CN111276435A - 宽范围、均匀应变的柔性电子基底近圆式拉伸系统 - Google Patents

宽范围、均匀应变的柔性电子基底近圆式拉伸系统 Download PDF

Info

Publication number
CN111276435A
CN111276435A CN202010196927.2A CN202010196927A CN111276435A CN 111276435 A CN111276435 A CN 111276435A CN 202010196927 A CN202010196927 A CN 202010196927A CN 111276435 A CN111276435 A CN 111276435A
Authority
CN
China
Prior art keywords
stretching
telescopic
flexible electronic
grabbing
electronic substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202010196927.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN111276435B (zh
Inventor
李传宇
周连群
张威
郭振
姚佳
张芷齐
李金泽
李超
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Suzhou Institute of Biomedical Engineering and Technology of CAS
Original Assignee
Suzhou Institute of Biomedical Engineering and Technology of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Suzhou Institute of Biomedical Engineering and Technology of CAS filed Critical Suzhou Institute of Biomedical Engineering and Technology of CAS
Priority to CN202010196927.2A priority Critical patent/CN111276435B/zh
Publication of CN111276435A publication Critical patent/CN111276435A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN111276435B publication Critical patent/CN111276435B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67092—Apparatus for mechanical treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0011—Working of insulating substrates or insulating layers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

本发明属于柔性电子基底拉伸技术领域，具体涉及一种宽范围、均匀应变的柔性电子基底近圆式拉伸系统。本发明提供的柔性电子基底近圆式拉伸系统，第一伸缩机构和第二伸缩机构在拉伸区圆周均匀分布，可对柔性电子基底进行多点拉伸，实现了柔性电子基底的近圆式均匀应变，避免了由常规拉伸设备制备的柔性电子基底应变不均匀而出现敏感单元应力集中甚至出现断裂的情况。伸缩驱动机构可单独驱动第一伸缩机构做长程往复伸缩运动，对位于拉伸区的小尺寸柔性电子基底进行均匀拉伸；伸缩驱动机构也可同时驱动第一伸缩机构和第二伸缩机构同步做短程往复伸缩运动，对位于拉伸区的大尺寸柔性电子基底进行均匀拉伸，扩大了不同尺寸柔性电子基底的适用范围。

Description

宽范围、均匀应变的柔性电子基底近圆式拉伸系统
技术领域
本发明属于柔性电子基底拉伸技术领域，具体涉及一种宽范围、均匀应变的柔性电子基底近圆式拉伸系统。
背景技术
