CN114436161A - 一种用于半导体晶圆传输系统的多级升降机构 - Google Patents
一种用于半导体晶圆传输系统的多级升降机构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN114436161A CN114436161A CN202210104619.1A CN202210104619A CN114436161A CN 114436161 A CN114436161 A CN 114436161A CN 202210104619 A CN202210104619 A CN 202210104619A CN 114436161 A CN114436161 A CN 114436161A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- stage
- level
- driving
- lifting mechanism
- grade
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims abstract description 103
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 15
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 title abstract description 12
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims abstract description 6
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 31
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 18
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 230000009347 mechanical transmission Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
- B66F—HOISTING, LIFTING, HAULING OR PUSHING, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, e.g. DEVICES WHICH APPLY A LIFTING OR PUSHING FORCE DIRECTLY TO THE SURFACE OF A LOAD
- B66F7/00—Lifting frames, e.g. for lifting vehicles; Platform lifts
- B66F7/10—Lifting frames, e.g. for lifting vehicles; Platform lifts with platforms supported directly by jacks
- B66F7/12—Lifting frames, e.g. for lifting vehicles; Platform lifts with platforms supported directly by jacks by mechanical jacks
- B66F7/14—Lifting frames, e.g. for lifting vehicles; Platform lifts with platforms supported directly by jacks by mechanical jacks screw operated
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
- B66F—HOISTING, LIFTING, HAULING OR PUSHING, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, e.g. DEVICES WHICH APPLY A LIFTING OR PUSHING FORCE DIRECTLY TO THE SURFACE OF A LOAD
- B66F7/00—Lifting frames, e.g. for lifting vehicles; Platform lifts
- B66F7/28—Constructional details, e.g. end stops, pivoting supporting members, sliding runners adjustable to load dimensions
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
Abstract
本发明涉及机械制造的技术领域,公开了一种用于半导体晶圆传输系统的多级升降机构,包括上下依次串联的多个升降单元,每个所述升降单元均包括驱动机构,所述驱动机构采用同步带传动结构,其一端与一级升降机构相连,另一端与二级升降机构相连,所述驱动机构用于同时带动一级升降机构、二级升降机构上下运动,从而带动整个二级升降机构沿一级升降机构上下运动,进而带动相邻两个升降单元中上端的升降单元沿二级升降机构上下运动。整个装置结构简单,组装简单,维护难度低,便于推广应用。
