JPH1082925A - 光導波路と受光素子の結合構造 - Google Patents
光導波路と受光素子の結合構造Info
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- JPH1082925A JPH1082925A JP23601796A JP23601796A JPH1082925A JP H1082925 A JPH1082925 A JP H1082925A JP 23601796 A JP23601796 A JP 23601796A JP 23601796 A JP23601796 A JP 23601796A JP H1082925 A JPH1082925 A JP H1082925A
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- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4204—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
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- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 光導波路と受光素子を高効率で光結合させる
とともに、光導波路への反射戻り光を低減させる。 【解決手段】 光導波路１のコア部４を横切るようにＶ
溝８が形成されている。Ｖ溝８の導波光が出射される側
の面は、基板表面に対してほぼ垂直に形成され、対向す
る面は約４５度に傾斜して形成されている。傾斜面９に
は全反射コート１０が形成されており、導波光は上方向
に反射され、光導波路１の上部に受光面７を下に向けて
配置された受光素子６に結合する。ここで、Ｖ溝８と受
光素子６との間は光導波路１のコア４とほぼ同じ屈折率
を有する屈折率整合剤１１により充填されている。光導
波路１から出射された導波光は反射面を経ないで受光素
子に結合するので、高効率、低反射結合が可能になる。
また、屈折率整合剤１１の表面を表面張力を利用して凸
形状にしてレンズ効果を持たせることもできる。
とともに、光導波路への反射戻り光を低減させる。 【解決手段】 光導波路１のコア部４を横切るようにＶ
溝８が形成されている。Ｖ溝８の導波光が出射される側
の面は、基板表面に対してほぼ垂直に形成され、対向す
る面は約４５度に傾斜して形成されている。傾斜面９に
は全反射コート１０が形成されており、導波光は上方向
に反射され、光導波路１の上部に受光面７を下に向けて
配置された受光素子６に結合する。ここで、Ｖ溝８と受
光素子６との間は光導波路１のコア４とほぼ同じ屈折率
を有する屈折率整合剤１１により充填されている。光導
波路１から出射された導波光は反射面を経ないで受光素
子に結合するので、高効率、低反射結合が可能になる。
また、屈折率整合剤１１の表面を表面張力を利用して凸
形状にしてレンズ効果を持たせることもできる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光導波路と受光素
子を光学的に結合する構造に関し、特に低反射で、低損
失な光結合を実現する構造に関する。
子を光学的に結合する構造に関し、特に低反射で、低損
失な光結合を実現する構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の光導波路と受光素子の結合構造を
図３に示す。
図３に示す。
【０００３】従来の光導波路と受光素子の結合構造で
は、光導波路の端面２０を光軸に対して４５度に傾け、
その端面２０に全反射コート２１を施すことで、コア部
１８を伝搬してきた導波光２２を、基板と垂直方向に反
射させ、受光素子２３と光結合させている。
は、光導波路の端面２０を光軸に対して４５度に傾け、
その端面２０に全反射コート２１を施すことで、コア部
１８を伝搬してきた導波光２２を、基板と垂直方向に反
射させ、受光素子２３と光結合させている。
【０００４】また、他の従来の結合構造では、特開昭６
３−１９１１１１号公報の図１で示すように、Ｖ字溝の
出射斜面５を全反射しない角度に設定しておくことによ
り、光導波路コア層３を伝搬してきた光を屈曲させて出
射させ、高反射率層６で、基板と垂直方向に反射させる
ことで受光素子８と光結合させている。
３−１９１１１１号公報の図１で示すように、Ｖ字溝の
出射斜面５を全反射しない角度に設定しておくことによ
り、光導波路コア層３を伝搬してきた光を屈曲させて出
射させ、高反射率層６で、基板と垂直方向に反射させる
ことで受光素子８と光結合させている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の結合
構造では、光路の屈折率変化による、反射戻り光の発生
と光結合効率の劣化という問題が生じる。
構造では、光路の屈折率変化による、反射戻り光の発生
と光結合効率の劣化という問題が生じる。
【０００６】すなわち、図３に示すような従来の構造で
は、図４の詳細図で示すように、光導波路の端面２０よ
り反射した導波光２４が、コア部１８からクラッド層１
９に出射される際、両者の屈折率の違いにより反射が起
こることによる。これにより、反射戻り光２５が発生す
ると共に、光結合効率の劣化が起こる。
は、図４の詳細図で示すように、光導波路の端面２０よ
り反射した導波光２４が、コア部１８からクラッド層１
９に出射される際、両者の屈折率の違いにより反射が起
こることによる。これにより、反射戻り光２５が発生す
ると共に、光結合効率の劣化が起こる。
【０００７】また、特開昭６３−１９１１１１号公報の
図１に示されるような従来の構造においては、光導波路
のコア層３とＶ字溝内の空気層との屈折率には差があ
る。このため、出射端面５を光軸の垂直面に対して傾け
て、導波光がコア層３内を戻らないようにしても、反射
が発生してしまい、結果として光の結合効率が劣化す
る。さらに、この屈折率差のためスネルの法則により、
出射斜面５において導波光の拡がりが生じる。この導波
光の拡がりによって、受光素子８の受光面積よりも導波
光径が大きくなり、十分な結合効率が得られない。
図１に示されるような従来の構造においては、光導波路
のコア層３とＶ字溝内の空気層との屈折率には差があ
る。このため、出射端面５を光軸の垂直面に対して傾け
て、導波光がコア層３内を戻らないようにしても、反射
が発生してしまい、結果として光の結合効率が劣化す
る。さらに、この屈折率差のためスネルの法則により、
出射斜面５において導波光の拡がりが生じる。この導波
光の拡がりによって、受光素子８の受光面積よりも導波
光径が大きくなり、十分な結合効率が得られない。
【０００８】また、特開昭６３−１９１１１１号公報記
載の従来の構造においては、Ｖ字溝の製造が非常に困難
という問題がある。
載の従来の構造においては、Ｖ字溝の製造が非常に困難
という問題がある。
【０００９】すなわち、特開昭６３−１９１１１１号公
報の図１に示されるように、導波光出射斜面５および高
反射率層６の角度、それぞれが、スネルの法則に基づい
て、正確に形成されなければ受光素子８へ導波光が到達
しないことによる。よって、Ｖ字溝には、非常に精密な
加工が必要となり、製造上困難である。
報の図１に示されるように、導波光出射斜面５および高
反射率層６の角度、それぞれが、スネルの法則に基づい
て、正確に形成されなければ受光素子８へ導波光が到達
しないことによる。よって、Ｖ字溝には、非常に精密な
加工が必要となり、製造上困難である。
【００１０】本発明の目的は、従来の構造では成しえな
かった、I低反射・低損失による光伝送効率の向上、J構
成の簡易化、K生産性向上を実現する光導波路と受光素
子の結合構造を提供することにある。
かった、I低反射・低損失による光伝送効率の向上、J構
成の簡易化、K生産性向上を実現する光導波路と受光素
子の結合構造を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の光導波路と受光
素子の結合構造は、低反射・低損失による光伝送効率の
向上、構成の簡易化を行う手段を有する。
素子の結合構造は、低反射・低損失による光伝送効率の
向上、構成の簡易化を行う手段を有する。
【００１２】具体的には、光導波路上の受光素子に、導
波光が結合されるよう、コア部を横切るようにＶ溝を形
成し、導波光があたる側の斜面に全反射コートを施し、
さらにＶ溝から受光素子までの空間全域がコア部と同じ
屈折率を有する物質（屈折率整合剤）で充填された構造
としている。なお、出射側の端面の角度は、特に精度を
必要とせず、反射側斜面の角度のみ、導波光に対して４
５度にする。
波光が結合されるよう、コア部を横切るようにＶ溝を形
成し、導波光があたる側の斜面に全反射コートを施し、
さらにＶ溝から受光素子までの空間全域がコア部と同じ
屈折率を有する物質（屈折率整合剤）で充填された構造
としている。なお、出射側の端面の角度は、特に精度を
必要とせず、反射側斜面の角度のみ、導波光に対して４
５度にする。
【００１３】また、上記屈折率整合剤は、上部の表面が
凸形状になるように形成されている。
凸形状になるように形成されている。
【００１４】コア部と屈折率差がない屈折率整合剤をＶ
溝から受光素子までの空間内に充填しているため、光導
波路のコア部を伝搬してきた導波光は、Ｖ溝の出射側端
面で反射を起こすことなく、さらに導波光の拡がりを抑
えられて、Ｖ溝内に出射される。続いて導波光は、４５
度に傾けて形成された全反射コートで光導波路の平面と
垂直に全反射され、劣化することなく受光素子に到達す
る。
溝から受光素子までの空間内に充填しているため、光導
波路のコア部を伝搬してきた導波光は、Ｖ溝の出射側端
面で反射を起こすことなく、さらに導波光の拡がりを抑
えられて、Ｖ溝内に出射される。続いて導波光は、４５
度に傾けて形成された全反射コートで光導波路の平面と
垂直に全反射され、劣化することなく受光素子に到達す
る。
【００１５】さらに、本発明の光導波路の受光素子の結
合構造では、上記屈折率整合剤は、上部の表面が凸形状
になるように形成されている。表面を凸形状にすること
により、全反射面で反射した光は、屈折率整合剤の表面
でレンズ作用により集光されて受光素子に結合する。ま
た、表面が凸形状となっているので、フレネル反射が生
じても反射光はより放射されるので、光導波路のコアに
再結合しにくくなる。
合構造では、上記屈折率整合剤は、上部の表面が凸形状
になるように形成されている。表面を凸形状にすること
により、全反射面で反射した光は、屈折率整合剤の表面
でレンズ作用により集光されて受光素子に結合する。ま
た、表面が凸形状となっているので、フレネル反射が生
じても反射光はより放射されるので、光導波路のコアに
再結合しにくくなる。
【００１６】屈折率整合剤の表面を凸形状に形成するの
は、屈折率整合剤の表面張力を利用することにより極め
て容易にできる。ここで、本発明の光導波路と受光素子
の結合構造によれば、光導波路の光が出射される側の端
面を基板表面に対して垂直にし対向する反射面を４５度
の傾斜面としているので、屈折率整合剤を塗布したとき
に、ちょうど反射された光の光軸の中心に上記凸形状の
中心が位置するようにできる。
は、屈折率整合剤の表面張力を利用することにより極め
て容易にできる。ここで、本発明の光導波路と受光素子
の結合構造によれば、光導波路の光が出射される側の端
面を基板表面に対して垂直にし対向する反射面を４５度
の傾斜面としているので、屈折率整合剤を塗布したとき
に、ちょうど反射された光の光軸の中心に上記凸形状の
中心が位置するようにできる。
【００１７】
【発明の実施の形態】次に、本発明の光導波路と受光素
子の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明す
る。
子の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明す
る。
【００１８】光導波路の光軸中心を含む縦断面図である
図１を参照すると、本発明の最良の実施の形態は、基板
２上に、下から順に光導波路の下部クラッド層３、コア
部４、上部クラッド層５を形成しており、コア部４はク
ラッド層３，５よりも高い屈折率を有している。受光素
子６は、受光面７を光導波路１に向けており、光導波路
１には、受光素子６の位置に、コア部４を横切るように
Ｖ溝８を形成している。さらに、Ｖ溝の導波光があたる
側の斜面９には、全反射コート１０を施しており、Ｖ溝
８内から受光素子６の受光面７まで、コア部４と同じ屈
折率を有する屈折率整合剤１１を充填している。
図１を参照すると、本発明の最良の実施の形態は、基板
２上に、下から順に光導波路の下部クラッド層３、コア
部４、上部クラッド層５を形成しており、コア部４はク
ラッド層３，５よりも高い屈折率を有している。受光素
子６は、受光面７を光導波路１に向けており、光導波路
１には、受光素子６の位置に、コア部４を横切るように
Ｖ溝８を形成している。さらに、Ｖ溝の導波光があたる
側の斜面９には、全反射コート１０を施しており、Ｖ溝
８内から受光素子６の受光面７まで、コア部４と同じ屈
折率を有する屈折率整合剤１１を充填している。
【００１９】Ｖ溝の出射側の端面１２は、導波光１３に
対して垂直か、それに対して傾けた斜面としており、特
に精度を必要としておらず、一方、反対側の斜面９は、
光軸に対して４５度に傾けている。Ｖ溝８は、精密機械
加工やエッチング等で形成する。全反射コート１０は、
蒸着等で形成する。また、屈折率整合剤１１は、シリコ
ングリース等の比較的流動性のある物質を充填するか、
コア部４と同じ物質を、堆積あるいは光学的に整合する
接着剤等によりＶ溝８内に固定している。
対して垂直か、それに対して傾けた斜面としており、特
に精度を必要としておらず、一方、反対側の斜面９は、
光軸に対して４５度に傾けている。Ｖ溝８は、精密機械
加工やエッチング等で形成する。全反射コート１０は、
蒸着等で形成する。また、屈折率整合剤１１は、シリコ
ングリース等の比較的流動性のある物質を充填するか、
コア部４と同じ物質を、堆積あるいは光学的に整合する
接着剤等によりＶ溝８内に固定している。
【００２０】次に、本発明の光導波路と受光素子の実施
の作用について、図１を参照して詳細に説明する。
の作用について、図１を参照して詳細に説明する。
【００２１】本発明では、Ｖ溝８内から受光素子６まで
の光路全て、コア部４と同じ屈折率を有する屈折率整合
剤１１を充填しているため、光導波路のコア部４を伝搬
してきた導波光１３は、Ｖ溝の出射側端面１２において
反射を起こすことなく、さらに導波光の拡がりを抑えら
れて、屈折率整合剤１１内に出射される。続いて、屈折
率整合剤１１内を伝搬した導波光１４は、全反射コート
１０で光導波路の平面に対して垂直に全反射され、受光
素子６に到達する。よって、導波光１３は、伝搬途中
で、劣化することなく受光素子６と光学的に結合する。
の光路全て、コア部４と同じ屈折率を有する屈折率整合
剤１１を充填しているため、光導波路のコア部４を伝搬
してきた導波光１３は、Ｖ溝の出射側端面１２において
反射を起こすことなく、さらに導波光の拡がりを抑えら
れて、屈折率整合剤１１内に出射される。続いて、屈折
率整合剤１１内を伝搬した導波光１４は、全反射コート
１０で光導波路の平面に対して垂直に全反射され、受光
素子６に到達する。よって、導波光１３は、伝搬途中
で、劣化することなく受光素子６と光学的に結合する。
【００２２】
【実施例】次に、本発明の光導波路と受光素子の実施例
について図面を参照して詳細に説明する。
について図面を参照して詳細に説明する。
【００２３】図１を参照すると、基板２はシリコンによ
り形成し、光導波路の下部クラッド層３および上部クラ
ッド層５は石英により形成し、コア部４はクラッド層
３，５よりも屈折率が高くなるように、ゲルマニウムを
添加した石英により形成する。または、クラッド層３，
５はフッ素を添加した石英により形成しており、コア部
４はクラッド層３，５よりも屈折率が高くなるように、
無添加の石英により形成する。
り形成し、光導波路の下部クラッド層３および上部クラ
ッド層５は石英により形成し、コア部４はクラッド層
３，５よりも屈折率が高くなるように、ゲルマニウムを
添加した石英により形成する。または、クラッド層３，
５はフッ素を添加した石英により形成しており、コア部
４はクラッド層３，５よりも屈折率が高くなるように、
無添加の石英により形成する。
【００２４】Ｖ溝８は精密研削による機械加工または選
択的エッチングにより、光導波路１の表面上に、コア部
４を横切るように形成し、導波光１３が出射される側の
端面１２は、導波光１３に対して垂直あるいは斜面とす
るが、角度は特に問わない。Ｖ溝８のもう一方の斜面、
すなわち導波光１４があたる側の斜面９は、導波光１４
に対して４５度に傾けて形成する。さらに、この斜面９
の上面には、全反射コート１０を金蒸着にて形成する。
択的エッチングにより、光導波路１の表面上に、コア部
４を横切るように形成し、導波光１３が出射される側の
端面１２は、導波光１３に対して垂直あるいは斜面とす
るが、角度は特に問わない。Ｖ溝８のもう一方の斜面、
すなわち導波光１４があたる側の斜面９は、導波光１４
に対して４５度に傾けて形成する。さらに、この斜面９
の上面には、全反射コート１０を金蒸着にて形成する。
【００２５】コア部４と同じ屈折率を有する屈折率整合
剤１１は、Ｖ溝８内から受光素子６の受光面７までを充
填するように、シリコングリースか、透光性の有る樹脂
で形成されている。なお、透光性樹脂としては、アクリ
ル系、アクリレート系、ポリカーボネート系、ポリイミ
ド系等がある。
剤１１は、Ｖ溝８内から受光素子６の受光面７までを充
填するように、シリコングリースか、透光性の有る樹脂
で形成されている。なお、透光性樹脂としては、アクリ
ル系、アクリレート系、ポリカーボネート系、ポリイミ
ド系等がある。
【００２６】また、屈折率整合剤１１は、コア部４と同
じ物質を堆積させて形成する。堆積方法としては、ＣＶ
Ｄ、ＰＶＤ、火炎堆積法等がある。
じ物質を堆積させて形成する。堆積方法としては、ＣＶ
Ｄ、ＰＶＤ、火炎堆積法等がある。
【００２７】受光素子６は、受光面７を光導波路１に向
け、さらに全反射コート１０により反射された導波光１
４′の光軸中心に受光面７の中心が合うように固定して
いる。
け、さらに全反射コート１０により反射された導波光１
４′の光軸中心に受光面７の中心が合うように固定して
いる。
【００２８】次に、本発明の光導波路と受光素子の実施
例の作用について、図１を参照して詳細に説明する。
例の作用について、図１を参照して詳細に説明する。
【００２９】光導波路１のコア部４を伝搬してきた導波
光１３は、光路途中に形成されたＶ溝８の出射側の端面
１２より、Ｖ溝８内に出射される。Ｖ溝８内には屈折率
整合剤１１が充填されているため、光路に屈折率変化が
なく、境界面において反射を引き起こすことなく、かつ
屈折による導波光の広がりを受けることなくＶ溝８内に
出射される。
光１３は、光路途中に形成されたＶ溝８の出射側の端面
１２より、Ｖ溝８内に出射される。Ｖ溝８内には屈折率
整合剤１１が充填されているため、光路に屈折率変化が
なく、境界面において反射を引き起こすことなく、かつ
屈折による導波光の広がりを受けることなくＶ溝８内に
出射される。
【００３０】さらに、Ｖ溝８内を伝搬した導波光１４
は、導波光１４に対して４５度に傾けられた反対側の斜
面９上に形成された全反射コート１０により、垂直方向
に全反射され、あらかじめ位置決めされた受光素子６の
受光面７に劣化することなく入射される。
は、導波光１４に対して４５度に傾けられた反対側の斜
面９上に形成された全反射コート１０により、垂直方向
に全反射され、あらかじめ位置決めされた受光素子６の
受光面７に劣化することなく入射される。
【００３１】このように、本発明の光導波路と受光素子
の結合構造は、導波光の伝搬光路が同一の屈折率である
ため、反射による戻り光が発生することもなく、かつ導
波光の拡がりによる結合損失もない。
の結合構造は、導波光の伝搬光路が同一の屈折率である
ため、反射による戻り光が発生することもなく、かつ導
波光の拡がりによる結合損失もない。
【００３２】図２は、本発明の第２の実施例を示す断面
図である。図１に示される構成と基本的には同じである
が、本実施例では、屈折率整合剤１１の表面が凸形状に
形成されており、凸形状部２６を有している。このよう
な凸形状部２６は、屈折率整合剤を塗布するだけで表面
張力により容易に形成することができる。また、その曲
率は、屈折率整合剤の粘性により調整することができ
る。
図である。図１に示される構成と基本的には同じである
が、本実施例では、屈折率整合剤１１の表面が凸形状に
形成されており、凸形状部２６を有している。このよう
な凸形状部２６は、屈折率整合剤を塗布するだけで表面
張力により容易に形成することができる。また、その曲
率は、屈折率整合剤の粘性により調整することができ
る。
【００３３】本実施例では、全反射コート１０において
垂直方向に反射された導波光１３は、屈折率整合剤を透
過し、凸形状部２６を経て出射される。この際、凸形状
部２６でレンズ作用により集光されて、受光素子６の受
光面に結合する。
垂直方向に反射された導波光１３は、屈折率整合剤を透
過し、凸形状部２６を経て出射される。この際、凸形状
部２６でレンズ作用により集光されて、受光素子６の受
光面に結合する。
【００３４】ここで、光導波路１の光が出射される側の
端面１２を基板表面に対して垂直にし対向する反射面を
４５度の傾斜面としているので、屈折率整合剤１１を塗
布したときに、ちょうど反射された導波光１３の光軸の
中心に上記凸形状部２６の中心が位置するようにでき
る。
端面１２を基板表面に対して垂直にし対向する反射面を
４５度の傾斜面としているので、屈折率整合剤１１を塗
布したときに、ちょうど反射された導波光１３の光軸の
中心に上記凸形状部２６の中心が位置するようにでき
る。
【００３５】
【発明の効果】第１の効果は、光導波路と受光素子の光
結合において、反射のない光結合が行えることである。
これにより、戻り光が発生することなく、低損失で、高
効率な光結合が行える。
結合において、反射のない光結合が行えることである。
これにより、戻り光が発生することなく、低損失で、高
効率な光結合が行える。
【００３６】その理由は、光導波路上のＶ溝による光結
合において、Ｖ溝から受光素子までの全光路を屈折率整
合剤により充填したことによる。
合において、Ｖ溝から受光素子までの全光路を屈折率整
合剤により充填したことによる。
【００３７】第２の効果は、光導波路と受光素子の光結
合において、構成の簡易化が行えることである。
合において、構成の簡易化が行えることである。
【００３８】その理由は、屈折率整合剤の使用により光
結合効率を図っているため、簡易な構成で実現できるこ
とによる。
結合効率を図っているため、簡易な構成で実現できるこ
とによる。
【００３９】第３の効果は、Ｖ溝の形成が容易なことに
より、生産性が良いことである。
より、生産性が良いことである。
【００４０】その理由は、屈折率整合剤の使用により、
出射側端面の角度が高精度管理を必要としないことによ
る。
出射側端面の角度が高精度管理を必要としないことによ
る。
【図１】本発明の光導波路と受光素子の結合構造の第１
の実施例を示す縦断面図である。
の実施例を示す縦断面図である。
【図２】本発明の光導波路と受光素子の結合構造の第２
の実施例を示す縦断面図である。
の実施例を示す縦断面図である。
【図３】従来の光導波路と受光素子の結合構造を示す縦
断面図である。
断面図である。
【図４】図３におけるＡ部の詳細を示す図である。
１ 光導波路 ２ 基板 ３ 下部クラッド層 ４ コア部 ５ 上部クラッド層 ６ 受光素子 ７ 受光面 ８ Ｖ溝 ９ 反射側斜面 １０ 全反射コート １１ 屈折率整合剤 １２ 出射側端面 １３ 導波光 １４ 導波光 １４′ 導波光 １５ 光導波路 １６ 基板 １７ 下部クラッド層 １８ コア部 １９ 上部クラッド層 ２０ 光導波路端面 ２１ 全反射コート ２２ 導波光 ２３ 受光素子 ２４ 導波光 ２５ 反射戻り光 ２６ 凸形状部
Claims (5)
- 【請求項１】 基板中に形成された光導波路と、 受光素子とを備え、 前記光導波路は、第１の壁面が前記光導波路に対して垂
直であり、第２の壁面が前記基板の表面に対して傾斜し
該第２の壁面に光を反射する反射膜が形成された溝が形
成され、 前記受光素子は、前記溝の上部に配置され、 前記溝には、前記光導波路のコアとほぼ同じ屈折率を有
する屈折率整合剤が充填されており、 前記光導波路の前記第１の壁面から出射された光が、前
記反射膜で反射して前記受光素子に光学的に結合するこ
とを特徴とする光導波路と受光素子の結合構造。 - 【請求項２】 前記基板は、シリコン基板であって、 前記光導波路は、石英導波路であることを特徴とする請
求項１記載の光導波路と受光素子の結合構造。 - 【請求項３】 前記光導波路は、 前記基板表面に配置された光ファイバであることを特徴
とする請求項１記載の光導波路と受光素子の結合構造。 - 【請求項４】 前記屈折率整合剤は、 前記溝の開口部において凸形状を有していることを特徴
とする請求項１または請求項２または請求項３のいずれ
かの請求項に記載の光導波路と受光素子の結合構造。 - 【請求項５】 前記反射膜は、 金属薄膜であることを特徴とする請求項４記載の光導波
路と受光素子の結合構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23601796A JP2985791B2 (ja) | 1996-09-06 | 1996-09-06 | 光導波路と受光素子の結合構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23601796A JP2985791B2 (ja) | 1996-09-06 | 1996-09-06 | 光導波路と受光素子の結合構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1082925A true JPH1082925A (ja) | 1998-03-31 |
| JP2985791B2 JP2985791B2 (ja) | 1999-12-06 |
Family
ID=16994546
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23601796A Expired - Lifetime JP2985791B2 (ja) | 1996-09-06 | 1996-09-06 | 光導波路と受光素子の結合構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2985791B2 (ja) |
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| JP7027276B2 (ja) | 2018-07-26 | 2022-03-01 | 京セラ株式会社 | 光導波路および光回路基板 |
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- 1996-09-06 JP JP23601796A patent/JP2985791B2/ja not_active Expired - Lifetime
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|---|---|
| JP2985791B2 (ja) | 1999-12-06 |
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