JPH1082832A - ディジタルlsi試験装置 - Google Patents

ディジタルlsi試験装置

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JPH1082832A
JPH1082832A JP8237570A JP23757096A JPH1082832A JP H1082832 A JPH1082832 A JP H1082832A JP 8237570 A JP8237570 A JP 8237570A JP 23757096 A JP23757096 A JP 23757096A JP H1082832 A JPH1082832 A JP H1082832A
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JP
Japan
Prior art keywords
current
buffer circuit
conversion voltage
circuit
diode
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Application number
JP8237570A
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English (en)
Inventor
Makoto Imamura
誠 今村
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Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 直流特性試験機能を有するディジタルLSI
試験装置を実現する。 【解決手段】 ディジタルファンクションを試験するデ
ィジタルLSI試験装置において、電流検出回路を有し
転換電圧が入力される転換電圧バッファ回路と、この転
換電圧バッファ回路の出力電圧が接続されその出力が被
試験LSIに接続されるダイオードブリッジと、このダ
イオードブリッジに定電流を流入及び流出させる2つの
定電流源と、この2つの定電流源の出力電流を制御する
スイッチ回路と、転換電圧バッファ回路の電流検出回路
の出力電流を測定する測定回路とを設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ディジタルファン
クションを試験するディジタルLSI試験装置に関し、
特に直流特性試験機能を有するディジタルLSI試験装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のディジタルLSI試験装置は被試
験LSI(以下、DUT(Device under test)と呼
ぶ。)に対して試験信号を印加してこの試験信号に対し
てDUTが正常に動作をするか否かを試験するものであ
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のディジ
タルLSI試験装置はディジタルファンクションを試験
する装置なのでDUTのオープン/ショートや直流特性
等を試験することはできない。このため、別途直流特性
試験装置を用いて試験するか、若しくは、直流特性試験
モジュールを追加して試験する必要があった。従って本
発明が解決しようとする課題は、直流特性試験機能を有
するディジタルLSI試験装置を実現することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】このような課題を達成す
るために、本発明の第1では、ディジタルファンクショ
ンを試験するディジタルLSI試験装置において、電流
検出回路を有し転換電圧が入力される転換電圧バッファ
回路と、この転換電圧バッファ回路の出力電圧が接続さ
れその出力が被試験LSIに接続されるダイオードブリ
ッジと、このダイオードブリッジに定電流を流入及び流
出させる2つの定電流源と、この2つの定電流源の出力
電流を制御するスイッチ回路と、前記転換電圧バッファ
回路の前記電流検出回路の出力電流を測定する測定回路
とを備えたことを特徴とするものである。
【0005】また、本発明の第2では、本発明の第1に
おいて、転換電圧が入力されるバッファ回路と、このバ
ッファ回路を構成する出力トランジスタのコレクタに接
続され前記出力トランジスタのエミッタ電流を検出電流
として出力する電流ミラー回路とから構成される前記転
換電圧バッファ回路を備えたことを特徴とするものであ
る。
【0006】
【発明の実施の形態】以下本発明を図面を用いて詳細に
説明する。図1は本発明に係るディジタルLSI試験装
置の一実施例を示す構成ブロック図である。
【0007】図1において1は転換電圧バッファ回路
(以下、単にバッファ回路と呼ぶ。)、2,3,4及び
5はダイオード、6及び9は定電流源、7及び8はスイ
ッチ回路、10はDUT、11は測定回路、100は転
換電圧、101はDUT10へ流入する電流、102は
転換電圧バッファ回路1の出力電流、103及び104
は検出電流、105は正電圧源、106負電圧源であ
る。
【0008】転換電圧100は転換電圧バッファ回路1
に入力され、転換電圧バッファ回路1の出力はダイオー
ド2のカソード及びダイオード3のアノードに接続され
る。
【0009】ダイオード2のアノードはダイオード4の
アノード及びスイッチ回路7の一端に接続され、スイッ
チ回路7の他端は定電流源6の一端に接続される。
【0010】ダイオード3のカソードはダイオード5の
カソード及びスイッチ回路8の一端に接続され、スイッ
チ回路8の他端は定電流源9の一端に接続される。
【0011】また、ダイオード4のカソードはダイオー
ド5のアノード及びDUT10に接続され、転換電圧バ
ッファ回路1の検出電流103及び104は測定回路1
1に接続される。さらに、定電流源6及び7の他端は正
電圧源105及び負電源106にそれぞれ接続される。
【0012】また、図2は転換電圧バッファ回路1の具
体例を示す回路図である。図2において100,102
〜106は図1と同一符号を付してあり、12及び13
は定電流源、14,15,16,17,18,19,2
0及び21はトランジスタである。
【0013】また、12〜15,18及び19はバッフ
ァ回路50を、16及び17は電流ミラー回路51を、
20及び21は電流ミラー回路52をそれぞれ構成して
いる。
【0014】転換電圧100はトランジスタ14及び1
5のベースに入力され、トランジスタ14のエミッタは
定電流源12の一端及びトランジスタ18のベースに接
続される。
【0015】トランジスタ15のエミッタは定電流源1
3の一端及びトランジスタ19のベースに接続される。
【0016】また、トランジスタ18のコレクタはトラ
ンジスタ16のコレクタ、トランジスタ16及び17の
ベースにそれぞれ接続され、トランジスタ19のコレク
タはトランジスタ20のコレクタ、トランジスタ20及
び21のベースにそれぞれ接続される。
【0017】トランジスタ18のエミッタはトランジス
タ19のエミッタに接続されると共に出力電流102を
出力する。
【0018】定電流源12の他端、トランジスタ15の
コレクタ、トランジスタ16及び17のエミッタは正電
圧源105にそれぞれ接続され、定電流源13の他端、
トランジスタ14のコレクタ、トランジスタ20及び2
1のエミッタは負電圧源106にそれぞれ接続される。
【0019】ここで、図1及び図2に示す実施例の動作
を説明する。定電流源6及び9には最大測定電流値以上
の出力電流”I1”及び”I2”を設定し、スイッチ回
路7及び8を「ON」にする。
【0020】このため、ダイオード2〜5は導通状態に
なり、転換電圧100が転換電圧バッファ回路1を介し
てダイオード2のカソード及びダイオード3のアノード
に接続され、DUT10の端子電圧は転換電圧100と
同一電位となる。
【0021】従って、ダイオード2〜5で構成されるダ
イオードブリッジに流れ込む電流の総和は「0」にな
る。例えば、電流101及び102を”Idut”及
び”Ibuf”とすれば、 I1−I2+Ibuf−Idut=0 (1) となり、”Idut”を移項することにより、 Idut=I1−I2+Ibuf (2) となる。
【0022】ここで、電流ミラー回路51及び52の検
出電流103及び104を”Io1”及び”Io2”と
し、これらの電流が出力トランジスタであるトランジス
タ18及び19のエミッタ電流と等しいとすると式
(2)は、 Idut=I1−I2+Ibuf =I1−I2+Io1−Io2 (3) となる。
【0023】すなわち、予め設定した既知の電流値”I
1”及び”I2”と転換電圧バッファ回路1の検出電流
に基づきDUT10に流れ込む電流”Idut”を求め
ることが可能になる。
【0024】この結果、転換電圧バッファ回路1に電流
検出回路として電流ミラー回路51及び52を設けるこ
とにより、直流特性試験を行うことが可能になる。
【0025】なお、図1及び図2ではDUT10の入力バ
イアス電流の測定を説明したが、端子のオープン/ショ
ートや他の直流特性試験等を行うことができる。
【0026】また、図2においてはバッファ回路50を
例示したがバッファ回路として演算増幅器等を用いても
良い。
【0027】また、図2において電流検出回路として電
流ミラー回路51及び52を用いているがこれに限るわ
けではない。電流ミラー回路51及び52の電流比も任
意で良く、低消費電力化のためには検出電流103及び
104を出力電流102の”1/n”にするのが適当で
ある。
【0028】
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明によれば次のような効果がある。転換電圧バッフ
ァ回路に電流検出回路として電流ミラー回路を設けるこ
とにより、直流特性試験を行うことが可能なディジタル
LSI試験装置が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るディジタルLSI試験装置の一実
施例を示す構成ブロック図である。
【図2】転換電圧バッファ回路の具体例を示す回路図で
ある。
【符号の説明】
1 転換電圧バッファ回路 2,3,4,5 ダイオード 6,9,12,13 定電流源 7,8 スイッチ回路 10 DUT 11 測定回路 14,15,16,17,18,19,20,21 ト
ランジスタ 50 バッファ回路 51,52 電流ミラー回路 100 転換電圧 101,102 電流 103,104 検出電流 105 正電圧源 106 負電圧源

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ディジタルファンクションを試験するディ
    ジタルLSI試験装置において、 電流検出回路を有し転換電圧が入力される転換電圧バッ
    ファ回路と、 この転換電圧バッファ回路の出力電圧が接続されその出
    力が被試験LSIに接続されるダイオードブリッジと、 このダイオードブリッジに定電流を流入及び流出させる
    2つの定電流源と、 この2つの定電流源の出力電流を制御するスイッチ回路
    と、 前記転換電圧バッファ回路の前記電流検出回路の出力電
    流を測定する測定回路とを備えたことを特徴とするディ
    ジタルLSI試験装置。
  2. 【請求項2】転換電圧が入力されるバッファ回路と、こ
    のバッファ回路を構成する出力トランジスタのコレクタ
    に接続され前記出力トランジスタのエミッタ電流を検出
    電流として出力する電流ミラー回路とから構成される前
    記転換電圧バッファ回路を備えたことを特徴とする特許
    請求の範囲請求項1記載のディジタルLSI試験装置。
JP8237570A 1996-09-09 1996-09-09 ディジタルlsi試験装置 Pending JPH1082832A (ja)

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JP8237570A JPH1082832A (ja) 1996-09-09 1996-09-09 ディジタルlsi試験装置

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