JP3402085B2 - 光学部品の製造方法 - Google Patents
光学部品の製造方法Info
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- JP3402085B2 JP3402085B2 JP21983796A JP21983796A JP3402085B2 JP 3402085 B2 JP3402085 B2 JP 3402085B2 JP 21983796 A JP21983796 A JP 21983796A JP 21983796 A JP21983796 A JP 21983796A JP 3402085 B2 JP3402085 B2 JP 3402085B2
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- quartz waveguide
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は光学部品の製造方
法、特に光導波路素子と光ファイバアレイから成る光学
部品の製造方法に関するものである。
法、特に光導波路素子と光ファイバアレイから成る光学
部品の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の光部品の製造方法を示す説
明図である。１は石英導波路素子、２は光ファイバアレ
イ、３は固定ホルダ、５は移動ステージ、７はＣＣＤカ
メラ、８はモニター、９は画像処理装置、１０は情報処
理装置である。
明図である。１は石英導波路素子、２は光ファイバアレ
イ、３は固定ホルダ、５は移動ステージ、７はＣＣＤカ
メラ、８はモニター、９は画像処理装置、１０は情報処
理装置である。
【０００３】石英導波路素子１は固定ホルダ３に固定さ
れる。移動ステージ５はｘ、ｙ、ｚ軸方向への移動、及
びｘ、ｙ、ｚ軸を回転の中心としたφ、ψ、θ軸方向へ
の回転が可能である。光ファイバアレイ２はこの移動ス
テージ５に取り付けられる。接合面の角度調整は、ま
ず、移動ステージ５のｚ軸方向を調整して光ファイバア
レイ２と石英導波路素子１を接近させる。そして接合面
に対して平行に配置したＣＣＤカメラ７を用いて接合面
を観察し、ｘ軸及びｙ軸に対してそれぞれ接合面上側の
光ファイバアレイ２と石英導波路素子１との間隔と、接
合面下側の光ファイバアレイ２と石英導波路素子１との
間隔が等しくなるよう、φとψの回転軸を回転し調整す
る。
れる。移動ステージ５はｘ、ｙ、ｚ軸方向への移動、及
びｘ、ｙ、ｚ軸を回転の中心としたφ、ψ、θ軸方向へ
の回転が可能である。光ファイバアレイ２はこの移動ス
テージ５に取り付けられる。接合面の角度調整は、ま
ず、移動ステージ５のｚ軸方向を調整して光ファイバア
レイ２と石英導波路素子１を接近させる。そして接合面
に対して平行に配置したＣＣＤカメラ７を用いて接合面
を観察し、ｘ軸及びｙ軸に対してそれぞれ接合面上側の
光ファイバアレイ２と石英導波路素子１との間隔と、接
合面下側の光ファイバアレイ２と石英導波路素子１との
間隔が等しくなるよう、φとψの回転軸を回転し調整す
る。
【０００４】接合面上側と下側で、光ファイバアレイ２
と石英導波路素子１との間隔が等しくなったら、移動ス
テージ５のｚ軸を調整してその間隔を詰め、必要に応じ
て上記の操作を繰り返す。間隔が所定の寸法になった
ら、その間隔に接着剤を流し込み接着・固定する。接着
剤は、屈折率を石英の屈折率に合わせたものを用い、硬
化方式は熱硬化型、紫外線硬化型のいずれでも良い。ま
た、接着剤の主成分もシリコーン樹脂系やアクリル樹脂
系等を必要に応じて選択し、使用する。
と石英導波路素子１との間隔が等しくなったら、移動ス
テージ５のｚ軸を調整してその間隔を詰め、必要に応じ
て上記の操作を繰り返す。間隔が所定の寸法になった
ら、その間隔に接着剤を流し込み接着・固定する。接着
剤は、屈折率を石英の屈折率に合わせたものを用い、硬
化方式は熱硬化型、紫外線硬化型のいずれでも良い。ま
た、接着剤の主成分もシリコーン樹脂系やアクリル樹脂
系等を必要に応じて選択し、使用する。
【０００５】以上のようにして一方の接合面の角度調
整、光ファイバアレイ２と石英導波路素子１の接着・固
定が終了したら、他方の接合面についても同様に行い、
光部品の製造を完了する。
整、光ファイバアレイ２と石英導波路素子１の接着・固
定が終了したら、他方の接合面についても同様に行い、
光部品の製造を完了する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】接合面において、光フ
ァイバアレイ２と石英導波路素子１との間隔を観察する
ことで角度調整を行っているため、石英導波路素子１や
光ファイバアレイ２の接合面に欠けがある場合や、研磨
によって面だれがある場合には正確に角度調整を行うこ
とができない。また接合面の上側、下側の間隔を人為的
に観察して調整を行うため、作業性が悪く、時間がか
り、光学部品の製造コストを高くしている。従って、本
発明の目的は前記した従来技術の問題点を解決し、光フ
