JPH1082661A - 反射型のオプティカルエンコーダ - Google Patents
反射型のオプティカルエンコーダInfo
- Publication number
- JPH1082661A JPH1082661A JP23901596A JP23901596A JPH1082661A JP H1082661 A JPH1082661 A JP H1082661A JP 23901596 A JP23901596 A JP 23901596A JP 23901596 A JP23901596 A JP 23901596A JP H1082661 A JPH1082661 A JP H1082661A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- encoder
- reflected
- reflection pattern
- shielding film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
- H03M1/00—Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
- H03M1/12—Analogue/digital converters
- H03M1/22—Analogue/digital converters pattern-reading type
- H03M1/24—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip
- H03M1/28—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding
- H03M1/30—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding incremental
- H03M1/301—Constructional details of parts relevant to the encoding mechanism, e.g. pattern carriers, pattern sensors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
- G01P3/42—Devices characterised by the use of electric or magnetic means
- G01P3/44—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed
- G01P3/48—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage
- G01P3/481—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals
- G01P3/486—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals delivered by photo-electric detectors
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 エンコーダ用光反射パターン以外の部分から
の反射光の発生を抑制する。 【解決手段】 オプティカルエンコーダの回転ディスク
１は、透明基板２を備え、この透明基板２の表面２ａに
は、金属蒸着膜３が形成されている。この金属蒸着膜３
の表面には、感光剤からなる遮光膜４が形成され、この
遮光膜４にはエッチングが施されて、露出した金属蒸着
膜３の部分によって規定されるエンコーダ用光反射パタ
ーン３１が形成されている。発光素子の側から光が回転
ディスク１の表面に照射すると、エンコーダ用光反射パ
ターン３１に照射した光のみが受光素子の側に反射さ
れ、それ以外の部分を照射した光は感光剤からなる遮光
膜４に吸収され、受光素子の側に反射してしまう光成分
は殆ど無い。従って、エンコーダ用光反射パターン３１
以外の部分で反射した光によって、検出信号のＳ／Ｎ比
が低下してしまうという弊害、周囲の光学素子等に光が
侵入して悪影響が発生する等の弊害を回避できる。
の反射光の発生を抑制する。 【解決手段】 オプティカルエンコーダの回転ディスク
１は、透明基板２を備え、この透明基板２の表面２ａに
は、金属蒸着膜３が形成されている。この金属蒸着膜３
の表面には、感光剤からなる遮光膜４が形成され、この
遮光膜４にはエッチングが施されて、露出した金属蒸着
膜３の部分によって規定されるエンコーダ用光反射パタ
