JPH11144662A - 画像処理装置 - Google Patents
画像処理装置Info
- Publication number
- JPH11144662A JPH11144662A JP9302496A JP30249697A JPH11144662A JP H11144662 A JPH11144662 A JP H11144662A JP 9302496 A JP9302496 A JP 9302496A JP 30249697 A JP30249697 A JP 30249697A JP H11144662 A JPH11144662 A JP H11144662A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- configuration
- image
- processing apparatus
- image processing
- control computer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 79
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 23
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 20
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims abstract description 9
- 230000010365 information processing Effects 0.000 claims abstract description 6
- 230000015654 memory Effects 0.000 claims description 8
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 4
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 claims 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 5
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 3
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 3
- 101100087530 Caenorhabditis elegans rom-1 gene Proteins 0.000 description 1
- 101001106432 Homo sapiens Rod outer segment membrane protein 1 Proteins 0.000 description 1
- 101100305983 Mus musculus Rom1 gene Proteins 0.000 description 1
- 101150065817 ROM2 gene Proteins 0.000 description 1
- 102100021424 Rod outer segment membrane protein 1 Human genes 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007850 degeneration Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000004069 differentiation Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Image Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】回路規模が小さく、かつ、演算処理の新機能追
加に柔軟に対応できる画像演算処理回路方式の画像処理
装置を提供すること。 【解決手段】回路をインプリメントするデバイスとして
リコンフィギュレーション可能なプログラマブルロジッ
クデバイスを用い、複数個のコンフィギュレーションデ
ータから、制御計算機が１個を選択してコンフィギュレ
ーションの起動を行う。
加に柔軟に対応できる画像演算処理回路方式の画像処理
装置を提供すること。 【解決手段】回路をインプリメントするデバイスとして
リコンフィギュレーション可能なプログラマブルロジッ
クデバイスを用い、複数個のコンフィギュレーションデ
ータから、制御計算機が１個を選択してコンフィギュレ
ーションの起動を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は画像処理装置に関
し、特に、走査型電子顕微鏡，透過型電子顕微鏡，電子
線式外観検査装置等、荷電粒子線走査によって得た試料
