JPH11145160A - モジュール用パッケージ固定機構 - Google Patents
モジュール用パッケージ固定機構Info
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- JPH11145160A JPH11145160A JP9304163A JP30416397A JPH11145160A JP H11145160 A JPH11145160 A JP H11145160A JP 9304163 A JP9304163 A JP 9304163A JP 30416397 A JP30416397 A JP 30416397A JP H11145160 A JPH11145160 A JP H11145160A
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- H01L2924/19—Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 パッケージの形状の変更に容易に変更可能と
し、パッケージの形状に対する汎用性が向上可能なモジ
ュール用パッケージ固定機構を提供する。 【解決手段】 ツメ７をパッケージ１の高さ方向で任意
の位置に移動させた後、ツマミネジ１５とサポートブロ
ック９との間でツメ７を固定する。ツメ７はサポートブ
ロック９に取付けられたツマミシャフト１０と圧縮バネ
１２とによってフリーで可動する。ツメ８はロックネジ
１６とコマ１４とによってメインステージ２に固定され
ている。パッケージ１の高さ方向に合わせて、ツメ８の
ＰＫＧ押え部分８ａがパッケージ１に接触するように位
置調整し、ロックネジ１６とコマ１４とによってメイン
ステージ２に固定する。メインステージ２全体の高さ方
向の調整は台１９を回転させることによって可能であ
る。
し、パッケージの形状に対する汎用性が向上可能なモジ
ュール用パッケージ固定機構を提供する。 【解決手段】 ツメ７をパッケージ１の高さ方向で任意
の位置に移動させた後、ツマミネジ１５とサポートブロ
ック９との間でツメ７を固定する。ツメ７はサポートブ
ロック９に取付けられたツマミシャフト１０と圧縮バネ
１２とによってフリーで可動する。ツメ８はロックネジ
１６とコマ１４とによってメインステージ２に固定され
ている。パッケージ１の高さ方向に合わせて、ツメ８の
ＰＫＧ押え部分８ａがパッケージ１に接触するように位
置調整し、ロックネジ１６とコマ１４とによってメイン
ステージ２に固定する。メインステージ２全体の高さ方
向の調整は台１９を回転させることによって可能であ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はモジュール用パッケ
ージ固定機構に関し、特に光モジュール／機能モジュー
ル一般（主に表面実装型モジュール）においてワイヤボ
ンディングや部品実装時のパッケージ固定に使用する治
具に関する。
ージ固定機構に関し、特に光モジュール／機能モジュー
ル一般（主に表面実装型モジュール）においてワイヤボ
ンディングや部品実装時のパッケージ固定に使用する治
具に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の光モジュール／機能モジ
ュールの外殻である箱型パッケージ（以下、ＰＫＧとす
る）内部においては、様々な部品が実装されている。例
えば、信号処理用ＩＣ（集積回路）（信号増幅用ＩＣ、
演算ＩＣ等）、チップ電気部品（チップ抵抗、チップコ
ンデンサ）、半導体素子実装済みのキャリア（以下、キ
ャリアとする）等が実装されている。
ュールの外殻である箱型パッケージ（以下、ＰＫＧとす
る）内部においては、様々な部品が実装されている。例
えば、信号処理用ＩＣ（集積回路）（信号増幅用ＩＣ、
演算ＩＣ等）、チップ電気部品（チップ抵抗、チップコ
ンデンサ）、半導体素子実装済みのキャリア（以下、キ
ャリアとする）等が実装されている。
【０００３】上記の信号処理用ＩＣ〜チップ電気部品〜
キャリアは表面実装され、これらの部品間とＰＫＧの配
線パターンとの間はＡｕ（金）線やＡｌ（アルミ）によ
って配線されている。
キャリアは表面実装され、これらの部品間とＰＫＧの配
線パターンとの間はＡｕ（金）線やＡｌ（アルミ）によ
