JPH1099664A - 気体分離用炭化膜 - Google Patents
気体分離用炭化膜Info
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- JPH1099664A JPH1099664A JP26194096A JP26194096A JPH1099664A JP H1099664 A JPH1099664 A JP H1099664A JP 26194096 A JP26194096 A JP 26194096A JP 26194096 A JP26194096 A JP 26194096A JP H1099664 A JPH1099664 A JP H1099664A
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Abstract
天然ガス分離、ガスの除湿、空気からの酸素、窒素の製
造等の用途に有用な気体分離用炭化膜を提供する。 【解決手段】 嵩高いフルオレン骨格を有するポリエス
テル構造単位、ポリカーボネート構造単位、ポリエーテ
ル構造単位、ポリアミド構造単位及びポリイミド構造単
位から選ばれた少なくとも1種の構造単位を有するカル
ド型ポリマーを所定の分離膜形状に成形して分離膜前駆
体を形成し、この分離膜前駆体を嫌気雰囲気下で加熱し
炭化させて得られた気体分離用炭化膜である。
Description
天然ガス分離、ガスの除湿、空気からの酸素や窒素の製
造等の技術において有用な気体分離膜に関する。
から特定の気体を分離したり、精製することが積極的に
検討されている。例えば、空気から酸素を選択的に透過
させて酸素富化空気を製造し、これを医療や燃料システ
ム等の分野で活用する試みがなされている。そして、こ
れらの用途に用いる気体分離膜に対しては、特定の気体
に対する気体透過性と気体選択性がいずれも大きいこと
が要求され、また、使用環境によっては高耐熱性、耐薬
品性、高強度等の特性が要求される。
極にまで高める手段として、炭素材料の持つ微細構造の
分子篩作用に着目し、高分子系分離膜を炭化させて炭化
膜として使用する研究も近年活発化してきている。例え
ば、Sofer等による米国特許第4,685,940
号(1987年)には、高分子を前駆体として炭化させ
た炭化膜に関する技術が記載されている。しかしなが
ら、いずれも炭化行程の安定化を指向し、セルロース、
熱硬化性高分子又はピッチータールを前駆体に用いた炭
化膜に限定されている。
は、従来より気体分離用高分子膜の開発に携わって来て
おり、そのなかで、高分子材料における気体分離機能の
設計は、高分子が有する分子鎖空隙である自由体積の平
均値と分布及びその運動性を調整することによる気体の
収着と拡散の制御にその主眼が置かれるべきであるとの
考えに到達した。
要素として、自由体積を大きくすることができ、かつ、
高分子鎖の分子運動性を抑制する手法として、嵩高い構
造単位の開発とその高分子化を鋭意検討し、その結果と
してフルオレン骨格をベースとし、これにフェノール、
アニリン等の構造単位を付加してなる二官能性モノマー
が最適であるとの結論に達し、これを構造単位とした高
分子(以下、「カルド型ポリマー」と称する)を開発
し、実施するに至っている。しかしながら、このような
方法についても、高分子の自由体積を最適に制御するた
めには種々のモノマーを調製し、その高分子化を行い、
更に薄膜を形成するという一連のプロセスを制御する必
要があり、その大部分は経験に依るところが大きい。
なる分離膜について、更にその高性能化を検討した結
果、炭素材料の有する分子オーダーの超微細分子篩性空
隙に着目し、これにカルド型ポリマーが有する特有の嵩
高い構造に基づいた性能、特に溶剤可溶性に起因する湿
式製膜の容易性、剛直構造に起因する熱的安定性、及
び、縮合芳香環を主体とする骨格に起因する易炭化性と
を組み合わせることにより、優れた気体分離性能(気体
透過性及び気体選択性)を有する炭化膜を製造できるこ
とを見出し、本発明を完成した。
を有するカルド型ポリマーを所定の分離膜形状に成形し
て分離膜前駆体を形成し、この分離膜前駆体を嫌気性雰
