JPH1093278A - マイクロ波集積回路装置の基台およびマイクロ波集積回路装置 - Google Patents

マイクロ波集積回路装置の基台およびマイクロ波集積回路装置

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JPH1093278A
JPH1093278A JP8242255A JP24225596A JPH1093278A JP H1093278 A JPH1093278 A JP H1093278A JP 8242255 A JP8242255 A JP 8242255A JP 24225596 A JP24225596 A JP 24225596A JP H1093278 A JPH1093278 A JP H1093278A
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microwave integrated
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Hiroki Takase
宏樹 高瀬
Toshio Maeda
俊夫 前田
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 マイクロ波集積回路装置の大きさを小さくす
ることができるマイクロ波集積回路装置の基台およびマ
イクロ波集積回路装置を得ることが課題である。 【解決手段】 マイクロ波集積回路素子2、入力用配線
5,9が設けられた入力基板22,23、出力用配線6
が設けられた出力基板24、電源用配線11が設けられ
た電源基板25および信号用配線10が設けられた信号
基板25が実装されるマイクロ波集積回路装置の基台2
0であって、基台20は、磁気遮蔽材料で作製され、か
つ、入力基板22,23および出力基板24のそれぞれ
の実装部20d,20e,20fを区画する隔壁20b
が、入力基板22,23および出力基板24のそれぞれ
の実装経路に沿って縁部からマイクロ波集積回路素子の
実装部20cに至るように対をなして立設されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、マイクロ波集積
回路素子を搭載したマイクロ波集積回路装置に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】図4は従来のマイクロ波集積回路装置の
斜視図である。図4において、1は銅タングステンで作
製された板状の基台である。2は基台1上に搭載された
マイクロ波集積回路素子であるMMIC(Monolithic M
icrowave integrated Circuit)である。3はセラミッ
クで作製され基台1上に搭載された第1の基板である。
第1の基板3の上面には、第1のRF入力用配線5およ
びRF出力用配線6が設けられている。7はセラミック
で作製され基台1上に搭載された第2の基板である。第
2の基板7の上面には、第2のRF入力用配線9、制御
信号用配線10並びに電源用配線11が設けられてい
る。
【0003】MMIC2はスイッチ機能を持つマイクロ
波集積回路素子である。第1のRF入力用配線5、第2
のRF入力用配線9、RF出力用配線6、制御信号用配
線10並びに電源用配線11は、一端をMMIC2にワ
イヤボンディングされて電気的に接続されている。ま
た、それぞれの配線5,9,6,10,11の他端は各
基板の縁部まで延びている。そして特に制御信号用配線
10及び電源用配線11の基板の縁部まで延びた他端に
は、外部の電線が半田付けされる為の半田付けパット1
0a,11aが形成されている。
【0004】一般的にMMIC2と、第1の基板3及び
第2の基板7の厚さは異なる。しかしマイクロ波集積回
路装置は、RF特性を良いものとするために、MMIC
2とRF配線5,6,9は、同一面上に配置されること
が望ましい。そのため、基台1のMMIC2の実装位置
には凹部が形成されている。そして、MMIC2はその
凹部に収納されて基台1に実装され、その上面が第1の
基板3及び第2の基板7の上面と同じ高さになるように
配設されている。このように、MMIC2および第1の
基板3並びに第2の基板7が、基台1上に実装されてい
る一つの理由は、それらの表面が同一面上に配置される
為である。そして他の理由は、基台1はMMIC2を直
接その上に実装し、MMIC2の放熱やMMIC2のグ
ランドの機能を果たしていることである。
【0005】このように構成された従来のマイクロ波集
積回路装置においては、MMIC2に、第1のRF入力
用配線5および第2のRF入力用配線9を介して2種類
のRF信号が入力される。また電源用配線11を介して
直流電源が印加される。この状態で、制御信号用配線1
0を介して制御信号がMMIC2に入力され、2種類の
RF信号のうち何れかが選択されて、RF出力用配線6
から出力される。
【0006】図5は従来のマイクロ波集積回路装置の他
の例を示す斜視図である。本例のマイクロ波集積回路装
置においては、MMIC2はセラミック製の一枚の基板
13上に実装されている。そして基板13上には、図4
の従来例と同じ様に第1のRF入力用配線5、第2のR
F入力用配線9、RF出力用配線6、制御信号用配線1
0並びに電源用配線11が設けられている。その他の構
成および装置の動作は図4の従来例と同様である。
【0007】周波数が比較的低く、しかも狭帯域である
ようなRF特性を出し易い条件であって、MMIC2と
RF配線5,6,9を同一面上に配置する必要がない場
合であり、さらにMMIC2の放熱やグランドの条件が
厳しくない場合には、図4に示す様に基台1を用いず、
MMIC2を直接基板13上に実装する構成とすること
も可能である。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】このように構成された
従来のマイクロ波集積回路装置においては、第1のRF
入力用配線5、第2のRF入力用配線9並びにRF出力
用配線6相互間のアイソレーションを確保する為、各々
の配線を互いに離さなければならなかった。その結果、
基板3,基板7あるいは基板13の大きさが大きくな
り、そのため装置全体の大きさが大きくなってしまう問
題があった。
【0009】この発明は、上記の課題を解決するために
なされたもので、マイクロ波集積回路装置の大きさを小
さくすることができるマイクロ波集積回路装置の基台お
よびマイクロ波集積回路装置を得ることを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】請求項1のマイクロ波集
積回路装置の基台においては、マイクロ波集積回路素
子、入力用配線が設けられた入力基板、出力用配線が設
けられた出力基板、電源用配線が設けられた電源基板お
よび信号用配線が設けられた信号基板が実装されるマイ
クロ波集積回路装置の基台であって、基台は、電磁遮蔽
材料で作製され、かつ、入力基板および出力基板のそれ
ぞれの実装部を区画する隔壁が、入力基板および出力基
板のそれぞれの実装経路に沿って縁部からマイクロ波集
積回路素子の実装部に至るように対をなして立設されて
いる。
【0011】請求項2のマイクロ波集積回路装置の基台
においては、隔壁は、その上縁部に信号線および電源線
の少なくとも一方の線材を挿通させる切り欠きが設けら
れている。
【0012】請求項3のマイクロ波集積回路装置におい
ては、電磁遮蔽材料からなり、隔壁が平板状の基部の縁
部からマイクロ波集積回路素子実装部に至るように対を
なして立設されてそれぞれ区画された入力基板実装部お
よび出力基板実装部を形成してなる基台と、基台のマイ
クロ波集積回路素子実装部に実装されたマイクロ波集積
回路素子と、入力用配線が設けられ、基部の縁部からマ
イクロ波集積回路素子に至るように基台の入力基板実装
部に実装されて、入力用配線がマイクロ波集積回路素子
の入力電極部に電気的に接続された入力基板と、出力用
配線が設けられ、基部の縁部からマイクロ波集積回路素
子に至るように基台の出力基板実装部に実装されて、出
力用配線がマイクロ波集積回路素子の出力電極部に電気
的に接続された入力基板と、信号用配線が設けられ、基
部上に実装されて、信号用配線がマイクロ波集積回路素
子の信号電極部に電気的に接続された信号基板と、電源
用配線が設けられ、基部上に実装されて、電源用配線が
マイクロ波集積回路素子の電源電極部に電気的に接続さ
れた電源基板と、電磁遮蔽材料からなり、基台の入力基
板実装部および出力基板実装部の上部開口を塞ぐように
隔壁の上端に固着された蓋体とを備えている。
【0013】請求項4のマイクロ波集積回路装置におい
ては、壁の上縁部に信号線および電源線の少なくとも一
方の線材を挿通させる切り欠きが設けられ、信号線およ
び電源線の少なくとも一方の線材が切り欠きを挿通され
て対応する信号基板の信号用配線および電源基板の電源
用配線に電気的に接続されている。
【0014】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.図1は本発明のマイクロ波集積回路装置
の基台を示す一部を破断した斜視図である。図2は本発
明のマイクロ波集積回路装置を示す一部を破断した斜視
図である。図4および図5に示した従来のマイクロ波集
積回路装置と同一または相当部分には同一符号を付す。
図1において、20は電磁波を遮蔽する黄銅等の電磁遮
蔽材料で作製された基台である。基台20は平板状の基
部20aと基部20aの一側の主面に立設された複数の
隔壁20bとから構成されている。基部20aは、その
ほぼ中央にマイクロ波集積回路素子であるMMIC2が
実装される凹部であるマイクロ波集積回路素子実装部2
0cが形成されている。
【0015】さらに基部20aには、後で説明する2つ
の入力基板が実装される2個所に設けられた入力基板実
装部20d,20eおよび出力基板が実装される出力基
板実装部20fが形成されている。さらにまた、基部2
0aには、信号基板および電源基板が実装される信号基
板電源基板実装部20gが形成されている。尚、各基板
が実装される場所を図1に破線で示す。各基板実装部
は、いずれも基部20aの縁部からマイクロ波集積回路
素子実装部20cに延びている。
【0016】隔壁20bは、入力基板実装部20d,2
0eおよび出力基板実装部20fを区画するように、基
部20aの縁部からマイクロ波集積回路素子実装部20
cに至るように各実装部の縁に沿って対をなして立設さ
れている。基台20は、黄銅の1枚板を隔壁20bが残
るように一側から削り出して作製されたものである。
【0017】図2において、2はマイクロ波集積回路素
子実装部20cに実装された従来例と同じスイッチ機能
を有するマイクロ波集積回路素子であるMMIC2であ
る。22は入力基板実装部20dに実装された、MMI
C2にRF信号を入力する為の第1のRF入力用配線5
が設けられた入力基板である第1のRF信号入力用スル
ーライン基板である。23は入力基板実装部20eに実
装された、MMIC2に別のRF信号を入力する為の第
2のRF入力用配線9が設けられた入力基板である第2
のRF信号入力用スルーライン基板である。
【0018】第2のRF信号入力用スルーライン基板2
3は、角部で2つに分割されている。またそれに伴って
RF入力用配線9も2つに分割されており、分割部をワ
イヤボンディングで電気的に接続されている。24は出
力基板実装部20fに実装された、MMIC2から出力
されるRF信号を出力する為のRF出力用配線6が設け
られた出力基板であるRF信号出力用スルーライン基板
である。
【0019】25は信号基板電源基板実装部20gに実
装されたMMIC2に制御信号を入力する為の制御信号
用配線10およびMMIC2に直流電源を印加するため
の電源用配線11が設けられた信号基板でありかつ電源
基板である信号電源基板である。信号電源基板25は3
つに分割され、それに伴って分割された制御信号用配線
10および電源用配線11は、その分割部をワイヤボン
ディングで電気的に接続されている。
【0020】各基板22,23,24,25は、基台2
0の縁部から、MMIC2に至るように実装されてい
る。一方、各基板22,23,24,25は、セラミッ
クで作製されている。そのため、例えばL字型とかコ字
型のような複雑な形状は作製することが困難である。そ
のため、上記のように、折れ曲がった角部等で分割され
て作製され、配線はワイヤボンディングで接続されてい
る。
【0021】第1のRF入力用配線5、第2のRF入力
用配線9、RF出力用配線6、制御信号用配線10並び
に電源用配線11の一端は、それぞれ、MMIC2の入
力電極部、出力電極部、信号電極部、電源電極部にワイ
ヤボンディングされて電気的に接続されている。そして
他端は、基台20の縁部にて外部の電極と接続される端
子が形成されている。そして、特に制御信号用配線10
及び電源用配線11の他端には、外部の信号線および電
源線が半田付けされる為の半田付けパット10a,11
aが形成されている。
【0022】基台20に、MMIC2および各基板2
2,23,24,25が実装され、各基板上の配線とM
MIC2がワイヤボンディングされた後、基台20に
は、基台20と同じ黄銅等の電磁遮蔽材料で作製された
蓋体であるEMIシールド板30が固着される。EMI
シールド板30は、少なくとも入力基板実装部20d,
20eおよび出力基板実装部20fの上部開口を塞ぐよ
うに隔壁20bの上端に固着される。
【0023】このように構成された従来のマイクロ波集
積回路装置においては、第1のRF入力用配線5、第2
のRF入力用配線9を介して2種類のRF信号が入力さ
れる。また電源用配線11を介してMMIC2に直流電
源が印加される。この状態で、制御信号用配線10を介
して制御信号がMMIC2に入力され、2種類のRF信
号のうち何れかが選択されて、RF出力用配線6から出
力される。
【0024】このように構成されたマイクロ波集積回路
装置においては、第1のRF信号入力用スルーライン基
板22、第2のRF信号入力用スルーライン基板23な
らびにRF信号出力用スルーライン基板24は、その経
路に沿って電磁遮蔽材料で囲まれている。そのため、各
基板上に形成されている第1のRF入力用配線5、第2
のRF入力用配線9ならびにRF出力用配線6は、相互
間の距離を従来より近づけてもアイソレーションを確保
することができる。そのため、RF信号出力用スルーラ
イン基板は、経路の幅方向に幅を細くできる。結果とし
て装置の大きさを従来より小さなものとすることができ
る。
【0025】実施の形態2.図3は本発明のマイクロ波
集積回路装置の他の例を示す斜視図である。本実施の形
態の基台40は、実施の形態1と同様に電磁遮蔽材料で
作製され、平板状の基部40aと基部40aの主面に立
設された複数の隔壁40bとから構成されている。そし
て、基部40aには、実施の形態1と同様に、マイクロ
波集積回路素子実装部、2個所の入力基板実装部ならび
に出力基板実装部が形成され、それぞれの実装部には、
MMIC2、第1のRF信号入力用スルーライン基板2
2、第2のRF信号入力用スルーライン基板23ならび
にRF信号出力用スルーライン基板24が実装されてい
る。それぞれの基板実装部は、いずれも基部40aの縁
部からマイクロ波集積回路素子実装部まで延び、それぞ
れの実装部に実装された各基板も基部40aの縁部から
MMIC2まで延びている。
【0026】しかし、本実施の形態の信号基板電源基板
実装部は、実施の形態1のものと違い基部40aの縁部
まで延びておらず、その上に実装された信号電源基板3
1も基部40aの縁部まで延びていない。信号電源基板
31は、一端はMMIC2に隣接しているが、他端は基
部40aのほぼ中央に位置している。そして信号電源基
板31上には実施の形態1と同様に制御信号用配線10
および電源用配線11が設けられているが、基板の端部
に設けられた半田付けパット10a,11aは、結果と
して基部40aのほぼ中央部に位置している。
【0027】また、基台40には実施の形態1と同様
に、入力基板実装部および出力基板実装部を区画するよ
うに、基部40aの縁部からマイクロ波集積回路素子実
装部に至るように各実装部の縁に沿って対をなして隔壁
40bが立設されている。
【0028】本実施の形態においては、複数の隔壁40
bのうち所定の隔壁40bの上縁部に切り欠き40hが
形成されている。そして、線材である信号線32および
電源線33が、各切り欠き40h内を挿通して延び、一
端が半田付けパット10a,11aに半田付けされてい
る。すなわち、信号線32および電源線33は、隔壁4
0bの上縁部に形成された切り欠き40hづたいに各基
板から離間した上方で引き回されて中央に形成された半
田付けパット10a,11aまで延びている。一方信号
線32および電源線33の他端は、外部に延びている。
その他の構成はおよび動作は実施の形態1と同様であ
る。
【0029】このように構成されたマイクロ波集積回路
装置においては、隔壁40bづたいに信号線32および
電源線33が各基板から離間した上方で引き回されるこ
とにより、従来困難であった装置中央への信号線32お
よび電源線33の引き回しが可能となった。そして、装
置の縁部に半田付け用のパッド10a,11aを配置す
る必要がないので、信号電源基板31は基台40の縁部
まで延設される必要がない。そのため、装置設計時の自
由度を広げるとともに、効率的なレイアウトが可能とな
る、その結果、装置をさらに小さくすることができる。
尚、切り欠き40hは隔壁40bの上縁部付近に穿孔さ
れた孔でもよい。
【0030】
【発明の効果】請求項1のマイクロ波集積回路装置の基
台においては、マイクロ波集積回路素子、入力用配線が
設けられた入力基板、出力用配線が設けられた出力基
板、電源用配線が設けられた電源基板および信号用配線
が設けられた信号基板が実装されるマイクロ波集積回路
装置の基台であって、基台は、電磁遮蔽材料で作製さ
れ、かつ、入力基板および出力基板のそれぞれの実装部
を区画する隔壁が、入力基板および出力基板のそれぞれ
の実装経路に沿って縁部からマイクロ波集積回路素子の
実装部に至るように対をなして立設されている。そのた
め、基台に実装される入力基板および出力基板はその経
路に沿って電磁遮蔽材料で囲まれる。そのため、各基板
上に形成されている配線相互間の距離を従来より近づけ
てもアイソレーションを確保することができる。それに
より、入力基板および出力基板をその経路の幅方向に細
くすることができ、結果として、マイクロ波集積回路装
置を全体として小さなものとすることができる。
【0031】請求項2のマイクロ波集積回路装置の基台
においては、隔壁は、その上縁部に信号線および電源線
の少なくとも一方の線材を挿通させる切り欠きが設けら
れている。そのため、信号線および電源線の少なくとも
一方は、隔壁づたいに各基板から離間した上方で引き回
される。それにより装置中央への信号線および電源線の
引き回しが可能となり、装置の縁部に半田付け用のパッ
ドを配置する必要がないので、効率的なレイアウトが可
能となる。その結果、マイクロ波集積回路装置をさらに
小さくすることができる。
【0032】請求項3のマイクロ波集積回路装置におい
ては、電磁遮蔽材料からなり、隔壁が平板状の基部の縁
部からマイクロ波集積回路素子実装部に至るように対を
なして立設されてそれぞれ区画された入力基板実装部お
よび出力基板実装部を形成してなる基台と、基台のマイ
クロ波集積回路素子実装部に実装されたマイクロ波集積
回路素子と、入力用配線が設けられ、基部の縁部からマ
イクロ波集積回路素子に至るように基台の入力基板実装
部に実装されて、入力用配線がマイクロ波集積回路素子
の入力電極部に電気的に接続された入力基板と、出力用
配線が設けられ、基部の縁部からマイクロ波集積回路素
子に至るように基台の出力基板実装部に実装されて、出
力用配線がマイクロ波集積回路素子の出力電極部に電気
的に接続された入力基板と、信号用配線が設けられ、基
部上に実装されて、信号用配線がマイクロ波集積回路素
子の信号電極部に電気的に接続された信号基板と、電源
用配線が設けられ、基部上に実装されて、電源用配線が
マイクロ波集積回路素子の電源電極部に電気的に接続さ
れた電源基板と、電磁遮蔽材料からなり、基台の入力基
板実装部および出力基板実装部の上部開口を塞ぐように
隔壁の上端に固着された蓋体とを備えている。そのた
め、入力基板および出力基板はその経路に沿って電磁遮
蔽材料で囲まれている。そのため、各基板上に形成され
ている配線相互間の距離を従来より近づけてもアイソレ
ーションを確保することができる。それにより、入力基
板および出力基板をその経路の幅方向に細くすることが
でき、結果として、マイクロ波集積回路装置を全体とし
て小さなものとすることができる。
【0033】請求項4のマイクロ波集積回路装置におい
ては、壁の上縁部に信号線および電源線の少なくとも一
方の線材を挿通させる切り欠きが設けられ、信号線およ
び電源用配線の少なくとも一方の線材が切り欠きを挿通
されて対応する信号基板の信号用配線および電源基板の
電源用配線に電気的に接続されている。そのため、信号
線および電源線の少なくとも一方は、隔壁づたいに各基
板から離間した上方で引き回される。それにより装置中
央への信号線および電源線の引き回しが可能となり、装
置の縁部に半田付け用のパッドを配置する必要がないの
で、効率的なレイアウトが可能となる。その結果、マイ
クロ波集積回路装置をさらに小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明のマイクロ波集積回路装置の基台を示
す一部を破断した斜視図である。
【図2】 本発明のマイクロ波集積回路装置を示す斜視
図である。
【図3】 本発明のマイクロ波集積回路装置の他の例を
示す斜視図である。
【図4】 従来のマイクロ波集積回路装置の斜視図であ
る。
【図5】 従来のマイクロ波集積回路装置の他の例を示
す斜視図である。
【符号の説明】
2 MMIC(マイクロ波集積回路素子)、5 第1の
RF入力用配線(入力用配線)、6 RF出力用配線
(出力用配線)、9 第2のRF入力用配線(入力用配
線)、10 制御信号用配線(信号用配線)、11 電
源用配線、20,40 基台、20a,40a 基部、
20b,40b 隔壁、20c マイクロ波集積回路素
子実装部、20d,20e 入力基板実装部、20f
出力基板実装部、22 第1のRF信号入力用スルーラ
イン基板(入力基板)、23 第2のRF信号入力用ス
ルーライン基板(入力基板)、24 RF信号出力用ス
ルーライン基板(出力基板)、25 信号電源基板(信
号基板,電源基板)、30EMIシールド板(蓋体)、
32 信号線、33 電源線。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 マイクロ波集積回路素子、入力用配線が
    設けられた入力基板、出力用配線が設けられた出力基
    板、電源用配線が設けられた電源基板および信号用配線
    が設けられた信号基板が実装されるマイクロ波集積回路
    装置の基台であって、上記基台は、電磁遮蔽材料で作製
    され、かつ、上記入力基板および上記出力基板のそれぞ
    れの実装部を区画する隔壁が、上記入力基板および上記
    出力基板のそれぞれの実装経路に沿って縁部から上記マ
    イクロ波集積回路素子の実装部に至るように対をなして
    立設されていることを特徴とするマイクロ波集積回路装
    置の基台。
  2. 【請求項2】 上記隔壁は、その上縁部に信号線および
    電源線の少なくとも一方の線材を挿通させる切り欠きが
    設けられていることを特徴とする請求項1記載のマイク
    ロ波集積回路装置の基台。
  3. 【請求項3】 電磁遮蔽材料からなり、隔壁が平板状の
    基部の縁部からマイクロ波集積回路素子実装部に至るよ
    うに対をなして立設されてそれぞれ区画された入力基板
    実装部および出力基板実装部を形成してなる基台と、 上記基台のマイクロ波集積回路素子実装部に実装された
    マイクロ波集積回路素子と、 入力用配線が設けられ、上記基部の縁部から上記マイク
    ロ波集積回路素子に至るように上記基台の入力基板実装
    部に実装されて、該入力用配線が該マイクロ波集積回路
    素子の入力電極部に電気的に接続された入力基板と、 出力用配線が設けられ、上記基部の縁部から上記マイク
    ロ波集積回路素子に至るように上記基台の出力基板実装
    部に実装されて、該出力用配線が該マイクロ波集積回路
    素子の出力電極部に電気的に接続された出力基板と、 信号用配線が設けられ、上記基部上に実装されて、該信
    号用配線が上記マイクロ波集積回路素子の信号電極部に
    電気的に接続された信号基板と、 電源用配線が設けられ、上記基部上に実装されて、該電
    源用配線が上記マイクロ波集積回路素子の電源電極部に
    電気的に接続された電源基板と、 電磁遮蔽材料からなり、上記基台の上記入力基板実装部
    および上記出力基板実装部の上部開口を塞ぐように上記
    隔壁の上端に固着された蓋体とを備えたことを特徴とす
    るマイクロ波集積回路装置。
  4. 【請求項4】 上記隔壁の上縁部に信号線および電源線
    の少なくとも一方の線材を挿通させる切り欠きが設けら
    れ、該信号線および電源線の少なくとも一方の線材が該
    切り欠きを挿通されて対応する上記信号基板の信号用配
    線および上記電源基板の電源用配線に電気的に接続され
    ていることを特徴とする請求項3記載のマイクロ波集積
    回路装置。
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