って配線されている。
【０００４】光モジュールや機能モジュールのＰＫＧの
組立て工程においてはワイヤボンディングが必要不可欠
の工程である。光送受信モジュールには様々な形状（送
受信別形態または送受信一体型等）が存在し、その形状
に応じてＰＫＧ固定用の台を作り直している。この固定
用の台にＰＫＧを固定してからワイヤボンダ（ワイヤボ
ンディング装置）にセットしている。
組立て工程においてはワイヤボンディングが必要不可欠
の工程である。光送受信モジュールには様々な形状（送
受信別形態または送受信一体型等）が存在し、その形状
に応じてＰＫＧ固定用の台を作り直している。この固定
用の台にＰＫＧを固定してからワイヤボンダ（ワイヤボ
ンディング装置）にセットしている。
【０００５】ＰＫＧの固定方法としては、真空吸着式及
びツメ保持によるメカロック式の２つの方式が代表的な
ものである。真空吸着式は、図５（ａ）に示すように、
ＰＫＧ１の台３１上に搭載し、配管３２を介して矢印Ｂ
の方向に空気を吸入することで、ＰＫＧ１の台３１上に
固定している。この真空吸着式ではＰＫＧ１の裏面から
吸着させるので、ＰＫＧ１の裏面の状態に左右されると
ともに、真空ポンプ（図示せず）が必要となり、台３１
全体が大型化するという問題がある。
びツメ保持によるメカロック式の２つの方式が代表的な
ものである。真空吸着式は、図５（ａ）に示すように、
ＰＫＧ１の台３１上に搭載し、配管３２を介して矢印Ｂ
の方向に空気を吸入することで、ＰＫＧ１の台３１上に
固定している。この真空吸着式ではＰＫＧ１の裏面から
吸着させるので、ＰＫＧ１の裏面の状態に左右されると
ともに、真空ポンプ（図示せず）が必要となり、台３１
全体が大型化するという問題がある。
【０００６】また、メカロック式は、図５（ｂ）に示す
ように、搭載台４３上に載置したＰＫＧ１を、ＰＫＧ１
の外周のうち少なくとも互い対向する対向辺の両側から
ツメ４１，４２を矢印Ｃの方向に移動させて保持してい
る。このメカロック式ではＰＫＧ１に対する保持力が真
空吸着式よりも優れているが、ＰＫＧ１の形状が変更さ
れる毎にツメ４１，４２の形状を変更しなければならな
いので、汎用性が低く、使用上の効率が悪いという問題
がある。
ように、搭載台４３上に載置したＰＫＧ１を、ＰＫＧ１
の外周のうち少なくとも互い対向する対向辺の両側から
ツメ４１，４２を矢印Ｃの方向に移動させて保持してい
る。このメカロック式ではＰＫＧ１に対する保持力が真
空吸着式よりも優れているが、ＰＫＧ１の形状が変更さ
れる毎にツメ４１，４２の形状を変更しなければならな
いので、汎用性が低く、使用上の効率が悪いという問題
がある。
【０００７】このメカロック式の問題を解決するため
に、図５（ｃ）に示すように、ＱＦＰ（Ｑｕａｄ Ｆｌ
ａｔ Ｐａｃｋａｇｅ）タイプのＰＫＧ５１本体の対角
位置にある２つのコーナ部に、Ｖ字形状でかつ突き当て
面形状の位置合わせ用の切欠き部５１ａ，５１ｂを設
け、それらの切欠き部５１ａ，５１ｂにガイド爪５２，
５３を嵌合させるように押し付けることで保持する方法
がある。この固定方法では樹脂封止後の作業における位
置合わせ作業において、プリント基板（図示せず）へＰ
ＫＧ５１を実装する場合、位置決め精度を良好とし、作
業スピードの向上を図ることができる。
に、図５（ｃ）に示すように、ＱＦＰ（Ｑｕａｄ Ｆｌ
ａｔ Ｐａｃｋａｇｅ）タイプのＰＫＧ５１本体の対角
位置にある２つのコーナ部に、Ｖ字形状でかつ突き当て
面形状の位置合わせ用の切欠き部５１ａ，５１ｂを設
け、それらの切欠き部５１ａ，５１ｂにガイド爪５２，
５３を嵌合させるように押し付けることで保持する方法
がある。この固定方法では樹脂封止後の作業における位
置合わせ作業において、プリント基板（図示せず）へＰ
ＫＧ５１を実装する場合、位置決め精度を良好とし、作
業スピードの向上を図ることができる。
【０００８】この場合、実装機側に設けられている１対
のガイド爪５２，５３を、ＰＫＧ５１本体の切欠き部５
１ａ，５１ｂ（Ｖ字形状の突き当て面）に突き当てるこ
とによって、位置決め精度を良好とし、作業スピードの
向上を可能としている。この技術については、特開平６
−２５２２９１号公報に開示されている。
のガイド爪５２，５３を、ＰＫＧ５１本体の切欠き部５
１ａ，５１ｂ（Ｖ字形状の突き当て面）に突き当てるこ
とによって、位置決め精度を良好とし、作業スピードの
向上を可能としている。この技術については、特開平６
−２５２２９１号公報に開示されている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のモジュ
ール用パッケージ固定機構では、ＰＫＧの方にＶ字形状
の突き当て面を設け、ＰＫＧの固定機構にＶ字突き当て
面に合致するようなガイド爪を設けて位置精度を向上さ
せている。
ール用パッケージ固定機構では、ＰＫＧの方にＶ字形状
の突き当て面を設け、ＰＫＧの固定機構にＶ字突き当て
面に合致するようなガイド爪を設けて位置精度を向上さ
せている。
【００１０】よって、ＰＫＧにＶ字形状の突き当て面を
設けることができないような場合には、上記の固定機構
を用いることができず、ＰＫＧの形状に対する汎用性が
低いという問題がある。
設けることができないような場合には、上記の固定機構
を用いることができず、ＰＫＧの形状に対する汎用性が
低いという問題がある。
【００１１】そこで、本発明の目的は上記の問題点を解
消し、ＰＫＧの形状の変更に容易に対応可能とすること
ができ、ＰＫＧの形状に対する汎用性を向上させること
ができるモジュール用パッケージ固定機構を提供するこ
とにある。
消し、ＰＫＧの形状の変更に容易に対応可能とすること
ができ、ＰＫＧの形状に対する汎用性を向上させること
ができるモジュール用パッケージ固定機構を提供するこ
とにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明によるモジュール
用パッケージ固定機構は、モジュール用パッケージを載
置するステージと、前記モジュール用パッケージの互い
に対向する一対の対向辺のうちの一方の側に設けられか
つその辺に当接する第１の爪部材と、前記第１の爪部材
を前記一対の対向辺のうちの一方の方向において所望の
位置で固定する第１の固定部材と、前記一対の対向辺の
うちの他方の側に設けられかつその辺に当接する第２の
爪部材と、前記第２の爪部材を前記モジュール用パッケ
ージ側に付勢する付勢部材と、前記第２の爪部材を前記
モジュール用パッケージの前記ステージへの載置面に直
交する高さ方向において所望の位置で固定する第２の固
定部材とを備えている。
用パッケージ固定機構は、モジュール用パッケージを載
置するステージと、前記モジュール用パッケージの互い
に対向する一対の対向辺のうちの一方の側に設けられか
つその辺に当接する第１の爪部材と、前記第１の爪部材
を前記一対の対向辺のうちの一方の方向において所望の
位置で固定する第１の固定部材と、前記一対の対向辺の
うちの他方の側に設けられかつその辺に当接する第２の
爪部材と、前記第２の爪部材を前記モジュール用パッケ
ージ側に付勢する付勢部材と、前記第２の爪部材を前記
モジュール用パッケージの前記ステージへの載置面に直
交する高さ方向において所望の位置で固定する第２の固
定部材とを備えている。
【００１３】すなわち、本発明のモジュール用パッケー
ジ固定機構はＰＫＧの固定に必要な箇所（ツメ部分）に
位置可変機構を設けている。この位置可変機構でツメに
よるＰＫＧの固定位置を可変することで、ある程度のＰ
ＫＧの形状変更にも対応可能とすることができ、ＰＫＧ
の形状に対する汎用性を向上させることができる。
ジ固定機構はＰＫＧの固定に必要な箇所（ツメ部分）に
位置可変機構を設けている。この位置可変機構でツメに
よるＰＫＧの固定位置を可変することで、ある程度のＰ
ＫＧの形状変更にも対応可能とすることができ、ＰＫＧ
の形状に対する汎用性を向上させることができる。
【００１４】上記のように、ある程度のＰＫＧ形状の変
更に対応できるようなＰＫＧの固定治具を具体化するこ
とで、ＰＫＧの形状変更のたびにツメの形状を作り直す
等の煩わしさをなくし、工数の低減及び作業の効率化を
図ることが可能となる。
更に対応できるようなＰＫＧの固定治具を具体化するこ
とで、ＰＫＧの形状変更のたびにツメの形状を作り直す
等の煩わしさをなくし、工数の低減及び作業の効率化を
図ることが可能となる。
【００１５】
【発明の実施の形態】次に、本発明の一実施例について
図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施例によ
るモジュール用パッケージ固定機構（以下、ＰＫＧ固定
機構とする）の構成を示す正面図であり、図２（ａ）は
本発明の一実施例によるＰＫＧ固定機構のステージ部分
の左側面図であり、図２（ｂ）は本発明の一実施例によ
るＰＫＧ固定機構のステージ部分の平面図であり、図２
（ｃ）は本発明の一実施例によるＰＫＧ固定機構のステ
ージ部分の右側面図である。
図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施例によ
るモジュール用パッケージ固定機構（以下、ＰＫＧ固定
機構とする）の構成を示す正面図であり、図２（ａ）は
本発明の一実施例によるＰＫＧ固定機構のステージ部分
の左側面図であり、図２（ｂ）は本発明の一実施例によ
るＰＫＧ固定機構のステージ部分の平面図であり、図２
（ｃ）は本発明の一実施例によるＰＫＧ固定機構のステ
ージ部分の右側面図である。
【００１６】これらの図において、本発明の一実施例に
よるＰＫＧ固定機構はメインステージ２と、モジュール
用パッケージ（以下、ＰＫＧとする）１を載置するステ
ージ３と、ステージ３を加熱する２本のヒータカートリ
ッジ４ａ，４ｂと、温度をモニタするセンサ５と、高温
が周囲に伝わらないようにする断熱材６と、ＰＫＧ１を
上方から押え付けるようにテーパ加工を施したツメ７，
８と、メインステージ２の高さ方向の位置を調整するシ
ャフト１７と、ロックネジ１８と、台１９とから構成さ
れている。
よるＰＫＧ固定機構はメインステージ２と、モジュール
用パッケージ（以下、ＰＫＧとする）１を載置するステ
ージ３と、ステージ３を加熱する２本のヒータカートリ
ッジ４ａ，４ｂと、温度をモニタするセンサ５と、高温
が周囲に伝わらないようにする断熱材６と、ＰＫＧ１を
上方から押え付けるようにテーパ加工を施したツメ７，
８と、メインステージ２の高さ方向の位置を調整するシ
ャフト１７と、ロックネジ１８と、台１９とから構成さ
れている。
【００１７】図３（ａ）は図１のツメ７の組立て過程を
示す図であり、図３（ｂ）は図１のツメ７の側面図であ
る。また、図４（ａ）は図１のツメ８の平面図であり、
図４（ｂ）は図１のツメ８の組立て過程を示す図であ
る。
示す図であり、図３（ｂ）は図１のツメ７の側面図であ
る。また、図４（ａ）は図１のツメ８の平面図であり、
図４（ｂ）は図１のツメ８の組立て過程を示す図であ
る。
【００１８】これらの図において、ツメ７，８には夫々
ＰＫＧ１への当接面に斜めのテーパ加工を施したＰＫＧ
押え部分７ａ，８ａが設けられており、これらのＰＫＧ
押え部分７ａ，８ａでＰＫＧ１を押さえ、ＰＫＧ１のス
テージ３からの浮きやがたつきを防止している。
ＰＫＧ１への当接面に斜めのテーパ加工を施したＰＫＧ
押え部分７ａ，８ａが設けられており、これらのＰＫＧ
押え部分７ａ，８ａでＰＫＧ１を押さえ、ＰＫＧ１のス
テージ３からの浮きやがたつきを防止している。
【００１９】また、ツメ７には高さ方向位置調整用の長
穴７ｂが設けられている。ツメ７をＰＫＧ１の高さ寸法
に合わせたい場合、まずツマミネジ１５の締結を緩め
る。ツマミネジ１５の締結を緩めると、ツメ７は長穴７
ｂの寸法Ｘ２の範囲内で移動可能となる。すなわち、ツ
メ７は長穴７ｂの寸法Ｘ２だけ高さ方向に位置調整が可
能となっている。
穴７ｂが設けられている。ツメ７をＰＫＧ１の高さ寸法
に合わせたい場合、まずツマミネジ１５の締結を緩め
る。ツマミネジ１５の締結を緩めると、ツメ７は長穴７
ｂの寸法Ｘ２の範囲内で移動可能となる。すなわち、ツ
メ７は長穴７ｂの寸法Ｘ２だけ高さ方向に位置調整が可
能となっている。
【００２０】ツメ７をＰＫＧ１の高さ方向で任意の位置
に移動させた後、ツマミネジ１５を再び締結し、ツマミ
ネジ１５とサポートブロック９との間でツメ７を固定す
る。ツメ７はサポートブロック９に取付けられたツマミ
シャフト１０と圧縮バネ１２とによって、矢印Ａの方向
にフリーで可動する。
に移動させた後、ツマミネジ１５を再び締結し、ツマミ
ネジ１５とサポートブロック９との間でツメ７を固定す
る。ツメ７はサポートブロック９に取付けられたツマミ
シャフト１０と圧縮バネ１２とによって、矢印Ａの方向
にフリーで可動する。
【００２１】サポートブロック９とツマミシャフト１０
とはロックネジ１３によって締結され、ロックネジ１３
と固定板１１との間に圧縮バネ１２がツマミシャフト１
０の軸に沿って挿入されている。固定板１１はメインス
テージ２にロックネジ２０によって固定されている。
とはロックネジ１３によって締結され、ロックネジ１３
と固定板１１との間に圧縮バネ１２がツマミシャフト１
０の軸に沿って挿入されている。固定板１１はメインス
テージ２にロックネジ２０によって固定されている。
【００２２】ツマミシャフト１０を手で引くと、締結さ
れているサポートブロック９及びサポートブロック９に
締結されているツメ７が同時に動くことになる。ツメ７
はメインステージ２に設けたツメ７の外形と同じ幅を持
つ溝２ｂに沿って可動する。
れているサポートブロック９及びサポートブロック９に
締結されているツメ７が同時に動くことになる。ツメ７
はメインステージ２に設けたツメ７の外形と同じ幅を持
つ溝２ｂに沿って可動する。
【００２３】一方、ツメ８はロックネジ１６とコマ１４
とによってメインステージ２に固定されている。ＰＫＧ
１の形状に合わせてツメ７，８の位置を調整する場合、
まずロックネジ１６の締結力を弱める。
とによってメインステージ２に固定されている。ＰＫＧ
１の形状に合わせてツメ７，８の位置を調整する場合、
まずロックネジ１６の締結力を弱める。
【００２４】ロックネジ１６の締結力を弱めると、メイ
ンステージ２を挟むツメ８とコマ１４との間の締結力が
弱まり、コマ１４がメインステージ２に設けられている
穴２ａの中を可動し易くなるので、ロックネジ１６の軸
径より大きい幅を持つ溝２ｃに沿ってツメ８を可動し、
ＰＫＧ１の形状に合わせて適当な位置を決める。ツメ８
の位置調整エリアは長穴８ａの寸法Ｘ１によって決ま
る。
ンステージ２を挟むツメ８とコマ１４との間の締結力が
弱まり、コマ１４がメインステージ２に設けられている
穴２ａの中を可動し易くなるので、ロックネジ１６の軸
径より大きい幅を持つ溝２ｃに沿ってツメ８を可動し、
ＰＫＧ１の形状に合わせて適当な位置を決める。ツメ８
の位置調整エリアは長穴８ａの寸法Ｘ１によって決ま
る。
【００２５】ＰＫＧ１の高さ方向に合わせて、ツメ８の
斜め加工を施したＰＫＧ押え部分８ａがＰＫＧ１に接触
するように位置調整し、再びロックネジ１６を締結して
ツメ８をロックネジ１６とコマ１４とによってメインス
テージ２に固定する。
斜め加工を施したＰＫＧ押え部分８ａがＰＫＧ１に接触
するように位置調整し、再びロックネジ１６を締結して
ツメ８をロックネジ１６とコマ１４とによってメインス
テージ２に固定する。
【００２６】メインステージ２全体の高さ方向の調整は
台１９を回転させることによって可能である。ステージ
３に締結されているシャフト１７にはネジが設けられて
おり、台１９の回転分×ネジピッチ分の上下動が可能と
なる。位置が定まったところで、ロックネジ１８によっ
てシャフト１７を台１９に固定する。
台１９を回転させることによって可能である。ステージ
３に締結されているシャフト１７にはネジが設けられて
おり、台１９の回転分×ネジピッチ分の上下動が可能と
なる。位置が定まったところで、ロックネジ１８によっ
てシャフト１７を台１９に固定する。
【００２７】このように、ＰＫＧ１の固定に必要なツメ
７，８の固定位置を夫々可変した後に、ツメ７をサポー
トブロック９とマミネジ１５との間で固定し、ツメ８を
ロックネジ１６とコマ１４との間で固定するとともに、
ツメ７をツマミシャフト１０と圧縮バネ１２とによって
フリーに移動自在とすることによって、ツメ７，８によ
るＰＫＧ１の固定位置が可変自在となるので、ある程度
のＰＫＧ１の形状変更にも対応可能とすることができ、
ＰＫＧ１の形状に対する汎用性を向上させることができ
る。
７，８の固定位置を夫々可変した後に、ツメ７をサポー
トブロック９とマミネジ１５との間で固定し、ツメ８を
ロックネジ１６とコマ１４との間で固定するとともに、
ツメ７をツマミシャフト１０と圧縮バネ１２とによって
フリーに移動自在とすることによって、ツメ７，８によ
るＰＫＧ１の固定位置が可変自在となるので、ある程度
のＰＫＧ１の形状変更にも対応可能とすることができ、
ＰＫＧ１の形状に対する汎用性を向上させることができ
る。
【００２８】上記のように、ある程度のＰＫＧ１の形状
変更に対応できるようなＰＫＧ１の固定治具（ツメ７，
８）を具体化することで、ＰＫＧ１の形状変更のたびに
ツメの形状を作り直す等の煩わしさをなくし、工数の低
減及び作業の効率化を図ることができる。
変更に対応できるようなＰＫＧ１の固定治具（ツメ７，
８）を具体化することで、ＰＫＧ１の形状変更のたびに
ツメの形状を作り直す等の煩わしさをなくし、工数の低
減及び作業の効率化を図ることができる。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、モ
ジュール用パッケージを載置するステージと、モジュー
ル用パッケージの互いに対向する一対の対向辺のうちの
一方の側に設けられかつその辺に当接する第１の爪部材
と、第１の爪部材を一対の対向辺のうちの一方の方向に
おいて所望の位置で固定する第１の固定部材と、一対の
対向辺のうちの他方の側に設けられかつその辺に当接す
る第２の爪部材と、第２の爪部材をモジュール用パッケ
ージ側に付勢する付勢部材と、第２の爪部材をモジュー
ル用パッケージのステージへの載置面に直交する高さ方
向において所望の位置で固定する第２の固定部材とを備
えることによって、ＰＫＧの形状の変更に容易に変更可
能とすることができ、ＰＫＧの形状に対する汎用性を向
上させることができるという効果がある。
ジュール用パッケージを載置するステージと、モジュー
ル用パッケージの互いに対向する一対の対向辺のうちの
一方の側に設けられかつその辺に当接する第１の爪部材
と、第１の爪部材を一対の対向辺のうちの一方の方向に
おいて所望の位置で固定する第１の固定部材と、一対の
対向辺のうちの他方の側に設けられかつその辺に当接す
る第２の爪部材と、第２の爪部材をモジュール用パッケ
ージ側に付勢する付勢部材と、第２の爪部材をモジュー
ル用パッケージのステージへの載置面に直交する高さ方
向において所望の位置で固定する第２の固定部材とを備
えることによって、ＰＫＧの形状の変更に容易に変更可
能とすることができ、ＰＫＧの形状に対する汎用性を向
上させることができるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例によるモジュール用パッケー
ジ固定機構の構成を示す正面図である。
ジ固定機構の構成を示す正面図である。
【図２】（ａ）は本発明の一実施例によるモジュール用
パッケージ固定機構のステージ部分の左側面図、（ｂ）
は本発明の一実施例によるモジュール用パッケージ固定
機構のステージ部分の平面図、（ｃ）は本発明の一実施
例によるモジュール用パッケージ固定機構のステージ部
分の右側面図である。
パッケージ固定機構のステージ部分の左側面図、（ｂ）
は本発明の一実施例によるモジュール用パッケージ固定
機構のステージ部分の平面図、（ｃ）は本発明の一実施
例によるモジュール用パッケージ固定機構のステージ部
分の右側面図である。
【図３】（ａ）は図１に示すツメの一方の組立て過程を
示す図、（ｂ）は図１に示すツメの一方ののツメの側面
図である。
示す図、（ｂ）は図１に示すツメの一方ののツメの側面
図である。
【図４】（ａ）は図１に示すツメの他方の平面図、
（ｂ）は図１に示すツメの他方の組立て過程を示す図で
ある。
（ｂ）は図１に示すツメの他方の組立て過程を示す図で
ある。
【図５】（ａ）は従来例の真空吸着式によるパッケージ
の吸着状態を示す図、（ｂ）は従来例のメカロック式に
よるパッケージの固定動作を示す図、（ｃ）は従来例の
他のメカロック式によるパッケージの固定動作を示す図
である。
の吸着状態を示す図、（ｂ）は従来例のメカロック式に
よるパッケージの固定動作を示す図、（ｃ）は従来例の
他のメカロック式によるパッケージの固定動作を示す図
である。
１ モジュール用パッケージ ２ メインステージ ３ ステージ ４ａ，４ｂ ヒータカートリッジ ５ センサ ６ 断熱材 ７，８ ツメ ７ａ，８ａ ＰＫＧ押え部分 ７ｂ，８ｂ 長穴 ９ サポートブロック １０ ツマミシャフト １１ 固定板 １２ 圧縮バネ １３ ロックネジ １４ コマ １５ ツマミネジ １６，１８，２０ ロックネジ １７ シャフト １９ 台
Claims (5)
- 【請求項１】 モジュール用パッケージを載置するステ
ージと、前記モジュール用パッケージの互いに対向する
一対の対向辺のうちの一方の側に設けられかつその辺に
当接する第１の爪部材と、前記第１の爪部材を前記一対
の対向辺のうちの一方の方向において所望の位置で固定
する第１の固定部材と、前記一対の対向辺のうちの他方
の側に設けられかつその辺に当接する第２の爪部材と、
前記第２の爪部材を前記モジュール用パッケージ側に付
勢する付勢部材と、前記第２の爪部材を前記モジュール
用パッケージの前記ステージへの載置面に直交する高さ
方向において所望の位置で固定する第２の固定部材とを
有することを特徴とするモジュール用パッケージ固定機
構。 - 【請求項２】 前記第１の爪部材は、前記一対の対向辺
のうちの一方の方向への移動を制限する長穴を含むこと
を特徴とする請求項１記載のモジュール用パッケージ固
定機構。 - 【請求項３】 前記第２の爪部材は、前記高さ方向への
移動を制限する長穴を含むことを特徴とする請求項１ま
たは請求項２記載のモジュール用パッケージ固定機構。 - 【請求項４】 前記第１及び第２の爪部材各々は、前記
モジュール用パッケージへの当接面を前記モジュール用
パッケージを前記ステージに押え付けるようなテーパ面
としたことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれ
か記載のモジュール用パッケージ固定機構。 - 【請求項５】 前記ステージは、前記前記第１及び第２
の爪部材各々が移動するための第１及び第２の溝を含む
ことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか記載
のモジュール用パッケージ固定機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9304163A JPH11145160A (ja) | 1997-11-06 | 1997-11-06 | モジュール用パッケージ固定機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9304163A JPH11145160A (ja) | 1997-11-06 | 1997-11-06 | モジュール用パッケージ固定機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11145160A true JPH11145160A (ja) | 1999-05-28 |
Family
ID=17929818
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9304163A Pending JPH11145160A (ja) | 1997-11-06 | 1997-11-06 | モジュール用パッケージ固定機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11145160A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100359865B1 (ko) * | 2000-04-18 | 2002-11-07 | 동양반도체장비 주식회사 | 반도체패키지 제조 장비의 픽엔플레이스 모듈 |
| JP2012067927A (ja) * | 2010-09-21 | 2012-04-05 | Hitachi Ltd | 多目的火力発電システム |
-
1997
- 1997-11-06 JP JP9304163A patent/JPH11145160A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100359865B1 (ko) * | 2000-04-18 | 2002-11-07 | 동양반도체장비 주식회사 | 반도체패키지 제조 장비의 픽엔플레이스 모듈 |
| JP2012067927A (ja) * | 2010-09-21 | 2012-04-05 | Hitachi Ltd | 多目的火力発電システム |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040824 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20041221 |