囲気で加熱し炭化させることにより、優れた気体分離性
能を有して排気ガス処理、天然ガス分離、ガスの除湿、
空気からの酸素、窒素の製造等の用途に有用な気体分離
用炭化膜を提供することにある。
記一般式(1)〜(5)
2価の有機残基を示し、Y5 は4価の有機残基を示し、
Xは2価の有機残基であって少なくともその一部は下記
構造式(A)
H2n+1(n=1〜4の整数)で表されるアルキル基、−
OCn H2n+1(n=1〜4の整数)で表されるアルコキ
シル基、カルボキシル基、カルボキシメチル基、又はハ
ロゲンを示し、互いに同一であっても異なっていてもよ
い)で表される2価の有機残基である〕でそれぞれ表さ
れるポリエステル構造単位、ポリカーボネート構造単
位、ポリエーテル構造単位、ポリアミド構造単位及びポ
リイミド構造単位から選ばれた少なくとも1種の構造単
位を有するカルド型ポリマーを所定の分離膜形状に成形
して分離膜前駆体を形成し、この分離膜前駆体を嫌気雰
囲気下で加熱し炭化させて得られた気体分離用炭化膜で
ある。
テル構造単位は、ジオール類とジカルボン酸ジハライ
ド、好ましくはジカルボン酸ジクロライドとを反応させ
て得られる。一般式(1)中のY1 部分の原料となるジ
カルボン酸ジクロライドとしては、テレフタル酸ジクロ
ライド、イソフタル酸ジクロライド、4,4’−ビフェ
ニルジカルボン酸ジクロライド、2,6−ナフタレンジ
カルボン酸ジクロライド等の芳香族ジカルボン酸ジクロ
ライドや、シュウ酸ジクロライド、コハク酸ジクロライ
ド、グルタル酸ジクロライド、アジピン酸ジクロライ
ド、ピメル酸ジクロライド、スベル酸ジクロライド、フ
マル酸ジクロライド、マレイン酸ジクロライド、1,4
−シクロヘキサンジカルボン酸ジクロライド等の脂肪族
ジカルボン酸ジクロライドや、これらジカルボン酸ジク
ロライドの混合物が挙げられる。なかでも工業的に入手
し易いことから、テレフタル酸ジクロライド、イソフタ
ル酸ジクロライド及びアジピン酸ジクロライドが好適で
ある。
ボネート構造単位は、ジオール類とホスゲンダイマーと
を反応させて得られる。一般式(2)中のY2 部分の原
料となるホスゲンダイマーとしては、トリクロロメチル
クロロホルメートが挙げられる。
テル構造単位は、ジオール類とハロゲン化ジフェニルス
ルフォンとを反応させて得られる。一般式(3)中のY
3 部分の原料となるハロゲン化ジフェニルスルフォンと
しては、下記構造式(B)
引性の基であり、R15はハロゲンである)で表される化
合物である。ここで電子吸引性の基R13及びR14として
はF、Cl、Br等のハロゲンやNO2 が望ましく、置
換基R15としてはF、C1、Brのいずれかでよい。こ
の化合物Bは、その1種を単独で使用しても、また、2
種以上を併用しても差し支えない。このような化合物の
代表的な具体例としては、4,4’−ジクロロジフェニ
ルスルフォン、3,3’,4,4’−テトラクロロジフ
ェニルスルフォン、4,4’−ジクロロ−3,3’−ジ
ニトロージフェニルスルフォン等のジクロロジフェニル
スルフォン類やこれらの混合物が挙げられる。
X部分の原料としては、下記構造式(A1)
場合と同じである〕で表されるフルオレン骨格を有する
ジオール類を単独で、若しくは、このフルオレン骨格を
有するジオール類とその他のジオール類とを併用して使
用する。
しては、ビスフェノールフルオレン類が用いられ、具体
的には9,9−ビス(4−ヒドロキシフェニル)フルオ
レン、9,9−ビス(3−メチル−4−ヒドロキシフェ
ニル)フルオレン、9,9−ビス(3,5−ジメチル−
4−ヒドロキシフェニル)フルオレン、9,9−ビス
(3−エチル−4−ヒドロキシフェニル)フルオレン、
9,9−ビス(3,5−ジエチル−4−ヒドロキシフェ
ニル)フルオレン、9,9−ビス(3−ブロモ−4−ヒ
ドロキシフェニル)フルオレン、9,9−ビス(3,5
−ジブロモ−4−ヒドロキシフェニル)フルオレン、
9,9−ビス(4−ヒドロキシフェニル)フルオレン−
4−カルボン酸等や、これらの混合物が挙げられる。ま
た、その他のジオール類としては、ビスフェノールA、
ビスフェノールF、ビスフェノールS、p−キシリレン
グリコール、ナフタレンジオール等の芳香族ジオール類
や、エチレングリコール、ジエチレングリコール、ブタ
ンジオール等の脂肪族ジオール類等が挙げられる。ま
た、これらのナトリウム、カリウム等のアルカリ金属塩
も使用できる。
て、フルオレン骨格を有するジオール類とその他のジオ
ール類との成分モル比は10/90以上であることが望
ましい。この成分モル比が10/90より小さいと、前
駆体のカルド型ポリマーについて優れた溶剤可溶性、熱
的安定性が得られない。
ド構造単位は、ジアミン類とジカルボン酸ジハライド、
好ましくはジカルボン酸ジクロライドとを反応させて得
られる。一般式(4)中のY4 部分の原料となるジカル
ボン酸ジクロライドとしては、テレフタル酸ジクロライ
ド、イソフタル酸ジクロライド、4,4’−ビフェニル
ジカルボン酸ジクロライド、2,6−ナフタレンジカル
ボン酸ジクロライド等の芳香族ジカルボン酸ジクロライ
ドや、シュウ酸ジクロライド、コハク酸ジクロライド、
グルタル酸ジクロライド、アジピン酸ジクロライド、ピ
メル酸ジクロライド、スベル酸ジクロライド、フマル酸
ジクロライド、マレイン酸ジクロライド、1,4−シク
ロヘキサンジカルボン酸ジクロライド等の脂肪族ジカル
ボン酸ジクロライドや、これらジカルボン酸ジクロライ
ドの混合物が挙げられる。なかでも工業的に入手し易い
ことから、テレフタル酸ジクロライド、イソフタル酸ジ
クロライド及びアジピン酸ジクロライドが好適である。
ド構造単位は、ジアミン類とテトラカルボン酸二無水物
とを反応させて得られる。一般式(5)中のY5 部分の
原料となるテトラカルボン酸二無水物としては、例えば
無水ピロメリット酸、3,3’,4,4’−ベンゾフェ
ノンテトラカルボン酸二無水物、ビス(3,4−ジカル
ボキシフェニル)スルフォン二無水物、2,2−ビス
(3,4−ジカルボキシフェニル)−1,1,1,3,
3,3−ヘキサフルオロプロパン二無水物、3,3’
4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,
3’,4’4−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二
無水物等や、これらの混合物が挙げられる。
のX部分の原料としては、下記構造式(A2)
場合と同じである〕で表されるフルオレン骨格を有する
ジアミン類を単独で、若しくは、このフルオレン骨格を
有するジアミン類とその他のジアミン類を併用して使用
する。
しては、ビスアニリンフルオレン類が用いられ、具体的
には9,9−ビス(4−アミノフェニル)フルオレン、
9,9−ビス(3−メチル−4−アミノフェニル)フル
オレン、9,9−ビス(3,5−ジメチル−4−アミノ
フェニル)フルオレン、9,9−ビス(3−エチル−4
−アミノフェニル)フルオレン、9,9−ビス(3,5
−ジエチル−4−アミノフェニル)フルオレン、9,9
−ビス(3−ブロモ−4−アミノフェニル)フルオレ
ン、9,9−ビス(3,5−ジブロモ−4−アミノフェ
ニル)フルオレン、9,9−ビス(4−アミノフェニ
ル)フルオレン−4−カルボン酸、9,9−ビス(4−
アミノフェニル)フルオレン−4−カルボン酸メチル等
や、これらの混合物が挙げられる。
7−ジアミノフルオレン、ナフタレンジアミン、2,8
−ジアミノジベンゾフラン、4,4’−ジアミノビフェ
ニル、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル等の芳香
族ジアミン類や、ヘキサメチレンジアミン、イソプロピ
ルジアミン等の脂肪族ジアミン類等が挙げられる。
フルオレン骨格を有するジアミン類とその他のジアミン
類との成分モル比は10/90以上が望ましい。この成
分モル比が10/90より小さいと、前駆体のカルド型
ポリマーについて優れた溶剤可溶性、熱的安定性が得ら
れない。
(5)で表されるカルド型の構造単位を有するカルド型
ポリマーとしては、それぞれポリエステル構造単位、ポ
リカーボネート構造単位、ポリエーテル構造単位、ポリ
アミド構造単位又はポリイミド構造単位の何れか1つを
有するポリエステル、ポリカーボネート、ポリエーテ
ル、ポリアミド、又はポリイミドからなる重合物が挙げ
られるほか、これらカルド型の構造単位を2種以上有す
る共重合物であってもよく、更には、これら重合物及び
共重合物から選ばれた2種以上のポリマーの混合物であ
ってもよい。
体とする骨格を有することから、易炭化性であって高炭
化収率を示し、炭化膜製造の前駆体として好適である。
また、その特有の嵩高いフルオレン骨格に起因する優れ
た溶剤可溶性を有することから湿式製膜が可能であり、
種々の形状、構造の分離膜を容易に製造することができ
る。更に、特有の嵩高いフルオレン骨格に起因して、優
れた剛直構造となっており、このために高温域において
も分子運動が抑制され、高いガラス転移温度(Tg)を
示す等その熱的安定性に優れており、高温での加熱、炭
化が可能であるほか、前駆体の形状を可及的に維持した
炭化膜を得ることができる。
(5)で表される少なくとも1種の構造単位を有するカ
ルド型ポリマーをもちいて成形される分離膜先駆体の形
状は、一般に気体分離として用いられる形状であれば特
に制限はなく、例えば平膜状、中空糸膜状等の形状が挙
げられる。
膜状の分離膜先駆体を製膜するには、上記カルド型ポリ
マーを適当な有機溶媒に溶解し、この際に必要に応じ
て、溶液安定性の向上を目的として塩化リチウム等を添
加して製膜原液とし、この製膜原液を平滑なガラス板上
に流延あるいは塗布し、次いで加熱して溶媒の一部を蒸
発させた後、上記製膜原液の溶媒と混合するがカルド型
ポリマーに対しては非溶解性の溶媒に浸漬し、脱溶媒さ
せる。
るには、上記製膜原液を二重管構造の中空糸紡糸ノズル
の周縁部環状口から凝固液中に押し出すと同時に中央部
円状口からは製膜原液の溶媒と混合するがカルド型ポリ
マーに対しては非溶解性の溶媒を凝固液中に押し出し、
これを室温で風乾した後、真空乾燥あるいは100℃程
度で加熱乾燥する。
の分離膜前駆体については、次に、嫌気雰囲気下で加熱
し、炭化させて炭化膜を製造する。ここで、嫌気雰囲気
は、窒素、ヘリウム、アルゴン等の酸素を含まない不活
性ガスを加熱容器内に充満させ、又は、流通させて形成
するか、あるいは、加熱容器内を減圧することにより形
成する。
るカルド型ポリマーの熱分解による分解ガスを除去する
観点から、減圧下での加熱が好ましい。この際の加熱容
器内の酸素分圧は1torr未満、好ましくは0.1t
orr未満である。この酸素分圧が1torr以上であ
ると、加熱時にカルド型ポリマーの酸化が進行し、炭化
膜の収量が低下し、また、得られた炭化膜の構造に欠陥
が生じる場合がある。
気雰囲気下で加熱し、炭化させる際の炭化温度は、使用
するカルド型ポリマーの種類にもよるが、通常300〜
2000℃、好ましくは500〜1500℃である。3
00℃未満では炭化が十分に進まず、優れた分離性能を
発現させることが困難になり、反対に、2000℃を超
える高温では、カルド型ポリマーの分解が多くなり、炭
化膜の収量が低下する。炭化時間は、炭化温度、使用し
たカルド型ポリマーの種類や量等にもよるが、通常10
分から24時間である。この炭化の終点は、通常は、重
量減少の終了により決める。
で所定の形状の分離膜前駆体を成形し、この分離膜前駆
体を炭化させて気体分離用炭化膜とするので、炭化の際
に比較的高温に加熱しても分離膜前駆体の形状が維持さ
れ、構造欠陥の少ない、細孔径の揃った炭化膜が得られ
る。また、カルド型ポリマーは溶剤溶解性に優れている
ので、湿式法による中空糸化や製膜が可能であり、種々
の形状の分離膜前駆体を成形して炭化することができ、
種々の形状の炭化膜を容易に製造できる。
説明する。気体分離性能の測定は、それぞれ平膜用気体
透過率測定装置又は中空糸用気体透過率測定装置を用い
て行った。平膜状炭化膜の場合には、測定装置のセルに
装着した試験膜の一方の面に一定圧力の試験ガスを供給
し、膜の他方の面を減圧し、透過してくるガス量を圧力
変化から測定した。また、中空糸状炭化膜の場合には、
同装置に装着した中空糸モジュールの内面に一定圧力で
試験ガスを供給し、透過してくる気体流量を流量計で測
定した。この際に、下記式で求められる気体透過係数P
及び気体透過速度Qから、それぞれ平膜状炭化膜、中空
糸状炭化膜の気体分離性能を求めた。また、P又はQの
比からガスの分離係数αを求めた。
膜厚(cm)}÷{膜面積(cm2 )×時間(秒)×圧
力差(cmHg)} Q={ガス透過流量(cm3 ・STP)}÷{膜面積
(cm2 )×時間(秒)×圧力差(cmHg)}
5.0gとテレフタル酸ジクロライド20.3gとを用
いて合成したカルド型ポリエステル16重量部と塩化リ
チウム5重量部とをN,N−ジメチルセトアミド100
重量部に溶解し、製膜原液を調製した。
オーブン中60℃で1時間乾燥し、次いで、120℃に
昇温して1時間乾燥した。更に150℃で1時間、23
0℃で1時間乾燥した後、徐々に冷却し、厚さ0.03
mmの平膜(分離膜前駆体)を得た。また、二重管構造
の中空糸紡糸ノズルの環状口から製膜原液を、円状口か
ら純水をそれぞれ同時に凝固水槽中に押し出し、これを
室温で風乾した後、100℃で乾燥して中空糸膜(分離
膜前駆体)を得た。得られたカルド型ポリエステル膜の
10%重量減少温度〔Td(℃)〕及びガラス転移温度
〔Tg(℃)〕を測定すると共に、可溶性溶剤を調べ、
また、試験ガス(H2 、O2 、N2 、CO2 )を用いて
気体分離性能を調べた。結果を表1に示す。
膜及び中空糸膜(分離膜前駆体)の炭化を行った。この
際の操作は、先ず真空電気炉内を10-5torr以下に
減圧し、20℃/分の速度で800℃まで昇温させ、こ
の800℃で2時間加熱した後放冷し、平膜状及び中空
糸膜状の炭化膜を得た。試験ガスを用いて得られた炭化
膜の気体分離性能を調べた。結果を表2に示す。
5.0gとホスゲンダイマー(トリクロルメチルクロル
ホルメート)12mlとを用いて合成したカルド型ポリ
カーボネートを用いた以外は、上記実施例1と同様にし
て、分離膜前駆体を成形し、これを炭化して炭化膜を得
た。上記実施例1と同様にして分離膜前駆体の物性及び
気体分離性能を測定すると共に、炭化膜の気体分離性能
を測定した。結果をそれぞれ表1及び表2に示す。
8.0gと4,4’−ジクロロジフェニルスルフォン2
3.0gとを用いて合成したカルド型ポリエーテルを用
いた以外は、上記実施例1と同様にして、分離膜前駆体
を成形し、これを炭化して炭化膜を得た。上記実施例1
と同様にして分離膜前駆体の物性及び気体分離性能を測
定すると共に、炭化膜の気体分離性能を測定した。結果
をそれぞれ表1及び表2に示す。
8gとテレフタル酸ジクロライド20.3gとを用いて
合成したカルド型ポリアミド16重量部をN,N−ジメ
チルアセトアミド100重量部に溶解して製膜原液を得
た以外は、上記実施例1と同様にして、分離膜前駆体を
成形し、これを炭化して炭化膜を得た。上記実施例1と
同様にして分離膜前駆体の物性及び気体分離性能を測定
すると共に、炭化膜の気体分離性能を測定した。結果を
それぞれ表1及び表2に示す。
8gとイソフタル酸ジクロライド20.3gとを用いて
合成したカルド型ポリアミド16重量部をN,N−ジメ
チルアセトアミド100重量部に溶解して製膜原液を得
た以外は、上記実施例1と同様にして、分離膜前駆体を
成形し、これを炭化して炭化膜を得た。上記実施例1と
同様にして分離膜前駆体の物性及び気体分離性能を測定
すると共に、炭化膜の気体分離性能を測定した。結果を
それぞれ表1及び表2に示す。
8gと3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカル
ボン酸二無水物32.2gとを用いて合成したカルド型
ポリイミドを用いた以外は、実施例4と同様にして、分
離膜前駆体を成形し、これを炭化して炭化膜を得た。上
記実施例1と同様にして分離膜前駆体の物性及び気体分
離性能を測定すると共に、炭化膜の気体分離性能を測定
した。結果をそれぞれ表1及び表2に示す。
8gと3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン
酸二無水物11.8g及び無水ピメリット酸13.9g
とを用いて合成したカルド型ポリイミドを用いた以外
は、実施例4と同様にして、分離膜前駆体を成形し、こ
れを炭化して炭化膜を得た。上記実施例1と同様にして