ァイバアレイと石英導波路素子との接合面の角度調整が
簡単且つ正確に行え、製造コストが低い光学部品の製造
方法を提供することにある。
ァイバアレイ２と石英導波路素子１との間隔を観察する
ことで角度調整を行っているため、石英導波路素子１や
光ファイバアレイ２の接合面に欠けがある場合や、研磨
によって面だれがある場合には正確に角度調整を行うこ
とができない。また接合面の上側、下側の間隔を人為的
に観察して調整を行うため、作業性が悪く、時間がか
り、光学部品の製造コストを高くしている。従って、本
発明の目的は前記した従来技術の問題点を解決し、光フ
ァイバアレイと石英導波路素子との接合面の角度調整が
簡単且つ正確に行え、製造コストが低い光学部品の製造
方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を実
現するため、石英導波路素子と光ファイバをアレイ化し
た光ファイバアレイとの接合面の角度を正確に調整でき
る光学部品の製造方法であって、前記石英導波路素子を
固定ホルダに取り付け、ｘ、ｙ、ｚの３軸、及びｘ、
ｙ、z 軸を回転の中心軸としたφ、ψ、θの３軸を持
ち、且つ前記石英導波路と前記光ファイバアレイとの接
合面に対して垂直なｚ方向に対して、荷重を測定する荷
重センサを備えた移動ステージに前記光ファイバアレイ
を取り付け、前記石英導波路素子と前記光ファイバアレ
イとをｚ方向に圧接して前記荷重センサに荷重を掛け、
該荷重が最小となるように前記φとψの回転軸を該荷重
が減少する方向に動かして調整し、該荷重の現在値より
減少しない場合には該調整を終了することを特徴とする
光学部品の製造方法を用いた。
現するため、石英導波路素子と光ファイバをアレイ化し
た光ファイバアレイとの接合面の角度を正確に調整でき
る光学部品の製造方法であって、前記石英導波路素子を
固定ホルダに取り付け、ｘ、ｙ、ｚの３軸、及びｘ、
ｙ、z 軸を回転の中心軸としたφ、ψ、θの３軸を持
ち、且つ前記石英導波路と前記光ファイバアレイとの接
合面に対して垂直なｚ方向に対して、荷重を測定する荷
重センサを備えた移動ステージに前記光ファイバアレイ
を取り付け、前記石英導波路素子と前記光ファイバアレ
イとをｚ方向に圧接して前記荷重センサに荷重を掛け、
該荷重が最小となるように前記φとψの回転軸を該荷重
が減少する方向に動かして調整し、該荷重の現在値より
減少しない場合には該調整を終了することを特徴とする
光学部品の製造方法を用いた。
【０００８】そして、上記の製造方法において、前記荷
重センサに掛かる荷重が０ｇ重より大きく且つ２００ｇ
重以下となるよう前記移動ステージを制御することを特
徴とする光学部品の製造方法を用いた。
重センサに掛かる荷重が０ｇ重より大きく且つ２００ｇ
重以下となるよう前記移動ステージを制御することを特
徴とする光学部品の製造方法を用いた。
【０００９】更に、上記の製造方法において、前記φと
ψの回転軸の回転中心が光ファイバアレイの接合面中央
もしくは接合面中央から前記石英導波路素子側へ３０mm
以内にあることを特徴とする光学部品の製造方法を用い
た。
ψの回転軸の回転中心が光ファイバアレイの接合面中央
もしくは接合面中央から前記石英導波路素子側へ３０mm
以内にあることを特徴とする光学部品の製造方法を用い
た。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１は本発明の製造方法の実施例
に係わり、その説明図を示す。 図１で、１は石英導波
路素子、２は光ファイバアレイ、３は固定ホルダ、４は
荷重センサ、５は移動ステージ、６はライトガイド、７
はＣＣＤカメラ、８はモニター、９は画像処理装置、１
０は情報処理装置である。
に係わり、その説明図を示す。 図１で、１は石英導波
路素子、２は光ファイバアレイ、３は固定ホルダ、４は
荷重センサ、５は移動ステージ、６はライトガイド、７
はＣＣＤカメラ、８はモニター、９は画像処理装置、１
０は情報処理装置である。
【００１１】
端面を研磨した石英導波路素子１を固定ホ
ルダ３に固定する。そして端面を研磨した光ファイバア
レイ２を移動ステージ５に取り付ける。
ルダ３に固定する。そして端面を研磨した光ファイバア
レイ２を移動ステージ５に取り付ける。
【００１２】
図２は、図１の実施例において、光ファイ
バアレイ２と石英導波路素子１との接合面の角度を調整
する方法を説明する上面図である。移動ステージ５は
ｘ、ｙ、ｚの各軸と、ｘ、ｙ、ｚ軸を回転の中心とした
φ、ψ、θの各軸が可動できる。従って、石英導波路素
子１は固定ホルダ３に固定され不動であるが、光ファイ
バアレイ２は可動である。
バアレイ２と石英導波路素子１との接合面の角度を調整
する方法を説明する上面図である。移動ステージ５は
ｘ、ｙ、ｚの各軸と、ｘ、ｙ、ｚ軸を回転の中心とした
φ、ψ、θの各軸が可動できる。従って、石英導波路素
子１は固定ホルダ３に固定され不動であるが、光ファイ
バアレイ２は可動である。
【００１３】
移動ステージ５には、光ファイバアレイ２