ーン３１が形成されている。発光素子の側から光が回転
ディスク１の表面に照射すると、エンコーダ用光反射パ
ターン３１に照射した光のみが受光素子の側に反射さ
れ、それ以外の部分を照射した光は感光剤からなる遮光
膜４に吸収され、受光素子の側に反射してしまう光成分
は殆ど無い。従って、エンコーダ用光反射パターン３１
以外の部分で反射した光によって、検出信号のＳ／Ｎ比
が低下してしまうという弊害、周囲の光学素子等に光が
侵入して悪影響が発生する等の弊害を回避できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はモータ回転軸の回転
位置や回転速度等、直線往復部材の移動位置や移動速度
等を検出するために用いるオプティカルエンコーダに関
するものである。更に詳しくは、本発明は、透明基板の
表面にエンコーダ用光反射パターンが形成された構成の
反射板を備えた反射型のオプティカルエンコーダに関す
るものである。
位置や回転速度等、直線往復部材の移動位置や移動速度
等を検出するために用いるオプティカルエンコーダに関
するものである。更に詳しくは、本発明は、透明基板の
表面にエンコーダ用光反射パターンが形成された構成の
反射板を備えた反射型のオプティカルエンコーダに関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】反射型のオプティカルエンコーダとして
は、回転軸の回転位置、回転速度等を検出するために、
この回転軸に取付けられる回転ディスクを備えたものが
知られている。回転ディスクはその表面にエンコーダ用
光反射パターンが一定のピッチで円周方向に向けて形成
されている。このエンコーダ用光反射パターンに向けて
固定した位置にある発光素子から光を照射し、反射光を
固定スリット板のスリットを介して受光素子によって受
光することにより、回転ディスクの回転状態に応じた出
力信号が得られるようになっている。
は、回転軸の回転位置、回転速度等を検出するために、
この回転軸に取付けられる回転ディスクを備えたものが
知られている。回転ディスクはその表面にエンコーダ用
光反射パターンが一定のピッチで円周方向に向けて形成
されている。このエンコーダ用光反射パターンに向けて
固定した位置にある発光素子から光を照射し、反射光を
固定スリット板のスリットを介して受光素子によって受
光することにより、回転ディスクの回転状態に応じた出
力信号が得られるようになっている。
【０００３】回転ディスクとしては、図２に示すよう
に、透明なガラス製円板１０の表面１０ａに、クロム等
の金属蒸着膜を一定のパターンで形成することにより構
成したエンコーダ用光反射パターン１１を備えたものが
知られている。
に、透明なガラス製円板１０の表面１０ａに、クロム等
の金属蒸着膜を一定のパターンで形成することにより構
成したエンコーダ用光反射パターン１１を備えたものが
知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】図２（Ｂ）に示すよう
に、この構成の回転ディスム１０に光を照射すると、エ
ンコーダ用光反射パターン１１に当たった光は反射され
て受光素子の側に戻る。これに対して、それ以外の回転
ディスクの表面１０ａに当たった光はディスクを透過し
て受光素子の側には戻らない。
に、この構成の回転ディスム１０に光を照射すると、エ
ンコーダ用光反射パターン１１に当たった光は反射され
て受光素子の側に戻る。これに対して、それ以外の回転
ディスクの表面１０ａに当たった光はディスクを透過し
て受光素子の側には戻らない。
【０００５】しかしながら、ディスクのガラス表面１０
ａに入射した光は全て透過するのではなく、その入射角
度等に応じて部分的に反射されて受光素子の側に反射さ
れてしまう光成分が存在する。このような反射光が受光
素子によって受光されてしまうと、その検出信号のＳ／
Ｎ比が低下して、精度の高い検出を行うことが出来なく
なるおそれもある。
ａに入射した光は全て透過するのではなく、その入射角
度等に応じて部分的に反射されて受光素子の側に反射さ
れてしまう光成分が存在する。このような反射光が受光
素子によって受光されてしまうと、その検出信号のＳ／
Ｎ比が低下して、精度の高い検出を行うことが出来なく
なるおそれもある。
【０００６】また、ガラス表面１０ａで反射した光が周
囲の光学素子等に侵入して、それらに悪影響を及ぼすお
それもある。
囲の光学素子等に侵入して、それらに悪影響を及ぼすお
それもある。
【０００７】本発明の課題は、上記の点に鑑みて、この
ような不所望な光反射を抑制可能な構成を備えた反射型
のオプティカルエンコーダを実現することにある。
