JPH1084243A - 積層圧電振動子 - Google Patents
積層圧電振動子Info
- Publication number
- JPH1084243A JPH1084243A JP23930096A JP23930096A JPH1084243A JP H1084243 A JPH1084243 A JP H1084243A JP 23930096 A JP23930096 A JP 23930096A JP 23930096 A JP23930096 A JP 23930096A JP H1084243 A JPH1084243 A JP H1084243A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- electrode
- intermediate electrode
- laminated
- plates
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 圧電材の中間電極に電気的な接続を行うこと
が難しい。また、接着層が厚く、振動子の振動特性が劣
化する。 【解決手段】 中間電極８を圧電セラミックス板２、４
の間に挟まれた導電性薄膜により形成する。この導電性
薄膜は圧電セラミックス板２、４の外側にはみ出した外
延部を有する。中間電極８への電気的な接続は、この外
延部を端子１２として用いることにより容易に行われ
る。圧電振動子の振動特性の劣化は、接着剤層を加圧に
より薄く形成することにより防止される。
が難しい。また、接着層が厚く、振動子の振動特性が劣
化する。 【解決手段】 中間電極８を圧電セラミックス板２、４
の間に挟まれた導電性薄膜により形成する。この導電性
薄膜は圧電セラミックス板２、４の外側にはみ出した外
延部を有する。中間電極８への電気的な接続は、この外
延部を端子１２として用いることにより容易に行われ
る。圧電振動子の振動特性の劣化は、接着剤層を加圧に
より薄く形成することにより防止される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は複数の圧電材が積層
されてなる積層圧電振動子に関する。
されてなる積層圧電振動子に関する。
【０００２】
【従来の技術】積層圧電振動子の製造方法には、接着積
層法と一体焼成積層法とがある（斉藤史郎ほか「積層形
低インピーダンス超音波プローブ」東芝レビューvol43,
No.12,pp.989-992，1988年）。このうち、一体焼成積層
法は、一般に、グリーンシート（圧電セラミック粉末に
バインダを加え、シート状に固めたもの）に内部電極ペ
ーストを塗布し積層して焼成によって作製する。外部電
極はその後に電極ペーストを塗布し焼成によって形成す
る。最後に分極を行う。一体焼成積層法には、このよう
に工程が複雑になるとともに、内部電極と外部リード線
との接続が困難という短所がある。これに対して、接着
積層法は、一般に、成形、焼成、電極形成、分極といっ
た工程が済んだ圧電体を重ね、貼り合わせるので工程も
比較的簡単で製作も容易であるが、圧電材の厚さが薄く
なるにつれて、接着層の厚さが振動モードに悪影響をお
よぼすとともに、一体焼成積層法と同様に内部電極と外
部リード線との接続が困難という短所がある。
層法と一体焼成積層法とがある（斉藤史郎ほか「積層形
低インピーダンス超音波プローブ」東芝レビューvol43,
No.12,pp.989-992，1988年）。このうち、一体焼成積層
法は、一般に、グリーンシート（圧電セラミック粉末に
バインダを加え、シート状に固めたもの）に内部電極ペ
ーストを塗布し積層して焼成によって作製する。外部電
極はその後に電極ペーストを塗布し焼成によって形成す
る。最後に分極を行う。一体焼成積層法には、このよう
に工程が複雑になるとともに、内部電極と外部リード線
との接続が困難という短所がある。これに対して、接着
積層法は、一般に、成形、焼成、電極形成、分極といっ
た工程が済んだ圧電体を重ね、貼り合わせるので工程も
比較的簡単で製作も容易であるが、圧電材の厚さが薄く
なるにつれて、接着層の厚さが振動モードに悪影響をお
よぼすとともに、一体焼成積層法と同様に内部電極と外