と石英導波路素子１との接合面に垂直であるｚ軸方向の
荷重を測定するため、荷重センサ４が備えられている。
接合面の角度調整方法を説明する。石英導波路素子１、
光ファイバアレイ２をそれぞれ固定ホルダ３、移動ステ
ージ５に取り付けた後、移動ステージ５のｚ軸を用い
て、石英導波路素子１と光ファイバアレイ２を圧接させ
る。圧接する荷重は、荷重センサ４を見ながら、光ファ
イバアレイ２や石英導波路素子１が破損しないように２
００ｇ重以下とする。
と石英導波路素子１との接合面に垂直であるｚ軸方向の
荷重を測定するため、荷重センサ４が備えられている。
接合面の角度調整方法を説明する。石英導波路素子１、
光ファイバアレイ２をそれぞれ固定ホルダ３、移動ステ
ージ５に取り付けた後、移動ステージ５のｚ軸を用い
て、石英導波路素子１と光ファイバアレイ２を圧接させ
る。圧接する荷重は、荷重センサ４を見ながら、光ファ
イバアレイ２や石英導波路素子１が破損しないように２
００ｇ重以下とする。
【００１４】
次にφ、ψ軸を動かし、荷重センサ４の指
示が現在値より減少して、最小値を示すように調整す
る。現在値より減少しない場合は、接合面の角度は正し
くなっており、角度調整は必要でない。このように、
φ、ψ軸を調整して、ｚ軸方向に印加される荷重を減少
する方向に動かせば、光ファイバアレイ２と石英導波路
素子１との角度ずれが減少する。すなわち、接合面の角
度が正しく調整される。なお、θ軸は今考慮している接
合面の角度調整には無関係であり、光ファイバアレイ２
の各光ファイバ間で、結合損失のバラツキ等がある時に
調整する。以上の操作は、光ファイバアレイ２や石英導
波路素子１の接合面に欠けや研磨による面だれがあって
も、それらに関係なく行うことができる。従って欠けや
研磨による面だれがあっても、接合面の角度調整が正確
且つ、短時間で行える。更に、接合面の角度が正しいこ
とから、角度折れによる損失増加、接着層の不均一性が
解消され、より信頼性の高い光学部品が製造できる。
示が現在値より減少して、最小値を示すように調整す
る。現在値より減少しない場合は、接合面の角度は正し
くなっており、角度調整は必要でない。このように、
φ、ψ軸を調整して、ｚ軸方向に印加される荷重を減少
する方向に動かせば、光ファイバアレイ２と石英導波路
素子１との角度ずれが減少する。すなわち、接合面の角
度が正しく調整される。なお、θ軸は今考慮している接
合面の角度調整には無関係であり、光ファイバアレイ２
の各光ファイバ間で、結合損失のバラツキ等がある時に
調整する。以上の操作は、光ファイバアレイ２や石英導
波路素子１の接合面に欠けや研磨による面だれがあって
も、それらに関係なく行うことができる。従って欠けや
研磨による面だれがあっても、接合面の角度調整が正確
且つ、短時間で行える。更に、接合面の角度が正しいこ
とから、角度折れによる損失増加、接着層の不均一性が
解消され、より信頼性の高い光学部品が製造できる。
【００１５】
なお、φとψの回転中心は光ファイバアレ
イ２の接合面から石英導波路素子１側へ離れすぎると角
度調整に時間が掛ること、φやψ軸を調整しても角度調
整ができない場合があることから、石英導波路素子１側
へ３０mm以内が望ましい。接合面の角度調整が終了後、
従来技術と同様に接合面に接着剤を流し込んで光ファイ
バアレイ２と石英導波路素子１を接着・固定する。接着
剤の種類は紫外線硬化型や熱硬化型いずれでも良いが、
屈折率は石英の屈折率に合わせたものを用いる。
イ２の接合面から石英導波路素子１側へ離れすぎると角
度調整に時間が掛ること、φやψ軸を調整しても角度調
整ができない場合があることから、石英導波路素子１側
へ３０mm以内が望ましい。接合面の角度調整が終了後、
従来技術と同様に接合面に接着剤を流し込んで光ファイ
バアレイ２と石英導波路素子１を接着・固定する。接着
剤の種類は紫外線硬化型や熱硬化型いずれでも良いが、
屈折率は石英の屈折率に合わせたものを用いる。
【００１６】
【発明の効果】本発明によれば、石英導波路素子と光フ
ァイバアレイを圧接したときの荷重を測定する荷重セン
サを移動ステージに備え、この荷重を最小にするように
φとψ軸の２つの回転軸をこの荷重が減少する方向に動
かして調整し、この荷重の現在値より減少しない場合に
はこの調整を終了する方法を用いたことで次の如き優れ
た効果を発揮する。
ァイバアレイを圧接したときの荷重を測定する荷重セン
サを移動ステージに備え、この荷重を最小にするように
φとψ軸の２つの回転軸をこの荷重が減少する方向に動
かして調整し、この荷重の現在値より減少しない場合に
はこの調整を終了する方法を用いたことで次の如き優れ
た効果を発揮する。
【００１７】石英導波路素子や光ファイバアレイの接合
面に欠けや研磨による面だれが生じていても、接合面の
角度調整が正確且つ、短時間で行うことができる。また
角度折れによる損失増加、接着層の不均一性が解消さ
れ、より信頼性の高い光学部品が製造できる。更に作業
が簡単、短時間で、且つ基準化できることから光学部品
の製造コストを下げることができる。
面に欠けや研磨による面だれが生じていても、接合面の
角度調整が正確且つ、短時間で行うことができる。また
角度折れによる損失増加、接着層の不均一性が解消さ
れ、より信頼性の高い光学部品が製造できる。更に作業
が簡単、短時間で、且つ基準化できることから光学部品
の製造コストを下げることができる。
【図１】本発明の製造方法に係わる実施例を示す説明図
である。
である。
【図２】図１に係わり、角度調整方法を説明する上面図
である。
である。
【図３】従来の製造方法を示す説明図である。
１ 石英導波路素子
２ 光ファイバアレイ
３ 固定ホルダ
４ 荷重センサ
５ 移動ステージ
６ ライトガイド
７ ＣＣＤカメラ
８ モニター
９ 画像処理装置
１０ 情報処理装置
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平９−159883（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−133830（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−133829（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−113766（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−230026（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−218745（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G02B 6/30
Claims (3)
- 【請求項１】石英導波路素子と光ファイバをアレイ化し
た光ファイバアレイとの接合面の角度を正確に調整でき
る光学部品の製造方法であって、前記石英導波路素子を
固定ホルダに取り付け、ｘ、ｙ、ｚの３軸、及びｘ、
ｙ、ｚ軸を回転の中心軸としたφ、ψ、θの３軸を持
ち、且つ前記石英導波路と前記光ファイバアレイとの接
合面に対して垂直なｚ方向に対して、荷重を測定する荷
重センサを備えた移動ステージに前記光ファイバアレイ
を取り付け、前記石英導波路素子と前記光ファイバアレ
イとをｚ方向に圧接して前記荷重センサに荷重を掛け、
該荷重が最小となるように前記φとψの回転軸を該荷重
が減少する方向に動かして調整し、該荷重の現在値より
減少しない場合には該調整を終了するようにしたことを
特徴とする光学部品の製造方法。 - 【請求項２】前記荷重センサに掛かる荷重が０ｇ重より
大きく且つ２００ｇ重以下となるよう前記移動ステージ
を制御することを特徴とする請求項１記載の光学部品の
製造方法。 - 【請求項３】前記φとψの回転軸の回転中心が光ファイ
バアレイの接合面中央もしくは接合面中央から前記石英
導波路素子側へ３０mm以内にあることを特徴とする請求
項１または請求項２記載の光学部品の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21983796A JP3402085B2 (ja) | 1996-08-21 | 1996-08-21 | 光学部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21983796A JP3402085B2 (ja) | 1996-08-21 | 1996-08-21 | 光学部品の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1062647A JPH1062647A (ja) | 1998-03-06 |
| JP3402085B2 true JP3402085B2 (ja) | 2003-04-28 |
Family
ID=16741835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21983796A Expired - Fee Related JP3402085B2 (ja) | 1996-08-21 | 1996-08-21 | 光学部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3402085B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018040819A (ja) | 2015-03-24 | 2018-03-15 | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 | 光装置の製造方法 |
-
1996
- 1996-08-21 JP JP21983796A patent/JP3402085B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1062647A (ja) | 1998-03-06 |
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