CN220998340U - 一种吸盘式取硅片机构 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种吸盘式取硅片机构，涉及硅片生产技术领域。本申请包括：固定板，其一侧设置有依次分布的固定架与连接架，所述固定板与固定架之间设置有升降件，通过所述升降件驱使固定架直线运动，所述连接架与固定架转动配合且二者之间设置有驱动件，通过所述驱动件驱使连接架间歇性转动，所述连接架上设置有四个环形阵列分布的吸盘件，所述固定架与连接架上设置有与四个吸盘件均连通的抽真空件。本申请在使用时，通过固定板、固定架、连接架、升降件、驱动件、四个吸盘件以及抽真空件的配合，实现对硅片的连续取放过程，降低硅片的取放行程，降低相邻两个硅片之间的取放间隔，连续性强，从而提高硅片取放效率，因此更具有实用性。

Description

一种吸盘式取硅片机构

技术领域

本申请涉及硅片生产技术领域，具体涉及一种吸盘式取硅片机构。

背景技术

硅片一般是指由单晶硅切割成的薄片，主要用来生产集成电路。硅片在生产过程中，很多工序之间都需要将硅片进行取放转移，在现有技术中，通常采用机械手对硅片进行取放，在工作时，机械手向下取硅片后上升，再移动到下一工位后下降放置，之后上升复位，但由于机械手需要频繁的重复上升、下降以及移动的过程，从而导致硅片的取放行程较长，相邻两个硅片之间的取放间隔较长，连续性较差，从而导致取放效率较低，因此提出一种吸盘式取硅片机构。

实用新型内容

本申请的目的在于：为解决硅片的取放行程较长，相邻两个硅片之间的取放间隔较长，连续性较差，从而导致取放效率较低的技术问题，本申请提供了一种吸盘式取硅片机构。

本申请为了实现上述目的具体采用以下技术方案：

一种吸盘式取硅片机构，包括：

固定板，其一侧设置有依次分布的固定架与连接架，所述固定板与固定架之间设置有升降件，通过所述升降件驱使固定架直线运动，所述连接架与固定架转动配合且二者之间设置有驱动件，通过所述驱动件驱使连接架间歇性转动，所述连接架上设置有四个环形阵列分布的吸盘件，所述固定架与连接架上设置有与四个吸盘件均连通的抽真空件。

进一步地，所述升降件包括转动设置在固定板上的正反丝杆、均滑动设置在固定板上且对称分布的两个滑块以及设置在固定板上的升降电机，所述升降电机的输出轴与正反丝杆连接，两个所述滑块分别与正反丝杆的正反螺纹段螺纹配合，所述滑块上铰接有连杆，所述连杆的自由端与固定架铰接。

进一步地，所述固定板与固定架之间设置有两个环形阵列分布的伸缩套杆。

进一步地，所述驱动件包括转动设置在固定架上的转杆，所述固定架上设置有输出轴与转杆连接的驱动电机，所述转杆与连接架之间通过外啮合槽轮机构传动连接，所述外啮合槽轮机构的传动比为四比一。

进一步地，所述吸盘件包括设置在连接架上的吸盘体，所述吸盘体上构造有连接孔与多个环形阵列分布的条形槽，所述吸盘体内构造有与条形槽数量相同且一一对应的气道，多个所述气道均与连接孔连通，所述条形槽内构造有多个间隔分布且均与气道连通的通孔。

进一步地，所述吸盘体上构造有多个间隔分布且形成同心圆结构的弧形槽，所述弧形槽与条形槽连通。

进一步地，所述抽真空件包括分别设置在固定架与连接架上且连通的真空泵以及主管，所述连接架上设置有四个环形阵列分布且均与主管连通的副管，所述副管的自由端与连接孔连通，所述副管上设置有电磁阀。

