JPH1097322A - 位置制御方式 - Google Patents

位置制御方式

Info

Publication number
JPH1097322A
JPH1097322A JP27140996A JP27140996A JPH1097322A JP H1097322 A JPH1097322 A JP H1097322A JP 27140996 A JP27140996 A JP 27140996A JP 27140996 A JP27140996 A JP 27140996A JP H1097322 A JPH1097322 A JP H1097322A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotation
screw shaft
moving body
dark
bright
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP27140996A
Other languages
English (en)
Inventor
Kiyotaka Ishii
清孝 石井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyo Communication Equipment Co Ltd
Original Assignee
Toyo Communication Equipment Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toyo Communication Equipment Co Ltd filed Critical Toyo Communication Equipment Co Ltd
Priority to JP27140996A priority Critical patent/JPH1097322A/ja
Publication of JPH1097322A publication Critical patent/JPH1097322A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Control Of Position Or Direction (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の移動体位置制御方式では、回転部の慣
性力による移動量の誤差が生ずるという問題がある。本
発明は2組のセンサーを設け、正転と逆転を別個に制御
することにより慣性力による誤差を相殺させる。 【解決手段】 正転用と逆転用の2枚の半円盤を慣性力
により生じる誤差分φだけずらして取り付け、正転用と
逆転専用のそれぞれの遮蔽センサを用いることで、慣性
力による誤差を相殺させ精度上げる移動体位置制御方式
である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は表面に等ピッチのネ
ジ加工が施されたネジ軸を該ネジ軸の回転に伴い移動す
る直線運動体の位置制御方式に関し、特に正転、逆転の
検知機能を組合せ慣性力によるネジ軸の回転誤差を防止
した2枚組半円盤型検知器による位置制御方式に関す
る。
【0002】
【従来の技術】各種の電気装置、電子装置、機械装置等
に於いて使用される直線運動機構の構造として、等ピッ
チのオネジ加工が表面に施された回転運動体に該回転運
動体と同じピッチのメネジ加工が施された貫通孔を有す
る移動体を挿入し、前記回転運動体を回転させることに
より該移動体を直線運動させる機構が用いられている。
該移動体の位置制御の一つとして回転運動体と直結した
半円盤が遮蔽センサーに内蔵する発光−受光部における
光の透過あるいは遮断するときに得られる「明」あるい
は「暗」の信号から遮蔽信号を検知し、これを制御する
ことで移動体の位置を制御するものが知られている。
【0003】図3(a)は従来の移動体制御装置の構成
を示す図である。この移動体制御装置は、大きく分ける
と駆動部11と位置制御部12から構成される。駆動部
11は等ピッチのオネジ加工が表面に施されたネジ軸1
3と、ネジ軸13を支持する側板14と、ネジ軸13と
の接触部にネジ軸13と同じピッチのメネジ加工が施さ
れた移動体15と、ネジ軸13を回転駆動するモータ等
の駆動手段16から構成される。また、位置制御部12
はネジ軸13の一端に取り付けた半円盤17と、該半円
盤17が発光−受光部内を回転する際に光線の遮断の有
無を検知する遮蔽センサ18とから構成されている。こ
の遮蔽センサ18は発光素子と受光素子を対向配置した
ものであり、半円盤17の半円部通過するとき光を遮蔽
し、それ以外のときは光が透過する位置に配設する。上
記の移動体制御装置はネジ軸13を駆動手段16により
回転運動させることにより移動体15を直線運動させる
ものであり、図3(b)はネジ軸13と移動体15の拡
大図である。移動体15を図中左方向に移動させる場合
は駆動手段16を正転させ、また、右方向に移動させる
場合は駆動手段16を逆転させることにより、移動体1
5の位置を自在に制御することができる。
【0004】図4は上記の移動体制御装置の正転動作
(移動体15を左方向へ移動させること)を時間経過の
各瞬間を模式図(動作1から5)を用いて一枚の図に描
写した説明図である。正転動作は、初期状態である動作
1の状態から駆動手段16によりネジ軸13を正転させ
て、移動体15を図中左方向に移動させることである。
このとき半円盤17の動作は図中右側に示すように遮蔽
センサ18の光線を透過させ、所謂「明」の状態であ
る。続いて動作2の状態でも遮蔽センサ18は「明」を
検知している。更に駆動手段16によりネジ軸13を回
転させると、動作3、4に示すように半円盤17は遮蔽
センサ18の光線を遮断し、遮蔽センサ18は「明」の
状態から「暗」の状態に切り替わることを検知する。更
に駆動手段16を回転させると、半円盤17は動作5に
示すように再び初期状態の位置に戻り、遮蔽センサ18
は「暗」から「明」の状態に切り替わり、図4の右端に
示すように正転時の遮蔽信号λを得て、駆動手段16を
停止させ1サイクルが終了する。即ち、正転時の遮蔽信
号λは図4の右端に示すように「明」−「暗」−「明」
の信号から構成されている。
【0005】上記のように半円盤17の回転により遮蔽
センサ18が「暗」から「明」の状態に切り替わり、正
転時の遮蔽信号λを1回検知することによりネジ軸13
を1回転させ、移動体15を1ピッチ分左方向に移動さ
せることができる。また、移動体15を左方向にネジ軸
13の2回転分、即ち2ピッチ移動させたい場合は遮蔽
信号λを2回検知した後でネジ軸13の回転を停止すれ
ばよい。同様に移動体15をmピッチ分進めたい場合に
はネジ軸13をm回回転させて遮蔽信号λをm個検知し
後で駆動手段16を停止させれば、移動体15をmピッ
チ分だけ移動させることができ、位置制御を行うことが
できる。
【0006】図5は移動体制御装置の逆転動作(移動体
15を右方向へ移動させること)を説明する時間経過の
各瞬間の模式図(動作1〜5)であり、移動体15を右
方向に移動させる場合には動作1の初期状態から駆動手
段16を逆転させ、ネジ軸13を逆回転させる。このと
き半円盤17の動作に従い遮蔽センサ18は動作1、2
に示すように「暗」の状態を検知している。更に、駆動
手段16を回転させると半円盤17の状態は動作3、4
に示すように変化し、遮蔽センサ18を「暗」から
「明」の状態に切り替える。更に駆動手段16を回転さ
せると半円盤17は再び初期状態の位置に戻る。この時
遮蔽センサ18は動作5に示すように「明」から「暗」
の状態に切り替わり、図5の右端に示す逆転時の遮蔽信
号λ’を得ることにより駆動手段16を停止させ1サイ
クルが終了する。即ち、逆転時の遮蔽信号λ’は「暗」
−「明」−「暗」の信号から構成されている。
【0007】このように半円盤17が遮蔽センサ18の
光線を遮ることにより「明」から「暗」の状態に切り替
わる逆転時の遮蔽信号λ’を1回を検知することにより
ネジ軸13を1回転させ、移動体15を1ピッチだけ右
方向に移動させることができる。また、移動体15をn
ピッチ分右方向に移動させたい場合は遮蔽信号λ’をn
回検知した後で駆動手段16を停止する。このように半
円盤17の回転を遮蔽センサ18で「明」と「暗」の信
号に変換し検知することにより、移動体15を所定量だ
け、左右に移動させることができる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の移
動体制御装置の使用法は、図6に示すように正転と逆転
を組合せて用いる場合が一般的である。正転の場合は駆
動手段16を停止させても移動体15の慣性力で、半円
盤17は動作5に示す所定の停止位置からずれて動作6
に示す位置で停止する。この時、動作7に示すように所
定の位置(動作5)からθの誤差が生じる。更に、正転
時の誤差θの状態からネジ軸13に逆転動作をさせると
動作8に示すように「明」から「暗」の状態に切替る
が、逆転時の遮蔽信号λ’を得ていないため駆動手段1
6は動作8、9に示すようにネジ軸13を回転し続け
る。動作10に於いて再び「暗」の状態から「明」の状
態に切替り、更に回転させることにより動作12で
「明」から「暗」の状態に切り替わる。ここで「暗」−
「明」−「暗」の信号が形成され、逆転時の遮蔽信号
λ’を検知したことになり1サイクルを終了し駆動手段
16を停止する。しかし逆転の場合も移動体15の慣性
力によって半円盤17は所定の位置(動作12)からず
れ、動作13に示すように所定の位置から誤差θ’を生
じて停止する。このように正転と逆転を1回づつ繰返す
と、図6の動作7〜10ように遮蔽信号の不検知部分が
生じ、正転、または逆転動作のみの繰返しに比べ移動体
15の移動量誤差は1サイクル+θ+θ’=1サイクル
+2θとなる(θ’は大きさはθと同じで符号が異なる
だけである)。即ち、従来の制御方式では、ネジ軸13
の1サイクル+2θの回転に相当する移動量の誤差が生
ずるという問題がある。本発明は上記問題を解決するた
めになされたものであって、移動体を左右に移動させた
場合に生じる慣性力による移動量誤差を極小した移動体
制御方式の提供を目的する。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明に係る請求項1記載の位置制御方式の発明は、
回転軸上に板状の遮蔽部材を固定し遮蔽部材の通過時に
光が遮蔽される位置に遮蔽センサを設け、該遮蔽センサ
の出力信号に応じて前記回転軸の回転位置を制御する回
転制御方式に於いて、前記回転軸に2枚の遮蔽部材を回
転軸の慣性力により生ずる誤差分θだけずらして固定
し、各遮蔽部材に対応する2つの遮蔽センサを設け、こ
れらをそれぞれ正転用、逆転用とすることにより回転軸
の正、逆転時に生ずる慣性力による回転誤差を極限した
ことを特徴とする位置制御方式である。
【0010】
【発明の実施の形態】以下本発明を図面に示した実施の
形態に基づいて詳細に説明する。図1(a)は本発明係
る一実施例であって移動体制御装置の全体構成を示す斜
視図であり、該装置は大きく分けると駆動部1と位置制
御部2から構成される。
【0011】駆動部1は等ピッチのオネジ加工が表面に
施されたネジ軸3と、ネジ軸3を支持する側板4と、ネ
ジ軸3との接触部にネジ軸3と同じピッチのメネジ加工
が施され、ネジ軸3に沿って直線運動する移動体5と、
ネジ軸3を回転駆動するモータ等の駆動手段6から構成
される。ネジ軸3には定ピッチのオネジ加工が表面に施
されており、更に移動体5とネジ軸3との接触部にはネ
ジ軸3と同ピッチのメネジ加工が施されているため、ネ
ジ軸3を回転させることにより移動体5を直線運動させ
ることが可能である。
【0012】また、位置制御部2はネジ軸3の一端に取
り付けられ、図1(b)の拡大図に示すように、ネジ軸
3が正転する場合の正転用半円盤7による「明」と
「暗」の切替りを検知する遮蔽センサ8と、逆転する場
合の逆転用半円盤9よる「明」と「暗」の切替りを検知
する遮蔽センサ10とから構成されている。正転用半円
盤7と逆転用半円盤9はネジ軸3の慣性力によって生ず
る回転誤差θだけ互いにずらしてネジ軸3に取付けられ
ている。
【0013】図2は本発明に係る移動体制御方式の動作
を示す図であって、時間経過を追った模式図であり、各
瞬間の動作状態を動作1から12までに示している。初
めに移動体5を図中左方向に移動させる場合を動作1〜
6を用いて説明する。動作1の初期状態に於いて、移動
体5の位置は初期の位置にある。この状態から駆動体6
でネジ軸3を回転させることにより、移動体5を左方向
に直線運動させる。このとき正転用半円盤7による光線
の透過状態は動作2のように透過の状態であり、遮蔽セ
ンサ9は「明」の状態にある。更にネジ軸3を回転させ
ると正転用半円盤7は動作3、4に示すように「明」の
状態から「暗」の状態に切替わる。更に回転させると動
作5の状態に於いて「暗」の状態から「明」の状態に切
替わり、「明」−「暗」−「明」の正転時の遮蔽信号λ
を得ることにより駆動体6を停止させる。
【0014】また、移動体5を左方向にネジ軸3の2回
転分移動させる場合は、正転時の遮蔽信号λを2回検知
した後で駆動体6を停止する。m回転分に相当する距離
を移動させる場合は遮蔽信号λをm回検知した後で駆動
体6を停止するというように、移動体5を所望の位置に
移動させる場合には、その距離に相当するネジ軸3の回
転数だけ遮蔽信号λを検知した後で、駆動体6を停止さ
せれば移動体5の位置を任意に制御することができる。
しかし実際の動作は移動体5に慣性力が働くため動作6
に示すように回転誤差θが生じ、その分たけ位置誤差が
生ずる。
【0015】次に、動作6の状態から移動体5を右方向
に移動させる場合を動作7〜12を用いて説明する。本
発明に係る移動体制御方式に於いては移動体5の右方向
制御は逆転用半円盤9とそれと対になる遮蔽センサ10
を用いて行う。動作7に示すように逆転用半円盤9の位
置は正転用半円盤7の取付け位置から慣性力による誤差
分θだけずらして取り付けられ、遮蔽センサ6は「暗」
の状態にある。この状態から動作8に示すように、駆動
体6を逆転させることにより右方向に移動させることが
できる。更にネジ軸3を回転させ逆転用半円盤9により
遮蔽センサ10は「暗」の状態から動作9に示すように
「明」の状態に切替わる。更にネジ軸3を回転させるこ
とにより「明」の状態から動作11に示すように「暗」
の状態に切替わる。従って、「暗」−「明」−「暗」の
逆転時の遮蔽信号λ’を得ることにより駆動体6を停止
させる。このとき移動体5を右方向にネジ軸3の2回転
分だけ移動させたい場合は、遮蔽信号λ’を2回検知し
た後で駆動手段6を出停止しする。n回転分に相当する
距離を移動させたい場合は、n回の逆転時の遮蔽信号
λ’を検知して停止させるというように移動体5の位置
制御を行うことができる。しかし実際は移動体5に慣性
力が働くため動作12に示すように誤差θ’が生じて回
転は停止する。
【0016】本発明の制御方式を用いて移動体5を精度
よく移動させる方法は、移動体5を左方向にネジ軸3を
m回分だけ移動させる、即ち、正転用半円盤7による
「明」−「暗」−「明」の遮蔽信号λをm回検知して駆
動手段6を停止させた後、右方向にネジ軸3をn回分だ
け移動させる、即ち、逆転用半円盤9による「暗」−
「明」−「暗」の遮蔽信号λ’をn回検知して、駆動手
段6を停止させることにより位置誤差を無くした位置制
御が可能である。即ち、正転運動による回転誤差θと逆
転運動による回転誤差θ’は同じ大きさで垂直軸に関し
反対となるため、正転と逆転を同じ回数繰り返すことに
より回転誤差を零とすることができるのである。
【0017】なお、本発明に係る制御方式は移動体が鉛
直方向に移動する位置制御にも適用可能であり、下方向
移動の場合には慣性力誤差と重力加速度分を補正し、上
方向移動の場合には移動体の慣性力分だけ補正して、半
円盤をネジ軸に取付けることにより適用可能である。ま
た、本発明に係る位置制御は半月型円盤、または円盤に
スリット加工を施し複数の明暗状態を作り出すものを遮
蔽部材として利用して回転軸の停止の精度向上などに応
用することができる。さらに、本発明に係る制御方式は
ネジ軸による移動体の位置制御以外の回転体、例えばタ
ーンテーブルの様な鉛直の回転軸の位置制御にも容易に
適用できることは云うまでもない。
【0018】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成した
ので、半円盤が1つの場合に生ずる1サイクルの回転誤
差を除去すると共に、正転と逆転を同数回動作させるこ
とにより正転と逆転時の慣性力による回転誤差を相殺で
きるため、位置精度を大幅に改善することができ高精密
な移動体制御装置を構成できるという著しい効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は本発明係る駆動部と位置制御部の構成
図、(b)はその位置制御部の拡大図である。
【図2】本発明に係る位置制御方式の動作を説明する図
である。
【図3】(a)は従来の駆動部と位置制御部の構成を示
す図、(b)ネジ軸と移動体の接触部を示す図である。
【図4】従来の移動体制御方式に於ける正転時の動作説
明図である。
【図5】従来の移動体制御方式に於ける逆転時の動作説
明図である。
【図6】従来の移動体制御方式に於ける正転、逆転の組
合せ動作説明図である。
【符号の説明】
1・・・位置制御部 2・・・駆動部 3・・・正転用半円盤 4、6・・・遮蔽センサー 5・・・逆転用半円盤 7・・・ネジ軸 8・・・側板 9・・・移動体 10・・・駆動手段 θ、θ’、φ、φ’・・・回転角 λ・・・正転時の遮蔽信号 λ’・・・逆転時の遮蔽信号

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回転軸上に板状の遮蔽部材を固定し遮蔽
    部材の通過時に光が遮蔽される位置に遮蔽センサを設
    け、該遮蔽センサの出力信号に応じて前記回転軸の回転
    位置を制御する回転制御方式に於いて、 前記回転軸に2枚の遮蔽部材を回転軸の慣性力により生
    ずる誤差分θだけずらして固定し、各遮蔽部材に対応す
    る2つの遮蔽センサを設け、これらをそれぞれ正転用、
    逆転用とすることにより回転軸の正、逆転時に生ずる慣
    性力による回転誤差を極限したことを特徴とする位置制
    御方式。
JP27140996A 1996-09-20 1996-09-20 位置制御方式 Pending JPH1097322A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27140996A JPH1097322A (ja) 1996-09-20 1996-09-20 位置制御方式

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27140996A JPH1097322A (ja) 1996-09-20 1996-09-20 位置制御方式

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1097322A true JPH1097322A (ja) 1998-04-14

Family

ID=17499653

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP27140996A Pending JPH1097322A (ja) 1996-09-20 1996-09-20 位置制御方式

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH1097322A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018169006A1 (ja) * 2017-03-17 2018-09-20 駿河精機株式会社 ステージ装置及び複合ステージの制御装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018169006A1 (ja) * 2017-03-17 2018-09-20 駿河精機株式会社 ステージ装置及び複合ステージの制御装置
TWI668546B (zh) * 2017-03-17 2019-08-11 日商駿河精機股份有限公司 機台裝置及複合機台之控制裝置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5054991A (en) Wafer positioning apparatus
US5793128A (en) Encoder and motor with an encoder
US20100001162A1 (en) Rotation mechanism for laser emitter
JP2004109022A (ja) フォトインタラプタ位置調節機構
JPH1097322A (ja) 位置制御方式
JPH0450771A (ja) 速度検出器
JP2000321628A (ja) パンチルトカメラ装置
KR940000366B1 (ko) 로보트의 위치검출방법
JPS6089703A (ja) 原点位置検出機構
US6272288B1 (en) Vibration correction system for a camera
JPH1019694A (ja) エンコーダ内蔵型光学式トルク検出装置
JPH07164362A (ja) ロボット装置及びその原点出し方法
JPH08267386A (ja) ロボット装置
JPS63131208A (ja) 微小回転角位置合せ装置
KR100246583B1 (ko) 스테이지의 수직방향 변위 및 수평 조절 장치
JPS59194699A (ja) ステツピングモ−タの停止制御装置
JP2649381B2 (ja) 回転直進ユニットの教示方法
US5187513A (en) Focusing apparatus
JPS57191827A (en) Moving magnetic head with reference position detecting mechanism
KR200324476Y1 (ko) 모터용 엔코더
JP2500514B2 (ja) 回転体の位置検出装置
KR102057236B1 (ko) 탐지 모듈에 기초하는 액추에이터 일체형 로봇 구동 컨트롤러
JPH02116748A (ja) メカニカルセクタスキャナ
JPS6037539A (ja) チャ−ト円板の切替装置
KR20020009739A (ko) 3차원 형상검출장치 및 방법