の画像に対して、フィルタリング等の画像演算処理を行
う画像処理装置の回路方式に関する。
し、特に、走査型電子顕微鏡，透過型電子顕微鏡，電子
線式外観検査装置等、荷電粒子線走査によって得た試料
の画像に対して、フィルタリング等の画像演算処理を行
う画像処理装置の回路方式に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術を図１〜図３を用いて説明す
る。
る。
【０００３】画像処理装置の全体構成を図１に示す。走
査型電子顕微鏡に代表される画像処理装置は、荷電粒子
線１０１を走査する走査制御部１０３，試料からのアナ
ログ画像信号１０２をデジタル化するＡＤ変換器１０
４，デジタル化された画像データに対してフィルタリン
グ等の演算処理を施す画像演算処理部１０５，演算処理
された画像データを格納する画像メモリ１０６，画像メ
モリ１０６に格納された画像データを表示装置１０８に
表示する表示制御部１０７、および、走査制御部１０
３，画像演算処理部１０５，画像メモリ１０６，表示制
御部１０７を制御する制御計算機１０９から構成され
る。
査型電子顕微鏡に代表される画像処理装置は、荷電粒子
線１０１を走査する走査制御部１０３，試料からのアナ
ログ画像信号１０２をデジタル化するＡＤ変換器１０
４，デジタル化された画像データに対してフィルタリン
グ等の演算処理を施す画像演算処理部１０５，演算処理
された画像データを格納する画像メモリ１０６，画像メ
モリ１０６に格納された画像データを表示装置１０８に
表示する表示制御部１０７、および、走査制御部１０
３，画像演算処理部１０５，画像メモリ１０６，表示制
御部１０７を制御する制御計算機１０９から構成され
る。
【０００４】画像処理装置の中の画像演算処理部１０５
に着目する。従来の画像演算処理部の構成を図２に示
す。画像演算処理の種類としてｎ種類あったならば、演
算処理回路１ ２０２，演算処理回路２ ２０３…演算
処理回路ｎ ２０４というように、個々の演算処理に対
応したハードウェアを個別に持っていた。例えば（株）
日立製作所の走査型電子顕微鏡 型式Ｓ−４７００に
は、画像演算処理機能として、リカーシブ加算平均，フ
レーム加算平均，画素積算平均，局所領域平均，メディ
アン等のフィルタリング演算、および、２画像加減算，
空間微分演算，投影分布演算等の演算があり、これが、
演算処理回路１ ２０２，演算処理回路２２０３…演算
処理回路ｎ ２０４に対応する。演算処理回路の例とし
てリカーシブ加算平均の回路を図３に示す。
に着目する。従来の画像演算処理部の構成を図２に示
す。画像演算処理の種類としてｎ種類あったならば、演
算処理回路１ ２０２，演算処理回路２ ２０３…演算
処理回路ｎ ２０４というように、個々の演算処理に対
応したハードウェアを個別に持っていた。例えば（株）
日立製作所の走査型電子顕微鏡 型式Ｓ−４７００に
は、画像演算処理機能として、リカーシブ加算平均，フ
レーム加算平均，画素積算平均，局所領域平均，メディ
アン等のフィルタリング演算、および、２画像加減算，
空間微分演算，投影分布演算等の演算があり、これが、
演算処理回路１ ２０２，演算処理回路２２０３…演算
処理回路ｎ ２０４に対応する。演算処理回路の例とし
てリカーシブ加算平均の回路を図３に示す。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来の画
像処理装置では、個々の演算処理機能に対応して個別に
専用の演算処理回路のハードウェアを持っていたため、
回路規模が大きくなり省スペース化できないという問
題、および、ハードウェアに変更が生じるような演算処
理の新機能追加への対応が困難であるという問題があっ
た。
像処理装置では、個々の演算処理機能に対応して個別に
専用の演算処理回路のハードウェアを持っていたため、
回路規模が大きくなり省スペース化できないという問
題、および、ハードウェアに変更が生じるような演算処
理の新機能追加への対応が困難であるという問題があっ
た。
【０００６】本発明の目的は、上記の画像処理装置の問
題を解決すること、すなわち、回路規模が小さく省スペ
ース化されており、かつ、演算処理の新機能追加に柔軟
に対応できる回路方式の画像演算処理部を持った画像処
理装置を提供することである。
題を解決すること、すなわち、回路規模が小さく省スペ
ース化されており、かつ、演算処理の新機能追加に柔軟
に対応できる回路方式の画像演算処理部を持った画像処
理装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】近年、多数のメーカか
ら、種々のゲート規模のプログラマブルロジックデバイ
スが製品化されており、他のプリント基板製品に適用さ
れている。ゲート規模としては数千〜１万ゲートクラス
のものが主流であり、最大は１０万ゲートクラスであ
り、１個のプログラマブルロジックデバイスで１０万ゲ