柔性电子(Flexible Electronics)技术是指将有机/无机材料电子器件制作在柔性塑料或薄金属基底上的新兴电子技术，以其独特的柔性以及高效、低成本的制造工艺，在信息、能源、医疗、国防等领域具有广泛应用前景，如柔性电子显示器、有机发光二极管、薄膜太阳能电池板以及柔性电子皮肤传感器等。
近年来，柔性电子传感单元的灵敏度、线性度、感应范围、响应速度等性能已经得到很大提升。制备柔性电子传感单元的关键问题是先将柔性基底进行拉伸，然后在敏感单元涂覆后再进行释放。目前，柔性基底拉伸装置多以单轴拉伸技术居多，然而单轴拉伸技术在将柔性基底释放后，敏感单元极容易因应变不均匀而出现敏感单元应力集中甚至裂纹等情况；同时，单轴拉伸技术仅适用小尺寸柔性基底(例如不大于300mm边长或直径)的场合，而在柔性基底(例如300～700mm)的拉伸方面，则应变不均匀现象更加明显。
发明内容
因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有的柔性基底拉伸装置对柔性基底拉伸的应变均匀性差、尺寸适用范围小的缺陷，从而提供一种宽范围、均匀应变的柔性基底近圆式拉伸系统。
为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：
本发明提供一种宽范围、均匀应变的柔性电子基底近圆式拉伸系统，包括：
机架，设置有圆形拉伸区；
拉伸装置，设置在所述机架上，包括：均匀分布在所述拉伸区圆周的至少三个第一伸缩机构，等数量设置在任意相邻两个所述第二伸缩机构所形成的扇形区间内并将所述扇形区间均分的第二伸缩机构，以及单独驱动所述第一伸缩机构在所述拉伸区内沿径向做长程往复伸缩运动或同时驱动所述第一伸缩机构、所述第二伸缩机构在所述拉伸区内沿径向同步做短程往复伸缩运动的伸缩驱动机构；
转移装置，设置在所述机架上，包括：用于承载柔性电子基底的承载机构，驱动所述承载机构移动至所述拉伸区或由所述拉伸区撤离的转移驱动机构。
优选地，该结构的柔性电子基底近圆式拉伸系统，所述伸缩驱动机构包括设置在所述机架上的伸缩驱动电机、驱动所有所述第一伸缩机构同步做长程往复伸缩运动或同步做短程往复伸缩运动的第一传动组件以及驱动所有所述第二伸缩机构同步做短程往复伸缩运动的第二传动组件，所述伸缩驱动电机上设置有分别与所述第一传动组件、所述第二传动组件连接的电磁离合器。
进一步优选地，该结构的柔性电子基底近圆式拉伸系统，所述电磁离合器包括第一总驱动轮和第二总驱动轮；
所述第一传动组件包括对应于每个所述第一伸缩机构的第一传动从动轮以及将所述第一总驱动轮和所有所述第一传动从动轮联动连接的第一传输带，所有所述第一传动从动轮通过所述第一传输带受所述第一总驱动轮的驱动而转动；
所述第二传动组件包括对应于每个所述第二伸缩机构的第二传动从动轮以及将所述第二总驱动动轮和所有所述第二传动从动轮联动连接的第二传输带，所有所述第二传动从动轮通过所述第二传输带受所述第二总驱动轮的驱动而转动。
进一步优选地，该结构的柔性电子基底近圆式拉伸系统，所述第一伸缩机构包括第一伸缩组件和第一抓放组件，所述第一伸缩组件和所述第一传动从动轮通过丝杆联动连接；所述第二伸缩机构包括第二伸缩组件和第二抓放组件，所述第二伸缩组件和所述第二传动从动轮通过丝杆联动连接。
进一步优选地，该结构的柔性电子基底近圆式拉伸系统，所述第一抓放组件和所述第二抓放组件结构相同，均包括：抓放基座，设置在所述抓放基座驱动侧的气缸，设置在所述抓放基座抓放侧并与所述气缸活塞轴联动连接的活动块，以及设置在所述抓放基座抓放侧并以所述活动块运动方向对称的抓放爪；
其中，每个所述抓放爪包括：一端铰接设置在所述抓放基座抓放侧的外连杆，一端铰接设置在所述活动块的内连杆，以及分别与所述外连杆另一端、所述内连杆另一端铰接的抓放端，所述气缸通过所述活动块带动两个所述内连杆运动以使两个所述抓放端相互靠近或远离从而实现抓取或放松。
优选地，该结构的柔性电子基底近圆式拉伸系统，所述承载机构包括圆形承载盘体以及设置在所述承载盘体圆周上以供所述第一抓放组件往复伸缩运动的长槽、供所述第二抓放组件往复伸缩运动的短槽；
所述抓放端相互靠近或运动的方向与所述承载盘体的承载面垂直。
进一步优选地，该结构的柔性电子基底近圆式拉伸系统，所述抓放端的端面上设置有防滑结构；
在抓取状态时，靠近所述机架的所述抓放端的端面与所述承载盘体的承载面平齐。
进一步优选地，该结构的柔性电子基底近圆式拉伸系统，所述转移驱动机构包括固定设置在所述支架上的转移基座和固定设置在所述转移基座上的转移驱动电机，所述转移驱动电机与所述承载盘体通过丝杆联动连接。