进一步地，所述主管的自由端与真空泵之间通过旋转接头连接。

本申请的有益效果如下：本申请在使用时，通过固定板、固定架、连接架、升降件、驱动件、四个吸盘件以及抽真空件的配合，实现对硅片的连续取放过程，降低硅片的取放行程，降低相邻两个硅片之间的取放间隔，连续性强，从而提高硅片取放效率，因此更具有实用性。

附图说明

图1是本申请结构立体图；

图2是本申请立体剖视图；

图3是本申请图2中A处的放大图；

图4是本申请图2中B处的放大图；

图5是本申请图2中C处的放大图；

图6是本申请图2中D处的放大图；

图7是本申请部分结构示意图；

图8是本申请部分结构爆炸立体图。

附图标记：1、固定板；2、固定架；3、连接架；4、升降件；401、正反丝杆；402、滑块；403、升降电机；404、连杆；405、伸缩套杆；5、驱动件；501、转杆；502、驱动电机；503、外啮合槽轮机构；6、吸盘件；601、吸盘体；602、连接孔；603、条形槽；604、气道；605、通孔；606、弧形槽；7、抽真空件；701、真空泵；702、主管；703、副管；704、电磁阀；705、旋转接头。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

如图1-图8所示，本申请一个实施例提出的一种吸盘式取硅片机构，包括：

固定板1，其一侧设置有依次分布的固定架2与连接架3，固定板1、固定架2以及连接架3均呈水平方向且自上而下依次间隔分布，固定板1与固定架2之间设置有升降件4，通过升降件4驱使固定架2直线运动，升降件4用于驱使固定架2沿竖直方向直线运动；

连接架3与固定架2转动配合且二者之间设置有驱动件5，通过驱动件5驱使连接架3间歇性转动，驱动件5用于驱使连接架3单次转动九十度，在间隔一定时间后，继续转动九十度，如此反复，以实现驱使连接架3间歇性转动，连接架3上设置有四个环形阵列分布的吸盘件6，吸盘件6作用于硅片，固定架2与连接架3上设置有与四个吸盘件6均连通的抽真空件7，抽真空件7用于将吸盘件6内部转换为真空和正常状态，从而对硅片进行取和放；

在初始状态下，固定架2靠近固定板1，在实际使用时，应将固定板1固定安装在机架或及其它部件上，使其中两个吸盘件6分别对应取硅片的工位和放置硅片的工位，在使用时，通过升降件4驱使固定架2沿竖直方向向下运动，带动连接架3与四个吸盘件6一同沿竖直方向向下运动，其中一个吸盘件6作用于取硅片工位上的硅片，通过抽真空件7将此吸盘件6内部转换为真空状态，从而将硅片取起，之后通过升降件4驱使固定架2沿竖直方向向上运动，带动连接架3与四个吸盘件6一同沿竖直方向向上运动，通过驱动件5驱使连接架3转动九十度，再通过升降件4驱使固定架2沿竖直方向向下运动，带动连接架3与四个吸盘件6一同沿竖直方向向下运动，通过抽真空件7将此吸盘件6内部转换为正常状态，从而将硅片放下，与此同时，另一个吸盘件6作用于取硅片工位上的硅片，通过抽真空件7将此吸盘件6内部转换为真空状态，从而将硅片取起，如此反复，以实现对硅片的连续取放过程，综上所述，本申请在使用时，通过固定板1、固定架2、连接架3、升降件4、驱动件5、四个吸盘件6以及抽真空件7的配合，实现对硅片的连续取放过程，降低硅片的取放行程，降低相邻两个硅片之间的取放间隔，连续性强，从而提高硅片取放效率，因此更具有实用性。

