JPH1114663A - 物理量センサ - Google Patents
物理量センサInfo
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- JPH1114663A JPH1114663A JP9171599A JP17159997A JPH1114663A JP H1114663 A JPH1114663 A JP H1114663A JP 9171599 A JP9171599 A JP 9171599A JP 17159997 A JP17159997 A JP 17159997A JP H1114663 A JPH1114663 A JP H1114663A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/282—Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere
- G01R31/2829—Testing of circuits in sensor or actuator systems
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D3/00—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
- G01D3/08—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups with provision for safeguarding the apparatus, e.g. against abnormal operation, against breakdown
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 出力からは正常範囲内の電圧が出力されてい
るにもかかわらず物理量を正常に検出できない異常状態
を検出することができる物理量センサを得る。 【解決手段】 物理量の検出を行う物理量センサ１にお
いて、何らかの原因で、発振回路部５から基準周波数信
号が出力されない、又は発振回路部５から出力された基
準周波数信号の周波数が所定の周波数範囲でない場合、
該異常を検出し、該異常を検出したことを示す信号を出
力する自己診断回路部６を備える。
るにもかかわらず物理量を正常に検出できない異常状態
を検出することができる物理量センサを得る。 【解決手段】 物理量の検出を行う物理量センサ１にお
いて、何らかの原因で、発振回路部５から基準周波数信
号が出力されない、又は発振回路部５から出力された基
準周波数信号の周波数が所定の周波数範囲でない場合、
該異常を検出し、該異常を検出したことを示す信号を出
力する自己診断回路部６を備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、加速度、角速度又
は圧力等の物理量を検出する物理量センサに関し、特
に、基準周波数に基づいて信号の処理を行う物理量セン
サに関するものである。
は圧力等の物理量を検出する物理量センサに関し、特
に、基準周波数に基づいて信号の処理を行う物理量セン
サに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図１１は、物理量センサの従来例を示し
た概略のブロック図である。なお、図１１では角速度を
検出する物理量センサを例にして示している。図１１に
おいて、物理量センサ２００は、センサ部２０１、信号
検出回路部２０２、信号処理回路部２０３及び発振回路
部２０４で形成されている。発振回路部２０４は、基準
となる周波数の正弦波信号（以下、基準周波数信号と呼
ぶ）をセンサ部２０１及び信号検出回路部２０２に出力
している。センサ部２０１は、発振回路部２０４から入
力される基準周波数信号の周波数を基にして動作し、検
出した物理量を電気信号に変換して信号検出回路部２０
２に出力する。
た概略のブロック図である。なお、図１１では角速度を
検出する物理量センサを例にして示している。図１１に
おいて、物理量センサ２００は、センサ部２０１、信号
検出回路部２０２、信号処理回路部２０３及び発振回路
部２０４で形成されている。発振回路部２０４は、基準
となる周波数の正弦波信号（以下、基準周波数信号と呼
ぶ）をセンサ部２０１及び信号検出回路部２０２に出力
している。センサ部２０１は、発振回路部２０４から入
力される基準周波数信号の周波数を基にして動作し、検
出した物理量を電気信号に変換して信号検出回路部２０
２に出力する。
【０００３】信号検出回路部２０２は、センサ部２０１
から入力された信号を増幅した後、整流してＤＣ信号に
変換して信号処理回路部２０３に出力し、該整流して直
流信号に変換する際、発振回路部２０４から入力される
基準周波数信号が使用される。次に、信号処理回路部２
０３は、信号検出回路部２０２から入力された信号の温
度補償を行い、更に増幅を行った後、物理量センサ２０
０の出力信号として出力端子ＯＵＴから、マイコン等か
らなる制御回路２１０に出力する。該出力信号は、物理
量が０のときにオフセット出力と呼び、直流電源電圧を
Ｖccとすると、該オフセット出力はＶcc／２になるよう
に設定されている。制御回路２１０は、物理量センサ２
００から出力される信号に基づいて所定の処理を行う。
から入力された信号を増幅した後、整流してＤＣ信号に
変換して信号処理回路部２０３に出力し、該整流して直
流信号に変換する際、発振回路部２０４から入力される
基準周波数信号が使用される。次に、信号処理回路部２
０３は、信号検出回路部２０２から入力された信号の温
度補償を行い、更に増幅を行った後、物理量センサ２０
０の出力信号として出力端子ＯＵＴから、マイコン等か
らなる制御回路２１０に出力する。該出力信号は、物理
量が０のときにオフセット出力と呼び、直流電源電圧を
Ｖccとすると、該オフセット出力はＶcc／２になるよう
に設定されている。制御回路２１０は、物理量センサ２
００から出力される信号に基づいて所定の処理を行う。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、何らかの原因
でセンサ部２０１に発振回路部２０４からの基準周波数
信号が入力されなくなった場合、センサ部２０１から信
号検出回路部２０２に入力される信号は０となることか
ら、信号処理回路部２０３から出力される出力信号はＶ
cc／２となる。このため、発振回路部２０４に何らかの
異常が発生したり配線の断線等により、センサ部２０１
が物理量の検出ができない状態にあるにもかかわらず、
物理量センサ２００の出力からは正常範囲内の電圧が出
力され、物理量センサ２００の異常を検出することがで
きないという問題があった。
でセンサ部２０１に発振回路部２０４からの基準周波数
信号が入力されなくなった場合、センサ部２０１から信
号検出回路部２０２に入力される信号は０となることか
ら、信号処理回路部２０３から出力される出力信号はＶ
cc／２となる。このため、発振回路部２０４に何らかの
異常が発生したり配線の断線等により、センサ部２０１
が物理量の検出ができない状態にあるにもかかわらず、
物理量センサ２００の出力からは正常範囲内の電圧が出
力され、物理量センサ２００の異常を検出することがで
きないという問題があった。
【０００５】本発明は、上記のような問題を解決するた
めになされたものであり、出力からは正常範囲内の電圧
が出力されているにもかかわらず物理量を正常に検出で
きない異常状態を検出することができる物理量センサを
得ることを目的とする。
めになされたものであり、出力からは正常範囲内の電圧
が出力されているにもかかわらず物理量を正常に検出で
きない異常状態を検出することができる物理量センサを
得ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明に係る物理量セ
ンサは、物理量の検出を行う物理量センサにおいて、所
定の周波数の信号を生成して出力する発振回路部と、該
発振回路部から出力された信号を基にして動作し、物理
量を電気信号に変換するセンサ部と、上記発振回路部か
ら出力された信号を用いて、該センサ部で変換された電
気信号に対して所定の信号処理を行って出力する信号処
理部と、上記発振回路部から出力される信号を監視し、
該信号の異常を検出すると所定の異常検出信号を出力す
る自己診断回路部とを備えるものである。
ンサは、物理量の検出を行う物理量センサにおいて、所
定の周波数の信号を生成して出力する発振回路部と、該
発振回路部から出力された信号を基にして動作し、物理
量を電気信号に変換するセンサ部と、上記発振回路部か
ら出力された信号を用いて、該センサ部で変換された電
気信号に対して所定の信号処理を行って出力する信号処
理部と、上記発振回路部から出力される信号を監視し、
該信号の異常を検出すると所定の異常検出信号を出力す
る自己診断回路部とを備えるものである。
【０００７】また、この発明に係る物理量センサは、物
理量の検出を行う物理量センサにおいて、物理量を電気
信号に変換するセンサ部と、所定の周波数の信号を生成
して出力する発振回路部と、該発振回路部から出力され
た信号を基にして動作し、上記センサ部で変換された電
気信号に対して所定の信号処理を行って出力する信号処
理部と、上記発振回路部から出力される信号を監視し、
該信号の異常を検出すると所定の異常検出信号を出力す
る自己診断回路部とを備えるものである。
理量の検出を行う物理量センサにおいて、物理量を電気
信号に変換するセンサ部と、所定の周波数の信号を生成
して出力する発振回路部と、該発振回路部から出力され
た信号を基にして動作し、上記センサ部で変換された電
気信号に対して所定の信号処理を行って出力する信号処
理部と、上記発振回路部から出力される信号を監視し、
該信号の異常を検出すると所定の異常検出信号を出力す
る自己診断回路部とを備えるものである。
【０００８】また、この発明に係る物理量センサは、請
求項１又は請求項２のいずれかにおいて、上記自己診断
回路部は、発振回路部から出力された信号の波形整形を
行う波形整形回路と、該波形整形回路で波形整形された
信号の周波数を直流電圧に変換する周波数‐電圧変換回
路と、該周波数‐電圧変換回路で変換された直流電圧値
から発振回路部から出力された信号の異常の有無を判定
し、該判定結果を出力する異常判定回路とで構成される
ものである。
求項１又は請求項２のいずれかにおいて、上記自己診断
回路部は、発振回路部から出力された信号の波形整形を
行う波形整形回路と、該波形整形回路で波形整形された
信号の周波数を直流電圧に変換する周波数‐電圧変換回
路と、該周波数‐電圧変換回路で変換された直流電圧値
から発振回路部から出力された信号の異常の有無を判定
し、該判定結果を出力する異常判定回路とで構成される
ものである。
【０００９】また、この発明に係る物理量センサは、請
求項３において、上記周波数‐電圧変換回路は、入力さ
れた信号の周波数変化をデューティサイクルの変化に変
換する周波数変換回路と、該周波数変換回路で変換され
た信号の整流を行う整流回路とで形成されるものであ
る。
求項３において、上記周波数‐電圧変換回路は、入力さ
れた信号の周波数変化をデューティサイクルの変化に変
換する周波数変換回路と、該周波数変換回路で変換され
た信号の整流を行う整流回路とで形成されるものであ
る。
【００１０】また、この発明に係る物理量センサは、請
求項４において、上記波形整形回路は、発振回路部から
出力された信号を矩形波に波形整形し、上記周波数‐電
圧変換回路は、波形整形回路で波形整形された信号の信
号レベルがＬｏｗレベルのとき、上記周波数変換回路の
出力をＬｏｗレベルにする回路を更に備えるものであ
る。
求項４において、上記波形整形回路は、発振回路部から
出力された信号を矩形波に波形整形し、上記周波数‐電
圧変換回路は、波形整形回路で波形整形された信号の信
号レベルがＬｏｗレベルのとき、上記周波数変換回路の
出力をＬｏｗレベルにする回路を更に備えるものであ
る。
【００１１】また、この発明に係る物理量センサは、請
求項１から請求項５のいずれかにおいて、上記自己診断
回路部は、電源投入から所定の時間、上記異常検出信号
を出力するパワーオンリセット回路を更に備えるもので
ある。
求項１から請求項５のいずれかにおいて、上記自己診断
回路部は、電源投入から所定の時間、上記異常検出信号
を出力するパワーオンリセット回路を更に備えるもので
ある。
【００１２】また、この発明に係る物理量センサは、請
求項１から請求項６のいずれかにおいて、上記自己診断
回路部は、信号処理部の出力信号を監視し、該信号の異
常を検出すると所定の異常検出信号を出力する出力異常
検出回路を更に備えるものである。
求項１から請求項６のいずれかにおいて、上記自己診断
回路部は、信号処理部の出力信号を監視し、該信号の異
常を検出すると所定の異常検出信号を出力する出力異常
検出回路を更に備えるものである。
【００１３】また、この発明に係る物理量センサは、請
求項１から請求項６のいずれかにおいて、上記自己診断
回路部は、信号処理部で信号処理されている信号を監視
し、該信号の異常を検出すると所定の異常検出信号を出
力する出力異常検出回路を更に備えるものである。
求項１から請求項６のいずれかにおいて、上記自己診断
回路部は、信号処理部で信号処理されている信号を監視
し、該信号の異常を検出すると所定の異常検出信号を出
力する出力異常検出回路を更に備えるものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】次に、図面に示す実施の形態に基
づいて、本発明を詳細に説明する。 実施の形態１．図１は、本発明の実施の形態１における
物理量センサの例を示した概略のブロック図である。な
お、図１では、角速度を検出する角速度センサ等のよう
にセンサ部が基準周波数信号を基にして動作する物理量
センサを例にして示している。
づいて、本発明を詳細に説明する。 実施の形態１．図１は、本発明の実施の形態１における
物理量センサの例を示した概略のブロック図である。な
お、図１では、角速度を検出する角速度センサ等のよう
にセンサ部が基準周波数信号を基にして動作する物理量
センサを例にして示している。
【００１５】図１において、物理量センサ１は、センサ
部２、信号検出回路部３、信号処理回路部４、発振回路
部５及び自己診断回路部６で形成されている。発振回路
部５は、センサ部２、信号検出回路部３及び自己診断回
路部６にそれぞれ接続され、センサ部２は信号検出回路
部３に接続され、更に信号検出回路部３は信号処理回路
部４に接続されている。信号処理回路部４及び自己診断
回路部６の各出力は、物理量センサ１の出力をなし、マ
イコン等からなる制御回路８に接続される。制御回路８
は、物理量センサ１から出力される各信号に基づいて所
定の処理を行う。
部２、信号検出回路部３、信号処理回路部４、発振回路
部５及び自己診断回路部６で形成されている。発振回路
部５は、センサ部２、信号検出回路部３及び自己診断回
路部６にそれぞれ接続され、センサ部２は信号検出回路
部３に接続され、更に信号検出回路部３は信号処理回路
部４に接続されている。信号処理回路部４及び自己診断
回路部６の各出力は、物理量センサ１の出力をなし、マ
イコン等からなる制御回路８に接続される。制御回路８
は、物理量センサ１から出力される各信号に基づいて所
定の処理を行う。
【００１６】発振回路部５は、基準となる周波数の正弦
波信号（以下、基準周波数信号と呼ぶ）をセンサ部２、
信号検出回路部３及び自己診断回路部６にそれぞれ出力
している。センサ部２は、発振回路部５から入力される
基準周波数信号の周波数を基にして動作し、検出した物
理量を電気信号に変換して信号検出回路部３に出力す
る。信号検出回路部３は、センサ部２から入力された信
号を増幅した後、整流して直流信号に変換して信号処理
回路部４に出力し、該整流して直流信号に変換する際、
発振回路部５から入力される基準周波数信号が使用され
る。
波信号（以下、基準周波数信号と呼ぶ）をセンサ部２、
信号検出回路部３及び自己診断回路部６にそれぞれ出力
している。センサ部２は、発振回路部５から入力される
基準周波数信号の周波数を基にして動作し、検出した物
理量を電気信号に変換して信号検出回路部３に出力す
る。信号検出回路部３は、センサ部２から入力された信
号を増幅した後、整流して直流信号に変換して信号処理
回路部４に出力し、該整流して直流信号に変換する際、
発振回路部５から入力される基準周波数信号が使用され
る。
【００１７】次に、信号処理回路部４は、出力が物理量
センサ１の出力端子ＯＵＴをなし、信号検出回路部３か
ら入力された信号の増幅を行い、更に温度補償を行った
後、物理量センサ１の出力信号として出力端子ＯＵＴか
ら制御回路８に出力する。該出力信号は、物理量が０の
ときにオフセット出力と呼び、直流電源電圧をＶccとす
ると、該オフセット出力はＶcc／２になるように設定さ
れている。自己診断回路部６は、発振回路部５から出力
される基準周波数信号を監視し、該基準周波数信号の周
波数が所定の範囲内にあるか否かの検出を行う。なお、
信号検出回路部３及び信号処理回路部４は信号処理部を
なす。
センサ１の出力端子ＯＵＴをなし、信号検出回路部３か
ら入力された信号の増幅を行い、更に温度補償を行った
後、物理量センサ１の出力信号として出力端子ＯＵＴか
ら制御回路８に出力する。該出力信号は、物理量が０の
ときにオフセット出力と呼び、直流電源電圧をＶccとす
ると、該オフセット出力はＶcc／２になるように設定さ
れている。自己診断回路部６は、発振回路部５から出力
される基準周波数信号を監視し、該基準周波数信号の周
波数が所定の範囲内にあるか否かの検出を行う。なお、
信号検出回路部３及び信号処理回路部４は信号処理部を
なす。
【００１８】図２は、自己診断回路部６の回路例を示し
た図である。図２において、自己診断回路部６は、波形
整形回路１１、周波数‐電圧変換回路１２及び異常判定
回路１３で構成され、波形整形回路１１はコンパレータ
２１及び抵抗２７，２８からなり、周波数‐電圧変換回
路１２はコンパレータ２２、コンデンサ２５，２６及び
抵抗２９〜３２からなり、異常判定回路１３はコンパレ
ータ２３，２４及び抵抗３３〜３５からなる。なお、コ
ンパレータ２２、コンデンサ２５及び抵抗２９〜３１は
周波数変換回路をなし、コンデンサ２６及び抵抗３２は
整流回路をなす。
た図である。図２において、自己診断回路部６は、波形
整形回路１１、周波数‐電圧変換回路１２及び異常判定
回路１３で構成され、波形整形回路１１はコンパレータ
２１及び抵抗２７，２８からなり、周波数‐電圧変換回
路１２はコンパレータ２２、コンデンサ２５，２６及び
抵抗２９〜３２からなり、異常判定回路１３はコンパレ
ータ２３，２４及び抵抗３３〜３５からなる。なお、コ
ンパレータ２２、コンデンサ２５及び抵抗２９〜３１は
周波数変換回路をなし、コンデンサ２６及び抵抗３２は
整流回路をなす。
【００１９】電源電圧Ｖccと接地との間には、抵抗２７
及び２８が直列に接続されて形成された直列回路が接続
されており、抵抗２７及び２８の接続部はコンパレータ
２１の非反転入力に接続されており、該非反転入力には
所定の電圧、例えば直流電源電圧Ｖccの１／２の電圧が
入力されている。また、コンパレータ２１の反転入力は
自己診断回路部６の入力をなし、発振回路部５に接続さ
れて基準周波数信号が入力される。
及び２８が直列に接続されて形成された直列回路が接続
されており、抵抗２７及び２８の接続部はコンパレータ
２１の非反転入力に接続されており、該非反転入力には
所定の電圧、例えば直流電源電圧Ｖccの１／２の電圧が
入力されている。また、コンパレータ２１の反転入力は
自己診断回路部６の入力をなし、発振回路部５に接続さ
れて基準周波数信号が入力される。
【００２０】コンパレータ２１の出力は、コンデンサ２
５及び抵抗２９からなるローパスフィルタを介してコン
パレータ２２の反転入力に接続されている。電源電圧Ｖ
ccと接地との間には、抵抗３０及び３１が直列に接続さ
れて形成された直列回路が接続されており、抵抗３０と
３１との接続部はコンパレータ２２の非反転入力に接続
されている。コンパレータ２２の出力は、コンデンサ２
６及び抵抗３２からなるローパスフィルタを介してコン
パレータ２３の反転入力及びコンパレータ２４の非反転
入力にそれぞれ接続されている。コンパレータ２３及び
２４はウインドコンパレータを形成している。
５及び抵抗２９からなるローパスフィルタを介してコン
パレータ２２の反転入力に接続されている。電源電圧Ｖ
ccと接地との間には、抵抗３０及び３１が直列に接続さ
れて形成された直列回路が接続されており、抵抗３０と
３１との接続部はコンパレータ２２の非反転入力に接続
されている。コンパレータ２２の出力は、コンデンサ２
６及び抵抗３２からなるローパスフィルタを介してコン
パレータ２３の反転入力及びコンパレータ２４の非反転
入力にそれぞれ接続されている。コンパレータ２３及び
２４はウインドコンパレータを形成している。
【００２１】電源電圧Ｖccと接地との間には、抵抗３３
〜３５が直列に接続された直列回路が接続されており、
抵抗３３と３４との接続部はコンパレータ２３の非反転
入力に接続され、抵抗３４と３５との接続部はコンパレ
ータ２４の反転入力に接続されている。コンパレータ２
３及び２４の各出力は互いに接続され、該接続部は自己
診断回路部６の出力端子をなし、上記制御回路８に接続
されている。なお、自己診断回路部６の入力端子をなす
コンパレータ２１の反転入力を入力端子Ｄinとし、自己
診断回路部６の出力端子をなすコンパレータ２３及び２
４の出力の接続部を出力端子Ｄoutとする。
〜３５が直列に接続された直列回路が接続されており、
抵抗３３と３４との接続部はコンパレータ２３の非反転
入力に接続され、抵抗３４と３５との接続部はコンパレ
ータ２４の反転入力に接続されている。コンパレータ２
３及び２４の各出力は互いに接続され、該接続部は自己
診断回路部６の出力端子をなし、上記制御回路８に接続
されている。なお、自己診断回路部６の入力端子をなす
コンパレータ２１の反転入力を入力端子Ｄinとし、自己
診断回路部６の出力端子をなすコンパレータ２３及び２
４の出力の接続部を出力端子Ｄoutとする。
【００２２】上記のような構成において、入力端子Ｄin
に入力された正弦波の基準周波数信号は、波形整形回路
１１で矩形波に波形整形され、該波形整形された信号
は、周波数‐電圧変換回路１２で、周波数の変化をデュ
ーティサイクルの変化に変換した後、整流して直流信号
に変換し、周波数を直流電圧に変換される。この際、コ
ンパレータ２２の反転入力には、コンデンサ２５及び抵
抗２９からなるローパスフィルタの時定数に基づいて充
放電が繰り返された信号が入力され、コンパレータ２３
の非反転入力とコンパレータ２４の反転入力との接続部
には、コンデンサ２６及び抵抗３２からなるローパスフ
ィルタの時定数に基づいて充放電が繰り返された信号が
入力される。
に入力された正弦波の基準周波数信号は、波形整形回路
１１で矩形波に波形整形され、該波形整形された信号
は、周波数‐電圧変換回路１２で、周波数の変化をデュ
ーティサイクルの変化に変換した後、整流して直流信号
に変換し、周波数を直流電圧に変換される。この際、コ
ンパレータ２２の反転入力には、コンデンサ２５及び抵
抗２９からなるローパスフィルタの時定数に基づいて充
放電が繰り返された信号が入力され、コンパレータ２３
の非反転入力とコンパレータ２４の反転入力との接続部
には、コンデンサ２６及び抵抗３２からなるローパスフ
ィルタの時定数に基づいて充放電が繰り返された信号が
入力される。
【００２３】コンデンサ２６及び抵抗３２からなるロー
パスフィルタの時定数は、コンパレータ２３の反転入力
とコンパレータ２４の非反転入力との接続部に入力され
る信号が、直流信号に近くなるように大きくする。図２
で示した回路では、入力端子Ｄin入力された信号の周波
数が高いほど、周波数‐電圧変換回路１２から出力され
る信号の電圧は高くなる。この後、周波数‐電圧変換回
路１２で変換された信号が所定の電圧範囲にあるか否か
の判定を異常判定回路１３で行い、該判定した結果を２
値の信号で出力端子Ｄoutから出力する。
パスフィルタの時定数は、コンパレータ２３の反転入力
とコンパレータ２４の非反転入力との接続部に入力され
る信号が、直流信号に近くなるように大きくする。図２
で示した回路では、入力端子Ｄin入力された信号の周波
数が高いほど、周波数‐電圧変換回路１２から出力され
る信号の電圧は高くなる。この後、周波数‐電圧変換回
路１２で変換された信号が所定の電圧範囲にあるか否か
の判定を異常判定回路１３で行い、該判定した結果を２
値の信号で出力端子Ｄoutから出力する。
【００２４】図３は、図２で示した自己診断回路部６の
動作例を示したタイミングチャートである。図３におい
て、（ａ）は自己診断回路部６の入力端子Ｄinに入力さ
れる基準周波数信号Ｖinを、（ｂ）はコンパレータ２１
の出力信号Ｖaを、（ｃ）はコンパレータ２２の反転入
力に入力される信号Ｖb及びコンパレータ２２の非反転
入力に入力される信号Ｖcを、（ｄ）はコンパレータ２
２の出力信号Ｖd、及びコンデンサ２６及び抵抗３２か
らなるローパスフィルタの出力信号Ｖe、すなわちコン
パレータ２３の反転入力及びコンパレータ２４の非反転
入力の接続部に入力される信号をそれぞれ示している。
動作例を示したタイミングチャートである。図３におい
て、（ａ）は自己診断回路部６の入力端子Ｄinに入力さ
れる基準周波数信号Ｖinを、（ｂ）はコンパレータ２１
の出力信号Ｖaを、（ｃ）はコンパレータ２２の反転入
力に入力される信号Ｖb及びコンパレータ２２の非反転
入力に入力される信号Ｖcを、（ｄ）はコンパレータ２
２の出力信号Ｖd、及びコンデンサ２６及び抵抗３２か
らなるローパスフィルタの出力信号Ｖe、すなわちコン
パレータ２３の反転入力及びコンパレータ２４の非反転
入力の接続部に入力される信号をそれぞれ示している。
【００２５】図３の（ｄ）で示した信号Ｖeが、コンパ
レータ２３及び２４で構成されるウインドコンパレータ
に入力され、該入力された信号の電圧が、抵抗３３〜３
５で設定されたスレッショルド電圧と比較され、信号Ｖ
eが基準外の電圧を示した場合、出力端子Ｄoutから異常
を示す信号、例えば図２の場合「Ｌ」レベルの信号が制
御回路８に出力される。制御回路８は、該異常を示す信
号が入力されると、信号処理回路部４から入力される信
号を無視すると共に、上記異常に対する所定の処理を行
う。
レータ２３及び２４で構成されるウインドコンパレータ
に入力され、該入力された信号の電圧が、抵抗３３〜３
５で設定されたスレッショルド電圧と比較され、信号Ｖ
eが基準外の電圧を示した場合、出力端子Ｄoutから異常
を示す信号、例えば図２の場合「Ｌ」レベルの信号が制
御回路８に出力される。制御回路８は、該異常を示す信
号が入力されると、信号処理回路部４から入力される信
号を無視すると共に、上記異常に対する所定の処理を行
う。
【００２６】ここで、図１では、角速度センサ等のよう
にセンサ部が基準周波数信号を基にして動作する物理量
センサを例にして説明したが、センサ部が基準周波数信
号を基にして動作しない物理量センサの場合について説
明する。図４は、本発明の実施の形態１における物理量
センサの他の例を示した概略のブロック図である。な
お、図４では、加速度を検出する加速度センサ等のよう
にセンサ部が基準周波数信号を基にして動作しない物理
量センサを示しており、図１と同じものは同じ符号で示
しており、ここではその説明を省略する。
にセンサ部が基準周波数信号を基にして動作する物理量
センサを例にして説明したが、センサ部が基準周波数信
号を基にして動作しない物理量センサの場合について説
明する。図４は、本発明の実施の形態１における物理量
センサの他の例を示した概略のブロック図である。な
お、図４では、加速度を検出する加速度センサ等のよう
にセンサ部が基準周波数信号を基にして動作しない物理
量センサを示しており、図１と同じものは同じ符号で示
しており、ここではその説明を省略する。
【００２７】図４において、物理量センサ４１は、セン
サ部４２、信号処理回路部４３、発振回路部４４及び自
己診断回路部４５で形成されている。発振回路部４４
は、信号処理回路部４３及び自己診断回路部４５にそれ
ぞれ接続され、センサ部４２は信号処理回路部４３に接
続されている。信号処理回路部４３及び自己診断回路部
４５の各出力は、物理量センサ４１の出力をなし、マイ
コン等からなる制御回路８に接続される。なお、信号処
理回路部４３は信号処理部をなす。
サ部４２、信号処理回路部４３、発振回路部４４及び自
己診断回路部４５で形成されている。発振回路部４４
は、信号処理回路部４３及び自己診断回路部４５にそれ
ぞれ接続され、センサ部４２は信号処理回路部４３に接
続されている。信号処理回路部４３及び自己診断回路部
４５の各出力は、物理量センサ４１の出力をなし、マイ
コン等からなる制御回路８に接続される。なお、信号処
理回路部４３は信号処理部をなす。
【００２８】発振回路部４４は、例えば矩形波の基準周
波数信号を信号処理回路部４３及び自己診断回路部４５
にそれぞれ出力している。信号処理回路部４３は、発振
回路部４４から入力される基準周波数信号を基にして動
作し、出力が物理量センサ４１の出力端子ＯＵＴをな
す。信号処理回路部４３は、センサ部４２から入力され
たＤＣ信号の温度補償を行い、更に増幅を行った後、物
理量センサ４１の出力信号として出力端子ＯＵＴから制
御回路８に出力する。また、自己診断回路部４５は、発
振回路部４４から出力される基準周波数信号を監視し、
該基準周波数信号の周波数が所定の範囲内にあるか否か
の検出を行う。なお、自己診断回路部４５の回路例は、
図２で示した自己診断回路部６と同じであるので省略す
る。
波数信号を信号処理回路部４３及び自己診断回路部４５
にそれぞれ出力している。信号処理回路部４３は、発振
回路部４４から入力される基準周波数信号を基にして動
作し、出力が物理量センサ４１の出力端子ＯＵＴをな
す。信号処理回路部４３は、センサ部４２から入力され
たＤＣ信号の温度補償を行い、更に増幅を行った後、物
理量センサ４１の出力信号として出力端子ＯＵＴから制
御回路８に出力する。また、自己診断回路部４５は、発
振回路部４４から出力される基準周波数信号を監視し、
該基準周波数信号の周波数が所定の範囲内にあるか否か
の検出を行う。なお、自己診断回路部４５の回路例は、
図２で示した自己診断回路部６と同じであるので省略す
る。
【００２９】このように、本発明の実施の形態１におけ
る物理量センサは、何らかの原因で、発振回路部から基
準周波数信号が出力されない、又は発振回路部から出力
された基準周波数信号の周波数が所定の周波数範囲でな
い場合、該異常を検出し、該異常を検出したことを示す
信号を出力する自己診断回路部を備えた。このことか
ら、基準周波数信号の異常を検出することができ、物理
量センサの出力端子ＯＵＴからは正常範囲内の電圧が出
力されているにもかかわらず、物理量を正常に検出でき
ない異常状態を検出することができ、物理量センサにお
ける信頼性の向上を図ることができる。
る物理量センサは、何らかの原因で、発振回路部から基
準周波数信号が出力されない、又は発振回路部から出力
された基準周波数信号の周波数が所定の周波数範囲でな
い場合、該異常を検出し、該異常を検出したことを示す
信号を出力する自己診断回路部を備えた。このことか
ら、基準周波数信号の異常を検出することができ、物理
量センサの出力端子ＯＵＴからは正常範囲内の電圧が出
力されているにもかかわらず、物理量を正常に検出でき
ない異常状態を検出することができ、物理量センサにお
ける信頼性の向上を図ることができる。
【００３０】実施の形態２．実施の形態１における自己
診断回路部において、入力された基準周波数信号の周波
数変化に対する出力信号の変化が大きくなるようにした
ものを本発明の実施の形態２とする。本発明の実施の形
態２における物理量センサの例を示した概略のブロック
図は、図１の自己診断回路部６を自己診断回路部５１と
し、これに伴って図１の物理量センサ１を物理量センサ
５５とした以外は図１と同じであるので省略する。
診断回路部において、入力された基準周波数信号の周波
数変化に対する出力信号の変化が大きくなるようにした
ものを本発明の実施の形態２とする。本発明の実施の形
態２における物理量センサの例を示した概略のブロック
図は、図１の自己診断回路部６を自己診断回路部５１と
し、これに伴って図１の物理量センサ１を物理量センサ
５５とした以外は図１と同じであるので省略する。
【００３１】図５は、自己診断回路部５１の回路例を示
した図である。なお、図５では、図２で示したものと同
じものは同じ符号で示しており、ここではその説明を省
略すると共に、図２との相違点のみ説明する。図５にお
ける図２との相違点は、図２の自己診断回路部６におけ
る周波数‐電圧変換回路１２にｎｐｎトランジスタ６
１，６２及び抵抗６３，６４を追加したことにあり、こ
れに伴って、図２の周波数‐電圧変換回路１２を周波数
‐電圧変換回路６７としたことにある。
した図である。なお、図５では、図２で示したものと同
じものは同じ符号で示しており、ここではその説明を省
略すると共に、図２との相違点のみ説明する。図５にお
ける図２との相違点は、図２の自己診断回路部６におけ
る周波数‐電圧変換回路１２にｎｐｎトランジスタ６
１，６２及び抵抗６３，６４を追加したことにあり、こ
れに伴って、図２の周波数‐電圧変換回路１２を周波数
‐電圧変換回路６７としたことにある。
【００３２】図５において、コンパレータ２１の出力
は、抵抗６３を介してｎｐｎトランジスタ６１のベース
に接続され、ｎｐｎトランジスタ６１のコレクタは、ｎ
ｐｎトランジスタ６２のベースに接続されると共に、抵
抗６４を介して電源電圧Ｖccが入力される。ｎｐｎトラ
ンジスタ６１及び６２の各エミッタはそれぞれ接地さ
れ、ｎｐｎトランジスタ６２のコレクタはコンパレータ
２２の出力に接続されている。このような構成におい
て、コンパレータ２１の出力が「Ｌ」レベルのとき、ｎ
ｐｎトランジスタ６２はオンし、コンパレータ２２の出
力を「Ｌ」レベルにする。
は、抵抗６３を介してｎｐｎトランジスタ６１のベース
に接続され、ｎｐｎトランジスタ６１のコレクタは、ｎ
ｐｎトランジスタ６２のベースに接続されると共に、抵
抗６４を介して電源電圧Ｖccが入力される。ｎｐｎトラ
ンジスタ６１及び６２の各エミッタはそれぞれ接地さ
れ、ｎｐｎトランジスタ６２のコレクタはコンパレータ
２２の出力に接続されている。このような構成におい
て、コンパレータ２１の出力が「Ｌ」レベルのとき、ｎ
ｐｎトランジスタ６２はオンし、コンパレータ２２の出
力を「Ｌ」レベルにする。
【００３３】図６は、図５で示した自己診断回路部５１
の動作例を示したタイミングチャートである。なお、図
６における図３との相違点は、（ｄ）におけるコンパレ
ータ２２の出力信号Ｖd、及びコンデンサ２６及び抵抗
３２からなるローパスフィルタの出力信号Ｖeにあり、
ここでは図３との相違点を主に説明する。図６におい
て、（ａ）は自己診断回路部５１の入力端子Ｄinに入力
される基準周波数信号Ｖinを、（ｂ）はコンパレータ２
１の出力信号Ｖaを、（ｃ）はコンパレータ２２の反転
入力に入力される信号Ｖb及びコンパレータ２２の非反
転入力に入力される信号Ｖcを、（ｄ）はコンパレータ
２２の出力信号Ｖd、及びコンデンサ２６及び抵抗３２
からなるローパスフィルタの出力信号Ｖe、すなわちコ
ンパレータ２３の反転入力及びコンパレータ２４の非反
転入力の接続部に入力される信号をそれぞれ示してい
る。
の動作例を示したタイミングチャートである。なお、図
６における図３との相違点は、（ｄ）におけるコンパレ
ータ２２の出力信号Ｖd、及びコンデンサ２６及び抵抗
３２からなるローパスフィルタの出力信号Ｖeにあり、
ここでは図３との相違点を主に説明する。図６におい
て、（ａ）は自己診断回路部５１の入力端子Ｄinに入力
される基準周波数信号Ｖinを、（ｂ）はコンパレータ２
１の出力信号Ｖaを、（ｃ）はコンパレータ２２の反転
入力に入力される信号Ｖb及びコンパレータ２２の非反
転入力に入力される信号Ｖcを、（ｄ）はコンパレータ
２２の出力信号Ｖd、及びコンデンサ２６及び抵抗３２
からなるローパスフィルタの出力信号Ｖe、すなわちコ
ンパレータ２３の反転入力及びコンパレータ２４の非反
転入力の接続部に入力される信号をそれぞれ示してい
る。
【００３４】図６の（ｄ）で示した信号Ｖdにおいて、
（ｂ）で示した信号Ｖaが「Ｌ」レベルのとき、コンパ
レータ２２の出力信号Ｖdは「Ｌ」レベルとなる。この
ため、（ｄ）で示した信号Ｖeの信号レベルは低下する
が、基準周波数信号Ｖinの周波数の変化に対する信号Ｖ
eの変化が大きくなる。
（ｂ）で示した信号Ｖaが「Ｌ」レベルのとき、コンパ
レータ２２の出力信号Ｖdは「Ｌ」レベルとなる。この
ため、（ｄ）で示した信号Ｖeの信号レベルは低下する
が、基準周波数信号Ｖinの周波数の変化に対する信号Ｖ
eの変化が大きくなる。
【００３５】このように、本発明の実施の形態２におけ
る物理量センサは、実施の形態１と同様の効果に加え
て、基準周波数信号の周波数の変化に対するコンパレー
タ２２の出力信号のデューティサイクルの変化を大きく
することができ、周波数‐電圧変換回路の感度を向上さ
せることができるため、基準周波数信号における微少な
周波数変化をも検出することができ、物理量センサにお
ける信頼性を更に向上させることができる。
る物理量センサは、実施の形態１と同様の効果に加え
て、基準周波数信号の周波数の変化に対するコンパレー
タ２２の出力信号のデューティサイクルの変化を大きく
することができ、周波数‐電圧変換回路の感度を向上さ
せることができるため、基準周波数信号における微少な
周波数変化をも検出することができ、物理量センサにお
ける信頼性を更に向上させることができる。
【００３６】実施の形態３．実施の形態１及び実施の形
態２において、自己診断回路部が基準周波数信号の異常
を検出して異常検出信号、すなわち「Ｈ」レベルの出力
信号Ｄoutを制御回路８に出力した際、制御回路８が所
定の異常検出処理を正常に行うか否かの動作チェックを
電源投入時に行う場合、電源投入時に自己診断回路部か
らの出力信号Ｄoutを強制的に「Ｈ」レベルにする必要
がある。このようにしたものを本発明の実施の形態３と
する。
態２において、自己診断回路部が基準周波数信号の異常
を検出して異常検出信号、すなわち「Ｈ」レベルの出力
信号Ｄoutを制御回路８に出力した際、制御回路８が所
定の異常検出処理を正常に行うか否かの動作チェックを
電源投入時に行う場合、電源投入時に自己診断回路部か
らの出力信号Ｄoutを強制的に「Ｈ」レベルにする必要
がある。このようにしたものを本発明の実施の形態３と
する。
【００３７】本発明の実施の形態３における物理量セン
サの例を示した概略のブロック図は、図１の自己診断回
路部６を自己診断回路部７１とし、これに伴って図１の
物理量センサ１を物理量センサ７５とした以外は図１と
同じであるので省略する。図７は、自己診断回路部７１
の回路例を示した図である。なお、図７では、図２で示
したものと同じものは同じ符号で示しており、ここでは
その説明を省略すると共に、図２との相違点のみ説明す
る。
サの例を示した概略のブロック図は、図１の自己診断回
路部６を自己診断回路部７１とし、これに伴って図１の
物理量センサ１を物理量センサ７５とした以外は図１と
同じであるので省略する。図７は、自己診断回路部７１
の回路例を示した図である。なお、図７では、図２で示
したものと同じものは同じ符号で示しており、ここでは
その説明を省略すると共に、図２との相違点のみ説明す
る。
【００３８】図７における図２との相違点は、図２の自
己診断回路部６にパワーオンリセット回路７７を追加し
たことにある。図７において、パワーオンリセット回路
７７は、コンパレータ８１、コンデンサ８２及び抵抗８
３〜８７で形成されている。電源電圧Ｖccと接地との間
には、抵抗８３及びコンデンサ８２が直列に接続されて
形成された直列回路が接続されており、該直列回路と並
列に抵抗８５及び８６で形成された直列回路が接続され
ている。抵抗８３とコンデンサ８２との接続部Ｆは、抵
抗８４を介してコンパレータ８１の非反転入力に接続さ
れ、抵抗８５と８６との接続部Ｇは、コンパレータ８１
の反転入力に接続されている。また、コンパレータ８１
において、出力と非反転入力との間に抵抗８７が接続さ
れ、コンパレータ８１の出力は自己診断回路部７１の出
力端子Ｄoutに接続されている。
己診断回路部６にパワーオンリセット回路７７を追加し
たことにある。図７において、パワーオンリセット回路
７７は、コンパレータ８１、コンデンサ８２及び抵抗８
３〜８７で形成されている。電源電圧Ｖccと接地との間
には、抵抗８３及びコンデンサ８２が直列に接続されて
形成された直列回路が接続されており、該直列回路と並
列に抵抗８５及び８６で形成された直列回路が接続され
ている。抵抗８３とコンデンサ８２との接続部Ｆは、抵
抗８４を介してコンパレータ８１の非反転入力に接続さ
れ、抵抗８５と８６との接続部Ｇは、コンパレータ８１
の反転入力に接続されている。また、コンパレータ８１
において、出力と非反転入力との間に抵抗８７が接続さ
れ、コンパレータ８１の出力は自己診断回路部７１の出
力端子Ｄoutに接続されている。
【００３９】上記のような構成において、電源投入と同
時に、抵抗８３とコンデンサ８２の時定数により接続部
Ｆの電圧ＶFが上昇し、該電圧ＶFが、スレッショルド電
圧である接続部Ｇの電圧ＶGを超えるとコンパレータ８
１の出力は「Ｌ」レベルから「Ｈ」レベルに反転する。
ここで、該反転前は、コンパレータ８１の出力は「Ｌ」
レベルであることから、コンパレータ８１の非反転入力
の電圧は、抵抗８４の抵抗値をＲ84とし抵抗８７の抵抗
値をＲ87とすると、（Ｒ87×ＶF）／（Ｒ84＋Ｒ87）と
なる。
時に、抵抗８３とコンデンサ８２の時定数により接続部
Ｆの電圧ＶFが上昇し、該電圧ＶFが、スレッショルド電
圧である接続部Ｇの電圧ＶGを超えるとコンパレータ８
１の出力は「Ｌ」レベルから「Ｈ」レベルに反転する。
ここで、該反転前は、コンパレータ８１の出力は「Ｌ」
レベルであることから、コンパレータ８１の非反転入力
の電圧は、抵抗８４の抵抗値をＲ84とし抵抗８７の抵抗
値をＲ87とすると、（Ｒ87×ＶF）／（Ｒ84＋Ｒ87）と
なる。
【００４０】これに対して、コンパレータ８１の出力が
「Ｌ」レベルから「Ｈ」レベルに反転した後のコンパレ
ータ８１の非反転入力の電圧は、{ＶF＋(Ｖcc−ＶF)×
Ｒ84／(Ｒ84＋Ｒ87)}となる。このように、コンパレー
タ８１の出力が「Ｌ」レベルから「Ｈ」レベルに反転す
る前後で、コンパレータ８１の非反転入力の電圧を電圧
ＶGを挟んで大きく変化するように、抵抗８４，８７の
抵抗値、及び電圧ＶGを設定する。なお、本実施の形態
３においては、実施の形態１の場合を例にして示した
が、実施の形態２の場合においても同様であるのでその
説明を省略する。
「Ｌ」レベルから「Ｈ」レベルに反転した後のコンパレ
ータ８１の非反転入力の電圧は、{ＶF＋(Ｖcc−ＶF)×
Ｒ84／(Ｒ84＋Ｒ87)}となる。このように、コンパレー
タ８１の出力が「Ｌ」レベルから「Ｈ」レベルに反転す
る前後で、コンパレータ８１の非反転入力の電圧を電圧
ＶGを挟んで大きく変化するように、抵抗８４，８７の
抵抗値、及び電圧ＶGを設定する。なお、本実施の形態
３においては、実施の形態１の場合を例にして示した
が、実施の形態２の場合においても同様であるのでその
説明を省略する。
【００４１】このように、本発明の実施の形態３におけ
る物理量センサは、実施の形態１又は実施の形態２の効
果に加えて、電源投入時に出力端子Ｄoutを強制的に所
定の時間「Ｈ」レベルにすることによって、電源投入時
における制御回路８の動作チェックを行う上で、自己診
断回路部が基準周波数信号の異常を検出した際における
動作チェックを行うようにすることができる。
る物理量センサは、実施の形態１又は実施の形態２の効
果に加えて、電源投入時に出力端子Ｄoutを強制的に所
定の時間「Ｈ」レベルにすることによって、電源投入時
における制御回路８の動作チェックを行う上で、自己診
断回路部が基準周波数信号の異常を検出した際における
動作チェックを行うようにすることができる。
【００４２】実施の形態４．実施の形態１から実施の形
態３においては、自己診断回路部は基準周波数信号の異
常を検出するものであったが、更に基準周波数信号以外
の異常をも検出するようにしてもよく、このようにした
ものを本発明の実施の形態４とする。図８は、本発明の
実施の形態４における物理量センサの例を示した概略の
ブロック図である。なお、図８では、角速度を検出する
角速度センサ等のようにセンサ部が基準周波数信号を基
にして動作する物理量センサを例にして示しており、図
１と同じものは同じ符号で示しており、ここではその説
明を省略すると共に、図１との相違点のみ説明する。
態３においては、自己診断回路部は基準周波数信号の異
常を検出するものであったが、更に基準周波数信号以外
の異常をも検出するようにしてもよく、このようにした
ものを本発明の実施の形態４とする。図８は、本発明の
実施の形態４における物理量センサの例を示した概略の
ブロック図である。なお、図８では、角速度を検出する
角速度センサ等のようにセンサ部が基準周波数信号を基
にして動作する物理量センサを例にして示しており、図
１と同じものは同じ符号で示しており、ここではその説
明を省略すると共に、図１との相違点のみ説明する。
【００４３】図８における図１との相違点は、図１の自
己診断回路部６は物理量センサの出力端子ＯＵＴの電圧
をも監視し、該電圧が所定の範囲内にあるか否かの検出
を行い、出力端子ＯＵＴの電圧が所定の範囲内にない場
合、出力端子Ｄoutから異常を示す信号を出力するよう
にしたことにある。このことから、図１の自己診断回路
部６を自己診断回路部９１とし、これに伴って図１の物
理量センサ１を物理量センサ９５とする。
己診断回路部６は物理量センサの出力端子ＯＵＴの電圧
をも監視し、該電圧が所定の範囲内にあるか否かの検出
を行い、出力端子ＯＵＴの電圧が所定の範囲内にない場
合、出力端子Ｄoutから異常を示す信号を出力するよう
にしたことにある。このことから、図１の自己診断回路
部６を自己診断回路部９１とし、これに伴って図１の物
理量センサ１を物理量センサ９５とする。
【００４４】図８において、物理量センサ９５は、セン
サ部２、信号検出回路部３、信号処理回路部４、発振回
路部５及び自己診断回路部９１で形成されている。発振
回路部５は、センサ部２、信号検出回路部３及び自己診
断回路部９１にそれぞれ接続され、更に自己診断回路部
９１は信号処理回路部４の出力に接続されている。信号
処理回路部４及び自己診断回路部９１の各出力は、物理
量センサ９５の出力をなし、マイコン等からなる制御回
路８に接続される。制御回路８は、物理量センサ９５か
ら出力される各信号に基づいて所定の処理を行う。自己
診断回路部９５は、発振回路部５から出力される基準周
波数信号を監視し、該基準周波数信号の周波数が所定の
範囲内にあるか否かの検出を行うと共に、信号処理回路
部４から出力される信号が所定の範囲の電圧であるか否
かの検出を行う。
サ部２、信号検出回路部３、信号処理回路部４、発振回
路部５及び自己診断回路部９１で形成されている。発振
回路部５は、センサ部２、信号検出回路部３及び自己診
断回路部９１にそれぞれ接続され、更に自己診断回路部
９１は信号処理回路部４の出力に接続されている。信号
処理回路部４及び自己診断回路部９１の各出力は、物理
量センサ９５の出力をなし、マイコン等からなる制御回
路８に接続される。制御回路８は、物理量センサ９５か
ら出力される各信号に基づいて所定の処理を行う。自己
診断回路部９５は、発振回路部５から出力される基準周
波数信号を監視し、該基準周波数信号の周波数が所定の
範囲内にあるか否かの検出を行うと共に、信号処理回路
部４から出力される信号が所定の範囲の電圧であるか否
かの検出を行う。
【００４５】図９は、自己診断回路部９１の回路例を示
した図である。なお、図９において、図２と同じものは
同じ符号で示しており、ここではその説明を省略すると
共に図２との相違点のみ説明する。図９における図２と
の相違点は、信号処理回路部４から出力される信号の電
圧を監視する出力異常判定回路１００を追加したことに
ある。図９において、自己診断回路部９１は、波形整形
回路１１、周波数‐電圧変換回路１２、異常判定回路１
３及び出力異常判定回路１００で構成され、出力異常判
定回路１００は、コンパレータ１０１，１０２及び抵抗
１０３〜１０５からなり、コンパレータ１０１及び１０
２はウインドコンパレータを形成している。
した図である。なお、図９において、図２と同じものは
同じ符号で示しており、ここではその説明を省略すると
共に図２との相違点のみ説明する。図９における図２と
の相違点は、信号処理回路部４から出力される信号の電
圧を監視する出力異常判定回路１００を追加したことに
ある。図９において、自己診断回路部９１は、波形整形
回路１１、周波数‐電圧変換回路１２、異常判定回路１
３及び出力異常判定回路１００で構成され、出力異常判
定回路１００は、コンパレータ１０１，１０２及び抵抗
１０３〜１０５からなり、コンパレータ１０１及び１０
２はウインドコンパレータを形成している。
【００４６】出力異常判定回路１００において、電源電
圧Ｖccと接地との間には、抵抗１０３〜１０５が直列に
接続された直列回路が接続されており、抵抗１０３と１
０４との接続部はコンパレータ１０１の非反転入力に接
続され、抵抗１０４と１０５との接続部はコンパレータ
１０２の反転入力に接続されている。コンパレータ１０
１の反転入力とコンパレータ１０２の非反転入力は接続
され、該接続部を入力端子Ｄin1とし、入力端子Ｄin1は
信号処理回路部４の出力に接続されている。また、コン
パレータ１０１及び１０２の各出力は互いに接続され、
該接続部は出力異常判定回路１００の出力をなし、自己
診断回路部９１の出力端子Ｄoutに接続されている。
圧Ｖccと接地との間には、抵抗１０３〜１０５が直列に
接続された直列回路が接続されており、抵抗１０３と１
０４との接続部はコンパレータ１０１の非反転入力に接
続され、抵抗１０４と１０５との接続部はコンパレータ
１０２の反転入力に接続されている。コンパレータ１０
１の反転入力とコンパレータ１０２の非反転入力は接続
され、該接続部を入力端子Ｄin1とし、入力端子Ｄin1は
信号処理回路部４の出力に接続されている。また、コン
パレータ１０１及び１０２の各出力は互いに接続され、
該接続部は出力異常判定回路１００の出力をなし、自己
診断回路部９１の出力端子Ｄoutに接続されている。
【００４７】上記のような構成において、出力異常判定
回路１００は、信号処理回路部４から出力される信号の
電圧、すなわち入力端子Ｄin1に入力される信号の電圧
が、抵抗１０３〜１０５で設定されたスレッショルド電
圧の範囲内であれば、出力が「Ｈ」レベルとなり、自己
診断回路部９１の出力端子Ｄoutの信号レベルは異常判
定回路１３の出力信号によって決まる。一方、出力異常
判定回路１００は、入力端子Ｄin1に入力される信号の
電圧が、抵抗１０３〜１０５で設定されたスレッショル
ド電圧の範囲外であれば、出力が「Ｌ」レベルとなり、
出力端子Ｄoutから異常を示す信号、例えば図９の場合
「Ｌ」レベルの信号が制御回路８に出力される。制御回
路８は、該異常を示す信号が入力されると、信号処理回
路部４から入力される信号を無視すると共に、上記異常
に対する所定の処理を行う。
回路１００は、信号処理回路部４から出力される信号の
電圧、すなわち入力端子Ｄin1に入力される信号の電圧
が、抵抗１０３〜１０５で設定されたスレッショルド電
圧の範囲内であれば、出力が「Ｈ」レベルとなり、自己
診断回路部９１の出力端子Ｄoutの信号レベルは異常判
定回路１３の出力信号によって決まる。一方、出力異常
判定回路１００は、入力端子Ｄin1に入力される信号の
電圧が、抵抗１０３〜１０５で設定されたスレッショル
ド電圧の範囲外であれば、出力が「Ｌ」レベルとなり、
出力端子Ｄoutから異常を示す信号、例えば図９の場合
「Ｌ」レベルの信号が制御回路８に出力される。制御回
路８は、該異常を示す信号が入力されると、信号処理回
路部４から入力される信号を無視すると共に、上記異常
に対する所定の処理を行う。
【００４８】ここで、物理量センサ９５の出力端子ＯＵ
Ｔに、制御回路８内でクランプ回路が接続されている場
合、出力端子ＯＵＴは、物理量センサ９５内で異常が発
生した場合においても、常に出力異常判定回路１００で
設定されたスレッショルド電圧の範囲内になることがあ
る。このような場合は、信号処理回路部４内において温
度補償が行われた後、増幅される前の信号が入力端子Ｄ
in1に入力されるようにすることにより、物理量センサ
９５において、信号処理回路部４内における増幅回路以
外の異常を検出することができる。
Ｔに、制御回路８内でクランプ回路が接続されている場
合、出力端子ＯＵＴは、物理量センサ９５内で異常が発
生した場合においても、常に出力異常判定回路１００で
設定されたスレッショルド電圧の範囲内になることがあ
る。このような場合は、信号処理回路部４内において温
度補償が行われた後、増幅される前の信号が入力端子Ｄ
in1に入力されるようにすることにより、物理量センサ
９５において、信号処理回路部４内における増幅回路以
外の異常を検出することができる。
【００４９】一方、図８では、角速度センサ等のように
センサ部が基準周波数信号を基にして動作する物理量セ
ンサを例にして説明したが、センサ部が基準周波数信号
を基にして動作しない物理量センサの場合について説明
する。図１０は、本発明の実施の形態４における物理量
センサの他の例を示した概略のブロック図である。な
お、図１０では、加速度を検出する加速度センサ等のよ
うにセンサ部が基準周波数信号を基にして動作しない物
理量センサを示しており、図４と同じものは同じ符号で
示しており、ここではその説明を省略すると共に、図４
との相違点のみ説明する。
センサ部が基準周波数信号を基にして動作する物理量セ
ンサを例にして説明したが、センサ部が基準周波数信号
を基にして動作しない物理量センサの場合について説明
する。図１０は、本発明の実施の形態４における物理量
センサの他の例を示した概略のブロック図である。な
お、図１０では、加速度を検出する加速度センサ等のよ
うにセンサ部が基準周波数信号を基にして動作しない物
理量センサを示しており、図４と同じものは同じ符号で
示しており、ここではその説明を省略すると共に、図４
との相違点のみ説明する。
【００５０】図１０における図４との相違点は、図４の
自己診断回路部４５は物理量センサの出力端子ＯＵＴの
電圧をも監視し、該電圧が所定の範囲内にあるか否かの
検出を行い、出力端子ＯＵＴの電圧が所定の範囲内にな
い場合、出力端子Ｄoutから異常を示す信号を出力する
ようにしたことにある。このことから、図４の自己診断
回路部４５を自己診断回路部１１１とし、これに伴って
図４の物理量センサ４１を物理量センサ１１５とする。
自己診断回路部４５は物理量センサの出力端子ＯＵＴの
電圧をも監視し、該電圧が所定の範囲内にあるか否かの
検出を行い、出力端子ＯＵＴの電圧が所定の範囲内にな
い場合、出力端子Ｄoutから異常を示す信号を出力する
ようにしたことにある。このことから、図４の自己診断
回路部４５を自己診断回路部１１１とし、これに伴って
図４の物理量センサ４１を物理量センサ１１５とする。
【００５１】図１０において、物理量センサ１１５は、
センサ部４２、信号処理回路部４３、発振回路部４４及
び自己診断回路部１１１で形成されている。発振回路部
４４は、信号処理回路部４３及び自己診断回路部１１１
にそれぞれ接続され、更に自己診断回路部１１１は、信
号処理回路部４３の出力に接続されている。信号処理回
路部４３及び自己診断回路部１１１の各出力は、物理量
センサ１１５の出力をなし、マイコン等からなる制御回
路８に接続される。
センサ部４２、信号処理回路部４３、発振回路部４４及
び自己診断回路部１１１で形成されている。発振回路部
４４は、信号処理回路部４３及び自己診断回路部１１１
にそれぞれ接続され、更に自己診断回路部１１１は、信
号処理回路部４３の出力に接続されている。信号処理回
路部４３及び自己診断回路部１１１の各出力は、物理量
センサ１１５の出力をなし、マイコン等からなる制御回
路８に接続される。
【００５２】制御回路８は、物理量センサ１１５から出
力される各信号に基づいて所定の処理を行う。自己診断
回路部１１１は、発振回路部４４から出力される基準周
波数信号を監視し、該基準周波数信号の周波数が所定の
範囲内にあるか否かの検出を行うと共に、信号処理回路
部４３から出力される信号が所定の範囲の電圧であるか
否かの検出を行う。なお、自己診断回路部１１１の回路
例は、図９で示した自己診断回路部９１と同じであるの
で省略する。
力される各信号に基づいて所定の処理を行う。自己診断
回路部１１１は、発振回路部４４から出力される基準周
波数信号を監視し、該基準周波数信号の周波数が所定の
範囲内にあるか否かの検出を行うと共に、信号処理回路
部４３から出力される信号が所定の範囲の電圧であるか
否かの検出を行う。なお、自己診断回路部１１１の回路
例は、図９で示した自己診断回路部９１と同じであるの
で省略する。
【００５３】ここで、物理量センサ１１５の出力端子Ｏ
ＵＴに、制御回路８内でクランプ回路が接続されている
場合、出力端子ＯＵＴは、物理量センサ１１５内で異常
が発生した場合においても、常に出力異常判定回路１０
０で設定されたスレッショルド電圧の範囲内になること
がある。このような場合は、信号処理回路部４３内にお
いて温度補償が行われた後、増幅される前の信号が入力
端子Ｄin1に入力されるようにすることにより、物理量
センサ１１５において、信号処理回路部４３内における
増幅回路以外の異常を検出することができる。なお、本
実施の形態４においては、実施の形態１の場合を例にし
て示したが、実施の形態２及び実施の形態３の場合にお
いても同様であるのでその説明を省略する。
ＵＴに、制御回路８内でクランプ回路が接続されている
場合、出力端子ＯＵＴは、物理量センサ１１５内で異常
が発生した場合においても、常に出力異常判定回路１０
０で設定されたスレッショルド電圧の範囲内になること
がある。このような場合は、信号処理回路部４３内にお
いて温度補償が行われた後、増幅される前の信号が入力
端子Ｄin1に入力されるようにすることにより、物理量
センサ１１５において、信号処理回路部４３内における
増幅回路以外の異常を検出することができる。なお、本
実施の形態４においては、実施の形態１の場合を例にし
て示したが、実施の形態２及び実施の形態３の場合にお
いても同様であるのでその説明を省略する。
【００５４】このように、本発明の実施の形態４におけ
る物理量センサは、基準周波数信号の異常だけでなく、
物理量センサの出力信号の異常をも検出するようにし
た。このことから、実施の形態１、実施の形態２又は実
施の形態３のいずれかの効果に加えて、基準周波数信号
以外の異常をも検出することができ、物理量センサにお
ける信頼性を更に一層向上させることができる。
る物理量センサは、基準周波数信号の異常だけでなく、
物理量センサの出力信号の異常をも検出するようにし
た。このことから、実施の形態１、実施の形態２又は実
施の形態３のいずれかの効果に加えて、基準周波数信号
以外の異常をも検出することができ、物理量センサにお
ける信頼性を更に一層向上させることができる。
【００５５】
【発明の効果】請求項１に係る物理量センサは、センサ
部が発振回路部から出力された信号を基にして動作する
場合において、発振回路部から出力される所定の周波数
の信号が、何らかの原因で出力されない、又は所定の周
波数範囲にない場合、該信号の異常を検出して所定の異
常検出信号を出力する自己診断回路部を備えた。このこ
とから、センサ部が発振回路部から出力された信号を基
にして動作する場合において、所定の周波数の信号の異
常を検出することができ、物理量センサの出力端子、す
なわち信号処理部の出力からは正常範囲内の電圧が出力
されているにもかかわらず、物理量を正常に検出できな
い異常状態を検出することができ、物理量センサにおけ
る信頼性の向上を図ることができる。
部が発振回路部から出力された信号を基にして動作する
場合において、発振回路部から出力される所定の周波数
の信号が、何らかの原因で出力されない、又は所定の周
波数範囲にない場合、該信号の異常を検出して所定の異
常検出信号を出力する自己診断回路部を備えた。このこ
とから、センサ部が発振回路部から出力された信号を基
にして動作する場合において、所定の周波数の信号の異
常を検出することができ、物理量センサの出力端子、す
なわち信号処理部の出力からは正常範囲内の電圧が出力
されているにもかかわらず、物理量を正常に検出できな
い異常状態を検出することができ、物理量センサにおけ
る信頼性の向上を図ることができる。
【００５６】請求項２に係る物理量センサは、信号処理
部のみが発振回路部から出力された信号を基にして動作
する場合において、発振回路部から出力される所定の周
波数の信号が、何らかの原因で出力されない、又は所定
の周波数範囲にない場合、該信号の異常を検出して所定
の異常検出信号を出力する自己診断回路部を備えた。こ
のことから、信号処理部のみが発振回路部から出力され
た信号を基にして動作する場合において、所定の周波数
の信号の異常を検出することができ、物理量センサの出
力端子、すなわち信号処理部の出力からは正常範囲内の
電圧が出力されているにもかかわらず、物理量を正常に
検出できない異常状態を検出することができ、物理量セ
ンサにおける信頼性の向上を図ることができる。
部のみが発振回路部から出力された信号を基にして動作
する場合において、発振回路部から出力される所定の周
波数の信号が、何らかの原因で出力されない、又は所定
の周波数範囲にない場合、該信号の異常を検出して所定
の異常検出信号を出力する自己診断回路部を備えた。こ
のことから、信号処理部のみが発振回路部から出力され
た信号を基にして動作する場合において、所定の周波数
の信号の異常を検出することができ、物理量センサの出
力端子、すなわち信号処理部の出力からは正常範囲内の
電圧が出力されているにもかかわらず、物理量を正常に
検出できない異常状態を検出することができ、物理量セ
ンサにおける信頼性の向上を図ることができる。
【００５７】請求項３に係る物理量センサは、請求項１
又は請求項２のいずれかにおいて、具体的には、上記自
己診断回路部は、波形整形回路、周波数‐電圧変換回路
及び異常判定回路で構成され、発振回路部から出力され
た所定の周波数の信号を波形整形回路で矩形波に波形整
形し、該波形整形した信号の周波数を周波数‐電圧変換
回路で直流電圧に変換し、該変換した直流電圧値から異
常判定回路で発振回路部から出力された信号に対する異
常の有無を判定する。このことから、所定の周波数の信
号の異常を検出することができ、物理量センサの出力端
子、すなわち信号処理部の出力からは正常範囲内の電圧
が出力されているにもかかわらず、物理量を正常に検出
できない異常状態を検出することができ、物理量センサ
における信頼性の向上を図ることができる。
又は請求項２のいずれかにおいて、具体的には、上記自
己診断回路部は、波形整形回路、周波数‐電圧変換回路
及び異常判定回路で構成され、発振回路部から出力され
た所定の周波数の信号を波形整形回路で矩形波に波形整
形し、該波形整形した信号の周波数を周波数‐電圧変換
回路で直流電圧に変換し、該変換した直流電圧値から異
常判定回路で発振回路部から出力された信号に対する異
常の有無を判定する。このことから、所定の周波数の信
号の異常を検出することができ、物理量センサの出力端
子、すなわち信号処理部の出力からは正常範囲内の電圧
が出力されているにもかかわらず、物理量を正常に検出
できない異常状態を検出することができ、物理量センサ
における信頼性の向上を図ることができる。
【００５８】請求項４に係る物理量センサは、請求項３
において、具体的には、周波数‐電圧変換回路は、周波
数変換回路及び整流回路で形成され、波形整形回路で矩
形波に波形整形された信号の周波数を周波数変換回路で
デューティサイクルの変化に変換し、該デューティサイ
クルの変化に変換された信号を整流回路で整流する。こ
のことから、所定の周波数の信号の異常を検出すること
ができ、物理量センサの出力端子、すなわち信号処理部
の出力からは正常範囲内の電圧が出力されているにもか
かわらず、物理量を正常に検出できない異常状態を検出
することができ、物理量センサにおける信頼性の向上を
図ることができる。
において、具体的には、周波数‐電圧変換回路は、周波
数変換回路及び整流回路で形成され、波形整形回路で矩
形波に波形整形された信号の周波数を周波数変換回路で
デューティサイクルの変化に変換し、該デューティサイ
クルの変化に変換された信号を整流回路で整流する。こ
のことから、所定の周波数の信号の異常を検出すること
ができ、物理量センサの出力端子、すなわち信号処理部
の出力からは正常範囲内の電圧が出力されているにもか
かわらず、物理量を正常に検出できない異常状態を検出
することができ、物理量センサにおける信頼性の向上を
図ることができる。
【００５９】請求項５に係る物理量センサは、請求項４
において、発振回路部から出力された信号の周波数の変
化に対する周波数変換回路の出力信号のデューティサイ
クルの変化を大きくすることができ、周波数‐電圧変換
回路の感度を向上させることができるため、発振回路部
から出力された信号における微少な周波数変化をも検出
することができ、物理量センサにおける信頼性を更に向
上させることができる。
において、発振回路部から出力された信号の周波数の変
化に対する周波数変換回路の出力信号のデューティサイ
クルの変化を大きくすることができ、周波数‐電圧変換
回路の感度を向上させることができるため、発振回路部
から出力された信号における微少な周波数変化をも検出
することができ、物理量センサにおける信頼性を更に向
上させることができる。
【００６０】請求項６に係る物理量センサは、請求項１
から請求項５のいずれかにおいて、電源投入時に異常検
出信号を強制的に所定の時間出力するようにしたことか
ら、電源投入時における物理量センサからの信号に応じ
て所定の処理を行う外部回路の動作チェックを行う上
で、自己診断回路部が発振回路部から出力される信号の
異常を検出した際における動作チェックを行うようにす
ることができる。
から請求項５のいずれかにおいて、電源投入時に異常検
出信号を強制的に所定の時間出力するようにしたことか
ら、電源投入時における物理量センサからの信号に応じ
て所定の処理を行う外部回路の動作チェックを行う上
で、自己診断回路部が発振回路部から出力される信号の
異常を検出した際における動作チェックを行うようにす
ることができる。
【００６１】請求項７に係る物理量センサは、請求項１
から請求項６のいずれかにおいて、自己診断回路部は、
発振回路部から出力される信号の異常だけでなく、信号
処理部の出力信号の異常をも検出するようにした。この
ことから、発振回路部から出力される信号以外の異常を
も検出することができ、物理量センサにおける信頼性を
更に一層向上させることができる。
から請求項６のいずれかにおいて、自己診断回路部は、
発振回路部から出力される信号の異常だけでなく、信号
処理部の出力信号の異常をも検出するようにした。この
ことから、発振回路部から出力される信号以外の異常を
も検出することができ、物理量センサにおける信頼性を
更に一層向上させることができる。
【００６２】請求項８に係る物理量センサは、請求項１
から請求項６のいずれかにおいて、自己診断回路部は、
発振回路部から出力される信号の異常だけでなく、信号
処理部で信号処理されている信号の異常をも検出するよ
うにした。このことから、信号処理部の出力に外部回路
等によってクランプ回路が接続されている場合において
も、発振回路部から出力される信号以外の異常をも検出
することができ、物理量センサにおける信頼性を更に一
層向上させることができる。
から請求項６のいずれかにおいて、自己診断回路部は、
発振回路部から出力される信号の異常だけでなく、信号
処理部で信号処理されている信号の異常をも検出するよ
うにした。このことから、信号処理部の出力に外部回路
等によってクランプ回路が接続されている場合において
も、発振回路部から出力される信号以外の異常をも検出
することができ、物理量センサにおける信頼性を更に一
層向上させることができる。
【図１】 本発明の実施の形態１における物理量センサ
の例を示した概略のブロック図である。
の例を示した概略のブロック図である。
【図２】 図１の自己診断回路部６の回路例を示した図
である。
である。
【図３】 図２で示した自己診断回路部６の動作例を示
したタイミングチャートである。
したタイミングチャートである。
【図４】 本発明の実施の形態１における物理量センサ
の他の例を示した概略のブロック図である。
の他の例を示した概略のブロック図である。
【図５】 本発明の実施の形態２における自己診断回路
部の回路例を示した図である。
部の回路例を示した図である。
【図６】 図５で示した自己診断回路部５１の動作例を
示したタイミングチャートである。
示したタイミングチャートである。
【図７】 本発明の実施の形態３における自己診断回路
部の回路例を示した図である。
部の回路例を示した図である。
【図８】 本発明の実施の形態４における物理量センサ
の例を示した概略のブロック図である。
の例を示した概略のブロック図である。
【図９】 図８の自己診断回路部９１の回路例を示した
図である。
図である。
【図１０】 本発明の実施の形態４における物理量セン
サの他の例を示した概略のブロック図である。
サの他の例を示した概略のブロック図である。
【図１１】 物理量センサの従来例を示した概略のブロ
ック図である。
ック図である。
１，４１，５５，７５，９５，１１５ 物理量センサ、
２，４２ センサ部、 ３ 信号検出回路部、 ４，
４３ 信号処理回路部、 ５，４４ 発振回路部、
６，４５，５１，７１，９１，１１１ 自己診断回路
部、 １１ 波形整形回路、 １２，６７ 周波数‐電
圧変換回路、 １３ 異常判定回路、 ２２コンパレー
タ、 ２５，２６ コンデンサ、 ２９〜３２，６３，
６４ 抵抗、 ６１，６２ ｎｐｎトランジスタ、 ７
７ パワーオンリセット回路、 １００ 出力異常判定
回路
２，４２ センサ部、 ３ 信号検出回路部、 ４，
４３ 信号処理回路部、 ５，４４ 発振回路部、
６，４５，５１，７１，９１，１１１ 自己診断回路
部、 １１ 波形整形回路、 １２，６７ 周波数‐電
圧変換回路、 １３ 異常判定回路、 ２２コンパレー
タ、 ２５，２６ コンデンサ、 ２９〜３２，６３，
６４ 抵抗、 ６１，６２ ｎｐｎトランジスタ、 ７
７ パワーオンリセット回路、 １００ 出力異常判定
回路
Claims (8)
- 【請求項１】 物理量の検出を行う物理量センサにおい
て、 所定の周波数の信号を生成して出力する発振回路部と、 該発振回路部から出力された信号を基にして動作し、物
理量を電気信号に変換するセンサ部と、 上記発振回路部から出力された信号を用いて、該センサ
部で変換された電気信号に対して所定の信号処理を行っ
て出力する信号処理部と、 上記発振回路部から出力される信号を監視し、該信号の
異常を検出すると所定の異常検出信号を出力する自己診
断回路部とを備えることを特徴とする物理量センサ。 - 【請求項２】 物理量の検出を行う物理量センサにおい
て、 物理量を電気信号に変換するセンサ部と、 所定の周波数の信号を生成して出力する発振回路部と、 該発振回路部から出力された信号を基にして動作し、上
記センサ部で変換された電気信号に対して所定の信号処
理を行って出力する信号処理部と、 上記発振回路部から出力される信号を監視し、該信号の
異常を検出すると所定の異常検出信号を出力する自己診
断回路部とを備えることを特徴とする物理量センサ。 - 【請求項３】 上記自己診断回路部は、 発振回路部から出力された信号の波形整形を行う波形整
形回路と、 該波形整形回路で波形整形された信号の周波数を直流電
圧に変換する周波数‐電圧変換回路と、 該周波数‐電圧変換回路で変換された直流電圧値から発
振回路部から出力された信号の異常の有無を判定し、該
判定結果を出力する異常判定回路とで構成されることを
特徴とする請求項１又は請求項２のいずれかに記載の物
理量センサ。 - 【請求項４】 上記周波数‐電圧変換回路は、 入力された信号の周波数変化をデューティサイクルの変
化に変換する周波数変換回路と、 該周波数変換回路で変換された信号の整流を行う整流回
路とで形成されることを特徴とする請求項３に記載の物
理量センサ。 - 【請求項５】 上記波形整形回路は、発振回路部から出
力された信号を矩形波に波形整形し、上記周波数‐電圧
変換回路は、波形整形回路で波形整形された信号の信号
レベルがＬｏｗレベルのとき、上記周波数変換回路の出
力をＬｏｗレベルにする回路を更に備えることを特徴と
する請求項４に記載の物理量センサ。 - 【請求項６】 上記自己診断回路部は、電源投入から所
定の時間、上記異常検出信号を出力するパワーオンリセ
ット回路を更に備えることを特徴とする請求項１から請
求項５のいずれかに記載の物理量センサ。 - 【請求項７】 上記自己診断回路部は、信号処理部の出
力信号を監視し、該信号の異常を検出すると所定の異常
検出信号を出力する出力異常検出回路を更に備えること
を特徴とする請求項１から請求項６のいずれかに記載の
物理量センサ。 - 【請求項８】 上記自己診断回路部は、信号処理部で信
号処理されている信号を監視し、該信号の異常を検出す
ると所定の異常検出信号を出力する出力異常検出回路を
更に備えることを特徴とする請求項１から請求項６のい
ずれかに記載の物理量センサ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9171599A JPH1114663A (ja) | 1997-06-27 | 1997-06-27 | 物理量センサ |
| DE19808349A DE19808349C2 (de) | 1997-06-27 | 1998-02-27 | Sensor für physikalische Parameter |
| US09/031,673 US6137287A (en) | 1997-06-27 | 1998-02-27 | Physical parameter sensor having a self-testing circuit which recognizes an abnormal sensor state |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9171599A JPH1114663A (ja) | 1997-06-27 | 1997-06-27 | 物理量センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1114663A true JPH1114663A (ja) | 1999-01-22 |
Family
ID=15926162
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9171599A Pending JPH1114663A (ja) | 1997-06-27 | 1997-06-27 | 物理量センサ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6137287A (ja) |
| JP (1) | JPH1114663A (ja) |
| DE (1) | DE19808349C2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2022155008A (ja) * | 2021-03-30 | 2022-10-13 | 横河電機株式会社 | フィールド機器 |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6229297B1 (en) * | 1999-06-30 | 2001-05-08 | Hewlett-Packard Company | Device for determining the position of an object relative to a surface |
| DE10020081A1 (de) * | 2000-04-22 | 2001-10-25 | Bosch Gmbh Robert | Anordnung zur Detektion eines Flüssigkeitspegels |
| JP4296811B2 (ja) * | 2003-03-25 | 2009-07-15 | 株式会社デンソー | 物理量センサ装置 |
| US7321234B2 (en) * | 2003-12-18 | 2008-01-22 | Lecroy Corporation | Resistive test probe tips and applications therefor |
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| FR2913111B1 (fr) * | 2007-02-28 | 2009-08-21 | Hispano Suiza Sa | Detection de panne de l'excitation sinusoidale d'une charge electrique. |
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| JP5768016B2 (ja) | 2012-07-25 | 2015-08-26 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | センサ装置 |
| CN104182318B (zh) * | 2013-05-28 | 2016-08-24 | 英业达科技有限公司 | 测试装置 |
| DE102014119531B4 (de) * | 2014-12-23 | 2019-06-27 | Infineon Technologies Ag | Sensorschaltung |
| US10401438B2 (en) * | 2016-03-08 | 2019-09-03 | Ablic Inc. | Magnetic sensor and magnetic sensor device |
| JP6797035B2 (ja) * | 2016-03-08 | 2020-12-09 | エイブリック株式会社 | 磁気センサ及び磁気センサ装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH0726982B2 (ja) * | 1987-04-13 | 1995-03-29 | ソニ−マグネスケ−ル株式会社 | レベル検出回路 |
| US5686835A (en) * | 1989-01-18 | 1997-11-11 | Nippondenso Co., Ltd | Physical quantity detection device for converting a physical quantity into a corresponding time interval |
| JPH04102326A (ja) * | 1990-08-22 | 1992-04-03 | Nikko Kyodo Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
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- 1997-06-27 JP JP9171599A patent/JPH1114663A/ja active Pending
-
1998
- 1998-02-27 DE DE19808349A patent/DE19808349C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1998-02-27 US US09/031,673 patent/US6137287A/en not_active Expired - Fee Related
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| US11959783B2 (en) | 2021-03-30 | 2024-04-16 | Yokogawa Electric Corporation | Field device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE19808349A1 (de) | 1999-02-11 |
| DE19808349C2 (de) | 2003-05-28 |
| US6137287A (en) | 2000-10-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20040526 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20061208 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20070816 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20071106 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20071119 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101207 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 3 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101207 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 3 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101207 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111207 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111207 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121207 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121207 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121207 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131207 Year of fee payment: 6 |
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| R250 | Receipt of annual fees |
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