Description
技术领域
本发明涉及机械制造的技术领域,具体涉及一种用于半导体晶圆传输系统的多级升降机构。
背景技术
半导体晶圆搬送类设备多应用于高洁净度、高定位精度的运动场合,并且机器人受限于狭窄空间内,对升降轴行程有高要求的工况。现有技术中对于单纯升降装置而言,已经比较成熟,从使用驱动方式而言,有气缸、电机、液压等等,其具体机械传动结构也是多种多样,但在多级升降方案上,如仅单纯通过增加驱动部,装置经济效益差,且精度难以保证;如仅增加机械传动结构,像增加滑轮或者齿轮数量,则不能适用重载场合,且传动复杂,易造成积累误差,控制精度不高。
发明内容
本发明提供了一种用于半导体晶圆传输系统的多级升降机构,每个升降单元仅使用单个驱动元件,经济性好,虽可实现两级升降,但装置中未使用多级传动,系统响应性好。
本发明可通过以下技术方案实现:
一种用于半导体晶圆传输系统的多级升降机构,包括上下依次串联的多个升降单元,每个所述升降单元均包括驱动机构,所述驱动机构采用同步带传动结构,其一端与一级升降机构相连,另一端与二级升降机构相连,所述驱动机构用于同时带动一级升降机构、二级升降机构上下运动,从而带动整个二级升降机构沿一级升降机构上下运动,进而带动相邻两个升降单元中上端的升降单元沿二级升降机构上下运动。
进一步,所述一级升降机构、二级升降机构均采用滚珠丝杠结构,与一级升降机构中的丝杆平行设置有两个一级滑轨,与二级升降机构中的丝杆平行设置有两个二级滑轨,
在两个所述一级滑轨上设置有安装板,在所述安装板上设置有驱动机构、二级升降机构,在两个所述二级滑轨上设置有相邻两个升降单元中上端的升降单元,
所述驱动机构的一端与一级升降机构的螺母连接,另一端与二级升降机构中丝杆的一端连接,用于带动安装板沿两个一级滑轨上下运动,同时带动相邻两个升降单元中上端的升降单元沿两个二级滑轨上下运动。
进一步,所述驱动机构包括电动机,所述电动机的输出轴上安装有一级主动轮和二级主动轮,
所述一级主动轮通过一级同步带与一级从动轮相连,所述一级从动轮设置在一级升降机构的螺母上,所述二级主动轮通过二级同步带与二级从动轮相连,所述二级从动轮设置在二级升降机构中丝杆的一端。
进一步,所述一级从动轮套装在一级升降机构的螺母上,两者紧配合;
所述二级从动轮套装在二级升降机构的丝杆上,两者紧配合。
进一步,所述安装板采用L形结构,其一面设置在一级升降机构的螺母上以及通过一级滑块设置在一级滑轨上,另一面与二级升降机构的基板相连,所述基板用于承载整个二级升降机构的安装。
进一步,相邻两个升降单元中上端的升降单元设置在二级升降机构的螺母上以及通过二级滑块设置在二级滑轨上。
本发明有益的技术效果在于:
整个升降单元的驱动机构仅为电动机,通过控制电动机的转速就可以直接控制一级升降机构、二级升降机构的运动精度,较多级气缸驱动机构,本发明的升降单元可以实现无级调节升降控制,而较多级齿轮传动机构,本发明的升降单元可以承受更大的载荷,驱动能力更强,运动精度更高,同时增设一级滑轨、二级滑轨,进一步保障运动导向性和运动精度,另外,整个装置结构简单,组装简单,维护难度低,便于推广应用。
附图说明
图1为本发明的升降单元的总体结构示意图一;
图2为本发明的升降单元的总体结构示意图二;
图3为本发明的升降单元的两级升降机构展开时的状况示意图;
图4为本发明的升降单元的两级升降机构收缩时的状况示意图;
其中,1-一级升降机构,2-二级升降机构,3-一级滑轨,4-二级滑轨,5-安装板,6-基板,7-电动机,8-一级同步带,9-二级同步带。
具体实施方式
下面结合附图及较佳实施例详细说明本发明的具体实施方式。
如图1-4所示,本发明提供了一种用于半导体晶圆传输系统的多级升降机构,包括上下依次串联的多个升降单元,每个升降单元均包括驱动机构,该驱动机构采用同步带传动结构,其一端与一级升降机构相连,另一端与二级升降机构相连,该驱动机构用于同时带动一级升降机构、二级升降机构上下运动,从而带动整个二级升降机构沿一级升降机构上下运动,进而带动相邻两个升降单元中上端的升降单元沿二级升降机构上下运动。其中升降单元的设置数量可以根据实际需要而定,每个升降单元均为两级升降结构,如果实际搬运设备仅需要两级升降结构,则可以将相邻两个升降单元中上端的升降单元替换为最终被托运平台如Arm形式机械手、Slide机械手等等,这样整个升降单元仅需一个驱动机构即可,减少多级传动误差积累,便于提高整体的控制精度,同时整个升降单元结构简单,组装简单,维护难度低,便于推广应用。
具体地,如图1、2所示,该一级升降机构1、二级升降机构2均采用滚珠丝杠结构,与一级升降机构1中的丝杆平行设置有两个一级滑轨3,与二级升降机构2中的丝杆平行设置有两个二级滑轨4,它们均分列在丝杆的两侧,在两个一级滑轨3上设置有安装板5,在安装板5上设置有驱动机构、二级升降机构2,该安装板5可以成L形结构,其一面可以通过一级滑块安装在一级滑轨3上,同时还与一级升降机构1的螺母相连,方便安装板在一级升降机构1的螺母的带动下沿一级滑轨3运动,这样方便带动整个驱动机构以及二级升降机构2沿一级升降机构1上下运动;
该安装板5的另一面与二级升降机构2的基板6相连,该基板6用于承载整个二级升降机构2的安装,即两个二级滑轨4及滚珠丝杠均设置在基板6上,在两个二级滑轨4上通过二级滑块设置有相邻两个升降单元中上端的升降单元,同时该相邻两个升降单元中上端的升降单元还与二级升降机构2的螺母相连,这样方便相邻两个升降单元中上端的升降单元在二级升降机构2中螺母的带动下沿二级滑轨运动。
该驱动机构的一端与一级升降机构1的螺母连接,另一端与二级升降机构2中丝杆的一端连接,具体可以包括电动机7,在电动机7的输出轴上安装有一级主动轮和二级主动轮,该一级主动轮通过一级同步带8与一级从动轮相连,该一级从动轮设置在一级升降机构1的螺母上,可以采用套装装配,两者紧配合;该二级主动轮通过二级同步带9与二级从动轮相连,该二级从动轮设置在二级升降机构2中丝杆的一端,也可以采用套装装配,两者同样紧配合,这样在电动机7的带动下,一级主动轮和二级主动轮同时转动,并且通过一级同步带8、二级同步带9分别带动一级从动轮、二级从动轮转动,从而通过一级从动轮带动对应的螺母连同其上的安装板沿两个一级滑轨3上下运动,同时通过二级从动轮带动二级升降机构2的丝杠转动,进而带动对应的螺母连同其上相邻两个升降单元中上端的升降单元沿两个二级滑轨4上下运动,实现最终的多级升降运动,如图3、4所示。
综上,整个升降单元的驱动机构仅为电动机,通过控制电动机的转速就可以直接控制一级升降机构、二级升降机构的运动精度,较多级气缸驱动机构,本发明的升降单元可以实现无级调节升降控制,采用同步带传动机构结合滚珠丝杠结构,较多级齿轮传动机构,本发明的升降单元可以承受更大的载荷,驱动能力更强,运动精度更高,更适用于半导体晶圆搬运设备的实际工况,同时增设一级滑轨、二级滑轨,进一步保障运动导向性和运动精度,另外,整个装置结构简单,组装简单,维护难度低,便于推广应用。
虽然以上描述了本发明的具体实施方式,但是本领域的技术人员应当理解,这些仅是举例说明,在不背离本发明的原理和实质的前提下,可以对这些实施方式做出多种变更或修改,因此,本发明的保护范围由所附权利要求书限定。
Claims (6)
1.一种用于半导体晶圆传输系统的多级升降机构,其特征在于:包括上下依次串联的多个升降单元,每个所述升降单元均包括驱动机构,所述驱动机构采用同步带传动结构,其一端与一级升降机构相连,另一端与二级升降机构相连,所述驱动机构用于同时带动一级升降机构、二级升降机构上下运动,从而带动整个二级升降机构沿一级升降机构上下运动,进而带动相邻两个升降单元中上端的升降单元沿二级升降机构上下运动。
2.根据权利要求1所述的用于半导体晶圆传输系统的多级升降机构,其特征在于:所述一级升降机构、二级升降机构均采用滚珠丝杠结构,与一级升降机构中的丝杆平行设置有两个一级滑轨,与二级升降机构中的丝杆平行设置有两个二级滑轨,
在两个所述一级滑轨上设置有安装板,在所述安装板上设置有驱动机构、二级升降机构,在两个所述二级滑轨上设置有相邻两个升降单元中上端的升降单元,
所述驱动机构的一端与一级升降机构的螺母连接,另一端与二级升降机构中丝杆的一端连接,用于带动安装板沿两个一级滑轨上下运动,同时带动相邻两个升降单元中上端的升降单元沿两个二级滑轨上下运动。
3.根据权利要求2所述的用于半导体晶圆传输系统的多级升降机构,其特征在于:所述驱动机构包括电动机,所述电动机的输出轴上安装有一级主动轮和二级主动轮,
所述一级主动轮通过一级同步带与一级从动轮相连,所述一级从动轮设置在一级升降机构的螺母上,所述二级主动轮通过二级同步带与二级从动轮相连,所述二级从动轮设置在二级升降机构中丝杆的一端。
4.根据权利要求3所述的用于半导体晶圆传输系统的多级升降机构,其特征在于:所述一级从动轮套装在一级升降机构的螺母上,两者紧配合;
所述二级从动轮套装在二级升降机构的丝杆上,两者紧配合。
5.根据权利要求2所述的用于半导体晶圆传输系统的多级升降机构,其特征在于:所述安装板采用L形结构,其一面设置在一级升降机构的螺母上以及通过一级滑块设置在一级滑轨上,另一面与二级升降机构的基板相连,所述基板用于承载整个二级升降机构的安装。
6.根据权利要求5所述的用于半导体晶圆传输系统的多级升降机构,其特征在于:相邻两个升降单元中上端的升降单元设置在二级升降机构的螺母上以及通过二级滑块设置在二级滑轨上。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202210104619.1A CN114436161A (zh) | 2022-01-28 | 2022-01-28 | 一种用于半导体晶圆传输系统的多级升降机构 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202210104619.1A CN114436161A (zh) | 2022-01-28 | 2022-01-28 | 一种用于半导体晶圆传输系统的多级升降机构 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN114436161A true CN114436161A (zh) | 2022-05-06 |
Family
ID=81369019
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202210104619.1A Pending CN114436161A (zh) | 2022-01-28 | 2022-01-28 | 一种用于半导体晶圆传输系统的多级升降机构 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN114436161A (zh) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN205526235U (zh) * | 2016-02-05 | 2016-08-31 | 云南克来众诚智能设备有限公司 | 一种多级升降系统 |
CN110482434A (zh) * | 2019-08-22 | 2019-11-22 | 格力电器(郑州)有限公司 | 一种升降装置 |
CN210100028U (zh) * | 2019-05-05 | 2020-02-21 | 成都天富若博特科技有限责任公司 | 一种施工机器人 |
CN210319222U (zh) * | 2019-05-17 | 2020-04-14 | 浙江大华技术股份有限公司 | 多级升降机构及巡检设备 |
CN113942955A (zh) * | 2020-07-15 | 2022-01-18 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种两级联动升降装置 |
CN217297154U (zh) * | 2022-01-28 | 2022-08-26 | 上海广川科技有限公司 | 一种用于半导体晶圆传输系统的多级升降机构 |
-
2022
- 2022-01-28 CN CN202210104619.1A patent/CN114436161A/zh active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN205526235U (zh) * | 2016-02-05 | 2016-08-31 | 云南克来众诚智能设备有限公司 | 一种多级升降系统 |
CN210100028U (zh) * | 2019-05-05 | 2020-02-21 | 成都天富若博特科技有限责任公司 | 一种施工机器人 |
CN210319222U (zh) * | 2019-05-17 | 2020-04-14 | 浙江大华技术股份有限公司 | 多级升降机构及巡检设备 |
CN110482434A (zh) * | 2019-08-22 | 2019-11-22 | 格力电器(郑州)有限公司 | 一种升降装置 |
CN113942955A (zh) * | 2020-07-15 | 2022-01-18 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种两级联动升降装置 |
CN217297154U (zh) * | 2022-01-28 | 2022-08-26 | 上海广川科技有限公司 | 一种用于半导体晶圆传输系统的多级升降机构 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN109915567B (zh) | 一种多级同步丝杠推杆机构 | |
CN205438543U (zh) | 一种三自由度的并联机器人 | |
CN217297154U (zh) | 一种用于半导体晶圆传输系统的多级升降机构 | |
CN1701927A (zh) | 柔索驱动三和四自由度解耦并联机构 | |
CN110953315A (zh) | 一种行程倍增的双机械手同步升降机构及其工作方法 | |
CN111071361A (zh) | 一种单自由度剪叉驱动爬壁机器人 | |
CN107055377B (zh) | 仅含转动副的剪叉式可伸缩/可升降机构 | |
CN114436161A (zh) | 一种用于半导体晶圆传输系统的多级升降机构 | |
CN107352267A (zh) | 旋转移载机构及其带有该机构的升降移载机 | |
CN106044096A (zh) | 轨道和搬运车式输送装置 | |
CN205802391U (zh) | 一种物流输送升降机 | |
CN107032262A (zh) | 超洁净环境下使用的伸缩货叉装置 | |
CN111762719A (zh) | 一种升降平台及其驱动方法 | |
CN217776968U (zh) | 一种桁架重负载型两级伸缩机构 | |
CN111056477A (zh) | 基于agv设备的二倍率筒式举升多级电动缸 | |
CN206869868U (zh) | 一种视觉引导下的机械臂移动机构 | |
CN206553155U (zh) | 搬运货叉机构及其智能移动装置 | |
CN211997349U (zh) | 一种倍速链升降机 | |
CN211667114U (zh) | 一种行程倍增的双机械手同步升降机构 | |
CN106744529A (zh) | 搬运货叉机构及其智能移动装置 | |
CN110000756B (zh) | 具有三移动和两移动一螺旋运动模式的并联机构 | |
CN209717702U (zh) | 一种能实现“门”字形运动轨迹的机械手机构 | |
CN207637768U (zh) | 一种平板规整装置 | |
CN207078716U (zh) | 旋转移载机构及其带有该机构的升降移载机 | |
CN108675190B (zh) | 升降装置及模压发泡机 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination |