基板と、 Ｖ溝が形成され、Ｖ溝の中央に貫通穴が形成された第２
のシリコン基板と、 前記第１と第２のシリコン基板を結合するための補強板
とを具備することを特徴とする請求項１に記載の光素子
アレイと多心光ファイバの光結合装置。
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|---|---|---|---|
| JP4188137A JP2806410B2 (ja) | 1992-07-15 | 1992-07-15 | 光素子アレイと多心光ファイバの光結合装置 |
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|---|---|---|---|
| JP4188137A JP2806410B2 (ja) | 1992-07-15 | 1992-07-15 | 光素子アレイと多心光ファイバの光結合装置 |
Publications (2)
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| JPH0634853A JPH0634853A (ja) | 1994-02-10 |
| JP2806410B2 true JP2806410B2 (ja) | 1998-09-30 |
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ID=16218391
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| JP4188137A Expired - Fee Related JP2806410B2 (ja) | 1992-07-15 | 1992-07-15 | 光素子アレイと多心光ファイバの光結合装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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