JPH1093182A - 周波数変換型固体レーザ装置、周波数2倍型固体レーザ装置および周波数変換型結合型共振キャビティ - Google Patents

周波数変換型固体レーザ装置、周波数2倍型固体レーザ装置および周波数変換型結合型共振キャビティ

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JPH1093182A
JPH1093182A JP14818297A JP14818297A JPH1093182A JP H1093182 A JPH1093182 A JP H1093182A JP 14818297 A JP14818297 A JP 14818297A JP 14818297 A JP14818297 A JP 14818297A JP H1093182 A JPH1093182 A JP H1093182A
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laser
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solid
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Jin Tianfeng
チャンフェン・ジン
Reinhard Bruch
ラインハルト・ブラッフ
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 単一縦モードおよび単一横モードの波長変換
レーザ光を発生させるレーザ装置を提供すること。 【解決手段】 レーザ装置3は、励起光12を発生させ
る励起光源10と、結合光学系14と、入射側ミラー1
6と、共用の部分的反射ミラー18と、出射側ミラー2
0と、固体レーザ媒質22と、光波長変換装置24と、
制御回路30および温度能動素子32、34、36とを
含む温度制御装置と、温度センサ(図示せず)とを備え
ている。結合型共振キャビティ40は、第1の共振キャ
ビティ42と、第2の共振キャビティ44とを有してい
る。入射側ミラー16と共用の部分的反射ミラー18と
が第1の共振キャビティ42を形成し、出射側ミラー2
0と共用の部分的反射ミラー18とが第2の共振キャビ
ティ44を形成している。共用の部分的反射ミラー18
を、第1の共振キャビティと第2の共振キャビティによ
って共用している。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術の分野】この発明は、概略的にはレ
ーザ装置に関し、特に、周波数変換型単一縦モード固体
レーザ装置および結合型共振キャビティに関連する。
【0002】
【従来の技術】周波数変換型単一縦モードレーザ装置に
は、ホログラフィ、インターフィロメトリ、光学的デー
タ記憶、レーザ結像(laser imaging) 、コヒーレント検
出などの多くの用途がある。これらのレーザ装置は、コ
ヒーレント光学センサ、粒子計数器などの光学的測定器
において、不可欠な部品でもある。特に、周波数変換型
LD励起単一縦モード固体レーザは、小型で、高効率
で、安定したコヒーレント光源である。このようなレー
ザは、(緑、青あるいは紫外線のような)短波長放射ま
たは長波長(赤外)放射を発生させるようにすることが
できる。光学的データ記憶のような多くの用途において
は、光学的データ記憶装置をより小さくすることができ
るという理由で、コンパクトなレーザ装置が望まれてい
る。小さく、軽く、且つ、持ち運びに便利な装置に人気
がある最近の市場においては、CD−ROMドライブ、
フロッピーディスクドライブ、レーザメモり書き込み装
置のような装置は小さい方が有利である。
【0003】
【発明が解決しょうとする課題】従来から、自走キャビ
ティ内周波数2倍型ダイオード励起固体レーザ(free-ru
nning intracabity frequency doubled diode pumped s
olid state laser) に関連するいくつかの発明があった
が、これらは、一般的に、出力は、大きな振幅変動を伴
い、無秩序であるのが一般的であった。したがって、こ
れらのレーザは、光学的データ記憶、インターフェロメ
トリ、および、レーザ結像のようないくつかの用途には
適していない。"Journal of Optical Society of Ameri
ca B" vol.3 No.9,(1986) pp.1175-1180に記載のT.B
ear等の論文、および、米国特許第4、701、92
9号明細書の文献には、キャビティ内周波数2倍型ダイ
オード励起Nd:YAGレーザ装置では、その出力が、
大きな振幅雑音を伴い無秩序になることが開示されてい
る。これらの文献は、不安定の原因は、レーザキャビテ
ィ内でのクロスサチュレーション効果(cross saturatio
n effect) や、和周波数発生に起因して縦モードの非線
形結合が生じることにあることを示している。また、エ
タロンを付加してレーザを単一縦モードで作動させる
と、緑色のレーザビームの大きな振幅ノイズは消え、且
つ、出力は安定するが、出力が極めて低くなることが報
告されている。エタロンは、レーザ光の波長を選択する
ことによってレーザを調整するために使用される、レー
ザ装置のキャビティ内のフィルタである。エタロンは、
発振する縦モードの数を制限し、この制限により、単一
縦モードでの作動が達成できる。しかしながら、エタロ
ン(あるいは、他の構成要素)をレーザのキャビティ内
に持ち込むと、内部での光学的損失が発生し、これによ
って、レーザ効率が低下する。また、キャビティ内への
エタロンの持ち込みは、レーザ装置の構造を複雑化し、
そのため、製造が難しくなり、しかも、生産コストがか
かってしまう。
【0004】もし、周波数2倍型レーザが単一縦モード
で作動するなら、このレーザの出力放射の振幅ノイズを
実質的に排除することができる。したがって、レーザ装
置の共振キャビティは、単一縦モードでの動作を達成す
るために、ある条件を充足していなければならない。
【0005】周波数変換型単一縦モード出力を提供でき
るLD励起固体レーザが、最近の研究報告のなかで述べ
られている。そのような固体レーザの一例が、1991
年10月1日に発行された、ナイチンゲール等(Nightin
gale et al) の米国特許第5、052、815号「2つ
の反射面を備えた単一周波数リングレーザ装置」の明細
