JPH11145238A - ウェハ押し付け用アーム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、半導体製造装置内に取り付けられ
る半導体ウェハ押し付け用アームに関するもので、何ら
かのトラブル等によって外部から強い力が加えられても
変形しない半導体ウェハ押し付け用アームを提供するこ
とを課題とする。 【解決手段】 実際にウェハに接触して当該ウェハを前
方に押し付けるための部位である「接当部」と、これを
支えるための部位「支持腕部」とからなるウェハ押し付
け用アームであって、当該支持腕部にはウェハ接当部を
上部に配置するための屈曲部が設けられる。そして、当
該屈曲部近傍の厚みをその他の部位の厚みより厚くする
ことにより、外部からの力に対する強度を高める。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置に
取り付けられたウェハ押し付け用アームに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体集積回路または半導体デバイス製
造用のウェハを、各種製造装置内に設けられた所定の台
の上に載せて作業を行う場合、まずウェハを所定位置に
確実にセットしなければならない。ウェハを所定位置に
確実にセットするための位置決め方法には様々な方法が
あるが、例えば図４は、ウェハを製造装置内に設けられ
た所定の台（この場合はウェハチャック）に載せた後
に、更に押し付け用アームを用いてウェハを所定位置に
移動させて位置決めを行う方法の手順を示したものであ
る。

【０００３】まず、ウェハチャック１０上にウェハ１
２を載せ、 次に、ウェハ押し付け用アーム１１でウェハ１２を押
し付け、 ウェハ１２をウェハチャック１０上の所定の位置、こ
の場合はウェハチャック１０上に設けられた位置決め用
のベアリング１０ａ、１０ｂ、１０ｃの３点にウェハ１
２が当接する位置、に移動させて位置決めを行う。

【０００４】その後、ウェハ１２に対して所定の作業
が実行される。（図示せず）この時用いられるウェハ押
し付け用アーム１１は、図３（１）、（２）に示すよう
に、先端部に設けられたウェハ当接部１１ａと、これを
支える支持腕部１１ｂからなり、ウェハ当接部１１ａに
はベアリング部１１ｃが取り付けられている。このベア
リング部１１ｃでウェハ１２を押し付け、該ウェハを所
定位置に移動させて位置決めを行う。また、支持腕部１
１ｂには、ウェハ当接部１１ａを上部に配置するための
屈曲部１１ｄが設けられている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
例においては、ウェハ押し付け用アーム１１は、その動
作の制御を容易にするため、あるいはこれを駆動するた
めの電力を少しでも小さくするため等の理由により、で
きるだけ薄く軽量化されるが、その反面、強度が弱くな
っていた。そのため、トラブル等により大きな力が該ア
ームに加えられると簡単に変形してしまい、ベアリング
部１１ｃで上手くウェハ１２を押し付けられなくなって
しまう。特に、図３（３）に示すように、ウェハ押し付
け用アーム１１に対して加えられる上下方向の力に弱
い。一旦変形してしまったアームでは、ウェハを所定の
位置に移動させることができなくなり、結局は人手によ
る調整が必要になってしまうという問題点があった。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明では、上記課題を
解決するために、ウェハを所定位置に移動させて位置決
めを行うためのウェハ押し付けアームであって、該アー
ムは、先端部に設けられた ウェハ接当部と、このウェ
ハ接当部を支える支持腕部とからなり、前記支持腕部は
前記ウェハ接当部を上部へ配置するための屈曲部を有
し、かつ、該屈曲部近傍の厚みに、前記アームにおける
その他の部位より厚い肉厚部を設けたことを特徴として
いる。

【０００７】

【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。図１は、
本発明の第１の実施例を示す平面図及び側面図である。
ウェハ押し付け用アーム１は例えばアルミ等で形成さ
れ、その先端部に位置するウェハ当接部１ａと、これを
支える支持腕部１ｂとからなっている。ウェハ当接部１
ａにはベアリング部１ｃが取り付けられており、このベ
アリング部１ｃをウェハ（図示せず）に押し当てること
により、該ウェハを所定位置に移動させて位置決めを行
う。

【０００８】支持腕部１ｂには、ウェハ当接部１ａを上
面に配置するための屈曲部１ｄが設けられており、更に
この屈曲部１ｄの上面及び下面に補強材料１ｄ’が接着
剤により取り付けられている。この場合、接着剤による
接合ではなく、他の手段、例えば、ネジ止め、溶接等で
あっても良い。また、屈曲部１ｄの上面もしくは下面の
いずれか一方のみに補強材料１ｄ’を取り付けるだけで
も良い。

【０００９】図２は別の実施例を示すものである。屈曲
部１ｄの厚みｔ１が、支持腕部の厚みｔ２よりも厚くな
るように一体的に形成された例である。

【００１０】

【発明の効果】以上のような構成にしたことにより、ウ
ェハ押し付け用アームの強度が格段に増すため、トラブ
ル等によって外部から強い力（特に上下方向の力）が加
えられて変形してしまうということを防止することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１の実施例を示す平面図及び側面
図である。

【図２】 本発明の第２の実施例を示す側面図である。

【図３】 ウェハ押し付け用アームの従来例を示す図で
ある。

【図４】 ウェハ押し付け用アームを用いてウェハを所
定位置に移動させて位置合わせを行う一連の動きを示す
図である。

【符号の説明】

１ ウェハ押し付け用アーム １ｂ ウェハ当接部 １ｃ 支持腕部 １ｄ ベアリング部 １ｄ’ 屈曲部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ウェハを所定位置に移動させて位置決めを
   行うためのウェハ押し付けアームであって、該アーム
   は、先端部に設けられた ウェハ接当部と、このウェハ
   接当部を支える支持腕部とからなり、前記支持腕部は前
   記ウェハ接当部を上部へ配置するための屈曲部を有し、
   かつ、該屈曲部近傍に、前記アームにおけるその他の部
   位の厚みより厚い肉厚部を設けたことを特徴とするウェ
   ハ押し付け用アーム。