JPH111293A

JPH111293A - トラップ装置

Info

Publication number: JPH111293A
Application number: JP9155330A
Authority: JP
Inventors: Yukimasa Ishida; 幸政石田; Takeshi Sakamoto; 武志坂本
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1997-06-12
Filing date: 1997-06-12
Publication date: 1999-01-06

Abstract

(57)【要約】【課題】液溜まりを有するトラップ装置に関し、溜ま
り液の汚染防止を目的とする。【解決手段】液溜まり３２に水を注入させる注水口３
３が設けられている。液溜まり３２の形状をＳ字状又は
Ｚ字状とする。所望装置のオーバーフローラインに適用
する。液溜まり３２への流路に称呼径が３／８インチ以
上のものを使用する。液溜まりがボックス状であり、下
部で液体が流通可能な仕切り板で液溜まり内を仕切り、
仕切られた一方に液溜まり内液体の流出口を設け、他方
に液溜まり内への注水口を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はトラップ装置、特に
所望装置と他の装置に共用の廃液ラインとの間に配設さ
れたトラップ装置において、所望装置内の雰囲気が、廃
液ラインを介して乱されないようにする。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置や液晶表示パネルの製造装置
には、各種の薬液を使用するウエット処理装置、例えば
レジスト現像装置やウエットエッチング装置が多く利用
されている。

【０００３】一般にウエット処理装置は、薬液を貯留す
る薬液タンクと、薬液によって所定の薬液処理を行う処
理部と、貯留タンクと薬液処理部を接続する薬液供給回
路および薬液帰還回路とを備え、貯留タンクの薬液貯留
量を所定量以下に抑えるオーバーフローラインは、工場
ユーティリティの廃液ラインに接続されている。

【０００４】図４はウエット処理装置と薬液循環回路の
構成例の概略図である。図４において、薬液を循環させ
て利用するウエット処理装置１は、基板等に所望のウエ
ット処理を行う処理部２と、その処理に必要な薬液３を
貯留する薬液タンク４と、図示しない薬液供給源と、そ
れらを接続する薬液流通路（配管）等を備え、不要とな
った薬液（廃液）は、工場ユーティリティの廃液ライン
（廃液路）５に廃棄されるようになる。

【０００５】処理部２の処理槽６の底部と薬液タンク４
とは、中間部に薬液循環用ポンプ８とフィルタ９を設け
た薬液供給路（薬液供給配管）７にて接続され、処理槽
６からオーバーフローした薬液３を受ける処理部２の受
液槽１０の底部と薬液タンク４とは、薬液帰還路（薬液
帰還配管）１１によって接続されている。

【０００６】図示しない薬液供給源と薬液タンク４と
は、図示しない制御装置によって自動開閉するエアバル
ブ１２と、作業者が手で操作するマニュアルバルブ１３
を中間に設けた薬液供給路（薬液供給配管）１４によっ
て接続されている。

【０００７】薬液タンク４と廃液ライン５は、ドレンラ
イン（廃液配管）１５とオーバーフローライン（オーバ
ーフロー配管）１６によって接続され、オーバーフロー
ライン１６は薬液タンク４内の薬液３が一定レベル以上
になることが防止し、薬液タンク４内の薬液３を棄却す
るドレンライン１５の中間部には、図示しない制御装置
によっで自動開閉するエアバルブ１８と、作業者が手で
操作するマニュアルバルブ１９を備えている。

【０００８】なお、図中の符号２３は薬液タンク４に接
続した排気管、２０は処理部２と薬液タンク４と薬液供
給路７および薬液帰還路１１等から洩れた薬液を受ける
バットであり、漏液センサ２４が配設されたバット２０
は、逆止バルブ２２を中間に設けた薬液廃却路（薬液廃
却配管）２１によって、廃液ライン５に接続されてい
る。

【０００９】かかるウエット処理装置１は、通常時にお
いてマニュアルバルブ１３と１９は開状態であり、エア
バルブ１２および１８はウエット処理装置１の制御装置
によって制御されており、オーバーフローライン１６は
薬液の供給過剰に常時対処できる構成である。

【００１０】しかるに、廃液ライン５には他の製造装置
で使用した様々な廃液も流される。そのため、ウエット
処理装置１の薬液タンク４内に有害なガスが、廃液ライ
ン５からオーバーフローライン１６を通って流入するこ
とがある。特に、排気管２３が接続された薬液タンク４
は、陰圧となっているため前記有害ガスを呼び込み易
い。

【００１１】さらに、処理基板の濡れ性を向上させ均一
なウエット処理が行われるようにすることを目的とし、
界面活性剤を添加した薬液を使用するケースが増えてい
る。そして、界面活性剤添加薬液を、他の装置から大量
に共通利用の廃液ライン５に流すと、廃液ライン５内に
大量の泡が発生し、その泡がオーバーフローライン１６
を通って薬液タンク４内に侵入したり、逆止バルブ２２
を通り抜けてバット２０内の漏液センサ２４を感知さ
せ、装置の誤動作を招くことがあった。

【００１２】即ち、従来のウエット処理装置１では、廃
液ライン５内の有害ガスや泡がオーバーフローライン１
６を通って薬液タンク４内に流入し、特にアンモニア等
のｐＨ調整の必要な薬液にとってケミカル値が狂わせら
れたりするという問題点があり、その対策として従来は
トラップが使用されていた。

【００１３】従来装置に使用している前記トラップは、
一般に利用されているもの、即ち流路の中間部をＳ字状
に屈曲させたものであり、オーバーフローライン１６の
中間部に設けられた該トラップには、薬液３の一部を貯
留させるようになる。

【００１４】かかるトラップは、前記問題点に対しある
程度の効果が得られるようになるが、問題点の完全な解
決手段となっていない。即ち、長期間に渡ってオーバー
フローがないと、トラップ内の貯留薬液は次第に減少し
その効果が弱まると共に、廃液ライン５内の前記有害ガ
スおよび泡は、トラップ内の貯留薬液３内に溶け込んだ
のち気化し、薬液タンク４内に流入することがあった。

【００１５】なお、前記トラップに変えて逆止バルブ２
２と同様な逆止バルブを設けることも考えられるが、液
体に対し有効な逆止バルブは、前記ガスや泡の阻止は困
難であって適当でない。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】以上説明したように、
従来のウエット処理装置は廃液ラインからの擾乱に対す
る防御が不完全であり、半導体装置や液晶表示パネル等
の製造プロセスの安定性が損なわれていた。

【００１７】そのため、廃液ライン５から侵入するガス
や泡等によって、薬液タンク４内の雰囲気が狂わさるこ
とのない、新規手段（トラップ装置）が要望されるよう
になった。

【００１８】

【課題を解決するための手段】本発明の目的は、複数装
置に共用の廃液ラインに対しウエット処理装置を、確実
に防御することである。

【００１９】本発明の第１のトラップ装置は、液溜まり
を有するトラップ装置において、該液溜まりに水を注入
させる注水口が設けられている。本発明の第２のトラッ
プ装置は、前記液溜まりが液体流路をＳ字状に屈曲させ
たものである。

【００２０】本発明の第３のトラップ装置は、前記液溜
まりが液体流路をＺ字状に曲げたものである。本発明の
第４のトラップ装置は、所望装置のオーバーフローライ
ンに、前記液溜まりが接続されている。

【００２１】本発明の第５のトラップ装置は、前記液溜
まりに流入する液体の流路の称呼径が３／８インチ以上
である。本発明の第６のトラップ装置は、前記液溜まり
がボックス形状であり、所望装置からの流出液が該液溜
まりに流入する液体流入口と、該液溜まり内の液体が該
液溜まりから流出する液体流出口と、該液体流入口と液
体流出口との間で該液溜まり内を分割し、かつ、該液溜
まりの底部で液体流通可能な仕切り板と、該仕切り板よ
り該液体流入口に近く前記注水口が設けられている。

【００２２】本発明の第７のトラップ装置は、前記本発
明の第６のトラップ装置において、前記液溜まりに排気
管が接続されている。前記本発明の第１のトラップ装置
において、液溜まりには水または水によって次第に希釈
される薬液が満たされるようになり、かつ、液溜まりの
水または希釈薬液は常に代謝（流出）されるようにな
る。

【００２３】従って、廃液ラインからガスや泡が侵入し
液溜まり内の水または希釈薬液液体との接触部から、水
または希釈薬液液体に溶け込んでもその溶け込んだ部分
から廃液ラインに流出し、所望装置に対する影響は殆ど
皆無となる。

【００２４】前記本発明の第２および第３のトラップ装
置は、本発明の第１のトラップ装置において、液溜まり
として好ましく簡易な形状を提案したものであり、それ
らの効果は本発明の第１のトラップ装置と同じである。

【００２５】前記本発明の第４のトラップ装置は、本発
明装置を所望装置のオーバーフローラインに接続した提
案であり、その効果は本発明の第１のトラップ装置と同
じである。

【００２６】前記本発明の第５のトラップ装置は、本発
明の第１のトラップ装置において、液溜まりに流入する
液体の流路径が細いと、液溜まり内の液体がサイフォン
現象で液体の流入路を逆流するという事実に基づくもの
であり、その逆流を阻止することができる。

【００２７】前記本発明の第６のトラップ装置は、本発
明の第１のトラップ装置において、液溜まりをボックス
形状とし、本発明の第１のトラップ装置の効果を一層高
めるようにしたものである。

【００２８】前記本発明の第７のトラップ装置は、本発
明の第１のトラップ装置において、液溜まりに排気管を
設けたことで、廃液ラインから液溜まり内にガスが侵入
しても、そのガスは液溜まりより奥に入らないようにな
る。

【００２９】

【発明の実施の形態】図１は本発明の第１の実施例の説
明図、図２は本発明の第２の実施例の説明図、図３は本
発明の第３の実施例の説明図である。

【００３０】図１において、薬液タンク４に接続したオ
ーバーフローライン１６の中間部には、トラップ装置３
１が接続されている。トラップ装置３１は、横向きのＳ
字状にパイプを屈曲させた液溜まり３２と水を液溜まり
３２に注入する注水管（注水口）３３を有し、トラップ
装置３１とオーバーフローライン１６とは、カップリン
グ３５で接続されている。

【００３１】図において、斜線を付したＵ字状部分は液
溜まり３２内の溜まり水３２′を示すものであり、液溜
まり３２への注入側に設けた注水管３３からは、常時少
量の水が流れ落ちるようにする。

【００３２】かかるトラップ装置３１において、通常は
注水管３３から注入した溜まり水３２′が液溜まり３２
に貯留され、廃液ライン５（図４参照）からのガスや泡
は、図中にＡで示す溜まり水３２′の流出側表面で接触
し、その流出側表面Ａで溜まり水３２′に溶け込むよう
になる。しかし、ガスや泡が融けた溜まり水３２′は順
次液溜まり３２から流出するようになる。

【００３３】そして、薬液タンク４から薬液３（図４参
照）がオーバーフローすると、液溜まり３２には一時的
に薬液３が充填されることになる。しかし、その充填薬
液３は注水管３３からの注水によって次第に希釈され、
最終的には殆ど水と変わらなくなる。なお、薬液３の前
記希釈に掛かる時間を短縮したいときは、注水管３３に
設けたバルブ（図示せず）を開いて一時的に大量の水を
注入すればよい。

【００３４】図２において、薬液タンク４に接続したオ
ーバーフローライン１６の中間部には、トラップ装置４
１が接続されている。トラップ装置４１は、横向きのＺ
字状にパイプを屈曲させた液溜まり４２と水を液溜まり
４２に注入する注水管（注水口）４３を有し、トラップ
装置４１とオーバーフローライン１６とは、カップリン
グ４５で接続されている。

【００３５】図において、斜線を付した三角形状部分は
液溜まり４２内の溜まり水４２′を示すものであり、液
溜まり４２への注入側に設けた注水管４３からは、常時
チョロチョロと水が流れ落ちるようにする。

【００３６】かかるトラップ装置４１において、通常は
注水管４３から注入した溜まり水４２′が液溜まり４２
に貯留され、廃液ライン５（図４参照）からのガスや泡
は、図中にＢで示す溜まり水４２′の流出側表面で接触
し、その流出側表面Ｂで溜まり水４２′に溶け込むよう
になる。しかし、ガスや泡が融けた溜まり水４２′は順
次液溜まり４２から流出するようになる。

【００３７】そして、薬液タンク４から薬液３（図４参
照）がオーバーフローすると、液溜まり４２には一時的
に薬液３が充填されることになる。しかし、その充填薬
液３は注水管４３からの注水によって次第に希釈され、
最終的には殆ど水と変わらなくなる。なお、薬液３の前
記希釈に掛かる時間を短縮したいときは、注水管４３に
設けたバルブ（図示せず）を開いて一時的に大量の水を
注入すればよい。

【００３８】図３において、薬液タンク４に接続したオ
ーバーフローライン１６の中間部には、トラップ装置５
１が接続されている。トラップ装置５１は、液溜まり５
２がボックス形状であり、天井板５２_-1には液体（薬
液）流入口５３と排気口５４と水の注入口５５があけら
れ、右の側壁板５２_-2の上部には液溜まり５２内の液体
が流出する液体流出口５６があけられ、図紙の厚さ方向
に対向する一対の壁板５２_-3と５２_-4に沿って天井板５
２_-1から垂下する仕切り板５７は、液溜まり５２内を２
分割する。

【００３９】ただし、仕切り板５７は液溜まり５２の底
板５２_-5に接することなく終端し、かつ、液体流入口５
３と排気口５４と水の注入口５５が液体流出口５６と区
分されるようにしている。

【００４０】そして、液体流入口５３には、一端を薬液
タンク４に接続したオーバーフローライン１６の一方の
他端が接続し、排気口５４には排気管５８が接続し、注
入口５５には注水管５９が接続し、液体流出口５６に
は、一端を廃液ライン５に接続したオーバーフローライ
ン１６の他方の他端が接続され、液溜まり５２には、注
入口５５からは水が常時チョロチョロと流れ落ちるよう
にする。

【００４１】従って、図示する如く液溜まり５２内にお
いて溜まり水６０が液体流出口５６の下端に達すると、
それ以上の溜まり水６０は液体流出口５６から流出する
ようになる。

【００４２】かかるトラップ装置５１において、廃液ラ
イン５（図４参照）からのガスや泡は、仕切り板５７で
仕切られた溜まり水６０の右側（液体流出口５６側）の
表面で接触し、その接触面で溜まり水６０に溶け込んで
も、ガスや泡が融けた溜まり水は直ち液体流出口５６か
ら廃液ライン５に流出するようになる。

【００４３】そして、薬液タンク４から薬液３（図４参
照）がオーバーフローすると、液溜まり５２には一時的
に薬液３が充填されることになるが、その充填薬液３は
注水管５５からの注水によって次第で希釈され、最終的
には殆ど水と変わらなくなる。ただし、薬液３の希釈に
掛かる時間を短縮したいときは、注水管５５に設けたバ
ルブ（図示せず）を開いて一時的に大量の水を注入すれ
ばよい。

【００４４】前記実施例において、液溜まりには通常の
水を注入したが、好ましくは純水例えばクリーンルーム
で通常に使用されている超純水、即ち比抵抗が１６ＭΩ
・ｃｍ以上の超純水が望ましいと共に、本発明の実施例
装置３１および４１において注水管３３または４３が接
続される部分の管路には、その径が細いと液溜まり内の
液体がサイフォン現象で逆流するという事実に基づき、
呼び径で３／８インチ以上のものを使用することが望ま
しい。

【００４５】

【発明の効果】以上説明したように本発明のトラップ装
置は、廃液ラインからのガスや泡による影響を確実に遮
断することを可能とし、半導体装置や液晶表示パネル等
のウエット処理装置の稼働を正常にし、該ウエット処理
装置を使用した製品の製造プロセスの安定性を向上させ
た。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例の説明図

【図２】本発明の第２の実施例の説明図

【図３】本発明の第３の実施例の説明図

【図４】ウエット処理装置と薬液循環回路の構成例の
概略図

【符号の説明】

４薬液タンク１６オーバーフローライン３１、４１、５１トラップ装置３２、４２、５２液溜まり３２′、４２′、６０溜まり水３３、４３、５９注水管３５、４５カップリング５３液体流入口５４排気口５５注水口５６液体流出口５７仕切り板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】液溜まりを有するトラップ装置におい
て、該液溜まりに水を注入させる注水口が設けられてい
ることを特徴とするトラップ装置。
【請求項２】前記液溜まりが液体流路をＳ字状に屈曲
させたものであることを特徴とする請求項１記載のトラ
ップ装置。
【請求項３】前記液溜まりが液体流路をＺ字状に屈曲
させたものであることを特徴とする請求項１記載のトラ
ップ装置。
【請求項４】所望装置のオーバーフローラインに、前
記液溜まりが接続されていることを特徴とする請求項１
記載のトラップ装置。
【請求項５】前記液溜まりに流入する液体の流路配管
の呼び径が３／８インチ以上であることを特徴とする請
求項１記載のトラップ装置。
【請求項６】前記液溜まりがボックス形状であり、所
望装置からの流出液が該液溜まりに流入する液体流入口
と、該液溜まり内の液体が流出する液体流出口と、該液
体流入口と液体流出口との間で該液溜まり内を分割し、
かつ、該液溜まりの底部で液体流通可能な仕切り板とを
有し、該仕切り板によって分割された液体流入口側に前
記注水口が設けられていることを特徴とする請求項１記
載のトラップ装置。
【請求項７】前記液溜まりに排気管が接続されている
ことを特徴とする請求項６記載のトラップ装置。