JPH11120355A - 画像処理方法 - Google Patents
画像処理方法Info
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- JPH11120355A JPH11120355A JP9288064A JP28806497A JPH11120355A JP H11120355 A JPH11120355 A JP H11120355A JP 9288064 A JP9288064 A JP 9288064A JP 28806497 A JP28806497 A JP 28806497A JP H11120355 A JPH11120355 A JP H11120355A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の画像処理方法では、計測ライン上のゴ
ミ、傷等による画像のにじみ、背景の汚れによる輝度の
変化があると、当該部分を検査対象のエッジ部分である
と誤って検出してしまい、被検査物の寸法等の正しい計
測ができなかった。 【解決手段】 本発明の画像処理方法では、画像処理装
置が、被検査物の画像データの一部分を逐次抜き出し
て、前記画像処理装置に予め記憶されたパターン辞書と
の間で類似度を求め、得られた類似度の分布から類似度
の正又は負のピーク位置を検査対象のエッジ部分と判断
して計測する。
ミ、傷等による画像のにじみ、背景の汚れによる輝度の
変化があると、当該部分を検査対象のエッジ部分である
と誤って検出してしまい、被検査物の寸法等の正しい計
測ができなかった。 【解決手段】 本発明の画像処理方法では、画像処理装
置が、被検査物の画像データの一部分を逐次抜き出し
て、前記画像処理装置に予め記憶されたパターン辞書と
の間で類似度を求め、得られた類似度の分布から類似度
の正又は負のピーク位置を検査対象のエッジ部分と判断
して計測する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、画像処理によって
ＩＣ，ＬＳＩ、コネクタのリード等の寸法、形状、本数
を検査する検査装置の画像処理方法に関する。
ＩＣ，ＬＳＩ、コネクタのリード等の寸法、形状、本数
を検査する検査装置の画像処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＩＣのリードの寸法等を測定する
場合には、ＩＣをＴＶカメラで撮像し、その画像データ
から所定の位置における輝度値のプロファイルを表示
し、当該プロファイルよりリードの寸法等を求めてい
た。図４（ａ）は、ＴＶカメラで撮像したＩＣの模式的
な画像である。リード５０の検査項目としては、例えば
リードの幅（Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４）、リードの間隔
（Ｌ５、Ｌ６、Ｌ７）、リードのピッチ、リードの本数
等がある。
場合には、ＩＣをＴＶカメラで撮像し、その画像データ
から所定の位置における輝度値のプロファイルを表示
し、当該プロファイルよりリードの寸法等を求めてい
た。図４（ａ）は、ＴＶカメラで撮像したＩＣの模式的
な画像である。リード５０の検査項目としては、例えば
リードの幅（Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４）、リードの間隔
（Ｌ５、Ｌ６、Ｌ７）、リードのピッチ、リードの本数
等がある。
【０００３】図４（ｂ）は、図４（ａ）の画像において
設定された計測ライン５１上の輝度値のプロファイル５
２を表したものである。前記プロファイル５２より輝度
値の最大値５３と最小値５４とから中間値５５を求め、
プロファイル５２が当該中間値５５を横切る点（５６、
５７）をリードのエッジとみなして、当該横切る点５６
と５７との間における画像データの画素数に前記ＴＶカ
メラ、モニタ等によって決まる換算倍率を乗じて、リー
ドの幅等を求めていた。
設定された計測ライン５１上の輝度値のプロファイル５
２を表したものである。前記プロファイル５２より輝度
値の最大値５３と最小値５４とから中間値５５を求め、
プロファイル５２が当該中間値５５を横切る点（５６、
５７）をリードのエッジとみなして、当該横切る点５６
と５７との間における画像データの画素数に前記ＴＶカ
メラ、モニタ等によって決まる換算倍率を乗じて、リー
ドの幅等を求めていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
方法は、以下のような不都合を有していた。すなわち、
図５（ａ）に示すように、計測ライン上にゴミ、傷等に
よる像のにじみ５８、背景の汚れによる輝度の変化５９
等があると、図５（ｂ）の輝度値のプロファイルに示す
ように、ゴミの部分６０や背景の汚れの部分６１をリー
ドのエッジであると誤まって検出してしまい、リードの
幅等の計測を正しく行えなくなってしまうという問題を
有していた。
方法は、以下のような不都合を有していた。すなわち、
図５（ａ）に示すように、計測ライン上にゴミ、傷等に
よる像のにじみ５８、背景の汚れによる輝度の変化５９
等があると、図５（ｂ）の輝度値のプロファイルに示す
ように、ゴミの部分６０や背景の汚れの部分６１をリー
ドのエッジであると誤まって検出してしまい、リードの
幅等の計測を正しく行えなくなってしまうという問題を
有していた。
【０００５】そこで本発明は、画像の入力状態や検査対
象の表面状態等が良好でない場合でも、リードの幅等の
安定かつ高精度な計測を可能とする画像処理方法を提供
しようとするものである。
象の表面状態等が良好でない場合でも、リードの幅等の
安定かつ高精度な計測を可能とする画像処理方法を提供
しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１記載の発明は、画像処理装置が、被検査物
の画像データの一部分を逐次抜き出して、前記画像処理
装置に予め記憶されたパターン辞書との間で類似度を求
め、得られた類似度の分布から類似度の正又は負のピー
ク位置を検査対象のエッジ部分と判断して計測すること
を特徴とする。
め、請求項１記載の発明は、画像処理装置が、被検査物
の画像データの一部分を逐次抜き出して、前記画像処理
装置に予め記憶されたパターン辞書との間で類似度を求
め、得られた類似度の分布から類似度の正又は負のピー
ク位置を検査対象のエッジ部分と判断して計測すること
を特徴とする。
【０００７】請求項２記載の発明は、請求項１記載の画
像処理方法において、前記類似度を求める際に、前記画
像データの一部分の分散値と、設定値とを比較すること
により、前記類似度の確度を判断することを特徴とす
る。
像処理方法において、前記類似度を求める際に、前記画
像データの一部分の分散値と、設定値とを比較すること
により、前記類似度の確度を判断することを特徴とす
る。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図に沿って本発明の実施形
態を説明する。図１は本発明の実施形態の構成を示した
ブロック図である。ＩＣ，ＬＳＩ、コネクタ等の被検査
物１をＴＶカメラ２により撮像する。像を拡大し、計測
の分解能を向上するため、工業用顕微鏡を介してＴＶカ
メラ２で撮像する場合もある。前記ＴＶカメラ２からの
画像信号ｓ１は、画像処理装置３に入力される。
態を説明する。図１は本発明の実施形態の構成を示した
ブロック図である。ＩＣ，ＬＳＩ、コネクタ等の被検査
物１をＴＶカメラ２により撮像する。像を拡大し、計測
の分解能を向上するため、工業用顕微鏡を介してＴＶカ
メラ２で撮像する場合もある。前記ＴＶカメラ２からの
画像信号ｓ１は、画像処理装置３に入力される。
【０００９】画像処理装置３は、前記画像信号ｓ１をデ
ィジタル信号に変換し、２次元の画像データとして記憶
する。画像処理装置３では、以下に説明する画像処理方
法により、被検査物１を計測し、被検査物１の良否を判
断し、判定結果信号ｓ２を出力する。なお、図１には示
していないが、画像処理装置３には、前記ＴＶカメラか
らの画像信号ｓ１を表示し、後述する計測ライン５１を
設定するためのモニタが付属する。
ィジタル信号に変換し、２次元の画像データとして記憶
する。画像処理装置３では、以下に説明する画像処理方
法により、被検査物１を計測し、被検査物１の良否を判
断し、判定結果信号ｓ２を出力する。なお、図１には示
していないが、画像処理装置３には、前記ＴＶカメラか
らの画像信号ｓ１を表示し、後述する計測ライン５１を
設定するためのモニタが付属する。
【００１０】図２は、本発明の実施形態の構成要素であ
るエッジパターン辞書の概念図である。画像処理装置３
には、予めエッジパターン辞書４又は５が、データとし
て入力されている。エッジパターン辞書４、５は、被検
査物１のリードのエッジ部分に対応した仮想のデータで
ある。エッジパターン辞書４は、輝度値の２次元分布が
リードのエッジ部分において暗から明に変化する部分に
対応するものである。エッジパターン辞書５は、輝度値
の２次元分布がリードのエッジ部分において明から暗に
変化する部分に対応するものである。
るエッジパターン辞書の概念図である。画像処理装置３
には、予めエッジパターン辞書４又は５が、データとし
て入力されている。エッジパターン辞書４、５は、被検
査物１のリードのエッジ部分に対応した仮想のデータで
ある。エッジパターン辞書４は、輝度値の２次元分布が
リードのエッジ部分において暗から明に変化する部分に
対応するものである。エッジパターン辞書５は、輝度値
の２次元分布がリードのエッジ部分において明から暗に
変化する部分に対応するものである。
【００１１】図３（ａ）は、本発明の実施形態の作用を
示す概念図である。図３（ｂ）は、本発明の実施形態に
おける計算結果を表した図である。先ず、２次元の画像
データを基に、類似度を算出する範囲を設定する。図３
（ａ）において、上記類似度算出範囲６をＩＣのリード
５０を含む点線の領域に設定する。
示す概念図である。図３（ｂ）は、本発明の実施形態に
おける計算結果を表した図である。先ず、２次元の画像
データを基に、類似度を算出する範囲を設定する。図３
（ａ）において、上記類似度算出範囲６をＩＣのリード
５０を含む点線の領域に設定する。
【００１２】画像処理装置３は、類似度算出開始点７か
ら、前記類似度算出範囲６の中で、類似度算出点を順次
ずらしながら前記エッジパターン辞書４と抽出画像８と
の類似度ｒを求めていく。
ら、前記類似度算出範囲６の中で、類似度算出点を順次
ずらしながら前記エッジパターン辞書４と抽出画像８と
の類似度ｒを求めていく。
【００１３】抽出画像８は、前記２次元画像データか
ら、エッジパターン辞書４との類似度ｒを求めるため
に、類似度算出点を中心として抽出した画像データであ
る。抽出画像８の画素数は、使用するエッジパターン辞
書４の画素数と一致させる必要がある。例えば、エッジ
パターン辞書４、抽出画像８双方とも、５×５（計２５
画素）の２次元データとする。図３（ａ）において、類
似度算出開始点７における抽出画像８の領域を示した。
ら、エッジパターン辞書４との類似度ｒを求めるため
に、類似度算出点を中心として抽出した画像データであ
る。抽出画像８の画素数は、使用するエッジパターン辞
書４の画素数と一致させる必要がある。例えば、エッジ
パターン辞書４、抽出画像８双方とも、５×５（計２５
画素）の２次元データとする。図３（ａ）において、類
似度算出開始点７における抽出画像８の領域を示した。
【００１４】前記類似度は、下記の数式１によって求め
られる。類似度は、エッジパターン辞書４と抽出画像８
との相関係数に相当するものである。
られる。類似度は、エッジパターン辞書４と抽出画像８
との相関係数に相当するものである。
【００１５】
【数１】
【００１６】上記数式１において、Ｎはエッジパターン
辞書の画素数であり、Σ（Ｂ×Ｇ）はエッジパターン辞
書４と抽出画像８との相互相関値であり、ΣＢは抽出画
像８の輝度値の総和であり、ΣＢ2は抽出画像８の自己
相関値であり、ΣＧはエッジパターン辞書４のデータ値
の総和であり、ΣＧ2はエッジパターン辞書の自己相関
値である。
辞書の画素数であり、Σ（Ｂ×Ｇ）はエッジパターン辞
書４と抽出画像８との相互相関値であり、ΣＢは抽出画
像８の輝度値の総和であり、ΣＢ2は抽出画像８の自己
相関値であり、ΣＧはエッジパターン辞書４のデータ値
の総和であり、ΣＧ2はエッジパターン辞書の自己相関
値である。
【００１７】なお、本実施形態では、類似度ｒを求める
のにエッジパターン辞書４を使用したが、これに限られ
るものではなく、エッジパターン辞書５、またはエッジ
パターン辞書４と５の双方を使用することも可能であ
る。
のにエッジパターン辞書４を使用したが、これに限られ
るものではなく、エッジパターン辞書５、またはエッジ
パターン辞書４と５の双方を使用することも可能であ
る。
【００１８】図３（ｂ）は、前述したように、類似度算
出範囲６の中で類似度算出点を順次ずらしながらエッジ
パターン辞書４と抽出画像８との類似度ｒを求めた結果
すなわち類似度分布を表した図である。図３（ｂ）で
は、便宜上、類似度算出範囲６の１ライン上の類似度分
布を表示した。実際には、類似度分布は類似度算出範囲
６に対応した２次元の分布となる。上記２次元の類似度
分布を解析することにより、被検査物１のＴＶカメラ２
に対するアライメント誤差等をソフトウエア上で補正す
ることができ、より高精度な計測が可能となる。さら
に、リードの曲がり等も計測することができる。もちろ
ん、類似度算出範囲６を１ラインに設定し、１次元の類
似度分布を求めることも可能である。
出範囲６の中で類似度算出点を順次ずらしながらエッジ
パターン辞書４と抽出画像８との類似度ｒを求めた結果
すなわち類似度分布を表した図である。図３（ｂ）で
は、便宜上、類似度算出範囲６の１ライン上の類似度分
布を表示した。実際には、類似度分布は類似度算出範囲
６に対応した２次元の分布となる。上記２次元の類似度
分布を解析することにより、被検査物１のＴＶカメラ２
に対するアライメント誤差等をソフトウエア上で補正す
ることができ、より高精度な計測が可能となる。さら
に、リードの曲がり等も計測することができる。もちろ
ん、類似度算出範囲６を１ラインに設定し、１次元の類
似度分布を求めることも可能である。
【００１９】画像処理装置３は、前記類似度分布から正
のピーク位置９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄと、負のピーク位
置１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄを求め、そのピーク
位置をリードのエッジとし、リードの幅等の計測を行
う。実際の寸法に換算する計算方法は、従来技術と同様
であるため、ここでは省略する。
のピーク位置９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄと、負のピーク位
置１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄを求め、そのピーク
位置をリードのエッジとし、リードの幅等の計測を行
う。実際の寸法に換算する計算方法は、従来技術と同様
であるため、ここでは省略する。
【００２０】次に、本発明の他の実施形態について述べ
る。上述した実施形態は、リードの幅等の安定かつ高精
度な計測を可能とするが、背景の画像の輝度が一様でな
い場合に、エッジでないにもかかわらず、類似度が高く
なるときがある。そこで、本発明の他の実施形態は、類
似度算出点において類似度を求める際に、前記抽出画像
８の輝度値の分散値と予め設定された設定値とを比較
し、上記抽出画像８の輝度値の分散値が上記設定値以上
の場合にのみ類似度の計算を行い、抽出画像８の分散値
が設定値未満の場合には、類似度の値を０にする。すな
わち、輝度値の分散値と設定値との比較結果に応じて類
似度の確度を判断することにより、背景の汚れ等による
輝度の変化に起因した誤検出を防止するものである。
る。上述した実施形態は、リードの幅等の安定かつ高精
度な計測を可能とするが、背景の画像の輝度が一様でな
い場合に、エッジでないにもかかわらず、類似度が高く
なるときがある。そこで、本発明の他の実施形態は、類
似度算出点において類似度を求める際に、前記抽出画像
８の輝度値の分散値と予め設定された設定値とを比較
し、上記抽出画像８の輝度値の分散値が上記設定値以上
の場合にのみ類似度の計算を行い、抽出画像８の分散値
が設定値未満の場合には、類似度の値を０にする。すな
わち、輝度値の分散値と設定値との比較結果に応じて類
似度の確度を判断することにより、背景の汚れ等による
輝度の変化に起因した誤検出を防止するものである。
【００２１】
【発明の効果】以上のように請求項１又は２記載の発明
によれば、画像の入力状態や検査対象の表面状態等が良
好でない場合でも、リードの幅等の安定かつ高精度な計
測を行うことができる。
によれば、画像の入力状態や検査対象の表面状態等が良
好でない場合でも、リードの幅等の安定かつ高精度な計
測を行うことができる。
【００２２】請求項２記載の発明によれば、画像の背景
の輝度が一様でない場合にもリードのエッジを正確に検
出できるため、計測の信頼性をさらに高めることができ
る。
の輝度が一様でない場合にもリードのエッジを正確に検
出できるため、計測の信頼性をさらに高めることができ
る。
【図１】実施形態の構成を示したブロック図である。
【図２】エッジパターン辞書の概念図である。
【図３】実施形態の作用を示す概念図である。
【図４】図４（ａ）はＩＣの模式的な画像であり、図４
（ｂ）は輝度値のプロファイルである。
（ｂ）は輝度値のプロファイルである。
【図５】図５（ａ）はＩＣの模式的な画像であり、図５
（ｂ）は、輝度値のプロファイルである。
（ｂ）は、輝度値のプロファイルである。
１ 被検査物 ２ ＴＶカメラ ３ 画像処理装置 ｓ１ 画像信号 ｓ２ 判定結果信号 ４ エッジパターン辞書 ５ エッジパターン辞書 ６ 類似度算出範囲 ７ 類似度算出開始点 ８ 抽出画像 ９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄ 正のピーク位置 １０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ 負のピーク位置
Claims (2)
- 【請求項１】 被検査物の寸法、形状を画像処理によっ
て計測する画像処理装置において、 前記画像処理装置は、被検査物の画像データの一部分を
逐次抜き出して、前記画像処理装置に予め記憶されたパ
ターン辞書との間で類似度を求め、得られた類似度の分
布から類似度の正又は負のピーク位置を検査対象のエッ
ジ部分と判断して計測することを特徴とする画像処理方
法。 - 【請求項２】 請求項１記載の画像処理方法において、 前記類似度を求める際に、前記画像データの一部分の分
散値と、設定値とを比較することにより、前記類似度の
確度を判断することを特徴とする画像処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9288064A JPH11120355A (ja) | 1997-10-21 | 1997-10-21 | 画像処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9288064A JPH11120355A (ja) | 1997-10-21 | 1997-10-21 | 画像処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11120355A true JPH11120355A (ja) | 1999-04-30 |
Family
ID=17725366
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9288064A Withdrawn JPH11120355A (ja) | 1997-10-21 | 1997-10-21 | 画像処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11120355A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007142039A (ja) * | 2005-11-16 | 2007-06-07 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 電子部品のリード幅検出位置決定方法及びリード幅検出方法並びにそれらの装置 |
| JP2007265015A (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 車両検出装置及び車両検出方法 |
-
1997
- 1997-10-21 JP JP9288064A patent/JPH11120355A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007142039A (ja) * | 2005-11-16 | 2007-06-07 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 電子部品のリード幅検出位置決定方法及びリード幅検出方法並びにそれらの装置 |
| JP4596324B2 (ja) * | 2005-11-16 | 2010-12-08 | 富士機械製造株式会社 | 電子部品のリード幅検出位置決定方法及びリード幅検出方法並びにそれらの装置 |
| JP2007265015A (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 車両検出装置及び車両検出方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050104 |