分離膜前駆体の物性及び気体分離性能を測定すると共
に、炭化膜の気体分離性能を測定した。結果をそれぞれ
表1及び表2に示す。
4g及び1,5−ナフタレンジアミン7.9gと2,2
−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)−1,1,
1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン二無水物4
4.4gとを用いて合成したカルド型ポリイミドを用い
た以外は、実施例4と同様にして、分離膜前駆体を成形
し、これを炭化して炭化膜を得た。上記実施例1と同様
にして分離膜前駆体の物性及び気体分離性能を測定する
と共に、炭化膜の気体分離性能を測定した。結果をそれ
ぞれ表1及び表2に示す。
ド12重量部とをN,N−ジメチルアセトアミド100
重量部に溶解し、製膜原液を得た以外は、上記実施例1
と同様にして、分離膜前駆体を成形し、これを炭化して
炭化膜を得た。上記実施例1と同様にして分離膜前駆体
の物性及び気体分離性能を測定すると共に、炭化膜の気
体分離性能を測定した。結果をそれぞれ表1及び表2に
示す。
容易に入手可能な嵩高い構造単位を有するカルド型ポリ
マーを用いて容易に製造することができるほか、その気
体分離性能にも優れており、排気ガス処理、天然ガス分
離、ガスの除湿、空気からの酸素、窒素の製造等の分野
において特に有用である。
Claims (2)
- 【請求項1】 下記一般式(1)〜(5) 【化1】 〔但し、式中Y1 、Y2 、Y3 及びY4 は2価の有機残
基を示し、Y5 は4価の有機残基を示し、Xは2価の有
機残基であって少なくともその一部は下記構造式(A) 【化2】 (但し、式中R1 〜R12は、−H、−Cn H2n+1(n=
1〜4の整数)で表されるアルキル基、−OCn H2n+1
(n=1〜4の整数)で表されるアルコキシル基、カル
ボキシル基、カルボキシメチル基、又はハロゲンを示
し、互いに同一であっても異なっていてもよい)で表さ
れる2価の有機残基である〕でそれぞれ表されるポリエ
ステル構造単位、ポリカーボネート構造単位、ポリエー
テル構造単位、ポリアミド構造単位及びポリイミド構造
単位から選ばれた少なくとも1種の構造単位を有するカ
ルド型ポリマーを所定の分離膜形状に成形して分離膜前
駆体を形成し、この分離膜前駆体を嫌気雰囲気下で加熱
し炭化させて得られた気体分離用炭化膜。 - 【請求項2】 嫌気雰囲気が、酸素分圧1トル未満の減
圧である請求項1に記載の気体分離用炭化膜。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08261940A JP3111196B2 (ja) | 1996-10-02 | 1996-10-02 | 気体分離用炭化膜 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08261940A JP3111196B2 (ja) | 1996-10-02 | 1996-10-02 | 気体分離用炭化膜 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH1099664A true JPH1099664A (ja) | 1998-04-21 |
JP3111196B2 JP3111196B2 (ja) | 2000-11-20 |
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ID=17368798
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP08261940A Expired - Lifetime JP3111196B2 (ja) | 1996-10-02 | 1996-10-02 | 気体分離用炭化膜 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3111196B2 (ja) |
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