进一步优选地，该结构的柔性电子基底近圆式拉伸系统，所述第一伸缩机构设置四个，所述第二伸缩机构设置十二个。
本发明技术方案，具有如下优点：
1.本发明提供的宽范围、均匀应变的柔性电子基底近圆式拉伸系统，包括机架、拉伸装置和转移装置。其中，机架上设置有拉伸区；拉伸装置包括均匀分布在拉伸区圆周的至少三个第一伸缩机构、设置在任意相邻两个第二伸缩机构所形成的扇形区间内并将该扇形区间均分的第二伸缩机构以及单独驱动第一伸缩机构在拉伸区内沿拉伸区径向做长程往复伸缩运动或同时驱动第一伸缩机构、第二伸缩机构在拉伸区内沿径向同步做短程往复伸缩运动的伸缩驱动机构；转移装置包括用于承载柔性电子基底的承载机构以及驱动承载机构移动至拉伸区或由拉伸区撤离的转移驱动机构。
该结构的柔性电子基底近圆式拉伸系统，通过第一伸缩机构和第二伸缩机构在拉伸区圆周均匀分布，可对柔性电子基底进行多点拉伸，实现了柔性电子基底的近圆式均匀应变，避免了由常规拉伸设备制备的柔性电子基底应变不均匀而出现敏感单元应力集中甚至出现断裂的情况。同时，伸缩驱动机构可单独驱动第一伸缩机构做长程往复伸缩运动，能够对位于拉伸区的小尺寸柔性电子基底进行均匀拉伸；伸缩驱动机构也可同时驱动第一伸缩机构和第二伸缩机构同步做短程往复伸缩运动，则能够对位于拉伸区的大尺寸柔性电子基底进行均匀拉伸，扩大了不同尺寸柔性电子基底的适用范围。
2.本发明提供的宽范围、均匀应变的柔性电子基底近圆式拉伸系统，伸缩驱动电机上设置电磁离合器，该电磁离合器与第一传动组件和第二传动组件联动连接，通过该电磁离合器分别在控制第一传动组件驱动所有第一伸缩机构同步做长程做往复伸缩运动，或者通过该电磁离合器同时驱动第一传动组件和第二传动组件，以分别驱动所有第一伸缩机构、第二伸缩机构同步做短程往复运动这两种状态之间进行切换。
3.本发明提供的宽范围、均匀应变的柔性电子基底近圆式拉伸系统，转移驱动机构包括固定设置在机架上的转移基座和固定设置在该转移基座上的转移驱动电机，该转移驱动电机与承载盘体通过丝杆联动连接，可实现将承载盘体转移至拉伸区或从拉伸区撤离，使得在对柔性电子基底拉伸时承载盘体不接触柔性电子基底。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例1提供的柔性电子基底近圆式拉伸系统结构俯视图；
图2为本发明实施例1提供的柔性电子基底近圆式拉伸系统结构仰视图；
图3为本发明实施例1提供的第一伸缩机构示意图；
图4为本发明实施例1提供的第一伸缩组件结构示意图；
图5为本发明实施例1提供的第一传动换向轮和第一伸缩换向轮联动连接示意图；
图6为本发明实施例1提供的第一抓放组件结构示意图；
图7为本发明实施例1提供的伸缩驱动电机结构示意图；
图8为本发明实施例1提供的伸缩驱动组件结构示意图；
图9为本发明实时例1提供的承载机构示意图；
图10为本发明实施例1提供的承载盘体结构示意图；
附图标记说明：
1-机架；11-支撑框架；12-操作平台；
2-拉伸装置；21-第一伸缩机构；211-第一伸缩组件；2111-第一伸缩臂；2112-第一伸缩壳体；2113-第一伸缩从动轮；2114-第一伸缩驱动轮；2115-第一伸缩张紧轮；2116-第一伸缩换向轮；212-第一抓放组件；2121-第一抓放基座；2122-第一气缸；2123-第一活动块；2124-第一抓放部；21241-第一外连杆；21242-第一内连杆；21243-第一抓放爪；212431-第一抓放端；22-第二伸缩机构；23-伸缩驱动机构；231-伸缩驱动组件；2311-伸缩驱动电机；2312-驱动伸缩基座；2313-电磁离合器；23131-第一总驱动轮；23132-第二总驱动轮；232-第一传动组件；2321-第一传动从动轮；2322-第一传动换向轮；2323-第一传输带；233-第二传动组件；
3-转移装置；31-承载机构；311-承载盘体；3111-长槽；3112-短槽；32-转移驱动机构；321-转移基座；322-转移驱动电机。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
实施例1
本实施例提供一种宽范围、均匀应变的柔性电子基底近圆式拉伸系统，如图1和图2所示，包括机架1、拉伸装置2和转移装置3。
如图1所示，机架1包括支撑框架11和操作平台12。支撑框架11由方钢焊接而成，操作平台12水平设置在支撑框架11上；在操作平台12中部开设有圆形通孔，该通孔及靠近其正上方的空间形成拉伸区，拉伸区用于对待拉伸产品进行拉伸操作，如对柔性电子基底进行拉伸操作等。
如图1和图2所示，拉伸装置2设置在操作平台12上，包括第一伸缩机构21、第二伸缩机构22和伸缩驱动机构23。该第一伸缩机构21至少设置三个，结构均相同，并在拉伸区的某一同心圆的圆周上径向均匀分布；任意相邻的两个第一伸缩机构21之间形成扇形区间，每个扇形区间内设置有等数量且结构均相同的第二伸缩机构22，第二伸缩机构22在第一伸缩机构21所在的圆周上径向均匀分布，以将扇形区间均分，如在每个扇形区间内第二伸缩机构22的数量均为一个、两个或更多，也即，第二伸缩机构22和第一伸缩机构21一样，也是在拉伸区某一同心圆的圆周上径向均匀分布，并可伸入至拉伸区内或由拉伸区缩回，从而保证了位于拉伸区内的待拉伸产品所受各方向的拉伸力均匀。本实施例中，第一伸缩机构21设置四个，第二伸缩机构22设置十二个，每个扇形区间内第二伸缩机构22设置三个。
具体地，如图3、图4和图5所示，第一伸缩机构21包括第一伸缩组件211和第一抓放组件212。其中，第一伸缩组件211通过四个螺栓固定在操作平台12上表面，包括第一伸缩臂2111、第一伸缩壳体2112、第一伸缩从动轮2113、第一伸缩驱动轮2114、第一伸缩张紧轮2115和第一伸缩换向轮2116。第一伸缩壳体2112内设置有滚珠丝杆(图中未示出)，滚珠丝杆一端与第一伸缩臂2111一端通过丝杆联动连接，第一伸缩从动轮2113与滚珠丝杆另一端同轴传动。第一伸缩驱动轮2114与第一伸缩从动轮2113均为带轮，并通过皮带传动，并设置第一伸缩张紧轮2115调整皮带松紧。第一伸缩换向轮2116为伞形齿轮，第一伸缩驱动轮2114与第一伸缩换向轮2116同轴传动。上述第一伸缩从动轮2113、第一伸缩驱动轮2114和第一伸缩张紧轮2115和第一伸缩换向轮2116的旋转轴线均平行于操作平台12上表面。通过第一伸缩换向轮2116双向转动，依次带动第一伸缩驱动轮2114、第一伸缩从动轮2113、滚珠丝杆双向转动，继而驱动第一伸缩臂2111沿拉伸区121圆周径向做伸缩往复运动。
如图6所示，第一抓放组件212包括第一抓放基座2121、第一气缸2122、第一活动块2123和第一抓放部2124。其中，第一抓放基座2121通过螺栓固定在第一伸缩臂2111的另一端，在该第一抓放基座2121中心开设通孔(图中未示出)；第一抓放基座2121与第一伸缩臂2111连接的一侧作为驱动侧，以用于安装第一气缸2122；第一抓放基座2121另一侧作为抓放侧，以用于安装第一活动块2123和第一抓放部2124；第一气缸2122的活塞轴平行于第一伸缩臂2111伸缩方向，并由第一抓放基座2121的通孔伸入至抓放侧，以与第一活动块2123固定连接。
其中，第一抓放部2124包括第一外连杆21241、第一内连杆21242和第一抓放爪21243。第一外连杆21241、第一内连杆21242和第一抓放爪21243均设置两个，并以第一活动块2123往复运动方向所在轴线对称设置；每个第一外连杆21241由一组平行的双耳板组成，两组双耳板的一端分别铰接在第一抓放基座2121的两端；两个第二内连杆21242位于两个第一外连杆21241之间，每个第二内连杆21242由一个单耳板组成，两个单耳板的一端分别铰接设置在第一活动块2123两端；每个第一抓放爪21243上设置一个第一抓放端212431，位于上述轴线同侧的双耳板、单耳板的另一端均与该侧的第一抓放端212431铰接。第一气缸2122驱使第一活动块2123带动第一内连杆21242沿上述轴线做往复运动以使两个对称的第一抓放爪21243相互靠近或远离从而实现第一抓放端212431抓取或放开动作。每个第一外连杆21241由一组双耳板组成，该组双耳板和第一抓放基座2121、其中一个第一抓放爪21243形成稳定的平行四边形，从而使得两个第一抓放端212431在进行抓取或放开时定位更加准确。同时，在两个对称设置的第一抓放端212431的端面上设置有防滑结构，如锯齿状结构、网格状结构，有利于夹持产品。
第二伸缩机构22包括第二伸缩组件和第二抓放组件，均与构成第一伸缩机构21的各组件结构和工作原理完全相同，如图3所示，此处不再赘述。
如图2所示，伸缩驱动机构23包括设置在操作平台12下表面的伸缩驱动组件231、第一传动组件232和第二传动组件233。其中，如图7和图8所示，伸缩驱动组件231包括伸缩驱动电机2311、伸缩驱动基座2312以及电磁离合器2313。伸缩驱动电机2311为第一传动组件232和第二传动组件233提供动力，采用双向脉冲电机；伸缩驱动基座2312包括三层隔板，通过螺栓固定在操作平台12下表面，以与操作平台12下表面形成安装空间；伸缩驱动电机2311和电磁离合器2313安装在伸缩驱动基座2312上，电磁离合器2313包括第一总驱动轮23131和第二总驱动轮23132，二者直径相同，安装在伸缩驱动电机2311输出端并位于不同安装空间内。
如图4和图5所示，第一传动组件232包括第一传动从动轮2321、第一传动换向轮2322和第一传输带2323。第一传动从动轮2321与第一传动换向轮2322同轴传动，第一传动换向轮2322为伞形齿轮以与第一伸缩换向轮2116啮合；第一传输带2323将第一总驱动轮23231和第一传动从动轮2321联动连接，所有第一传动从动轮2321通过第一传输带2323受第一总驱动轮23231的驱动而转动。通过第一传动换向轮2322与第一伸缩换向轮2116啮合，将伸缩驱动电机2311输出端垂直操作平台12的动力方向转化为第一伸缩臂2111平行于操作平台12的动力方向。本实施例中，第一传动从动轮2321设置四个，相邻第一传动从动轮2321通过一个第一传输带2323联动连接。
第二传动组件233包括第二传动从动轮、第二传动换向轮和第二传输带，其具体结构和工作原理均与第一传动组件233完全相同，如图4和图5所示。本实施例中，第二传动从动轮设置十二个，相邻第二传动从动轮通过一个第二传输带联动连接。
第一总驱动轮23231、第二总驱动轮23232分别与第一传动组件232、第二传动组件233联动连接，第一传动组件232与第一伸缩换向轮2116联动连接，第二传动组件233与第二伸缩换向轮联动连接。电磁离合器2313采用现有技术，用于将伸缩驱动电机2311的双向脉冲动力选择性地传输至第一传动组件232、第二传动组件233，其驱动过程分为两种：
第一，仅第一总驱动轮23131转动，驱使第一传动组件232通过第一伸缩换向轮2113带动第一伸缩臂2111沿拉伸区圆周径向往复伸缩运动，同时，通过控制伸缩驱动电机2311所接受的脉冲信号半周期(T1/2)较长，可实现第一伸缩臂2111做长程往复伸缩运动；
第二，第一总驱动轮23131和第二总驱动轮23132同步转动，且线速度相同，驱使第一传动组件232和第二传动组件233分别带动第一伸缩换向轮2113、第二伸缩换向轮同步运动，继而分别带动第一伸缩臂2111、第二伸缩臂沿拉伸区圆周径向同步做往复伸缩运动，同时，通过控制伸缩驱动电机2311所接受的脉冲信号半周期(T2/2)较长，可实现第一伸缩臂2111和第二伸缩臂同步做短程往复伸缩运动。
上述T1＞T2。
如图9和图10所示，转移装置3包括承载机构31和转移驱动机构32。具体地，承载机构31包括圆形的承载盘体311和承载驱动轴(图中未示出)，该承载盘体311用于承载待拉伸产品，该承载驱动轴固定在承载盘体311底面中心，以用于驱动承载盘体311移动至拉伸区或由拉伸区撤离。
如图9和图10所示，在承载盘体311圆周上开设长槽3111和短槽3112。长槽3111与第一伸缩机构21对应，以作为第一抓放部2124做往复伸缩运动的空间，共设置四个，均沿承载盘体311圆周径向均匀分布；短槽3112与第二伸缩机构22对应，以作为第二抓放部做往复伸缩运动的空间，共设置十二个。
第一抓放端212431和第二抓放端相互靠近或运动的方向与承载盘体311的承载面垂直，且在抓取状态时，靠近机架1的所有抓放端的端面与承载盘体311的承载面平齐。
如图9和图10所示，转移驱动机构32包括固定设置在机架1上的转移基座321和固定设置在转移基座321上的转移驱动电机322，转移驱动电机322与承载驱动轴通过丝杆联动连接，以实现驱动承载盘体311升降至拉伸区121或由拉伸区121撤离。
该结构的柔性电子基底近圆式拉伸系统的工作流程如下：软件控制电磁离合器2313切换为仅第一总驱动轮23131或者同时第一总驱动轮23131、第二总驱动轮23132，以分别通过第一传动组件232单独驱动所有第一伸缩机构21同步做长程伸缩往复运动或者通过第一传动组件232驱动所有第一伸缩机构21、同时通过第二传动组件233驱动所有第二伸缩机构22同步做短程伸缩往复运动。同时，转移驱动电机322驱动承载盘体311上升至指定高度，将待拉伸产品(如柔性电子基底)放置在承载盘体311的承载面上，其边缘搭在长槽3111或短槽3112上。如果待拉伸产品的设计尺寸直径为150～300mm，则只启动第一伸缩机构21，第一抓放组件212伸入至长槽3111靠近承载盘体311圆心的一端，使第一抓放部2124伸入至待拉伸产品(如柔性电子基底)边缘，开启第一气缸2122，使得第一抓放爪21243抓取待拉伸产品(如柔性电子基底)，同时转移驱动电机322驱动承载盘体311下降至一定高度，待拉伸产品(如柔性电子基底)脱离承载盘体311的承载面，则第一伸缩机构21对待拉伸产品(如柔性电子基底)拉伸。如果待拉伸产品的设计尺寸直径为300～700mm，则同步启动第一伸缩机构21和第二伸缩机构22，其工作原理同上。
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (9)

1.一种宽范围、均匀应变的柔性电子基底近圆式拉伸系统，其特征在于，包括：
机架，设置有圆形拉伸区；
拉伸装置，设置在所述机架上，包括：均匀分布在所述拉伸区圆周的至少三个第一伸缩机构，等数量设置在任意相邻两个所述第二伸缩机构所形成的扇形区间内并将所述扇形区间均分的第二伸缩机构，以及单独驱动所述第一伸缩机构在所述拉伸区内沿径向做长程往复伸缩运动或同时驱动所述第一伸缩机构、所述第二伸缩机构在所述拉伸区内沿径向同步做短程往复伸缩运动的伸缩驱动机构；
转移装置，设置在所述机架上，包括：用于承载柔性电子基底的承载机构，驱动所述承载机构移动至所述拉伸区或由所述拉伸区撤离的转移驱动机构。
2.根据权利要求1所述的柔性电子基底近圆式拉伸系统，其特征在于，所述伸缩驱动机构包括设置在所述机架上的伸缩驱动电机、驱动所有所述第一伸缩机构同步做长程往复伸缩运动或同步做短程往复伸缩运动的第一传动组件以及驱动所有所述第二伸缩机构同步做短程往复伸缩运动的第二传动组件，所述伸缩驱动电机上设置有分别与所述第一传动组件、所述第二传动组件连接的电磁离合器。
3.根据权利要求2所述的柔性电子基底近圆式拉伸系统，其特征在于，所述电磁离合器包括第一总驱动轮和第二总驱动轮；
所述第一传动组件包括对应于每个所述第一伸缩机构的第一传动从动轮以及将所述第一总驱动轮和所有所述第一传动从动轮联动连接的第一传输带，所有所述第一传动从动轮通过所述第一传输带受所述第一总驱动轮的驱动而转动；
所述第二传动组件包括对应于每个所述第二伸缩机构的第二传动从动轮以及将所述第二总驱动动轮和所有所述第二传动从动轮联动连接的第二传输带，所有所述第二传动从动轮通过所述第二传输带受所述第二总驱动轮的驱动而转动。
4.根据权利要求3所述的柔性电子基底近圆式拉伸系统，其特征在于，所述第一伸缩机构包括第一伸缩组件和第一抓放组件，所述第一伸缩组件和所述第一传动从动轮通过丝杆联动连接；所述第二伸缩机构包括第二伸缩组件和第二抓放组件，所述第二伸缩组件和所述第二传动从动轮通过丝杆联动连接。
5.根据权利要求4所述的柔性电子基底近圆式拉伸系统，其特征在于，所述第一抓放组件和所述第二抓放组件结构相同，均包括：抓放基座，设置在所述抓放基座驱动侧的气缸，设置在所述抓放基座抓放侧并与所述气缸活塞轴联动连接的活动块，以及设置在所述抓放基座抓放侧并以所述活动块运动方向对称的抓放爪；
其中，每个所述抓放爪包括：一端铰接设置在所述抓放基座抓放侧的外连杆，一端铰接设置在所述活动块的内连杆，以及分别与所述外连杆另一端、所述内连杆另一端铰接的抓放端，所述气缸通过所述活动块带动两个所述内连杆运动以使两个所述抓放端相互靠近或远离从而实现抓取或放开。
6.根据权利要求4或5所述的柔性电子基底近圆式拉伸系统，其特征在于，所述承载机构包括圆形承载盘体以及设置在所述承载盘体圆周上以供所述第一抓放组件往复伸缩运动的长槽、供所述第二抓放组件往复伸缩运动的短槽；
所述抓放端相互靠近或运动的方向与所述承载盘体的承载面垂直。
7.根据权利要求6所述的柔性电子基底近圆式拉伸系统，其特征在于，所述抓放端的端面上设置有防滑结构；
在抓取状态时，靠近所述机架的所述抓放端的端面与所述承载盘体的承载面平齐。
8.根据权利要求7所述的柔性电子基底近圆式拉伸系统，其特征在于，所述转移驱动机构包括固定设置在所述机架上的转移基座和固定设置在所述转移基座上的转移驱动电机，所述转移驱动电机与所述承载盘体通过丝杆联动连接。
9.根据权利要求8所述的柔性电子基底近圆式拉伸系统，其特征在于，所述第一伸缩机构设置四个，所述第二伸缩机构设置十二个。
CN202010196927.2A 2020-03-19 2020-03-19 宽范围、均匀应变的柔性电子基底近圆式拉伸系统 Active CN111276435B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010196927.2A CN111276435B (zh) 2020-03-19 2020-03-19 宽范围、均匀应变的柔性电子基底近圆式拉伸系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010196927.2A CN111276435B (zh) 2020-03-19 2020-03-19 宽范围、均匀应变的柔性电子基底近圆式拉伸系统

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN111276435A true CN111276435A (zh) 2020-06-12
CN111276435B CN111276435B (zh) 2022-04-15

Family

ID=71002643

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010196927.2A Active CN111276435B (zh) 2020-03-19 2020-03-19 宽范围、均匀应变的柔性电子基底近圆式拉伸系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111276435B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023221207A1 (zh) * 2022-05-17 2023-11-23 苏州华星光电技术有限公司 一种柔性屏拉伸测试装置及柔性屏的测试方法

Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60249346A (ja) * 1984-05-24 1985-12-10 Nec Kansai Ltd 半導体ウエ−ハ引き伸ばし方法
JPH1098094A (ja) * 1996-09-20 1998-04-14 Shinko Electric Co Ltd 保管棚装置
US5976306A (en) * 1998-02-18 1999-11-02 Hover-Davis, Inc. Method and apparatus for removing die from an expanded wafer and conveying die to a pickup location
US20110032304A1 (en) * 2009-08-10 2011-02-10 Kornit Digital Ltd. Inkjet compositions and processes for stretchable substrates
CN102300796A (zh) * 2009-01-28 2011-12-28 富士电机株式会社 柔性基板位置控制设备
CN102575342A (zh) * 2010-02-09 2012-07-11 富士电机株式会社 用于柔性基板的位置控制器
CN102879269A (zh) * 2012-09-27 2013-01-16 浙江大学 多功能多轴向加载拉伸机
US20150101418A1 (en) * 2012-04-17 2015-04-16 Northeastern University Equi-biaxial membrane stretcher
CN109060513A (zh) * 2018-10-30 2018-12-21 清华大学 用于原位均匀拉伸的多轴加载机
CN109130155A (zh) * 2018-08-23 2019-01-04 宁波杉越新材料有限公司 平面拉伸装置
CN109130496A (zh) * 2018-08-21 2019-01-04 嘉兴学院 一种制备柔性可延展多级结构互连线的方法及设备
CN109808242A (zh) * 2019-03-28 2019-05-28 博众精工科技股份有限公司 弹性体拉伸装置
CN110763580A (zh) * 2019-10-09 2020-02-07 华中科技大学 一种柔性器件的360°多向同步拉伸设备及方法

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60249346A (ja) * 1984-05-24 1985-12-10 Nec Kansai Ltd 半導体ウエ−ハ引き伸ばし方法
JPH1098094A (ja) * 1996-09-20 1998-04-14 Shinko Electric Co Ltd 保管棚装置
US5976306A (en) * 1998-02-18 1999-11-02 Hover-Davis, Inc. Method and apparatus for removing die from an expanded wafer and conveying die to a pickup location
CN102300796A (zh) * 2009-01-28 2011-12-28 富士电机株式会社 柔性基板位置控制设备
US20110032304A1 (en) * 2009-08-10 2011-02-10 Kornit Digital Ltd. Inkjet compositions and processes for stretchable substrates
CN102575342A (zh) * 2010-02-09 2012-07-11 富士电机株式会社 用于柔性基板的位置控制器
US20150101418A1 (en) * 2012-04-17 2015-04-16 Northeastern University Equi-biaxial membrane stretcher
CN102879269A (zh) * 2012-09-27 2013-01-16 浙江大学 多功能多轴向加载拉伸机
CN109130496A (zh) * 2018-08-21 2019-01-04 嘉兴学院 一种制备柔性可延展多级结构互连线的方法及设备
CN109130155A (zh) * 2018-08-23 2019-01-04 宁波杉越新材料有限公司 平面拉伸装置
CN109060513A (zh) * 2018-10-30 2018-12-21 清华大学 用于原位均匀拉伸的多轴加载机
CN109808242A (zh) * 2019-03-28 2019-05-28 博众精工科技股份有限公司 弹性体拉伸装置
CN110763580A (zh) * 2019-10-09 2020-02-07 华中科技大学 一种柔性器件的360°多向同步拉伸设备及方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023221207A1 (zh) * 2022-05-17 2023-11-23 苏州华星光电技术有限公司 一种柔性屏拉伸测试装置及柔性屏的测试方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN111276435B (zh) 2022-04-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN111276435B (zh) 宽范围、均匀应变的柔性电子基底近圆式拉伸系统
CN208234121U (zh) 一种自动上料装置
CN115841977B (zh) 晶圆搬运装置
CN103258767A (zh) 用于在其加工过程中传送太阳能晶圆或太阳电池的装置
CN110112091A (zh) 一种批量转移晶片裸片的装置
CN105088144B (zh) 一种更换坩埚装置
CN203229215U (zh) 联合省力重载机器人
WO2020087614A1 (zh) 电芯配组装置
CN111975744A (zh) 多维度拓展机器人
CN111453292A (zh) 一种收料设备
CN203602054U (zh) 卸瓶垛机的隔板取放机构
CN104690713B (zh) 一种四自由度并联分拣机器人
CN108527351A (zh) 一种仓储机器人及其机械臂
CN207078716U (zh) 旋转移载机构及其带有该机构的升降移载机
CN209981257U (zh) 一种电池片摆放装置
CN208732042U (zh) 可多角度调节的软包锂电芯检测用移送装置
CN111302330A (zh) 一种石墨烯材料及其制备系统与工艺
CN108792611B (zh) 一种机器人智能上料装置
CN102019615A (zh) 一种晶片传递装置
CN215159085U (zh) 线缆用线盘组装机
CN201913647U (zh) 机器人手臂机构
CN212601804U (zh) 多维度拓展机器人
CN113859969A (zh) 传输机构
CN115027962A (zh) 一种基于3d视觉引导的拆垛系统及其拆垛方法
CN108050219B (zh) 一种高承载桁架式高柔性机构

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant