JPH11114382A - カートリッジフィルタ - Google Patents
カートリッジフィルタInfo
- Publication number
- JPH11114382A JPH11114382A JP9281924A JP28192497A JPH11114382A JP H11114382 A JPH11114382 A JP H11114382A JP 9281924 A JP9281924 A JP 9281924A JP 28192497 A JP28192497 A JP 28192497A JP H11114382 A JPH11114382 A JP H11114382A
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- JP
- Japan
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- filter
- outer cylinder
- membrane
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- filter membrane
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- Pending
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- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Filtration Of Liquid (AREA)
Abstract
良されたメンブレンフィルタを提供する。 【解決手段】 外筒と内筒の間の空間に折り畳まれて組
み込まれた折り畳み構造のフィルタ膜またはフィルタシ
ートを有するカートリッジタイプのフィルタにおいて、
折り畳みひだの幅を一ひだ毎に外筒と内筒の間の距離と
ほぼ等しく、残りを外筒側に前記距離の１／３〜２／３
に留めたカートリッジフィルタ。
Description
に於いて用いられる薬液用メンブレンフィルタに用いら
れるフィルタエレメントに関する。
膜分離技術を用いた水や薬品等の超清浄化技術が食品、
医薬品および半導体分野等の各分野に幅広く利用されて
いる。特に半導体集積回路製造プロセスに於ける微細加
工分野で必要とされる薬液の清浄化用として、フッ素樹
脂等の膜を用いたプリーツ状フィルターエレメントが開
発されている。特に半導体分野では、ウエハの大口径化
が行われる一方、クリーンルームのスペースの問題等で
洗浄機本体のコンパクト化、言い換えれば使用部材のコ
ンパクト化が強く要求されてきている。これらのコンパ
クト化に反し、一方ではメモリの高集積化に伴い薬液フ
ィルタへの要求は厳しく、より高い除粒子性能、流量特
性と孔が小さく濾過面積の大きいフィルタが望まれてい
る。したがって、現状のフィルタには、コンパクト化と
性能向上とを同時に満足させるものが求められている。
されたカートリッジタイプフィルタにおいて、除粒子性
能を落とすことなく、濾過流量の改良されたフィルタエ
レメントを提供しようとするものである。
間の空間に折り畳まれて組み込まれた折り畳み構造のフ
ィルタ膜またはフィルタシートを有するカートリッジタ
イプのフィルタにおいて、折り畳みひだの幅を一ひだ毎
に外筒と内筒の間の距離とほぼ等しく、残りを外筒側に
前記距離の１／３〜２／３に留めたカートリッジフィル
タに関する。
は、例えば特開昭６１−１４９２１９号公報に記載され
ているごとく、フィルタ膜の両面を多孔支持シートでサ
ンドイッチ状に挟んだフィルタシートをプリーツ状に折
り曲げて円筒状にし、、その両面に通液性の内筒および
外筒を装着した形態のものを言う。フィルタ膜は液圧が
加わった場合にそれ自体プリーツ形状を維持できる強度
を有するものであれば多孔支持シートで支持する必要は
ない。本発明に於いて折り畳み構造とは、フィルタ膜を
液の流路内に設置してフィルタ膜により液を濾過するに
当たり、濾過面積を大きくするために平面状フィルタ膜
またはフィルタシート（以下、単にフィルタ膜で代表的
に述べる）をジグザクに折り畳んだ構造をいう。
み構造メンブレンフィルタは、典型的には図１に示すよ
うに、フィルタ膜がカートリッジの外筒と内筒の間の空
間に折り畳まれて組み込まれており、一般には内筒から
流入してきた薬液は内外筒の間にあるフィルタ膜を通っ
て濾過処理され、外筒の外へ出て行くようになってい
る。本発明は、限られた容積内で濾過面積をより多くす
るためになされたものであり、外筒に近い領域に残され
たスペースを利用してより広い面積のフィルタ膜を組み
込んだものであり、これにより同じスペースにより高い
フィルタ膜表面積を確保することができる。即ち図１に
示すように、従来の折り畳み構造である図１（ｂ）に対
して、本発明の折り畳み構造（セミプリーツ構造）は図
１（ａ）に示すように、ひだの幅を、一ひだ毎に外筒と
内筒の間の距離（Ｌ）とほぼ等しく、通常Ｌ〜０.７Ｌ
とし、残りのひだ幅を、外筒側からＬ／３〜２Ｌ／３に
留めたものである。これにより外筒側からＬ／３〜２Ｌ
／３の空間部分には従来よりも２倍量のフィルタ膜を組
み込むことが可能になった。即ち組み込まれるフィルタ
膜の表面積は従来の４／３〜５／３倍に増加することが
できた（本明細書ではこのような構造のプリーツをセミ
プリーツ構造と言う）。
は、従来のプリーツ構造メンブレンの製造装置をそのま
ま用いて製造することができる。また一折れおきのセミ
プリーツの幅は、使用するフィルタ膜の厚さ、加える液
圧等の条件によって、流量が最大になるようにＬ／３〜
２Ｌ／３の範囲で任意に選ぶことができる。この幅が２
Ｌ／３より大きいとカートリッジ内に充填されるメンブ
レンフィルタ膜の量が過多となり、カートリッジ内での
圧損が大き過ぎて、かえって流量が低下する。一方、Ｌ
／３より小さいと流量が十分増加する程の効果が得られ
ない。
の孔径および膜厚は、処理液の種類および濾過目的によ
って任意に選定すればよいが、通常孔径が０.０１〜１
０μｍ、膜厚が５０〜２００μｍのものを使用する。使
用できるメンブレンの材質は特に限定されるものではな
く、本発明の用途に使用されているいずれの材質でもよ
い。特に、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）樹
脂、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤＦ）樹脂、四
フッ化エチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル
共重合樹脂（ＰＦＡ）樹脂、エチレン-クロロトリフル
オロエチレン（ＥＣＴＦＥ）樹脂、テトラフルオロエチ
レン-ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）樹
脂、、エチレン-テトラフルオロエチレン（ＥＴＦＥ）
樹脂、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）
樹脂等のフッ素樹脂やポリプロピレン、ポリエチレンな
どのポリオレフィン樹脂が例示される。
明する。実施例 １ 外筒の内径が７７ｍｍ、内筒の内径が４３ｍｍ、長さが
２５０ｍｍのＰＦＡ樹脂製カートリッジにＰＴＦＥ樹脂
製の孔径０.１μｍ、厚さ４０μｍのフィルタ膜を図１
（ａ）のようにセミプリーツ構造として組み込んだ。全
折り数は２１８（Ｎ）個であり、一ひだ毎のひだ幅は、
カートリッジの内筒と外筒の間の距離Ｌの１／２倍とし
た。このカートリッジタイプメンブレンフィルタに純水
を一定差圧の条件で流した場合、通常折り数１０９個
（Ｎ／２）の場合に比べ、流量が約１.４倍に向上し
た。
タにおいて、フィルタ膜の折り畳み構造を本発明のセミ
プリーツ構造とすることにより、除粒子性能を保持しつ
つ、流量すなわち薬液の処理量を著しく向上することが
できる。
タ（ａ）と従来のプリーツ構造メンブレンフィルタ
（ｂ）の模式図。
Claims (1)
- 【請求項１】 外筒と内筒の間の空間に折り畳まれて組
み込まれた折り畳み構造のフィルタ膜またはフィルタシ
ートを有するカートリッジタイプのフィルタにおいて、
折り畳みひだの幅を一ひだ毎に外筒と内筒の間の距離と
ほぼ等しく、残りを外筒側に前記距離の１／３〜２／３
に留めたカートリッジフィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9281924A JPH11114382A (ja) | 1997-10-15 | 1997-10-15 | カートリッジフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9281924A JPH11114382A (ja) | 1997-10-15 | 1997-10-15 | カートリッジフィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11114382A true JPH11114382A (ja) | 1999-04-27 |
Family
ID=17645851
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9281924A Pending JPH11114382A (ja) | 1997-10-15 | 1997-10-15 | カートリッジフィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11114382A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008126097A (ja) * | 2006-11-16 | 2008-06-05 | Nitto Denko Corp | フィルタユニットおよびその製造方法ならびにフィルタ濾材 |
| JP2008238003A (ja) * | 2007-03-26 | 2008-10-09 | Kurabo Ind Ltd | カートリッジフィルタ及びそれを用いた濾過装置 |
-
1997
- 1997-10-15 JP JP9281924A patent/JPH11114382A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008126097A (ja) * | 2006-11-16 | 2008-06-05 | Nitto Denko Corp | フィルタユニットおよびその製造方法ならびにフィルタ濾材 |
| JP4699340B2 (ja) * | 2006-11-16 | 2011-06-08 | 日東電工株式会社 | フィルタユニット |
| JP2008238003A (ja) * | 2007-03-26 | 2008-10-09 | Kurabo Ind Ltd | カートリッジフィルタ及びそれを用いた濾過装置 |
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Legal Events
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