JPH11138806A - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
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- JPH11138806A JPH11138806A JP30695697A JP30695697A JPH11138806A JP H11138806 A JPH11138806 A JP H11138806A JP 30695697 A JP30695697 A JP 30695697A JP 30695697 A JP30695697 A JP 30695697A JP H11138806 A JPH11138806 A JP H11138806A
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- Japan
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- piezoelectric element
- spacer
- diaphragm
- block
- laminated piezoelectric
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 インクジェットヘッドの駆動源のｄ３３モー
ドの積層圧電素子の変位を効率よく取り出す構造を提供
するものである。 【解決手段】 チャンバ、ダイヤフラム、フレーム、ノ
ズル板とインク液滴吐出駆動源がｄ３３モードの積層圧
電素子からなるインクジェットヘッドにおいて積層圧電
素子とダイヤフラムの間にスペーサを挿入し、スペーサ
の積層圧電素子との接合長さは、積層圧電素子の幅より
狭い長さで、積層圧電素子の中央部で接合し、前記ダイ
ヤフラムのアイランドとの接合長さはアイランドの長さ
に一致して接合することを特徴とする。簡単な形状のス
ペーサブロックを積層圧電素子ブロックに接合し、溝切
り加工することで簡単に製作でき、積層圧電素子の変位
を効率よくダイヤフラムに伝達出来る。従って変位の向
上、積層数の低減、それに伴うコストダウンが可能とな
る。
ドの積層圧電素子の変位を効率よく取り出す構造を提供
するものである。 【解決手段】 チャンバ、ダイヤフラム、フレーム、ノ
ズル板とインク液滴吐出駆動源がｄ３３モードの積層圧
電素子からなるインクジェットヘッドにおいて積層圧電
素子とダイヤフラムの間にスペーサを挿入し、スペーサ
の積層圧電素子との接合長さは、積層圧電素子の幅より
狭い長さで、積層圧電素子の中央部で接合し、前記ダイ
ヤフラムのアイランドとの接合長さはアイランドの長さ
に一致して接合することを特徴とする。簡単な形状のス
ペーサブロックを積層圧電素子ブロックに接合し、溝切
り加工することで簡単に製作でき、積層圧電素子の変位
を効率よくダイヤフラムに伝達出来る。従って変位の向
上、積層数の低減、それに伴うコストダウンが可能とな
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はインクジェット記録
装置に関し、更に詳しくは積層圧電素子を駆動源とする
インクジェットヘッドの構造に関する。
装置に関し、更に詳しくは積層圧電素子を駆動源とする
インクジェットヘッドの構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電素子を駆動源とするインクジェット
ヘッドは高速応答、小型化、低電圧駆動を実現するた
め、圧電素子はバイモルタイプより変位を大きく取り出
せる積層タイプが採用される傾向にある。積層圧電素子
のモードはｄ３１モードとｄ３３モードの２種類ある。
ｄ３１モードの変位は積層する単一セルの長さに比例し
厚さに反比例するが、ｄ３３モードの変位は積層数に比
例するものである。従って十分大きな変位を取り出すに
あたっては、ｄ３１モードは単一セルを薄くするのに限
度があるため、積層数を増やすだけのｄ３３モードの方
が取り出しやすいといえる。しかしｄ３３モードであっ
ても低電圧でしかも十分な変位を得るためには積層数を
十分大きくする必要があり積層数の上昇は不良率、コス
トの増加があり、そのため積層数をぎりぎりにとる設計
となり変位に余裕がなかった。
ヘッドは高速応答、小型化、低電圧駆動を実現するた
め、圧電素子はバイモルタイプより変位を大きく取り出
せる積層タイプが採用される傾向にある。積層圧電素子
のモードはｄ３１モードとｄ３３モードの２種類ある。
ｄ３１モードの変位は積層する単一セルの長さに比例し
厚さに反比例するが、ｄ３３モードの変位は積層数に比
例するものである。従って十分大きな変位を取り出すに
あたっては、ｄ３１モードは単一セルを薄くするのに限
度があるため、積層数を増やすだけのｄ３３モードの方
が取り出しやすいといえる。しかしｄ３３モードであっ
ても低電圧でしかも十分な変位を得るためには積層数を
十分大きくする必要があり積層数の上昇は不良率、コス
トの増加があり、そのため積層数をぎりぎりにとる設計
となり変位に余裕がなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】図５は従来例のｄ３３
モードの積層圧電素子を用いたインクジェットヘッドの
斜視図である。インクジェットヘッドはチャンバ５、ダ
イヤフラム６、フレーム７、ノズル板８、アクチュエー
タ１８から構成されている。
モードの積層圧電素子を用いたインクジェットヘッドの
斜視図である。インクジェットヘッドはチャンバ５、ダ
イヤフラム６、フレーム７、ノズル板８、アクチュエー
タ１８から構成されている。
【０００４】図６は図５の展開図を示す。ノズル板８は
１／１２０インチの等間隔のピッチで一直線上に並んだ
２０個のノズル孔８ａを持ち、チャンバ５はノズル孔８
ａに対応する圧力室を形成するための２０個の溝５ｂを
持つ。ダイヤフラム６は詳細を図７に拡大して示すよう
にそれぞれの圧力室に対応して１／１２０インチピッチ
で部分的に厚さの薄いダイヤフラム部６ｂとアイランド
６ａからなり、アイランド６ａは積層圧電素１１の上面
と固着され、変位を受ける。アイランド６ａの厚さは、
ピッチが１／１２０インチと非常に小さいためアスペク
ト比がとれず、せいぜい３０μmしかなく剛性が全くな
い。
１／１２０インチの等間隔のピッチで一直線上に並んだ
２０個のノズル孔８ａを持ち、チャンバ５はノズル孔８
ａに対応する圧力室を形成するための２０個の溝５ｂを
持つ。ダイヤフラム６は詳細を図７に拡大して示すよう
にそれぞれの圧力室に対応して１／１２０インチピッチ
で部分的に厚さの薄いダイヤフラム部６ｂとアイランド
６ａからなり、アイランド６ａは積層圧電素１１の上面
と固着され、変位を受ける。アイランド６ａの厚さは、
ピッチが１／１２０インチと非常に小さいためアスペク
ト比がとれず、せいぜい３０μmしかなく剛性が全くな
い。
【０００５】図６に戻る、ダイヤフラム６はチャンバ５
に位置決め接合される。フレーム７はダイヤフラム６に
位置決めに接合される。ノズル板８はチャンバ５、ダイ
ヤフラム６及びフレーム７の接合後、チャンバ５の溝５
ｂの覗く側面にノズル孔８ａと溝５ｂの位置決めをし接
合される。アクチュエータ１８のベース２は、積層圧電
素子ブロック３に溝切りで形成された積層圧電素子１１
の上面とダイヤフラム６のアイランド６ａが当接し固着
される位置まで、フレーム７の位置決め角穴７ａにはめ
込まれ、アクチュエータ１８を位置決めし接着剤にてフ
レーム７に固着される。
に位置決め接合される。フレーム７はダイヤフラム６に
位置決めに接合される。ノズル板８はチャンバ５、ダイ
ヤフラム６及びフレーム７の接合後、チャンバ５の溝５
ｂの覗く側面にノズル孔８ａと溝５ｂの位置決めをし接
合される。アクチュエータ１８のベース２は、積層圧電
素子ブロック３に溝切りで形成された積層圧電素子１１
の上面とダイヤフラム６のアイランド６ａが当接し固着
される位置まで、フレーム７の位置決め角穴７ａにはめ
込まれ、アクチュエータ１８を位置決めし接着剤にてフ
レーム７に固着される。
【０００６】アクチュエータ１８は図８に示すようにベ
ース２に位置決め接合された積層圧電素子ブロック３に
１／１２０インチピッチで溝を切り、各々２０個の圧力
室に対応して、２０個と４個の捨て部分、計２４個の積
層圧電素子１１を持つ。ｄ３３モードの積層圧電素子ブ
ロック３及び溝切りされた積層圧電素子１１は変位方向
に積層された数十層の内部Ｃ電極１２、内部Ｄ電極１３
からなり（図は見やすいように粗く表している）、内部
Ｃ電極１２と内部Ｄ電極１３は約２０μｍの間隔で対向
しており、内部Ｃ電極１２の外部Ｃ電極１４を共通電極
側とし、内部Ｄ電極１３の外部Ｄ電極１５を信号電極側
として持ち、共通電極１６が外部Ｃ電極１４に半田付け
され、ＦＰＣ１０にパターンニング（図示せず）された
信号電極が積層圧電素子１１一個一個の外部Ｄ電極１５
に半田付けされている。ＦＰＣ１０は、共通電極１６を
駆動回路に接続するためのパターンも持ち、共通電極１
６と半田付け接続されている。
ース２に位置決め接合された積層圧電素子ブロック３に
１／１２０インチピッチで溝を切り、各々２０個の圧力
室に対応して、２０個と４個の捨て部分、計２４個の積
層圧電素子１１を持つ。ｄ３３モードの積層圧電素子ブ
ロック３及び溝切りされた積層圧電素子１１は変位方向
に積層された数十層の内部Ｃ電極１２、内部Ｄ電極１３
からなり（図は見やすいように粗く表している）、内部
Ｃ電極１２と内部Ｄ電極１３は約２０μｍの間隔で対向
しており、内部Ｃ電極１２の外部Ｃ電極１４を共通電極
側とし、内部Ｄ電極１３の外部Ｄ電極１５を信号電極側
として持ち、共通電極１６が外部Ｃ電極１４に半田付け
され、ＦＰＣ１０にパターンニング（図示せず）された
信号電極が積層圧電素子１１一個一個の外部Ｄ電極１５
に半田付けされている。ＦＰＣ１０は、共通電極１６を
駆動回路に接続するためのパターンも持ち、共通電極１
６と半田付け接続されている。
【０００７】図９は従来例図５のインクジェットヘッド
の断面図でノズル孔８ａ一個一個に対応した溝５ｂによ
り形成された圧力室９の断面を示している。インク供給
口５ａから入ったインクは図の矢印の経路をを通り絞り
部９ａを通り圧力室９に入っている。文字或いはグラフ
ィックスを描くための駆動電圧がＦＰＣ１０の信号電極
と共通電極１６の間に印加されると積層圧電素子１１が
変位しダイヤフラム６のアイランド６ａを押し上げ圧力
室９の容積を急激に減じインクがノズル孔８ａより吐出
する。積層圧電素子１１の上面とダイヤフラム６のアイ
ランド６ａは固着されているため、剛性の弱いアイラン
ド９ａは積層圧電素子１１の変位そのままの変形、即ち
図２に示すように積層圧電素子の幅Ｂで示す曲線の変形
をする。
の断面図でノズル孔８ａ一個一個に対応した溝５ｂによ
り形成された圧力室９の断面を示している。インク供給
口５ａから入ったインクは図の矢印の経路をを通り絞り
部９ａを通り圧力室９に入っている。文字或いはグラフ
ィックスを描くための駆動電圧がＦＰＣ１０の信号電極
と共通電極１６の間に印加されると積層圧電素子１１が
変位しダイヤフラム６のアイランド６ａを押し上げ圧力
室９の容積を急激に減じインクがノズル孔８ａより吐出
する。積層圧電素子１１の上面とダイヤフラム６のアイ
ランド６ａは固着されているため、剛性の弱いアイラン
ド９ａは積層圧電素子１１の変位そのままの変形、即ち
図２に示すように積層圧電素子の幅Ｂで示す曲線の変形
をする。
【０００８】図２は積層圧電素子１１に駆動電圧を印加
した時の上面の変位を示す。この変位の平均は最大変位
の約７０％にしかならない。アイランド９ａはこの変位
の形状で変形するから圧力室９の容積変化は積層圧電素
子１１の最大変位の７０％を使っているに過ぎない。
した時の上面の変位を示す。この変位の平均は最大変位
の約７０％にしかならない。アイランド９ａはこの変位
の形状で変形するから圧力室９の容積変化は積層圧電素
子１１の最大変位の７０％を使っているに過ぎない。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は上記欠点を解決
するため、ｄ３３モードの積層圧電素子の変位を効率よ
く取り出す構造を提供するものである。チャンバ、ダイ
ヤフラム、フレーム、ノズル板とインク液滴吐出駆動源
がｄ３３モードの積層圧電素子からなるインクジェット
ヘッドにおいて前記積層圧電素子とダイヤフラムの間に
スペーサを挿入し、前記スペーサの前記積層圧電素子と
の接合長さは、積層圧電素子の幅より狭い長さで、前記
積層圧電素子の中央部で接合し、前記ダイヤフラムのア
イランドとの接合長さはアイランドの長さに一致して接
合することを特徴とする。更には前記スペーサの材質は
前記積層圧電素子と同じＰＺＴか、或いは近い材質のセ
ラミクスとすることを特徴とする。
するため、ｄ３３モードの積層圧電素子の変位を効率よ
く取り出す構造を提供するものである。チャンバ、ダイ
ヤフラム、フレーム、ノズル板とインク液滴吐出駆動源
がｄ３３モードの積層圧電素子からなるインクジェット
ヘッドにおいて前記積層圧電素子とダイヤフラムの間に
スペーサを挿入し、前記スペーサの前記積層圧電素子と
の接合長さは、積層圧電素子の幅より狭い長さで、前記
積層圧電素子の中央部で接合し、前記ダイヤフラムのア
イランドとの接合長さはアイランドの長さに一致して接
合することを特徴とする。更には前記スペーサの材質は
前記積層圧電素子と同じＰＺＴか、或いは近い材質のセ
ラミクスとすることを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態につき図面を
用いて説明する。図１は本実施の形態のｄ３３モードの
積層圧電素子を組み込んだアクチュエータの斜視図であ
る。アクチュエータ１は、ベース２と積層圧電素子ブロ
ック３が接合され、積層圧電素子ブロック３にスペーサ
ブロック４が接合されている。スペーサブロック４の積
層圧電素子ブロック３との接合の幅Ａは積層圧電素子の
幅Ｂの半分で、積層圧電素子の幅の中央に接合されてい
る。スペーサブロック４の上面の幅はダイヤフラムのア
イランドの長さに一致している。
用いて説明する。図１は本実施の形態のｄ３３モードの
積層圧電素子を組み込んだアクチュエータの斜視図であ
る。アクチュエータ１は、ベース２と積層圧電素子ブロ
ック３が接合され、積層圧電素子ブロック３にスペーサ
ブロック４が接合されている。スペーサブロック４の積
層圧電素子ブロック３との接合の幅Ａは積層圧電素子の
幅Ｂの半分で、積層圧電素子の幅の中央に接合されてい
る。スペーサブロック４の上面の幅はダイヤフラムのア
イランドの長さに一致している。
【００１１】積層圧電素子ブロック３は１／１２０イン
チピッチでスペーサブロック４と同時に溝を切られ、２
０個の圧力室に対応して積層圧電素子１１とスペーサ１
７を２０個と捨て部分４個の計２４個を持つ。ｄ３３モ
ードの積層圧電素子ブロック３は変位方向に積層された
数十層の内部Ｃ電極１２、内部Ｄ電極１３からなり（図
は見やすいように粗く表している）、内部Ｃ電極１２と
内部Ｄ電極１３は約２０μｍの間隔で対向しており、内
部Ｃ電極１２の外部Ｃ電極１４が共通電極側であり、内
部Ｄ電極１３の外部Ｄ電極１５が信号電極側となってお
り、共通電極１６は外部Ｃ電極１４に半田付けされ、Ｆ
ＰＣ１０はパターンニング（図示せず）された信号電極
を持ち、各々の積層圧電素子１１の外部Ｄ電極１５に半
田付けされ、更に共通電極１６用に駆動回路に接続する
ためのパターンも持ち、共通電極１６と半田付け接続さ
れている。
チピッチでスペーサブロック４と同時に溝を切られ、２
０個の圧力室に対応して積層圧電素子１１とスペーサ１
７を２０個と捨て部分４個の計２４個を持つ。ｄ３３モ
ードの積層圧電素子ブロック３は変位方向に積層された
数十層の内部Ｃ電極１２、内部Ｄ電極１３からなり（図
は見やすいように粗く表している）、内部Ｃ電極１２と
内部Ｄ電極１３は約２０μｍの間隔で対向しており、内
部Ｃ電極１２の外部Ｃ電極１４が共通電極側であり、内
部Ｄ電極１３の外部Ｄ電極１５が信号電極側となってお
り、共通電極１６は外部Ｃ電極１４に半田付けされ、Ｆ
ＰＣ１０はパターンニング（図示せず）された信号電極
を持ち、各々の積層圧電素子１１の外部Ｄ電極１５に半
田付けされ、更に共通電極１６用に駆動回路に接続する
ためのパターンも持ち、共通電極１６と半田付け接続さ
れている。
【００１２】図２は定格電圧を印加したときの積層圧電
素子１１の幅Ｂの全変位を示したグラフである。即ち積
層圧電素子１１の中央部が最大変位をし両端に向かって
徐々に変位が減じ両端でもかすかに変位をする。変位は
中央部の変位の減少が緩やかで両端に近ずくにつれ急に
なる。積層圧電素子１１の中央部を全幅の半分の幅Ａの
平均変位を求めると最大変位の９０％以上となる。従っ
て、積層圧電素子１１の中央部に半分以下の幅でスペー
サ１７を接合することで最大変位の９０％以上の変位を
得ることが出来る。
素子１１の幅Ｂの全変位を示したグラフである。即ち積
層圧電素子１１の中央部が最大変位をし両端に向かって
徐々に変位が減じ両端でもかすかに変位をする。変位は
中央部の変位の減少が緩やかで両端に近ずくにつれ急に
なる。積層圧電素子１１の中央部を全幅の半分の幅Ａの
平均変位を求めると最大変位の９０％以上となる。従っ
て、積層圧電素子１１の中央部に半分以下の幅でスペー
サ１７を接合することで最大変位の９０％以上の変位を
得ることが出来る。
【００１３】図３は本発明のスペーサを組み込んだイン
クジェットヘッドの断面図である。チャンバ５とダイヤ
フラム６が位置決め接合され、圧力室９が形成される。
ダイヤフラム６にフレーム７が位置決め接合され、ノズ
ル板８はチャンバ５、ダイヤフラム６、フレーム７の接
合方向に直角にノズル孔８ａと圧力室９が一致する用に
位置決め接合される。アクチュエータ１はフレーム７の
ガイド穴７ａにベース２が位置決めされ、圧力室９に対
応してアクチュエータ１の積層圧電素子１１、スペーサ
１７がダイヤフラム６のアイランド６ａに位置決め接合
される。
クジェットヘッドの断面図である。チャンバ５とダイヤ
フラム６が位置決め接合され、圧力室９が形成される。
ダイヤフラム６にフレーム７が位置決め接合され、ノズ
ル板８はチャンバ５、ダイヤフラム６、フレーム７の接
合方向に直角にノズル孔８ａと圧力室９が一致する用に
位置決め接合される。アクチュエータ１はフレーム７の
ガイド穴７ａにベース２が位置決めされ、圧力室９に対
応してアクチュエータ１の積層圧電素子１１、スペーサ
１７がダイヤフラム６のアイランド６ａに位置決め接合
される。
【００１４】インクはインク供給口５ａから入り、図の
矢印の経路をとり絞り部９ａを通り圧力室９に入る。文
字或いはグラフィックスを描くための駆動電圧がＦＰＣ
１０の信号電極と共通電極１６の間にに印加されると積
層圧電素子１１が変位しスペーサ１７を介してダイヤフ
ラム６のアイランド６ａを押し上げ圧力室９の容積を急
激に減じインクがノズル孔８ａより吐出する。積層圧電
素子１１とダイヤフラム６のアイランド６ａはスペーサ
１７を介して固着されておるため、アイランド６ａはそ
の全長にわたって積層圧電素子１１の最大変位の９０％
以上の変位をする。
矢印の経路をとり絞り部９ａを通り圧力室９に入る。文
字或いはグラフィックスを描くための駆動電圧がＦＰＣ
１０の信号電極と共通電極１６の間にに印加されると積
層圧電素子１１が変位しスペーサ１７を介してダイヤフ
ラム６のアイランド６ａを押し上げ圧力室９の容積を急
激に減じインクがノズル孔８ａより吐出する。積層圧電
素子１１とダイヤフラム６のアイランド６ａはスペーサ
１７を介して固着されておるため、アイランド６ａはそ
の全長にわたって積層圧電素子１１の最大変位の９０％
以上の変位をする。
【００１５】図４は溝切り前のベース２、積層圧電素子
ブロック３、スペーサブロック４の接合図である。スペ
ーサブロック４は角柱に面取りをした形状で作りやす
く、またスペーサブロック４の材質を積層圧電素子ブロ
ック３と類似したセラミクス、又はＰＺＴを用いること
で、ダイシングソーやワイヤソーで、圧力室のピッチに
対応して、スペーサブロック４と積層圧電素子ブロック
３を同時に溝切り加工し図１の形状を得ることが出来
る。スペーサブロック４の形状はその他凸形状でもよ
く、スペーサ１７の剛性、製造のし易さで選択すればよ
いことは明らかである。
ブロック３、スペーサブロック４の接合図である。スペ
ーサブロック４は角柱に面取りをした形状で作りやす
く、またスペーサブロック４の材質を積層圧電素子ブロ
ック３と類似したセラミクス、又はＰＺＴを用いること
で、ダイシングソーやワイヤソーで、圧力室のピッチに
対応して、スペーサブロック４と積層圧電素子ブロック
３を同時に溝切り加工し図１の形状を得ることが出来
る。スペーサブロック４の形状はその他凸形状でもよ
く、スペーサ１７の剛性、製造のし易さで選択すればよ
いことは明らかである。
【００１６】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、積層
圧電素子の変位の大きい部分をダイヤフラムのアイラン
ドに伝えることが可能となり、圧力室の容積変化を大き
くとれ、かつ、変位の増加分は積層数を減らしことが出
来、積層圧電素子のコストを削減できる。また、スペー
サの材質を積層圧電素子とほぼ同じ材質にすることで、
スペーサと積層圧電素子を同時に溝切りすることが可能
となり製造が容易となる。更に、積層圧電素子の中央と
ダイヤフラムのアイランドの中央を一致してなくとも、
スペーサの上辺と下辺を適宜にずらすことにより、合わ
せることが出来、ヘッドの構造設計に自由度が出来、ひ
いては製造しやすい低コストのインクジェットヘッドが
提供できる。
圧電素子の変位の大きい部分をダイヤフラムのアイラン
ドに伝えることが可能となり、圧力室の容積変化を大き
くとれ、かつ、変位の増加分は積層数を減らしことが出
来、積層圧電素子のコストを削減できる。また、スペー
サの材質を積層圧電素子とほぼ同じ材質にすることで、
スペーサと積層圧電素子を同時に溝切りすることが可能
となり製造が容易となる。更に、積層圧電素子の中央と
ダイヤフラムのアイランドの中央を一致してなくとも、
スペーサの上辺と下辺を適宜にずらすことにより、合わ
せることが出来、ヘッドの構造設計に自由度が出来、ひ
いては製造しやすい低コストのインクジェットヘッドが
提供できる。
【００１７】すなわち、簡単な形状のスペーサを積層圧
電素子に接合し、ほとんど同じ加工工程で工数を増やす
ことなく製作可能で、積層圧電素子の変位を効率よくダ
イヤフラムに伝達出来る。従って変位の向上、積層数の
低減、それに伴うコストダウン或いは駆動電圧の低減そ
れに伴うコストダウンが可能となる。
電素子に接合し、ほとんど同じ加工工程で工数を増やす
ことなく製作可能で、積層圧電素子の変位を効率よくダ
イヤフラムに伝達出来る。従って変位の向上、積層数の
低減、それに伴うコストダウン或いは駆動電圧の低減そ
れに伴うコストダウンが可能となる。
【図１】本発明の一実施の形態を示すインクジェットヘ
ッドのアクチュエータの構造を示す 斜視図である。
ッドのアクチュエータの構造を示す 斜視図である。
【図２】本発明に使用するｄ３３モードの積層圧電素子
の変位を示すグラフである。
の変位を示すグラフである。
【図３】本発明の一実施の形態を示すインクジェットヘ
ッドの断面図である。
ッドの断面図である。
【図４】本発明の一実施の形態を示すアクチュエータ加
工前の接合図である。
工前の接合図である。
【図５】従来のインクジェットヘッドの斜視図である。
【図６】従来のインクジェットヘッドを示す図５の展開
図である。
図である。
【図７】従来のダイヤフラムの拡大図である。
【図８】従来のアクチュエータの構造を示す斜視図であ
る。
る。
【図９】従来のインクジェットヘッドの断面図である。
１ アクチュエータ ２ ベース ３ 積層圧電素子ブロック ４ スペーサブロック ５ チャンバ ５ａ インク供給口 ５ｂ 溝 ６ ダイヤフラム ６ａ アイランド ７ フレーム ７ａ ガイド穴 ８ ノズル板 ８ａ ノズル孔 ９ 圧力室 ９ａ 絞り部 １０ ＦＰＣ １１ 積層圧電素子 １２ 内部Ｃ電極 １３ 内部Ｄ電極 １４ 外部Ｃ電極 １５ 外部Ｄ電極 １６ 共通電極 １７ スペーサ １８ アクチュエータ（従来例）
Claims (4)
- 【請求項１】 チャンバ、ダイヤフラム、フレーム、ノ
ズル板とインク液滴吐出駆動源がｄ３３モードの積層圧
電素子からなるインクジェットヘッドにおいて、前記積
層圧電素子とダイヤフラムの間にスペーサを挿入し、前
記スペーサの前記積層圧電素子との接合長さは、前記積
層圧電素子の幅より狭い長さで、前記積層圧電素子の中
央部で接合し、前記ダイヤフラムのアイランドと前記ス
ペーサとの接合長さはアイランドの長さと一致して接合
することを特徴とするインクジェットヘッド。 - 【請求項２】 前記スペーサの材質は前記積層圧電素子
と同じＰＺＴか、或いは近い材質のセラミクスとするこ
とを特徴とする請求項１に記載するインクジェットヘッ
ド。 - 【請求項３】 前記スペーサの前記積層圧電素子との接
合長さは、前記積層圧電素子の幅の半分より短い長さで
前記積層圧電素子の中央部で接合することを特徴とする
請求項１に記載するインクジェットヘッド。 - 【請求項４】 ベースと積層圧電素子ブロック及びスペ
ーサブロックを接合し、溝切り加工することにより、前
記スペーサと前記積層圧電素子が形成されることを特徴
とする請求項１に記載するインクジェットヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30695697A JPH11138806A (ja) | 1997-11-10 | 1997-11-10 | インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30695697A JPH11138806A (ja) | 1997-11-10 | 1997-11-10 | インクジェットヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11138806A true JPH11138806A (ja) | 1999-05-25 |
Family
ID=17963303
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30695697A Pending JPH11138806A (ja) | 1997-11-10 | 1997-11-10 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11138806A (ja) |
-
1997
- 1997-11-10 JP JP30695697A patent/JPH11138806A/ja active Pending
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