JP3689244B2 - 改善された側壁形状および現像許容度を有する光重合性組成物 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、改善された光重合性組成物の範囲にあり、前記光重合性組成物が処理されて、改善された側壁形状および現像許容度を有する浮き彫り画像（たとえば、イメージされたフォトレジストパターンまたはイメージされたプルーフィングあるいはフレキソ印刷版のパターン）を生成することができる。
【０００２】
【従来の技術】
光重合性組成物はたとえば銅被覆ガラスエポキシなどの基板上のフォトレジスト（またはレジスト）層を形成することに使用されて、続いてたとえば選択的エッチングまたは電気メッキなどの基板の選択的処理を可能にする。光重合性組成物はイメージされた基板上の恒久的なハンダマスク層を形成することにも同様に使用されて、印刷回路板（ＰＣＢ）製造におけるハンダ付けの後の工程の間、ハンダにさらされることから下にある回路線を保護する。印刷回路板（ＰＣＢ）の製造に対するフォトレジストおよびハンダマスクの使用は以下に記載されている：“フォトレジスト−材料およびプロセス（Photoresist - Materials and Processes)”、ウィリアム・エス・デフォレスト(William S. DeForest) 著、マグローヒル(McGraw-Hill) 、１９７５年；“印刷回路ハンドブック(Printed Circuits Handbook) ”、クライド・エフ・クームス・ジュニア(Clyde F. Coombs, Jr.)編、マグローヒル(McGraw-Hill) 、１９８８年（第３版）；および、“印刷回路製造のハンドブック(Handbook of Printed Circuit Manufacturing) ”、レイモンド・エイチ・クラーク(Raymond H. Clark)著、ヴァン・ノストランド・ラインホルド(Van Nostrand Reinhold) 、１９８５年。光重合性レジスト材料は、たとえば、米国特許第３，４６９，９８２号により知られており、前記特許はカバーシートと一時的支持体との間の光重合性層の形をとったサンドイッチ構造を有するフィルムレジストを記載している。塗布するための溶媒の実質的に全部を除去した光レジストおよびハンダマスク製品は乾燥フィルムとして知られている。印刷産業におけるオフプレス(off-press) プルーフィングのための光重合性プルーフィングフィルムは、“カラープルーフィングの原理(Principles of Color Proofing)”、マイケル・エイチ・ブルーノ(Michael H. Bruno)著、ガマ・コミュニケーションズ(GAMA Communications, Salem, NH)、１９８６年に記載されている。フレキソ印刷版に使用するためのフレキソ印刷フォトポリマーフィルムの使用は、“フレキソ印刷−原理と実際(Flexography - Principles and Practices)”、第４版、フレキソ印刷技術連合財団(Foundation of Flexographic Technical Association, Ronkonkoma, NY)、１９９２年に記載されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
より微細な線／間隔に向けて印刷回路板の技術レベルが高まるのにしたがって、そのような回路板を製造するのに使用されるフォトレジスト材料にかかる要求が大きくなる。同様にこの要求はレジストの配合者により大きな負担をかけて、製造水準の低下またはフォトレジスト製品の製造コストの増大を伴うことなく、改善された性能に適合させる。同様の考察がプルーフィングおよびフレキソ印刷における光重合性組成物の使用に対して適合する。
【０００４】
微細な線／間隔を有する印刷回路板（ＰＣＢ）の製造における使用のために、イメージングにおいて、露光されそして現像されたフォトレジストが良好な側壁形状を有するパターンを与えるような性質を、用いられるフォトレジストが有することが重大である。良好な側壁形状とは、たとえば、側壁が滑らかであり、平面であり、および基板表面に関して９０度の角度をなして、およびマウスバイト(mousebites)、グージ(gouges)、フット(foot(s)) などの欠陥が無い等である。良好な側壁形状を与えるフォトレジストは、印刷回路板製造において、良好な側壁形状を与えないその他の対照のフォトレジストに比べて、良好に機能する。良好な側壁形状を与えるフォトレジストは、印刷回路板製造において良好な側壁形状を与えないその他の対照のフォトレジストで行うことに比べて、通常は高い解像度を示し、より微細な線／間隔の製造に有用であり、およびより少ない欠陥とより高い収量を与える。
【０００５】
本発明の組成物に多少関係した光重合性組成物が、１）特開平７−３３３８４６号公報および２）特開平４−１５３２７５号公報に開示されている。前者（＃１）は２つの結合剤成分を含有する結合剤系を含有して、および単一の結合剤を有するいかなる組成物も含有しない光重合性組成物を開示している。後者（＃２）は塩基性化合物による結合剤の酸官能基の中和または部分的な中和により水性媒質中に分散される電着組成物を開示している。
【０００６】
特開平７−３３３８４６号公報において開示された組成物のような２つまたは３つ以上の結合剤成分を含有する組成物が、いくつかの用途に対してフォトレジストとして役立つとしても、それら組成物は、特に微細な線および間隔を有する当該技術水準のＰＣＢを作成するために必要な高解像度用途において、それら組成物の使用に関してしばしば制限を有する。特に、２つまたは３つ以上の結合剤が、分子量、酸化、その他のようなそれらの性質が大いに異なると、そのとき２つまたは３つ以上の結合剤が互いにまたは残りのものとの完全な相溶性がなくなり、およびこの場合には結合剤が、光重合性組成物中に存在するときに、部分的にまたは実質上別個の相ドメインに分離することができ、およびしばしばそうなる。そのような相分離が起きたとき、それは現像の欠陥を与える。その欠陥とは、たとえば、特定のドメインが現像処理中により容易に洗い落とされること、およびレジストの側壁にグージまたはマウス・バイトが存在する欠陥のある側壁を与えることである。そのような複数の結合剤を有するレジストを用いたＰＣＢの製造において、そのような欠陥は微細な線／間隔を実現することに向けて非常に有害である。
【０００７】
良好な側壁形状および低い欠陥レベルを有するイメージされたレジストを与えるための、特に微細な線／間隔を有するイメージされたフォトポリマーパターン（たとえば、イメージされたレジスト）の生成を含む用途のための固有の性質を有する効果的な光重合性組成物に対する要求が常に存在する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
一つの実施の形態において、本発明は画像状の露光および現像により良好な側壁形状を与えるように処方された光重合性組成物であり、前記光重合性組成物が：
（ａ）２０，０００から１６０，０００の範囲の重量平均分子量を有するポリマー結合剤であり、前記ポリマー結合剤が：
（Ａ）_ｗ（Ｂ）_ｘ（Ｃ）_ｙ（Ｄ）_ｚ 式Ｉ または
（Ａ）_ｗ（Ｂ）_ｘ（Ｃ）_ｙ（Ｄ）_ｚ（Ｅ）_ｕ 式ＩＩ
の式を有するポリマーを具え、ここでＡは置換または無置換のＣ_４−Ｃ_１０アルキルメタクリレートであり、Ｂは置換または無置換のＣ_４−Ｃ_１０アルキルアクリレートであり、Ｃはメチルメタクリレートおよびエチルメタクリレートから成る群から選択され、Ｄはメタクリル酸およびアクリル酸から成る群から選択され、およびＥはスチレンであり；および
ここでｗ、ｘ、ｙ、ｚ、およびｕはポリマー結合剤中のコモノマーの重量％であり、ｗは２２から２７％、ｘは１５から２０％、ｙは３０から４０％、ｚは２０から２５％、およびｕは１から３０％である、ポリマー結合剤と；
（ｂ） 少なくとも一つのエチレン性不飽和モノマーと；
（ｃ） 光開始剤および光開始剤系から成る群から選択される、少なくとも一つの成分と；
で実質的に構成され、前記光重合性組成物が成分（ａ）の中和または部分的中和のために用いられる塩基性化合物を含まないという条件を伴うことを特徴とする。
【０００９】
他の実施の形態においては、本発明は画像状の露光および現像により良好な側壁形状を有するレリーフイメージを与えるためのプロセスであり、前記プロセスが：
（１）支持体および式Ｉまたは式ＩＩの光重合性組成物を具えた、光重合性要素を準備する工程と；
（２）前記光重合性要素の化学線に対する画像状に露光して、画像状に露光され光重合された要素を与える工程と；
（３）工程（２）の画像状に露光され光重合された要素を現像して、良好な側壁形状を有する浮き彫り画像を形成する工程と；
を具備することを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
改善された側壁形状および現像許容度を有する光重合性組成物を、関連する要素およびプロセスと一緒にして、ここで開示する。これらの光重合性組成物は、
（ａ）以上および以下に定義したようなアクリル系またはメタクリル系の共重合体の結合剤と；
（ｂ）少なくとも一つのエチレン性不飽和モノマーと：
（ｃ）光開始剤および光開始剤系から成る群から選択される少なくとも一つの成分とを含む。加えて、以下に記載したような必要に応じて有してもよい他の成分がこれらの組成物中に存在してもよい。
【００１１】
アクリル系またはメタクリル系の共重合体結合剤
良好な側壁形状および広い現像許容度を示す組成物のために、ポリマー結合剤の選択は本発明において重大である。驚くべきことに、置換または無置換のＣ₄ −Ｃ₁₀アルキルメタクリレートおよび置換または無置換のＣ₄ −Ｃ₁₀アルキルアクリレートを含むコモノマー成分を有する選択されたアクリル系またはメタクリル系の共重合体が、比較する（先行技術の）結合剤との関係において良好な側壁形状と広い現像許容度を達成するための、本発明の鍵であることが見いだされている。
【００１２】
具体的には、本発明の結合剤は以下の式を有するポリマーである。
【００１３】
（Ａ）_w （Ｂ）_x （Ｃ）_y （Ｄ）_z 式Ｉ または
（Ａ_w ）（Ｂ_x ）（Ｃ_y ）（Ｄ_z ）（Ｅ_u ） 式ＩＩ
ここでＡは置換または無置換のＣ₄ −Ｃ₁₀アルキルメタクリレートであり、Ｂは置換または無置換のＣ₄ −Ｃ₁₀アルキルアクリレートであり、Ｃはメチルメタクリレートおよびエチルメタクリレートから成る群から選択され、Ｄはメタクリル酸およびアクリル酸から成る群から選択され、およびＥはスチレンであり；および
ここでｗ、ｘ、ｙ、ｚ、およびｕはポリマー結合剤中のコモノマーの重量％であり、ｗは５から４０％、ｘは５から４０％、ｙは１０から７０％、ｚは１５から３０％、および（式ＩＩに対する）ｕは１から３０％である。好ましくは、ｗは１０から４０％、ｘは１０から２０％、ｙは３０から６０％、およびｚは２０から３０％である。より好ましくは、ｗは２２から２７％、ｘは１５から２０％、ｙは３０から４０％、ｚは２０から２５％、および（式ＩＩに対する）ｕは１５％である。
【００１４】
本発明のアクリル系またはメタクリル系の共重合体結合剤は２０，０００から１６０，０００の範囲の重量平均分子量（Ｍ_w ）を有する。好ましくはＭ_w は４０，０００から１００，０００の範囲にあり、およびより好ましくはＭ_w は５５，０００から６５，０００の範囲にある。
【００１５】
好ましい本発明のアクリル系またはメタクリル系の共重合体結合剤は上記の式の結合剤であり、ここでＡは置換または無置換のＣ₄ −Ｃ₈ アルキルメタクリレートであり、Ｂは置換または無置換のＣ₄ −Ｃ₈ アルキルアクリレートである。より好ましい本発明のアクリル系またはメタクリル系の共重合体結合剤は上記の式の結合剤であり、ここでＡは置換または無置換のＣ₄ −Ｃ₆ アルキルメタクリレートであり、Ｂは置換または無置換のＣ₄ −Ｃ₆ アルキルアクリレートである。さらにより好ましい本発明のアクリル系またはメタクリル系の共重合体結合剤は上記の式のポリマーであり、ここでＡはブチルメタクリレートであり、Ｂはブチルアクリレートであり、Ｃはメチルメタクリレートであり、およびＤはメタクリル酸である。最も好ましい本発明のアクリル系またはメタクリル系の共重合体結合剤は上記の式のポリマーであり、ここでＡはｎ−ブチルメタクリレートであり、Ｂはｎ−ブチルアクリレートであり、Ｃはメチルメタクリレートであり、およびＤはメタクリル酸である。
【００１６】
全体の結合剤の量は、所定の光重合性組成物の全成分に関して、一般的に重量部で４０％から８０％までである。
【００１７】
エチレン性不飽和モノマー
モノマーは光重合性組成物に重合する能力を付与して、および前記組成物の総合的性質に寄与する。効果的にそのようにするために、モノマーは化学線にさらされたときに重合を受ける能力のある少なくとも一つのエチレン性不飽和基を含有しなければならない。
【００１８】
好ましいモノマー化合物は多官能性であるが、ポリカプロラクトンのアクリレートエステルまたはメタクリレートエステルのような単官能性モノマーもまた使用できる。単独のモノマーとしてまたは他のものと組み合わせて用いることができる好適なモノマーは以下を含む：１，４−ブタンジオールジアクリレート、１，５−ペンタンジオールジアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、ヘキサメチレングリコールジアクリレート、１，３−プロパンジオールジアクリレート、デカメチレングリコールジアクリレート、デカメチレングリコールジメタクリレート、１，４−シクロヘキサンジオールジアクリレート、２，２−ジメチロールプロパンジアクリレート、グリセロールジアクリレート、グリセロールトリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ポリオキシエチル化トリメチロールプロパントリアクリレートまたはトリメタクリレート、ポリプロポキシル化トリメチロールプロパントリアクリレートまたはトリメタクリレートおよび米国特許第３，３８０，８３１号において開示されたような類似の化合物、２，２−ジ（ｐ−ヒドロキシフェニル）プロパンジアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、２，２−ジ（ｐ−ヒドロキシフェニル）プロパンジメタクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、ポリオキシエチル−２，２−ジ（ｐ−ヒドロキシフェニル）プロパンジメタクリレート、ビスフェノールＡジアクリレート、ビスフェノールＡのジ−（３−メタクリルオキシ−２−ヒドロキシプロピル）エーテル、ビスフェノールＡのジ−２−メタクリルオキシエチルエーテル、ビスフェノールＡのジ−（３−アクリルオキシ−２−ヒドロキシプロピル）エーテル、ビスフェノールＡのジ−２−アクリルオキシエチルエーテル、テトラクロロ−ビスフェノールＡのジ−（３−メタクリルオキシ−２−ヒドロキシプロピル）エーテル、テトラクロロ−ビスフェノールＡのジ−２−メタクリルオキシエチルエーテル、テトラブロモ−ビスフェノールＡのジ−（３−メタクリルオキシ−２−ヒドロキシプロピル）エーテル、テトラブロモ−ビスフェノールＡのジ−２−メタクリルオキシエチルエーテル、１，４−ブタンジオールのジ−（３−メタクリルオキシ−２−ヒドロキシプロピル）エーテル、トリエチレングリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ブチレングリコールジメタクリレート、１，３−プロパンジオールジメタクリレート、１，２，４−ブタントリオールトリメタクリレート、２，２，４−トリメチル−１，３−ペンタンジオールジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、１−フェニルエチレン−１，２−ジメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、１，５−ペンタンジオールジメタクリレート、１，４−ベンゼンジオールジメタクリレート、１，３，５−トリイソプロペニルベンゼン、およびポリカプロラクトンジアクリレート。
【００１９】
好ましいモノマーは、ポリエトキシル化トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、ポリエトキシル化ビスフェノールＡジメタクリレート、ポリプロポキシル化プロピレングリコールモノメタクリレート、およびポリプロポキシル化プロピレングリコールジメタクリレートを含む。
【００２０】
全モノマーの量は、所定の光重合性組成物の全成分に関して、一般に１０から５０重量部までである。
【００２１】
光開始剤または光開始剤系
単一の光開始剤または複数の成分を含有する光開始剤系もまた本発明の光重合性組成物中に存在する。光開始剤はハロゲン化−２，５−シクロヘキサジエノン、ベンゾフェノン、アルキルアリールケトンまたはジケトン種、またはそれらの混合物のような独特の種類のものでもよい。
【００２２】
フリーラジカルを生成する種々の光開始剤の任意のものを本発明に用いることができる。ベンゾフェノン誘導体が好適であり、それはベンゾフェノン、ビス−４，４′−ジメチルアミノベンゾフェノン（ミヒラーズケトン）、ビス−４，４′−ジエチルアミノベンゾフェノン（エチルミヒラーズケトン）、その他のアルキルアミノ基、クロロ、メトキシ、その他を用いて単一または複数で置換されたベンゾフェノン類のようなものである。好ましい化合物は、ベンゾフェノン、エチルミヒラーズケトン、およびミヒラーズケトンを含む。置換されたキサントン類、チオキサントン類、アントロン類、およびフルオレノン類も同様に有用な開始剤であり、アルキル、クロロ、およびアルコキシで置換されたチオキサントン類が好ましい。シサック(Sysak) の米国特許第４，３４１，８６０号に記載されたもののような置換されたシクロヘキサジエノン類もまた使用でき、好ましい化合物においてアルキルおよびトリクロロメチル置換基の双方を４位に有する。
【００２３】
有用なアルキルアリールケトン誘導体は、ベンゾイン、ピバロインのようなケトアルドニル(ketaldonyl)アルコール類、およびベンゾインアルキルエーテル類、ベンゾインアリールエーテル類のようなアシロインエーテル類、α−炭化水素置換芳香族アシロイン類、ベンゾインジアルキルケタール類、ベンジル、ベンゾインエステル類、Ｏ−アシル化オキシミノケトン類、およびα−アミノアセトフェノン誘導体のようなα−アミノケトン類を含む。９，１０−アントラキノン、１，４−ナフトキノン、およびフェナントレンキノンのような置換または無置換の多核性キノンもまた可能性のある開始剤である。
【００２４】
電子および／または水素供与体として好適な第３級アミンもまた開始系の一部として使用できる。特に好ましいのはたとえば４−ジメチルアミノ安息香酸エチルのような置換Ｎ，Ｎ−ジアルキルアミノベンゼン誘導体などの第３級芳香族アミンである。
【００２５】
本発明において有用なシクロヘキサジエノンは下式のものであり：
【００２６】
【化１】

【００２７】
ここでＡ、Ｂ、ＤおよびＥの各々は、水素、１個から９個の炭素原子のアルキル基、ブロモ、クロロ、６個から１０個の炭素原子のアリール基、アラルキル基（ここでアリール部は６個から１０個の炭素原子のものでありおよびアルキル部は１個から５個の炭素原子のものである）、アルカリール基（ここでアリール部は６個から１０個の炭素原子のものでありおよびアルキル部は１個から５個の炭素原子のものである）、１個から４個の炭素原子のアルコキシ基でもよく、および、ＡとＢとおよびＣとＤとが一緒に選ばれたときにベンゼン環を形成してもよく、ＦはＣＣｌ₃ またはＣＨＣｌ₂ であり；およびＧは１個から１８個の炭素原子のアルキル基および６個から１０個の炭素原子のアリール基でもよい。４−メチル−４−トリクロロメチル−２，５−シクロヘキサジエノンのような具体的なシクロヘキサジエノン化合物はシサック(Sysak) の米国特許第４，３４１，８６０号の第２欄第５０行から第３欄第３７行に開示されている。シクロヘキサジエノン化合物を光開始剤系の一部として他の化合物と組みわせて使用してもよい。
【００２８】
有用なジケトンは、ビアセチル、２，３−ジベンゾイル−２−ノルボルネン、ベンゾイルベンザルクロリド、２，２−ジブロモ−２−（フェニルスルホニル）プロパンジオン、α−ナフチル、２，３−ボルナンジオン、フェニルピルビン酸および２，４−ペンタンジオンを含む。用いられることができる典型的キノンは４−ベンゾキノン、２−ベンゾキノンジアジド、アントラキノン、２−メチルアントラキノン、、２，６−ジメトキシアントラキノン、２，４，８−トリクロロアントラキノン、アミノアントラキノン、１，４−ナフトキノン誘導体およびフェナントレンキノン類を含む。
【００２９】
光開始剤として同様に有用なものは、米国特許第３，４７９，１８５号、第３，７８４，５５７号、第４，３１１，７８３号および第４，６２２，２８６号に開示されたもののような連鎖移動剤または水素供与体と組み合わされた２，４，５−トリフェニルイミダゾールダイマーである。好ましいヘキサアリールビイミダゾール（ＨＡＢＩ）類は２−オルト−クロロ置換ヘキサアリールビイミダゾール類であり、ここでフェニルラジカル上の他の位置は無置換またはクロロ、メチルあるいはメトキシで置換される。この種類の幾つかの明確な好ましい開始剤は、オルト−クロロ−ＨＡＢＩ（ｏ−Ｃｌ−ＨＡＢＩ）すなわち２，２′−ビス（２−クロロ−フェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニル−１，１′−ビ−１Ｈ−イミダゾール、ｏ−ＥｔＯ−ＨＡＢＩすなわち２，２′−ビス（２−エトキシフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニル−１，１′−ビ−１Ｈ−イミダゾール、ＴＣＴＭ−ＨＡＢＩすなわち２，２′，４，４′−テトラ（２−クロロフェニル）−５，５′−ビス（３，４−ジメトキシフェニル）−１，１′−ビ−１Ｈ−イミダゾール、およびＣＤＭ−ＨＡＢＩすなわち２，２′−ビス（２−クロロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラキス（３−メトキシフェニル）１，１′−ビ−１Ｈ−イミダゾールを含む。
【００３０】
フォトポリマー組成物中で連鎖移動剤として機能する水素供与体化合物は：Ｎ−フェニルグリシン、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾチアゾール、４−メチル−４Ｈ−１，２，４−トリアゾール−３−チオール、その他；同じくマクラクラン(MacLachlan)の米国特許第３，３９０，９９６号の第１２欄第１８行から第５８行に開示された多様な種類の化合物、たとえば（ａ）エーテル類、（ｂ）エステル類、（ｃ）アルコール類、（ｄ）アリル型水素またはベンジル型水素を含有する化合物類、（ｅ）アセタール類、（ｆ）アルデヒド類、および（ｇ）アミド類を含む。ビイミダゾール種の開始剤およびＮ−ビニルカルバゾールの両方を含む系において使用するための好適な水素供与体化合物は５−クロロ−２−メルカプトベンゾチアゾール；２−メルカプトベンゾチアゾール；１Ｈ−１，２，４−トリアゾール−３−チオール；６−エトキシ−２−メルカプトベンゾチアゾール、４−メチル−４Ｈ−１，２，４−トリアゾール−３−チオール；１−ドデカンチオール；およびそれらの混合物である。
【００３１】
いくつかの好ましい光開始剤および光増感剤は、（上述したような）選択されたＨＡＢＩ類、ベンゾフェノン、エチルミヒラーズケトン、ｐ−ジアルキルアミノベンズアルデヒド類、ｐ−ジアルキルアミノ安息香酸アルキルエステル類、シクロヘキサジエノン類、キサントン類、チオキサントン類、ベンジルのジアルキルケタール類、アミノアセトフェノン類、ベンゾイン、ベンゾインジアルキルエーテル類またはこれらの組み合わせであり、ここでアルキルは１個から４個の炭素原子を含有する。
【００３２】
合計の光開始剤または光開始剤系の量は、与えられた光重合性組成物の全成分に関して、一般に重量部で０．５％から１０％までである。
【００３３】
一時的支持体
フォトレジスト塗膜のための支持体フィルムとして用いることが知られている任意の支持体フィルムを本発明に使用することができる。好ましくは温度変化に対する高い程度の寸法安定性を有する一時的支持体フィルムは、広範な種類のポリアミド類、ポリオレフィン類、ポリエステル類、ビニルポリマー類およびセルロースエステル類から選択されてもよく、および約６から約２００マイクロメートルの厚さを有してもよい。特に好適な支持体フィルムは約２０マイクロメートルの厚さを有するポリエチレンテレフタレートである。
【００３４】
必要に応じて有してもよい材料または添加剤
カバーフィルム
慣用のフォトレジスト要素においては、ロール形態において貯蔵されるときの粘着を防止するために、除去可能なカバーフィルム（カバーシート）によって光感受性層を保護することが必要であるかまたは高度に望ましい。保護カバーフィルムは基板に対する光画像形成可能な要素のラミネーションに先立って除去される。
【００３５】
保護カバーフィルムは上記の一時的支持体フィルムのために記載された高重合体フィルムと同一の群から選択されてもよく、および同一の厚さの範囲を有してもよい；しかし、支持体（たとえばポリエステル層）とフォトポリマー（たとえばレジスト）の接着力に比較してフォトポリマーとの低い接着力を有するカバーシートを使用することが好ましい。２５ミクロンの厚さのポリエチレンまたはポリプロピレンが特に好適である。
【００３６】
その他の成分
フォトポリマー組成物に慣用的に加えられる他の化合物も同様に塗膜中に存在して、フィルムの物理的性質を変更してもよい。そのような成分は：接着力調節剤、熱安定化剤、光酸化剤、染料および顔料のような着色剤、架橋剤、粘度制御剤、塗布助剤、湿潤剤、剥離剤、およびその他同等のものを含む。
【００３７】
いくつかのヘテロ環キレート化合物は、いくつかの他の化合物と同様に、銅被覆された基板への塗膜の接着を改善し、および／または処理中の残渣の形成を防止する。好適なヘテロ環化合物は、ハーリー(Hurley)等の米国特許第３，６２２，３３４号、ジョーンズ(Jones) の米国特許第３，６４５，７７２号およびウィード(Weed)の米国特許第４，７１０，２６２号において開示されたもののような物質を含む。好ましいヘテロ環成分は、ベンゾトリアゾール、５−クロロベンゾトリアゾール、１−クロロベンゾトリアゾール、４−および５−カルボキシベンゾトリアゾール、１−ヒドロキシベンゾトリアゾール、２−メルカプトベンズオキサゾール、１Ｈ−１，２，４−トリアゾール−３−チオール、５−アミノ−１，３，４−チアジアゾール−２−チオール、およびメルカプトベンズイミダゾールを含む。クエン酸はこの方法において効果的な非ヘテロ環キレート化合物の例であり、塗膜の接着を改善し、および／または残渣の形成を防止する。
【００３８】
種々の背景の染料を組成物に添加して組成物の色を強調し、および銅基板とのコントラストを付与することができる。使用されるいかなる着色剤も、使用される化学線に対して比較的に透明でなければならない。加えて光重合組成物は、たとえば接着力促進剤／調節剤、可塑剤、界面活性剤、染料、顔料、充填剤およびその他の材料などの、添加されて組成物の特性に影響を与える種々の他の添加剤を含有することができる。
【００３９】
光重合性塗膜をソルダーマスクのような永久的レジストとして使用するときには、化学的にあるいは熱的に活性化される架橋剤を組み込んで、機械的または化学的性質を改善してもよい。本発明に有用な好適な架橋剤は先行技術の架橋剤であり、およびガーヴェイ(Gervay)の米国特許第４，６２１，０４３号、およびガイスラー(Geissler)等の米国特許第４，４３８，１８９号に開示されたものと同様にイイムレ(Iimure)の米国特許第４，９６１，９６０号に開示されたものを含み、ポリイソシアナート化合物とイソシアナート基ブロッキング剤との付加物、およびメラミン類、ウレア類、ベンゾグアナミン類等を用いたホルムアルデヒド縮合樹脂類のようなものを含む。
【００４０】
フォトレジスト要素用途
好ましい実施の形態において、本発明のプロセスはイメージングプロセスであって、エッチングまたはメッキのような印刷回路の作成において発生するその後の処理工程を可能にするためのレジスト画像を銅被覆された基板上に作成するプロセス、あるいは印刷回路板上にハンダに抵抗力のある画像を形成する永久的塗膜を作成するプロセスである。製造された印刷回路の種類は、片面、両面または複数層を持つものであってもよい。
【００４１】
主要なイメージングプロセスに関しては、光重合性レジスト塗膜層は液体として、またはセレステ(Celeste) の米国特許第３，４６９，９８２号に記載されたものに類似のラミネーションプロセスを用いる多層の転写要素からの予備成形された乾燥フィルムとして、付着される。多層のフォトレジスト塗膜要素は、一時的支持体フィルム（たとえばポリエチレンテレフタレート）、光画像形成可能レジスト塗膜、および好ましくは除去可能なカバーシート（たとえばポリエチレンまたはポリプロピレン）をこの順序に有する。本発明の光重合性塗膜層は、銅被覆された基板上で用いるときには、１０から１００ミクロンまで（０．４から４ｍｉｌ）の合計厚さの範囲で存在する。もしカバーシートが存在すれば、それは最初に除去され、そしてレジスト塗膜の暴露された表面があらかじめ清浄にされた基板の銅被覆された表面に熱および／または圧力を、たとえば慣用の熱ロールラミネータを、用いてラミネートされる。その積層物は典型的には一時的支持体フィルムを通して化学線に対して画像状にさらされるが、いくつかの場合においては、その支持体フィルムはイメージング前に除去されて解像度およびその他の前述の性質を改善してもよい。
【００４２】
付着された光画像形成可能なレジストは次に化学線に対して画像状にさらされて露光された区域が硬化あるいは不溶化する。次にすべての未露光の区域は典型的には水性の０．８５％炭酸ナトリウム現像剤溶液を用いて３０℃において完全に除去される。前記現像剤溶液は、露光された区域の結着性または接着力に有害な影響を与えることなく、２分以内に未露光の区域を選択的に溶解、剥離あるいは分散する。基板上の現像されたレジスト画像は次に回路の作成におけるさらなる処理工程、たとえば電解酸性銅メッキ(electrolytic acid copper plating)または銅エッチングプロセスなど、にさらされる。ひとたびさらされたフォトレジストがその機能を果たしてしまえば、一般にそのレジストは水性の水酸化物を基盤とする剥離溶液によって回路基板から除去される。前記剥離溶液が有機アミンまたは溶媒を含有して剥離速度を改善するかあるいは金属の侵食または汚染を最少化してもよい。
【００４３】
定義
良好な側壁形状
露光されかつ現像されたフォトレジストの良好な側壁は、目視検査において、（ａ）レジストの壁またはレジストの表面上に欠陥、すなわちグージ(gouge) 、穴またはマウスバイト(mousebite) 、を実質的に示さないもの、（ｂ）特にレジストの上部端においておよび画像の壁面上に、現像液による侵食または膨潤を実質的に示さないもの、（ｃ）基板表面の平面に対して垂直な平面内に存在する平面状の側壁を有するもの、（ｄ）基板表面におけるレジストのアンダーカット（負の足）を実質的にもたないもの、（ｅ）レジストの基部が、レジストがないと意図された区域への、特に不規則な、拡張（正の足）を実質的にもたないもの、および（ｆ）広い範囲の露光および現像条件においてこれらの特徴を示すもの、である。
【００４４】
劣等な側壁形状
上述した１つまたは２つ以上の欠陥を示す側壁。
【００４５】
除去時間
銅積層物の表面から未露光のフォトレジストを洗い流すか、溶解するか、あるいは分散するために現像液に必要な時間（単位は秒）。
【００４６】
ブレークポイント
銅積層物の表面から未露光のフォトレジストが洗い流されるか、溶解されるか、あるいは分散されるコンベア化された噴霧現像機内への距離のパーセント。たとえば、２５％ブレークポイントは未露光レジストの２５％が除去される現像剤チャンバーを通る経路の点である。フォトレジストの画像形成された区域は除去時間の４倍にわたり現像剤チャンバー内にある。７５％ブレークポイントは現像剤チャンバーへの経路の７５％である。フォトレジストの画像形成された領域は、除去時間のわずか１．５倍にわたって現像剤内にある。
【００４７】
現像の許容度
低露光エネルギー／低ブレークポイントを含めて種々の露光および現像条件下で良好な側壁を再現するレジストの能力。良好および劣悪な現像の許容度を有するレジストは、それぞれ種々の露光および現像条件において良好な側壁を再現するための比較的高いおよび比較的低い能力を有するようになる。
【００４８】

＊＊ 各結合剤（ポリマー）について、組成をコモノマーおよびポリマー中に存在するコモノマーの重量パーセントで与える。各コモノマーの重量パーセントを各所定のポリマーのコモノマーのリスト内にその順序に与える。Ｍ_w は所定のポリマーの重量平均分子量である。
【００４９】
その他の処方の成分
【００５０】
【表１】

＊ 上述の各場合において化合物名の横の番号は与えられた化合物のＣＡＳ登録番号（ＣＡＳ＃）である。
【００５１】
【実施例】
別に示さない限り、すべての温度は摂氏温度で示され、およびパーセントは重量パーセントである。
【００５２】
すべての（本発明のおよび対照の）結合剤は重合技術の当業者に知られている重合技術（たとえば、乳化、懸濁および／または溶液）を用いて調製された。
【００５３】
これらの実施例においては、所定の本発明の結合剤を含有する光重合性組成物を、対応する所定の比較する結合剤を含有する光重合性組成物に対する比較に基づいて評価した。実施例の多くにおいて、各々別個の対照の結合剤を有するいくつかの比較組成物がある。
【００５４】
これらの実施例においてサンプルを準備することおよびテストすることのために用いられた一般的方法は、具体的な実施例において別に指示されない限り、以下に概説したようなものである。
【００５５】
塗布溶液
・ 各実施例の組において、十分な量の原液を調製した。全ての塗布溶液は、アセトン／メタノールの８８／１２重量％の混合物中で、塗布されるべき溶液中に約５０％の固体を与える固体濃度で調製された。原液はいかなる結合剤も含有しなかったが、塗布溶液のためのその他の全ての材料（成分）を含有した。
【００５６】
・ 原液を適切な数の個別の塗布溶液サンプルに分割した。
【００５７】
・ 所定のサンプルについて、評価中の結合剤をその所定の個別の塗布溶液サンプルに加えた。
【００５８】
・ 塗布溶液サンプルをすべての成分が溶解するまで攪拌した。
【００５９】
塗布
・ 個別の塗布溶液はドクターブレードを用いてキャストして、望む乾燥厚さを与えた。すべての塗布溶液は、アセトン／メタノールの８８／１２重量％の混合物中で、最終的な塗布溶液サンプル中に約５０％の固体を与える固体濃度で調製された。
【００６０】
・ 塗膜は一時的なポリエステル支持体上に作成されて、典型的には７５ゲージ(gauge) の厚さを有した。
【００６１】
・ キャストされた溶液は、好ましくは一晩中、環境温度で風乾することが許されて、評価のための各乾燥フィルムサンプルを与えた。
【００６２】
・ 板状の塗膜に対して、ポリエチレン保護層（カバーシート）を付着しなかった。
【００６３】
・ これらの実施例の各光重合性組成物は、以下の２つの異なるポリエステルサンプルの一つまたは両方の上に塗布された。一方のポリエステル（ポリエステル１）は７５ＧＦ Ｍｙｌａｒ（登録商標）（イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー(E. I. DuPont de Nemours and Company, Wilmington, DE) ）であって、他方（ポリエステル２）はテイジン７５Ｇ２ポリエステル（テイジン・リミテッド、千代田区、東京、日本）であった。
【００６４】
テストサンプルの調製
・ 用いられた基板はブラシでこすって洗われた銅被覆されたガラス／エポキシ積層物であった。
【００６５】
・ 塗膜（乾燥フィルム）の基板に対するラミネーションはデュポンの熱ロールラミネータ（デュポン(Du Pont, Wilmington, DE) ）を用いて行われて、１０５℃において１．２メートル毎秒の速度で通常のニップ圧を用いて運転された。
【００６６】
・ 各乾燥フィルムサンプルの露光は、２０ミクロンから２００ミクロンまでの線／間隔の形状を有する銀製アートワークを使用して、かつストーファー(Stouffer)４１階段光学くさび上の適当なステップを保持するように選択された露光エネルギーを用いたデュポンＰＣ５３０プリンタ（デュポン・カンパニー(Du Pont
Co., Wilmington, DE) ）を用いて行われた。
【００６７】
・ （露光水準はストーファー(Stouffer)４１−濃度段階タブレット上の保持されたステップによって特徴づけられて、露光は光ツールを通して行われて、イメージングの完了時に、１００ミクロン幅のフォトレジスト線を与えた。）
・ 露光に続いて、露光された乾燥フィルムサンプルの各々の現像を１％無水炭酸ナトリウムを含有する現像剤の中で行い、現像は３０℃（華氏８５度）で軟水のすすぎの使用を伴って行った。
【００６８】
・ 現像速度は、除去時間（レジストの除去のために現像剤チャンバー内で必要な時間）に基づいて調節されて、評価中の各結合剤について適当なブレークポイントを得た。
【００６９】
・ 種々の露光レベル、現像ブレークポイントおよびポリエステルの種類についてデータを得た。
【００７０】
・ レジストが取り除かれる（すなわち、レジストが銅積層物から取り除かれる）現像剤の現像チャンバーの中への距離のパーセントであるブレークポイントは目視観測により決定した。
【００７１】
ＳＥＭ分析
・ ＳＥＭ分析のための所定のサンプルは現像されたパネルの１００ミクロン線／間隔の組から得られた。
【００７２】
・ 用いられたＳＥＭはＩＳＩ ＡＢＴ（現在はトプコン(Topcon)として知られている）製のモデルＳＲ５０Ａ ＳＥＭ装置であった。
【００７３】
・ 各サンプルについて、５００倍の倍率において顕微鏡写真を得た。
【００７４】
・ 以下に示した半定量的ＳＥＭ評価スケールを用いて画像形成されたフォトレジストの側壁形状の品質について、顕微鏡写真を視覚的に評価した。
【００７５】
ＳＥＭ評価スケール
・ レジスト側壁の３つの部分、すなわちレジストの上端、レジストの中央（側壁）、レジストの基部（所定のパネルのレジスト／銅界面において）を評価した。
【００７６】
・ レジストの各部分について＋２（最良）から−２（最悪）の評価スケール；全ては顕微鏡写真の目視観測に基づいている。
【００７７】
・ レジストの頂部の端
・ ＋２はライン端の膨潤が無いことを意味する。
【００７８】
・ −２は明白なノーズ(nose)を伴う重度の膨潤を意味する。最悪の場合においては、そのノーズがのこぎり状の外観を伴って非常にうねっている。
【００７９】
・ レジストの中央
・ ＋２は目にみえる侵食も膨潤も持たない滑らかな側壁を意味する。
【００８０】
・ −２はレジスト中にグージ(gouge) またはマウスバイト(mousebite) （すなわちレジスト部分が欠けていること）の外観を伴う重度の侵食を意味する。
【００８１】
・ レジストの基部
・ ＋２は、正の足も負の足もほとんどなく、グージもマウスバイトも無いことを意味する。
【００８２】
・ −２はマウスバイトおよびグージの外観を伴う明白な正の足または負の足を意味する。
【００８３】
・ 正の評価が大きい程、画像形成されたレジストの品質が良好であり、および印刷回路板製造において、画像形成されたレジストが良好に形成された欠陥のない線／間隔を与える性質が高い。
【００８４】
・ 最良の場合について理想的には、レジストは基板（銅積層物）表面の平面に対して垂直な平面内にある完全に平面状の側壁を与えるべきである。これは＋２の場合である。
【００８５】
・ Ｒの和(sum R) はレジスト側壁の頂部、中央、および基部についての３つの個別の評価の数の和である。これらの数値は実施例の表中に与えられる。Ｒの和の値における見積もり誤差は９９％信頼係数において０．９以下である。
【００８６】
（実施例１）
この実施例において、１Ａ−Ｅと呼ばれる光重合性組成物が調製され、そして上述の半定量的スケールを用いて側壁の品質について評価された。これらの組成物は、結合剤の選択を除いて同一のものであり、その結合剤の選択は表２に示したように変更された。これらの組成物（１Ａ−Ｅ）のその他の成分は表１６に記載されたようなものであった。結合剤組成物は用語集内で与えられる。この実施例においては、Ｉ−１−ａが本発明の結合剤（本発明の範囲内）であり、一方では他の結合剤（Ｃ−１、Ｃ−２−ａ、Ｃ−２−ｂ、Ｃ−３）が対照の結合剤（本発明の範囲外）である。この実施例における紫外線の露光はストーファー(Stouffer)４１−濃度段階タブレットを使用して現像中にステップ１４が保持されるような水準においてであった。現像は２５％ブレークポイントで処理された。得られた結果は表２に要約される。
【００８７】
【表２】

記号：
種類はサンプルの種類であり：Ｉは本発明のもの、Ｃは対照のものを表す；
T/M/B は上述のようにそれぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレジストの基部についての個別の評価である。
【００８８】
Ｒの和はレジスト側壁の頂部、中央、基部についての３つの個別の評価の数字の和である。
【００８９】
この実施例は本発明のＩ−１−ａ結合剤を含有するサンプル１Ａが、それぞれ異なる対照の結合剤（本発明の範囲外）を有するその他のサンプルに比較して、著しく改善された側壁形状を示したことを明らかにする。本発明のＩ−１−ａ結合剤は、いずれの支持体（ポリエステル１またはポリエステル２）を用いた対照の結合剤よりも著しく良好に機能した。
【００９０】
（実施例２）
この実施例において、２Ａ−Ｅと呼ばれる光重合性組成物が調製され、そして上述の半定量的スケールを用いて側壁の品質について評価された。これらの組成物は、結合剤の選択を除いて同一のものであり、その結合剤の選択は表３に示したように変更された。これらの組成物（２Ａ−Ｅ）のその他の成分は表１６に記載されたようなものであった。結合剤組成物は用語集内で与えられる。この実施例においては、Ｉ−１−ａが本発明の結合剤（本発明の範囲内）であり、一方では他の結合剤（Ｃ−１、Ｃ−２−ａ、Ｃ−５、Ｃ−６）が対照の結合剤（本発明の範囲外）である。この実施例における紫外線の露光はストーファー(Stouffer)４１−濃度段階タブレットを使用して現像中にステップ１４またはステップ１９のいずれかが保持されるような水準においてであった。現像は２５％ブレークポイントで処理された。得られた結果は表３に要約される。
【００９１】
【表３】

記号：
種類はサンプルの種類であり：Ｉは本発明のもの、Ｃは対照のものを表す；
T/M/B は上述のようにそれぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレジストの基部についての個別の評価である。
【００９２】
Ｒの和はレジスト側壁の頂部、中央、基部についての３つの個別の評価の数字の和である。
【００９３】
この実施例は本発明のＩ−１−ａ結合剤を含有するサンプル２Ａが、それぞれ異なる対照の結合剤（本発明の範囲外）を有するその他のサンプルに比較して、著しく改善された側壁形状を示したことを明らかにする。本発明のＩ−１−ａ結合剤を用いたサンプル２Ａの結果は、ステップ１４およびステップ１９の双方における露光に関して、および支持体としてポリエステル１を使用した対照の結合剤の組成物に比較して著しく良好であった。
【００９４】
（実施例３）
この実施例において、３Ａ−Ｃと呼ばれる光重合性組成物が調製され、そして上述の半定量的スケールを用いて側壁の品質について評価された。これらの組成物は、結合剤の選択を除いて同一のものであり、その結合剤の選択は表４に示したように変更された。これらの組成物（３Ａ−Ｃ）のその他の成分は表１６に列挙されたようなものであった。結合剤組成物は用語集内で与えられる。この実施例においては、Ｉ−１−ａが本発明の結合剤（本発明の範囲内）であり、一方では他の結合剤（Ｃ−１およびＣ−２−ａ）が対照の結合剤（本発明の範囲外）である。この実施例における紫外線の露光はストーファー(Stouffer)４１−濃度段階タブレットを使用して現像中にステップ１４またはステップ１９のいずれかが保持されるような水準においてであった。現像は２５％ブレークポイントで処理された。得られた結果は表４に要約される。
【００９５】
【表４】

記号：
種類はサンプルの種類であり：Ｉは本発明のもの、Ｃは対照のものを表す；
T/M/B は上述のようにそれぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレジストの基部についての個別の評価である。
【００９６】
Ｒの和はレジスト側壁の頂部、中央、基部についての３つの個別の評価の数字の和である。
【００９７】
この実施例は本発明のＩ−１−ａ結合剤を含有するサンプル３Ａが、それぞれ異なる対照の結合剤（本発明の範囲外）を有するその他のサンプル（３Ｂおよび３Ｃ）に比較して、著しく改善された側壁形状を示したことを明らかにする。本発明のＩ−１−ａ結合剤を用いたサンプル３Ａの結果は、ステップ１４およびステップ１９の双方における露光に関して、対照の結合剤の組成物に比較して著しく良好であった。
【００９８】
（実施例４）
この実施例において、４Ｄ−Ｆと呼ばれる光重合性組成物が調製され、そして上述の半定量的スケールを用いて側壁の品質について評価された。これらの組成物は、結合剤の選択を除いて同一のものであり、その結合剤の選択は表５に示したように変更された。これらの組成物（４Ｄ−Ｆ）のその他の成分は表１６に列挙されたようなものであった。結合剤組成物は用語集内で与えられる。この実施例においては、Ｉ−１−ａが本発明の結合剤（本発明の範囲内）であり、一方では他の結合剤（Ｃ−１およびＣ−２−ａ）が対照の結合剤（本発明の範囲外）である。この実施例における紫外線の露光はストーファー(Stouffer)４１−濃度段階タブレットを使用して現像中にステップ１４またはステップ１９のいずれかが保持されるような水準においてであった。現像は２５％ブレークポイントで処理された。得られた結果は表５に要約される。
【００９９】
【表５】

記号：
種類はサンプルの種類であり：Ｉは本発明のもの、Ｃは対照のものを表す；
T/M/B は上述のようにそれぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレジストの基部についての個別の評価である。
【０１００】
Ｒの和はレジスト側壁の頂部、中央、基部についての３つの個別の評価の数字の和である。
【０１０１】
この実施例は、本発明のＩ−１−ａ結合剤を含有するサンプル４Ｄが、それぞれ異なる対照の結合剤（本発明の範囲外）を有する他のサンプル（４Ｅまた４Ｆ）と比較して、著しく改善された側壁形状を示したことを明らかにする。本発明のＩ−１−ａ結合剤を有するサンプル４Ｄについての結果は、ステップ１４およびステップ１９の双方における露光について、および２５％現像ブレークポイントを用いた両者について対照の結合剤の組成物に比較して著しく良好であった。
【０１０２】
【実施例５】
この実施例において、５Ａ−Ｃと呼ばれる光重合性組成物が調製され、そして上述の半定量的スケールを用いて側壁の品質について評価された。これらの組成物は、結合剤の選択を除いて同一のものであり、その結合剤の選択は表６に示したように変更された。これらの組成物（５Ａ−Ｃ）のその他の成分は表１６に列挙されたようなものであった。結合剤組成物は用語集内で与えられる。この実施例においては、Ｉ−１−ａが本発明の結合剤（本発明の範囲内）であり、一方では他の結合剤（Ｃ−１およびＣ−２−ａ）が対照の結合剤（本発明の範囲外）である。この実施例における紫外線の露光はストーファー(Stouffer)４１−濃度段階タブレットを使用して現像中にステップ１４またはステップ１９のいずれかが保持されるような水準においてであった。現像は７５％ブレークポイントで処理された。得られた結果は表６に要約される。
【０１０３】
【表６】

記号：
種類はサンプルの種類であり：Ｉは本発明のもの、Ｃは対照のものを表す；
T/M/B は上述のようにそれぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレジストの基部についての個別の評価である。
【０１０４】
Ｒの和はレジスト側壁の頂部、中央、基部についての３つの個別の評価の数字の和である。
【０１０５】
この実施例は、本発明のＩ−１−ａ結合剤を含有するサンプル５Ａが、それぞれ異なる対照の結合剤（本発明の範囲外）を有する他のサンプルと比較して、著しく改善された側壁形状を示したことを明らかにする。本発明のＩ−１−ａ結合剤を有するサンプル５Ａについての結果は、ステップ１４およびステップ１９の双方における露光について、および７５％現像ブレークポイントを用いた両者について対照の結合剤の組成物に比較して著しく良好であった。
【０１０６】
（実施例６）
この実施例において、６Ｄ−Ｆと呼ばれる光重合性組成物が調製され、そして上述の半定量的スケールを用いて側壁の品質について評価された。これらの組成物は、結合剤の選択を除いて同一のものであり、その結合剤の選択は表７に示したように変更された。これらの組成物（５Ａ−Ｃ）のその他の成分は表１６に列挙されたようなものであった。結合剤組成物は用語集内で与えられる。この実施例においては、Ｉ−１−ａが本発明の結合剤（本発明の範囲内）であり、一方では他の結合剤（Ｃ−１およびＣ−２−ａ）が対照の結合剤（本発明の範囲外）である。この実施例における紫外線の露光はストーファー(Stouffer)４１−濃度段階タブレットを使用して現像中にステップ１４またはステップ１９のいずれかが保持されるような水準においてであった。現像は７５％ブレークポイントで処理された。得られた結果は表７に要約される。
【０１０７】
【表７】

記号：
種類はサンプルの種類であり：Ｉは本発明のもの、Ｃは対照のものを表す；
T/M/B は上述のようにそれぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレジストの基部についての個別の評価である。
【０１０８】
Ｒの和はレジスト側壁の頂部、中央、基部についての３つの個別の評価の数字の和である。
【０１０９】
この実施例は、本発明のＩ−１−ａ結合剤を含有するサンプル６Ｄが、それぞれ異なる対照の結合剤（本発明の範囲外）を有する他のサンプルと比較して、著しく改善された側壁形状を示したことを明らかにする。本発明のＩ−１−ａ結合剤を有するサンプル６Ｄについての結果は、ステップ１４およびステップ１９の両方における露光について、および７５％現像ブレークポイントを用いた両者について対照の結合剤の組成物に比較して著しく良好であった。
【０１１０】
（実施例７）
この実施例においては７Ａ−Ｄと呼ばれる光重合性組成物が調製されて、そして上述の半定量的スケールを用いて側壁の品質を評価した。これらの組成物は、結合剤の選択および光開始剤の選択を除いて同一であり、それらの選択が表８に示したように変化した。これらの組成物に関する全成分は表１７に記載されたようなものである（具体的な結合剤は表８に記載されたように変化する）。結合剤組成物は用語集内で与えられる。この実施例においては本発明の結合剤（本発明の範囲内）であり、一方他の結合剤（Ｃ−２−ａ）が 結合剤（本発明の範囲外）である。この実施例における紫外線露光はストーファー(Stouffer)−４１濃度段階タブレットを使用して現像中にステップ１４またはステップ１９のいずれかが保持されるような水準においてあった。現像は７５％ブレークポイントで処理された。得られた結果は表８に要約される。
【０１１１】
【表８】

記号：
種類はサンプルの種類であり：Ｉは本発明のもの、Ｃは対照のものを表す；
T/M/B は上述のようにそれぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレジストの基部についての個別の評価である。
【０１１２】
Ｒの和はレジスト側壁の頂部、中央、基部についての３つの個別の評価の数字の和である。
【０１１３】
サンプル７Ａ，Ｂはベンゾフェノンを基盤とした光開始剤系を用いた。
【０１１４】
サンプル７Ｃ，Ｄはｏ−Ｃｌ−ＨＡＢＩを基盤とした光開始剤系を用いた。
【０１１５】
この実施例は、本発明のＩ−１−ａ結合剤とともに２つの異なる光開始剤系のいずれかを有する光重合性組成物が、本発明ではない対照の結合剤（Ｃ−２−ａ）を有する対照の組成物に比較して、著しく改善された側壁形状を示したことを明らかにする。この実施例のすべての現像は７５％ブレークポイントにおいてであった。
【０１１６】
（実施例８）
この実施例は３つの異なる本発明の結合剤（Ｉ−１−ａ、Ｉ−２およびＩ−３）のそれぞれが、実施例９に比べて比較的低い架橋する性質を持った光重合性組成物の中に存在するときに、同一の光重合性組成物中に存在する対照の結合剤に比べて上質の側壁形状を与えたことを明らかにする。この実施例においては、８Ａ−Ｄと呼ばれる光重合性組成物が調製され、そして上述の半定量的スケールを用いて側壁の品質が評価された。これらの組成物は結合剤の選択を除いて同一であり、その選択は表９に記載されたように変化した。これらの組成物（８Ａ−Ｄ）のすべての成分は表１７に記載されたようなものであった（具体的な結合剤は表９に示したように変化した）。結合剤組成物は用語集の中で与えられる。この実施例においては結合剤Ｉ−１−ａ、Ｉ−２およびＩ−３が本発明の結合剤（本発明の範囲内）であり、一方その他の結合剤（Ｃ−２−ａ）が対照の結合剤（本発明の範囲外）である。この実施例における紫外線の露光はストーファー(Stouffer)４１−濃度段階タブレットを使用して現像中にステップ１９が保持されるような水準においてであった。現像は２５％ブレークポイント（ＢＰ）または７５％ブレークポイント（ＢＰ）のいずれかで処理された。得られた結果は表９に要約される。
【０１１７】
【表９】

記号：
種類はサンプルの種類であり：Ｉは本発明のもの、Ｃは対照のものを表す；
T/M/B は上述のようにそれぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレジストの基部についての個別の評価である。
【０１１８】
Ｒの和はレジスト側壁の頂部、中央、基部についての３つの個別の評価の数字の和である。
【０１１９】
光重合性組成物８Ａ−Ｄは、サンプル９Ｅ−Ｈ（表１０参照）に比べて、低い架橋する性質を有する。
【０１２０】
この実施例は、本発明のＩ−１−ａ、Ｉ−２およびＩ−３結合剤をそれぞれ含有するサンプル８Ａ、８Ｂおよび８Ｃが、対照の結合剤（Ｃ−２−ａ結合剤、本発明の範囲外）を有するサンプル８Ｄと比べて、著しく改善された側壁形状を示したことを明らかにする。
【０１２１】
（実施例９）
この実施例は３つの異なる本発明の結合剤（Ｉ−１−ａ、Ｉ−２およびＩ−３）のそれぞれが、実施例８に比べて比較的高い架橋する性質を持った光重合性組成物の中に存在するときに、同一の光重合性組成物中に存在する対照の結合剤に比べて上質の側壁形状を与えたことを明らかにする。この実施例においては、９Ｅ−Ｈと呼ばれる光重合性組成物が調製され、そして上述の半定量的スケールを用いて側壁の品質が評価された。これらの組成物は結合剤の選択を除いて同一であり、その選択は表１０に記載されたように変化した。これらの組成物（９Ｅ−Ｈ）のすべての成分は表１７に記載されたようなものであった（具体的な結合剤を除く、その結合剤は表１０に示したように変化した）。結合剤組成物は用語集の中で与えられる。この実施例においては結合剤Ｉ−１−ａ、Ｉ−２およびＩ−３が本発明の結合剤（本発明の範囲内）であり、一方その他の結合剤（Ｃ−２−ａ）が対照の結合剤（本発明の範囲外）である。この実施例における紫外線の露光はストーファー(Stouffer)４１−濃度段階タブレットを使用して現像中にステップ１９が保持されるような水準においてであった。現像は２５％ブレークポイント（ＢＰ）または７５％ブレークポイント（ＢＰ）のいずれかで処理された。得られた結果は表１０に要約される。
【０１２２】
【表１０】

記号：
種類はサンプルの種類であり：Ｉは本発明のもの、Ｃは対照のものを表す；
T/M/B は上述のようにそれぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレジストの基部についての個別の評価である。
【０１２３】
Ｒの和はレジスト側壁の頂部、中央、基部についての３つの個別の評価の数字の和である。
【０１２４】
光重合性組成物９Ｅ−Ｈは、サンプル８Ａ−Ｄ（表９参照）に比べて、高い架橋する性質を有する。
【０１２５】
この実施例は、それぞれ本発明のＩ−１−ａ、Ｉ−２およびＩ−３結合剤を含有するサンプル９Ｅ、９Ｆおよび９Ｇが、対照の結合剤（Ｃ−２−ａ結合剤、本発明の範囲外）を有するサンプル９Ｈと比べて、著しく改善された側壁形状を示したことを明らかにする。
【０１２６】
（実施例１０）
この実施例は、本発明の結合剤を含有するフォトスピード(photospeeds) の幅を有する光重合性組成物全てが、対照の結合剤を含有する対応する対照の組成物に比べて、改善された側壁形状を示すことを明らかにする。この実施例においては、１０Ａ−Ｉと呼ばれる光重合性組成物が調製されて、そして上述の半定量的スケールを用いて側壁の品質を評価された。これらの組成物は、１０Ａ−Ｄが対照の結合剤Ｃ−２−ａを含有し、およびアルファベット順に１０Ａから１０Ｄまで進むにつれてフォトスピードが増加するようなものであった。同様に、組成物１０Ｅ−Ｉは、１０Ｅ−Ｉが本発明の結合剤Ｉ−１−ａを含有し、およびアルファベット順に１０Ｅから１０Ｉまで進むにつれてフォトスピードが増加するようなものであった。これらの組成物（１０Ａ−Ｉ）のすべての成分は表１８および表１９に記載されたようなものであった（具体的な結合剤を除く、その結合剤は表１１に示したように変化した）。結合剤組成物は用語集の中で与えられる。この実施例においては結合剤Ｉ−１−ａが本発明の結合剤（本発明の範囲内）であり、一方その他の結合剤（Ｃ−２−ａ）が対照の結合剤（本発明の範囲外）である。この実施例における紫外線の露光はストーファー(Stouffer)４１−濃度段階タブレットを使用して現像中にステップ１９またはステップ２６のいずれかが保持されるような水準においてであった。現像は５０％ブレークポイント（ＢＰ）で処理された。得られた結果は表１１に要約される。
【０１２７】
【表１１】

記号：
種類はサンプルの種類であり：Ｉは本発明のもの、Ｃは対照のものを表す；
T/M/B は上述のようにそれぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレジストの基部についての個別の評価である。
【０１２８】
Ｒの和はレジスト側壁の頂部、中央、基部についての３つの個別の評価の数字の和である。
【０１２９】
注：この実施例においてすべての現像は５０％ＢＰの状態である。
【０１３０】
この実施例において、アルファベット順に１０Ａから１０Ｄまでフォトスピードの増加があり、同様にアルファベット順に１０Ｅから１０Ｉまでフォトスピードの増加がある。サンプル１０Ａ−Ｄは、（表１１に示したような）結合剤の変更を除いて、１０Ｅ−Ｉに対応している。
【０１３１】
この実施例は、それぞれ本発明のＩ−１−ａ結合剤を含有するサンプル１０Ｅ−Ｉが、対照の結合剤（Ｃ−２−ａ結合剤、それは本発明の範囲外である）を有するサンプル１０Ａ−Ｄと比べて、著しく改善された側壁形状を示したことを明らかにする。優秀な側壁形状および現像の許容度が、対照のサンプル１０Ａ−Ｄとはっきりとした対照をなして、フォトスピードが増大するような１０Ｅ−Ｉの系列を通して維持された。本発明の結合剤を用いた各サンプルのこの改善された性能は、対照の結合剤を用いた対照のサンプルの性能と比較して、より高いフォトスピードにおいて特に著しかった。
【０１３２】
（実施例１１）
この実施例においては、１１Ａ−Ｐと呼ばれる光重合性組成物が調製されて、そして上述の半定量的スケールを用いて側壁の品質を評価された。これらの組成物はキレート化剤またはキレート化剤系の選択を除いて同一であり、その選択は表１２に記載されたように変化した。この実施例において試験されたキレート化剤（単数または複数）は、１）サンプル１１Ａ−Ｄ中には存在しない、２）サンプル１１Ｅ−Ｈ中の５−クロロベンゾトリアゾール／クエン酸、３）サンプルＩ−Ｌ中の５−クロロベンゾトリアゾール／４，５−カルボキシベンゾトリアゾール、および４）サンプルＭ−Ｐ中のベンゾトリアゾールであった。これらの組成物の成分は表２０および表２１に記載されたようなものであった。結合剤組成物は用語集の中で与えられる。この実施例においては、結合剤Ｉ−１−ａおよびＩ−３が本発明の結合剤（本発明の範囲内）であり、一方３つの他の結合剤（Ｃ−２−ａ、Ｃ−４およびＣ−８）が対照の結合剤（本発明の範囲外）である。この実施例における紫外線の露光はストーファー(Stouffer)４１−濃度段階タブレットを使用して現像中にステップ１９またはステップ２６が保持されるような水準においてであった。各場合の現像は２５％ブレークポイント（ＢＰ）および５０％ブレークポイント（ＢＰ）で処理された。得られた結果は表１２に要約される。
【０１３３】
【表１２】

記号：
種類はサンプルの種類であり：Ｉは本発明のもの、Ｃは対照のものを表す；
T/M/B は上述のようにそれぞれレジストの頂部、レジストの中央、およびレジストの基部についての個別の評価である。
【０１３４】
Ｒの和はレジスト側壁の頂部、中央、基部についての３つの個別の評価の数字の和である。
【０１３５】
＊ポリエステルのタイプ２を用いた。
【０１３６】
この実施例は、キレート化剤を含有しないかまたは３つの別個のキレート化剤の内の１つ（すなわち、５ＣｌＢＴ／ＣＡ、５ＣｌＢＴ／ＣＢＴおよびＢＴ）のいずれかを含有する比較サンプルについて、本発明のＩ−１−ａまたはＩ−３結合剤のいずれかを含有するサンプルが、対照の結合剤（Ｃ−２−ａ、Ｃ−４、またはＣ−８のいずれか）を有するサンプルと比べて、著しく改善された側壁形状を示したことを明らかにする。
【０１３７】
（実施例１２）
この実施例は、さらなるスチレンのコモノマーを有する本発明の結合剤を含有する光重合性組成物が、本発明において有効であり、良好な側壁形状を有するイメージされたレジストサンプルを与えることを明らかにする。
【０１３８】
この実施例においては、１２Ａ−Ｌと呼ばれる光重合性組成物が調製されて、そして上述の半定量的スケールを用いて側壁の品質を評価された。これらの組成物は結合剤の選択を除いて同一であり、あるものは本発明のスチレン化結合剤を含有し、その他は本発明の非スチレン化結合剤を含有し、およびその他は対照の結合剤を含有した。結合剤は表１３に示すように変化した。これらの組成物（１２Ａ−Ｌ）の成分は表２２に記載されたようなものであった。結合剤組成物は用語集の中で与えられる。この実施例においては、結合剤Ｉ−１−ａおよびＩ−１−ｂが本発明の非スチレン化結合剤（本発明の範囲内）であり、およびＩ−４−ｂが本発明のスチレン化結合剤である。他の結合剤（Ｃ−７−ａ、Ｃ−７−ｂおよびＣ−７−ｃ）が対照の結合剤（本発明の範囲外）である。この実施例における紫外線の露光はストーファー(Stouffer)４１−濃度段階タブレットを使用して現像中にステップ１９が保持されるような水準においてであった。現像は２５％ブレークポイント（ＢＰ）でおよび７５％ブレークポイント（ＢＰ）で処理された。得られた結果は表１３に要約され、それはスチレン化結合剤および非スチレン化結合剤の双方が、フォトレジスト組成物中に存在するときに、イメージされたレジストパターンの良好な側壁形状を与えることにおいて有効であることを示す。
【０１３９】
【表１３】

＊ポリエステルのタイプ１を用いた。
【０１４０】
（実施例１３）
この実施例もまた、さらなるスチレンのコモノマーを有する本発明の結合剤を含有する光重合性組成物が、本発明において有効であり、良好な側壁形状を有するイメージされたレジストサンプルを与えることを明らかにする。
【０１４１】
この実施例においては、１３Ａ−Ｈと呼ばれる光重合性組成物が調製されて、そして上述の半定量的スケールを用いて側壁の品質を評価された。組成物１３Ａ−Ｄは結合剤の選択を除いて同一であって、あるものは本発明のスチレン化結合剤を含有し、その他は本発明の非スチレン化結合剤を含有し、およびその他は対照の結合剤を含有した。同様に、組成物１３Ｅ−Ｈは結合剤の選択を除いて同一であった。結合剤は表１４および表１５に示すように変化した。これらの組成物（１３Ａ−Ｈ）の成分は表２２に記載されたようなものであった。結合剤組成物は用語集の中で与えられる。この実施例においては、結合剤Ｉ−１−ａおよびＩ−１−ｂが本発明の非スチレン化結合剤（本発明の範囲内）であり、およびＩ−４−ａが本発明のスチレン化結合剤である。他の結合剤（Ｃ−２−ａ）は対照の結合剤（本発明の範囲外）である。この実施例における紫外線の露光は、表１４に示した実験についてはストーファー(Stouffer)４１−濃度段階タブレットを使用して現像中にステップ１９が保持され、一方表１５に示した実験についてはストーファー(Stouffer)４１−濃度段階タブレットを使用して現像中にステップ２６が保持されたような水準においてであった。それぞれの場合において、現像は２５％ブレークポイント（ＢＰ）でおよび７５％ブレークポイント（ＢＰ）で処理された。得られた結果は表１４および表１５に要約され、それらはスチレン化結合剤および非スチレン化結合剤の双方が、フォトレジスト組成物中に存在するときに、イメージされたレジストパターンの良好な側壁形状を与えることにおいて有効であることを示す。
【０１４２】
【表１４】

ポリエステルのタイプ２を用いた。
【０１４３】
【表１５】

ポリエステルのタイプ２を用いた。
【０１４４】
【表１６】

＊すべての成分は（実質的にすべての塗布溶媒が除去されている状態の）塗布されかつ乾燥されたフォトポリマーフィルムについてである
【０１４５】
【表１７】

＊すべての成分は（実質的にすべての塗布溶媒が除去されている状態の）塗布されかつ乾燥されたフォトポリマーフィルムについてである
【０１４６】
【表１８】

＊すべての成分は（実質的にすべての塗布溶媒が除去されている状態の）塗布されかつ乾燥されたフォトポリマーフィルムについてである
【０１４７】
【表１９】
（表１８の続き）

＊すべての成分は（実質的にすべての塗布溶媒が除去されている状態の）塗布されかつ乾燥されたフォトポリマーフィルムについてである
【０１４８】
【表２０】

＊すべての成分は（実質的にすべての塗布溶媒が除去されている状態の）塗布されかつ乾燥されたフォトポリマーフィルムについてである
【０１４９】
【表２１】
（表２０の続き）

＊すべての成分は（実質的にすべての塗布溶媒が除去されている状態の）塗布されかつ乾燥されたフォトポリマーフィルムについてである
【０１５０】
【表２２】

＊すべての成分は（実質的にすべての塗布溶媒が除去されている状態の）塗布されかつ乾燥されたフォトポリマーフィルムについてである
【０１５１】
【発明の効果】
本発明の組成物を用いることにより、側壁にマウスバイト、グージまたはフットのような欠陥を持たないレリーフ画像（たとえばフォトレジストパターン等）を形成することが可能である。また本発明の組成物は現像条件に対する許容度が大きく、種々の条件においても良好なレリーフ画像を与える。

Claims (7)

1. 画像状の露光および現像において良好な側壁形状を与えるために処方された光重合性組成物であって、前記組成物が：
   （ａ）２０，０００から１６０，０００の範囲の重量平均分子量を有するポリマー結合剤であって、前記結合剤が：
   （Ａ）_ｗ（Ｂ）_ｘ（Ｃ）_ｙ（Ｄ）_ｚ （式Ｉ）または
   （Ａ）_ｗ（Ｂ）_ｘ（Ｃ）_ｙ（Ｄ）_ｚ（Ｅ）_ｕ （式ＩＩ）
   の化学式を有するポリマーを有し、ここでＡは置換されたまたは無置換のＣ_４−Ｃ_１０アルキルメタクリレートであり、Ｂは置換されたまたは無置換のＣ_４−Ｃ_１０アルキルアクリレートであり、Ｃはメタクリル酸メチルおよびメタクリル酸エチルからなる群から選択され、Ｄはメタクリル酸およびアクリル酸からなる群から選択され、Ｅはスチレンであり；および
   ここでｗ、ｘ、ｙ、ｚおよびｕは前記ポリマー結合剤のコモノマーの重量％であり、ｗが２２から２７％、ｘが１５から２０％、ｙが３０から４０％、ｚが２０から２５％、およびｕが１から３０％である、前記ポリマー結合剤と；
   （ｂ）少なくとも１つのエチレン性不飽和モノマーと；
   （ｃ）光開始剤または光開始剤系からなる群から選択される少なくとも１つの成分と
   で実質的に構成され、前記光重合性組成物が成分（ａ）の中和または部分的中和に用いられる塩基性化合物を含有しないことを条件として伴うことを特徴とする光重合性組成物。
2. 請求項１に記載の組成物において、式Ｉのポリマー結合剤を含有することを特徴とする組成物。
3. 請求項２に記載の組成物において、Ａが置換または無置換のＣ_４−Ｃ_８アルキルメタクリレートであり、およびＢが置換または無置換のＣ_４−Ｃ_８アルキルアルキレートであることを特徴とする組成物。
4. 請求項３に記載の組成物において、Ａが置換または無置換のＣ_４−Ｃ_６アルキルメタクリレートであり、およびＢが置換または無置換のＣ_４−Ｃ_６アルキルアルキレートであることを特徴とする組成物。
5. 請求項４に記載の組成物において、Ａがメタクリル酸ブチルであり、Ｂがアクリル酸ブチルであり、Ｃがメタクリル酸メチルであり、およびＤがメタクリル酸であることを特徴とする組成物。
6. 請求項２に記載の組成物において、前記ポリマー結合剤が４０，０００から１００，０００の範囲の重量平均分子量を有することを特徴とする組成物。
7. 請求項６に記載の組成物において、前記ポリマー結合剤が５５，０００から６５，０００の範囲の重量平均分子量を有することを特徴とする組成物。