ートクラスまでのシステムを組むことが可能になってい
る。
ら、種々のゲート規模のプログラマブルロジックデバイ
スが製品化されており、他のプリント基板製品に適用さ
れている。ゲート規模としては数千〜１万ゲートクラス
のものが主流であり、最大は１０万ゲートクラスであ
り、１個のプログラマブルロジックデバイスで１０万ゲ
ートクラスまでのシステムを組むことが可能になってい
る。
【０００８】プログラマブルロジックデバイスは、基本
的に、ＡＮＤ，ＯＲゲート等の論理素子とフリップフロ
ップ素子の集合体であり、ユーザが素子選択および素子
間の配線情報のデータを与えることにより、素子の選択
および素子間の配線を自由に変えることができるデバイ
ス、言い換えれば、プログラマブルに種々の機能の回路
をインプリメントできるデバイスである。
的に、ＡＮＤ，ＯＲゲート等の論理素子とフリップフロ
ップ素子の集合体であり、ユーザが素子選択および素子
間の配線情報のデータを与えることにより、素子の選択
および素子間の配線を自由に変えることができるデバイ
ス、言い換えれば、プログラマブルに種々の機能の回路
をインプリメントできるデバイスである。
【０００９】素子選択および素子間の配線情報のデータ
をロードして、デバイス内部で実際に選択した素子間を
配線することをコンフィギュレーションと呼ぶ。素子選
択および素子間の配線情報のデータをコンフィギュレー
ションデータと呼ぶ。また、別のコンフィギュレーショ
ンデータをロードしてコンフィギュレーションしなおす
ことをリコンフィギュレーションと呼ぶ。
をロードして、デバイス内部で実際に選択した素子間を
配線することをコンフィギュレーションと呼ぶ。素子選
択および素子間の配線情報のデータをコンフィギュレー
ションデータと呼ぶ。また、別のコンフィギュレーショ
ンデータをロードしてコンフィギュレーションしなおす
ことをリコンフィギュレーションと呼ぶ。
【００１０】コンフィギュレーション方式として、コン
フィギュレーションデータをＲＯＭに格納しておき、そ
のＲＯＭからロードするタイプ、および、専用ツールや
ＰＣ等の情報処理装置から通信でロードするタイプのデ
バイスがある。また、リコンフィギュレーションは可能
なデバイスとそうでないものがある。
フィギュレーションデータをＲＯＭに格納しておき、そ
のＲＯＭからロードするタイプ、および、専用ツールや
ＰＣ等の情報処理装置から通信でロードするタイプのデ
バイスがある。また、リコンフィギュレーションは可能
なデバイスとそうでないものがある。
【００１１】リコンフィギュレーション可能でかつコン
フィギュレーションデータをＲＯＭまたは情報処理装置
からロード可能なタイプのプログラマブルロジックデバ
イスとして、例えば米国アルテラ社のＦＰＧＡ（フィー
ルドプログラマブルゲートアレイ）FLEX8000シリーズ、
FLEX10K シリーズ等がある。本シリーズでは、１万ゲー
トクラスのデバイスのコンフィギュレーション時間は約
１００ｍｓ以下である。
フィギュレーションデータをＲＯＭまたは情報処理装置
からロード可能なタイプのプログラマブルロジックデバ
イスとして、例えば米国アルテラ社のＦＰＧＡ（フィー
ルドプログラマブルゲートアレイ）FLEX8000シリーズ、
FLEX10K シリーズ等がある。本シリーズでは、１万ゲー
トクラスのデバイスのコンフィギュレーション時間は約
１００ｍｓ以下である。
【００１２】さて、回路規模を小さく省スペース化し、
かつ、演算処理の新機能追加に柔軟に対応できる回路方
式の画像演算処理部を持った画像処理装置を提供すると
いう課題を解決するために、画像演算処理部の構成およ
び制御計算機の制御フローを次のようにする。
かつ、演算処理の新機能追加に柔軟に対応できる回路方
式の画像演算処理部を持った画像処理装置を提供すると
いう課題を解決するために、画像演算処理部の構成およ
び制御計算機の制御フローを次のようにする。
【００１３】画像演算処理部を、回路をインプリメント
するデバイスとしてのリコンフィギュレーション可能な
プログラマブルロジックデバイス，複数の演算処理に対
応する複数個のコンフィギュレーションデータ，制御計
算機が複数個のコンフィギュレーションデータから１個
を選択できる機構、および、プログラマブルロジックデ
バイスのコンフィギュレーションの起動を行うことがで
きる機能をもった構成とする、さらに、画像演算処理起
動時の制御計算機の制御フローを、まず、プログラマブ
ルデバイスがロードするコンフィギュレーションデータ
の選択を行い、その後に、プログラマブルロジックデバ
イスのコンフィギュレーションを起動し、コンフィギュ
レーションが終了した後に、演算処理を起動するフロー
とする。
するデバイスとしてのリコンフィギュレーション可能な
プログラマブルロジックデバイス，複数の演算処理に対
応する複数個のコンフィギュレーションデータ，制御計
算機が複数個のコンフィギュレーションデータから１個
を選択できる機構、および、プログラマブルロジックデ
バイスのコンフィギュレーションの起動を行うことがで
きる機能をもった構成とする、さらに、画像演算処理起
動時の制御計算機の制御フローを、まず、プログラマブ
ルデバイスがロードするコンフィギュレーションデータ
の選択を行い、その後に、プログラマブルロジックデバ
イスのコンフィギュレーションを起動し、コンフィギュ
レーションが終了した後に、演算処理を起動するフロー
とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】プログラマブルロジックデバイス
がコンフィギュレーションデータを情報処理装置から通
信でロードするタイプである場合の実施例（実施例その
１）を図４〜図５を用いて説明する。
がコンフィギュレーションデータを情報処理装置から通
信でロードするタイプである場合の実施例（実施例その
１）を図４〜図５を用いて説明する。
【００１５】画像演算処理部を、演算処理回路をインプ
リメントするデバイスとしての、リコンフィギュレーシ
ョン可能でコンフィギュレーションデータを情報処理装
置から通信でロードするタイプのプログラマブルロジッ
クデバイス４０１，種々の演算処理回路に対応したコン
フィギュレーションデータ１，２，ｎ ４０２，403,４
０４、コンフィギュレーションデータ１，２，ｎ ４０
２，４０３，４０４の選択、および、コンフィギュレー
ション時のプログラマブルロジックデバイスの制御計算
機４０１との通信が可能な制御計算機４０１で構成す
る。プログラマブルロジックデバイス４０５として、例
えば、米アルテラ社のFLEX8000シリーズが使用できる。
リメントするデバイスとしての、リコンフィギュレーシ
ョン可能でコンフィギュレーションデータを情報処理装
置から通信でロードするタイプのプログラマブルロジッ
クデバイス４０１，種々の演算処理回路に対応したコン
フィギュレーションデータ１，２，ｎ ４０２，403,４
０４、コンフィギュレーションデータ１，２，ｎ ４０
２，４０３，４０４の選択、および、コンフィギュレー
ション時のプログラマブルロジックデバイスの制御計算
機４０１との通信が可能な制御計算機４０１で構成す
る。プログラマブルロジックデバイス４０５として、例
えば、米アルテラ社のFLEX8000シリーズが使用できる。
【００１６】マンマシンインターフェース等から、ある
画像演算処理（演算処理ｎとする）の起動要求が来た
（５０１）場合、制御計算機４０１は次のフローに従っ
て演算処理ｎを起動する。
画像演算処理（演算処理ｎとする）の起動要求が来た
（５０１）場合、制御計算機４０１は次のフローに従っ
て演算処理ｎを起動する。
【００１７】演算処理ｎの起動要求が来た（５０１）時
に、もし実行中の演算処理があればそれを停止し（５０
２）、次に、制御計算機４０１で、演算処理ｎに対応す
るコンフィギュレーションデータｎ ４０４を選択し
（５０３）、次に、プログラマブルデバイス４０５との
通信を開始することによりコンフィギュレーションを起
動する（５０４）。コンフィギュレーションが終了した
ら（５０５）、演算処理を起動する（５０６）。
に、もし実行中の演算処理があればそれを停止し（５０
２）、次に、制御計算機４０１で、演算処理ｎに対応す
るコンフィギュレーションデータｎ ４０４を選択し
（５０３）、次に、プログラマブルデバイス４０５との
通信を開始することによりコンフィギュレーションを起
動する（５０４）。コンフィギュレーションが終了した
ら（５０５）、演算処理を起動する（５０６）。
【００１８】プログラマブルロジックデバイスがコンフ
ィギュレーションデータを外付けＲＯＭからロードする
タイプである場合の実施例（実施例その２）を図６〜図
７を用いて説明する。
ィギュレーションデータを外付けＲＯＭからロードする
タイプである場合の実施例（実施例その２）を図６〜図
７を用いて説明する。
【００１９】画像演算処理部を、演算処理回路をインプ
リメントするデバイスとしての、リコンフィギュレーシ
ョン可能でコンフィギュレーションデータを外付けＲＯ
Ｍからロードするタイプのプログラマブルロジックデバ
イス６０７、種々の演算処理回路に対応したコンフィギ
ュレーションデータを格納するＲＯＭ１，２，ｎ６０
３，６０４，６０５、コンフィギュレーション時に使用
するＲＯＭ１個を選択するセレクタ６０６，プログラマ
ブルロジックデバイス６０７および外付けＲＯＭ１，
２，ｎ ６０３，６０４，６０５に必要なコンフィギュ
レーション起動の制御信号を生成するコンフィギュレー
ション起動レジスタ６０２，コンフィギュレーション起
動レジスタ６０２およびセレクタ６０６を制御する制御
計算機６０１で構成する。プログラマブルロジックデバ
イス６０７として、例えば、米アルテラ社のFLEX8000シ
リーズが使用できる。
リメントするデバイスとしての、リコンフィギュレーシ
ョン可能でコンフィギュレーションデータを外付けＲＯ
Ｍからロードするタイプのプログラマブルロジックデバ
イス６０７、種々の演算処理回路に対応したコンフィギ
ュレーションデータを格納するＲＯＭ１，２，ｎ６０
３，６０４，６０５、コンフィギュレーション時に使用
するＲＯＭ１個を選択するセレクタ６０６，プログラマ
ブルロジックデバイス６０７および外付けＲＯＭ１，
２，ｎ ６０３，６０４，６０５に必要なコンフィギュ
レーション起動の制御信号を生成するコンフィギュレー
ション起動レジスタ６０２，コンフィギュレーション起
動レジスタ６０２およびセレクタ６０６を制御する制御
計算機６０１で構成する。プログラマブルロジックデバ
イス６０７として、例えば、米アルテラ社のFLEX8000シ
リーズが使用できる。
【００２０】マンマシンインターフェース等から、ある
画像演算処理（演算処理ｎとする）の起動要求が来た
（７０１）場合、制御計算機６０１は次のフローに従っ
て演算処理ｎを起動する。
画像演算処理（演算処理ｎとする）の起動要求が来た
（７０１）場合、制御計算機６０１は次のフローに従っ
て演算処理ｎを起動する。
【００２１】演算処理ｎの起動要求が来た（７０１）時
に、もし実行中の演算処理があればそれを停止し(７０
２)、次に、セレクタ６０６で演算処理ｎに対応するＲ
ＯＭｎ６０５を選択し、次に、コンフィギュレーション
起動レジスタ６０２にアクセスして、プログラマブルロ
ジックデバイス６０７およびＲＯＭｎ ６０５にコンフ
ィギュレーションの起動をかける。コンフィギュレーシ
ョンが終了したら、演算処理を起動する（７０５）。
に、もし実行中の演算処理があればそれを停止し(７０
２)、次に、セレクタ６０６で演算処理ｎに対応するＲ
ＯＭｎ６０５を選択し、次に、コンフィギュレーション
起動レジスタ６０２にアクセスして、プログラマブルロ
ジックデバイス６０７およびＲＯＭｎ ６０５にコンフ
ィギュレーションの起動をかける。コンフィギュレーシ
ョンが終了したら、演算処理を起動する（７０５）。
【００２２】本実施例その２では、コンフィギュレーシ
ョンデータ格納にＲＯＭ１，２，ｎ６０３，６０４，６
０５を使用したが、ＲＯＭの代わりにＳＲＡＭ等の他の
メモリを使うことも可能である。また、複数のメモリを
選択して使用する代わりに１つまたは複数のメモリの領
域を区切って使用することも可能である。
ョンデータ格納にＲＯＭ１，２，ｎ６０３，６０４，６
０５を使用したが、ＲＯＭの代わりにＳＲＡＭ等の他の
メモリを使うことも可能である。また、複数のメモリを
選択して使用する代わりに１つまたは複数のメモリの領
域を区切って使用することも可能である。
【００２３】走査型電子顕微鏡等の画像処理装置では、
同時に２つ以上の画像演算処理を行うことはないため、
実行したい演算処理起動時毎にコンフィギュレーション
して１つの演算処理回路をインプリメントする本回路方
式は問題にならない。また、プログラマブルデバイスの
コンフィギュレーション時間は約１００ｍｓ以下である
が、走査型電子顕微鏡等の画像処理装置のマンマシンイ
ンターフェース時間としては十分短い時間であるためこ
れも問題にならない。つまり、本回路方式は実使用上の
問題はない。
同時に２つ以上の画像演算処理を行うことはないため、
実行したい演算処理起動時毎にコンフィギュレーション
して１つの演算処理回路をインプリメントする本回路方
式は問題にならない。また、プログラマブルデバイスの
コンフィギュレーション時間は約１００ｍｓ以下である
が、走査型電子顕微鏡等の画像処理装置のマンマシンイ
ンターフェース時間としては十分短い時間であるためこ
れも問題にならない。つまり、本回路方式は実使用上の
問題はない。
【００２４】
【発明の効果】回路の小型化および省スペース化が図れ
るため、特に、画像処理装置を床面積当たりのコストが
高価なクリーンルームに設置する場合には、コスト低減
の効果がある。
るため、特に、画像処理装置を床面積当たりのコストが
高価なクリーンルームに設置する場合には、コスト低減
の効果がある。
【００２５】さらに、実施例その１の場合には、新機能
に対応したＲＯＭを追加、または、既に存在しているＲ
ＯＭと交換することにより画像演算処理の新機能が容易
に追加が可能、実施例その２の場合には、新機能に対応
したコンフィギュレーションデータを制御計算機上に追
加して持つことにより画像演算処理の新機能が容易に追
加が可能という効果がある。
に対応したＲＯＭを追加、または、既に存在しているＲ
ＯＭと交換することにより画像演算処理の新機能が容易
に追加が可能、実施例その２の場合には、新機能に対応
したコンフィギュレーションデータを制御計算機上に追
加して持つことにより画像演算処理の新機能が容易に追
加が可能という効果がある。
【００２６】また、実施例では、演算処理の機能選択に
応じてリコンフィギュレーションすることのみしか述べ
なかったが、回路の故障検出機能を追加して、故障時に
は縮退動作用のデータをリコンフィギュレーションして
画像演算処理部を縮退動作させるという応用動作も可能
である。
応じてリコンフィギュレーションすることのみしか述べ
なかったが、回路の故障検出機能を追加して、故障時に
は縮退動作用のデータをリコンフィギュレーションして
画像演算処理部を縮退動作させるという応用動作も可能
である。
【図１】画像処理装置の全体図。
【図２】図１の画像演算処理部構成を示す図。
【図３】図１の演算処理の回路図。
【図４】発明の実施例である画像演算処理部の構成その
１を示す図。
１を示す図。
【図５】図４の制御計算機の制御フローその１を示す
図。
図。
【図６】発明の画像演算処理部の構成その２を示す図。
【図７】発明の制御計算機の制御フローその２を示す
図。
図。
１０１…荷電粒子線、１０２…アナログ画像信号、１０
３…走査制御部、104…ＡＤ変換器、１０５，２０１…
画像演算処理部、１０６…画像メモリ、１０７…表示制
御部、１０８…表示装置、１０９，４０１，６０１…制
御計算機、202…演算処理回路１、２０３…演算処理回
路２、２０４…演算処理回路ｎ、２０５，６０６…セレ
クタ、４０２…コンフィギュレーションデータ１、４０
３…コンフィギュレーションデータ２、４０４…コンフ
ィギュレーションデータｎ、405,６０７…プログラマブ
ルロジックデバイス、６０２…コンフィギュレーション
起動レジスタ、６０３…ＲＯＭ１、６０４…ＲＯＭ２、
605…ＲＯＭｎ。
３…走査制御部、104…ＡＤ変換器、１０５，２０１…
画像演算処理部、１０６…画像メモリ、１０７…表示制
御部、１０８…表示装置、１０９，４０１，６０１…制
御計算機、202…演算処理回路１、２０３…演算処理回
路２、２０４…演算処理回路ｎ、２０５，６０６…セレ
クタ、４０２…コンフィギュレーションデータ１、４０
３…コンフィギュレーションデータ２、４０４…コンフ
ィギュレーションデータｎ、405,６０７…プログラマブ
ルロジックデバイス、６０２…コンフィギュレーション
起動レジスタ、６０３…ＲＯＭ１、６０４…ＲＯＭ２、
605…ＲＯＭｎ。
Claims (5)
- 【請求項１】試料を荷電粒子線で走査して画像信号を得
る手段、その画像信号をデジタル化する手段，デジタル
化された画像データを演算処理する手段，演算された画
像データを画像メモリに格納する手段，格納された画像
データを表示装置に表示する手段、および、画像データ
の演算処理手順を制御計算機で制御する手段を有する画
像処理装置において、画像データ演算処理手段がリコン
フィギュレーション可能なタイプのプログラマブルロジ
ックデバイスであることを特徴とする画像処理装置。 - 【請求項２】請求項１の画像処理装置において、リコン
フィギュレーション可能タイプのプログラマブルロジッ
クデバイスがコンフィギュレーションデータを情報処理
装置から通信によってロードするタイプであること、制
御計算機が、プログラマブルロジックデバイスのコンフ
ィギュレーションの起動を行う手段、異なった論理回路
に対応する複数個のコンフィギュレーションデータを保
有する手段、複数個のコンフィギュレーションデータか
ら１個を選択する手段、および、通信によってプログラ
マブルデバイスにコンフィギュレーションデータをロー
ドする手段を有することを特徴とする画像処理装置。 - 【請求項３】請求項２の画像処理装置において、画像演
算処理起動時の制御計算機の制御フローが、プログラマ
ブルデバイスがロードするコンフィギュレーションデー
タの選択を行い、その後に、コンフィギュレーションを
起動し、コンフィギュレーションが終了した後に、演算
処理を起動することを特徴とする画像処理装置。 - 【請求項４】請求項１の画像処理装置において、リコン
フィギュレーション可能タイプのプログラマブルロジッ
クデバイスがコンフィギュレーションデータを外付けＲ
ＯＭからロードするタイプであること、制御計算機がプ
ログラマブルロジックデバイスのコンフィギュレーショ
ンの起動を行う手段を有すること、異なった論理回路に
対応するコンフィギュレーションデータを持つコンフィ
ギュレーション用ROMを複数個有すること、および、制
御計算機が複数個のコンフィギュレーション用ＲＯＭか
ら１個を選択する手段を有することを特徴とする画像処
理装置。 - 【請求項５】請求項４の画像処理装置において、画像演
算処理起動時の制御計算機の制御フローが、プログラマ
ブルデバイスがロードするコンフィギュレーション用Ｒ
ＯＭの選択を行い、その後に、コンフィギュレーション
を起動し、コンフィギュレーションが終了した後に、演
算処理を起動することを特徴とする画像処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9302496A JPH11144662A (ja) | 1997-11-05 | 1997-11-05 | 画像処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9302496A JPH11144662A (ja) | 1997-11-05 | 1997-11-05 | 画像処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11144662A true JPH11144662A (ja) | 1999-05-28 |
Family
ID=17909666
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9302496A Pending JPH11144662A (ja) | 1997-11-05 | 1997-11-05 | 画像処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11144662A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002177258A (ja) * | 2000-12-06 | 2002-06-25 | Ge Medical Systems Global Technology Co Llc | Ｘ線ｃｔ装置 |
| US7847589B2 (en) | 2007-06-12 | 2010-12-07 | Fujitsu Limited | Configuration data feeding device |
-
1997
- 1997-11-05 JP JP9302496A patent/JPH11144662A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002177258A (ja) * | 2000-12-06 | 2002-06-25 | Ge Medical Systems Global Technology Co Llc | Ｘ線ｃｔ装置 |
| US7847589B2 (en) | 2007-06-12 | 2010-12-07 | Fujitsu Limited | Configuration data feeding device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4677733B2 (ja) | サーバ装置、表示装置及び表示方法 | |
| CN112862199B (zh) | 清洁设备的清洁路径获取方法、装置及存储介质 | |
| JPH1185219A (ja) | プログラマブルコントローラ | |
| JPH11144662A (ja) | 画像処理装置 | |
| JP3317870B2 (ja) | 表示画像を効率的に構築する方法および表示プロセッサシステム | |
| Reader et al. | Trends in image display systems | |
| US5333259A (en) | Graphic information processing system having a RISC CPU for displaying information in a window | |
| JP3068508B2 (ja) | 画面解像度制御方式 | |
| JP3872298B2 (ja) | 応答制御装置およびコンピュータ・プログラム | |
| JPS60156178A (ja) | 画像処理装置 | |
| KR20070007270A (ko) | 프로그램 가능 논리 회로 제어 장치, 프로그램 가능 논리 회로 제어 방법 및 프로그램을 포함하는 기록 매체 | |
| JP4756317B2 (ja) | 画像編集装置 | |
| EP2853965A1 (en) | Time deterministic human-machine interface device, and system and method for configuring the same | |
| JPH0520447A (ja) | 画像処理用集積回路 | |
| JP2513613B2 (ja) | 画像演算処理装置 | |
| JPH05210372A (ja) | 文字表示方法 | |
| JP2007172128A (ja) | Ｉ／ｏシミュレータ装置 | |
| JPH0944553A (ja) | Ｃａｄシステム、並びにｃａｄ利用作業方法 | |
| JPH01244502A (ja) | Ｐｃのプログラム表示方式 | |
| JPH0638041A (ja) | 画像処理装置 | |
| JPH07319440A (ja) | 操作表示パネルにおける表示方法 | |
| JPH0652908A (ja) | プリント板の実装構造 | |
| JP2000276516A (ja) | プリント基板配線設計システムおよびプリント基板配線表示方法 | |
| JP3125754B2 (ja) | 回路シンボル作成システム | |
| JPH04125591A (ja) | 画像処理装置 |