書の文献に開示されている。この特許明細書に開示され
ているリングレーザ装置は、レーザダイオード励起型の
ものであり、且つ、安定した単一周波数の第2次高調波
のレーザ出力を発生させることができる。しかし、この
リングレーザ装置は、そのキャビティの光学的アライン
メントが極めて重要である。すなわち、このリングレー
ザ装置は、複雑な製造およびアラインメント作業が必要
であるという欠点を有する。換言すれば、ナイチンゲー
ルのリングレーザ装置は、単一縦モードレーザ動作を達
成できるが、それには、製造するのが大変難しく且つ費
用がかかる、大変に複雑なレーザキャビティが必要であ
る。
【0006】他の発明者も、周波数2倍型単一縦モード
レーザ装置を構成しようとしていた。1992年11月
17日に発行された、ルーカス等(Luckas et al)の米国
特許第5、164、947号「周波数2倍型単一周波数
レーザ」の明細書の文献には、単一縦モードであり、周
波数が2倍にされたレーザ光を発生させるレーザ装置が
開示されている。このレーザでは、レーザ材料内での空
間的ホールバーニングを実質的になくし、且つ、複屈折
フィルタ(リオットフィルタ:Lyot filter) の原理を第
2次高調波発生原理と組み合わせることにより達成され
る。しかしながら、この発明の構造は、波長板と、複屈
折フィルタのポラライザ(polarizer) とをレーザ装置の
共振キャビティ内に配置しなければならないという欠点
を有する。このため、ルーカスのレーザ装置は、単一縦
モードを達成できるが、レーザキャビティ内に特別な構
成要素、すなわち、波長板とポラライザとを配置する必
要がある。これらの余分な構成要素は、内部的な光学的
損失およびレーザキャビティの複雑化の原因となる。
【0007】さらに、1995年1月10日に発行され
た、ウイードカインド等(Wedekindet al)の米国特許第
5、381、427号「単一モードレーザ装置」の明細
書の文献には、複屈折結晶を備えたポラライザをレーザ
共振キャビティ内に配置した、単一モードで作動できる
ダイオード励起レーザが開示されている。このレーザ装
置においても、レーザ共振キャビティ内に配置されたポ
ラライザおよび波長板などの光学部品が、内部での光学
的損失を引き起こし、これによって、レーザ出力の効率
が低下する。
【0008】このため、キャビティ内の部品点数が少な
く、単一縦モードで作動可能な周波数変換型レーザ装置
が望まれている。このようなレーザ装置は、優れた出力
安定性、高効率、そして、簡単な構造という長所を有し
ている。
【0009】この発明の目的は、単一縦モードおよび単
一横モードの波長が変換されたレーザ光を発生させるレ
ーザ装置を提供することである。
【0010】この発明のもう一つの目的は、レーザ共振
キャビティ内の光学部品点数が少ない、周波数変換型レ
ーザ装置を提供することである。
【0011】この発明の別の目的は、Ndドープレーザ
結晶および周波数を2倍にする結晶を使用し、安定した
可視領域の第2次高調波を発生させるダイオード励起固
体レーザ装置を提供することである。
【0012】この発明のまた別の目的は、平方自乗ノイ
ズが1%未満の安定したレーザ放射を発生させる、結合
型キャビティを備えた周波数変換型単一縦モードダイオ
ード励起固体レーザ装置を提供することである。
【0013】この発明のさらに別の目的は、第1のレー
ザ共振キャビティと第2のレーザ共振キャビティとによ
って共有される共用の部分的反射ミラーを有する結合型
キャビティを備えた、周波数変換型ダイオード励起単一
縦モード固体レーザ装置を提供することである。
【0014】
【課題を解決するための手段】この発明の単一縦モード
レーザ装置は、光励起を発生させる励起光源と、第1の
共振キャビティと、この第1の共振キャビティと共用の
部分的反射ミラーを共有している第2の共振キャビティ
とを含む結合型共振キャビティと、さらに、第1の共振
キャビティ内に配置され、励起光源からの励起光を受け
て単一横モードの第1の波長の第1のレーザを発生させ
るように位置決めされた固体レーザ媒質と、第2の共振
キャビティ内に配置され、第1の波長の第1のレーザ
を、第2の波長の第2のレーザに変換する光波長変換装
置と、第1の共振キャビティの温度と、第2の共振キャ
ビティの温度と制御する温度制御装置とを備え、第1の
共振キャビティと第2の共振キャビティとが、第1のレ
ーザを振動させるためのものであり、第1のレーザの横
モードが、単一の基本横モード(TEM00)であること
を特徴とする。共用の部分的反射ミラーは、第1の共振
キャビティおよび第2の共振キャビティとによって共用
されている。
【0015】この発明の他の態様は、レーザ装置の結合
型共振キャビティ内の第1の共振キャビティおよび第2
の共振キャビティの光路長の、それぞれの選択である。
第1の共振キャビティおよび第2の共振キャビティの光
路長を、結合型共振キャビティのただ一つの縦モードの
みが、利得バンド幅内にあり、且つ、レーザしきい値よ
り大きくなるように、そして、この単一縦モードが結合
型共振キャビティ内で振動(発振)できるように、選択
する。光路長は、屈折率と幾何学的長さとの積である。
第1の共振キャビティと第2の共振キャビティの長さ
を、結合型共振キャビティの縦モードの間隔が、レーザ
発振波長での固体レーザ媒質の利得幅の1/2より大き
くなるように選択されるのが好ましい。
【0016】この発明の別の態様は、上述したレーザ装
置において、第1の波長で、3%ないし98%の反射率
を有する共用の部分的反射ミラーを特に選択することで
ある。共用の部分的反射ミラーは、第1の波長で、15
%ないし80%の反射率を有しているのが好ましい。共
用の部分的反射ミラーは、第1の波長で、25%ないし
70%の反射率を有しているのが、より好ましい。ま
た、この共用の部分的反射ミラーは、光波長変換装置の
内方側面に形成されているのか、あるいは、固体レーザ
媒質の内方側面に形成されているのが好ましい。固体レ
ーザ媒質の内方側面は、光波長変換装置の内方側面の近
傍にある。共用の部分的反射ミラーは、吸収層を含んで
いても良い。
【0017】この発明の周波数変換型結合型共振キャビ
ティによれば、第1の光路長を有し、第1の波長で第1
のレーザを発生させる固体レーザ媒質を含む第1の共振
キャビティと、第2の光路長を有し、第1の波長の第1
のレーザを第2の波長の第2のレーザに変換する光波長
変換装置を含む第2の共振キャビティとを備え、第1の
共振キャビティが、第2の共振キャビティと、共用の部
分的反射ミラーを共有した構造となっている。温度制御
装置が、各キャビティの光路長を選択するのを助けるた
めに使用される。更に、共用の部分的反射ミラーが、第
1の波長のレーザを部分的に反射し、かつ、第1の波長
のレーザを部分的に透過させ、第1の光路長の第2の光
路長に対する比率が、0.5と1.0からなる群から選
択された値とほぼ等しく、更に、第2の光路長に対する
第1の光路長の比率が、0.5と1.0からなる群から
選択された値とほぼ等しくした構造となっている。例え
ば比率1.5については、厳密に1.5である必要はな
く約1.5で良い。すなわち、比率1.4または1.6
でも良好に作動する。更に、このレーザ装置は、光路長
を変えることにより、多モードで使用することもでき
る。このようにして、単一モードレーザ装置を単一モー
ド及び多モードのいずれに対しても使用できる。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施形態を説明する。この発明は多くの態様の実施形
態が考えられるが、図1、図3、図4および図5に、4
つの実施形態を示す。この明細書で開示するこの発明の
実施形態は、この発明の一例を示したものである。した
がって、この発明は、図面および以下の説明で例示され
た特定の実施形態に限定されるものではない。また、各
図は、この発明が理解できる程度に、構成成分の大き
さ、形状、および配置関係を概略的に示してあるに過ぎ
ない。
【0019】図1は、この発明の第1の実施形態であ
る、周波数変換型単一縦モード固体レーザ装置3を示
す。この第1の実施形態のレーザ装置は、光励起放射1
2(すなわち励起光)を発生させる励起光源10と、結
合光学系14と、入射側ミラー16と、共用の部分的反
射ミラー18と、出射側ミラー20と、固体レーザ媒質
22と、光波長変換装置24と、制御回路30および温
度能動素子32、34、36とを含む温度制御装置と、
温度センサ(図示せず)とを備えている。この温度セン
サは、温度を測定する対象物に隣接して配置される。
【0020】結合型共振キャビティ40は、第1の共振
キャビティ42と、第2の共振キャビティ44とを有し
ている。入射側ミラー16と共用の部分的反射ミラー1
8とが第1の共振キャビティ42を形成し、出射側ミラ
ー20と共用の部分的反射ミラー18とが第2の共振キ
ャビティ44を形成している。共用の部分的反射ミラー
18を、第1の共振キャビティと第2の共振キャビティ
によって共用している。固体レーザ媒質22は、第1の
共振キャビティ42内に配置され、励起光12を受ける
ように位置決めされ、単一横モード(TEM00)の第1
の波長の第1のレーザ放射(レーザ光)を発生させる。
光波長変換装置24は、第2の共振キャビティ44内に
配置され、第1の波長の第1のレーザ光を第2の波長の
第2のレーザ放射(レーザ光)に変換する。第2のレー
ザ光の一部分が、出力放射(すなわち出力光)26とし
て、出射側ミラー20を通過する。第1の共振キャビテ
ィと第2の共振キャビティは、第1の波長の第1のレー
ザ光を発振させるためのものである。
【0021】励起光源10は、どのような、放射光源で
あってもよい。励起光源10を、好ましくは、レーザダ
イオード、レーザダイオードアレイ、発光ダイオード、
レーザダイオード群あるいはダイオードアレイ群とする
のが良い。このようなダイオードレーザは、熱伝導性の
冷却用放熱器に取りつけられており、この冷却用放熱器
の温度を制御することによって、励起光源の理想的な作
動を確保するのが良い。
【0022】結合光学系14は、励起光源10からの励
起光12を、固体レーザ媒質22の励起領域内に収束さ
せる機能を有する。レーザ媒質内のこの励起領域は、結
合型共振キャビティの基本横モードの領域にほぼ適応し
て、第1のレーザ光が、実質的に、単一の基本横モード
であるようにする。結合光学系14は、光を透過するレ
ンズおよびミラーを含む。結合光学系14の例として
は、レンズ、屈折率分布型レンズ、光ファイバー装置、
非球面レンズ、収束ミラー(フォーカシングミラー:foc
using mirror) 、あるいは、レンズ、屈折率分布型レン
ズ、プリズム、光ファイバー装置およびミラーから選択
された光学素子の組み合わせが挙げられる。
【0023】固体レーザ媒質22は、励起光12に応答
して、第1の波長の第1のレーザ光を発する。適当なレ
ーザ媒質は、Nd,Er,Ti,Cr,Ho,Tm,Y
b,Ceおよび他の希土類元素のようなレーザ能動元素
を少なくとも含む固体を含んでいる。固体レーザ媒質2
2は、Ndをドープしたガーネット、Ndをドープした
ガラス、Nd:YAG,Nd:YAP,Nd:YVO
4 ,Nd:GdVO4 ,Nd:Sr5(PO4)3 F,N
d:LaSc3(BO3)4 ,NAB,NdP514,Nd
LiPO,NdKPO,Nd:YLF,Nd:Sr5(V
4)3 F,Nd:YABおよびNd:Xab (BO3)
(a+b) (ここで、Xは、Al、Y、Scおよび希土類元
素から選択された一つの元素であり、Zは、Al、Y、
Scおよび希土類から選択された一つの元素である。)
からなる群から選択された材料からなるのが好ましい。
添え字「a」は、および、「b」は、ある整数と端数と
の和、すなわち、小数点以下を含む値を表す。固体レー
ザ媒質は、一種の固体あるいは複数の固体の組み合わせ
たもののいずれであってもよい。固体レーザ媒質22お
よび光波長変換装置24の断面形状は、適当な形状でよ
く、また、固体レーザ媒質22の形状は、光波長変換装
置24の形状と異なっていてもよい。
【0024】光波長変換装置24は、固体レーザ媒質2
2が発生させた第1の波長の第1のレーザ光を、第1の
波長とは異なった第2の波長の第2のレーザ光に変換す
るためのものである。ある波長の光学的放射を、非線形
な光相互作用によって、他の波長の光学的放射に変換す
ることを、非線形の光変換技術を使用し、非線形光学材
料によって、達成できることが知られている。周波数を
二倍にしてもよいが、他の波長変換であってもよい。そ
のような変換例としては、高調波発生(harmonic genera
tion) 、光混合、光パラメトリック発振(parametric os
cillation)、周波数増加変換(frequency up-conversio
n) 、周波数減少変換(frequency down-conversion) が
ある。適当な光周波数変換装置は、非線形光学材料を含
む。この非線形光学材料としては、KTP,YAB,B
BO,KNbO3 ,LiNb03 ,LBO,CLBO,
LIO,KDP,ADA,ADP,CDAおよびMTi
O(XO4)(ここで、「M」は、K、Rb、Tl、Sc
およびNH4 の少なくとも一つであり、「X」は、P、
Asの少なくとも一つである。)があるが、非線形光学
材料はこれに限定されるものではない。光周波数変換装
置としては、単一の非線形光学材料、あるいは、複数の
非線形光学材料の組み合わせがある。
【0025】入射側ミラー16は、励起光12を透過さ
せ、且つ、レーザ媒質22が発生させた第1の波長のレ
ーザ光のほぼ全てを反射するものであり、第1の波長で
99%ないし100%の反射率を有するのが好ましく、
励起光の波長で高い透過性(好ましくは透過率T>60
%)を有しているのが好ましい。一例として、入射側ミ
ラー16を、固体レーザ媒質22の入力側面(入射面)
に形成するのが好ましい。入射側ミラー16は、更に、
光波長変換装置24によって変換された第2の波長の第
2のレーザ光を、ほぼ全て反射するのがより好ましい。
【0026】出射側ミラー20は、第1の波長の第1の
放射をほぼ全てを反射し、且つ、光波長変換装置24に
よって変換された第2の波長の第2のレーザ光を、部分
的に透過させることができるものである。出射側ミラー
20は、第1の波長での反射率が99%ないし100%
であるのが好ましい。出射側ミラー20を、光波長変換
装置24の出力側面(出射面)56に形成してもよい。
【0027】共用の部分的反射ミラー18は、第1の共
振キャビティ42と第2の共振キャビティ44とによっ
て共用されており、固体レーザ媒質22が発生させた第
1の波長の第1のレーザ光を部分的に反射し、かつ、こ
の第1の波長のレーザ光を部分的に透過させることがで
きるものである。共用の部分的反射ミラー18は、第1
の波長で、3%ないし98%の反射率を有している。共
用の部分的反射ミラー18は、第1の波長で、15%な
いし80%の反射率を有しているのが好ましい。また、
共用の部分的反射ミラー18は、第1の波長で、20%
ないし98%の反射率を有しているのが好ましい。共用
の部分的反射ミラー18は、第1の波長で、30%ない
し70%の反射率を有しているのが、より好ましい。共
用の部分的反射ミラー18は、励起光12を反射するこ
とができるのが好ましい。共用の部分的反射ミラー18
を、固体レーザ媒質22の内方側面(出射面)52上に
形成してもよい。或はまた、変形例として、固体レーザ
媒質22の内方側面52が、光波長変換装置24の内方
側面(入射面)54に隣接している場合には、共用の部
分的反射ミラー18を、光波長変換装置24の内方側面
54に、形成しても良い。共用の部分的反射ミラー18
は、誘電層と、金属層と、吸収層とを備えている光学薄
膜のコーティングを含んでいるのがよい。吸収層は、利
得バンド幅を減少させ、かつ、結合型共振キャビティ内
で発振する縦モードを減少させるのに有効である。第2
の共振キャビティ44内の光波長変換装置24は、第2
のレーザ光を、二方向、すなわち、レーザの出射方向と
同じ方向およびこれと反対方向に発射する。したがっ
て、共用の部分的反射ミラー18は、第2の波長の第2
のレーザ光を反射するのが好ましい。そして、これは、
レーザ光の出射方向とは反対の方向への、第2のレーザ
光を減少させるとともに、レーザ光を増大させる。
【0028】図2(A)は、波長に対するレーザ媒質の
利得曲線の例示的な関係を示すグラフである。図2
(B)、図2(C)および図2(D)は、それぞれ、第
1の共振キャビティ42の縦モードの波長位置、第2の
共振キャビティ44の縦モードの波長位置および、結合
型共振キャビティ40の縦モードの波長位置とを、それ
ぞれ、示す図である。
【0029】利得バンド幅に入る縦モードの波長位置の
変化が良くわかるように、図2(A)ないし図2(D)
を、縦方向に整列して示している。例えば、図2(B)
は、第1の共振キャビティに対する縦モードの波長位置
76、77が、どのようにレーザの利得バンド幅61内
に含まれるかを示している。図2(C)は、第2の共振
キャビティに対する縦モードの波長位置85、86、8
7が、どのようにレーザの利得バンド幅61内に含まれ
るかを示している。このように、複数の縦モードが、こ
れらのキャビティに対して、別々に、存在している。図
2(D)は、この発明の実施形態では、結合型共振キャ
ビティの縦モードのただ一つの波長位置96が、利得バ
ンド幅61にどのように入っているかを示している。こ
のように、この発明の実施形態の結合型共振キャビティ
を使用することにより、上述した理由から望まれている
単一縦モードの動作が得られる。以下、どのように結合
型共振キャビティが、使用されているかを説明する。
【0030】図2からも理解できるように、レーザ媒質
の利得バンド幅61は、利得が損失に等しいかあるいは
これより大きくなる62と64の間の領域である。利得
バンド幅内では、利得が、レーザしきい値より大きく、
レーザは発振する。利得バンド幅外では、利得は、しき
い値未満であり、レーザは、発振しない。利得バンド幅
はレーザキャビティ内の往復損失に関係し、反転密度は
励起光(ポンピング)とレーザ遷移波長での、レーザ媒
質の蛍光線幅および蛍光寿命と関係する。第1の共振キ
ャビティ42の縦モードの間隔は、Δλ1 =λ2 /2n1
d1であり、、 ここで、λ1 はレーザ媒質が放射する第1
の波長であり、n1d1は第1の共振キャビティの光路長で
あり、n1は第1の共振キャビティの屈折率であり、d1
第1の共振キャビティの幾何学的長さである。第2の共
振キャビティ44の縦モードの間隔は、Δλ2 =λ2
2n2d2であり、 ここで、λ2 は第1の波長であり、n2d2
は第2の共振キャビティの光路長であり、n2は第2の共
振キャビティの屈折率であり、d2は第2の共振キャビテ
ィの幾何学的長さである。もし、キャビティが、いくつ
かの光媒質から構成されているならば、そのキャビティ
の光路長は、各光学媒質の光路長の合計である。
【0031】結合型共振キャビティ40の縦モードの間
隔Δλ0 は、Δλ1 およびΔλ 2の最小公倍数である。
例えば、図2(B)、図2(C)および図2(D)に示
されるように、第1の共振キャビティ42の光路長に対
する第2の共振キャビティ44の光路長の比率は、1.
5であり、すなわち、結合型共振キャビティ40の縦モ
ードΔλ0 は、2Δλ1 に等しく、かつ、3Δλ2 に等
しい。第1の共振キャビティ40および第2の共振キャ
ビティの温度を適当に制御することにより、第1の共振
キャビティ、第2の共振キャビティおよび結合型共振キ
ャビティの波長位置を調整し且つ制御することができ
る。
【0032】第1の共振キャビティ42の光路長および
第2の共振キャビティ44の光路長は、結合型共振キャ
ビティ40のただ一つの縦モードが、しきい値より大き
な利得バンド幅内にあるように、そして、この縦モード
が、結合型共振キャビティ内で発振するように選択され
る。第1の共振キャビティ42の光路長および第2の共
振キャビティ44の光路長は、結合型共振キャビティ4
0の縦モードの間隔が、レーザ媒質の利得バンド幅の2
分の1より大きくなるように、選択されるのが好まし
い。第1の共振キャビティ42の光路長に対する第2の
共振キャビティ44の光路長の比率は、0.28、0.
4、0.5、0.68、0.75、1.5、2、2.
5、3.5、4.5、5.5、6.5、7.5および
8.5から成る群から選択された値とほぼ等しいことが
好ましい。第2の共振キャビティ44の光路長に対する
第1の共振キャビティ42の光路長の比率は、0.5、
1.5、2.5、3.5、4.5、5.5、6.5、
7.5および8.5から成る群から選択された値とほぼ
等しいことが好ましい。第1の共振キャビティ42の光
路長の第2の共振キャビティ44の光路長に対する比率
は、0.5、1.5および2.5から成る群から選択さ
れた値とほぼ等しいことが、最も好ましい。
【0033】第1の共振キャビティ42およびその構成
要素の温度、ならびに、第2の共振キャビティ44およ
びその構成要素の温度を調整し且つ制御するために温度
制御装置が設けられている。温度制御装置で、第1の共
振キャビティの光路長および第2の共振キャビティの光
路長を調整することにより、結合型共振キャビティの単
一縦モードをレーザしきい値より大きく維持し、単一縦
モード発振を利得幅内に維持する。温度制御装置が、光
波長変換装置24を所定温度に維持して位相整合できる
ようにし、第1のキャビティの光路長および第2のキャ
ビティの光路長をほぼ一定に維持して、レーザの出力の
安定性を改善する。温度調整装置は、さらに、励起光源
10の温度を制御するのが好ましい。温度能動素子3
2、34、36としては、ヒータ、熱電素子、ペルチエ
素子などの適当な素子を使用するのがよい。温度センサ
としては、サーミスタ、熱電対、半導体熱センサなどの
適当な手段を使用するのがよい。制御回路30は、デジ
タル回路あるいはアナログ回路を使用して構成すること
ができる。温度制御装置の構成は、公知であり、当業者
には自明である。
【0034】この発明の他の実施形態を図3、図4およ
び図5を参照して説明する。第1の実施形態と対応する
要素は、図1と同じ参照番号を付して説明を省略し、以
下、第1の実施形態と異なっている点についてのみ説明
する。
【0035】図3に示されているこの発明の第2の実施
形態においては、レーザ装置4は、両端が励起されるレ
ーザ媒質22を備えている。図面から理解できるよう
に、2つの別々の励起光源10、11を、結合型共振キ
ャビティの各端側に設けて、レーザの出力を増大させて
いる。ダイクロイックミラー48を、結合型キャビティ
40の外側の出射側ミラー20の近傍に配置してある。
このダイクロイックミラー48は、励起光12を透過
し、且つ、出射側ミラー20を透過してきた第2の波長
のレーザ光のほぼ全てを放射26として反射する。制御
回路30と、ペルチエ素子32、33、34とを含む温
度制御装置が、結合型共振キャビティ40と励起光源1
0、11との温度を制御するために設けられている。入
射側ミラー16および共用の部分的反射ミラー18は、
レーザ媒質22に直接、コーティングを施すことにより
設けられ、出射側ミラー20は、光波長変換装置24の
出射側面(出射面)に直接、コーティングを施すことに
より設けられている。
【0036】図4に示されるこの発明の第3の実施形態
では、レーザ装置5が、レーザ媒質22に隣接して配置
されたダイオード励起光源10を備えている。このダイ
オード励起光源10と、レーザ媒質22とを、十分に近
接して配置させることにより、ダイオード励起光源10
から放射されている分散ビームが、レーザ媒体の小さな
領域を励起して、単一の横モードすなわちTEM00モー
ドでの動作を可能にするように構成してある。入射側ミ
ラー16は、レーザ媒質22の表面に直接コーティング
を施すことにより設けられている。出射側ミラー20お
よび共用の部分的反射ミラー18は、光波長変換装置で
ある第2次高調波発生装置24の表面に直接コーティン
グを施すことにより設けられている。
【0037】図4に示されるこの発明の第3の実施形態
では、励起光源10として、波長が約810nmで、出
力が500mWの励起光12を放射する、AlGaAs
レーザダイオードを使用する。この場合、固体レーザ媒
質22として、波長約1064nmのレーザ光を発生さ
せるNd:YVO4 結晶を使用する。第2次高調波発生
装置24として、固体レーザ媒質22に隣接して配置さ
れたKTP結晶を使用し、レーザ光(1064nm)の
第2次高調波(532nm)を発生させる。結合型共振
キャビティ40は、第1の共振キャビティ42と第2の
共振キャビティ44とを備えている。第1の共振キャビ
ティ42は、入射側ミラー16と、共用の部分的反射ミ
ラー18とによって構成され、この共用の部分的反射ミ
ラー18は、第2の共振キャビティ44と共用されてい
る。第1の共振キャビティ42の光路長に対する第2の
共振キャビティ44の光路長の比率は、0.5、1.
5、2.5および3.5から成る群から選択された値と
ほぼ等しい値である。第1の共振キャビティ42の光路
長は1.5mmになるように選択され、第2の共振キャ
ビティ44の光路長は、2.25mmとなるように選択
され、好ましい比率である1.5が得られる。入射側ミ
ラー16は、波長1064nmで高い反射率R(R>9
9.9%)を有し、波長810nmで高い透過率(T>
95%)を有しており、Nd:YVO4 結晶の入射側面
(入射面)50に形成されている。出射側ミラー20
は、波長1064nmで高い反射率R(R>99.9
%)を有し、波長532nmで高い透過率(T>95
%)を有しており、KTP結晶の側面(出射面)56に
設けられている。共用の部分的反射ミラー18は、波長
1064nmで、約30%の反射率を、そして、波長5
32nmで高い反射率を有しており、KTP結晶の内方
側面54に形成されている。変形例として、ミラー18
を、Nd:YVO4 結晶の内方側面52に形成してもよ
い。
【0038】ダイオードレーザの温度と、結合型共振キ
ャビティおよびその構成要素の温度とを制御するため
に、ペルチエ素子32、34である熱電冷却装置と、サ
ーミスタとが用いられている。結合型共振キャビティの
温度は、0℃ないし60℃の範囲であるのが良く、この
実施形態では、結合型共振キャビティの温度は約0.2
℃の範囲内で一定である。
【0039】この結果、レーザ装置は、出力が20mW
より大きく、波長が532nmで、単一縦モードおよび
単一横モードの緑色の可視光を発生させる。このレーザ
は、平方自乗平均ノイズが1%未満であり安定してい
る。結合型共振キャビティ内の全てのミラーは、固体レ
ーザ媒質および第2次高調波発生装置の表面に直接、コ
ーティングを施すことによって設けられているので、キ
ャビティ内での光損失が減少する。この方法では、第2
次高調波放射が、改善され、レーザ装置の製造工程が簡
略になる。
【0040】図5は、この発明のもう一つの実施形態で
ある、周波数2倍型単一縦モード青色レーザ装置6を示
している。この実施形態では、ダイオード励起光源10
は、波長が約808nmの励起光を発する。結合光学系
14が、励起光を、レーザ媒質であるNd:YAG結晶
22の十分狭い励起領域に収束させ、波長947nmの
単一横モードすなわちTEM00モードのレーザ光を発生
させる。入射側ミラー16は、波長947nmで高い反
射率R(R>99.9%)を有し、波長808nm、1
064nmおよび1320nmに対して透過性を有して
いる。入射側ミラー16は、Nd:YAG結晶の入射側
面50に、直接コーティングを施すことにより形成され
ている。共用の部分的反射ミラー18は、Nd:YAG
結晶の内方側面52にコーティングされており、このミ
ラー18は、947nmの波長で、部分的な反射率(約
50%)を有してる。共用の部分的反射ミラー18は、
さらに、波長808nmでの高い反射率と、波長106
4nmおよび1320nmでの高い透過率とを有してい
るのが好ましい。共用の部分的反射ミラー18は、さら
に、波長473nmでの高い反射率を有しているのが、
更に好ましい。出射側ミラー20は、波長947nmの
レーザ光から473nmのレーザ光を発生させるKNb
3 結晶である第2次高調波生成装置24の出力側面
(出射面)56にコーティングされている。出射側ミラ
ー20は、波長947nmで高い反射率を有し、且つ、
波長473nm、1064nmおよび1320nmに対
して透過性を有している。Nd:YAG結晶およびKN
bO3 結晶の厚さは、それぞれ、約0.8mmおよび1
mmである。Nd:YAG結晶の屈折率は、1.83で
あり、KNbO3 結晶の屈折率は2.23である。第1
のキャビティの光路長は、1.83×0.8=1.46
4mmであり、第2のキャビティの光路長は、2.23
mmであり、これによって、第1の共振キャビティ42
の光路長に対する第2の共振キャビティ44の光路長の
好ましい比率である約1.5が与えられる。結合型共振
キャビティの温度を制御するため、および、ダイオード
励起光源の温度を制御するために、ペルチエ素子および
サーミスタが用いられている。この結果、レーザ装置
は、単一縦モードおよび単一横モードの、出力が3mW
より大きく、波長が473nmの青色のレーザ光を放射
する。
【0041】上記説明は多くの限定を含んでいるが、こ
れら限定は、好ましい実施形態の例示であり、この発明
を何ら限定するものではない。特許請求の範囲に記載さ
れた発明の範囲内で、種々の変更、代替、変形などを行
うことができる。例えば、他の適当な励起光源あるいは
結合光学系を用いることができる。また、緑色および青
色のレーザ光用の実施形態を例示したが、他の波長のレ
ーザ光を発生させるために、この発明を用いてもよい。
波長変換装置が、2倍波長に加えて、他の波長を発生さ
せてもよい。温度制御装置およびその構成要素は、特定
のキャビティを所望の温度にするものであれば、どのよ
うな形態をとってもよい。キャビティは隣接されていて
もあるいは分離されていてもよく、また、このレーザ装
置は単一モードおよび多モードのいずれにも使用でき
る。したがって、この発明は、特許請求の範囲に記載さ
れた発明およびその均等物によって示される全ての変形
例を包含するものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の第1の実施形態の周波数変換型単
一縦モード固体レーザ装置の概略図である。
【図2】 (A)は、波長、レーザしきい値およびこれ
に対応する利得バンド幅と、レーザ媒質の利得曲線との
例示的な関係を示すグラフであり、(B)は、この発明
の一つの実施形態の第1の共振キャビティの縦モードの
波長位置を例示し、(C)は、この発明の一つの実施形
態の第2の共振キャビティの縦モードの波長位置を例示
し、(D)は、この発明の一つの実施形態の結合型共振
キャビティの縦モードの波長位置を例示している。
【図3】 2つの励起光源を有し、出力の光路が曲げら
れている、この発明の第2の実施形態の周波数変換型固
体レーザ装置の概略図である。
【図4】 この発明の第3の実施形態の周波数2倍型固
体レーザ装置の概略図である。
【図5】 この発明の第4の実施形態の周波数2倍型固
体レーザ装置の概略図である。
【符号の説明】
3:周波数変換型単一縦モード固体レーザ装置 10:励起光源 12:光励起放射(すなわち励起光) 14:結合光学系 16:入射側ミラー 18:共用の部分的反射ミラー 20:出射側ミラー 22:固体レーザ媒質 24:光波長変換装置 40:結合型共振キャビティ 42:第1の共振キャビティ 44:第2の共振キャビティ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ラインハルト・ブラッフ アメリカ合衆国、ネバダ州 89503、レノ、 パットナム・ドライブ 709

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 励起光を発生させる励起光源と、 第1の共振キャビティと、この第1の共振キャビティと
    共用の部分的反射ミラーを共有している第2の共振キャ
    ビティと、を含む結合型共振キャビティと、 第1の共振キャビティ内に配置され、前記励起光源によ
    って光学的に励起され、第1の波長の第1のレーザ光を
    発生させる固体レーザ媒質と、 第2の共振キャビティ内に配置され、第1の波長の第1
    のレーザ光を第2の波長の第2のレーザ光に変換する光
    波長変換装置と、 第1の共振キャビティの温度と、第2の共振キャビティ
    の温度と制御する温度制御装置とを備え、 第1の共振キャビティと第2の共振キャビティとが、第
    1のレーザ光を振動させるためのものであることを特徴
    とする周波数変換型固体レーザ装置。
  2. 【請求項2】 前記第1の共振キャビティおよび第2の
    共振キャビティの光路長が、結合型共振キャビティのた
    だ一つの縦モードのみが前記レーザ媒質の利得バンド幅
    内にあるように、選択されていることを特徴とする請求
    項1に記載の周波数変換型固体レーザ装置。
  3. 【請求項3】 前記第1の共振キャビティの光路長に対
    する前記第2の共振キャビティの光路長の比率が、0.
    28、0.4、0.5、0.67、1.5、2、2.
    5、3.5、4.5、5.5、6.5、7.5、および
    8.5からなる群から選択された値とほぼ等しいことを
    特徴とする請求項1に記載の周波数変換型固体レーザ装
    置。
  4. 【請求項4】 前記第1の共振キャビティおよび前記第
    2の共振キャビティの光路長が、結合型共振キャビティ
    の縦モードの間隔が、固体レーザ媒質の利得幅の1/2
    より大きくなるように選択されることを特徴とする請求
    項1に記載の周波数変換型固体レーザ装置。
  5. 【請求項5】 前記第1の共振キャビティの光路長に対
    する前記第2の共振キャビティの光路長の比率が、0.
    5、1.5および2.5からなる群から選択された値と
    ほぼ等しいことを特徴とする請求項4に記載の周波数変
    換型固体レーザ装置。
  6. 【請求項6】 前記励起光源が、レーザダイオード、レ
    ーザダイオードアレイおよび発光ダイオードからなる群
    から選択されたものであることを特徴とする請求項1に
    記載の周波数変換型固体レーザ装置。
  7. 【請求項7】 前記固体レーザ媒質が、Nd:YAG,
    Ndをドープしたガーネット、Ndをドープしたガラ
    ス、Nd:YAP,Nd:YVO4 ,Nd:GdVO
    4 ,Nd:Sr5(PO4)3 F,Nd:LaSc3(BO3)
    4 ,NAB,NdP514,NdLiPO,NdKP
    O,Nd:YLF,Nd:Sr5(VO4)3 F,Nd:Y
    AB、Nd:Xab (BO3)(a+b) (ここで、Xは、
    Al、Y、Scおよび希土類元素から選択された一つの
    元素であり、Zは、Al、Y、Scおよび希土類から選
    択された一つの元素である。)およびNd,Ho,E
    r,Tm,Ti,Cr,Yb,Ceおよび他の希土類元
    素からなる群から選択された少なくとも1つの元素を含
    む固体からなる群から選択されていることを特徴とする
    請求項1に記載の周波数変換型固体レーザ装置。
  8. 【請求項8】 前記光波長変換装置が、KTP,KD
    P,ADA,ADP,CDA,YAB,BBO,KNb
    3 ,LiNb03 ,LBO,CLBO,LIOおよび
    MTiO(XO4)(ここで、「M」は、K、Rb、T
    l、ScおよびNH4 の少なくとも一つであり、「X」
    は、P、Asの少なくとも一つである。)からなる群か
    ら選択されていることを特徴とする請求項1に記載の周
    波数変換型固体レーザ装置。
  9. 【請求項9】 前記温度制御装置が、制御回路と、ヒー
    タおよび熱電冷却器から選択された能動素子とを備えて
    いることを特徴とする請求項1に記載の周波数変換型固
    体レーザ装置。
  10. 【請求項10】 前記第1の共振キャビティが、前記第
    1の波長のレーザ光をほぼ全て反射し且つ励起光を透過
    させる入射側ミラーを備え、前記第1の共振キャビティ
    は、前記第2の共振キャビティと共用の部分的反射ミラ
    ーを共有し、 前記第2の共振キャビティが、前記第1の波長のレーザ
    光のほぼ全てを反射し且つ前記第2の波長の少なくとも
    幾らかを透過させる出射側ミラーを備え、前記第2の共
    振キャビティは、前記第1の共振キャビティと共用の部
    分的反射ミラーを共有し、 前記共用の部分的反射ミラーは、第1の波長のレーザ光
    を部分的に反射し、且つ、第1の波長の共振レーザ光を
    部分的に透過することを特徴とする請求項1に記載の周
    波数変換型固体レーザ装置。
  11. 【請求項11】 前記出射側ミラーは、前記光波長変換
    装置の出射側面に形成されていることを特徴とする請求
    項10に記載の周波数変換型固体レーザ装置。
  12. 【請求項12】 前記第1の共振キャビティが、第1の
    波長で99%ないし100%の反射率を有する入射側ミ
    ラーを備え、該第1の共振キャビティが、前記第2の共
    振キャビティと、共用の部分的反射ミラーを共有し、 前記第2の共振キャビティが、第1の波長で99%ない
    し100%の反射率を有する出射側ミラーを備え、該第
    2の共振キャビティが、前記第1の共振キャビティと、
    共用の部分的反射ミラーを共有していることを特徴とす
    る請求項1に記載の周波数変換型固体レーザ装置。
  13. 【請求項13】 前記共用の部分的反射ミラーが、前記
    第1の波長で、20%ないし98%の反射率を有してい
    ることを特徴とする、請求項12に記載の周波数変換型
    固体レーザ装置。
  14. 【請求項14】 前記共用の部分的反射ミラーが、前記
    第1の波長で、15%ないし80%の反射率を有し、か
    つ、前記光波長変換装置の内方側面に形成されており、 該光波長変換装置および前記固体レーザ媒質から選択さ
    れた光学素子の内方側面に形成されていることを特徴と
    する請求項12に記載の周波数変換型固体レーザ装置。
  15. 【請求項15】 共用の部分的反射ミラーが、少なくと
    も、吸収層を含んでいることを特徴とする請求項12に
    記載の周波数変換型固体レーザ装置。
  16. 【請求項16】 前記共用の部分的反射ミラーが前記第
    1の波長のレーザ光を部分的に反射し且つ前記第1の波
    長の共振レーザ光を部分的に透過させ且つ前記第2の波
    長の第2のレーザ光を反射することを特徴とする請求項
    12に記載の周波数変換型固体レーザ装置。
  17. 【請求項17】 励起光を発生させるダイオード励起光
    源と、 第1の共振キャビティと、第2の共振キャビティを含
    み、前記第1の共振キャビティが入射側ミラーと共用の
    部分的反射ミラーとによって形成され、前記第2の共振
    キャビティが出射側ミラーと、前記第1の共振キャビテ
    ィと共有されている共用の部分的反射ミラーとによって
    形成されている結合型共振キャビティと、 前記第1の共振キャビティ内に配置され、前記励起光に
    よって光学的に励起され、単一横モードの第1の波長の
    第1のレーザ光を発生させる固体レーザ媒質と、 前記第2の共振キャビティ内に配置され、前記第1の波
    長の前記第1のレーザを、前記第1のレーザ光の第2次
    高調波レーザ光に変換する、第2次高調波発生装置と、 前記第1の共振キャビティおよび第2の共振キャビティ
    の温度を制御する温度制御装置と、を備え、 前記第1の共振キャビティおよび第2の共振キャビティ
    が、前記第1の波長の前記第1のレーザ光を振動させる
    ことができ、 前記共用の部分的反射ミラーは、前記第1のレーザ光を
    部分的に反射し且つ前記第1の波長の共振レーザ光を部
    分的に透過させ、さらに、固体レーザ媒質および第2次
    高調波発生装置から選択された光学素子の内方側面に形
    成されていることを特徴とする周波数2倍型固体レーザ
    装置。
  18. 【請求項18】 前記第1の共振キャビティと前記第2
    の共振キャビティの光路長が、前記結合型共振キャビテ
    ィ内で、単一縦モードのレーザ発振(共振)が起こるよ
    うに選択されていることを特徴とする請求項17に記載
    の周波数2倍型固体レーザ装置。
  19. 【請求項19】 前記第1の共振キャビティの光路長に
    対する前記第2の共振キャビティの光路長の比率が、
    0.5、1.5、2.5および3.5からなる群から選
    択された値とほぼ等しいことを特徴とする請求項17に
    記載の周波数2倍型固体レーザ装置。
  20. 【請求項20】 第1の光路長を有し、第1の波長の第
    1のレーザ光を発生させる固体レーザ媒質を含む第1の
    共振キャビティと、 第2光路長を有し、前記第1の波長の前記第1のレーザ
    光を第2の波長の第2のレーザ光に変換する光波長変換
    装置を含む第2の共振キャビティと、を備え、 前記第1の共振キャビティが、共用の部分的反射ミラー
    を、前記第2の共振キャビティと共有し、前記共用の部
    分的反射ミラーが、前記第1の波長のレーザ光を部分的
    に反射し且つ前記第1の波長の共振レーザ光を部分的に
    透過し、前記第1の光路長に対する前記第2の光路長の
    比率が、0.5、1.5および2.5からなる群から選
    択された値とほぼ等しいことを特徴とする周波数変換型
    結合型共振キャビティ。
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