JPH1098094A

JPH1098094A - 保管棚装置

Info

Publication number: JPH1098094A
Application number: JP25068396A
Authority: JP
Inventors: Tatsuo Tsubaki; 達雄椿; Tatsuya Kumehashi; 達也久米橋
Original assignee: Shinko Electric Co Ltd
Current assignee: Shinko Electric Co Ltd
Priority date: 1996-09-20
Filing date: 1996-09-20
Publication date: 1998-04-14
Anticipated expiration: 2016-09-20
Also published as: JP3932575B2

Abstract

(57)【要約】【課題】設備の肥大化を極力抑えながら、保管空間の
高さ方向への増大を可能にする。【解決手段】このストッカＭＡは、垂直に立設された
フレーム２に周方向及び上下方向に多数の保管部３を形
成し且つ所定箇所に外部との間で保管物の受け渡しを行
う受け渡し部５を設けてなる円筒棚１と、円筒棚１の内
部に立設され下端に配した旋回台１１によって円筒棚１
の中心軸線回りに旋回させられる旋回式の昇降コラム１
５と、昇降コラム１５に支持されリニアモータによって
昇降させられる昇降台２０と、昇降台２０上に円筒棚１
の径方向に伸縮する伸縮機構３１を介して装備された保
管物把持用のハンド３０とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、主にクリーンルー
ムに設置される保管棚装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造は、「クリーンルーム」と呼
ばれる特殊な部屋で行われる。この部屋は、クリーンな
状態を維持するために、次のような構造になっているこ
とが多い。（１）天井からフィルタを通した清浄な空気を吹き出す
ようになっている。（２）床は「グレーチング」と呼ばれる「すのこ状」の
板、あるいは「パンチングメタル」と呼ばれる複数の空
気貫通穴をもつ板から構成されている。半導体製造のた
めの装置は、通常、この床面上に設置される。（３）床下は、天井からの空気の流れが床面を通過しや
すいように、また、クリーンルームを運転するための機
械類を納めるために大きな空間になっている。

【０００３】ところで、クリーンルームは、単位面積当
たりのコスト（建設費、維持費とも）が高いので、極
力、床面積を有効に使用したいという要求がある。

【０００４】半導体製造の工程上必要な設備として、製
造過程にある半導体材料（ウェーハ）を一時保管してお
く「ストッカ（保管棚装置）」がある。先の理由によ
り、ストッカは、できるだけ小さな占有面積で、できる
だけ多くのウェーハを保管できることが望まれる。

【０００５】従来のストッカは、他の半導体製造装置と
同様に、クリーンルームの床面上に設置されている。図
９は従来のストッカの構成を示し、（ａ）は平面図、
（ｂ）は側面図である。

【０００６】このストッカ２００は、クリーンルームの
グレーチング床Ｇ上に設置されており、外壁構造をなす
筐体２０１に、平面状の左右の保管棚ユニット２０２を
間隔をおいて対面配置している。保管棚ユニット２０２
には、水平方向及び上下方向に格子状に多数の保管部２
０３が確保されており、各保管部２０３に保管物Ｈを格
納できるようになっている。また、保管棚ユニット２０
２間の端部に位置させて、筐体２０１には、外部との間
で保管物Ｈを出し入れするための受け渡し部（Ｉ／Ｏポ
ート）２０５が設けられている。

【０００７】左右の保管棚ユニット２０２の間には、受
け渡し部２０５と保管部２０３との間で保管物Ｈの移載
を行うスタッカ（移載装置）２１０が設備されている。
このスタッカ２１０は、保管棚ユニット２０２の間を通
って水平方向に延びる走行レール２１１と、走行レール
２１１上を走行する走行台車２１２の上に立設された昇
降コラム２１５と、昇降コラム２１５に支持され昇降駆
動される昇降台２１６と、昇降台２１６上に装備された
２軸水平ロボット２１７とからなり、２軸水平ロボット
２１７の先端のハンドによって保管物Ｈを把持するよう
になっている。

【０００８】このストッカ２００における保管物Ｈの入
庫手順は以下の通りである。（１）予め、スタッカ２１０は、２軸水平ロボット２１
７のアームを縮めた状態で例えば初期位置に待機してい
る。（２）その状態で、人手またはロボット等により、受け
渡し部２０５に保管物Ｈを置く。（３）移載の指令により、スタッカ２１０が動作し、待
機位置から走行および昇降を行って、昇降台２１６を受
け渡し部２０５まで移動させる。（４）受け渡し部２０５に昇降台２１６が移動したら、
２軸水平ロボット２１７のアームを伸ばし、ハンドを受
け渡し部２０５内に挿入する。（５）そして、保管物Ｈをハンドでつかむ。（６）その状態で、２軸水平ロボット２１７のアームを
縮め、保管物Ｈをストッカ２００内に引き込む。（７）次いで、走行および昇降を行い、保管物Ｈを、保
管すべき保管部２０３の位置まで移動する。（８）移動したら、２軸水平ロボット２１７のアームを
伸ばし、ハンドを保管部２０３内に挿入する。（９）そして、保管物Ｈを保管部２０３の棚上に降ろ
す。（１０）次に、２軸水平ロボット２１７のアームを縮
め、ハンドを保管部２０３から出し、待機位置に移動し
て、次の動作の指示があるまで待機する。

【０００９】保管物Ｈを出庫する際の動作は、上記の動
作において、受け渡し部２０５と保管部２０３を入れ替
えた動作を行えばよい。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前述したよ
うに、クリーンルームのストッカは、できるだけ小さな
占有面積で、できるだけ多くのウェーハを保管できるこ
とが要求される。

【００１１】この点、上記従来のストッカは、クリーン
ルームの床面から天井までの寸法（通常、約３．５ｍ）
に納まる高さに設定されているので、保管部を多くしよ
うとした場合、水平方向の占有面積が増大してしまい、
先の要求に応えることができない。そこで、先の要求に
応える策として、これまで使用していなかった床下の空
間を利用し、グレーチング床の一部を開口して、天井か
ら床下までのめいっばいの高さをもつ、高さの高いスト
ッカの実現が望まれている。

【００１２】しかし、高さの高いストッカを具体化する
ために、上記従来例の構造を踏襲したまま、単純に高さ
方向の寸法を大きくすると、走行台車２１２によって水
平方向に移動する昇降コラム２１５の寸法が長くなり、
走行動作の起動・停止時に、昇降コラム２１５に大きな
転倒モーメントが発生することになる。例えば、昇降コ
ラムの長さを２倍にすると、単純に計算して、重量が２
倍となり、また、重心高さが２倍になるので、転倒モー
メントは４倍になる。したがって、走行をガイドする機
構への負荷が増大し、昇降コラムはもちろん、ガイド機
構や走行駆動系の構造や重量が肥大化し、設備が大型に
なる上、コストアップとなるという問題がある。

【００１３】本発明は、上記事情を考慮し、設備の肥大
化を極力抑えながら、保管空間の高さ方向への増大を可
能にする保管棚装置を提供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明の保管棚
装置は、垂直に立設されたフレームに周方向及び上下方
向に多数の保管部を形成し、且つ所定箇所に外部との間
で保管物の受け渡しを行う受け渡し部を設けてなる円筒
棚と、該円筒棚の内部に配設され、円筒棚の中心軸線に
沿って昇降し且つ同中心軸線回りに旋回する昇降旋回体
と、該昇降旋回体上に、前記円筒棚の径方向に伸縮する
伸縮機構を介して装備された保管物把持用のハンドとを
備えたことを特徴とする。

【００１５】請求項２の発明の保管棚装置は、請求項１
において、前記円筒棚の中心軸線上に、下端に配した旋
回駆動機構によって円筒棚の中心軸線回りに旋回させら
れる旋回式の昇降コラムが立設され、該昇降コラムに、
昇降駆動機構によって昇降させられる昇降台が支持さ
れ、該昇降台が前記昇降旋回体に相当することを特徴と
する。

【００１６】請求項３の発明の保管棚装置は、請求項１
において、前記円筒棚に沿って昇降コラムが立設され、
該昇降コラムに、昇降駆動機構によって昇降させられる
昇降台が支持され、該昇降台に、旋回駆動機構によって
円筒棚の中心軸線回りに旋回させられる旋回台が支持さ
れ、該旋回台が前記昇降旋回体に相当することを特徴と
する。

【００１７】請求項４の発明の保管棚装置は、請求項３
において、前記昇降コラムが円筒棚の内部に立設されて
いることを特徴とする。

【００１８】請求項５の発明の保管棚装置は、請求項３
において、前記昇降コラムが円筒棚の外部に立設され、
前記昇降台が円筒棚の中心軸線位置まで延びるアームを
有し、該アームの先端に前記旋回台が配設されているこ
とを特徴とする。

【００１９】請求項６の発明の保管棚装置は、請求項５
において、前記昇降コラムが、前記円筒棚のフレームま
たは円筒棚を保持する筐体のフレームに一体化されてい
ることを特徴とする。

【００２０】請求項７の発明の保管棚装置は、請求項２
〜６のいずれかにおいて、前記昇降駆動機構としてリニ
アモータが用いられていることを特徴とする。

【００２１】請求項８の発明の保管棚装置は、請求項２
〜７のいずれかにおいて、前記昇降コラムの上端に上部
プーリを設け、該上部プーリにつるべ式に索条体を巻き
掛け、該索条体の両端に前記昇降台とカウンタバランス
ウエイトを取り付けたことを特徴とする。

【００２２】請求項９の発明の保管棚装置は、請求項８
において、前記昇降コラムの下端に下部プーリを設け
て、前記索条体を無端状態にして下部プーリに巻回さ
せ、且つ前記下部プーリに無励磁作動型ブレーキを装備
したことを特徴とする。

【００２３】請求項１０の発明の保管棚装置は、請求項
８または９において、前記索条体を配設した昇降コラム
の外周を、昇降台の昇降動作を許すスリットを有したカ
バーで覆い、前記索条体として前記スリットを覆う幅を
有したベルトを用いたことを特徴とする。

【００２４】請求項１１の発明の保管棚装置は、請求項
１〜１０のいずれかにおいて、前記円筒棚がクリーンル
ームに設置され、円筒棚の下端がクリーンルームの通風
床を貫通していることを特徴とする。

【００２５】請求項１２の発明の保管棚装置は、請求項
１〜１１のいずれかにおいて、前記円筒棚がクリーンル
ームに設置され、円筒棚の上端がクリーンルームの天井
を貫通していることを特徴とする。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図１〜図３は、本発明の第１実施形
態の保管棚装置としてのストッカＭＡの構成を示し、図
１は縦断面図、図２、図３は横断面図である。

【００２７】このストッカＭＡは、角形の筐体７の内部
に設置された円筒棚１と、その内部に配備されたスタッ
カ１０Ａとを備える。円筒棚１は、垂直に立設された円
筒状のフレーム２に、周方向及び上下方向に多数の保管
部（保管棚）３を設け、且つ所定箇所に、外部との間で
保管物Ｈの受け渡しを行う受け渡し部５を設けてなるも
のである。円筒棚１は、クリーンルームＣＲ内に設置さ
れ、下端がクリーンルームＣＲのグレーチング床（通風
床）Ｇに設けた開口Ｇａを貫通し、床下空間ＹＫ内に延
びている。そして、床下空間ＹＫの床面Ｙに、下端ベー
ス部８が固定されている。また、上端は、クリーンルー
ムＣＲの天井Ｔに目一杯の高さに設定されている。

【００２８】円筒棚１の内底部には、旋回モータ（旋回
駆動機構）１２によって水平面内で矢印（ロ）のように
旋回駆動される旋回台１１が設けられており、この旋回
台１１上に昇降コラム１５が垂直に立設されている。こ
の昇降コラム１５には、昇降駆動機構であるリニアモー
タ２５によって、矢印（イ）のように昇降させられる昇
降台２０が、上下方向に移動自在に支持されている。昇
降台２０は、リニアガイド２３によって上下方向の動作
が案内される。旋回台１１の旋回中心は、円筒棚１の中
心軸線Ｌに一致し、昇降台２０の中心部は同中心軸線Ｌ
上に略位置している。ここでは、昇降コラム１５ごと旋
回駆動されるので、昇降台２０が請求項１の昇降旋回体
に相当している。

【００２９】昇降台２０上には、矢印（ハ）のように円
筒棚１の径方向に伸縮するアーム式の伸縮機構３１を介
して保管物把持用のハンド３０が装備されている。昇降
コラム１５の上端には上部プーリ１７、下端には下部プ
ーリ１８が設けられ、上部プーリ１７と下部プーリ１８
間には、索条体として、所定幅の無端状のベルト１９が
巻回されている。そして、このベルト１９の両側に、つ
るべ式に昇降台１５とカウンタバランスウエイト２１が
取り付けられている。

【００３０】なお、カウンタバランスウエイト２１も、
案内機構２４によって、振らつかずに昇降案内されるよ
うになっている。また、下部プーリ１８には、無励磁作
動型ブレーキ２７が装備されている。また、昇降コラム
１５の高さ方向の中間部から昇降台１５に対して、ケー
ブルベア２２が延びている。さらに、昇降コラム１５の
外周には、ベルト１９やケーブルベア２２の外側から昇
降コラム１５を覆うように、カバー２８が設けられてい
る。このカバー２８には、昇降台１５の昇降動作を許す
縦長のスリット２８ａが形成されており、ベルト１９の
幅は、このスリット２８ａを覆う寸法に設定されてい
る。

【００３１】次に作用を説明する。保管物Ｈを入庫する
際の動作は以下の通りである。（１）スタッカ１０Ａは、予め伸縮機構３１を縮めた状
熊で待機している。昇降台１５は、下部プーリ１８に装
備した無励磁作動型ブレーキ２７によって定位置の保持
されている。（２）その状態で、人手またはロボット等により、受け
渡し部５に保管物Ｈを置く。（３）移載の指令により、スタッカ１０Ａが動作し、無
励磁作動型ブレーキ２７を解放した後、旋回台１１を所
定位置に旋回させると共に、リニアモータ２５により昇
降台２０を、受け渡し部５の高さまで移動する。（４）受け渡し部５に昇降台２０が移動したら、伸縮機
構３１を伸ばし、ハンド３０を受け渡し部５内に挿入す
る。（５）そして、昇降台２０を少し上昇させ、保管物Ｈを
ハンド３０で掬うように保持する。（６）その状態で、伸縮機構３１を縮めた状態にし、保
管物ＨをストッカＭＡ内に引き込む。（７）次いで、昇降および旋回を行い、保管物Ｈを、保
管すべき保管部３の位置まで移動する。（８）移動したら、伸縮機構３１を伸ばし、ハンド３０
を保管部３内に挿入する。（９）そして、昇降台１５を少し下降させ、保管物Ｈを
保管部３に降ろす。（１０）次に、伸縮機構３１を縮め、ハンド３０を棚か
ら出す。（１１）そして、下部プーリ１８に装備した無励磁作動
型ブレーキ２７により昇降台１５をその位置に保持し、
次の動作指令があるまで待機する。

【００３２】保管物Ｈを出庫する際の動作は、上記の動
作において、受け渡し部３と保管部３を入れ替えた動作
を行えばよい。

【００３３】上記の動作中に停電または非常停止によ
り、強制的に電源が遮断されたとしても、下部プーリ１
８に装備した無励磁作動型ブレーキ２７が作動するの
で、その制動・保持力によって昇降台１５の落下を防止
することができる。

【００３４】このストッカＭＡによれば、昇降コラム１
５自体を水平方向に走行させるわけではないから、走行
のためのガイド機構等が不要で、設備の肥大化を防止す
ることができる。また、ハンド３０の位置を、円筒座標
で制御し、昇降、旋回、伸縮の３軸の動作で動かすの
で、制御が単純で、動作の高速化が図れる。また、旋回
機構を昇降コラム１５の下端に配したので、昇降台１５
の重量を減らすことができ、昇降ストロークが長い場合
でも昇降動作の高速化が図れる。

【００３５】また、リニアモータ２５で昇降台２０を昇
降させるので、機械的な動力損失を少なくでき、昇降動
作の高速化が図れる。また、その場合のストロ−クは伝
達要素の強度や精度に依存しないため、長尺化が可能と
なる。さらに、カウンタバランスウエイト２１を設けた
ので、昇降台１５の重量による負荷を実質的にほとんど
無くすことができ、昇降動作の高速化が可能で、しかも
位置保持の力を小さくできる。また、ベルト１９の幅
で、カバー２８のスリット２８ａを隠すので、昇降用の
アクチュエータ（リニアモータ）やリニアガイド２３等
を外部より隠すことができる。

【００３６】また、円筒棚１の下端をクリーンルームＣ
Ｒのグレーチング床Ｇに貫通させたので、床下空間ＹＫ
内に、保管部３は勿論、駆動機械類、あるいは制御装置
等を配置することができ、クリーンルームＣＲ内の空間
の有効利用が図れる。

【００３７】次に、図４、図５を用いて、本発明の第２
実施形態のストッカＭＢについて説明する。図４は縦断
面図、図５は横断面図である。このストッカＭＢは、旋
回機構を昇降台４０上に設けていることを特徴としてい
る。

【００３８】昇降コラム１５は円筒棚１の中心軸線Ｌ上
に固定的に立設され、昇降コラム１５に沿って昇降する
昇降台４０上に、旋回モータ４１によって旋回駆動され
る旋回台４２が支持されている。そして、旋回台４２上
にスライド式の伸縮機構３３を介してハンド３０が取り
付けられている。３３ａは、スライド動作を案内するた
めのリニアガイドである。旋回台４２の旋回中心は、円
筒棚１の中心軸線Ｌに一致している。この場合は、昇降
台４０上に装備された旋回台４２が、請求項１の昇降旋
回体に相当する。その他の構成は、第１実施形態と同様
であるので、同一要素には同符号を伏して説明を省略す
る。

【００３９】このストッカＭＢでは、昇降コラム１５を
固定的に立設し、昇降台４０上に旋回台４２を設けたの
で、昇降コラム１５の高さが長い場合でも、昇降コラム
１５自体を旋回させるものではないため、旋回力を小さ
くすることができる。また、昇降コラム１５が円筒棚１
の内部に配設されているので、構造がコンパクトであ
る。

【００４０】次に、図６、図７を用いて、本発明の第３
実施形態のストッカＭＣについて説明する。図６は縦断
面図、図７は横断面図である。このストッカＭＣは、前
記第２実施形態のストッカＭＢにおける昇降コラム１５
を、円筒棚１の外部に立設し、昇降台５０に、円筒棚１
の中心軸線Ｌの位置まで延びるアーム５１を設け、この
アーム５１の先端に、旋回モータ５２によって旋回駆動
される旋回台５３を配設したことを特徴としている。旋
回台５３の旋回中心は、円筒棚１の中心軸線Ｌに一致し
ている。また、アーム５１は、円筒棚１の切欠部１ａを
通して内部に挿入されている。さらに、昇降コラム１５
は、円筒棚１を保持する筐体７のフレームに一体化さ
れ、強度アップされている。この場合、円筒棚１のフレ
ーム２に一体化させることも可能である。

【００４１】このストッカＭＣは、昇降コラム１５を円
筒棚１の外部に配設しているので、円筒棚１の内部空間
の大きさによらずに、昇降コラム１５を設計することが
できる。また、旋回台５３の旋回半径を小さくすること
ができ、内部の動作空間を広く取れる。

【００４２】図８に示すストッカＭＤは、図７に示す第
３実施形態のストッカＭＣより、径を小さくした円筒棚
１を備えたものである。スタッカ１０Ｃの基本構造は前
記と同様である。このように円筒棚１の断面積を小さく
した場合、設置床面積の縮小が可能であり、クリーンル
ームの空間の有効利用ができる。

【００４３】なお、上記実施形態では、円筒棚１の上端
をクリーンルームＣＲの天井Ｔより下側に設定したが、
天井を貫通して設けることもできる。そうすれば、占有
面積を増やさずに、更に保管空間の増大が図れる。ま
た、フレームの形状が実施形態のような円筒状に限定さ
れるものでないのはもちろんである。

【００４４】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よれば、円筒棚の内部に昇降旋回体を配設し、その昇降
旋回体に伸縮機構を介してハンドを設けているので、円
筒座標型の設備を構成することができる。したがって、
昇降機構として長い昇降コラムを設けた場合にも、昇降
コラム自体を水平方向に走行させるわけではないから、
走行のためのガイド機構等は不要であり、特別に強度を
増強させた設備を構築する必要はない。よって、保管空
間を増大させるために、円筒棚の高さを高くしても、設
備の肥大化を防止することができ、コスト低減を図るこ
とができる。また円筒座標型であり、ハンドの位置を、
昇降、旋回、伸縮の３軸の動作で動かすので、制御が単
純であり、動作を高速化でき、直線補間制御等の協調制
御をする必要がない。

【００４５】請求項２の発明によれば、昇降コラム自体
を円筒棚の中心軸線回りに旋回させるようにし、旋回機
構を昇降コラムの下端に配置したので、昇降台の重量を
減らすことができる。したがって、昇降ストロークを長
くした場合にも、昇降動作の高速化が図れる。

【００４６】請求項３の発明によれば、昇降コラムを固
定的に立設し、昇降台上に旋回台を設けたので、昇降コ
ラムの高さが長い場合でも、旋回力を小さくすることが
できる。

【００４７】請求項４の発明によれば、請求項３におけ
る昇降コラムを円筒棚の内部に立設したので、コンパク
トな構成を実現できる。

【００４８】請求項５の発明によれば、請求項３におけ
る昇降コラムを円筒棚の外部に立設したので、円筒棚の
内部空間の大きさによらず、昇降コラムを配設でき、昇
降コラムの強度アップも容易にできる。また、旋回台の
旋回動作半径を小さくできるので、円筒棚の断面積を小
さくでき、設置床面積の縮小が可能である。

【００４９】請求項６の発明によれば、請求項５におけ
る昇降コラムを、円筒棚のフレームまたは円筒棚を保持
する筐体のフレームに一体化させたので、構造が単純化
される上、昇降コラム及びフレームの強度を高めること
ができる。

【００５０】請求項７の発明によれば、昇降駆動機構と
してリニアモータを用い、昇降台を直接に非接触で駆動
するようにしたため、機械的な動力損失を少なくでき、
昇降動作の高速化が図れる。また、ストロ−クは伝達要
素の強度や精度に依存しないため、長尺化が可能とな
る。

【００５１】請求項８の発明によれば、昇降台と釣り合
うようにカウンタバランスウエイトを設けたので、昇降
台の重量による負荷を実質的にほとんど無くすことがで
き、昇降動作を高速化することができると共に、位置保
持の力を小さくすることができる。

【００５２】請求項９の発明によれば、昇降台とカウン
タバランスウエイトに連結した索条体を下部プーリに巻
回させ、その下部プーリに無励磁作動型ブレーキを装備
したので、非常停止用として使用することにより、停電
時にも昇降台の落下の危険を無くすことができる。ま
た、位置保持用としても使用できる。

【００５３】請求項１０の発明によれば、索条体として
利用するベルトの幅で、昇降コラムのカバーのスリット
を隠すようにしたので、昇降用のアクチュエータや案内
機構を外部より隠すことができる。

【００５４】請求項１１の発明によれば、円筒棚の下端
をクリーンルームの通風床に貫通させたので、床下空間
内に、保管部は勿論、駆動機械類、あるいは制御装置等
を配置することができ、クリーンルーム内の空間の有効
利用が図れる。

【００５５】請求項１２の発明によれば、円筒棚の上端
をクリーンルームの天井に貫通させたので、占有面積を
増やさずに、更に保管空間の増大が図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態の縦断面図である。

【図２】図１のＩＩ−ＩＩ矢視図である。

【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ矢視図である。

【図４】本発明の第２実施形態の縦断面図である。

【図５】図４のＶ−Ｖ矢視図である。

【図６】本発明の第３実施形態の縦断面図である。

【図７】図６のＶＩＩ−ＶＩＩ矢視図である。

【図８】前記第３実施形態の変形例を示す図７と同様の
図である。

【図９】従来のストッカ（保管棚装置）の構成図で、
（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。

【符号の説明】

１円筒棚２フレーム３保管部５受け渡し部７筐体１２旋回モータ（旋回駆動機構）１５昇降コラム１７凹部プーリ１８下部プーリ１９ベルト（索条体）２０昇降台（昇降旋回体）２５リニアモータ（昇降駆動機構）２７無励磁型作動ブレーキ２８カバー２８ａスリット３０ハンド３１，３３伸縮機構４０，５０昇降台４１，５２旋回モータ（旋回駆動機構）４２，５３旋回台（昇降旋回体）５１アームＣＲクリーンルームＴ天井Ｇグレーチング床（通風床）Ｈ保管物Ｌ円筒棚の中心軸線

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】垂直に立設されたフレームに周方向及び
上下方向に多数の保管部を形成し、且つ所定箇所に外部
との間で保管物の受け渡しを行う受け渡し部を設けてな
る円筒棚と、該円筒棚の内部に配設され、円筒棚の中心軸線に沿って
昇降し且つ同中心軸線回りに旋回する昇降旋回体と、該昇降旋回体上に、前記円筒棚の径方向に伸縮する伸縮
機構を介して装備された保管物把持用のハンドとを備え
たことを特徴とする保管棚装置。
【請求項２】前記円筒棚の中心軸線上に、下端に配し
た旋回駆動機構によって円筒棚の中心軸線回りに旋回さ
せられる旋回式の昇降コラムが立設され、該昇降コラムに、昇降駆動機構によって昇降させられる
昇降台が支持され、該昇降台が前記昇降旋回体に相当することを特徴とする
請求項１記載の保管棚装置。
【請求項３】前記円筒棚に沿って昇降コラムが立設さ
れ、該昇降コラムに、昇降駆動機構によって昇降させられる
昇降台が支持され、該昇降台に、旋回駆動機構によって円筒棚の中心軸線回
りに旋回させられる旋回台が支持され、該旋回台が前記昇降旋回体に相当することを特徴とする
請求項１記載の保管棚装置。
【請求項４】前記昇降コラムが円筒棚の内部に立設さ
れていることを特徴とする請求項３記載の保管棚装置。
【請求項５】前記昇降コラムが円筒棚の外部に立設さ
れ、前記昇降台が円筒棚の中心軸線位置まで延びるアー
ムを有し、該アームの先端に前記旋回台が配設されてい
ることを特徴とする請求項３記載の保管棚装置。
【請求項６】前記昇降コラムが、前記円筒棚のフレー
ムまたは円筒棚を保持する筐体のフレームに一体化され
ていることを特徴とする請求項５記載の保管棚装置。
【請求項７】前記昇降駆動機構としてリニアモータが
用いられていることを特徴とする請求項２〜６のいずれ
かに記載の保管棚装置。
【請求項８】前記昇降コラムの上端に上部プーリを設
け、該上部プーリにつるべ式に索条体を巻き掛け、該索
条体の両端に前記昇降台とカウンタバランスウエイトを
取り付けたことを特徴とする請求項２〜７のいずれかに
記載の保管棚装置。
【請求項９】前記昇降コラムの下端に下部プーリを設
けて、前記索条体を無端状態にして下部プーリに巻回さ
せ、且つ前記下部プーリに無励磁作動型ブレーキを装備
したことを特徴とする請求項８記載の保管棚装置。
【請求項１０】前記索条体を配設した昇降コラムの外
周を、昇降台の昇降動作を許すスリットを有したカバー
で覆い、前記索条体として前記スリットを覆う幅を有し
たベルトを用いたことを特徴とする請求項８または９記
載の保管棚装置。
【請求項１１】前記円筒棚がクリーンルームに設置さ
れ、円筒棚の下端がクリーンルームの通風床を貫通して
いることを特徴とする請求項１〜１０のいずれかに記載
の保管棚装置。
【請求項１２】前記円筒棚がクリーンルームに設置さ
れ、円筒棚の上端がクリーンルームの天井を貫通してい
ることを特徴とする請求項１〜１１のいずれかに記載の
保管棚装置。