JPH11133602A - 改善された側壁形状および現像許容度を有する光重合性組成物 - Google Patents
改善された側壁形状および現像許容度を有する光重合性組成物Info
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L53/00—Compositions of block copolymers containing at least one sequence of a polymer obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds; Compositions of derivatives of such polymers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
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-
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- C08L25/02—Homopolymers or copolymers of hydrocarbons
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C08L33/04—Homopolymers or copolymers of esters
- C08L33/06—Homopolymers or copolymers of esters of esters containing only carbon, hydrogen and oxygen, which oxygen atoms are present only as part of the carboxyl radical
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 イメージングにおいて改善された側壁形状お
よび現像の許容度を与える光重合組成物および関連した
要素およびプロセスの提供。 【解決手段】 下式に示す化学式を有するポリマー結合
剤を含有する光重合性組成物。 （Ａ）w （Ｂ）x （Ｃ）y （Ｄ）z ここで、Ａは置換されたまたは無置換のＣ4 −Ｃ10アル
キルメタクリレートであり、Ｂは置換されたまたは無置
換のＣ4 −Ｃ10アルキルアクリレートであり、Ｃはメタ
クリル酸メチルおよびメタクリル酸エチルから成る群か
ら選択され、Ｄはメタクリル酸およびアクリル酸から成
る群から選択され；およびここで、 ｗ、ｘ、ｙおよび
ｚは前記ポリマー結合剤のコモノマーの重量％であり、
ｗが５から４０％、ｘが５から４０％、ｙが１０から７
０％、ｚが１５から３０％である。特定の実施の形態に
おいては、スチレンがポリマー結合剤の必要に応じて有
してもよいさらなるコモノマーである。
よび現像の許容度を与える光重合組成物および関連した
要素およびプロセスの提供。 【解決手段】 下式に示す化学式を有するポリマー結合
剤を含有する光重合性組成物。 （Ａ）w （Ｂ）x （Ｃ）y （Ｄ）z ここで、Ａは置換されたまたは無置換のＣ4 −Ｃ10アル
キルメタクリレートであり、Ｂは置換されたまたは無置
換のＣ4 −Ｃ10アルキルアクリレートであり、Ｃはメタ
クリル酸メチルおよびメタクリル酸エチルから成る群か
ら選択され、Ｄはメタクリル酸およびアクリル酸から成
る群から選択され；およびここで、 ｗ、ｘ、ｙおよび
ｚは前記ポリマー結合剤のコモノマーの重量％であり、
ｗが５から４０％、ｘが５から４０％、ｙが１０から７
０％、ｚが１５から３０％である。特定の実施の形態に
おいては、スチレンがポリマー結合剤の必要に応じて有
してもよいさらなるコモノマーである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、改善された光重合
性組成物の範囲にあり、前記光重合性組成物が処理され
て、改善された側壁形状および現像許容度を有する浮き
彫り画像（たとえば、イメージされたフォトレジストパ
ターンまたはイメージされたプルーフィングあるいはフ
レキソ印刷版のパターン）を生成することができる。
性組成物の範囲にあり、前記光重合性組成物が処理され
て、改善された側壁形状および現像許容度を有する浮き
彫り画像（たとえば、イメージされたフォトレジストパ
ターンまたはイメージされたプルーフィングあるいはフ
レキソ印刷版のパターン）を生成することができる。
【０００２】
【従来の技術】光重合性組成物はたとえば銅被覆ガラス
エポキシなどの基板上のフォトレジスト（またはレジス
ト）層を形成することに使用されて、続いてたとえば選
択的エッチングまたは電気メッキなどの基板の選択的処
理を可能にする。光重合性組成物はイメージされた基板
上の恒久的なハンダマスク層を形成することにも同様に
使用されて、印刷回路板（ＰＣＢ）製造におけるハンダ
付けの後の工程の間、ハンダにさらされることから下に
ある回路線を保護する。印刷回路板（ＰＣＢ）の製造に
対するフォトレジストおよびハンダマスクの使用は以下
に記載されている：“フォトレジスト−材料およびプロ
セス（Photoresist - Materials and Processes)”、ウ
ィリアム・エス・デフォレスト(William S. DeForest)
著、マグローヒル(McGraw-Hill) 、１９７５年；“印刷
回路ハンドブック(Printed Circuits Handbook) ”、ク
ライド・エフ・クームス・ジュニア(Clyde F. Coombs,
Jr.)編、マグローヒル(McGraw-Hill) 、１９８８年（第
３版）；および、“印刷回路製造のハンドブック(Handb
ook of Printed Circuit Manufacturing) ”、レイモン
ド・エイチ・クラーク(Raymond H. Clark)著、ヴァン・
ノストランド・ラインホルド(Van Nostrand Reinhold)
、１９８５年。光重合性レジスト材料は、たとえば、
米国特許第３，４６９，９８２号により知られており、
前記特許はカバーシートと一時的支持体との間の光重合
性層の形をとったサンドイッチ構造を有するフィルムレ
ジストを記載している。塗布するための溶媒の実質的に
全部を除去した光レジストおよびハンダマスク製品は乾
燥フィルムとして知られている。印刷産業におけるオフ
プレス(off-press) プルーフィングのための光重合性プ
ルーフィングフィルムは、“カラープルーフィングの原
理(Principles of Color Proofing)”、マイケル・エイ
チ・ブルーノ(Michael H. Bruno)著、ガマ・コミュニケ
ーションズ(GAMA Communications, Salem, NH)、１９８
６年に記載されている。フレキソ印刷版に使用するため
のフレキソ印刷フォトポリマーフィルムの使用は、“フ
レキソ印刷−原理と実際(Flexography - Principles an
d Practices)”、第４版、フレキソ印刷技術連合財団(F
oundation of Flexographic TechnicalAssociation, Ro
nkonkoma, NY)、１９９２年に記載されている。
エポキシなどの基板上のフォトレジスト（またはレジス
ト）層を形成することに使用されて、続いてたとえば選
択的エッチングまたは電気メッキなどの基板の選択的処
理を可能にする。光重合性組成物はイメージされた基板
上の恒久的なハンダマスク層を形成することにも同様に
使用されて、印刷回路板（ＰＣＢ）製造におけるハンダ
付けの後の工程の間、ハンダにさらされることから下に
ある回路線を保護する。印刷回路板（ＰＣＢ）の製造に
対するフォトレジストおよびハンダマスクの使用は以下
に記載されている：“フォトレジスト−材料およびプロ
セス（Photoresist - Materials and Processes)”、ウ
ィリアム・エス・デフォレスト(William S. DeForest)
著、マグローヒル(McGraw-Hill) 、１９７５年；“印刷
回路ハンドブック(Printed Circuits Handbook) ”、ク
ライド・エフ・クームス・ジュニア(Clyde F. Coombs,
Jr.)編、マグローヒル(McGraw-Hill) 、１９８８年（第
３版）；および、“印刷回路製造のハンドブック(Handb
ook of Printed Circuit Manufacturing) ”、レイモン
ド・エイチ・クラーク(Raymond H. Clark)著、ヴァン・
ノストランド・ラインホルド(Van Nostrand Reinhold)
、１９８５年。光重合性レジスト材料は、たとえば、
米国特許第３，４６９，９８２号により知られており、
前記特許はカバーシートと一時的支持体との間の光重合
性層の形をとったサンドイッチ構造を有するフィルムレ
ジストを記載している。塗布するための溶媒の実質的に
全部を除去した光レジストおよびハンダマスク製品は乾
燥フィルムとして知られている。印刷産業におけるオフ
プレス(off-press) プルーフィングのための光重合性プ
ルーフィングフィルムは、“カラープルーフィングの原
理(Principles of Color Proofing)”、マイケル・エイ
チ・ブルーノ(Michael H. Bruno)著、ガマ・コミュニケ
ーションズ(GAMA Communications, Salem, NH)、１９８
６年に記載されている。フレキソ印刷版に使用するため
のフレキソ印刷フォトポリマーフィルムの使用は、“フ
レキソ印刷−原理と実際(Flexography - Principles an
d Practices)”、第４版、フレキソ印刷技術連合財団(F
oundation of Flexographic TechnicalAssociation, Ro
nkonkoma, NY)、１９９２年に記載されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】より微細な線／間隔に
向けて印刷回路板の技術レベルが高まるのにしたがっ
て、そのような回路板を製造するのに使用されるフォト
レジスト材料にかかる要求が大きくなる。同様にこの要
求はレジストの配合者により大きな負担をかけて、製造
水準の低下またはフォトレジスト製品の製造コストの増
大を伴うことなく、改善された性能に適合させる。同様
の考察がプルーフィングおよびフレキソ印刷における光
重合性組成物の使用に対して適合する。
向けて印刷回路板の技術レベルが高まるのにしたがっ
て、そのような回路板を製造するのに使用されるフォト
レジスト材料にかかる要求が大きくなる。同様にこの要
求はレジストの配合者により大きな負担をかけて、製造
水準の低下またはフォトレジスト製品の製造コストの増
大を伴うことなく、改善された性能に適合させる。同様
の考察がプルーフィングおよびフレキソ印刷における光
重合性組成物の使用に対して適合する。
【０００４】微細な線／間隔を有する印刷回路板（ＰＣ
Ｂ）の製造における使用のために、イメージングにおい
て、露光されそして現像されたフォトレジストが良好な
側壁形状を有するパターンを与えるような性質を、用い
られるフォトレジストが有することが重大である。良好
な側壁形状とは、たとえば、側壁が滑らかであり、平面
であり、および基板表面に関して９０度の角度をなし
て、およびマウスバイト(mousebites)、グージ(gouge
s)、フット(foot(s)) などの欠陥が無い等である。良好
な側壁形状を与えるフォトレジストは、印刷回路板製造
において、良好な側壁形状を与えないその他の対照のフ
ォトレジストに比べて、良好に機能する。良好な側壁形
状を与えるフォトレジストは、印刷回路板製造において
良好な側壁形状を与えないその他の対照のフォトレジス
トで行うことに比べて、通常は高い解像度を示し、より
微細な線／間隔の製造に有用であり、およびより少ない
欠陥とより高い収量を与える。
Ｂ）の製造における使用のために、イメージングにおい
て、露光されそして現像されたフォトレジストが良好な
側壁形状を有するパターンを与えるような性質を、用い
られるフォトレジストが有することが重大である。良好
な側壁形状とは、たとえば、側壁が滑らかであり、平面
であり、および基板表面に関して９０度の角度をなし
て、およびマウスバイト(mousebites)、グージ(gouge
s)、フット(foot(s)) などの欠陥が無い等である。良好
な側壁形状を与えるフォトレジストは、印刷回路板製造
において、良好な側壁形状を与えないその他の対照のフ
ォトレジストに比べて、良好に機能する。良好な側壁形
状を与えるフォトレジストは、印刷回路板製造において
良好な側壁形状を与えないその他の対照のフォトレジス
トで行うことに比べて、通常は高い解像度を示し、より
微細な線／間隔の製造に有用であり、およびより少ない
欠陥とより高い収量を与える。
【０００５】本発明の組成物に多少関係した光重合性組
成物が、１）特開平７−３３３８４６号公報および２）
特開平４−１５３２７５号公報に開示されている。前者
（＃１）は２つの結合剤成分を含有する結合剤系を含有
して、および単一の結合剤を有するいかなる組成物も含
有しない光重合性組成物を開示している。後者（＃２）
は塩基性化合物による結合剤の酸官能基の中和または部
分的な中和により水性媒質中に分散される電着組成物を
開示している。
成物が、１）特開平７−３３３８４６号公報および２）
特開平４−１５３２７５号公報に開示されている。前者
（＃１）は２つの結合剤成分を含有する結合剤系を含有
して、および単一の結合剤を有するいかなる組成物も含
有しない光重合性組成物を開示している。後者（＃２）
は塩基性化合物による結合剤の酸官能基の中和または部
分的な中和により水性媒質中に分散される電着組成物を
開示している。
【０００６】特開平７−３３３８４６号公報において開
示された組成物のような２つまたは３つ以上の結合剤成
分を含有する組成物が、いくつかの用途に対してフォト
レジストとして役立つとしても、それら組成物は、特に
微細な線および間隔を有する当該技術水準のＰＣＢを作
成するために必要な高解像度用途において、それら組成
物の使用に関してしばしば制限を有する。特に、２つま
たは３つ以上の結合剤が、分子量、酸化、その他のよう
なそれらの性質が大いに異なると、そのとき２つまたは
３つ以上の結合剤が互いにまたは残りのものとの完全な
相溶性がなくなり、およびこの場合には結合剤が、光重
合性組成物中に存在するときに、部分的にまたは実質上
別個の相ドメインに分離することができ、およびしばし
ばそうなる。そのような相分離が起きたとき、それは現
像の欠陥を与える。その欠陥とは、たとえば、特定のド
メインが現像処理中により容易に洗い落とされること、
およびレジストの側壁にグージまたはマウス・バイトが
存在する欠陥のある側壁を与えることである。そのよう
な複数の結合剤を有するレジストを用いたＰＣＢの製造
において、そのような欠陥は微細な線／間隔を実現する
ことに向けて非常に有害である。
示された組成物のような２つまたは３つ以上の結合剤成
分を含有する組成物が、いくつかの用途に対してフォト
レジストとして役立つとしても、それら組成物は、特に
微細な線および間隔を有する当該技術水準のＰＣＢを作
成するために必要な高解像度用途において、それら組成
物の使用に関してしばしば制限を有する。特に、２つま
たは３つ以上の結合剤が、分子量、酸化、その他のよう
なそれらの性質が大いに異なると、そのとき２つまたは
３つ以上の結合剤が互いにまたは残りのものとの完全な
相溶性がなくなり、およびこの場合には結合剤が、光重
合性組成物中に存在するときに、部分的にまたは実質上
別個の相ドメインに分離することができ、およびしばし
ばそうなる。そのような相分離が起きたとき、それは現
像の欠陥を与える。その欠陥とは、たとえば、特定のド
メインが現像処理中により容易に洗い落とされること、
およびレジストの側壁にグージまたはマウス・バイトが
存在する欠陥のある側壁を与えることである。そのよう
な複数の結合剤を有するレジストを用いたＰＣＢの製造
において、そのような欠陥は微細な線／間隔を実現する
ことに向けて非常に有害である。
【０００７】良好な側壁形状および低い欠陥レベルを有
するイメージされたレジストを与えるための、特に微細
な線／間隔を有するイメージされたフォトポリマーパタ
ーン（たとえば、イメージされたレジスト）の生成を含
む用途のための固有の性質を有する効果的な光重合性組
成物に対する要求が常に存在する。
するイメージされたレジストを与えるための、特に微細
な線／間隔を有するイメージされたフォトポリマーパタ
ーン（たとえば、イメージされたレジスト）の生成を含
む用途のための固有の性質を有する効果的な光重合性組
成物に対する要求が常に存在する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】一つの実施の形態におい
て、本発明は画像状の露光および現像により良好な側壁
形状を与えるように処方された光重合性組成物であり、
前記光重合性組成物が： （ａ）２０，０００から１６０，０００の範囲の重量平
均分子量を有するポリマー結合剤であり、前記ポリマー
結合剤が： （Ａ）w （Ｂ）x （Ｃ）y （Ｄ）z 式Ｉ または （Ａ）w （Ｂ）x （Ｃ）y （Ｄ）z （Ｅ）u 式ＩＩ の式を有するポリマーを具え、ここでＡは置換または無
置換のＣ4 −Ｃ10アルキルメタクリレートであり、Ｂは
置換または無置換のＣ4 −Ｃ10アルキルアクリレートで
あり、Ｃはメチルメタクリレートおよびエチルメタクリ
レートから成る群から選択され、Ｄはメタクリル酸およ
びアクリル酸から成る群から選択され、およびＥはスチ
レンであり；およびここでｗ、ｘ、ｙ、ｚ、およびｕは
ポリマー結合剤中のコモノマーの重量％であり、ｗは５
から４０％、ｘは５から４０％、ｙは１０から７０％、
ｚは１５から３０％、およびｕは１から３０％である、
ポリマー結合剤と； （ｂ） 少なくとも一つのエチレン性不飽和モノマー
と； （ｃ） 光開始剤および光開始剤系から成る群から選択
される、少なくとも一つの成分と； で実質的に構成され、前記光重合性組成物が成分（ａ）
の中和または部分的中和のために用いられる塩基性化合
物を含まないという条件を伴うことを特徴とする。
て、本発明は画像状の露光および現像により良好な側壁
形状を与えるように処方された光重合性組成物であり、
前記光重合性組成物が： （ａ）２０，０００から１６０，０００の範囲の重量平
均分子量を有するポリマー結合剤であり、前記ポリマー
結合剤が： （Ａ）w （Ｂ）x （Ｃ）y （Ｄ）z 式Ｉ または （Ａ）w （Ｂ）x （Ｃ）y （Ｄ）z （Ｅ）u 式ＩＩ の式を有するポリマーを具え、ここでＡは置換または無
置換のＣ4 −Ｃ10アルキルメタクリレートであり、Ｂは
置換または無置換のＣ4 −Ｃ10アルキルアクリレートで
あり、Ｃはメチルメタクリレートおよびエチルメタクリ
レートから成る群から選択され、Ｄはメタクリル酸およ
びアクリル酸から成る群から選択され、およびＥはスチ
レンであり；およびここでｗ、ｘ、ｙ、ｚ、およびｕは
ポリマー結合剤中のコモノマーの重量％であり、ｗは５
から４０％、ｘは５から４０％、ｙは１０から７０％、
ｚは１５から３０％、およびｕは１から３０％である、
ポリマー結合剤と； （ｂ） 少なくとも一つのエチレン性不飽和モノマー
と； （ｃ） 光開始剤および光開始剤系から成る群から選択
される、少なくとも一つの成分と； で実質的に構成され、前記光重合性組成物が成分（ａ）
の中和または部分的中和のために用いられる塩基性化合
物を含まないという条件を伴うことを特徴とする。
【０００９】他の実施の形態においては、本発明は画像
状の露光および現像により良好な側壁形状を有するレリ
ーフイメージを与えるためのプロセスであり、前記プロ
セスが： （１）支持体および式Ｉまたは式ＩＩの光重合性組成物
を具えた、光重合性要素を準備する工程と； （２）前記光重合性要素の化学線に対する画像状に露光
して、画像状に露光され光重合された要素を与える工程
と； （３）工程（２）の画像状に露光され光重合された要素
を現像して、良好な側壁形状を有する浮き彫り画像を形
成する工程と； を具備することを特徴とする。
状の露光および現像により良好な側壁形状を有するレリ
ーフイメージを与えるためのプロセスであり、前記プロ
セスが： （１）支持体および式Ｉまたは式ＩＩの光重合性組成物
を具えた、光重合性要素を準備する工程と； （２）前記光重合性要素の化学線に対する画像状に露光
して、画像状に露光され光重合された要素を与える工程
と； （３）工程（２）の画像状に露光され光重合された要素
を現像して、良好な側壁形状を有する浮き彫り画像を形
成する工程と； を具備することを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】改善された側壁形状および現像許
容度を有する光重合性組成物を、関連する要素およびプ
ロセスと一緒にして、ここで開示する。これらの光重合
性組成物は、 （ａ）以上および以下に定義したようなアクリル系また
はメタクリル系の共重合体の結合剤と； （ｂ）少なくとも一つのエチレン性不飽和モノマーと： （ｃ）光開始剤および光開始剤系から成る群から選択さ
れる少なくとも一つの成分とを含む。加えて、以下に記
載したような必要に応じて有してもよい他の成分がこれ
らの組成物中に存在してもよい。
容度を有する光重合性組成物を、関連する要素およびプ
ロセスと一緒にして、ここで開示する。これらの光重合
性組成物は、 （ａ）以上および以下に定義したようなアクリル系また
はメタクリル系の共重合体の結合剤と； （ｂ）少なくとも一つのエチレン性不飽和モノマーと： （ｃ）光開始剤および光開始剤系から成る群から選択さ
れる少なくとも一つの成分とを含む。加えて、以下に記
載したような必要に応じて有してもよい他の成分がこれ
らの組成物中に存在してもよい。
【００１１】アクリル系またはメタクリル系の共重合体
結合剤良好な側壁形状および広い現像許容度を示す組成
物のために、ポリマー結合剤の選択は本発明において重
大である。驚くべきことに、置換または無置換のＣ4−
Ｃ10アルキルメタクリレートおよび置換または無置換の
Ｃ4 −Ｃ10アルキルアクリレートを含むコモノマー成分
を有する選択されたアクリル系またはメタクリル系の共
重合体が、比較する（先行技術の）結合剤との関係にお
いて良好な側壁形状と広い現像許容度を達成するため
の、本発明の鍵であることが見いだされている。
結合剤良好な側壁形状および広い現像許容度を示す組成
物のために、ポリマー結合剤の選択は本発明において重
大である。驚くべきことに、置換または無置換のＣ4−
Ｃ10アルキルメタクリレートおよび置換または無置換の
Ｃ4 −Ｃ10アルキルアクリレートを含むコモノマー成分
を有する選択されたアクリル系またはメタクリル系の共
重合体が、比較する（先行技術の）結合剤との関係にお
いて良好な側壁形状と広い現像許容度を達成するため
の、本発明の鍵であることが見いだされている。
【００１２】具体的には、本発明の結合剤は以下の式を
有するポリマーである。
有するポリマーである。
【００１３】（Ａ）w （Ｂ）x （Ｃ）y （Ｄ）z 式Ｉ
または （Ａw ）（Ｂx ）（Ｃy ）（Ｄz ）（Ｅu ） 式ＩＩ ここでＡは置換または無置換のＣ4 −Ｃ10アルキルメタ
クリレートであり、Ｂは置換または無置換のＣ4 −Ｃ10
アルキルアクリレートであり、Ｃはメチルメタクリレー
トおよびエチルメタクリレートから成る群から選択さ
れ、Ｄはメタクリル酸およびアクリル酸から成る群から
選択され、およびＥはスチレンであり；およびここで
ｗ、ｘ、ｙ、ｚ、およびｕはポリマー結合剤中のコモノ
マーの重量％であり、ｗは５から４０％、ｘは５から４
０％、ｙは１０から７０％、ｚは１５から３０％、およ
び（式ＩＩに対する）ｕは１から３０％である。好まし
くは、ｗは１０から４０％、ｘは１０から２０％、ｙは
３０から６０％、およびｚは２０から３０％である。よ
り好ましくは、ｗは２２から２７％、ｘは１５から２０
％、ｙは３０から４０％、ｚは２０から２５％、および
（式ＩＩに対する）ｕは１５％である。
または （Ａw ）（Ｂx ）（Ｃy ）（Ｄz ）（Ｅu ） 式ＩＩ ここでＡは置換または無置換のＣ4 −Ｃ10アルキルメタ
クリレートであり、Ｂは置換または無置換のＣ4 −Ｃ10
アルキルアクリレートであり、Ｃはメチルメタクリレー
トおよびエチルメタクリレートから成る群から選択さ
れ、Ｄはメタクリル酸およびアクリル酸から成る群から
選択され、およびＥはスチレンであり；およびここで
ｗ、ｘ、ｙ、ｚ、およびｕはポリマー結合剤中のコモノ
マーの重量％であり、ｗは５から４０％、ｘは５から４
０％、ｙは１０から７０％、ｚは１５から３０％、およ
び（式ＩＩに対する）ｕは１から３０％である。好まし
くは、ｗは１０から４０％、ｘは１０から２０％、ｙは
３０から６０％、およびｚは２０から３０％である。よ
り好ましくは、ｗは２２から２７％、ｘは１５から２０
％、ｙは３０から４０％、ｚは２０から２５％、および
（式ＩＩに対する）ｕは１５％である。
【００１４】本発明のアクリル系またはメタクリル系の
共重合体結合剤は２０，０００から１６０，０００の範
囲の重量平均分子量（Ｍw ）を有する。好ましくはＭw
は４０，０００から１００，０００の範囲にあり、およ
びより好ましくはＭw は５５，０００から６５，０００
の範囲にある。
共重合体結合剤は２０，０００から１６０，０００の範
囲の重量平均分子量（Ｍw ）を有する。好ましくはＭw
は４０，０００から１００，０００の範囲にあり、およ
びより好ましくはＭw は５５，０００から６５，０００
の範囲にある。
【００１５】好ましい本発明のアクリル系またはメタク
リル系の共重合体結合剤は上記の式の結合剤であり、こ
こでＡは置換または無置換のＣ4 −Ｃ8 アルキルメタク
リレートであり、Ｂは置換または無置換のＣ4 −Ｃ8 ア
ルキルアクリレートである。より好ましい本発明のアク
リル系またはメタクリル系の共重合体結合剤は上記の式
の結合剤であり、ここでＡは置換または無置換のＣ4 −
Ｃ6 アルキルメタクリレートであり、Ｂは置換または無
置換のＣ4 −Ｃ6 アルキルアクリレートである。さらに
より好ましい本発明のアクリル系またはメタクリル系の
共重合体結合剤は上記の式のポリマーであり、ここでＡ
はブチルメタクリレートであり、Ｂはブチルアクリレー
トであり、Ｃはメチルメタクリレートであり、およびＤ
はメタクリル酸である。最も好ましい本発明のアクリル
系またはメタクリル系の共重合体結合剤は上記の式のポ
リマーであり、ここでＡはｎ−ブチルメタクリレートで
あり、Ｂはｎ−ブチルアクリレートであり、Ｃはメチル
メタクリレートであり、およびＤはメタクリル酸であ
る。
リル系の共重合体結合剤は上記の式の結合剤であり、こ
こでＡは置換または無置換のＣ4 −Ｃ8 アルキルメタク
リレートであり、Ｂは置換または無置換のＣ4 −Ｃ8 ア
ルキルアクリレートである。より好ましい本発明のアク
リル系またはメタクリル系の共重合体結合剤は上記の式
の結合剤であり、ここでＡは置換または無置換のＣ4 −
Ｃ6 アルキルメタクリレートであり、Ｂは置換または無
置換のＣ4 −Ｃ6 アルキルアクリレートである。さらに
より好ましい本発明のアクリル系またはメタクリル系の
共重合体結合剤は上記の式のポリマーであり、ここでＡ
はブチルメタクリレートであり、Ｂはブチルアクリレー
トであり、Ｃはメチルメタクリレートであり、およびＤ
はメタクリル酸である。最も好ましい本発明のアクリル
系またはメタクリル系の共重合体結合剤は上記の式のポ
リマーであり、ここでＡはｎ−ブチルメタクリレートで
あり、Ｂはｎ−ブチルアクリレートであり、Ｃはメチル
メタクリレートであり、およびＤはメタクリル酸であ
る。
【００１６】全体の結合剤の量は、所定の光重合性組成
物の全成分に関して、一般的に重量部で４０％から８０
％までである。
物の全成分に関して、一般的に重量部で４０％から８０
％までである。
【００１７】エチレン性不飽和モノマー モノマーは光重合性組成物に重合する能力を付与して、
および前記組成物の総合的性質に寄与する。効果的にそ
のようにするために、モノマーは化学線にさらされたと
きに重合を受ける能力のある少なくとも一つのエチレン
性不飽和基を含有しなければならない。
および前記組成物の総合的性質に寄与する。効果的にそ
のようにするために、モノマーは化学線にさらされたと
きに重合を受ける能力のある少なくとも一つのエチレン
性不飽和基を含有しなければならない。
【００１８】好ましいモノマー化合物は多官能性である
が、ポリカプロラクトンのアクリレートエステルまたは
メタクリレートエステルのような単官能性モノマーもま
た使用できる。単独のモノマーとしてまたは他のものと
組み合わせて用いることができる好適なモノマーは以下
を含む：１，４−ブタンジオールジアクリレート、１，
５−ペンタンジオールジアクリレート、ジエチレングリ
コールジアクリレート、ヘキサメチレングリコールジア
クリレート、１，３−プロパンジオールジアクリレー
ト、デカメチレングリコールジアクリレート、デカメチ
レングリコールジメタクリレート、１，４−シクロヘキ
サンジオールジアクリレート、２，２−ジメチロールプ
ロパンジアクリレート、グリセロールジアクリレート、
グリセロールトリアクリレート、トリメチロールプロパ
ントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリ
レート、ポリオキシエチル化トリメチロールプロパント
リアクリレートまたはトリメタクリレート、ポリプロポ
キシル化トリメチロールプロパントリアクリレートまた
はトリメタクリレートおよび米国特許第３，３８０，８
３１号において開示されたような類似の化合物、２，２
−ジ（ｐ−ヒドロキシフェニル）プロパンジアクリレー
ト、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、２，２
−ジ（ｐ−ヒドロキシフェニル）プロパンジメタクリレ
ート、トリエチレングリコールジアクリレート、ポリオ
キシエチル−２，２−ジ（ｐ−ヒドロキシフェニル）プ
ロパンジメタクリレート、ビスフェノールＡジアクリレ
ート、ビスフェノールＡのジ−（３−メタクリルオキシ
−２−ヒドロキシプロピル）エーテル、ビスフェノール
Ａのジ−２−メタクリルオキシエチルエーテル、ビスフ
ェノールＡのジ−（３−アクリルオキシ−２−ヒドロキ
シプロピル）エーテル、ビスフェノールＡのジ−２−ア
クリルオキシエチルエーテル、テトラクロロ−ビスフェ
ノールＡのジ−（３−メタクリルオキシ−２−ヒドロキ
シプロピル）エーテル、テトラクロロ−ビスフェノール
Ａのジ−２−メタクリルオキシエチルエーテル、テトラ
ブロモ−ビスフェノールＡのジ−（３−メタクリルオキ
シ−２−ヒドロキシプロピル）エーテル、テトラブロモ
−ビスフェノールＡのジ−２−メタクリルオキシエチル
エーテル、１，４−ブタンジオールのジ−（３−メタク
リルオキシ−２−ヒドロキシプロピル）エーテル、トリ
エチレングリコールジメタクリレート、トリメチロール
プロパントリメタクリレート、エチレングリコールジメ
タクリレート、ブチレングリコールジメタクリレート、
１，３−プロパンジオールジメタクリレート、１，２，
４−ブタントリオールトリメタクリレート、２，２，４
−トリメチル−１，３−ペンタンジオールジメタクリレ
ート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、１−
フェニルエチレン−１，２−ジメタクリレート、ペンタ
エリスリトールテトラメタクリレート、１，５−ペンタ
ンジオールジメタクリレート、１，４−ベンゼンジオー
ルジメタクリレート、１，３，５−トリイソプロペニル
ベンゼン、およびポリカプロラクトンジアクリレート。
が、ポリカプロラクトンのアクリレートエステルまたは
メタクリレートエステルのような単官能性モノマーもま
た使用できる。単独のモノマーとしてまたは他のものと
組み合わせて用いることができる好適なモノマーは以下
を含む：１，４−ブタンジオールジアクリレート、１，
５−ペンタンジオールジアクリレート、ジエチレングリ
コールジアクリレート、ヘキサメチレングリコールジア
クリレート、１，３−プロパンジオールジアクリレー
ト、デカメチレングリコールジアクリレート、デカメチ
レングリコールジメタクリレート、１，４−シクロヘキ
サンジオールジアクリレート、２，２−ジメチロールプ
ロパンジアクリレート、グリセロールジアクリレート、
グリセロールトリアクリレート、トリメチロールプロパ
ントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリ
レート、ポリオキシエチル化トリメチロールプロパント
リアクリレートまたはトリメタクリレート、ポリプロポ
キシル化トリメチロールプロパントリアクリレートまた
はトリメタクリレートおよび米国特許第３，３８０，８
３１号において開示されたような類似の化合物、２，２
−ジ（ｐ−ヒドロキシフェニル）プロパンジアクリレー
ト、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、２，２
−ジ（ｐ−ヒドロキシフェニル）プロパンジメタクリレ
ート、トリエチレングリコールジアクリレート、ポリオ
キシエチル−２，２−ジ（ｐ−ヒドロキシフェニル）プ
ロパンジメタクリレート、ビスフェノールＡジアクリレ
ート、ビスフェノールＡのジ−（３−メタクリルオキシ
−２−ヒドロキシプロピル）エーテル、ビスフェノール
Ａのジ−２−メタクリルオキシエチルエーテル、ビスフ
ェノールＡのジ−（３−アクリルオキシ−２−ヒドロキ
シプロピル）エーテル、ビスフェノールＡのジ−２−ア
クリルオキシエチルエーテル、テトラクロロ−ビスフェ
ノールＡのジ−（３−メタクリルオキシ−２−ヒドロキ
シプロピル）エーテル、テトラクロロ−ビスフェノール
Ａのジ−２−メタクリルオキシエチルエーテル、テトラ
ブロモ−ビスフェノールＡのジ−（３−メタクリルオキ
シ−２−ヒドロキシプロピル）エーテル、テトラブロモ
−ビスフェノールＡのジ−２−メタクリルオキシエチル
エーテル、１，４−ブタンジオールのジ−（３−メタク
リルオキシ−２−ヒドロキシプロピル）エーテル、トリ
エチレングリコールジメタクリレート、トリメチロール
プロパントリメタクリレート、エチレングリコールジメ
タクリレート、ブチレングリコールジメタクリレート、
１，３−プロパンジオールジメタクリレート、１，２，
４−ブタントリオールトリメタクリレート、２，２，４
−トリメチル−１，３−ペンタンジオールジメタクリレ
ート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、１−
フェニルエチレン−１，２−ジメタクリレート、ペンタ
エリスリトールテトラメタクリレート、１，５−ペンタ
ンジオールジメタクリレート、１，４−ベンゼンジオー
ルジメタクリレート、１，３，５−トリイソプロペニル
ベンゼン、およびポリカプロラクトンジアクリレート。
【００１９】好ましいモノマーは、ポリエトキシル化ト
リメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロー
ルプロパントリアクリレート、トリエチレングリコール
ジメタクリレート、ポリエトキシル化ビスフェノールＡ
ジメタクリレート、ポリプロポキシル化プロピレングリ
コールモノメタクリレート、およびポリプロポキシル化
プロピレングリコールジメタクリレートを含む。
リメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロー
ルプロパントリアクリレート、トリエチレングリコール
ジメタクリレート、ポリエトキシル化ビスフェノールＡ
ジメタクリレート、ポリプロポキシル化プロピレングリ
コールモノメタクリレート、およびポリプロポキシル化
プロピレングリコールジメタクリレートを含む。
【００２０】全モノマーの量は、所定の光重合性組成物
の全成分に関して、一般に１０から５０重量部までであ
る。
の全成分に関して、一般に１０から５０重量部までであ
る。
【００２１】光開始剤または光開始剤系 単一の光開始剤または複数の成分を含有する光開始剤系
もまた本発明の光重合性組成物中に存在する。光開始剤
はハロゲン化−２，５−シクロヘキサジエノン、ベンゾ
フェノン、アルキルアリールケトンまたはジケトン種、
またはそれらの混合物のような独特の種類のものでもよ
い。
もまた本発明の光重合性組成物中に存在する。光開始剤
はハロゲン化−２，５−シクロヘキサジエノン、ベンゾ
フェノン、アルキルアリールケトンまたはジケトン種、
またはそれらの混合物のような独特の種類のものでもよ
い。
【００２２】フリーラジカルを生成する種々の光開始剤
の任意のものを本発明に用いることができる。ベンゾフ
ェノン誘導体が好適であり、それはベンゾフェノン、ビ
ス−４，４′−ジメチルアミノベンゾフェノン（ミヒラ
ーズケトン）、ビス−４，４′−ジエチルアミノベンゾ
フェノン（エチルミヒラーズケトン）、その他のアルキ
ルアミノ基、クロロ、メトキシ、その他を用いて単一ま
たは複数で置換されたベンゾフェノン類のようなもので
ある。好ましい化合物は、ベンゾフェノン、エチルミヒ
ラーズケトン、およびミヒラーズケトンを含む。置換さ
れたキサントン類、チオキサントン類、アントロン類、
およびフルオレノン類も同様に有用な開始剤であり、ア
ルキル、クロロ、およびアルコキシで置換されたチオキ
サントン類が好ましい。シサック(Sysak) の米国特許第
４，３４１，８６０号に記載されたもののような置換さ
れたシクロヘキサジエノン類もまた使用でき、好ましい
化合物においてアルキルおよびトリクロロメチル置換基
の双方を４位に有する。
の任意のものを本発明に用いることができる。ベンゾフ
ェノン誘導体が好適であり、それはベンゾフェノン、ビ
ス−４，４′−ジメチルアミノベンゾフェノン（ミヒラ
ーズケトン）、ビス−４，４′−ジエチルアミノベンゾ
フェノン（エチルミヒラーズケトン）、その他のアルキ
ルアミノ基、クロロ、メトキシ、その他を用いて単一ま
たは複数で置換されたベンゾフェノン類のようなもので
ある。好ましい化合物は、ベンゾフェノン、エチルミヒ
ラーズケトン、およびミヒラーズケトンを含む。置換さ
れたキサントン類、チオキサントン類、アントロン類、
およびフルオレノン類も同様に有用な開始剤であり、ア
ルキル、クロロ、およびアルコキシで置換されたチオキ
サントン類が好ましい。シサック(Sysak) の米国特許第
４，３４１，８６０号に記載されたもののような置換さ
れたシクロヘキサジエノン類もまた使用でき、好ましい
化合物においてアルキルおよびトリクロロメチル置換基
の双方を４位に有する。
【００２３】有用なアルキルアリールケトン誘導体は、
ベンゾイン、ピバロインのようなケトアルドニル(ketal
donyl)アルコール類、およびベンゾインアルキルエーテ
ル類、ベンゾインアリールエーテル類のようなアシロイ
ンエーテル類、α−炭化水素置換芳香族アシロイン類、
ベンゾインジアルキルケタール類、ベンジル、ベンゾイ
ンエステル類、Ｏ−アシル化オキシミノケトン類、およ
びα−アミノアセトフェノン誘導体のようなα−アミノ
ケトン類を含む。９，１０−アントラキノン、１，４−
ナフトキノン、およびフェナントレンキノンのような置
換または無置換の多核性キノンもまた可能性のある開始
剤である。
ベンゾイン、ピバロインのようなケトアルドニル(ketal
donyl)アルコール類、およびベンゾインアルキルエーテ
ル類、ベンゾインアリールエーテル類のようなアシロイ
ンエーテル類、α−炭化水素置換芳香族アシロイン類、
ベンゾインジアルキルケタール類、ベンジル、ベンゾイ
ンエステル類、Ｏ−アシル化オキシミノケトン類、およ
びα−アミノアセトフェノン誘導体のようなα−アミノ
ケトン類を含む。９，１０−アントラキノン、１，４−
ナフトキノン、およびフェナントレンキノンのような置
換または無置換の多核性キノンもまた可能性のある開始
剤である。
【００２４】電子および／または水素供与体として好適
な第３級アミンもまた開始系の一部として使用できる。
特に好ましいのはたとえば４−ジメチルアミノ安息香酸
エチルのような置換Ｎ，Ｎ−ジアルキルアミノベンゼン
誘導体などの第３級芳香族アミンである。
な第３級アミンもまた開始系の一部として使用できる。
特に好ましいのはたとえば４−ジメチルアミノ安息香酸
エチルのような置換Ｎ，Ｎ−ジアルキルアミノベンゼン
誘導体などの第３級芳香族アミンである。
【００２５】本発明において有用なシクロヘキサジエノ
ンは下式のものであり：
ンは下式のものであり：
【００２６】
【化１】
【００２７】ここでＡ、Ｂ、ＤおよびＥの各々は、水
素、１個から９個の炭素原子のアルキル基、ブロモ、ク
ロロ、６個から１０個の炭素原子のアリール基、アラル
キル基（ここでアリール部は６個から１０個の炭素原子
のものでありおよびアルキル部は１個から５個の炭素原
子のものである）、アルカリール基（ここでアリール部
は６個から１０個の炭素原子のものでありおよびアルキ
ル部は１個から５個の炭素原子のものである）、１個か
ら４個の炭素原子のアルコキシ基でもよく、および、Ａ
とＢとおよびＣとＤとが一緒に選ばれたときにベンゼン
環を形成してもよく、ＦはＣＣｌ3 またはＣＨＣｌ2 で
あり；およびＧは１個から１８個の炭素原子のアルキル
基および６個から１０個の炭素原子のアリール基でもよ
い。４−メチル−４−トリクロロメチル−２，５−シク
ロヘキサジエノンのような具体的なシクロヘキサジエノ
ン化合物はシサック(Sysak) の米国特許第４，３４１，
８６０号の第２欄第５０行から第３欄第３７行に開示さ
れている。シクロヘキサジエノン化合物を光開始剤系の
一部として他の化合物と組みわせて使用してもよい。
素、１個から９個の炭素原子のアルキル基、ブロモ、ク
ロロ、６個から１０個の炭素原子のアリール基、アラル
キル基（ここでアリール部は６個から１０個の炭素原子
のものでありおよびアルキル部は１個から５個の炭素原
子のものである）、アルカリール基（ここでアリール部
は６個から１０個の炭素原子のものでありおよびアルキ
ル部は１個から５個の炭素原子のものである）、１個か
ら４個の炭素原子のアルコキシ基でもよく、および、Ａ
とＢとおよびＣとＤとが一緒に選ばれたときにベンゼン
環を形成してもよく、ＦはＣＣｌ3 またはＣＨＣｌ2 で
あり；およびＧは１個から１８個の炭素原子のアルキル
基および６個から１０個の炭素原子のアリール基でもよ
い。４−メチル−４−トリクロロメチル−２，５−シク
ロヘキサジエノンのような具体的なシクロヘキサジエノ
ン化合物はシサック(Sysak) の米国特許第４，３４１，
８６０号の第２欄第５０行から第３欄第３７行に開示さ
れている。シクロヘキサジエノン化合物を光開始剤系の
一部として他の化合物と組みわせて使用してもよい。
【００２８】有用なジケトンは、ビアセチル、２，３−
ジベンゾイル−２−ノルボルネン、ベンゾイルベンザル
クロリド、２，２−ジブロモ−２−（フェニルスルホニ
ル）プロパンジオン、α−ナフチル、２，３−ボルナン
ジオン、フェニルピルビン酸および２，４−ペンタンジ
オンを含む。用いられることができる典型的キノンは４
−ベンゾキノン、２−ベンゾキノンジアジド、アントラ
キノン、２−メチルアントラキノン、、２，６−ジメト
キシアントラキノン、２，４，８−トリクロロアントラ
キノン、アミノアントラキノン、１，４−ナフトキノン
誘導体およびフェナントレンキノン類を含む。
ジベンゾイル−２−ノルボルネン、ベンゾイルベンザル
クロリド、２，２−ジブロモ−２−（フェニルスルホニ
ル）プロパンジオン、α−ナフチル、２，３−ボルナン
ジオン、フェニルピルビン酸および２，４−ペンタンジ
オンを含む。用いられることができる典型的キノンは４
−ベンゾキノン、２−ベンゾキノンジアジド、アントラ
キノン、２−メチルアントラキノン、、２，６−ジメト
キシアントラキノン、２，４，８−トリクロロアントラ
キノン、アミノアントラキノン、１，４−ナフトキノン
誘導体およびフェナントレンキノン類を含む。
【００２９】光開始剤として同様に有用なものは、米国
特許第３，４７９，１８５号、第３，７８４，５５７
号、第４，３１１，７８３号および第４，６２２，２８
６号に開示されたもののような連鎖移動剤または水素供
与体と組み合わされた２，４，５−トリフェニルイミダ
ゾールダイマーである。好ましいヘキサアリールビイミ
ダゾール（ＨＡＢＩ）類は２−オルト−クロロ置換ヘキ
サアリールビイミダゾール類であり、ここでフェニルラ
ジカル上の他の位置は無置換またはクロロ、メチルある
いはメトキシで置換される。この種類の幾つかの明確な
好ましい開始剤は、オルト−クロロ−ＨＡＢＩ（ｏ−Ｃ
ｌ−ＨＡＢＩ）すなわち２，２′−ビス（２−クロロ−
フェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニル−
１，１′−ビ−１Ｈ−イミダゾール、ｏ−ＥｔＯ−ＨＡ
ＢＩすなわち２，２′−ビス（２−エトキシフェニル）
−４，４′，５，５′−テトラフェニル−１，１′−ビ
−１Ｈ−イミダゾール、ＴＣＴＭ−ＨＡＢＩすなわち
２，２′，４，４′−テトラ（２−クロロフェニル）−
５，５′−ビス（３，４−ジメトキシフェニル）−１，
１′−ビ−１Ｈ−イミダゾール、およびＣＤＭ−ＨＡＢ
Ｉすなわち２，２′−ビス（２−クロロフェニル）−
４，４′，５，５′−テトラキス（３−メトキシフェニ
ル）１，１′−ビ−１Ｈ−イミダゾールを含む。
特許第３，４７９，１８５号、第３，７８４，５５７
号、第４，３１１，７８３号および第４，６２２，２８
６号に開示されたもののような連鎖移動剤または水素供
与体と組み合わされた２，４，５−トリフェニルイミダ
ゾールダイマーである。好ましいヘキサアリールビイミ
ダゾール（ＨＡＢＩ）類は２−オルト−クロロ置換ヘキ
サアリールビイミダゾール類であり、ここでフェニルラ
ジカル上の他の位置は無置換またはクロロ、メチルある
いはメトキシで置換される。この種類の幾つかの明確な
好ましい開始剤は、オルト−クロロ−ＨＡＢＩ（ｏ−Ｃ
ｌ−ＨＡＢＩ）すなわち２，２′−ビス（２−クロロ−
フェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニル−
１，１′−ビ−１Ｈ−イミダゾール、ｏ−ＥｔＯ−ＨＡ
ＢＩすなわち２，２′−ビス（２−エトキシフェニル）
−４，４′，５，５′−テトラフェニル−１，１′−ビ
−１Ｈ−イミダゾール、ＴＣＴＭ−ＨＡＢＩすなわち
２，２′，４，４′−テトラ（２−クロロフェニル）−
５，５′−ビス（３，４−ジメトキシフェニル）−１，
１′−ビ−１Ｈ−イミダゾール、およびＣＤＭ−ＨＡＢ
Ｉすなわち２，２′−ビス（２−クロロフェニル）−
４，４′，５，５′−テトラキス（３−メトキシフェニ
ル）１，１′−ビ−１Ｈ−イミダゾールを含む。
【００３０】フォトポリマー組成物中で連鎖移動剤とし
て機能する水素供与体化合物は：Ｎ−フェニルグリシ
ン、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプ
トベンゾチアゾール、４−メチル−４Ｈ−１，２，４−
トリアゾール−３−チオール、その他；同じくマクラク
ラン(MacLachlan)の米国特許第３，３９０，９９６号の
第１２欄第１８行から第５８行に開示された多様な種類
の化合物、たとえば（ａ）エーテル類、（ｂ）エステル
類、（ｃ）アルコール類、（ｄ）アリル型水素またはベ
ンジル型水素を含有する化合物類、（ｅ）アセタール
類、（ｆ）アルデヒド類、および（ｇ）アミド類を含
む。ビイミダゾール種の開始剤およびＮ−ビニルカルバ
ゾールの両方を含む系において使用するための好適な水
素供与体化合物は５−クロロ−２−メルカプトベンゾチ
アゾール；２−メルカプトベンゾチアゾール；１Ｈ−
１，２，４−トリアゾール−３−チオール；６−エトキ
シ−２−メルカプトベンゾチアゾール、４−メチル−４
Ｈ−１，２，４−トリアゾール−３−チオール；１−ド
デカンチオール；およびそれらの混合物である。
て機能する水素供与体化合物は：Ｎ−フェニルグリシ
ン、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプ
トベンゾチアゾール、４−メチル−４Ｈ−１，２，４−
トリアゾール−３−チオール、その他；同じくマクラク
ラン(MacLachlan)の米国特許第３，３９０，９９６号の
第１２欄第１８行から第５８行に開示された多様な種類
の化合物、たとえば（ａ）エーテル類、（ｂ）エステル
類、（ｃ）アルコール類、（ｄ）アリル型水素またはベ
ンジル型水素を含有する化合物類、（ｅ）アセタール
類、（ｆ）アルデヒド類、および（ｇ）アミド類を含
む。ビイミダゾール種の開始剤およびＮ−ビニルカルバ
ゾールの両方を含む系において使用するための好適な水
素供与体化合物は５−クロロ−２−メルカプトベンゾチ
アゾール；２−メルカプトベンゾチアゾール；１Ｈ−
１，２，４−トリアゾール−３−チオール；６−エトキ
シ−２−メルカプトベンゾチアゾール、４−メチル−４
Ｈ−１，２，４−トリアゾール−３−チオール；１−ド
デカンチオール；およびそれらの混合物である。
【００３１】いくつかの好ましい光開始剤および光増感
剤は、（上述したような）選択されたＨＡＢＩ類、ベン
ゾフェノン、エチルミヒラーズケトン、ｐ−ジアルキル
アミノベンズアルデヒド類、ｐ−ジアルキルアミノ安息
香酸アルキルエステル類、シクロヘキサジエノン類、キ
サントン類、チオキサントン類、ベンジルのジアルキル
ケタール類、アミノアセトフェノン類、ベンゾイン、ベ
ンゾインジアルキルエーテル類またはこれらの組み合わ
せであり、ここでアルキルは１個から４個の炭素原子を
含有する。
剤は、（上述したような）選択されたＨＡＢＩ類、ベン
ゾフェノン、エチルミヒラーズケトン、ｐ−ジアルキル
アミノベンズアルデヒド類、ｐ−ジアルキルアミノ安息
香酸アルキルエステル類、シクロヘキサジエノン類、キ
サントン類、チオキサントン類、ベンジルのジアルキル
ケタール類、アミノアセトフェノン類、ベンゾイン、ベ
ンゾインジアルキルエーテル類またはこれらの組み合わ
せであり、ここでアルキルは１個から４個の炭素原子を
含有する。
【００３２】合計の光開始剤または光開始剤系の量は、
与えられた光重合性組成物の全成分に関して、一般に重
量部で０．５％から１０％までである。
与えられた光重合性組成物の全成分に関して、一般に重
量部で０．５％から１０％までである。
【００３３】一時的支持体 フォトレジスト塗膜のための支持体フィルムとして用い
ることが知られている任意の支持体フィルムを本発明に
使用することができる。好ましくは温度変化に対する高
い程度の寸法安定性を有する一時的支持体フィルムは、
広範な種類のポリアミド類、ポリオレフィン類、ポリエ
ステル類、ビニルポリマー類およびセルロースエステル
類から選択されてもよく、および約６から約２００マイ
クロメートルの厚さを有してもよい。特に好適な支持体
フィルムは約２０マイクロメートルの厚さを有するポリ
エチレンテレフタレートである。
ることが知られている任意の支持体フィルムを本発明に
使用することができる。好ましくは温度変化に対する高
い程度の寸法安定性を有する一時的支持体フィルムは、
広範な種類のポリアミド類、ポリオレフィン類、ポリエ
ステル類、ビニルポリマー類およびセルロースエステル
類から選択されてもよく、および約６から約２００マイ
クロメートルの厚さを有してもよい。特に好適な支持体
フィルムは約２０マイクロメートルの厚さを有するポリ
エチレンテレフタレートである。
【００３４】必要に応じて有してもよい材料または添加
剤 カバーフィルム 慣用のフォトレジスト要素においては、ロール形態にお
いて貯蔵されるときの粘着を防止するために、除去可能
なカバーフィルム（カバーシート）によって光感受性層
を保護することが必要であるかまたは高度に望ましい。
保護カバーフィルムは基板に対する光画像形成可能な要
素のラミネーションに先立って除去される。
剤 カバーフィルム 慣用のフォトレジスト要素においては、ロール形態にお
いて貯蔵されるときの粘着を防止するために、除去可能
なカバーフィルム（カバーシート）によって光感受性層
を保護することが必要であるかまたは高度に望ましい。
保護カバーフィルムは基板に対する光画像形成可能な要
素のラミネーションに先立って除去される。
【００３５】保護カバーフィルムは上記の一時的支持体
フィルムのために記載された高重合体フィルムと同一の
群から選択されてもよく、および同一の厚さの範囲を有
してもよい；しかし、支持体（たとえばポリエステル
層）とフォトポリマー（たとえばレジスト）の接着力に
比較してフォトポリマーとの低い接着力を有するカバー
シートを使用することが好ましい。２５ミクロンの厚さ
のポリエチレンまたはポリプロピレンが特に好適であ
る。
フィルムのために記載された高重合体フィルムと同一の
群から選択されてもよく、および同一の厚さの範囲を有
してもよい；しかし、支持体（たとえばポリエステル
層）とフォトポリマー（たとえばレジスト）の接着力に
比較してフォトポリマーとの低い接着力を有するカバー
シートを使用することが好ましい。２５ミクロンの厚さ
のポリエチレンまたはポリプロピレンが特に好適であ
る。
【００３６】その他の成分 フォトポリマー組成物に慣用的に加えられる他の化合物
も同様に塗膜中に存在して、フィルムの物理的性質を変
更してもよい。そのような成分は：接着力調節剤、熱安
定化剤、光酸化剤、染料および顔料のような着色剤、架
橋剤、粘度制御剤、塗布助剤、湿潤剤、剥離剤、および
その他同等のものを含む。
も同様に塗膜中に存在して、フィルムの物理的性質を変
更してもよい。そのような成分は：接着力調節剤、熱安
定化剤、光酸化剤、染料および顔料のような着色剤、架
橋剤、粘度制御剤、塗布助剤、湿潤剤、剥離剤、および
その他同等のものを含む。
【００３７】いくつかのヘテロ環キレート化合物は、い
くつかの他の化合物と同様に、銅被覆された基板への塗
膜の接着を改善し、および／または処理中の残渣の形成
を防止する。好適なヘテロ環化合物は、ハーリー(Hurle
y)等の米国特許第３，６２２，３３４号、ジョーンズ(J
ones) の米国特許第３，６４５，７７２号およびウィー
ド(Weed)の米国特許第４，７１０，２６２号において開
示されたもののような物質を含む。好ましいヘテロ環成
分は、ベンゾトリアゾール、５−クロロベンゾトリアゾ
ール、１−クロロベンゾトリアゾール、４−および５−
カルボキシベンゾトリアゾール、１−ヒドロキシベンゾ
トリアゾール、２−メルカプトベンズオキサゾール、１
Ｈ−１，２，４−トリアゾール−３−チオール、５−ア
ミノ−１，３，４−チアジアゾール−２−チオール、お
よびメルカプトベンズイミダゾールを含む。クエン酸は
この方法において効果的な非ヘテロ環キレート化合物の
例であり、塗膜の接着を改善し、および／または残渣の
形成を防止する。
くつかの他の化合物と同様に、銅被覆された基板への塗
膜の接着を改善し、および／または処理中の残渣の形成
を防止する。好適なヘテロ環化合物は、ハーリー(Hurle
y)等の米国特許第３，６２２，３３４号、ジョーンズ(J
ones) の米国特許第３，６４５，７７２号およびウィー
ド(Weed)の米国特許第４，７１０，２６２号において開
示されたもののような物質を含む。好ましいヘテロ環成
分は、ベンゾトリアゾール、５−クロロベンゾトリアゾ
ール、１−クロロベンゾトリアゾール、４−および５−
カルボキシベンゾトリアゾール、１−ヒドロキシベンゾ
トリアゾール、２−メルカプトベンズオキサゾール、１
Ｈ−１，２，４−トリアゾール−３−チオール、５−ア
ミノ−１，３，４−チアジアゾール−２−チオール、お
よびメルカプトベンズイミダゾールを含む。クエン酸は
この方法において効果的な非ヘテロ環キレート化合物の
例であり、塗膜の接着を改善し、および／または残渣の
形成を防止する。
【００３８】種々の背景の染料を組成物に添加して組成
物の色を強調し、および銅基板とのコントラストを付与
することができる。使用されるいかなる着色剤も、使用
される化学線に対して比較的に透明でなければならな
い。加えて光重合組成物は、たとえば接着力促進剤／調
節剤、可塑剤、界面活性剤、染料、顔料、充填剤および
その他の材料などの、添加されて組成物の特性に影響を
与える種々の他の添加剤を含有することができる。
物の色を強調し、および銅基板とのコントラストを付与
することができる。使用されるいかなる着色剤も、使用
される化学線に対して比較的に透明でなければならな
い。加えて光重合組成物は、たとえば接着力促進剤／調
節剤、可塑剤、界面活性剤、染料、顔料、充填剤および
その他の材料などの、添加されて組成物の特性に影響を
与える種々の他の添加剤を含有することができる。
【００３９】光重合性塗膜をソルダーマスクのような永
久的レジストとして使用するときには、化学的にあるい
は熱的に活性化される架橋剤を組み込んで、機械的また
は化学的性質を改善してもよい。本発明に有用な好適な
架橋剤は先行技術の架橋剤であり、およびガーヴェイ(G
ervay)の米国特許第４，６２１，０４３号、およびガイ
スラー(Geissler)等の米国特許第４，４３８，１８９号
に開示されたものと同様にイイムレ(Iimure)の米国特許
第４，９６１，９６０号に開示されたものを含み、ポリ
イソシアナート化合物とイソシアナート基ブロッキング
剤との付加物、およびメラミン類、ウレア類、ベンゾグ
アナミン類等を用いたホルムアルデヒド縮合樹脂類のよ
うなものを含む。
久的レジストとして使用するときには、化学的にあるい
は熱的に活性化される架橋剤を組み込んで、機械的また
は化学的性質を改善してもよい。本発明に有用な好適な
架橋剤は先行技術の架橋剤であり、およびガーヴェイ(G
ervay)の米国特許第４，６２１，０４３号、およびガイ
スラー(Geissler)等の米国特許第４，４３８，１８９号
に開示されたものと同様にイイムレ(Iimure)の米国特許
第４，９６１，９６０号に開示されたものを含み、ポリ
イソシアナート化合物とイソシアナート基ブロッキング
剤との付加物、およびメラミン類、ウレア類、ベンゾグ
アナミン類等を用いたホルムアルデヒド縮合樹脂類のよ
うなものを含む。
【００４０】フォトレジスト要素用途 好ましい実施の形態において、本発明のプロセスはイメ
ージングプロセスであって、エッチングまたはメッキの
ような印刷回路の作成において発生するその後の処理工
程を可能にするためのレジスト画像を銅被覆された基板
上に作成するプロセス、あるいは印刷回路板上にハンダ
に抵抗力のある画像を形成する永久的塗膜を作成するプ
ロセスである。製造された印刷回路の種類は、片面、両
面または複数層を持つものであってもよい。
ージングプロセスであって、エッチングまたはメッキの
ような印刷回路の作成において発生するその後の処理工
程を可能にするためのレジスト画像を銅被覆された基板
上に作成するプロセス、あるいは印刷回路板上にハンダ
に抵抗力のある画像を形成する永久的塗膜を作成するプ
ロセスである。製造された印刷回路の種類は、片面、両
面または複数層を持つものであってもよい。
【００４１】主要なイメージングプロセスに関しては、
光重合性レジスト塗膜層は液体として、またはセレステ
(Celeste) の米国特許第３，４６９，９８２号に記載さ
れたものに類似のラミネーションプロセスを用いる多層
の転写要素からの予備成形された乾燥フィルムとして、
付着される。多層のフォトレジスト塗膜要素は、一時的
支持体フィルム（たとえばポリエチレンテレフタレー
ト）、光画像形成可能レジスト塗膜、および好ましくは
除去可能なカバーシート（たとえばポリエチレンまたは
ポリプロピレン）をこの順序に有する。本発明の光重合
性塗膜層は、銅被覆された基板上で用いるときには、１
０から１００ミクロンまで（０．４から４ｍｉｌ）の合
計厚さの範囲で存在する。もしカバーシートが存在すれ
ば、それは最初に除去され、そしてレジスト塗膜の暴露
された表面があらかじめ清浄にされた基板の銅被覆され
た表面に熱および／または圧力を、たとえば慣用の熱ロ
ールラミネータを、用いてラミネートされる。その積層
物は典型的には一時的支持体フィルムを通して化学線に
対して画像状にさらされるが、いくつかの場合において
は、その支持体フィルムはイメージング前に除去されて
解像度およびその他の前述の性質を改善してもよい。
光重合性レジスト塗膜層は液体として、またはセレステ
(Celeste) の米国特許第３，４６９，９８２号に記載さ
れたものに類似のラミネーションプロセスを用いる多層
の転写要素からの予備成形された乾燥フィルムとして、
付着される。多層のフォトレジスト塗膜要素は、一時的
支持体フィルム（たとえばポリエチレンテレフタレー
ト）、光画像形成可能レジスト塗膜、および好ましくは
除去可能なカバーシート（たとえばポリエチレンまたは
ポリプロピレン）をこの順序に有する。本発明の光重合
性塗膜層は、銅被覆された基板上で用いるときには、１
０から１００ミクロンまで（０．４から４ｍｉｌ）の合
計厚さの範囲で存在する。もしカバーシートが存在すれ
ば、それは最初に除去され、そしてレジスト塗膜の暴露
された表面があらかじめ清浄にされた基板の銅被覆され
た表面に熱および／または圧力を、たとえば慣用の熱ロ
ールラミネータを、用いてラミネートされる。その積層
物は典型的には一時的支持体フィルムを通して化学線に
対して画像状にさらされるが、いくつかの場合において
は、その支持体フィルムはイメージング前に除去されて
解像度およびその他の前述の性質を改善してもよい。
【００４２】付着された光画像形成可能なレジストは次
に化学線に対して画像状にさらされて露光された区域が
硬化あるいは不溶化する。次にすべての未露光の区域は
典型的には水性の０．８５％炭酸ナトリウム現像剤溶液
を用いて３０℃において完全に除去される。前記現像剤
溶液は、露光された区域の結着性または接着力に有害な
影響を与えることなく、２分以内に未露光の区域を選択
的に溶解、剥離あるいは分散する。基板上の現像された
レジスト画像は次に回路の作成におけるさらなる処理工
程、たとえば電解酸性銅メッキ(electrolytic acid cop
per plating)または銅エッチングプロセスなど、にさら
される。ひとたびさらされたフォトレジストがその機能
を果たしてしまえば、一般にそのレジストは水性の水酸
化物を基盤とする剥離溶液によって回路基板から除去さ
れる。前記剥離溶液が有機アミンまたは溶媒を含有して
剥離速度を改善するかあるいは金属の侵食または汚染を
最少化してもよい。
に化学線に対して画像状にさらされて露光された区域が
硬化あるいは不溶化する。次にすべての未露光の区域は
典型的には水性の０．８５％炭酸ナトリウム現像剤溶液
を用いて３０℃において完全に除去される。前記現像剤
溶液は、露光された区域の結着性または接着力に有害な
影響を与えることなく、２分以内に未露光の区域を選択
的に溶解、剥離あるいは分散する。基板上の現像された
レジスト画像は次に回路の作成におけるさらなる処理工
程、たとえば電解酸性銅メッキ(electrolytic acid cop
per plating)または銅エッチングプロセスなど、にさら
される。ひとたびさらされたフォトレジストがその機能
を果たしてしまえば、一般にそのレジストは水性の水酸
化物を基盤とする剥離溶液によって回路基板から除去さ
れる。前記剥離溶液が有機アミンまたは溶媒を含有して
剥離速度を改善するかあるいは金属の侵食または汚染を
最少化してもよい。
【００４３】定義 良好な側壁形状 露光されかつ現像されたフォトレジストの良好な側壁
は、目視検査において、（ａ）レジストの壁またはレジ
ストの表面上に欠陥、すなわちグージ(gouge) 、穴また
はマウスバイト(mousebite) 、を実質的に示さないも
の、（ｂ）特にレジストの上部端においておよび画像の
壁面上に、現像液による侵食または膨潤を実質的に示さ
ないもの、（ｃ）基板表面の平面に対して垂直な平面内
に存在する平面状の側壁を有するもの、（ｄ）基板表面
におけるレジストのアンダーカット（負の足）を実質的
にもたないもの、（ｅ）レジストの基部が、レジストが
ないと意図された区域への、特に不規則な、拡張（正の
足）を実質的にもたないもの、および（ｆ）広い範囲の
露光および現像条件においてこれらの特徴を示すもの、
である。
は、目視検査において、（ａ）レジストの壁またはレジ
ストの表面上に欠陥、すなわちグージ(gouge) 、穴また
はマウスバイト(mousebite) 、を実質的に示さないも
の、（ｂ）特にレジストの上部端においておよび画像の
壁面上に、現像液による侵食または膨潤を実質的に示さ
ないもの、（ｃ）基板表面の平面に対して垂直な平面内
に存在する平面状の側壁を有するもの、（ｄ）基板表面
におけるレジストのアンダーカット（負の足）を実質的
にもたないもの、（ｅ）レジストの基部が、レジストが
ないと意図された区域への、特に不規則な、拡張（正の
足）を実質的にもたないもの、および（ｆ）広い範囲の
露光および現像条件においてこれらの特徴を示すもの、
である。
【００４４】劣等な側壁形状 上述した１つまたは２つ以上の欠陥を示す側壁。
【００４５】除去時間 銅積層物の表面から未露光のフォトレジストを洗い流す
か、溶解するか、あるいは分散するために現像液に必要
な時間（単位は秒）。
か、溶解するか、あるいは分散するために現像液に必要
な時間（単位は秒）。
【００４６】ブレークポイント 銅積層物の表面から未露光のフォトレジストが洗い流さ
れるか、溶解されるか、あるいは分散されるコンベア化
された噴霧現像機内への距離のパーセント。たとえば、
２５％ブレークポイントは未露光レジストの２５％が除
去される現像剤チャンバーを通る経路の点である。フォ
トレジストの画像形成された区域は除去時間の４倍にわ
たり現像剤チャンバー内にある。７５％ブレークポイン
トは現像剤チャンバーへの経路の７５％である。フォト
レジストの画像形成された領域は、除去時間のわずか
１．５倍にわたって現像剤内にある。
れるか、溶解されるか、あるいは分散されるコンベア化
された噴霧現像機内への距離のパーセント。たとえば、
２５％ブレークポイントは未露光レジストの２５％が除
去される現像剤チャンバーを通る経路の点である。フォ
トレジストの画像形成された区域は除去時間の４倍にわ
たり現像剤チャンバー内にある。７５％ブレークポイン
トは現像剤チャンバーへの経路の７５％である。フォト
レジストの画像形成された領域は、除去時間のわずか
１．５倍にわたって現像剤内にある。
【００４７】現像の許容度 低露光エネルギー／低ブレークポイントを含めて種々の
露光および現像条件下で良好な側壁を再現するレジスト
の能力。良好および劣悪な現像の許容度を有するレジス
トは、それぞれ種々の露光および現像条件において良好
な側壁を再現するための比較的高いおよび比較的低い能
力を有するようになる。
露光および現像条件下で良好な側壁を再現するレジスト
の能力。良好および劣悪な現像の許容度を有するレジス
トは、それぞれ種々の露光および現像条件において良好
な側壁を再現するための比較的高いおよび比較的低い能
力を有するようになる。
【００４８】 用語集＊ 結合剤のコモノマー ＥＡ アクリル酸エチル ｎ−ＢＭＡ メタクリル酸ｎ−ブチル ｎ−ＢＡ アクリル酸ｎ−ブチル ＭＡＡ メタクリル酸 ＭＭＡ メタクリル酸メチル ＳＴＹ スチレン結合剤＊＊ 本発明の結合剤 Ｉ−１ ｎ−ＢＡ／ｎ−ＢＭＡ／ＭＭＡ／ＭＡＡ （１６／２５／３６／２３） Ｉ−１−ａ 懸濁重合で作成した第１ロットポリマー Ｉ−１−ｂ 懸濁重合で作成した第２ロットポリマー Ｉ−２ ｎ−ＢＡ／ｎ−ＢＭＡ／ＭＭＡ／ＭＡＡ （１５／２５／４１／１９） Ｉ−３ ｎ−ＢＡ／ｎ−ＢＭＡ／ＭＭＡ／ＭＡＡ （１７／２５／３３／２５） Ｉ−４ ｎ−ＢＡ／ｎ−ＢＭＡ／ＭＭＡ／ＭＡＡ／ＳＴＹ （１６／２５／１６／２３／２０） Ｉ−４−ａ 溶液重合で作成したポリマー Ｉ−４−ｂ 懸濁重合で作成したポリマー 対照の結合剤 Ｃ−１ ｎ−ＢＭＡ／ＥＡ／ＭＭＡ／ＭＡＡ （２５／２３／２９／２３） Ｃ−２ａ ｎ−ＢＡ／ＥＡ／ＭＭＡ／ＭＡＡ （２０／１３／４２／２５）、Ｍw ＝８０，０００ Ｃ−２ｂ ｎ−ＢＡ／ＥＡ／ＭＭＡ／ＭＡＡ （２０／１３／４２／２５）、Ｍw ＝５６，０００ Ｃ−３ ｎ−ＢＡ／ＥＡ／ＭＭＡ／ＭＡＡ （１５／１７／４３／２５） Ｃ−４ ｎ−ＢＭＡ／ＥＡ／ＭＭＡ／ＭＡＡ （２０／２５／３５／２０） Ｃ−５ ｎ−ＢＭＡ／ＥＡ／ＭＭＡ／ＭＡＡ （２４／２６／２７／２３） Ｃ−６ ｎ−ＢＡ／ＥＡ／ＭＭＡ／ＭＡＡ （２４／７／４４／２５） Ｃ−７ ｎ−ＢＭＡ／ＥＡ／ＭＭＡ／ＭＡＡ／ＳＴＹ （２４／２３／１０／２３／２０） Ｃ−７−ａ 溶液重合で作成したポリマー Ｃ−７−ｂ 懸濁重合で作成したポリマー、 Ｍw ＝１１７，０００ Ｃ−７−ｃ 懸濁重合で作成したポリマー、 Ｍw ＝９１，０００ Ｃ−８ ｎ−ＢＭＡ／ＥＡ／ＭＭＡ／ＭＡＡ／ＳＴＹ （２０／２２／３５／２０／３） ＊＊ 各結合剤（ポリマー）について、組成をコモノマーおよびポリマー中に存 在するコモノマーの重量パーセントで与える。各コモノマーの重量パーセントを 各所定のポリマーのコモノマーのリスト内にその順序に与える。Ｍw は所定のポ リマーの重量平均分子量である。
【００４９】その他の処方の成分
【００５０】
【表１】 略語 化学名 ＣＡＳ番号 ＴＭＰＥＯＴＡ トリメチロールプロパントリエトキシ 28961-43-5 レートトリアセテート ＢＰＡＥＯＤＭＡ−６ エトキシル化ビスフェノールＡ 41637-38-1 ジメタクリレート（６分子ＥＯ） ＢＰＡＥＯＤＭＡ−３０ エトキシル化ビスフェノールＡ 41637-38-1 ジメタクリレート（３０分子ＥＯ） ＰＧＤＭＡ−４００ プロピレングリコール４００ 25852-49-7 ジメタクリレート（７分子ＰＯ） ＰＧＭＭＡ ポリプロピレングリコール 39420-45-6 モノメタクリレート（５分子ＰＯ） Ｐ３１Ｒ１ ポリオキシエチレン／ポリオキシプロピレン 9003-11-6 共重合体 ｏ−Ｃｌ−ＨＡＢＩ ２，２′−ビス（２−クロロフェニル）− 124354-60-5 ４，４′，５，５’−テトラフェニル− １，１′−ビ−１Ｈ−イミダゾール ＥＭＫ エチルミヒラーズケトン 90-93-7 ＩＴＸ イソプロピルチオキサントン 5495-84-1 ＢＰ ベンゾフェノン 119-61-9 ＬＣＶ ロイコクリスタルウ゛ァイオレット 603-48-5 ｎＰＧ ｎ−フェニルグリシン 103-01-5 ＶＧＤ ヴィクトリアグリーン染料 569-64-2 ＣＢＴ ４−および５−カルボキシベンゾ 60932-58-3 トリアゾールの５０：５０混合物 ５ＣｌＢＴ ５−クロロベンゾトリアゾール 94-97-3 ＣＡ クエン酸 77-92-9 ＢＴ ベンゾトリアゾール 95-14-7 ＤＥＨＡ Ｎ，Ｎ−ジエチルヒドロキシルアミン 3710-84-7 ＤＧ Dayglo（登録商標）122-9655、蛍光性緑色顔料 デイグロ・カンパニー（Dayglo Co., Cleveland, OH ） ＊ 上述の各場合において化合物名の横の番号は与えられた化合物のＣＡＳ登録 番号（ＣＡＳ＃）である。
【００５１】
【実施例】別に示さない限り、すべての温度は摂氏温度
で示され、およびパーセントは重量パーセントである。
で示され、およびパーセントは重量パーセントである。
【００５２】すべての（本発明のおよび対照の）結合剤
は重合技術の当業者に知られている重合技術（たとえ
ば、乳化、懸濁および／または溶液）を用いて調製され
た。
は重合技術の当業者に知られている重合技術（たとえ
ば、乳化、懸濁および／または溶液）を用いて調製され
た。
【００５３】これらの実施例においては、所定の本発明
の結合剤を含有する光重合性組成物を、対応する所定の
比較する結合剤を含有する光重合性組成物に対する比較
に基づいて評価した。実施例の多くにおいて、各々別個
の対照の結合剤を有するいくつかの比較組成物がある。
の結合剤を含有する光重合性組成物を、対応する所定の
比較する結合剤を含有する光重合性組成物に対する比較
に基づいて評価した。実施例の多くにおいて、各々別個
の対照の結合剤を有するいくつかの比較組成物がある。
【００５４】これらの実施例においてサンプルを準備す
ることおよびテストすることのために用いられた一般的
方法は、具体的な実施例において別に指示されない限
り、以下に概説したようなものである。
ることおよびテストすることのために用いられた一般的
方法は、具体的な実施例において別に指示されない限
り、以下に概説したようなものである。
【００５５】塗布溶液 ・ 各実施例の組において、十分な量の原液を調製し
た。全ての塗布溶液は、アセトン／メタノールの８８／
１２重量％の混合物中で、塗布されるべき溶液中に約５
０％の固体を与える固体濃度で調製された。原液はいか
なる結合剤も含有しなかったが、塗布溶液のためのその
他の全ての材料（成分）を含有した。
た。全ての塗布溶液は、アセトン／メタノールの８８／
１２重量％の混合物中で、塗布されるべき溶液中に約５
０％の固体を与える固体濃度で調製された。原液はいか
なる結合剤も含有しなかったが、塗布溶液のためのその
他の全ての材料（成分）を含有した。
【００５６】・ 原液を適切な数の個別の塗布溶液サン
プルに分割した。
プルに分割した。
【００５７】・ 所定のサンプルについて、評価中の結
合剤をその所定の個別の塗布溶液サンプルに加えた。
合剤をその所定の個別の塗布溶液サンプルに加えた。
【００５８】・ 塗布溶液サンプルをすべての成分が溶
解するまで攪拌した。
解するまで攪拌した。
【００５９】塗布 ・ 個別の塗布溶液はドクターブレードを用いてキャス
トして、望む乾燥厚さを与えた。すべての塗布溶液は、
アセトン／メタノールの８８／１２重量％の混合物中
で、最終的な塗布溶液サンプル中に約５０％の固体を与
える固体濃度で調製された。
トして、望む乾燥厚さを与えた。すべての塗布溶液は、
アセトン／メタノールの８８／１２重量％の混合物中
で、最終的な塗布溶液サンプル中に約５０％の固体を与
える固体濃度で調製された。
【００６０】・ 塗膜は一時的なポリエステル支持体上
に作成されて、典型的には７５ゲージ(gauge) の厚さを
有した。
に作成されて、典型的には７５ゲージ(gauge) の厚さを
有した。
【００６１】・ キャストされた溶液は、好ましくは一
晩中、環境温度で風乾することが許されて、評価のため
の各乾燥フィルムサンプルを与えた。
晩中、環境温度で風乾することが許されて、評価のため
の各乾燥フィルムサンプルを与えた。
【００６２】・ 板状の塗膜に対して、ポリエチレン保
護層（カバーシート）を付着しなかった。
護層（カバーシート）を付着しなかった。
【００６３】・ これらの実施例の各光重合性組成物
は、以下の２つの異なるポリエステルサンプルの一つま
たは両方の上に塗布された。一方のポリエステル（ポリ
エステル１）は７５ＧＦ Ｍｙｌａｒ（登録商標）（イ
ー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパ
ニー(E. I. DuPont de Nemours and Company, Wilmingt
on, DE) ）であって、他方（ポリエステル２）はテイジ
ン７５Ｇ２ポリエステル（テイジン・リミテッド、千代
田区、東京、日本）であった。
は、以下の２つの異なるポリエステルサンプルの一つま
たは両方の上に塗布された。一方のポリエステル（ポリ
エステル１）は７５ＧＦ Ｍｙｌａｒ（登録商標）（イ
ー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパ
ニー(E. I. DuPont de Nemours and Company, Wilmingt
on, DE) ）であって、他方（ポリエステル２）はテイジ
ン７５Ｇ２ポリエステル（テイジン・リミテッド、千代
田区、東京、日本）であった。
【００６４】テストサンプルの調製 ・ 用いられた基板はブラシでこすって洗われた銅被覆
されたガラス／エポキシ積層物であった。
されたガラス／エポキシ積層物であった。
【００６５】・ 塗膜（乾燥フィルム）の基板に対する
ラミネーションはデュポンの熱ロールラミネータ（デュ
ポン(Du Pont, Wilmington, DE) ）を用いて行われて、
１０５℃において１．２メートル毎秒の速度で通常のニ
ップ圧を用いて運転された。
ラミネーションはデュポンの熱ロールラミネータ（デュ
ポン(Du Pont, Wilmington, DE) ）を用いて行われて、
１０５℃において１．２メートル毎秒の速度で通常のニ
ップ圧を用いて運転された。
【００６６】・ 各乾燥フィルムサンプルの露光は、２
０ミクロンから２００ミクロンまでの線／間隔の形状を
有する銀製アートワークを使用して、かつストーファー
(Stouffer)４１階段光学くさび上の適当なステップを保
持するように選択された露光エネルギーを用いたデュポ
ンＰＣ５３０プリンタ（デュポン・カンパニー(Du Pont
Co., Wilmington, DE) ）を用いて行われた。
０ミクロンから２００ミクロンまでの線／間隔の形状を
有する銀製アートワークを使用して、かつストーファー
(Stouffer)４１階段光学くさび上の適当なステップを保
持するように選択された露光エネルギーを用いたデュポ
ンＰＣ５３０プリンタ（デュポン・カンパニー(Du Pont
Co., Wilmington, DE) ）を用いて行われた。
【００６７】・ （露光水準はストーファー(Stouffer)
４１−濃度段階タブレット上の保持されたステップによ
って特徴づけられて、露光は光ツールを通して行われ
て、イメージングの完了時に、１００ミクロン幅のフォ
トレジスト線を与えた。） ・ 露光に続いて、露光された乾燥フィルムサンプルの
各々の現像を１％無水炭酸ナトリウムを含有する現像剤
の中で行い、現像は３０℃（華氏８５度）で軟水のすす
ぎの使用を伴って行った。
４１−濃度段階タブレット上の保持されたステップによ
って特徴づけられて、露光は光ツールを通して行われ
て、イメージングの完了時に、１００ミクロン幅のフォ
トレジスト線を与えた。） ・ 露光に続いて、露光された乾燥フィルムサンプルの
各々の現像を１％無水炭酸ナトリウムを含有する現像剤
の中で行い、現像は３０℃（華氏８５度）で軟水のすす
ぎの使用を伴って行った。
【００６８】・ 現像速度は、除去時間（レジストの除
去のために現像剤チャンバー内で必要な時間）に基づい
て調節されて、評価中の各結合剤について適当なブレー
クポイントを得た。
去のために現像剤チャンバー内で必要な時間）に基づい
て調節されて、評価中の各結合剤について適当なブレー
クポイントを得た。
【００６９】・ 種々の露光レベル、現像ブレークポイ
ントおよびポリエステルの種類についてデータを得た。
ントおよびポリエステルの種類についてデータを得た。
【００７０】・ レジストが取り除かれる（すなわち、
レジストが銅積層物から取り除かれる）現像剤の現像チ
ャンバーの中への距離のパーセントであるブレークポイ
ントは目視観測により決定した。
レジストが銅積層物から取り除かれる）現像剤の現像チ
ャンバーの中への距離のパーセントであるブレークポイ
ントは目視観測により決定した。
【００７１】ＳＥＭ分析 ・ ＳＥＭ分析のための所定のサンプルは現像されたパ
ネルの１００ミクロン線／間隔の組から得られた。
ネルの１００ミクロン線／間隔の組から得られた。
【００７２】・ 用いられたＳＥＭはＩＳＩ ＡＢＴ
（現在はトプコン(Topcon)として知られている）製のモ
デルＳＲ５０Ａ ＳＥＭ装置であった。
（現在はトプコン(Topcon)として知られている）製のモ
デルＳＲ５０Ａ ＳＥＭ装置であった。
【００７３】・ 各サンプルについて、５００倍の倍率
において顕微鏡写真を得た。
において顕微鏡写真を得た。
【００７４】・ 以下に示した半定量的ＳＥＭ評価スケ
ールを用いて画像形成されたフォトレジストの側壁形状
の品質について、顕微鏡写真を視覚的に評価した。
ールを用いて画像形成されたフォトレジストの側壁形状
の品質について、顕微鏡写真を視覚的に評価した。
【００７５】ＳＥＭ評価スケール ・ レジスト側壁の３つの部分、すなわちレジストの上
端、レジストの中央（側壁）、レジストの基部（所定の
パネルのレジスト／銅界面において）を評価した。
端、レジストの中央（側壁）、レジストの基部（所定の
パネルのレジスト／銅界面において）を評価した。
【００７６】・ レジストの各部分について＋２（最
良）から−２（最悪）の評価スケール；全ては顕微鏡写
真の目視観測に基づいている。
良）から−２（最悪）の評価スケール；全ては顕微鏡写
真の目視観測に基づいている。
【００７７】・ レジストの頂部の端 ・ ＋２はライン端の膨潤が無いことを意味する。
【００７８】・ −２は明白なノーズ(nose)を伴う重度
の膨潤を意味する。最悪の場合においては、そのノーズ
がのこぎり状の外観を伴って非常にうねっている。
の膨潤を意味する。最悪の場合においては、そのノーズ
がのこぎり状の外観を伴って非常にうねっている。
【００７９】・ レジストの中央 ・ ＋２は目にみえる侵食も膨潤も持たない滑らかな側
壁を意味する。
壁を意味する。
【００８０】・ −２はレジスト中にグージ(gouge) ま
たはマウスバイト(mousebite) （すなわちレジスト部分
が欠けていること）の外観を伴う重度の侵食を意味す
る。
たはマウスバイト(mousebite) （すなわちレジスト部分
が欠けていること）の外観を伴う重度の侵食を意味す
る。
【００８１】・ レジストの基部 ・ ＋２は、正の足も負の足もほとんどなく、グージも
マウスバイトも無いことを意味する。
マウスバイトも無いことを意味する。
【００８２】・ −２はマウスバイトおよびグージの外
観を伴う明白な正の足または負の足を意味する。
観を伴う明白な正の足または負の足を意味する。
【００８３】・ 正の評価が大きい程、画像形成された
レジストの品質が良好であり、および印刷回路板製造に
おいて、画像形成されたレジストが良好に形成された欠
陥のない線／間隔を与える性質が高い。
レジストの品質が良好であり、および印刷回路板製造に
おいて、画像形成されたレジストが良好に形成された欠
陥のない線／間隔を与える性質が高い。
【００８４】・ 最良の場合について理想的には、レジ
ストは基板（銅積層物）表面の平面に対して垂直な平面
内にある完全に平面状の側壁を与えるべきである。これ
は＋２の場合である。
ストは基板（銅積層物）表面の平面に対して垂直な平面
内にある完全に平面状の側壁を与えるべきである。これ
は＋２の場合である。
【００８５】・ Ｒの和(sum R) はレジスト側壁の頂
部、中央、および基部についての３つの個別の評価の数
の和である。これらの数値は実施例の表中に与えられ
る。Ｒの和の値における見積もり誤差は９９％信頼係数
において０．９以下である。
部、中央、および基部についての３つの個別の評価の数
の和である。これらの数値は実施例の表中に与えられ
る。Ｒの和の値における見積もり誤差は９９％信頼係数
において０．９以下である。
【００８６】（実施例１）この実施例において、１Ａ−
Ｅと呼ばれる光重合性組成物が調製され、そして上述の
半定量的スケールを用いて側壁の品質について評価され
た。これらの組成物は、結合剤の選択を除いて同一のも
のであり、その結合剤の選択は表２に示したように変更
された。これらの組成物（１Ａ−Ｅ）のその他の成分は
表１６に記載されたようなものであった。結合剤組成物
は用語集内で与えられる。この実施例においては、Ｉ−
１−ａが本発明の結合剤（本発明の範囲内）であり、一
方では他の結合剤（Ｃ−１、Ｃ−２−ａ、Ｃ−２−ｂ、
Ｃ−３）が対照の結合剤（本発明の範囲外）である。こ
の実施例における紫外線の露光はストーファー(Stouffe
r)４１−濃度段階タブレットを使用して現像中にステッ
プ１４が保持されるような水準においてであった。現像
は２５％ブレークポイントで処理された。得られた結果
は表２に要約される。
Ｅと呼ばれる光重合性組成物が調製され、そして上述の
半定量的スケールを用いて側壁の品質について評価され
た。これらの組成物は、結合剤の選択を除いて同一のも
のであり、その結合剤の選択は表２に示したように変更
された。これらの組成物（１Ａ−Ｅ）のその他の成分は
表１６に記載されたようなものであった。結合剤組成物
は用語集内で与えられる。この実施例においては、Ｉ−
１−ａが本発明の結合剤（本発明の範囲内）であり、一
方では他の結合剤（Ｃ−１、Ｃ−２−ａ、Ｃ−２−ｂ、
Ｃ−３）が対照の結合剤（本発明の範囲外）である。こ
の実施例における紫外線の露光はストーファー(Stouffe
r)４１−濃度段階タブレットを使用して現像中にステッ
プ１４が保持されるような水準においてであった。現像
は２５％ブレークポイントで処理された。得られた結果
は表２に要約される。
【００８７】
【表２】 ポリエステル １ ポリエステル２ サンプル 結合剤 種類 T/M /B Ｒの和 T/M/B Ｒの和 1A I-1-a I 2/0/1 +3 2/1/1 +4 1B C-1 C 1/-1/0 0 1/1/1 +3 1C C-2-a C 0/-1/0 0 0/0/0 0 1D C-2-b C 0/-1/1 0 1/1/1 +3 1E C-3 C 0/0/-1 -1 1/1/1 +3 記号：種類はサンプルの種類であり：Ｉは本発明のも
の、Ｃは対照のものを表す；T/M/B は上述のようにそれ
ぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレジスト
の基部についての個別の評価である。
の、Ｃは対照のものを表す；T/M/B は上述のようにそれ
ぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレジスト
の基部についての個別の評価である。
【００８８】Ｒの和はレジスト側壁の頂部、中央、基部
についての３つの個別の評価の数字の和である。
についての３つの個別の評価の数字の和である。
【００８９】この実施例は本発明のＩ−１−ａ結合剤を
含有するサンプル１Ａが、それぞれ異なる対照の結合剤
（本発明の範囲外）を有するその他のサンプルに比較し
て、著しく改善された側壁形状を示したことを明らかに
する。本発明のＩ−１−ａ結合剤は、いずれの支持体
（ポリエステル１またはポリエステル２）を用いた対照
の結合剤よりも著しく良好に機能した。
含有するサンプル１Ａが、それぞれ異なる対照の結合剤
（本発明の範囲外）を有するその他のサンプルに比較し
て、著しく改善された側壁形状を示したことを明らかに
する。本発明のＩ−１−ａ結合剤は、いずれの支持体
（ポリエステル１またはポリエステル２）を用いた対照
の結合剤よりも著しく良好に機能した。
【００９０】（実施例２）この実施例において、２Ａ−
Ｅと呼ばれる光重合性組成物が調製され、そして上述の
半定量的スケールを用いて側壁の品質について評価され
た。これらの組成物は、結合剤の選択を除いて同一のも
のであり、その結合剤の選択は表３に示したように変更
された。これらの組成物（２Ａ−Ｅ）のその他の成分は
表１６に記載されたようなものであった。結合剤組成物
は用語集内で与えられる。この実施例においては、Ｉ−
１−ａが本発明の結合剤（本発明の範囲内）であり、一
方では他の結合剤（Ｃ−１、Ｃ−２−ａ、Ｃ−５、Ｃ−
６）が対照の結合剤（本発明の範囲外）である。この実
施例における紫外線の露光はストーファー(Stouffer)４
１−濃度段階タブレットを使用して現像中にステップ１
４またはステップ１９のいずれかが保持されるような水
準においてであった。現像は２５％ブレークポイントで
処理された。得られた結果は表３に要約される。
Ｅと呼ばれる光重合性組成物が調製され、そして上述の
半定量的スケールを用いて側壁の品質について評価され
た。これらの組成物は、結合剤の選択を除いて同一のも
のであり、その結合剤の選択は表３に示したように変更
された。これらの組成物（２Ａ−Ｅ）のその他の成分は
表１６に記載されたようなものであった。結合剤組成物
は用語集内で与えられる。この実施例においては、Ｉ−
１−ａが本発明の結合剤（本発明の範囲内）であり、一
方では他の結合剤（Ｃ−１、Ｃ−２−ａ、Ｃ−５、Ｃ−
６）が対照の結合剤（本発明の範囲外）である。この実
施例における紫外線の露光はストーファー(Stouffer)４
１−濃度段階タブレットを使用して現像中にステップ１
４またはステップ１９のいずれかが保持されるような水
準においてであった。現像は２５％ブレークポイントで
処理された。得られた結果は表３に要約される。
【００９１】
【表３】 ポリエステル １ステップ14 ポリエステル１ステップ19 サンプル 結合剤 種類 T /M/B Ｒの和 T/M/B Ｒの和 2A I-1-a I 2/1/0 +3 2/1/1 +4 2B C-1 C 0/0/0 0 1/1/1 +3 2C C-2-a C -2/-2/-2 -6 -1/0/0 -1 2D C-6 C -2/-2/-2 -6 0/0/0 0 2E C-5 C -1/-1/-1 -3 0/0/1 +1 記号：種類はサンプルの種類であり：Ｉは本発明のも
の、Ｃは対照のものを表す；T/M/B は上述のようにそれ
ぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレジスト
の基部についての個別の評価である。
の、Ｃは対照のものを表す；T/M/B は上述のようにそれ
ぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレジスト
の基部についての個別の評価である。
【００９２】Ｒの和はレジスト側壁の頂部、中央、基部
についての３つの個別の評価の数字の和である。
についての３つの個別の評価の数字の和である。
【００９３】この実施例は本発明のＩ−１−ａ結合剤を
含有するサンプル２Ａが、それぞれ異なる対照の結合剤
（本発明の範囲外）を有するその他のサンプルに比較し
て、著しく改善された側壁形状を示したことを明らかに
する。本発明のＩ−１−ａ結合剤を用いたサンプル２Ａ
の結果は、ステップ１４およびステップ１９の双方にお
ける露光に関して、および支持体としてポリエステル１
を使用した対照の結合剤の組成物に比較して著しく良好
であった。
含有するサンプル２Ａが、それぞれ異なる対照の結合剤
（本発明の範囲外）を有するその他のサンプルに比較し
て、著しく改善された側壁形状を示したことを明らかに
する。本発明のＩ−１−ａ結合剤を用いたサンプル２Ａ
の結果は、ステップ１４およびステップ１９の双方にお
ける露光に関して、および支持体としてポリエステル１
を使用した対照の結合剤の組成物に比較して著しく良好
であった。
【００９４】（実施例３）この実施例において、３Ａ−
Ｃと呼ばれる光重合性組成物が調製され、そして上述の
半定量的スケールを用いて側壁の品質について評価され
た。これらの組成物は、結合剤の選択を除いて同一のも
のであり、その結合剤の選択は表４に示したように変更
された。これらの組成物（３Ａ−Ｃ）のその他の成分は
表１６に列挙されたようなものであった。結合剤組成物
は用語集内で与えられる。この実施例においては、Ｉ−
１−ａが本発明の結合剤（本発明の範囲内）であり、一
方では他の結合剤（Ｃ−１およびＣ−２−ａ）が対照の
結合剤（本発明の範囲外）である。この実施例における
紫外線の露光はストーファー(Stouffer)４１−濃度段階
タブレットを使用して現像中にステップ１４またはステ
ップ１９のいずれかが保持されるような水準においてで
あった。現像は２５％ブレークポイントで処理された。
得られた結果は表４に要約される。
Ｃと呼ばれる光重合性組成物が調製され、そして上述の
半定量的スケールを用いて側壁の品質について評価され
た。これらの組成物は、結合剤の選択を除いて同一のも
のであり、その結合剤の選択は表４に示したように変更
された。これらの組成物（３Ａ−Ｃ）のその他の成分は
表１６に列挙されたようなものであった。結合剤組成物
は用語集内で与えられる。この実施例においては、Ｉ−
１−ａが本発明の結合剤（本発明の範囲内）であり、一
方では他の結合剤（Ｃ−１およびＣ−２−ａ）が対照の
結合剤（本発明の範囲外）である。この実施例における
紫外線の露光はストーファー(Stouffer)４１−濃度段階
タブレットを使用して現像中にステップ１４またはステ
ップ１９のいずれかが保持されるような水準においてで
あった。現像は２５％ブレークポイントで処理された。
得られた結果は表４に要約される。
【００９５】
【表４】 ポリエステル１ ポリエステル１ ステップ14 ステップ19 サンプル 結合剤 種類 T/M /B Ｒの和 T/M/ B Ｒの和 3A I-1-a I 2/0/0 +2 2/0/1 +3 3B C-1 C 0/0/-1 -1 1/0/1 +2 3C C-2-a C -1/-1/-1 -3 0/0/1 +1 記号：種類はサンプルの種類であり：Ｉは本発明のも
の、Ｃは対照のものを表す；T/M/B は上述のようにそれ
ぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレジスト
の基部についての個別の評価である。
の、Ｃは対照のものを表す；T/M/B は上述のようにそれ
ぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレジスト
の基部についての個別の評価である。
【００９６】Ｒの和はレジスト側壁の頂部、中央、基部
についての３つの個別の評価の数字の和である。
についての３つの個別の評価の数字の和である。
【００９７】この実施例は本発明のＩ−１−ａ結合剤を
含有するサンプル３Ａが、それぞれ異なる対照の結合剤
（本発明の範囲外）を有するその他のサンプル（３Ｂお
よび３Ｃ）に比較して、著しく改善された側壁形状を示
したことを明らかにする。本発明のＩ−１−ａ結合剤を
用いたサンプル３Ａの結果は、ステップ１４およびステ
ップ１９の双方における露光に関して、対照の結合剤の
組成物に比較して著しく良好であった。
含有するサンプル３Ａが、それぞれ異なる対照の結合剤
（本発明の範囲外）を有するその他のサンプル（３Ｂお
よび３Ｃ）に比較して、著しく改善された側壁形状を示
したことを明らかにする。本発明のＩ−１−ａ結合剤を
用いたサンプル３Ａの結果は、ステップ１４およびステ
ップ１９の双方における露光に関して、対照の結合剤の
組成物に比較して著しく良好であった。
【００９８】（実施例４）この実施例において、４Ｄ−
Ｆと呼ばれる光重合性組成物が調製され、そして上述の
半定量的スケールを用いて側壁の品質について評価され
た。これらの組成物は、結合剤の選択を除いて同一のも
のであり、その結合剤の選択は表５に示したように変更
された。これらの組成物（４Ｄ−Ｆ）のその他の成分は
表１６に列挙されたようなものであった。結合剤組成物
は用語集内で与えられる。この実施例においては、Ｉ−
１−ａが本発明の結合剤（本発明の範囲内）であり、一
方では他の結合剤（Ｃ−１およびＣ−２−ａ）が対照の
結合剤（本発明の範囲外）である。この実施例における
紫外線の露光はストーファー(Stouffer)４１−濃度段階
タブレットを使用して現像中にステップ１４またはステ
ップ１９のいずれかが保持されるような水準においてで
あった。現像は２５％ブレークポイントで処理された。
得られた結果は表５に要約される。
Ｆと呼ばれる光重合性組成物が調製され、そして上述の
半定量的スケールを用いて側壁の品質について評価され
た。これらの組成物は、結合剤の選択を除いて同一のも
のであり、その結合剤の選択は表５に示したように変更
された。これらの組成物（４Ｄ−Ｆ）のその他の成分は
表１６に列挙されたようなものであった。結合剤組成物
は用語集内で与えられる。この実施例においては、Ｉ−
１−ａが本発明の結合剤（本発明の範囲内）であり、一
方では他の結合剤（Ｃ−１およびＣ−２−ａ）が対照の
結合剤（本発明の範囲外）である。この実施例における
紫外線の露光はストーファー(Stouffer)４１−濃度段階
タブレットを使用して現像中にステップ１４またはステ
ップ１９のいずれかが保持されるような水準においてで
あった。現像は２５％ブレークポイントで処理された。
得られた結果は表５に要約される。
【００９９】
【表５】 ポリエステル１ ポリエステル１ ステップ1 4 ステップ19 サンプル 結合剤 種類 T/M /B Ｒの和 T/M/ B Ｒの和 4D I-1-a I 2/0/1 +3 2/0/1 +3 4E C-1 C 0/-1/-2 -3 1/0/-1 0 4F C-2-a C -1/-1/-2 -4 1/0/-1 0 記号：種類はサンプルの種類であり：Ｉは本発明のも
の、Ｃは対照のものを表す；T/M/B は上述のようにそれ
ぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレジスト
の基部についての個別の評価である。
の、Ｃは対照のものを表す；T/M/B は上述のようにそれ
ぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレジスト
の基部についての個別の評価である。
【０１００】Ｒの和はレジスト側壁の頂部、中央、基部
についての３つの個別の評価の数字の和である。
についての３つの個別の評価の数字の和である。
【０１０１】この実施例は、本発明のＩ−１−ａ結合剤
を含有するサンプル４Ｄが、それぞれ異なる対照の結合
剤（本発明の範囲外）を有する他のサンプル（４Ｅまた
４Ｆ）と比較して、著しく改善された側壁形状を示した
ことを明らかにする。本発明のＩ−１−ａ結合剤を有す
るサンプル４Ｄについての結果は、ステップ１４および
ステップ１９の双方における露光について、および２５
％現像ブレークポイントを用いた両者について対照の結
合剤の組成物に比較して著しく良好であった。
を含有するサンプル４Ｄが、それぞれ異なる対照の結合
剤（本発明の範囲外）を有する他のサンプル（４Ｅまた
４Ｆ）と比較して、著しく改善された側壁形状を示した
ことを明らかにする。本発明のＩ−１−ａ結合剤を有す
るサンプル４Ｄについての結果は、ステップ１４および
ステップ１９の双方における露光について、および２５
％現像ブレークポイントを用いた両者について対照の結
合剤の組成物に比較して著しく良好であった。
【０１０２】
【実施例５】この実施例において、５Ａ−Ｃと呼ばれる
光重合性組成物が調製され、そして上述の半定量的スケ
ールを用いて側壁の品質について評価された。これらの
組成物は、結合剤の選択を除いて同一のものであり、そ
の結合剤の選択は表６に示したように変更された。これ
らの組成物（５Ａ−Ｃ）のその他の成分は表１６に列挙
されたようなものであった。結合剤組成物は用語集内で
与えられる。この実施例においては、Ｉ−１−ａが本発
明の結合剤（本発明の範囲内）であり、一方では他の結
合剤（Ｃ−１およびＣ−２−ａ）が対照の結合剤（本発
明の範囲外）である。この実施例における紫外線の露光
はストーファー(Stouffer)４１−濃度段階タブレットを
使用して現像中にステップ１４またはステップ１９のい
ずれかが保持されるような水準においてであった。現像
は７５％ブレークポイントで処理された。得られた結果
は表６に要約される。
光重合性組成物が調製され、そして上述の半定量的スケ
ールを用いて側壁の品質について評価された。これらの
組成物は、結合剤の選択を除いて同一のものであり、そ
の結合剤の選択は表６に示したように変更された。これ
らの組成物（５Ａ−Ｃ）のその他の成分は表１６に列挙
されたようなものであった。結合剤組成物は用語集内で
与えられる。この実施例においては、Ｉ−１−ａが本発
明の結合剤（本発明の範囲内）であり、一方では他の結
合剤（Ｃ−１およびＣ−２−ａ）が対照の結合剤（本発
明の範囲外）である。この実施例における紫外線の露光
はストーファー(Stouffer)４１−濃度段階タブレットを
使用して現像中にステップ１４またはステップ１９のい
ずれかが保持されるような水準においてであった。現像
は７５％ブレークポイントで処理された。得られた結果
は表６に要約される。
【０１０３】
【表６】 ポリエステル１ ポリエステル１ ステップ14 ステップ19 サンプル 結合剤 種類 T/M /B Ｒの和 T/M/B Ｒの和 5A I-1-a I 2/1/1 +4 2/1/1 +4 5B C-1 C 0/0/0 0 1/1/0 +2 5C C-2-a C -1/-1/-1 -3 0/1/1 +2 記号：種類はサンプルの種類であり：Ｉは本発明のも
の、Ｃは対照のものを表す；T/M/B は上述のようにそれ
ぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレジスト
の基部についての個別の評価である。
の、Ｃは対照のものを表す；T/M/B は上述のようにそれ
ぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレジスト
の基部についての個別の評価である。
【０１０４】Ｒの和はレジスト側壁の頂部、中央、基部
についての３つの個別の評価の数字の和である。
についての３つの個別の評価の数字の和である。
【０１０５】この実施例は、本発明のＩ−１−ａ結合剤
を含有するサンプル５Ａが、それぞれ異なる対照の結合
剤（本発明の範囲外）を有する他のサンプルと比較し
て、著しく改善された側壁形状を示したことを明らかに
する。本発明のＩ−１−ａ結合剤を有するサンプル５Ａ
についての結果は、ステップ１４およびステップ１９の
双方における露光について、および７５％現像ブレーク
ポイントを用いた両者について対照の結合剤の組成物に
比較して著しく良好であった。
を含有するサンプル５Ａが、それぞれ異なる対照の結合
剤（本発明の範囲外）を有する他のサンプルと比較し
て、著しく改善された側壁形状を示したことを明らかに
する。本発明のＩ−１−ａ結合剤を有するサンプル５Ａ
についての結果は、ステップ１４およびステップ１９の
双方における露光について、および７５％現像ブレーク
ポイントを用いた両者について対照の結合剤の組成物に
比較して著しく良好であった。
【０１０６】（実施例６）この実施例において、６Ｄ−
Ｆと呼ばれる光重合性組成物が調製され、そして上述の
半定量的スケールを用いて側壁の品質について評価され
た。これらの組成物は、結合剤の選択を除いて同一のも
のであり、その結合剤の選択は表７に示したように変更
された。これらの組成物（５Ａ−Ｃ）のその他の成分は
表１６に列挙されたようなものであった。結合剤組成物
は用語集内で与えられる。この実施例においては、Ｉ−
１−ａが本発明の結合剤（本発明の範囲内）であり、一
方では他の結合剤（Ｃ−１およびＣ−２−ａ）が対照の
結合剤（本発明の範囲外）である。この実施例における
紫外線の露光はストーファー(Stouffer)４１−濃度段階
タブレットを使用して現像中にステップ１４またはステ
ップ１９のいずれかが保持されるような水準においてで
あった。現像は７５％ブレークポイントで処理された。
得られた結果は表７に要約される。
Ｆと呼ばれる光重合性組成物が調製され、そして上述の
半定量的スケールを用いて側壁の品質について評価され
た。これらの組成物は、結合剤の選択を除いて同一のも
のであり、その結合剤の選択は表７に示したように変更
された。これらの組成物（５Ａ−Ｃ）のその他の成分は
表１６に列挙されたようなものであった。結合剤組成物
は用語集内で与えられる。この実施例においては、Ｉ−
１−ａが本発明の結合剤（本発明の範囲内）であり、一
方では他の結合剤（Ｃ−１およびＣ−２−ａ）が対照の
結合剤（本発明の範囲外）である。この実施例における
紫外線の露光はストーファー(Stouffer)４１−濃度段階
タブレットを使用して現像中にステップ１４またはステ
ップ１９のいずれかが保持されるような水準においてで
あった。現像は７５％ブレークポイントで処理された。
得られた結果は表７に要約される。
【０１０７】
【表７】 ポリエステル１ ポリエステル１ ステップ14 ステップ19 サンプル 結合剤 種類 T/M /B Ｒの和 T/M/B Ｒの和 6D I-1-a I 2/1/2 +5 2/0/2 +4 6E C-1 C 1/0/1 +2 2/0/2 +4 6F C-2-a C 0/0/1 +1 1/0/1 +2 記号：種類はサンプルの種類であり：Ｉは本発明のも
の、Ｃは対照のものを表す；T/M/B は上述のようにそれ
ぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレジスト
の基部についての個別の評価である。
の、Ｃは対照のものを表す；T/M/B は上述のようにそれ
ぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレジスト
の基部についての個別の評価である。
【０１０８】Ｒの和はレジスト側壁の頂部、中央、基部
についての３つの個別の評価の数字の和である。
についての３つの個別の評価の数字の和である。
【０１０９】この実施例は、本発明のＩ−１−ａ結合剤
を含有するサンプル６Ｄが、それぞれ異なる対照の結合
剤（本発明の範囲外）を有する他のサンプルと比較し
て、著しく改善された側壁形状を示したことを明らかに
する。本発明のＩ−１−ａ結合剤を有するサンプル６Ｄ
についての結果は、ステップ１４およびステップ１９の
両方における露光について、および７５％現像ブレーク
ポイントを用いた両者について対照の結合剤の組成物に
比較して著しく良好であった。
を含有するサンプル６Ｄが、それぞれ異なる対照の結合
剤（本発明の範囲外）を有する他のサンプルと比較し
て、著しく改善された側壁形状を示したことを明らかに
する。本発明のＩ−１−ａ結合剤を有するサンプル６Ｄ
についての結果は、ステップ１４およびステップ１９の
両方における露光について、および７５％現像ブレーク
ポイントを用いた両者について対照の結合剤の組成物に
比較して著しく良好であった。
【０１１０】（実施例７）この実施例においては７Ａ−
Ｄと呼ばれる光重合性組成物が調製されて、そして上述
の半定量的スケールを用いて側壁の品質を評価した。こ
れらの組成物は、結合剤の選択および光開始剤の選択を
除いて同一であり、それらの選択が表８に示したように
変化した。これらの組成物に関する全成分は表１７に記
載されたようなものである（具体的な結合剤は表８に記
載されたように変化する）。結合剤組成物は用語集内で
与えられる。この実施例においては本発明の結合剤（本
発明の範囲内）であり、一方他の結合剤（Ｃ−２−ａ）
が 結合剤（本発明の範囲外）である。この実施例にお
ける紫外線露光はストーファー(Stouffer)−４１濃度段
階タブレットを使用して現像中にステップ１４またはス
テップ１９のいずれかが保持されるような水準において
あった。現像は７５％ブレークポイントで処理された。
得られた結果は表８に要約される。
Ｄと呼ばれる光重合性組成物が調製されて、そして上述
の半定量的スケールを用いて側壁の品質を評価した。こ
れらの組成物は、結合剤の選択および光開始剤の選択を
除いて同一であり、それらの選択が表８に示したように
変化した。これらの組成物に関する全成分は表１７に記
載されたようなものである（具体的な結合剤は表８に記
載されたように変化する）。結合剤組成物は用語集内で
与えられる。この実施例においては本発明の結合剤（本
発明の範囲内）であり、一方他の結合剤（Ｃ−２−ａ）
が 結合剤（本発明の範囲外）である。この実施例にお
ける紫外線露光はストーファー(Stouffer)−４１濃度段
階タブレットを使用して現像中にステップ１４またはス
テップ１９のいずれかが保持されるような水準において
あった。現像は７５％ブレークポイントで処理された。
得られた結果は表８に要約される。
【０１１１】
【表８】 ポリエステル１ ポリエステル１ ステップ14 ステップ1 9 サンプル 結合剤 種類 T/M /B Ｒの和 T/M/B Ｒの和 7A I-1-a I 2/1/1 +4 2/1/1 +4 7B C-2-a C -1/-1/1 -1 -1/-1/0 -2 7C I-1-a I 2/1/0 +3 2/1/1 +4 7D C-2-a C 1/1/0 +2 1/0/1 +2 記号：種類はサンプルの種類であり：Ｉは本発明のも
の、Ｃは対照のものを表す；T/M/B は上述のようにそれ
ぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレジスト
の基部についての個別の評価である。
の、Ｃは対照のものを表す；T/M/B は上述のようにそれ
ぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレジスト
の基部についての個別の評価である。
【０１１２】Ｒの和はレジスト側壁の頂部、中央、基部
についての３つの個別の評価の数字の和である。
についての３つの個別の評価の数字の和である。
【０１１３】サンプル７Ａ，Ｂはベンゾフェノンを基盤
とした光開始剤系を用いた。
とした光開始剤系を用いた。
【０１１４】サンプル７Ｃ，Ｄはｏ−Ｃｌ−ＨＡＢＩを
基盤とした光開始剤系を用いた。
基盤とした光開始剤系を用いた。
【０１１５】この実施例は、本発明のＩ−１−ａ結合剤
とともに２つの異なる光開始剤系のいずれかを有する光
重合性組成物が、本発明ではない対照の結合剤（Ｃ−２
−ａ）を有する対照の組成物に比較して、著しく改善さ
れた側壁形状を示したことを明らかにする。この実施例
のすべての現像は７５％ブレークポイントにおいてであ
った。
とともに２つの異なる光開始剤系のいずれかを有する光
重合性組成物が、本発明ではない対照の結合剤（Ｃ−２
−ａ）を有する対照の組成物に比較して、著しく改善さ
れた側壁形状を示したことを明らかにする。この実施例
のすべての現像は７５％ブレークポイントにおいてであ
った。
【０１１６】（実施例８）この実施例は３つの異なる本
発明の結合剤（Ｉ−１−ａ、Ｉ−２およびＩ−３）のそ
れぞれが、実施例９に比べて比較的低い架橋する性質を
持った光重合性組成物の中に存在するときに、同一の光
重合性組成物中に存在する対照の結合剤に比べて上質の
側壁形状を与えたことを明らかにする。この実施例にお
いては、８Ａ−Ｄと呼ばれる光重合性組成物が調製さ
れ、そして上述の半定量的スケールを用いて側壁の品質
が評価された。これらの組成物は結合剤の選択を除いて
同一であり、その選択は表９に記載されたように変化し
た。これらの組成物（８Ａ−Ｄ）のすべての成分は表１
７に記載されたようなものであった（具体的な結合剤は
表９に示したように変化した）。結合剤組成物は用語集
の中で与えられる。この実施例においては結合剤Ｉ−１
−ａ、Ｉ−２およびＩ−３が本発明の結合剤（本発明の
範囲内）であり、一方その他の結合剤（Ｃ−２−ａ）が
対照の結合剤（本発明の範囲外）である。この実施例に
おける紫外線の露光はストーファー(Stouffer)４１−濃
度段階タブレットを使用して現像中にステップ１９が保
持されるような水準においてであった。現像は２５％ブ
レークポイント（ＢＰ）または７５％ブレークポイント
（ＢＰ）のいずれかで処理された。得られた結果は表９
に要約される。
発明の結合剤（Ｉ−１−ａ、Ｉ−２およびＩ−３）のそ
れぞれが、実施例９に比べて比較的低い架橋する性質を
持った光重合性組成物の中に存在するときに、同一の光
重合性組成物中に存在する対照の結合剤に比べて上質の
側壁形状を与えたことを明らかにする。この実施例にお
いては、８Ａ−Ｄと呼ばれる光重合性組成物が調製さ
れ、そして上述の半定量的スケールを用いて側壁の品質
が評価された。これらの組成物は結合剤の選択を除いて
同一であり、その選択は表９に記載されたように変化し
た。これらの組成物（８Ａ−Ｄ）のすべての成分は表１
７に記載されたようなものであった（具体的な結合剤は
表９に示したように変化した）。結合剤組成物は用語集
の中で与えられる。この実施例においては結合剤Ｉ−１
−ａ、Ｉ−２およびＩ−３が本発明の結合剤（本発明の
範囲内）であり、一方その他の結合剤（Ｃ−２−ａ）が
対照の結合剤（本発明の範囲外）である。この実施例に
おける紫外線の露光はストーファー(Stouffer)４１−濃
度段階タブレットを使用して現像中にステップ１９が保
持されるような水準においてであった。現像は２５％ブ
レークポイント（ＢＰ）または７５％ブレークポイント
（ＢＰ）のいずれかで処理された。得られた結果は表９
に要約される。
【０１１７】
【表９】 ポリエステル１25%BP ポリエステル１75%BP サンプル 結合剤 種類 T/M/B Ｒの和 T/M/B Ｒの和 8A I-1-a I 2/0/1 +3 1/1/2 +4 8B I-2 I 2/1/1 +4 1/1/2 +4 8C I-3 I 2/1/1 +4 1/1/2 +4 8D C-2-a C 0/0/1 +1 0/0/2 +2 記号：種類はサンプルの種類であり：Ｉは本発明のも
の、Ｃは対照のものを表す；T/M/B は上述のようにそれ
ぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレジスト
の基部についての個別の評価である。
の、Ｃは対照のものを表す；T/M/B は上述のようにそれ
ぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレジスト
の基部についての個別の評価である。
【０１１８】Ｒの和はレジスト側壁の頂部、中央、基部
についての３つの個別の評価の数字の和である。
についての３つの個別の評価の数字の和である。
【０１１９】光重合性組成物８Ａ−Ｄは、サンプル９Ｅ
−Ｈ（表１０参照）に比べて、低い架橋する性質を有す
る。
−Ｈ（表１０参照）に比べて、低い架橋する性質を有す
る。
【０１２０】この実施例は、本発明のＩ−１−ａ、Ｉ−
２およびＩ−３結合剤をそれぞれ含有するサンプル８
Ａ、８Ｂおよび８Ｃが、対照の結合剤（Ｃ−２−ａ結合
剤、本発明の範囲外）を有するサンプル８Ｄと比べて、
著しく改善された側壁形状を示したことを明らかにす
る。
２およびＩ−３結合剤をそれぞれ含有するサンプル８
Ａ、８Ｂおよび８Ｃが、対照の結合剤（Ｃ−２−ａ結合
剤、本発明の範囲外）を有するサンプル８Ｄと比べて、
著しく改善された側壁形状を示したことを明らかにす
る。
【０１２１】（実施例９）この実施例は３つの異なる本
発明の結合剤（Ｉ−１−ａ、Ｉ−２およびＩ−３）のそ
れぞれが、実施例８に比べて比較的高い架橋する性質を
持った光重合性組成物の中に存在するときに、同一の光
重合性組成物中に存在する対照の結合剤に比べて上質の
側壁形状を与えたことを明らかにする。この実施例にお
いては、９Ｅ−Ｈと呼ばれる光重合性組成物が調製さ
れ、そして上述の半定量的スケールを用いて側壁の品質
が評価された。これらの組成物は結合剤の選択を除いて
同一であり、その選択は表１０に記載されたように変化
した。これらの組成物（９Ｅ−Ｈ）のすべての成分は表
１７に記載されたようなものであった（具体的な結合剤
を除く、その結合剤は表１０に示したように変化し
た）。結合剤組成物は用語集の中で与えられる。この実
施例においては結合剤Ｉ−１−ａ、Ｉ−２およびＩ−３
が本発明の結合剤（本発明の範囲内）であり、一方その
他の結合剤（Ｃ−２−ａ）が対照の結合剤（本発明の範
囲外）である。この実施例における紫外線の露光はスト
ーファー(Stouffer)４１−濃度段階タブレットを使用し
て現像中にステップ１９が保持されるような水準におい
てであった。現像は２５％ブレークポイント（ＢＰ）ま
たは７５％ブレークポイント（ＢＰ）のいずれかで処理
された。得られた結果は表１０に要約される。
発明の結合剤（Ｉ−１−ａ、Ｉ−２およびＩ−３）のそ
れぞれが、実施例８に比べて比較的高い架橋する性質を
持った光重合性組成物の中に存在するときに、同一の光
重合性組成物中に存在する対照の結合剤に比べて上質の
側壁形状を与えたことを明らかにする。この実施例にお
いては、９Ｅ−Ｈと呼ばれる光重合性組成物が調製さ
れ、そして上述の半定量的スケールを用いて側壁の品質
が評価された。これらの組成物は結合剤の選択を除いて
同一であり、その選択は表１０に記載されたように変化
した。これらの組成物（９Ｅ−Ｈ）のすべての成分は表
１７に記載されたようなものであった（具体的な結合剤
を除く、その結合剤は表１０に示したように変化し
た）。結合剤組成物は用語集の中で与えられる。この実
施例においては結合剤Ｉ−１−ａ、Ｉ−２およびＩ−３
が本発明の結合剤（本発明の範囲内）であり、一方その
他の結合剤（Ｃ−２−ａ）が対照の結合剤（本発明の範
囲外）である。この実施例における紫外線の露光はスト
ーファー(Stouffer)４１−濃度段階タブレットを使用し
て現像中にステップ１９が保持されるような水準におい
てであった。現像は２５％ブレークポイント（ＢＰ）ま
たは７５％ブレークポイント（ＢＰ）のいずれかで処理
された。得られた結果は表１０に要約される。
【０１２２】
【表１０】 ポリエステル１25%BP ポリエステル１75%BP サンプル 結合剤 種類 T/M/B Ｒの和 T/M/B Ｒの和 9E I-1-a I 2/1/1 +4 1/1/2 +4 9F I-2 I 1/1/1 +3 1/1/2 +4 9G I-3 I 2/1/1 +4 2/1/2 +5 9H C-2-a C 0/0/0 0 0/1/1 +2 記号：種類はサンプルの種類であり：Ｉは本発明のも
の、Ｃは対照のものを表す；T/M/B は上述のようにそれ
ぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレジスト
の基部についての個別の評価である。
の、Ｃは対照のものを表す；T/M/B は上述のようにそれ
ぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレジスト
の基部についての個別の評価である。
【０１２３】Ｒの和はレジスト側壁の頂部、中央、基部
についての３つの個別の評価の数字の和である。
についての３つの個別の評価の数字の和である。
【０１２４】光重合性組成物９Ｅ−Ｈは、サンプル８Ａ
−Ｄ（表９参照）に比べて、高い架橋する性質を有す
る。
−Ｄ（表９参照）に比べて、高い架橋する性質を有す
る。
【０１２５】この実施例は、それぞれ本発明のＩ−１−
ａ、Ｉ−２およびＩ−３結合剤を含有するサンプル９
Ｅ、９Ｆおよび９Ｇが、対照の結合剤（Ｃ−２−ａ結合
剤、本発明の範囲外）を有するサンプル９Ｈと比べて、
著しく改善された側壁形状を示したことを明らかにす
る。
ａ、Ｉ−２およびＩ−３結合剤を含有するサンプル９
Ｅ、９Ｆおよび９Ｇが、対照の結合剤（Ｃ−２−ａ結合
剤、本発明の範囲外）を有するサンプル９Ｈと比べて、
著しく改善された側壁形状を示したことを明らかにす
る。
【０１２６】（実施例１０）この実施例は、本発明の結
合剤を含有するフォトスピード(photospeeds) の幅を有
する光重合性組成物全てが、対照の結合剤を含有する対
応する対照の組成物に比べて、改善された側壁形状を示
すことを明らかにする。この実施例においては、１０Ａ
−Ｉと呼ばれる光重合性組成物が調製されて、そして上
述の半定量的スケールを用いて側壁の品質を評価され
た。これらの組成物は、１０Ａ−Ｄが対照の結合剤Ｃ−
２−ａを含有し、およびアルファベット順に１０Ａから
１０Ｄまで進むにつれてフォトスピードが増加するよう
なものであった。同様に、組成物１０Ｅ−Ｉは、１０Ｅ
−Ｉが本発明の結合剤Ｉ−１−ａを含有し、およびアル
ファベット順に１０Ｅから１０Ｉまで進むにつれてフォ
トスピードが増加するようなものであった。これらの組
成物（１０Ａ−Ｉ）のすべての成分は表１８および表１
９に記載されたようなものであった（具体的な結合剤を
除く、その結合剤は表１１に示したように変化した）。
結合剤組成物は用語集の中で与えられる。この実施例に
おいては結合剤Ｉ−１−ａが本発明の結合剤（本発明の
範囲内）であり、一方その他の結合剤（Ｃ−２−ａ）が
対照の結合剤（本発明の範囲外）である。この実施例に
おける紫外線の露光はストーファー(Stouffer)４１−濃
度段階タブレットを使用して現像中にステップ１９また
はステップ２６のいずれかが保持されるような水準にお
いてであった。現像は５０％ブレークポイント（ＢＰ）
で処理された。得られた結果は表１１に要約される。
合剤を含有するフォトスピード(photospeeds) の幅を有
する光重合性組成物全てが、対照の結合剤を含有する対
応する対照の組成物に比べて、改善された側壁形状を示
すことを明らかにする。この実施例においては、１０Ａ
−Ｉと呼ばれる光重合性組成物が調製されて、そして上
述の半定量的スケールを用いて側壁の品質を評価され
た。これらの組成物は、１０Ａ−Ｄが対照の結合剤Ｃ−
２−ａを含有し、およびアルファベット順に１０Ａから
１０Ｄまで進むにつれてフォトスピードが増加するよう
なものであった。同様に、組成物１０Ｅ−Ｉは、１０Ｅ
−Ｉが本発明の結合剤Ｉ−１−ａを含有し、およびアル
ファベット順に１０Ｅから１０Ｉまで進むにつれてフォ
トスピードが増加するようなものであった。これらの組
成物（１０Ａ−Ｉ）のすべての成分は表１８および表１
９に記載されたようなものであった（具体的な結合剤を
除く、その結合剤は表１１に示したように変化した）。
結合剤組成物は用語集の中で与えられる。この実施例に
おいては結合剤Ｉ−１−ａが本発明の結合剤（本発明の
範囲内）であり、一方その他の結合剤（Ｃ−２−ａ）が
対照の結合剤（本発明の範囲外）である。この実施例に
おける紫外線の露光はストーファー(Stouffer)４１−濃
度段階タブレットを使用して現像中にステップ１９また
はステップ２６のいずれかが保持されるような水準にお
いてであった。現像は５０％ブレークポイント（ＢＰ）
で処理された。得られた結果は表１１に要約される。
【０１２７】
【表１１】 ポリエステル２ ポリエステル２ ステップ19 ステップ26 サンプル 結合剤 種類 T/M/B Ｒの和 T/M/B Ｒの和 10A C-2-a C 0/1/1 +2 1/2/2 +5 10B C-2-a C 0/1/-1 0 1/2/1 +4 10C C-2-a C -1/-1/-1 +3 1/1/0 +2 10D C-2-a C -2/-2/-2 -6 1/1/1 +3 10E I-1-a I 2/2/2 +6 2/2/2 +6 10F I-1-a I 2/2/2 +6 2/2/2 +6 10G I-1-a I 2/2/2 +6 2/2/2 +6 10H I-1-a I 2/2/2 +6 2/2/2 +6 １０Ｉ Ｉ−１−ａ Ｉ ２／０／０
＋２ ２／１／１ ＋４ 記号：種類はサンプルの種類であり：Ｉは本発明のも
の、Ｃは対照のものを表す；Ｔ／Ｍ／Ｂ は上述のよう
にそれぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレ
ジストの基部についての個別の評価である。
＋２ ２／１／１ ＋４ 記号：種類はサンプルの種類であり：Ｉは本発明のも
の、Ｃは対照のものを表す；Ｔ／Ｍ／Ｂ は上述のよう
にそれぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレ
ジストの基部についての個別の評価である。
【０１２８】Ｒの和はレジスト側壁の頂部、中央、基部
についての３つの個別の評価の数字の和である。
についての３つの個別の評価の数字の和である。
【０１２９】注：この実施例においてすべての現像は５
０％ＢＰの状態である。
０％ＢＰの状態である。
【０１３０】この実施例において、アルファベット順に
１０Ａから１０Ｄまでフォトスピードの増加があり、同
様にアルファベット順に１０Ｅから１０Ｉまでフォトス
ピードの増加がある。サンプル１０Ａ−Ｄは、（表１１
に示したような）結合剤の変更を除いて、１０Ｅ−Ｉに
対応している。
１０Ａから１０Ｄまでフォトスピードの増加があり、同
様にアルファベット順に１０Ｅから１０Ｉまでフォトス
ピードの増加がある。サンプル１０Ａ−Ｄは、（表１１
に示したような）結合剤の変更を除いて、１０Ｅ−Ｉに
対応している。
【０１３１】この実施例は、それぞれ本発明のＩ−１−
ａ結合剤を含有するサンプル１０Ｅ−Ｉが、対照の結合
剤（Ｃ−２−ａ結合剤、それは本発明の範囲外である）
を有するサンプル１０Ａ−Ｄと比べて、著しく改善され
た側壁形状を示したことを明らかにする。優秀な側壁形
状および現像の許容度が、対照のサンプル１０Ａ−Ｄと
はっきりとした対照をなして、フォトスピードが増大す
るような１０Ｅ−Ｉの系列を通して維持された。本発明
の結合剤を用いた各サンプルのこの改善された性能は、
対照の結合剤を用いた対照のサンプルの性能と比較し
て、より高いフォトスピードにおいて特に著しかった。
ａ結合剤を含有するサンプル１０Ｅ−Ｉが、対照の結合
剤（Ｃ−２−ａ結合剤、それは本発明の範囲外である）
を有するサンプル１０Ａ−Ｄと比べて、著しく改善され
た側壁形状を示したことを明らかにする。優秀な側壁形
状および現像の許容度が、対照のサンプル１０Ａ−Ｄと
はっきりとした対照をなして、フォトスピードが増大す
るような１０Ｅ−Ｉの系列を通して維持された。本発明
の結合剤を用いた各サンプルのこの改善された性能は、
対照の結合剤を用いた対照のサンプルの性能と比較し
て、より高いフォトスピードにおいて特に著しかった。
【０１３２】（実施例１１）この実施例においては、１
１Ａ−Ｐと呼ばれる光重合性組成物が調製されて、そし
て上述の半定量的スケールを用いて側壁の品質を評価さ
れた。これらの組成物はキレート化剤またはキレート化
剤系の選択を除いて同一であり、その選択は表１２に記
載されたように変化した。この実施例において試験され
たキレート化剤（単数または複数）は、１）サンプル１
１Ａ−Ｄ中には存在しない、２）サンプル１１Ｅ−Ｈ中
の５−クロロベンゾトリアゾール／クエン酸、３）サン
プルＩ−Ｌ中の５−クロロベンゾトリアゾール／４，５
−カルボキシベンゾトリアゾール、および４）サンプル
Ｍ−Ｐ中のベンゾトリアゾールであった。これらの組成
物の成分は表２０および表２１に記載されたようなもの
であった。結合剤組成物は用語集の中で与えられる。こ
の実施例においては、結合剤Ｉ−１−ａおよびＩ−３が
本発明の結合剤（本発明の範囲内）であり、一方３つの
他の結合剤（Ｃ−２−ａ、Ｃ−４およびＣ−８）が対照
の結合剤（本発明の範囲外）である。この実施例におけ
る紫外線の露光はストーファー(Stouffer)４１−濃度段
階タブレットを使用して現像中にステップ１９またはス
テップ２６が保持されるような水準においてであった。
各場合の現像は２５％ブレークポイント（ＢＰ）および
５０％ブレークポイント（ＢＰ）で処理された。得られ
た結果は表１２に要約される。
１Ａ−Ｐと呼ばれる光重合性組成物が調製されて、そし
て上述の半定量的スケールを用いて側壁の品質を評価さ
れた。これらの組成物はキレート化剤またはキレート化
剤系の選択を除いて同一であり、その選択は表１２に記
載されたように変化した。この実施例において試験され
たキレート化剤（単数または複数）は、１）サンプル１
１Ａ−Ｄ中には存在しない、２）サンプル１１Ｅ−Ｈ中
の５−クロロベンゾトリアゾール／クエン酸、３）サン
プルＩ−Ｌ中の５−クロロベンゾトリアゾール／４，５
−カルボキシベンゾトリアゾール、および４）サンプル
Ｍ−Ｐ中のベンゾトリアゾールであった。これらの組成
物の成分は表２０および表２１に記載されたようなもの
であった。結合剤組成物は用語集の中で与えられる。こ
の実施例においては、結合剤Ｉ−１−ａおよびＩ−３が
本発明の結合剤（本発明の範囲内）であり、一方３つの
他の結合剤（Ｃ−２−ａ、Ｃ−４およびＣ−８）が対照
の結合剤（本発明の範囲外）である。この実施例におけ
る紫外線の露光はストーファー(Stouffer)４１−濃度段
階タブレットを使用して現像中にステップ１９またはス
テップ２６が保持されるような水準においてであった。
各場合の現像は２５％ブレークポイント（ＢＰ）および
５０％ブレークポイント（ＢＰ）で処理された。得られ
た結果は表１２に要約される。
【０１３３】
【表１２】 25%BP,ステップ19 50%BP,ステップ19サンプル 結合剤 種類 T/M/B Ｒの和 T/M/B Ｒの和 11A I-1-a I 1/1/0 +2 2/1/1 +4 11B C-2-a C -2/-2/-2 -5 -2/-2/0 -4 11C C-4 C 0/1/1 +2 0/-1/-2 -3 11D I-3 I 1/1/1 +3 2/1/1 +4 11E I-1-a I 2/1/1 +4 2/1/1 +4 11F C-2-a C -2/-2/-1 -5 -2/-2/-1 -5 11G C-4 C 0/1/1 +2 0/0/-1 -1 11H C-8 C 1/1/1 +3 1/1/1 +3 11I I-1-a I 1/1/1 +3 2/1/1 +4 11J C-2-a C -2/-1/0 -3 -2/-2/0 -4 11K C-4 C 0/1/0 +1 1/1/1 +3 11L C-8 C 0/1/1 +2 0/1/1 +2 11M I-1-a I 1/1/0 +2 1/1/1 +3 11N C-2-a C -2/-2/-1 -4 -1/-1/-1 -1 11O C-4 C 0/1/-1 0 0/1/0 +1 11P I-3 I 1/1/1 +3 2/1/1 +4 記号：種類はサンプルの種類であり：Ｉは本発明のも
の、Ｃは対照のものを表す；T/M/B は上述のようにそれ
ぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレジスト
の基部についての個別の評価である。
の、Ｃは対照のものを表す；T/M/B は上述のようにそれ
ぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレジスト
の基部についての個別の評価である。
【０１３４】Ｒの和はレジスト側壁の頂部、中央、基部
についての３つの個別の評価の数字の和である。
についての３つの個別の評価の数字の和である。
【０１３５】＊ポリエステルのタイプ２を用いた。
【０１３６】この実施例は、キレート化剤を含有しない
かまたは３つの別個のキレート化剤の内の１つ（すなわ
ち、５ＣｌＢＴ／ＣＡ、５ＣｌＢＴ／ＣＢＴおよびＢ
Ｔ）のいずれかを含有する比較サンプルについて、本発
明のＩ−１−ａまたはＩ−３結合剤のいずれかを含有す
るサンプルが、対照の結合剤（Ｃ−２−ａ、Ｃ−４、ま
たはＣ−８のいずれか）を有するサンプルと比べて、著
しく改善された側壁形状を示したことを明らかにする。
かまたは３つの別個のキレート化剤の内の１つ（すなわ
ち、５ＣｌＢＴ／ＣＡ、５ＣｌＢＴ／ＣＢＴおよびＢ
Ｔ）のいずれかを含有する比較サンプルについて、本発
明のＩ−１−ａまたはＩ−３結合剤のいずれかを含有す
るサンプルが、対照の結合剤（Ｃ−２−ａ、Ｃ−４、ま
たはＣ−８のいずれか）を有するサンプルと比べて、著
しく改善された側壁形状を示したことを明らかにする。
【０１３７】（実施例１２）この実施例は、さらなるス
チレンのコモノマーを有する本発明の結合剤を含有する
光重合性組成物が、本発明において有効であり、良好な
側壁形状を有するイメージされたレジストサンプルを与
えることを明らかにする。
チレンのコモノマーを有する本発明の結合剤を含有する
光重合性組成物が、本発明において有効であり、良好な
側壁形状を有するイメージされたレジストサンプルを与
えることを明らかにする。
【０１３８】この実施例においては、１２Ａ−Ｌと呼ば
れる光重合性組成物が調製されて、そして上述の半定量
的スケールを用いて側壁の品質を評価された。これらの
組成物は結合剤の選択を除いて同一であり、あるものは
本発明のスチレン化結合剤を含有し、その他は本発明の
非スチレン化結合剤を含有し、およびその他は対照の結
合剤を含有した。結合剤は表１３に示すように変化し
た。これらの組成物（１２Ａ−Ｌ）の成分は表２２に記
載されたようなものであった。結合剤組成物は用語集の
中で与えられる。この実施例においては、結合剤Ｉ−１
−ａおよびＩ−１−ｂが本発明の非スチレン化結合剤
（本発明の範囲内）であり、およびＩ−４−ｂが本発明
のスチレン化結合剤である。他の結合剤（Ｃ−７−ａ、
Ｃ−７−ｂおよびＣ−７−ｃ）が対照の結合剤（本発明
の範囲外）である。この実施例における紫外線の露光は
ストーファー(Stouffer)４１−濃度段階タブレットを使
用して現像中にステップ１９が保持されるような水準に
おいてであった。現像は２５％ブレークポイント（Ｂ
Ｐ）でおよび７５％ブレークポイント（ＢＰ）で処理さ
れた。得られた結果は表１３に要約され、それはスチレ
ン化結合剤および非スチレン化結合剤の双方が、フォト
レジスト組成物中に存在するときに、イメージされたレ
ジストパターンの良好な側壁形状を与えることにおいて
有効であることを示す。
れる光重合性組成物が調製されて、そして上述の半定量
的スケールを用いて側壁の品質を評価された。これらの
組成物は結合剤の選択を除いて同一であり、あるものは
本発明のスチレン化結合剤を含有し、その他は本発明の
非スチレン化結合剤を含有し、およびその他は対照の結
合剤を含有した。結合剤は表１３に示すように変化し
た。これらの組成物（１２Ａ−Ｌ）の成分は表２２に記
載されたようなものであった。結合剤組成物は用語集の
中で与えられる。この実施例においては、結合剤Ｉ−１
−ａおよびＩ−１−ｂが本発明の非スチレン化結合剤
（本発明の範囲内）であり、およびＩ−４−ｂが本発明
のスチレン化結合剤である。他の結合剤（Ｃ−７−ａ、
Ｃ−７−ｂおよびＣ−７−ｃ）が対照の結合剤（本発明
の範囲外）である。この実施例における紫外線の露光は
ストーファー(Stouffer)４１−濃度段階タブレットを使
用して現像中にステップ１９が保持されるような水準に
おいてであった。現像は２５％ブレークポイント（Ｂ
Ｐ）でおよび７５％ブレークポイント（ＢＰ）で処理さ
れた。得られた結果は表１３に要約され、それはスチレ
ン化結合剤および非スチレン化結合剤の双方が、フォト
レジスト組成物中に存在するときに、イメージされたレ
ジストパターンの良好な側壁形状を与えることにおいて
有効であることを示す。
【０１３９】
【表１３】 25%BP,ステップ19 75%BP,ステップ19サンプル 結合剤 種類 T/M/B Ｒの和 T/M/B Ｒの和 12A I-1-a I 1/0/-1 0 1/1/2 +4 12B I-1-b I 2/1/1 +4 1/1/2 +4 12C I-4-b I 1/1/1 +3 1/1/2 +4 12D C-7-a C 1/1/1 +3 0/1/2 +3 12E C-7-b C -1/-1/0 -2 0/1/-1 0 12F C-7-c C -1/0/1 0 0/1/0 +1 12G I-1-a I 1/1/2 +4 2/1/2 +5 12H I-1-b I 1/1/2 +4 2/1/2 +5 12I I-4-b I 1/1/2 +4 2/1/2 +5 12J C-7-a C 0/1/2 +3 2/1/2 +5 12K C-7-b C 0/1/2 +3 1/0/1 +2 12L C-7-c C 0/1/2 +3 0/1/2 +3 ＊ポリエステルのタイプ１を用いた。
【０１４０】（実施例１３）この実施例もまた、さらな
るスチレンのコモノマーを有する本発明の結合剤を含有
する光重合性組成物が、本発明において有効であり、良
好な側壁形状を有するイメージされたレジストサンプル
を与えることを明らかにする。
るスチレンのコモノマーを有する本発明の結合剤を含有
する光重合性組成物が、本発明において有効であり、良
好な側壁形状を有するイメージされたレジストサンプル
を与えることを明らかにする。
【０１４１】この実施例においては、１３Ａ−Ｈと呼ば
れる光重合性組成物が調製されて、そして上述の半定量
的スケールを用いて側壁の品質を評価された。組成物１
３Ａ−Ｄは結合剤の選択を除いて同一であって、あるも
のは本発明のスチレン化結合剤を含有し、その他は本発
明の非スチレン化結合剤を含有し、およびその他は対照
の結合剤を含有した。同様に、組成物１３Ｅ−Ｈは結合
剤の選択を除いて同一であった。結合剤は表１４および
表１５に示すように変化した。これらの組成物（１３Ａ
−Ｈ）の成分は表２２に記載されたようなものであっ
た。結合剤組成物は用語集の中で与えられる。この実施
例においては、結合剤Ｉ−１−ａおよびＩ−１−ｂが本
発明の非スチレン化結合剤（本発明の範囲内）であり、
およびＩ−４−ａが本発明のスチレン化結合剤である。
他の結合剤（Ｃ−２−ａ）は対照の結合剤（本発明の範
囲外）である。この実施例における紫外線の露光は、表
１４に示した実験についてはストーファー(Stouffer)４
１−濃度段階タブレットを使用して現像中にステップ１
９が保持され、一方表１５に示した実験についてはスト
ーファー(Stouffer)４１−濃度段階タブレットを使用し
て現像中にステップ２６が保持されたような水準におい
てであった。それぞれの場合において、現像は２５％ブ
レークポイント（ＢＰ）でおよび７５％ブレークポイン
ト（ＢＰ）で処理された。得られた結果は表１４および
表１５に要約され、それらはスチレン化結合剤および非
スチレン化結合剤の双方が、フォトレジスト組成物中に
存在するときに、イメージされたレジストパターンの良
好な側壁形状を与えることにおいて有効であることを示
す。
れる光重合性組成物が調製されて、そして上述の半定量
的スケールを用いて側壁の品質を評価された。組成物１
３Ａ−Ｄは結合剤の選択を除いて同一であって、あるも
のは本発明のスチレン化結合剤を含有し、その他は本発
明の非スチレン化結合剤を含有し、およびその他は対照
の結合剤を含有した。同様に、組成物１３Ｅ−Ｈは結合
剤の選択を除いて同一であった。結合剤は表１４および
表１５に示すように変化した。これらの組成物（１３Ａ
−Ｈ）の成分は表２２に記載されたようなものであっ
た。結合剤組成物は用語集の中で与えられる。この実施
例においては、結合剤Ｉ−１−ａおよびＩ−１−ｂが本
発明の非スチレン化結合剤（本発明の範囲内）であり、
およびＩ−４−ａが本発明のスチレン化結合剤である。
他の結合剤（Ｃ−２−ａ）は対照の結合剤（本発明の範
囲外）である。この実施例における紫外線の露光は、表
１４に示した実験についてはストーファー(Stouffer)４
１−濃度段階タブレットを使用して現像中にステップ１
９が保持され、一方表１５に示した実験についてはスト
ーファー(Stouffer)４１−濃度段階タブレットを使用し
て現像中にステップ２６が保持されたような水準におい
てであった。それぞれの場合において、現像は２５％ブ
レークポイント（ＢＰ）でおよび７５％ブレークポイン
ト（ＢＰ）で処理された。得られた結果は表１４および
表１５に要約され、それらはスチレン化結合剤および非
スチレン化結合剤の双方が、フォトレジスト組成物中に
存在するときに、イメージされたレジストパターンの良
好な側壁形状を与えることにおいて有効であることを示
す。
【０１４２】
【表１４】 25%BP,ステップ19 75%BP,ステップ19サンプル 結合剤 種類 T/M/B Ｒの和 T/M/B Ｒの和 13A C-2-a C -2/-2/-2 -6 -2/-2/0 -4 13B I-1-a I 1/1/0 +2 2/2/1 +5 13C I-1-b I 1/1/0 +2 2/2/2 +6 13D I-4-a I 1/1/1 +3 1/2/1 +4 13E C-2-a C -2/-2/-2 -6 -1/-1/0 -2 13F I-1-a I 1/2/1 +4 2/1/1 +4 13G I-1-b I 1/2/1 +4 2/2/0 +4 13H I-4-a I 1/2/0 +3 2/2/2 +6 ポリエステルのタイプ２を用いた。
【０１４３】
【表１５】 25%BP,ステップ26 75%BP,ステップ26サンプル 結合剤 種類 T/M/B Ｒの和 T/M/B Ｒの和 13A C-2-a C -1/1/-1 -1 0/0/-1 -1 13B I-1-a I 1/2/1 +4 2/2/1 +5 13C I-1-b I 1/2/1 +4 2/2/2 +6 13D I-4-a I 2/2/2 +6 2/2/2 +6 13E C-2-a C -1/1/-2 -2 0/2/-1 +1 13F I-1-a I 2/2/2 +6 2/2/1 +5 13G I-1-b I 2/2/0 +4 2/2/2 +6 13H I-4-a I 2/2/1 +5 2/2/2 +6 ポリエステルのタイプ２を用いた。
【０１４４】
【表１６】 サンプル組成（重量部）* 成分 1A-E 2A-E 3A-C:5A-C 4D-F:6D-F TMPEOTA 12 12 12 12 BPAEODMA-30 9 9 9 -- BPAEODMA-6 -- -- -- 9 PGDMA-400 6.4 6.4 6.4 12.4 PGMMA 3 3 3 4 P31R1 -- -- -- 3 EMK 0.06 0.06 0.06 0.08 o-Cl-HABI 3 3 3 3 ITX 0.4 0.4 0.4 0.4 LCV 0.3 0.3 0.3 0.35 mPG 0.05 0.05 0.05 0.05 VGD 0.04 0.04 0.04 0.05 CBT 0.02 0.02 0.02 0.02 5ClBT 0.01 0.01 0.01 0.01 DEHA 0.02 0.02 0.02 0.02 DG -- -- -- -- 結合剤 65.7 65.7 65.7 55.6 総計 100 100 100 99.98 ＊すべての成分は（実質的にすべての塗布溶媒が除去されている状態の）塗布さ れかつ乾燥されたフォトポリマーフィルムについてである
【０１４５】
【表１７】 サンプル組成（重量部）* 成分 7A-B 7C-D 8A-D 9E-H TMPEOTA 12 10 12 15 BPAEODMA-30 9 -- 9 9 BPAEODMA-6 -- 9 -- -- PGDMA-400 6.4 12.4 6.4 6.4 PGMMA 3 4 3 -- P31R1 2 3 -- -- EMK 0.2 0.08 0.06 0.06 o-Cl-HABI 2 3 3 3 ITX -- 0.4 0.4 0.4 LCV 0.5 0.35 0.3 0.3 mPG 0.1 0.05 0.05 0.05 BP 4 -- -- -- VGD 0.04 0.05 0.04 0.04 CBT 0.02 0.02 0.02 0.02 5ClBT 0.01 0.01 0.01 0.01 DEHA 0.02 0.02 0.02 0.02 DG -- -- -- -- 結合剤 65.7 57.6 65.7 65.7 総計 104.99 99.98 100 100 ＊すべての成分は（実質的にすべての塗布溶媒が除去されている状態の）塗布さ れかつ乾燥されたフォトポリマーフィルムについてである
【０１４６】
【表１８】 サンプル組成（重量部）* 成分 10A 10B 10C 10D 10E TMPEOTA 12 12 12 12 12 BPAEODMA-30 9 9 9 9 9 PGDMA-400 6.4 6.4 6.4 6.4 6.4 PGMMA 3 3 3 3 3 EMK 0.06 0.06 0.06 0.06 0.06 o-Cl-HABI 3 3 3 4 3 ITX 0.4 0.4 0.4 0.4 0.4 LCV 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 mPG 0.05 0.1 0.2 0.2 0.05 VGD 0.04 0.04 0.04 0.04 0.04 CBT 0.02 0.02 0.02 0.02 0.02 5ClBT 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 DEHA 0.02 0.02 0.02 0.02 0.02 結合剤 65.7 65.7 65.7 65.7 65.7 総計 100 100.05 100.15 101.15 100 ＊すべての成分は（実質的にすべての塗布溶媒が除去されている状態の）塗布さ れかつ乾燥されたフォトポリマーフィルムについてである
【０１４７】
【表１９】 （表１８の続き） サンプル組成（重量部）* 成分 10F 10F 10H 10I TMPEOTA 12 12 12 12 BPAEODMA-30 9 9 9 9 PGDMA-400 6.4 6.4 6.4 6.4 PGMMA 3 3 3 3 EMK 0.06 0.06 0.06 0.06 o-Cl-HABI 3 3 4 3 ITX 0.4 0.4 0.4 0.4 LCV 0.3 0.3 0.3 0.3 mPG 0.1 0.2 0.2 0.45 VGD 0.04 0.04 0.04 0.04 CBT 0.02 0.02 0.02 0.02 5ClBT 0.01 0.01 0.01 0.01 DEHA 0.02 0.02 0.02 0.02 結合剤 65.7 65.7 65.7 65.7 総計 １００．０５ １００．１５ １０
１．１５ １００．４ ＊すべての成分は（実質的にすべての塗布溶媒が除去されている状態の）塗布さ れかつ乾燥されたフォトポリマーフィルムについてである
１．１５ １００．４ ＊すべての成分は（実質的にすべての塗布溶媒が除去されている状態の）塗布さ れかつ乾燥されたフォトポリマーフィルムについてである
【０１４８】
【表２０】 サンプル
組成（重量部）* 成分 11A 11B 11C 11D 11E 11F 11G 11H TMPEOTA 12 12 12 12 12 12 12 12 BPAEODMA-30 9 9 9 9 9 9 9 9 PGDMA-400 6.4 6.4 6.4 6.4 6.4 6.4 6.4 6.4 PGMMA 3 3 3 3 3 3 3 3 EMK 0.06 0.06 0.06 0.06 0.06 0.06 0.06 0.06 o-Cl-HABI 4 4 4 4 4 4 4 4 ITX 0.4 0.4 0.4 0.4 0.4 0.4 0.4 0.4 mPG 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 LCV 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 VGD 0.04 0.04 0.04 0.04 0.04 0.04 0.04 0.04 5ClBT 0 0 0 0 0.1 0.1 0.1 0.1 CBT 0 0 0 0 0 0 0 0 BT 0 0 0 0 0 0 0 0 CA 0 0 0 0 0.05 0.05 0.05 0.05 結合剤 64.67 64.67 64.67 64.67 64.67 64.67 64.67 64.67 総計 100.07 100.07 100.07 100.07 100.22 100.22 100.22 100.22 ＊すべての成分は（実質的にすべての塗布溶媒が除去されている状態の）塗布さ れかつ乾燥されたフォトポリマーフィルムについてである
組成（重量部）* 成分 11A 11B 11C 11D 11E 11F 11G 11H TMPEOTA 12 12 12 12 12 12 12 12 BPAEODMA-30 9 9 9 9 9 9 9 9 PGDMA-400 6.4 6.4 6.4 6.4 6.4 6.4 6.4 6.4 PGMMA 3 3 3 3 3 3 3 3 EMK 0.06 0.06 0.06 0.06 0.06 0.06 0.06 0.06 o-Cl-HABI 4 4 4 4 4 4 4 4 ITX 0.4 0.4 0.4 0.4 0.4 0.4 0.4 0.4 mPG 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 LCV 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 VGD 0.04 0.04 0.04 0.04 0.04 0.04 0.04 0.04 5ClBT 0 0 0 0 0.1 0.1 0.1 0.1 CBT 0 0 0 0 0 0 0 0 BT 0 0 0 0 0 0 0 0 CA 0 0 0 0 0.05 0.05 0.05 0.05 結合剤 64.67 64.67 64.67 64.67 64.67 64.67 64.67 64.67 総計 100.07 100.07 100.07 100.07 100.22 100.22 100.22 100.22 ＊すべての成分は（実質的にすべての塗布溶媒が除去されている状態の）塗布さ れかつ乾燥されたフォトポリマーフィルムについてである
【０１４９】
【表２１】 （表２０の続き） サンプル組成（重量部）* 成分 11I 11J 11K 11L 11M 11N 11O 11P TMPEOTA 12 12 12 12 12 12 12 12 BPAEODMA-30 9 9 9 9 9 9 9 9 PGDMA-400 6.4 6.4 6.4 6.4 6.4 6.4 6.4 6.4 PGMMA 3 3 3 3 3 3 3 3 EMK 0.06 0.06 0.06 0.06 0.06 0.06 0.06 0.06 o-Cl-HABI 4 4 4 4 4 4 4 4 ITX 0.4 0.4 0.4 0.4 0.4 0.4 0.4 0.4 mPG 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 LCV 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 VGD 0.04 0.04 0.04 0.04 0.04 0.04 0.04 0.04 5ClBT 0.01 0.01 0.01 0.01 0 0 0 0 CBT 0.02 0.02 0.02 0.02 0 0 0 0 BT 0 0 0 0 0.1 0.1 0.1 0.1 CA 0 0 0 0 0 0 0 0 結合剤 64.67 64.67 64.67 64.67 64.67 64.67 64.67 64.67 総計 100.10 100.10 100.10 100.10 100.17 100.17 100.17 100.17 ＊すべての成分は（実質的にすべての塗布溶媒が除去されている状態の）塗布さ れかつ乾燥されたフォトポリマーフィルムについてである
【０１５０】
【表２２】 サンプル組成（重量部）* 成分 12A-F 12G-L 13A-D 13E-H TMPEOTA 14 13 12 13.5 BPAEODMA-30 0 9 9 9 BPAEODMA-6 9 0 0 0 PGDMA-400 6.4 9.4 6.4 6.4 PGMMA 3 4 3 3 P31R1 0 3 0 0 DMC 0 0 0 0.25 EMK 0.06 0.06 0.15 0.15 o-Cl-HABI 3 3 3 4 ITX 0.4 0.4 0.4 0.4 LCV 0.3 0.3 0.3 0.5 mPG 0.05 0.05 0.45 0.4 VGD 0.04 0.04 0.06 0.05 CBT 0.02 0.02 0.02 0.02 5ClBT 0.01 0.01 0.01 0.01 DEHA 0.02 0.02 0.02 0.02 DG 2 0 0 0 結合剤 61.7 57.7 65.2 62.2 総計 100 100 100.01 99.99 ＊すべての成分は（実質的にすべての塗布溶媒が除去されている状態の）塗布さ れかつ乾燥されたフォトポリマーフィルムについてである
【０１５１】
【発明の効果】本発明の組成物を用いることにより、側
壁にマウスバイト、グージまたはフットのような欠陥を
持たないレリーフ画像（たとえばフォトレジストパター
ン等）を形成することが可能である。また本発明の組成
物は現像条件に対する許容度が大きく、種々の条件にお
いても良好なレリーフ画像を与える。
壁にマウスバイト、グージまたはフットのような欠陥を
持たないレリーフ画像（たとえばフォトレジストパター
ン等）を形成することが可能である。また本発明の組成
物は現像条件に対する許容度が大きく、種々の条件にお
いても良好なレリーフ画像を与える。
Claims (7)
- 【請求項１】 画像状の露光および現像において良好な
側壁形状を与えるために処方された光重合性組成物であ
って、前記組成物が： （ａ）２０，０００から１６０，０００の範囲の重量平
均分子量を有するポリマー結合剤であって、前記結合剤
が： （Ａ）w （Ｂ）x （Ｃ）y （Ｄ）z （式Ｉ）または （Ａ）w （Ｂ）x （Ｃ）y （Ｄ）z （Ｅ）u （式Ｉ
Ｉ） を化学式を有するポリマーを有し、ここで、Ａは置換さ
れたまたは無置換のＣ4 −Ｃ10アルキルメタクリレート
であり、Ｂは置換されたまたは無置換のＣ4 −Ｃ10アル
キルアクリレートであり、Ｃはメタクリル酸メチルおよ
びメタクリル酸エチルから成る群から選択され、Ｄはメ
タクリル酸およびアクリル酸から成る群から選択され、
Ｅはスチレンであり；およびここでｗ、ｘ、ｙおよびｚ
は前記ポリマー結合剤のコモノマーの重量％であり、ｗ
が５から４０％、ｘが５から４０％、ｙが１０から７０
％、ｚが１５から３０％、およびｕが１から３０％であ
る、前記ポリマー結合剤と； （ｂ）少なくとも一つのエチレン性不飽和モノマーと； （ｃ）光開始剤または光開始剤系から成る群から選択さ
れる少なくとも１つの成分と で実質的に構成され、前記光重合性組成物が成分（ａ）
の中和または部分的中和に用いられる塩基性化合物を含
有しないことを条件として伴うことを特徴とする光重合
性組成物。 - 【請求項２】 請求項１に記載の組成物において、式Ｉ
のポリマー結合剤を含有することを特徴とする組成物。 - 【請求項３】 請求項２に記載の組成物において、Ａが
置換または無置換のＣ4 −Ｃ8 アルキルメタクリレート
であり、およびＢが置換または無置換のＣ4−Ｃ8 アル
キルアルキレートであることを特徴とする組成物。 - 【請求項４】 請求項３に記載の組成物において、Ａが
置換または無置換のＣ４−Ｃ６アルキルメタクリレート
であり、およびＢが置換または無置換のＣ４−Ｃ６アル
キルアルキレートであることを特徴とする組成物。 - 【請求項５】 請求項４に記載の組成物において、Ａが
メタクリル酸ブチルであり、Ｂがアクリル酸ブチルであ
り、Ｃがメタクリル酸メチルであり、およびＤがメタク
リル酸であることを特徴とする組成物。 - 【請求項６】 請求項２に記載の組成物において、前記
ポリマー結合剤が４０，０００から１００，０００の範
囲の重量平均分子量を有し、および、ｗが１０から４０
％であり、ｘが１０から２０％であり、ｙが３０から６
０％であり、およびｚが２０から３０％であることを特
徴とする組成物。 - 【請求項７】 請求項６に記載の組成物において、前記
ポリマー結合剤が５５，０００から６５，０００の範囲
の重量平均分子量を有し、および、ｗが２２から２７％
であり、ｘが１５から２０％であり、ｙが３０から４０
％であり、およびｚが２０から２５％であることを特徴
とする組成物。
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