JPH11105230A - ドライフィルムオートカッタラミネータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ドライフィルムラミネート時に基板の密着面
に発生する巻き取り停止筋を除去することにより、ラミ
ネート後の露光・現像時の欠陥を防止する。 【解決手段】 巻き取り停止スジ移動ローラ３を移動さ
せることにより、ドライフィルム１３に形成される巻き
取り停止筋１３ａ，１３ｂを、基板表面に形成されるパ
ターンの領域外に移動させ、ドライフイルム１４と基板
１６との貼付部に気泡が混入するのを阻止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ドライフィルムオ
ートカッタラミネータに関し、特に保護フィルム剥離機
構に関する。

【０００２】

【従来の技術】ガラス基板上にパターンを形成するカラ
ーＰＤＰのパネル製造工程において、ドライフィルムレ
ジストの密着貼付後に露光・現像・ドライフィルムレジ
スト剥離を行う一連のフォトリソ工程が、一般的に採用
されている。ここで、パターンのショート、断線等の欠
陥を防止する為に、ガラス基板にドライフィルムレジス
トを気泡の混入なく密着貼付することは重要な要件であ
る。

【０００３】図４は、ガラス基板にドライフィルムレジ
ストを貼付するための従来のオートカッタラミネータを
示す要部側面図である。

【０００４】図４に示す従来例のオートカッタラミネー
タは、フィルムを供給するフィルムロール２１と、フィ
ルムロール２１で供給されるフィルムから保護フィルム
３５のみを巻き取る保護フィルム巻き取りロール２２
と、保護フィルム３５が剥離されて繰り出されたドライ
フィルム３４に所定の張力を付与するフィルムテンショ
ンロール２５と、基板３６ａ上にドライフィルム３４の
先端を仮付けする仮付けプレート２６と、基板３６ａの
後端に合わせてドライフィルム３４を切断するフィルム
カッタ２７と、ドライフィルム３４を基板３６ａに圧着
する圧着ロール２８と、基板３６ａ，３６ｂを搬送する
搬送コンベア２９ａ，２９ｂとより構成されていた（特
開昭６２−２５０３４号、特開昭６１−１９３８５２
号、特開昭６１−１９５８４１号の各公報参照）。

【０００５】前段の搬送コンベア２９ａにより基板３６
ａの先端部が仮付けプレート２６の下方に送り込まれる
と、搬送コンベア２９ａが停止し、基板３６ａの先端部
上面に仮付けプレート２６によりドライフィルム３４の
仮付けを行い、その後、再度搬送コンベア２９ａが駆動
し、基板３６ａを圧着ロール２８間に送り込みながら、
ドライフィルム３４のラミネートを行っていた。

【０００６】基板３６ｂをラミネートした後、次の基板
３６ａが搬送コンベア２９ａの基板搬送方向３７に従っ
て仮付けプレート２６の下方に送り込まれて来るまで
は、フィルムロール２１及び保護フィルム巻き取りロー
ル２２は停止させておく。基板３６ａが仮付けプレート
２６の下方の仮付け位置にくると、再び仮付けプレート
２６にドライフィルム３４を吸着しながら引き下げ、基
板３６ａの先端部上面に仮付けを行う。

【０００７】以上のように、次の基板３６ａがくるまで
の間、仮付けプレート２６が待機停止するため、フィル
ムロール２１及び保護フィルム巻き取りロール２２は回
転が停止し、保護フィルム巻き取り動作が停止する。

【０００８】その後、仮付けプレート２６が基板３６ａ
の先端部上面に仮付け動作を始めると、ドライフィルム
３４と保護フィルム３５の剥離動作が再開される。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図４に
示す従来例において、保護フィルム３５の巻き取りロー
ル２２の停止時に、ドライフィルム３４の保護フィルム
剥離部分に気泡の筋３３ａ，３３ｂ，３３ｃが発生し、
これが基板３６ｂの密着面にラミネートされ、露光・現
像時の欠陥となるという問題がある。

【００１０】その理由は、基板の後端部にあわせてドラ
イフィルム３４をカットした後、次の基板が供給される
までは、フィルムロール２１及び保護フィルム巻き取り
ロール２２を停止させるため、ドライフィルム３４のの
り状物質が蒸発や不連続な剥離力により飛散し、ドライ
フィルム３４の厚みが変化するためである。

【００１１】本発明の目的は、ドライフィルムラミネー
ト時に基板の密着面に発生する保護フィルム巻き取り停
止筋をカット除去することにより、ラミネート後の露光
・現像時の欠陥を防止し、ラミネート工程の信頼性向上
及び生産性向上を図るドライフィルムオートカットラミ
ネータを提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係るドライフィルムオートカットラミネー
タは、保護フィルムを剥離しながらドライフィルムを基
板の表面に密着貼付するドライフィルムオートカッタラ
ミネータであって、巻き取り停止筋移動ロールと、フィ
ルムカッタとを有し、前記巻き取り停止筋移動ロール
は、保護フィルムの剥離後での停止毎に前記ドライフィ
ルムに生じる巻き取り停止筋の位置を基板表面の形成さ
れるパターン領域外に移動するものであり、前記フィル
ムカッタは、前記巻き取り停止筋移動ロールにて送られ
た前記ドライフィルムを巻き取り停止筋の位置でカット
するものである。

【００１３】また、自動計測ユニットと巻き取り停止筋
移動テーブルとを有し、前記自動計測ユニットは、ドラ
イフィルムがラミネートされる基板のサイズを計測し、
その計測値を巻き取り停止筋移動テーブルに出力するも
のであり、前記巻き取り停止筋移動テーブルは、前記自
動計測ユニットの計測値に基づいて前記巻き取り停止筋
移動ロールを、ドライフィルムの長さ方向に形成される
巻き取り停止筋間の寸法が基板表面に形成されるパター
ン領域のサイズより大きくなる位置まで移動させるもの
である。

【００１４】本発明によれば、巻き取り停止スジ移動ロ
ーラ３を移動させることにより、ドライフィルム１３に
形成される巻き取り停止筋１３ａ，１３ｂを、基板表面
に形成されるパターンの領域外に移動させ、ドライフイ
ルムと基板との貼付部に気泡が混入するのを阻止する。

【００１５】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。

【００１６】（実施形態１）図１は、本発明の実施形態
１に係るドライフィルムオートカットラミネータを示す
構成図、図２は、本発明の実施形態１に係るドライフィ
ルムオートカットラミネータを示す斜視図である。

【００１７】図１及び図２において、本発明の実施形態
１に係るドライフィルムオートカットラミネータは、ド
ライフィルムを数十ｍから数百ｍ巻き付けたフィルムロ
ール１と、フィルムロール１から繰出されたドライフィ
ルムから保護フィルム１５のみを巻き取る保護フィルム
巻き取りロール２と、ドライフィルム１４と保護フィル
ム１５との剥離部に仮付け停止毎に発生する巻き取り停
止筋１３ａと１３ｂとの距離を基板１６のサイズに合わ
せて変化させるために昇降可能な巻き取り停止筋移動ロ
ール３と、ドライフィルム１４にテンションを与えるフ
ィルムテンションロール５と、ドライフィルム１４を吸
着保持しながら基板１６ａの先端部に仮付けする仮付け
プレート６と、通常はフィルム幅外側に位置しラミネー
ト終了時に水平方向に移動しながらドライフィルム１４
をカットするフィルムカッタ７と、ドライフィルム１４
を基板１６ｂに圧着する圧着ロール８と、基板１６ａ，
１６ｂを搬送する搬送コンベア９ａ，９ｂとを有してい
る。さらに、巻き取り停止筋移動ローラ３は、回転ハン
ドル１１により昇降するようになっている。

【００１８】なお、これらの構成要素は、制御部により
シーケンシャルに動作が制御させるようになっている。

【００１９】次に、本発明の実施形態の動作について、
図１及び図２を参照して詳細に説明する。

【００２０】基板１６ａが仮付けプレート６の下方の仮
付け位置まで搬送されてくる期間中は、仮付けプレート
６は、ドライフィルム１４を吸着保持した状態で基板搬
送路の上方位置に停止している。

【００２１】搬送コンベア９ａにより基板１６ａの基板
先端部が仮付け位置まで搬送されると、仮付けプレート
６がドライフィルム１４を吸着しながら基板先端部上面
まで下降し仮付けを行う。

【００２２】仮付けプレート６が下降するのに従いドラ
イフィルム１４も下方に引かれ、ドライフィルム１４は
ドライフィルム供給方向１８に、保護フィルム１５は保
護フィルム巻き取り方向１９に移動し、フィルムロール
１及び保護フィルム巻き取りロール２も回転を開始す
る。

【００２３】また、保護フィルム１５が剥離されたドラ
イフィルム１４は、巻き取り停止筋移動ロール３の周面
を周回し、フィルムテンションローラ５の周面に接触し
てテンションが与えられ、仮付けプレート６に保護フィ
ルム１５の先端が吸着・保持されている。

【００２４】フィルムが送られる際に、ドライフィルム
１４と保護フィルム１５の剥離部に不連続な剥離力が加
わり、かつフィルムロール１と保護フィルム巻き取りロ
ール２の停止によるドライフィルム１４の剥離部ののり
状物質の蒸発も重なり、気泡を含んだ巻き取り停止筋１
３ａが発生する。

【００２５】この場合、回転ハンドル１１によりあらか
じめ巻き取り停止筋移動ロール３の位置を昇降させるこ
とにより、巻き取り停止筋１３ａと１３ｂとの距離を基
板の搬送方向のサイズと一致させ、巻き取り停止筋１３
ａ，１３ｂが基板１６ａの上面に掛からないように調整
する。このとき巻き取り停止筋１３ａは基板のラミネー
ト動作に従いながら移動し、他方の巻き取り停止筋１３
ｂの位置でフィルムカッタ７によりカッティング除去さ
れる。

【００２６】（実施例）次に、本発明の実施例について
図面を参照して詳細に説明する。

【００２７】図１、図２を参照すれば、ドライフィルム
は使用初めの段階で５０ｍ巻かれ両軸を軸受で支持され
回転可能なフィルムロール１にセットされている。フィ
ルムロール１の上面には、フィルムロール１の回転に従
いフィルム間の摩擦トルクにて反転可能な保護フィルム
巻き取りロール２が設置されている。ドライフィルム１
４と保護フィルム１５との剥離部に仮付け毎に発生する
巻き取り停止筋１３ａと１３ｂの距離を基板サイズに合
わせて変化させるべく昇降可能な巻き取り停止筋移動ロ
ール３がフィルムロール１及び保護フィルム巻き取りロ
ール２の前方に設置されている。巻き取り停止筋の水平
方向発生位置を一定にするべくドライフィルム１４と保
護フィルム１５との剥離角度をドライフィルムの粘着力
のバラツキによる保護フィルムの剥離力のバラツキがあ
っても剥離位置が約９０°以上に拡大する剥離拡大ロー
ル４がフィルムロール１の前方に設置されている。ドラ
イフィルム１４にテンションのバラツキを安定させテン
ションのバラツキによるシワを防止するために、数ｋｇ
ｆのテンションを与えるフィルムテンションロール５が
設けられ、ムテンションロール５の下方には、ドライフ
ィルム１４を吸着保持しながら基板先端部にフィルムを
仮付けする仮付けプレート６と、通常は仮付けプレート
６の仮付け動作と干渉しないようにフィルム幅の外側に
位置しラミネート終了時に水平方向に移動しながらドラ
イフィルム１４をカットするフィルムカッタ７とが、巻
き取り停止筋移動ロール３の下方に位置して設置されて
いる。フィルムカッタ７の下方には、ドライフィルム１
４を基板１６ｂに圧着する圧着ロール８と、基板１６
ａ，１６ｂ，１６ｃを搬送する搬送コンベア９ａ，９ｂ
とが設置されている。

【００２８】本発明の実施例の動作について説明する。

【００２９】図１、図２を参照すると、仮付けプレート
６がドライフィルム１４を吸着しながら下降し基板１６
ａに仮付けを行い、その後、仮付けプレート６が定位置
で停止すると、保護フィルム１５の剥離部に巻き取り停
止筋１３ａが発生する。回転ハンドル１１により巻き取
り停止筋移動ロール３を昇降させ、あらかじめ巻き取り
停止筋１３ａと１３ｂとの距離を基板の搬送方向のサイ
ズに合わせておくことにより、巻き取り停止筋１３ａ
は、基板のラミネート動作に従いながら移動し、他方の
巻き取り停止筋１３ｂの位置でフィルムカッタ７により
カッティング除去される。

【００３０】（実施形態２）次に、本発明の実施形態２
を図３に基づいて説明する。

【００３１】図３に示す本発明の実施形態２は、巻き取
り停止筋移動ロール３を昇降させる回転ハンドル１１に
代えて、外部基板サイズ指令により自動にて巻き取り停
止筋をドライフィルムカッティング方向２０に移動させ
る巻き取り停止筋移動テーブル１０と、搬送される基板
サイズを自動計測し巻き取り停止筋移動テーブル１０に
基板情報を与える基板サイズ自動計測ユニット１２とを
有する点で実施形態１と異なる。

【００３２】巻き取り停止筋移動テーブル１０と、基板
サイズ自動計測ユニット１２とにより、あらかじめ基板
サイズに合わせて巻き取り停止筋移動ロール３を位置調
整することなく、自動で巻き取り停止筋移動ロール３を
昇降させることが可能となる。このため、任意の基板サ
イズに合わせて自動で巻き取り停止筋をカッティング除
去することができる。

【００３３】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、基
板中央部の基板とドライフィルムとの密着面内に混入し
ていた気泡筋を除去でき、これにより露光・現像時の欠
陥を防止できる。

【００３４】その理由は、巻き取り停止筋を巻き取り停
止移動ローラを具備しこれを昇降させることにより、巻
き取り停止筋をフィルムカッティング位置に移動させカ
ット削減してしまうためである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態１を示す縦断面図である。

【図２】本発明の実施形態１を示す斜視図である。

【図３】本発明の実施形態２を示す縦断面図である。

【図４】従来のドライフィルムオートカットラミネータ
の縦断面図である。

【符号の説明】

１、２１ フィルムロール ２、２２ 保護フィルム巻き取りロール ３ 巻き取り停止筋移動ロール ４ 剥離角拡大ロール ５、２５ フィルムテンションロール ６、２６ 仮付けプレート ７、２７ フィルムカッタ ８、２８ 圧着ロール ９（９ａ，９ｂ）、２９（２９ａ，２９ｂ） 搬送コン
ベア １０ 巻き取り停止筋移動テーブル １１ 回転ハンドル １２ 基板サイズ自動計測ユニット １３（１３ａ，１３ｂ）、３３（３３ａ，３３ｂ，３３
ｃ） 巻き取り停止筋 １４、３４ ドライフィルム １５、３５ 保護フィルム １６（１６ａ，１６ｂ，１６ｃ）、３６（３６ａ，３６
ｂ，３６ｃ） 基板 １７、３７ 基板搬送方向 １８（１８ａ，１８ｂ，１８ｃ） ドライフィルム供給
方向 １９（１９ａ，１９ｂ，１９ｃ） フィルム巻き取り方
向

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 保護フィルムを剥離しながらドライフィ
   ルムを基板の表面に密着貼付するドライフィルムオート
   カッタラミネータであって、 巻き取り停止筋移動ロールと、フィルムカッタとを有
   し、 前記巻き取り停止筋移動ロールは、保護フィルムの剥離
   後での停止毎に前記ドライフィルムに生じる巻き取り停
   止筋の位置を基板表面の形成されるパターン領域外に移
   動するものであり、 前記フィルムカッタは、前記巻き取り停止筋移動ロール
   にて送られた前記ドライフィルムを巻き取り停止筋の位
   置でカットするものであることを特徴とするドライフィ
   ルムオートカッタラミネータ。
2. 【請求項２】 自動計測ユニットと巻き取り停止筋移動
   テーブルとを有し、 前記自動計測ユニットは、ドライフィルムがラミネート
   される基板のサイズを計測し、その計測値を巻き取り停
   止筋移動テーブルに出力するものであり、 前記巻き取り停止筋移動テーブルは、前記自動計測ユニ
   ットの計測値に基づいて前記巻き取り停止筋移動ロール
   を、ドライフィルムの長さ方向に形成される巻き取り停
   止筋間の寸法が基板表面に形成されるパターン領域のサ
   イズより大きくなる位置まで移動させるものであること
   を特徴とする請求項１に記載のドライフィルムオートカ
   ッタラミネータ。