如图2-图3所示，在一些实施例中，升降件4包括转动设置在固定板1上的正反丝杆401、均滑动设置在固定板1上且对称分布的两个滑块402以及设置在固定板1上的升降电机403，正反丝杆401呈水平方向，两个滑块402均沿水平方向滑动，升降电机403固设在固定板1上，升降电机403的输出轴与正反丝杆401连接，两个滑块402分别与正反丝杆401的正反螺纹段螺纹配合，滑块402上铰接有连杆404，连杆404的自由端与固定架2铰接，参照上文，在使用时，打开升降电机403，升降电机403工作，输出轴正转，带动正反丝杆401一同转动，两个滑块402均会因螺纹作用而沿水平方向滑动至相互靠近，两个连杆404分别绕各自对应的铰接点转动至均趋于竖直方向，从而驱使固定架2沿竖直方向向下运动，反之，当升降电机403的输出轴反转时，带动正反丝杆401一同转动，两个滑块402均会因螺纹作用而沿水平方向滑动至相互远离，两个连杆404分别绕各自对应的铰接点转动至均趋于水平方向，从而驱使固定架2沿竖直方向向上运动。

如图3所示，在一些实施例中，固定板1与固定架2之间设置有两个环形阵列分布的伸缩套杆405，伸缩套杆405呈竖直方向且两端分别与固定板1以及固定架2固定连接，参照上文，当固定架2沿竖直方向运动时，通过两个伸缩套杆405共同起到一定的导向与限位作用，同时可以提高固定板1与固定架2之间的连接强度，从而使固定架2的运动更加稳定。

如图2-图8所示，在一些实施例中,驱动件5包括转动设置在固定架2上的转杆501，转杆501呈竖直方向，固定架2上设置有输出轴与转杆501连接的驱动电机502，驱动电机502固设在固定架2上，转杆501与连接架3之间通过外啮合槽轮机构503传动连接，外啮合槽轮机构503的传动比为四比一，外啮合槽轮机构503由主动拨盘、圆柱销和从动槽轮三大部分组成，主动拨盘套设在转杆501上，从动槽轮套设在连接架3上，其中，圆柱销安装在主动拨盘上，主动拨盘上构造有锁止弧，从动槽轮上构造有锁止弧和径向槽，其工作原理顺序大致如下，主动拨盘转动、圆柱销进入径向槽、锁止弧松开、从动槽轮转动、圆柱销脱出径向槽、从动槽轮另一锁止弧被主动拨盘锁止弧锁住、主动拨盘转动、从动槽轮静止，即主动拨盘正向转动一圈，从动槽轮反向转动四分之一圈，在使用时，打开驱动电机502，驱动电机502工作，输出轴转动一圈，带动转杆501转动一圈，连接架3转动四分之一圈，即连接架3转动九十度，之后连接架3会在间隔一定时间后，继续转动九十度。

如图6-图7所示，在一些实施例中,吸盘件6包括设置在连接架3上的吸盘体601，吸盘体601固设在连接架3上，吸盘体601上构造有连接孔602与多个环形阵列分布的条形槽603，吸盘体601内构造有与条形槽603数量相同且一一对应的气道604，多个气道604均与连接孔602连通，条形槽603内构造有多个间隔分布且均与气道604连通的通孔605，参照上文，在使用时，吸盘体601远离连接架3的一侧作用于硅片，通过抽真空件7将连接孔602、多个条形槽603、多个气道604以及多个通孔605内的空气抽出，使连接孔602、多个条形槽603、多个气道604以及多个通孔605内形成真空状态，从而对硅片进行吸取，反之，通过抽真空件7向连接孔602、多个条形槽603、多个气道604以及多个通孔605内送入空气，从而将硅片放下。

如图7所示，在一些实施例中,吸盘体601上构造有多个间隔分布且形成同心圆结构的弧形槽606，弧形槽606与条形槽603连通，参照上文，通过多个弧形槽606的设计，可以对硅片施加更均匀的真空吸附力，使得硅片各处受力更加均匀，从而降低硅片出现破片、翘曲问题的概率。

如图4-图6所示，在一些实施例中,抽真空件7包括分别设置在固定架2与连接架3上且连通的真空泵701以及主管702，真空泵701固设在固定架2上，主管702固设在连接架3上，连接架3上设置有四个环形阵列分布且均与主管702连通的副管703，副管703固设在连接架3上，副管703的自由端与连接孔602连通，副管703的自由端与吸盘体601固定连接，副管703上设置有电磁阀704，参照上文，在使用时，打开真空泵701，真空泵701工作，当其中一个吸盘件6对硅片进行吸取和放下时，关闭其余三个吸盘件6对应的三个副管703上的电磁阀704。

如图4所示，在一些实施例中,主管702的自由端与真空泵701之间通过旋转接头705连接，参照上文，通过旋转接头705的设计，可以避免主管702因旋转导致扭伤，从而影响对硅片的吸取和放下。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本申请。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本申请的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本申请将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (8)

1.一种吸盘式取硅片机构，其特征在于，包括：

固定板(1)，其一侧设置有依次分布的固定架(2)与连接架(3)，所述固定板(1)与固定架(2)之间设置有升降件(4)，通过所述升降件(4)驱使固定架(2)直线运动，所述连接架(3)与固定架(2)转动配合且二者之间设置有驱动件(5)，通过所述驱动件(5)驱使连接架(3)间歇性转动，所述连接架(3)上设置有四个环形阵列分布的吸盘件(6)，所述固定架(2)与连接架(3)上设置有与四个吸盘件(6)均连通的抽真空件(7)。

2.根据权利要求1所述的一种吸盘式取硅片机构，其特征在于，所述升降件(4)包括转动设置在固定板(1)上的正反丝杆(401)、均滑动设置在固定板(1)上且对称分布的两个滑块(402)以及设置在固定板(1)上的升降电机(403)，所述升降电机(403)的输出轴与正反丝杆(401)连接，两个所述滑块(402)分别与正反丝杆(401)的正反螺纹段螺纹配合，所述滑块(402)上铰接有连杆(404)，所述连杆(404)的自由端与固定架(2)铰接。

3.根据权利要求2所述的一种吸盘式取硅片机构，其特征在于，所述固定板(1)与固定架(2)之间设置有两个环形阵列分布的伸缩套杆(405)。

4.根据权利要求1所述的一种吸盘式取硅片机构，其特征在于，所述驱动件(5)包括转动设置在固定架(2)上的转杆(501)，所述固定架(2)上设置有输出轴与转杆(501)连接的驱动电机(502)，所述转杆(501)与连接架(3)之间通过外啮合槽轮机构(503)传动连接，所述外啮合槽轮机构(503)的传动比为四比一。

5.根据权利要求1所述的一种吸盘式取硅片机构，其特征在于，所述吸盘件(6)包括设置在连接架(3)上的吸盘体(601)，所述吸盘体(601)上构造有连接孔(602)与多个环形阵列分布的条形槽(603)，所述吸盘体(601)内构造有与条形槽(603)数量相同且一一对应的气道(604)，多个所述气道(604)均与连接孔(602)连通，所述条形槽(603)内构造有多个间隔分布且均与气道(604)连通的通孔(605)。

6.根据权利要求5所述的一种吸盘式取硅片机构，其特征在于，所述吸盘体(601)上构造有多个间隔分布且形成同心圆结构的弧形槽(606)，所述弧形槽(606)与条形槽(603)连通。

7.根据权利要求5所述的一种吸盘式取硅片机构，其特征在于，所述抽真空件(7)包括分别设置在固定架(2)与连接架(3)上且连通的真空泵(701)以及主管(702)，所述连接架(3)上设置有四个环形阵列分布且均与主管(702)连通的副管(703)，所述副管(703)的自由端与连接孔(602)连通，所述副管(703)上设置有电磁阀(704)。

8.根据权利要求7所述的一种吸盘式取硅片机构，其特征在于，所述主管(702)的自由端与真空泵(701)之间通过旋转接头(705)连接。