JPH11135422A

JPH11135422A - 露光装置

Info

Publication number: JPH11135422A
Application number: JP9316423A
Authority: JP
Inventors: Toshihiko Tsuji; 寿彦辻; Masao Hirano; 雅男平野
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1997-10-31
Filing date: 1997-10-31
Publication date: 1999-05-21

Abstract

(57)【要約】【課題】電磁的に密閉構造であり電磁シールド特性に
優れ、さらに露光装置本体にチャンバーの振動が伝わら
ず、露光装置の結像性能や重ね合わせ精度を劣化させな
いチャンバーを有する露光装置を提供することを目的と
する。【解決手段】基板にパターンを露光する露光装置本体
と、露光装置本体を包囲するチャンバーと、露光装置本
体とチャンバーとの間に形成される隙間を電磁的に遮蔽
し、振動吸収性を有する遮蔽部材とを備えた露光装置と
する。露光装置本体をチャンバで包囲し、チャンバとの
間の隙間を電磁的に遮蔽したので、電磁シールド特性が
優れたものとすることができ、遮蔽部材が振動吸収性を
有するのでチャンバの振動が露光装置本体に伝わらない
ようにすることができる。よって、露光装置の結像性能
や重ね合わせ精度を劣化させない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、チャンバで包囲さ
れた露光装置に関し、特に基板にパターンを投影露光す
る露光装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年半導体の急激な進歩によって機械装
置、制御装置など多くの装置に、電磁気に敏感な半導体
デバイスが使われるようになり、電磁環境問題即ち電磁
ノイズによる干渉の問題が重要なテーマになってきた。
このため、各種装置の安全性向上のために、電磁環境両
立性を満足させて、電磁ノイズを出さないまた受け入れ
ないといった電磁ノイズに強い商品を作り出す必要があ
る。これに対処するため、一般的には電磁波を放射しに
くい回路設計、ＧＮＤ（グランド／接地）の強化、フィ
ルターの使用、シールドの使用による電磁波の封じ込め
等の対策が取られていた。

【０００３】露光装置の場合において電磁シールド対策
をする場合、露光装置を覆うチャンバーは四角い箱を下
面が開いている状態で設置した自立タイプとなってお
り、その裾部と露光装置本体との間に隙間を設け、チャ
ンバーから露光装置本体への振動の伝達を防止する構造
としている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】以上のような従来の露
光装置において、チャンバーの裾部と露光装置本体との
間の隙間から許容量以上の強さの電磁波が漏れ、また他
の電気装置から許容量以上の強さの電磁波が入り込むと
いう問題があった。電磁波の漏洩及び侵入がないように
するために、チャンバーの裾部と露光装置本体とを連結
してチャンバーを密閉構造にすると、電磁波の漏洩及び
侵入の問題は解決するが、チャンバーを通じて外部の振
動が露光装置本体に伝わり、露光装置の結像性能や重ね
合わせ精度を劣化させてしまうという問題を生じる。

【０００５】そこで本発明は、電磁的に密閉構造であり
電磁シールド特性に優れ、さらに露光装置本体にチャン
バーからの振動が伝わらず、露光装置の結像性能や重ね
合わせ精度を劣化させないチャンバーを有する露光装置
を提供することを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、一実施の形態を表す図１と図６とに対応付けて説明
すると、請求項１に係る発明による露光装置は、基板
（ｗ）にパターンを露光する露光装置本体（１）と、露
光装置本体（１）を包囲するチャンバー１０と、露光装
置本体（１）とチャンバー１０との間に形成される隙間
を電磁的に遮蔽する遮蔽部材（２１〜２６）と、を設け
たことを特徴とする。

【０００７】露光装置本体はチャンバーにより包囲さ
れ、露光装置本体とチャンバーとの間の隙間は遮蔽部材
により電磁的に遮蔽されるので露光装置本体からチャン
バー外に電磁波が漏れることことがなく、チャンバーの
外から露光装置本体に電磁波が入り込むことがない。こ
こで一般的にはチャンバー自体も電磁遮蔽作用を有する
ように電磁遮蔽性を有する材料から構成されている。

【０００８】請求項２に係る発明による露光装置は請求
項１に係る露光装置において、前記遮蔽部材は振動吸収
性を有していることを特徴とする。遮蔽部材は振動吸収
性を有しているのでチャンバーの振動を吸収し露光装置
本体に伝えることはない。遮蔽部材は隙間を塞ぎチャン
バーと露光装置本体とに連接される。遮蔽部材は、典型
的には露光装置本体とチャンバーのいずれか一方に固定
されて取り付けられ、他の残りの一方とは接触するのみ
で拘束されない。そのような構成の場合、遮蔽部材と露
光装置本体、または遮蔽部材とチャンバーとの間で相対
的な動きが可能であるので、チャンバーの振動が露光装
置本体に伝達されることがない。遮蔽部材をチャンバー
及び露光装置本体とに固定して取り付け、遮蔽部材を例
えば二つに分割し、遮蔽部材同士を互いに拘束すること
なく接触させてもよい。

【０００９】また、遮蔽部材は振動吸収性を有するので
チャンバー及び露光装置本体に固定して取り付けること
もできる。遮蔽部材は、材料として振動を減衰させる材
料、あるいは織布や金網のように振動を伝達しにくい材
料や部材が好ましいが、例えば弾性材料を蛇腹に形成し
構造的に振動が伝達しにくくした部材であってもよい。
振動吸収性とはこのような意味である。

【００１０】請求項３に係る発明による露光装置は、請
求項１に係る露光装置において、前記遮蔽部材は、前記
露光装置本体と前記チャンバーとに面接触していること
を特徴とする露光装置である。遮蔽部材が露光装置本体
と前記チャンバーとに面接触しているので、隙間におけ
る高い電磁遮蔽特性が得られる。請求項４に係る発明に
よる露光装置は、レチクル（Ｒ）のパターンを基板
（Ｗ）に露光する露光部（２、６、９）と、レチクル
（Ｒ）と基板（Ｗ）との少なくとも一方を露光部（２、
６、９）に搬送する搬送部（１３、１４）と、露光部
（２、６、９）を包囲する第１チャンバー（１０Ｃ）
と、搬送部（１３、１４）を包囲する第２チャンバー
（１０Ｄ）と、第１チャンバー（１０Ｃ）と前記第２チ
ャンバー（１０Ｄ）との間に形成される隙間を電磁的に
遮蔽する遮弊部材（２６）と、を設けたことを特徴とす
る。第１チャンバーと第２チャンバーとを有する、両チ
ャンバーを分離することもでき、さらに第１チャンバー
と第２チャンバーとの間に形成される隙間が遮蔽部材に
よって電磁的に遮蔽されているので、隙間から電磁波が
漏れたり、入り込んだりすることがない。

【００１１】請求項５に係る発明による露光装置は、請
求項４に係る露光装置において、前記遮蔽部材がさらに
振動吸収性を有することを特徴とする。

【００１２】請求項６に係る発明による露光装置は、請
求項４または請求項５に係る露光装置において、前記遮
蔽部材は、シート状に形成されていることを特徴とす
る。遮蔽部材がシート状に形成されているので、面接触
させ易い。

【００１３】請求項７に係る発明による露光装置は、請
求項４から請求項６のいずれかに記載の露光装置におい
て、前記遮蔽部材は、接合される前記部分の双方と面接
触していることを特徴とする。

【００１４】

【発明の実施の形態】図１に本発明の実施の形態を示
す。図１中、本発明の露光装置としての縮小投影露光装
置１は、水銀ランプ（図示せず）またはエキシマレーザ
（図示せず）等を有する照明光源部２と、照明光源部２
を出た光を集光するコンデンサレンズ３と、コンデンサ
レンズ３によって集光された光が通過するレチクルＲが
載置されたレチクルステージ４と、架台部５と、架台部
５に支持され、レチクルＲを通過した光が導かれる投影
レンズ６とを有する。

【００１５】縮小投影露光装置１はさらに床面上に載置
された防震台７と、防震台７の上に配置された定盤８
と、定盤８の上に配置されたウエハステージ９とを有
し、投影レンズ６を介した光すなわちレチクルＲ上の写
し込みパターンは、ウエハステージ９上のウエハＷに結
像される。レチクルＲ上の写し込みパターンはウエハＷ
上に投影転写され、一定時間露光されて１回の縮小露光
が完了する。露光はステップアンドリピート方式により
１枚のウエハＷに対して位置をずらして複数回実施され
る。

【００１６】縮小投影露光装置１は底面が開口した箱状
のチャンバー１０を有し、縮小投影露光装置１は照明光
源部２の一部及び後述の空調機１１を除いて、チャンバ
ー１０に包囲されている。空調機１１はチャンバー１０
の外部の床面上に置かれチャンバ１０の側面に隣接して
配置されている。チャンバー１０の内部であって防震台
７上に空圧制御部１２が配置され、これが空調機１１を
制御して、チャンバー１０内部の温度を一定に保ってい
る。レチクルＲやウエハＷの位置決めはレーザ干渉計に
よりなされるが、高精度が要求されるのでチャンバー１
０の内部は空調機１１により温度が一定に保たれてお
り、投影レンズ６を含めた各部品の温度変化を防止して
いる。

【００１７】また、レチクルローダ１３がチャンバー１
０の内部で架台部５上の支持台５Ａの上に備え付けら
れ、ウエハローダ１４がチャンバー１０の内部で床面か
ら直接立ち上がって備え付けられている。必要に応じて
レチクルＲはレチクルローダ１３により交換され、ウエ
ハＷはウエハローダ１４により交換される。チャンバー
１０にはレチクル交換用の扉（図示せず）及びウエハ交
換用の扉（図示せず）が形成され、これらの扉からレチ
クルＲ及びウエハＷが出し入れされる。

【００１８】以上の一連の動作はチャンバー１０外に別
置きされ、床面の上に載置されたコントロールラック
（図示せず）によりコンピュータ制御され自動運転され
る。

【００１９】本発明の遮蔽部材としての導電性ゴム部品
２１、２２、２３、２４が以下のごとく取り付けられて
いる。導電性ゴム部品２１はチャンバー１０と防震台７
とに連接し、導電性ゴム部品２２はチャンバー１０とウ
エハローダ１４に連接し、導電性ゴム部品２３は防震台
７とウエハローダ１４に連接して取り付けられている。
導電性ゴム部品２１、２２、２３、２４は床面の近くに
取り付けられている。チャンバー１０内部の床面で、防
震台７、ウエハローダ１４以外の部分は、導電性ゴム部
品２１、２２、２３のいずれかによって覆われている。
導電性ゴム部品２１、２２、２３は床面とは接触せず、
両者の間には空間が存在している。

【００２０】チャンバ１０の側面に開口部２５が形成さ
れ、照明光源部２の一部がこの開口部２５より突出して
いる。導電性ゴム部品２４は、開口部２５のチャンバー
壁と照明光源部２の外周部とを連接して両者の隙間を塞
いでいる。以上のように、チャンバー１０は導電性ゴム
部品２１、２２、２３、２４により防震台７と協働して
機械的に密閉構造となっている。

【００２１】図２に、導電性ゴム部品２１のチャンバー
１０と防振台７との連結構造の詳細を示す。チャンバー
１０の側壁部１０Ａに、垂直部３１Ａと水平部３１Ｂを
有するＬ字形の補助板３１の垂直部３１Ａが取り付けネ
ジ３２によって取り付けられている。シート状の導電性
ゴム部品２１の一端が、補助板３１の水平部３１Ｂの先
端近くに取り付けられた取り付けネジ３３によって、押
え板３４により夾まれて水平部３１Ｂに面接触をして連
結され、導電性ゴム部品２１の他の一端は防震台７の段
部７Ａの水平部表面に面接触している。面接触している
ことにより、チャンバー１０と、導電性ゴム部品２１
と、防震台７との電気的な導通が確実に確保される。

【００２２】補助板３１等及び導電性ゴム部品２１の上
側であるチャンバー１０内の圧力が正圧となっており、
正圧による圧力によって導電性ゴム部品２１が段部７Ａ
の水平部表面に押し付けられている。この正圧は一般に
空調機１１の送風によって生じる。

【００２３】段部７Ａの水平部表面は塗装を行わず、導
電性ゴム部品２１を置く前に防錆材を十分に除去するの
が望ましい。シート状の導電性ゴム部品には一般的には
カーボン入りのシリコンラバーや銀系導電材入りのシリ
コンラバーを使用する。以上の構造ではネジ３２、３３
のヘッドはチャンバーの内側にあるが、これらはチャン
バーを露光装置本体にかぶせる前に取り付けておき、導
電性ゴム部品２１が組み立てられた状態で露光装置本体
に組み立てればよい。

【００２４】導電性ゴム部品２２のチャンバー１０とウ
エハローダ１４との連結構造は、図２に示されたものと
略同じであり、図２における導電性ゴム部品２１を導電
性ゴム部品２２に置き換え、防震台７をウエハローダ１
４に置き換えた構造である。図２に関する前述の説明
も、導電性ゴム部品２１を導電性ゴム部品２２に置き換
え、防震台７の段部７Ａをウエハローダ１４の段部１４
Ａに、防震台７をウエハローダ１４に置き換えた内容が
該当するので詳細な記述は省略する。

【００２５】以上説明した構造は、図５に示すように、
図２の取り付けネジ３２の取り付け方向を変えて、取り
付けネジ３２のヘッド３２Ａがチャンバー１０の外部側
になるように取り付けてもよい。取り付けネジ３２のヘ
ッド３２Ａはチャンバ１０ーの外部側に配置されている
ので、チャンバー１０を設置した後に外部側から取り付
けネジ３２を取り付けてヘッド３２Ａを回して導電性ゴ
ム部品２１をチャンバー１０の側壁部１０Ａに取り付け
ることができる。図５は前述のように取り付けネジ３２
の取り付け方向が相違するのみで、それ以外は図２と同
じである。このような構造とすることにより、導電性ゴ
ム部品２１はチャンバー１０を露光装置本体にかぶせた
後に取り付けることができる。

【００２６】図３に、導電性ゴム部品２３の防振台７と
ウエハローダ１４との連結構造の詳細を示す。シート状
の導電性ゴム部品２３の一端が、ウエハローダ１４の段
部１４Ａの水平部表面に取り付けられた取り付けネジ３
５によって、押え板３６により夾まれて段部１４Ａの水
平部表面に連結され、導電性ゴム部品２３の他の一端は
防震台７の段部７Ａの水平部表面に面接触している。面
接触により、防震台７と、導電性ゴム部品２３と、導電
性部材で構成されるウエハローダ１４との電気的な導通
が確実に確保される。

【００２７】図中で、導電性ゴム部品２３の上側である
チャンバー１０内の内力が正圧となっており、正圧によ
る圧力によって導電性ゴム部品２３が段部７Ａの水平部
表面に押し付けられている。ウエハローダ１４を床面に
設置するにあたり、ウエハローダ１４に導電性ゴム部品
２３を取り付けてからウエハローダ１４を床面に設置す
るとよい。

【００２８】図４に、導電性ゴム部品２４のチャンバー
１０と照明光源部２との連結構造の詳細を示す。チャン
バー１０の側壁部１０Ｂに形成された開口部２５の縁の
近くに導電性ゴム部品２４を取り付けるための取り付け
ネジ３７が取り付けられている。シート状の導電性ゴム
部品２４の一端がこの取り付けネジ３７によって押え板
３８により夾まれて側壁部１０Ｂに連結され、導電性ゴ
ム部品２４の他の一端は照明光源部２の外周部に形成さ
れた溝部２Ａのチャンバーの外部側の垂直部表面２Ｂに
面接触している。面接触によりチャンバー１０と、導電
性ゴム部品２４の電気的な導通が確実に確保される。

【００２９】図４において、導電性ゴム部品２４の左側
であるチャンバー１０内の圧力が正圧となっており、正
圧による圧力によって導電性ゴム部品２４が溝部２Ａの
垂直部表面２Ｂに押し付けられている。

【００３０】取り付けネジ３７のヘッド３７Ａはチャン
バー１０の外部側に配置されているので、チャンバー１
０を設置した後に外部側から取り付けネジ３７を取り付
けてヘッドを回して導電性ゴム部品２４をチャンバー１
０の側壁部１０Ｂに取り付けることができる。

【００３１】遮蔽部材として導電性ゴムシートの代わり
に、導電性のベローズを使用してもよい。この場合は、
導電性ゴムシートよりもコストがかかるが、ベローズに
より振動伝達を防ぐことができる。また、ポリエステル
クロスやアクリルクロスに銅・ニッケルメッキを施した
導電性布や、錫メッキ銅線を編んで多層化した網シート
を使用してもよい。

【００３２】図６に他の実施の形態のチャンバーを有す
る縮小投影露光装置１を示す。チャンバーは図１に示す
チャンバー１０を床面に垂直でかつチャンバー前面に平
行な面で二つに分割しており、レチクルローダ（図６に
図示せず）及びウエハローダ（図６に図示せず）を包囲
する本発明の第２チャンバーとしてのローダチャンバー
１０Ｄと、レチクルローダとウエハローダ以外と照明光
源部２の一部とを包囲する本発明の第１チャンバーとし
ての本体チャンバー１０Ｃから構成される。空調機１１
は外部の床面に設置されている。本発明の遮蔽部材とし
ての導電性ゴム部品２６は本体チャンバ１０Ｃとローダ
チャンバー１０Ｄとに連接して取り付けられている。

【００３３】本体チャンバー１０Ｃとローダチャンバー
１０Ｄとに分割すると、露光装置の保守がより楽にな
る。本体チャンバー１０Ｃとローダチャンバー１０Ｄを
連接する遮蔽部材は振動吸収性を有していてもよいが、
電磁遮蔽性を有していればよく必ずしも振動吸収性を有
する必要はない。

【００３４】図７に導電性ゴム部品２６が本体チャンバ
ー１０Ｃとローダチャンバー１０Ｄとに連結する連結構
造の詳細を示す。シート状の導電性ゴム部品２６の一端
が、ローダチャンバー１０Ｄの側壁部１０Ｆの表面であ
って、本体チャンバーと並び合う側面の近くに取り付け
られた取り付けネジ３９によって、押え板４０により夾
まれてローダチャンバー１０Ｄの側壁部１０Ｆに面接触
して取り付けられる。導電性ゴム部品２６の他の一端は
本体チャンバー１０Ｃの側壁部１０Ｅの表面であって、
ローダチャンバー１０Ｄと並び合う側面の近くに面接触
している。面接触により、本体チャンバー１０Ｃと、導
電性ゴム部品２６と、ローダチャンバー１０Ｄとの電気
的な導通が確実に確保される。

【００３５】導電性ゴム部品２６の上側であるチャンバ
ー１０Ｃ、１０Ｄ内の圧力が正圧となっており、正圧に
よる圧力によって導電性ゴム部品２６が本体チャンバー
１０Ｃの側壁部１０Ｅの表面に押し付けられている。図
７の構造においては、押え板４０は導電性ゴム部品２６
の上面に貼り付けた構造としておけば組み立てが容易で
ある。また、機械的に密閉構造とするので消音効果、防
塵効果、チャンバーの内圧維持効果も得られる。

【００３６】また、露光装置の電磁環境両立性に関する
規格にはＥＭＣ指令８９／３３６／ＥＥＣがあり、ＥＭ
Ｃ規格に電磁環境両立性に関する各種テスト項目が定め
られている。本発明によれば、規格の要求する電磁環境
両立性の要件にも容易に対応できる。

【００３７】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、露光装置
本体とチャンバーの隙間に電磁的遮蔽部材を設けたの
で、露光装置を電磁的に遮蔽することができ、しかも遮
蔽部材に振動吸収性を持たせれば露光装置本体にチャン
バーの振動が伝わらないので結像性能や重ね合わせ精度
の劣化を防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の縮小投影露光装置のチャ
ンバーを断面にして示した側面概念図である。

【図２】図１の縮小投影露光装置の防震台とチャンバ
ー、またはウエハローダとチャンバーを連接する導電性
ゴム部品のチャンバーへの取り付け構造を示す図であ
る。

【図３】図１の縮小投影露光装置の防震台とウエハロー
ダを連接する導電性ゴム部品のウエハローダへの取り付
け構造を示す図である。

【図４】図１の縮小投影露光装置の照明光源部の一部が
突出するチャンバーの開口部において、照明光源部の外
周部とチャンバーを連接する導電性ゴム部品のチャンバ
ーへの取り付け構造を示す図である。

【図５】図２の取り付けネジ３２の取り付け方向を変え
た場合の導電性ゴム部品のチャンバーへの取り付け構造
を示す図である。

【図６】本発明の他の実施の形態のチャンバーを有する
縮小投影露光装置の正面概念図である。

【図７】図６の本体チャンバーとローダチャンバーを連
接する導電性ゴム部品のローダチャンバーへの取り付け
構造を示す図である。

【符号の説明】

１縮小投影露光装置２照明光源部２Ａ溝部２Ｂ垂直部表面３コンデンサレンズ４レチクルステージ５架台部５Ａ支持台６投影レンズ７防震台７Ａ段部８定盤９ウエハステージ１０チャンバー１０Ａ、１０Ｅ、１０Ｆ側壁部１０Ｂ開口側壁部１０Ｃ本体チャンバー１０Ｄローダチャンバー１１空調機１２空圧制御部１３レチクルローダ１４ウエハローダ１４Ａ段部２１、２２、２３、２４、２６導電性ゴム部品
遮蔽部材２５開口部３１補助板３１Ａ垂直部３１Ｂ水平部３２、３３、３５、３７、３９取り付けネジ３２Ａ、３７Ａヘッド３４、３６、３８、４０押え板ＲレチクルＷウエハ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板にパターンを露光する露光装置本体
と、前記露光装置本体を包囲するチャンバーと、前記露光装置本体と前記チャンバーとの間に形成される
隙間を電磁的に遮蔽する遮蔽部材と、を設けたことを特
徴とする露光装置。
【請求項２】請求項１記載の露光装置において、前記遮蔽部材は振動吸収性を有していることを特徴とす
る露光装置。
【請求項３】請求項１記載の露光装置において、前記遮蔽部材は前記露光装置本体と前記チャンバーとに
面接触していることを特徴とする露光装置。
【請求項４】レチクルのパターンを基板に露光する露
光部と、前記レチクルと前記基板との少なくとも一方を前記露光
部に搬送する搬送部と、前記露光部を包囲する第１チャンバーと、前記搬送部を包囲する第２チャンバーと、前記第１チャンバーと前記第２チャンバーとの間に形成
される隙間を電磁的に遮蔽する遮蔽部材と、を設けたこ
とを特徴とする露光装置。
【請求項５】請求項４に記載の露光装置において、前記遮蔽部材がさらに振動吸収性を有することを特徴と
する露光装置。
【請求項６】請求項４または請求項５に記載の露光装
置において、前記遮蔽部材は、シート状に形成されていることを特徴
とする露光装置。
【請求項７】請求項４から請求項６のいずれかに記載
の露光装置において、前記遮蔽部材は、接合される前
記部分の双方と面接触していることを特徴とする露光装
置。