部リード線との接続が困難という短所がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来のいずれの積層法
においても、圧電材５０、５２間に挟まれる中間電極５
４は、図１に示すように、ほぼ圧電材５０、５２の形状
に合わせた形状であった。そのために、下記の問題があ
った。
においても、圧電材５０、５２間に挟まれる中間電極５
４は、図１に示すように、ほぼ圧電材５０、５２の形状
に合わせた形状であった。そのために、下記の問題があ
った。
【０００４】圧電材の音速が遅い場合や、圧電セラミッ
クスでも高周波に使用する場合には、積層体の厚さが極
めて薄くなり、圧電振動子の端面に電極５６を形成する
ことが困難であった。また、この場合、接続面積が極め
て小さくなり、リード線５８との接続が困難であった。
クスでも高周波に使用する場合には、積層体の厚さが極
めて薄くなり、圧電振動子の端面に電極５６を形成する
ことが困難であった。また、この場合、接続面積が極め
て小さくなり、リード線５８との接続が困難であった。
【０００５】前述の問題を解決するために図２に示すよ
うに、電極７０を圧電振動子の端面から積層体の対向面
の表面まで回り込ませた場合には、工程がより複雑にな
り、さらに圧電振動子の面積が大きくなるという問題が
あった。
うに、電極７０を圧電振動子の端面から積層体の対向面
の表面まで回り込ませた場合には、工程がより複雑にな
り、さらに圧電振動子の面積が大きくなるという問題が
あった。
【０００６】高温での焼成を必要とする電極ペーストを
使用する一体焼成積層法が使用できない場合、即ち、複
合圧電材や高分子圧電材で積層体を構成する場合には、
接着積層法が使われることになるが、この場合、図１や
図２に示すような、リード線５８を接続するための端面
での電極５６や回り込み電極７０の形成が極めて困難と
いう問題があった。
使用する一体焼成積層法が使用できない場合、即ち、複
合圧電材や高分子圧電材で積層体を構成する場合には、
接着積層法が使われることになるが、この場合、図１や
図２に示すような、リード線５８を接続するための端面
での電極５６や回り込み電極７０の形成が極めて困難と
いう問題があった。
【０００７】本発明は、圧電セラミックスだけでなく複
合圧電材、高分子圧電材などの場合でも、中間電極への
電気接続の端子が容易に形成され、また、圧電振動子の
振動特性の劣化を防止した圧電振動子を提供することを
目的とする。
合圧電材、高分子圧電材などの場合でも、中間電極への
電気接続の端子が容易に形成され、また、圧電振動子の
振動特性の劣化を防止した圧電振動子を提供することを
目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の積層圧電振動子
は、一方の面と他方の面にそれぞれ電極が形成され、互
いに積層されて積層体を構成する少なくとも２つの圧電
材と、前記圧電材の間に挟まれた中間電極とを有し、前
記中間電極は導電性薄膜で構成され、前記積層面からは
み出した端子としての外延部を有することを特徴とす
る。
は、一方の面と他方の面にそれぞれ電極が形成され、互
いに積層されて積層体を構成する少なくとも２つの圧電
材と、前記圧電材の間に挟まれた中間電極とを有し、前
記中間電極は導電性薄膜で構成され、前記積層面からは
み出した端子としての外延部を有することを特徴とす
る。
【０００９】本発明によれば、中間電極となる導電性薄
膜への電気的接続は、両圧電材の間からはみ出した外延
部において、圧電材に半田付けなどによる熱の影響を及
ぼすことなく容易に行われる。また中間電極は薄膜であ
るため、積層圧電振動子の振動特性に与える影響が少な
い。
膜への電気的接続は、両圧電材の間からはみ出した外延
部において、圧電材に半田付けなどによる熱の影響を及
ぼすことなく容易に行われる。また中間電極は薄膜であ
るため、積層圧電振動子の振動特性に与える影響が少な
い。
【００１０】本発明の積層圧電振動子は、圧電材と中間
電極としての導電性薄膜との間に接着剤を介在させて加
圧することにより前記積層体が形成されたことを特徴と
する。本発明によれば加圧により接着層が薄くかつ均一
に形成されるので圧電体間の振動的接合度が向上し、接
着層に起因する振動特性への悪影響を小さくすることが
できる。
電極としての導電性薄膜との間に接着剤を介在させて加
圧することにより前記積層体が形成されたことを特徴と
する。本発明によれば加圧により接着層が薄くかつ均一
に形成されるので圧電体間の振動的接合度が向上し、接
着層に起因する振動特性への悪影響を小さくすることが
できる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図３は、本発明の積層圧電振動子
を有する超音波振動子の構造を示す模式図である。ここ
では圧電材として圧電セラミックス板２、４を用いてい
る。これらはそれぞれ圧電セラミックス粉末にバインダ
を加えて、ペースト状にした後、成形、焼結、分極とい
う工程を経て製造される。圧電セラミックス板２、４
は、セラミックス板６を分極させる工程で、その両面に
スパッタ法で数千オングストロームの厚さの電極（図示
せず）が形成されている。ここでセラミックス板６の材
質はＰＺＴであり、その厚さは例えば１７０μｍであ
る。圧電セラミックス板の表面の電極は、例えば、下地
金属はＣｒ−Ｎｉで表面金属はＡｕである電極で構成さ
れる。
を参照して説明する。図３は、本発明の積層圧電振動子
を有する超音波振動子の構造を示す模式図である。ここ
では圧電材として圧電セラミックス板２、４を用いてい
る。これらはそれぞれ圧電セラミックス粉末にバインダ
を加えて、ペースト状にした後、成形、焼結、分極とい
う工程を経て製造される。圧電セラミックス板２、４
は、セラミックス板６を分極させる工程で、その両面に
スパッタ法で数千オングストロームの厚さの電極（図示
せず）が形成されている。ここでセラミックス板６の材
質はＰＺＴであり、その厚さは例えば１７０μｍであ
る。圧電セラミックス板の表面の電極は、例えば、下地
金属はＣｒ−Ｎｉで表面金属はＡｕである電極で構成さ
れる。
【００１２】圧電セラミックス板２、４の間には、中間
電極８が挟まれている。中間電極８は、これら両圧電セ
ラミックス板の表面の電極と電気的に接触する。中間電
極８は圧電セラミックス板２、４の外側にはみ出し部分
１０を有しており、この部分を両圧電セラミックス板の
接合部分に電圧を印加するための端子１２として機能さ
せる。ここで中間電極８は極めて薄い導電性材料、例え
ば、金箔（Ａｕ、厚さ４μｍ）を用いている。補強のた
め、金箔の外延部に例えば高分子樹脂膜を張り合わせて
もよい。また、図３において、金箔のはみ出し部分１０
が垂れた側の圧電セラミックス板４の側面や背面負荷材
２４の側面に絶縁性の膜を張り付け、これにはみ出し部
分１０を接着すれば、金箔はこの絶縁性の膜に固定され
るので、これによってもはみ出し部分１０の断線を防ぐ
ことができる。
電極８が挟まれている。中間電極８は、これら両圧電セ
ラミックス板の表面の電極と電気的に接触する。中間電
極８は圧電セラミックス板２、４の外側にはみ出し部分
１０を有しており、この部分を両圧電セラミックス板の
接合部分に電圧を印加するための端子１２として機能さ
せる。ここで中間電極８は極めて薄い導電性材料、例え
ば、金箔（Ａｕ、厚さ４μｍ）を用いている。補強のた
め、金箔の外延部に例えば高分子樹脂膜を張り合わせて
もよい。また、図３において、金箔のはみ出し部分１０
が垂れた側の圧電セラミックス板４の側面や背面負荷材
２４の側面に絶縁性の膜を張り付け、これにはみ出し部
分１０を接着すれば、金箔はこの絶縁性の膜に固定され
るので、これによってもはみ出し部分１０の断線を防ぐ
ことができる。
【００１３】一方、各圧電セラミックス板の中間電極８
と反対側の面には、外側電極１４、１６が接合される。
外側電極１４，１６は、導電性接着剤によって、各圧電
セラミックス板の電極と接続されている。それらは互い
に接続され、端子１８が設けられている。端子１２と端
子１８との間に電圧パルスを印加すると、圧電セラミッ
クス板２、４を重ね合わせた圧電積層体は振動し、その
表面から超音波を放射する。以上、圧電セラミックス板
２、４と中間電極８は接着剤２０を介して、圧電セラミ
ックス板２、４と外側電極１４、１６は導電性接着剤に
よって接続される。
と反対側の面には、外側電極１４、１６が接合される。
外側電極１４，１６は、導電性接着剤によって、各圧電
セラミックス板の電極と接続されている。それらは互い
に接続され、端子１８が設けられている。端子１２と端
子１８との間に電圧パルスを印加すると、圧電セラミッ
クス板２、４を重ね合わせた圧電積層体は振動し、その
表面から超音波を放射する。以上、圧電セラミックス板
２、４と中間電極８は接着剤２０を介して、圧電セラミ
ックス板２、４と外側電極１４、１６は導電性接着剤に
よって接続される。
【００１４】本超音波振動子は超音波診断装置の探触子
に内蔵されるものであり、圧電積層体の圧電セラミック
ス板２側の表面には、音響整合層２２が生体との音響的
マッチングをとるために貼り付けられている。また反対
に、圧電セラミックス板４側には、背面負荷材２４が設
けられ、積層圧電体を支えるとともに生体とは反対側に
放射され診断の障害となりうる超音波を吸収する。
に内蔵されるものであり、圧電積層体の圧電セラミック
ス板２側の表面には、音響整合層２２が生体との音響的
マッチングをとるために貼り付けられている。また反対
に、圧電セラミックス板４側には、背面負荷材２４が設
けられ、積層圧電体を支えるとともに生体とは反対側に
放射され診断の障害となりうる超音波を吸収する。
【００１５】外側電極１４、１６は圧電積層体を形成後
において露出しているので、音響整合層２２、背面負荷
材２４を取り付ける前であれば電極を後付けすることは
比較的容易である。これに対し、中間電極８は、もし本
発明の積層圧電振動子のような圧電セラミックス板２、
４からはみ出す外延部を有していなければ、圧電セラミ
ックス板２、４の境界の側端面にわずかに露出するのみ
であり、この部分に半田付けすることは容易でない。そ
のため半田付けに手間取りその熱が圧電セラミックス板
に伝導し、その分極が消失してしまうということがあっ
た。しかし、本積層圧電振動子は、中間電極８に外延部
を有し、これに電圧供給のための配線を半田付けするこ
とは極めて容易であり、その作業は迅速に行われるとと
もに、半田付けされる位置は圧電セラミックス板から離
れているので、熱が伝導して分極が消失することはな
い。
において露出しているので、音響整合層２２、背面負荷
材２４を取り付ける前であれば電極を後付けすることは
比較的容易である。これに対し、中間電極８は、もし本
発明の積層圧電振動子のような圧電セラミックス板２、
４からはみ出す外延部を有していなければ、圧電セラミ
ックス板２、４の境界の側端面にわずかに露出するのみ
であり、この部分に半田付けすることは容易でない。そ
のため半田付けに手間取りその熱が圧電セラミックス板
に伝導し、その分極が消失してしまうということがあっ
た。しかし、本積層圧電振動子は、中間電極８に外延部
を有し、これに電圧供給のための配線を半田付けするこ
とは極めて容易であり、その作業は迅速に行われるとと
もに、半田付けされる位置は圧電セラミックス板から離
れているので、熱が伝導して分極が消失することはな
い。
【００１６】図４は、本積層圧電振動子の中間電極８の
形成工程を示す模式図である。まず圧電セラミックス板
２、４の表面に設けられた電極３０のうち中間電極対向
面に接着剤が塗布され接着剤層２０が形成される。金箔
３２は圧電セラミックス板２、４より広く、この金箔３
２を間において圧電セラミックス板２、４が重ね合わさ
れ、これら圧電セラミックス板２、４と金箔３２とは互
いに接着剤層２０により接着される。しかる後、この積
層体の上下面にその面内において一様な圧力を付加し、
接着剤層２０の厚さをできるだけ均一に薄くのばす。こ
のとき積層体の温度は、接着剤の粘度が低くなるような
温度、例えば６０℃程度に保つ。接着剤層２０が十分に
伸ばされたら、温度を例えば８０〜１００℃程度に上
げ、接着剤を硬化させる。
形成工程を示す模式図である。まず圧電セラミックス板
２、４の表面に設けられた電極３０のうち中間電極対向
面に接着剤が塗布され接着剤層２０が形成される。金箔
３２は圧電セラミックス板２、４より広く、この金箔３
２を間において圧電セラミックス板２、４が重ね合わさ
れ、これら圧電セラミックス板２、４と金箔３２とは互
いに接着剤層２０により接着される。しかる後、この積
層体の上下面にその面内において一様な圧力を付加し、
接着剤層２０の厚さをできるだけ均一に薄くのばす。こ
のとき積層体の温度は、接着剤の粘度が低くなるような
温度、例えば６０℃程度に保つ。接着剤層２０が十分に
伸ばされたら、温度を例えば８０〜１００℃程度に上
げ、接着剤を硬化させる。
【００１７】接着剤には、金属のフィラーを含有した導
電性のものを用いることもできるが、ここでは、より接
着強度の強い絶縁性のものを使用している。絶縁性の接
着剤を用いても、上記のように加圧することにより、圧
電セラミックス板の表面の微細な凹凸の凸部が金箔３２
に接触し、電気的コンタクトが形成される。加圧圧力は
例えば２７kgf/cm2 である。
電性のものを用いることもできるが、ここでは、より接
着強度の強い絶縁性のものを使用している。絶縁性の接
着剤を用いても、上記のように加圧することにより、圧
電セラミックス板の表面の微細な凹凸の凸部が金箔３２
に接触し、電気的コンタクトが形成される。加圧圧力は
例えば２７kgf/cm2 である。
【００１８】なお、外側電極１４、１６も圧電セラミッ
クス板２、４の表面に接着剤にて貼り付けられるのであ
れば、これらを上記中間電極８となる金箔３２の挟み込
み工程において、同時に加圧接着することもできる。
クス板２、４の表面に接着剤にて貼り付けられるのであ
れば、これらを上記中間電極８となる金箔３２の挟み込
み工程において、同時に加圧接着することもできる。
【００１９】加圧接着により形成された積層体からはみ
出した金箔３２は、不必要な部分を切り取られ、中間電
極８とされる。また、超音波探触子では、微小幅を有す
る短冊状の圧電振動子がアレイ状に配列されるが、この
ような微細な圧電振動子は上述のように作られた矩形状
の積層体を一定の幅でスライスして作成される。
出した金箔３２は、不必要な部分を切り取られ、中間電
極８とされる。また、超音波探触子では、微小幅を有す
る短冊状の圧電振動子がアレイ状に配列されるが、この
ような微細な圧電振動子は上述のように作られた矩形状
の積層体を一定の幅でスライスして作成される。
【００２０】重ねられる圧電材の層数は２以上であって
もよい。積層圧電振動子では、層数が多いほどインピー
ダンスを低くすることができる。すなわち、全体の厚み
を変えずにｎ層積層した場合、面積がｎ倍、１層当たり
の厚みが１／ｎとなるので、インピーダンスは１／ｎ2
に低減する。振動子のサイズが小型化されるとインピー
ダンスが増加するが、上記積層圧電振動子によればその
インピーダンスを低減させることができ、電圧損失が少
なく感度の高い小型の超音波探触子を得ることができ
る。本発明によればその積層圧電振動子を、簡単な設備
で容易に作成することができる。このような積層圧電振
動子の用途は、超音波診断装置の探触子に限られない。
もよい。積層圧電振動子では、層数が多いほどインピー
ダンスを低くすることができる。すなわち、全体の厚み
を変えずにｎ層積層した場合、面積がｎ倍、１層当たり
の厚みが１／ｎとなるので、インピーダンスは１／ｎ2
に低減する。振動子のサイズが小型化されるとインピー
ダンスが増加するが、上記積層圧電振動子によればその
インピーダンスを低減させることができ、電圧損失が少
なく感度の高い小型の超音波探触子を得ることができ
る。本発明によればその積層圧電振動子を、簡単な設備
で容易に作成することができる。このような積層圧電振
動子の用途は、超音波診断装置の探触子に限られない。
【００２１】圧電材の材質は、上記圧電セラミックス以
外に高分子圧電材や、微細な圧電セラミックス片をエポ
キシなどの高分子樹脂で板状に成形した複合圧電材を用
いることができる。特に、接着積層法によれば、圧電セ
ラミックス板と他の材質の圧電材とを積層することが容
易である。
外に高分子圧電材や、微細な圧電セラミックス片をエポ
キシなどの高分子樹脂で板状に成形した複合圧電材を用
いることができる。特に、接着積層法によれば、圧電セ
ラミックス板と他の材質の圧電材とを積層することが容
易である。
【００２２】また、中間電極としては、導電性の薄膜か
ら様々なものを選択することができ、例えば、上記金箔
の他、銀、銅、アルミニウム、ニッケル、白金等の金属
箔や、ポリイミド等の高分子薄膜の両面に金、銀、銅、
アルミニウム、ニッケル、白金等の金属薄膜を成膜した
ものや、導電性樹脂や、導電性フィラーを混入した樹脂
製の薄膜や、導電性繊維でできた布あるいは不織布を用
いることもできる。
ら様々なものを選択することができ、例えば、上記金箔
の他、銀、銅、アルミニウム、ニッケル、白金等の金属
箔や、ポリイミド等の高分子薄膜の両面に金、銀、銅、
アルミニウム、ニッケル、白金等の金属薄膜を成膜した
ものや、導電性樹脂や、導電性フィラーを混入した樹脂
製の薄膜や、導電性繊維でできた布あるいは不織布を用
いることもできる。
【００２３】
【発明の効果】本発明の積層圧電振動子によれば、中間
電極が外延部を有するため、これへの電気的接続が容易
であるという効果がある。また、圧電セラミックスだけ
でなく複合圧電材、高分子圧電材などの圧電材料にも適
用できるという効果がある。さらに、圧電材に中間電極
が挟み込まれて積層され、加圧接着により接着剤層の厚
さが薄いので、振動特性が良好な積層圧電振動子が得ら
れるという効果がある。
電極が外延部を有するため、これへの電気的接続が容易
であるという効果がある。また、圧電セラミックスだけ
でなく複合圧電材、高分子圧電材などの圧電材料にも適
用できるという効果がある。さらに、圧電材に中間電極
が挟み込まれて積層され、加圧接着により接着剤層の厚
さが薄いので、振動特性が良好な積層圧電振動子が得ら
れるという効果がある。
【図１】 従来の積層圧電振動子の模式的な断面図であ
る。
る。
【図２】 従来の他の積層圧電振動子の模式的な断面図
である。
である。
【図３】 本発明の実施形態である超音波振動子の構造
を示す模式図な断面図である。
を示す模式図な断面図である。
【図４】 中間電極の形成工程を示す模式図である。
２，４ 圧電セラミックス板、６ セラミックス板、８
中間電極、１４，１６ 外側電極、２０ 接着剤層、
２２ 音響整合層、２４ 背面負荷材、３２金箔。
中間電極、１４，１６ 外側電極、２０ 接着剤層、
２２ 音響整合層、２４ 背面負荷材、３２金箔。
Claims (4)
- 【請求項１】 一方の面と他方の面にそれぞれ電極が形
成され、互いに積層されて積層体を構成する少なくとも
２つの圧電材と、 前記圧電材の間に挟まれた中間電極と、を有し、 前記中間電極は導電性薄膜で構成され、前記積層面から
はみ出した端子としての外延部を有することを特徴とす
る積層圧電振動子。 - 【請求項２】 請求項１記載の積層圧電振動子におい
て、 積層体の少なくとも１つの圧電材の中間電極に接する面
のみ電極が形成されていないことを特徴とする積層圧電
振動子。 - 【請求項３】 請求項１または請求項２記載の積層圧電
振動子において、 圧電材と中間電極としての導電性薄膜との間に接着剤を
介在させて加圧することにより前記積層体が形成された
ことを特徴とする積層圧電振動子。 - 【請求項４】 請求項３記載の積層圧電振動子におい
て、 圧電材と中間電極との間に介在させる接着剤が導電性の
フィラーを含むことを特徴とする積層圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23930096A JPH1084243A (ja) | 1996-09-10 | 1996-09-10 | 積層圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23930096A JPH1084243A (ja) | 1996-09-10 | 1996-09-10 | 積層圧電振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1084243A true JPH1084243A (ja) | 1998-03-31 |
Family
ID=17042684
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23930096A Pending JPH1084243A (ja) | 1996-09-10 | 1996-09-10 | 積層圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1084243A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010092907A1 (ja) * | 2009-02-12 | 2010-08-19 | コニカミノルタエムジー株式会社 | 超音波探触子、および超音波診断装置 |
-
1996
- 1996-09-10 JP JP23930096A patent/JPH1084243A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010092907A1 (ja) * | 2009-02-12 | 2010-08-19 | コニカミノルタエムジー株式会社 | 超音波探触子、および超音波診断装置 |
| US8784319B2 (en) | 2009-02-12 | 2014-07-22 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Ultrasonic probe and ultrasonic diagnostic device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3210671B2 (ja) | 超音波変換器アレーとその製造方法 | |
| JP2502685B2 (ja) | 超音波探触子の製造方法 | |
| JP5474261B1 (ja) | 圧電アクチュエータ、圧電振動装置および携帯端末 | |
| JPWO2014083998A1 (ja) | 圧電アクチュエータ、圧電振動装置および携帯端末 | |
| JPS60100950A (ja) | 超音波探触子 | |
| JPH07123497A (ja) | 超音波探触子及び超音波探触子の製造方法 | |
| JP2000014672A (ja) | 超音波プローブおよびその製造方法 | |
| JPH1084243A (ja) | 積層圧電振動子 | |
| JP3526486B2 (ja) | 超音波探触子，この探触子を備えた超音波プローブ，およびこれらの製造方法 | |
| JP2615517B2 (ja) | 超音波探触子の製造方法 | |
| JPS61103399A (ja) | 超音波探触子およびその製造方法 | |
| JP2004526345A (ja) | メタライゼーションが施されアブレーションされたポリマーフィルムを接地面として用いて、複数要素からなる音響プローブを製造する方法 | |
| KR100721738B1 (ko) | 단방향 음향 프로브 및 그의 제조 방법 | |
| JPH03162839A (ja) | 超音波探触子 | |
| JPH07194517A (ja) | 超音波探触子 | |
| JP3934200B2 (ja) | 超音波探触子 | |
| JPS6093899A (ja) | 超音波探触子 | |
| JP3431275B2 (ja) | 超音波トランスデューサおよびその製造方法 | |
| JPH04152938A (ja) | 高分子超音波振動子の製造方法 | |
| JP3431274B2 (ja) | 超音波トランスデューサおよびその製造方法 | |
| JP2001102651A (ja) | 圧電素子・圧電素子の製造方法および超音波発振器 | |
| JP5228924B2 (ja) | 振動素子及び該振動素子を用いた超音波機器、振動素子の製造方法 | |
| JP2001292495A (ja) | 超音波探触子とその製造方法 | |
| JP2002354591A (ja) | 配列型の超音波探触子 | |
| JPS5853839Y2 (ja) | 圧電発音体 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050406 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20050412 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20050613 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20050913 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20060307 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |