DE4322897A1

DE4322897A1 - Drehzahlmeßeinrichtung

Info

Publication number: DE4322897A1
Application number: DE4322897A
Authority: DE
Inventors: Juergen Blumenauer
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1993-07-09
Filing date: 1993-07-09
Publication date: 1995-01-12

Description

Die Erfindung betrifft ein kapazitiv arbeitendes Meßver fahren zur Erfassung der Bewegung von Objekten, insbeson dere zur Drehzahlmessung von sich drehenden Gegenständen unter Meßbedingungen, wo sich die relative Dielektrizitäts konstante im Meßgebiet unvorhersehbar ändern kann.

Die üblichen kapazitiven Meßverfahren werden nur dort ein gesetzt, wo das die relative Dielektrizitätskonstante im Meßraum bestimmende Dielektrikum immer gleich bleibt. Dabei bilden Meßelektrode und Objekt einen Kondensator, dessen Kapazität sich, abhängig vom Abstand zwischen Objekt und Meßelektrode, ändert. Der Zusammenhang zwischen Kapazität und Abstand wird verfälscht, wenn sich die Dielektrizitäts konstante im Meßraum ändert. Deshalb werden bisher in Fäl len, wo sich die relative Dielektrizitätskonstante ändern kann, andere Meßverfahren angewendet, z. B. induktive oder auf dem Halleffekt basierende oder andere Meßverfahren.

Die Erfindung hat sich zur Aufgabe gestellt, ein kapazitives Meßverfahren zu erstellen, welches sich weitgehend unabhängig von der relativen Dielektri zitätskonstanten im Meßraum zum Erfassen von Objekt bewegungen, insbesondere zur Drehzahlmessung, eignet.

Die Lösung der Aufgabe wird anhand der Zeichnungen im folgenden näher erläutert. Dabei zeigt

Fig. 1 ein drehbar gelagertes Zahnrad, umgeben von zwei aus Einzelelektroden zusammengesetzten Elektroden, die mit dem Zahnrad einen Diffe rentialkondensator bilden, dessen Veränderung von der Kapazitätsmeßeinrichtung 12 als Span nungsveränderung angezeigt wird,

Fig. 2 das Schaltprinzip von Fig. 1,

Fig. 3 ein Zahnrad wie in Fig. 1, aber von nur einer aus Einzelelektroden zusammengesetzten Elektrode umgeben, deren Kapazität mit dem Zahnrad von der Kapazitätsmeßeinrichtung 12 mit einem Festkondensator verglichen wird,

Fig. 4 ein der Kapazitätsmeßeinrichtung 12 nachge schalteter Wechselspannungsverstärker 20,

Fig. 5 einen Teilschnitt durch ein Radlager mit eingebautem erfindungsgemäßen Drehzahlfühler,

Fig. 6 einen vergrößerten Ausschnitt von Fig. 5,

Fig. 7 eine spezielle Ausgestaltung des beweglichen Objektes,

Fig. 8 eine spezielle Ausgestaltung der Meßelektrode,

Fig. 9 eine Modifikation von Fig. 8,

Fig. 10 eine Schaltungsskizze,

Fig. 11 eine Schaltungsskizze einer speziellen Kapazitätsmeßeinrichtung.

Das zu erfassende Objekt O3 bildet mit zwei an zwei gegensätzlich wirkenden Eingängen einer Kapazitäts meßeinrichtung 12 angeschlossenen Elektroden E6 und E7 einen Differentialkondensator, wobei jede Elektrode und das Objekt in Einzelelektroden und Einzelobjekte aufgeteilt sind. Eine solche Anordnung, wo das Objekt ein auf der Welle 1 drehbar gelagertes Zahnrad 2, jedes Zahndach 3 ein Einzelobjekt und die Einzelelektroden 6 und 7 als ebene oder ent sprechend der Kreisbahn gekrümmte Flächen konzentrisch zur Objektdrehachse angeordnet sind, zeigt Fig. 1.

Der Verbindungsring 4 verbindet die Einzelelektro den 6 und der Verbindungsring 5 verbindet die Einzel elektroden 7 elektrisch miteinander. Die Elektroden anordnung gemäß Fig. 1 ist so aufgebaut, daß sich zwischen zwei benachbarten Einzelelektroden 6 jeweils eine Einzelelektrode 7 befindet.

Hat das Zahnrad 2 n Zähne, dann hat die Elektrode E6 mn Einzelelektroden oder n/p Einzelelektroden, wobei m, n, p, n/p natürliche Zahlen sind. Bei der meßtechnisch vorteilhaftesten Anordnung ist n mög lichst groß und m = n und p = 1.

Die Einzelelektroden 6 und 7 sind konzentrisch zu den Zahndächern 3 wie diese auf einer Kreisbahn angeordnet, die die Zahnraddrehachse als Mittel punkt hat. Alle benachbarten Einzelelektroden haben bezüglich der Zahnraddrehachse denselben Winkel miteinander.

Bei der Elektrodenanordnung gemäß Fig. 1 bildet die Elektrode E6, das ist die Gesamtheit der Einzel elektroden 6, mit der Elektrode E7, das ist die Gesamtheit der Einzelelektroden 7 und der Objekt elektrode O3, das ist die Gesamtheit der Zahndächer 3, einen Differentialkondensator, wobei die Objekt elektrode eine Mittelelektrode bildet.

Über die Leitung 8 werden die Einzelelektroden 6 mit dem Eingang 10 und über die Leitung 9 werden die Einzelelektroden 7 mit dem entgegengesetzt wir kenden Eingang 11 verbunden. Die Ausgangsspannung der Kapazitätsmeßeinrichtung 12 liegt am Punkt 13 an. Der Oszillator 14 versorgt das Zahnrad 2 mit einer hochfrequenten Wechselspannung HF. 17 ist die negative und 16 ist die positive Versorgungs spannung.

Stehen die Zahndächer 3 mittig zwischen den Einzel elektroden 6 und 7, dann ist der Differentialkon densator symmetrisch und die Ausgansspannung der Kapazitätsmeßeinrichtung 12 ist null bzw. gleich einer Referenzspannung, die vorteilhaft mittig zwischen der positiven Versorgungsspannung 16 und der negativen Versorgungsspannung 17 liegt.

Stehen die Zahndächer 3 genau vor den Einzele lektroden 6, dann ist die Kapazität des Kondensators E6-O3 maximal und die Ausgangsspannung der Kapazi tätsmeßeinrichtung 12 am Punkt 13 ist maximal.

Stehen die Zahndächer 3 genau vor den Einzele lektroden 7, dann ist die Kapazität des Kondensators E7-O3 maximal und die Ausgangsspannung der Kapazi tätsmeßeinrichtung 12 ist minimal. Bei der Elektro denanordnung gemäß Fig. 1 macht die Ausgangsspannung an 13 bei einer Zahnradumdrehung sechzehn Nulldurchgänge.

Dringt nun ein Dielektrikum mit anderer Dielek trizitätskonstante in ein Teilgebiet des Meßraumes zwischen den Zahndächern 3 und den Einzelelektroden 6 und 7 ein, dann werden immer paarweise Einzelelek troden 6 und 7 von dem neuen Dielektrikum umgeben und die Winkelstellung des Zahnrades 2 für die Null durchgangsspannung ändert sich nicht, wenn das neue Dielektrikum sich so ausgebreitet hat, daß genau soviel Einzelelektroden 6 vom neuen Dielektrikum erfaßt wurden wie Einzelelektroden 7. Bei normaler Ausbreitung eines neuen Dielektrikums, welches z. B. in Form von Schmierfett in den Meßraum eindringt, ist die Differenz der vom Schmierfett umgebenen Einzelelektroden 6 und Einzelelektroden 7 geringer als eine Einzelelektrodenfläche.

Der Einfluß einer Einzelelektrode auf die Ausgangs spannung an 13 ist um so geringer, je mehr Einzelelek troden vorhanden sind. Daher wird die Meßanordnung gemäß Fig. 1 um so unempfindlicher gegen das Ein dringen neuer Dielektrika, je mehr Zähne das Zahn rad 2 hat und um so mehr Einzelelektroden 6 und 7 vorhanden sind.

Bei der Drehzahlmeßeinrichtung gemäß Fig. 1 ist die Frequenz der Nulldurchgänge der Ausgangsspannung an 13 ein Maß für die Drehzahl des Zahnrades 2.

Diese Drehzahlmeßeinrichtung arbeitet auch bei niedrigen Drehzahlen richtig.

Verzichtet man auf die richtige Zählfunktion für ν < ν_o, wobei ν_o die niedrigste Drehzahl des Zahnrades 2 ist, die noch richtig gemessen werden soll, so läßt sich die Meßeinrichtung vereinfachen.

Fig. 3 zeigt eine vereinfachte Meßanordnung. Das Objekt, dessen Drehzahl gemessen werden soll, ist das mit der Welle 1 drehbare Zahnrad 2. Die Einzel elektroden 6 bilden mit den Zahndächern 3 Konden satoren von veränderlicher Kapazität. In Fig. 3, wo die Zahndächer 3 auf Lücke genau zwischen den Einzelelektroden 6 stehen, ist die Kapazität minimal. Stehen die Zahndächer 3 genau gegenüber den Einzel elektroden 6, dann ist die Kapazität zwischen der Objektelektrode O3 und der Elektrode E6 maximal.

Die Kapazitätsmeßeinrichtung 12 vergleicht die Kapazität des Festkondensators 19 mit der variablen Kapazität E6-O3, wobei E6 die Gesamtheit der Einzel elektoden 6 und O3 die Gesamtheit der Zahndächer 3 ist. Unter der Voraussetzung, daß die Kapazität des Kondensators 19 kleiner als die Maximalkapazität von E6-O3, aber größer als die Minimalkapazität von E6-O3 ist, macht die Ausgangsspannung der Kapa zitätsmeßeinrichtung 12 am Punkt 13 bei einer Umdrehung und bei n Zähnen 2n Nulldurchgänge und die Frequenz der Nulldurchgänge der Ausgangsspannung am Punkt 13 ist ein Maß für die Drehzahl des Zahnrades 2.

Dringt nun ein Dielektrikum mit größerer relativer Dielektrizitätskonstanten als 1 in den Meßraum zwischen dem Zahnrad 2 und den Einzelelektroden 6 ein, dann kann die Minimalkapazität von E6-O3 größer werden als die Kapazität des Kondensators 19. Die Ausgangsspannung an 13 wird dann nicht mehr Null und die Drehzahl wird nicht mehr gemessen.

Im folgenden die Problemlösung.

Fig. 4 zeigt einen Wechselspannungsverstärker 20, mit dessen Eingang 21 der Punkt 13 verbunden wird. Der Verstärker 20 verstärkt nur den Wechselspannungs anteil der Ausgangsspannung der Kapazitätsmeßein richtung 12. Am Punkt 22, dem Ausgang des Verstärkers 20, liegt dann eine reine Wechselspannung vor, deren Nulldurchgangsfrequenz ein Maß für die Drehzahl des Zahnrades 2 ist.

In Fig. 1 und 3 wird die HF dem Zahnrad zugeführt, indem die HF-Leitung 15 in dem Schleifkontakt 18 endet, der die Welle 1, die mit dem Zahnrad 2 elek trisch leitend verbunden ist, berührt.

Die HF kann dem Zahnrad 2 auch berührungslos zu geführt werden, indem die Leitung 15 in einem Ring endet, der die Welle 1 konzentrisch umschließt, ohne sie zu berühren. Der Ring bildet dann mit der Welle einen Kondensator, dessen Kapazität möglichst groß sein sollte, damit die Übertragungsverluste in diesem Kondensator klein bleiben.

In Fig. 1 und Fig. 3 sind die Zähne des Zahnrades 2 und die Einzelelektroden radial angeordnet. Bei engen Platzverhältnissen kann es vorteilhaft sein, die bewegte kreisförmige Objektelektrode und die kreisförmigen Meßelektroden axial nebeneinander zu stellen, wie es im folgenden Anwendungsbeispiel gezeigt wird, wo ein erfindungsgemäßer Drehzahlfühler in ein vor handenes Radlager eines PKW integriert wird zwecks Ermittlung der Raddrehzahl für ein Antiblockier system.

Fig. 5 zeigt einen Schnitt der zur Antriebswelle zeigenden Radlagerhälfte eines Vorderrades eines PKW mit dem fest im nicht eingezeichneten Radlager gehäuse sitzenden Lageraußenring 36, dem die nicht eingezeichnete Radnabe tragenden Lagerinnenring 37, dem Kugelring 38 im nicht eingezeichneten Kugel käfig. Der ursprünglich vorgesehene Dichtring ist ersetzt durch den mit dem Lageraußenring 36 fest verbundenen Ring 34, der mit seiner Dichtlippe 35 den Lagerinnenring 37 berührt. Einen vergrößerten Ausschnitt der Fig. 5 mit den erfindungsgemäßen Einbauten ins Radlager zeigt Fig. 6.

Der Ring 34 trägt auf seiner Innenseite den gemäß Fig. 8 ausgebildeten elektrisch leitenden Belag 28, bestehend aus den Außenzähnen 24, die über den äußeren Verbindungsring 26 miteinander verbunden sind, und den Innenzähnen 25, die über den Innenring. 27 miteinander verbunden sind. Der Ring 34 trägt zusätzlich den Belag 32, der der HF-Übertragung dient und in Fig. 8 nicht eingezeichnet ist. Der Ring 33 sitzt fest auf dem Lagerring 37 und trägt auf der zum Ring 34 zeigenden Seite einen gemäß Fig. 7 ausgebildeten elektrisch leitenden Belag 29, der das zahnradähnliche bewegte Objekt bildet.

Die Gesamtheit der Zähne 24 bildet mit dem Verbindungsring 26 die Elektrode E6. Die Gesamtheit der Zähne 25 bildet mit dem Verbindungsring 27 die Elektrode E7. Die Gesamtheit der Zähne 23 bildet mit dem Verbindungsring die Objektelektrode O3.

Der Trägerring 34 trägt zusätzlich den Belag 32, der über die Leitung 15 gemäß Schaltskizze in Fig. 10 mit dem HF-Oszillator 14 verbunden ist. Der Träger ring 33 trägt zusätzlich den Belag 31, der über die Leitung 30 mit dem Belag 29 verbunden ist. Die Beläge 31 und 32, die in Fig. 7 und Fig. 8 nicht eingezeichnet sind, bilden gemäß Fig. 6 einen Kon densator, der den Belag 29 kapazitiv mit dem HF- Oszillator 14 verbindet.

Die Elektroden E6 und E7 bilden mit der Objekt elektrode O3 einen Differentialkondensator, dessen Elektroden E6 und E7 mit den beiden gegensätzlich arbeitenden Eingängen 10 und 11 der Kapazitätsmeßein richtung 12 gemäß Fig. 10 verbunden sind.

Der Raddrehzahlmesser, bestehend aus dem zweige teilten Belag 28, dem Belag 29, dem aus den Belägen 31 und 32 gebildeten Koppelkondensator, dem HF-Oszil lator 14 und der Kapazitätsmeßeinrichtung 12 entspricht in seinen elektrischen Eigenschaften der Drehzahlmeßeinrichtung gemäß Fig. 1 mit dem Unter schied, daß beim Raddrehzahlmesser gemäß Fig. 6 und Fig. 10 die Objektelektrode O3 kapazitiv an den HF-Oszillator 14 gekoppelt ist.

In einem zweiten Anwendungsbeispiel wird eine vereinfachte Ausführung des ersten Anwendungsbei spieles gezeigt: Statt des zweigeteilten Belages 28 gemäß Fig. 8 trägt der Ring 34 als Meßelektrode nur den einfachen Belag gemäß Fig. 9, bestehend aus den Zähnen 24 und dem äußeren Verbindungsring 26 mit der Leitung 8. Die Gesamtheit der Zähne 24 mit dem äußeren Verbindungsring 26 bilden die Elektrode E6. Die Objektelektrode O3 als Belag auf dem Ring 33 steht der Elektrode E6 genau so wie im ersten Anwen dungsbeispiel gegenüber. Nur die Elektrode E7 fehlt im zweiten Ausführungsbeispiel.

Wird der innere Verbindungsring 27 und die Zuleitung 9 des ersten Anwendungsbeispieles aus Fig. 6 entfernt, dann entspricht Fig. 6 der Drehzahlfühleranordnung im Radlager des zweiten Anwendungsbeispieles. Die Elektrode E6 bildet mit der Objektelektrode O3 einen Kondensator mit veränderlicher Kapazität, die von der Kapazitätsmeßeinrichtung 12 mit der Kapazität des Festkondensators 19 verglichen wird.

In den elektrischen Eigenschaften stimmt das zweite Anwendungsbeispiel mit der in Fig. 3 gezeigten Meß anordnung überein. Daher wird gemäß Fig. 11 die Ausgangsspannung der Kapazitätsmeßeinrichtung 12 von dem Wechselspannungsverstärker 20 nachverstärkt. Die Frequenz der Nulldurchgänge der Spannung am Punkt 22 ist dann ein Maß für die Drehzahl des Innenringes 37 des Radlagers in Fig. 5 und Fig. 6.

Claims

1. Kapazitiv arbeitende Drehzahlmeßeinrichtung zum Messen der Drehzahl eines in einem Gehäuse drehbar gelagerten Objektes, dadurch gekennzeichnet, daß das zu erfassende Objekt mit mehreren mitein ander verbundenen elektrisch leitenden Flächen, den sogenannten Objekteinzelelektroden, versehen ist, die in ihrer Gesamtheit die Objektelektrode bilden und die mit ihren Flächenschwerpunkten auf einem Kreis angeordnet sind, durch dessen Mittelpunkt die Objekt drehachse senkrecht zur Kreisebene verläuft.

2. Drehzahlmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß alle auf dem Kreis benachbarten Objekteinzelelek troden bezüglich des Kreismittelpunktes denselben Winkel miteinander haben und daß die Objekteinzel elektroden exakt oder annähernd Teile einer Ebene oder Teile eines Kegelmantels oder Teile eines Kreis zylinders sind.

3. Drehzahlmeßeinrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß gehäusefest angebrachte elektrisch leitende Flä chen (6), die sogenannten Einzelmeßelektroden (6), zu einer Meßelektrode über den Ring (14) miteinander ver bunden sind, wobei die räumliche Anordnung der Meßelektrode ähnlich der räumlichen Anordnung der Ob jektelektrode ist (Fig. 3).

4. Drehzahlmeßeinrichtung nach den Ansprüchen 1, 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß Meßelektrode (E6) und Objektelektrode (O3) so zueinander ausgerichtet sind, daß, wenn die Meßelek trode und die Objektelektrode aus je n Einzelelektro den (6) bestehen, bei einem bestimmten Drehwinkel des Objektes jede Objekteinzelelektrode (3) genau einer Einzelmeßelektrode (6) gegenübersteht und nach einer Objektdrehung um 360°/n wieder jede Objekteinzelelek trode genau einer Einzelmeßelektrode gegenübersteht und daß in dieser Stellung die Kapazität zwischen Objektelektrode und Meßelektrode maximal ist.

5. Drehzahlmeßeinrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß gehäusefest angebrachte elektrisch leitende Flä chen, die sogenannten Einzelmeßelektroden (6, 7), miteinander über die Verbindungsringe (14, 5) zu zwei Meßelektroden (E6, E7) verbunden sind, die ihrerseits nicht miteinander in Verbindung stehen und beide aus gleichviel Einzelmeßelektroden bestehen, wobei die räumliche Anordnung jeder der beiden Meßelektroden (E6, E7) ähnlich der räumlichen Anordnung der Objekt elektrode (O3) ist und wobei zwischen zwei benachbar ten Einzelmeßelektroden der einen Meßelektrode immer eine Einzelmeßelektrode der anderen Meßelektrode liegt (Fig. 1).

6. Drehzahlmeßeinrichtung nach den Ansprüchen 1, 2 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Meßelektroden (E6, E7) und die Objekt elektrode (O3) so zueinander ausgerichtet sind, daß, wenn jede der beiden Meßelektroden und die Objekt elektrode aus je n Einzelelektroden bestehen, bei einem bestimmten Drehwinkel des Objektes jede der Ob jekteinzelelektroden genau einer Einzelmeßelektrode der einen Meßelektrode gegenübersteht und daß nach einer Objektdrehung um 180°/n jede der Objekteinzel elektroden genau einer Einzelmeßelektrode der anderen Meßelektrode gegenübersteht und daß, wenn die Objekt elektrode einer Meßelektrode gegenübersteht, die Ka pazität zwischen der Objektelektrode und dieser Meß elektrode maximal ist und die Kapazität zwischen der Objektelektrode und der anderen Meßelektrode minimal ist.

7. Drehzahlmeßeinrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die drehwinkelabhängige Kapazität zwischen Ob jektelektrode (O3) und Meßelektrode (E6) von einer Kapazitätsmeßeinrichtung (12) gemessen und die bei einer Objektdrehung entstehende Änderung der Kapa zität zwischen Objektelektrode und Meßelektrode eine entsprechende Änderung der Ausgangsspannung der Kapa zitätsmeßeinrichtung (12) zur Folge hat (Fig. 3).

8. Drehzahlmeßeinrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgangsspannung der Kapazitätsmeßeinrich tung (12) über einen Wechselspannungsverstärker (20) nachverstärkt wird (Fig. 14).

9. Drehzahlmeßeinrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Kapazitätsmeßeinrichtung die Kapazität ein seitig geerdeter Kondensatoren messen kann und daß die Objektelektrode gleichspannungsmäßig oder zumin dest wechselspannungsmäßig auf Gehäusepotential liegt und daß die Meßelektrode über eine Leitung mit dem Meßeingang der Kapazitätsmeßeinrichtung verbunden ist.

10. Drehzahlmeßeinrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Objektelektrode (O3) über den aus den Elek troden (31 und 32) bestehenden Koppelkondensator mit der hochfrequenten Wechselspannung des HF-Oszilla tors (14) verbunden ist und daß die drehbewegungsab hängige Kapazität zwischen Objektelektrode und Meß elektrode von der Kapazitätsmeßeinrichtung (12) mit der Kapazität des Festkondensators (19) verglichen wird und daß die Änderung der Kapazität zwischen Ob jektelektrode und der Meßelektrode eine entsprechen de Änderung der Ausgangsspannung der Kapazitätsmeß einrichtung (12) zur Folge hat (Fig. 6, Fig. 11).

11. Drehzahlmeßeinrichtung nach Anspruch 7 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Objektelektrode (O3) als zahnradähnlicher Belag (29), bestehend aus den Zähnen (23) und dem Verbindungsring (39), auf dem Ring (33) gegenüber der als elektrisch leitender Belag auf dem Ring (34) haf tenden Meßelektrode (E6) sitzt, die aus den Zähnen (24) und dem Verbindungsring (26) besteht (Fig. 6, Fig. 7, Fig. 9, Fig. 11).

12. Drehzahlmeßeinrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgangsspannung der Kapazitätsmeßeinrich tung (12) von dem Wechselspannungsverstärker (20) nachverstärkt wird (Fig. 14, Fig. 11).

13. Drehzahlmeßeinrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die mit den beiden Meßelektroden einen Differen tialkondensator bildende Objektelektrode mit einem für die Mittelelektrode eines Differentialkondensa tors zuständigen Eingang einer für die Messung von Differentialkondensatoren geeigneten Kapazitätsmeß einrichtung verbunden ist und daß die beiden Meß elektroden mit den beiden anderen Eingängen der Kapa zitätsmeßeinrichtung verbunden sind.

14. Drehzahlmeßeinrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die mit den beiden Meßelektroden (E6 und E7) einen Differentialkondensator bildende Objektelektro de (O3) mit einem aus den Elektroden (31 und 32) ge bildeten Koppelkondensator mit der hochfrequenten Wechselspannung des HF-Oszillators (114) verbunden ist und daß die beiden Meßelektroden (E6 und E7) mit den beiden Eingängen (10 und 11) der Kapazitätsmeßein richtung (12) verbunden sind und daß der Ausgang (13) der Kapazitätsmeßeinrichtung (12) eine der Kapazi tätsdifferenz des aus Objektelektrode (O3) und den Meßelektroden (E6 und E7) gebildeten Differential kondensators entsprechende Spannung liefert (Fig. 10).

15. Drehzahlmeßeinrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Objektelektrode (O3) als Belag (29) auf dem Ring (33) gegenüber dem auf dem Ring (34) befind lichen Belag (28), der die beiden Meßelektroden (E6 und E7) bildet, sitzt (Fig. 6).

16. Drehzahlmeßeinrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß der Belag (29) eine zahnradähnliche Form hat und daß der Belag (28) zweigeteilt ist und die Zähne (24 und 25) des Belages (28) ineinandergreifen (Fig. 7, Fig. 8).

17. Drehzahlmeßeinrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Kapazitätsmeßeinrichtung (12) ein Dioden quartett (40, 41, 42, 43) in Ringanordnung enthält, wobei zwei gegenüberliegende Eckpunkte der Ringan ordnung die Eingänge (10 und 11) und die beiden anderen gegegenüberliegenden Eckpunkte die Punkte (50 und 51) bilden, die über die Kondensatoren (44, 45) wechselspannungsmäßig geerdet sind (Fig. 12).

18. Drehzahlmeßeinrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß der Punkt (50) auf dem Potential der Referenz spannung (49) liegt, die etwa mittig zwischen der positiven Versorgungsspannung (16) und der negativen Versorgungsspannung (17) liegt (Fig. 12).

19. Drehzahlmeßeinrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß der Punkt (51) über die Widerstände (46, 47) mit dem negativen Eingang und dem Ausgang des Verstär kers (48) und daß die Referenzspannung (49) mit dem positiven Eingang des Verstärkers (48) verbunden ist (Fig. 12).