ような不所望な光反射を抑制可能な構成を備えた反射型
のオプティカルエンコーダを実現することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明は、透明基板の表面にエンコーダ用光反射
パターンが形成された構成の反射板を備えた反射型のオ
プティカルエンコーダにおいて、前記透明基板の表面に
金属蒸着膜を形成し、この金属蒸着膜の表面に感光剤か
らなる遮光膜を形成し、この遮光膜をエッチングするこ
とにより前記金属蒸着膜の露出部分により規定される前
記エンコーダ用光反射パターンを形成するようにしてい
る。
めに、本発明は、透明基板の表面にエンコーダ用光反射
パターンが形成された構成の反射板を備えた反射型のオ
プティカルエンコーダにおいて、前記透明基板の表面に
金属蒸着膜を形成し、この金属蒸着膜の表面に感光剤か
らなる遮光膜を形成し、この遮光膜をエッチングするこ
とにより前記金属蒸着膜の露出部分により規定される前
記エンコーダ用光反射パターンを形成するようにしてい
る。
【０００９】このように構成した本発明のオプティカル
エンコーダでは、透明基板の表面におけるエンコーダ用
光反射パターン以外の部分は感光剤からなる遮光膜によ
って覆われている。従って、この部分を照射した光は遮
光膜によって吸収されて、受光素子の側に反射すること
はない。従って、エンコーダ用光反射パターン以外の部
分の反射光が発生して、検出精度の低下、周囲の光学素
子に悪影響を与える等といった弊害を回避できる。
エンコーダでは、透明基板の表面におけるエンコーダ用
光反射パターン以外の部分は感光剤からなる遮光膜によ
って覆われている。従って、この部分を照射した光は遮
光膜によって吸収されて、受光素子の側に反射すること
はない。従って、エンコーダ用光反射パターン以外の部
分の反射光が発生して、検出精度の低下、周囲の光学素
子に悪影響を与える等といった弊害を回避できる。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１には、本発明を適用した反射
型のオプティカルエンコーダに使用する回転ディスクを
示してある。なお、反射型のオプティカルエンコーダの
全体構成は、一般的に使用されているロータリー型のも
のと同様であるので、それらの説明および図示を省略す
る。
型のオプティカルエンコーダに使用する回転ディスクを
示してある。なお、反射型のオプティカルエンコーダの
全体構成は、一般的に使用されているロータリー型のも
のと同様であるので、それらの説明および図示を省略す
る。
【００１１】図１に示すように、本例の回転ディスク１
は、透明なガラス製あるいは透明なプラスチック製の円
板状の透明基板２を備えている。この透明基板２の表面
２ａには、クロムからなる金属蒸着膜３が形成されてい
る。この金属蒸着膜３の表面には、感光剤ならなる遮光
膜４が形成され、この遮光膜４にはエッチングが施され
て、露出した金属蒸着膜３の部分によって規定されるエ
ンコーダ用光反射パターン３１が形成されている。
は、透明なガラス製あるいは透明なプラスチック製の円
板状の透明基板２を備えている。この透明基板２の表面
２ａには、クロムからなる金属蒸着膜３が形成されてい
る。この金属蒸着膜３の表面には、感光剤ならなる遮光
膜４が形成され、この遮光膜４にはエッチングが施され
て、露出した金属蒸着膜３の部分によって規定されるエ
ンコーダ用光反射パターン３１が形成されている。
【００１２】このように構成した本例の回転ディスク１
を使用した反射型のオプティカルエンコーダにおいて
は、図１（Ｂ）に示すように、発光素子（図示せず）の
側から光が回転ディスク１の表面に照射すると、エンコ
ーダ用光反射パターン３１に照射した光のみが受光素子
（図示せず）の側に反射される。それ以外の部分を照射
した光は感光剤からなる遮光膜４に吸収され、受光素子
の側に反射してしまう光成分は殆ど無い。従って、エン
コーダ用光反射パターン３１以外の部分で反射した光に
よって、検出信号のＳ／Ｎ比が低下してしまうという弊
害、周囲の光学素子等に光が侵入して悪影響が発生する
等の弊害を回避できる。
を使用した反射型のオプティカルエンコーダにおいて
は、図１（Ｂ）に示すように、発光素子（図示せず）の
側から光が回転ディスク１の表面に照射すると、エンコ
ーダ用光反射パターン３１に照射した光のみが受光素子
（図示せず）の側に反射される。それ以外の部分を照射
した光は感光剤からなる遮光膜４に吸収され、受光素子
の側に反射してしまう光成分は殆ど無い。従って、エン
コーダ用光反射パターン３１以外の部分で反射した光に
よって、検出信号のＳ／Ｎ比が低下してしまうという弊
害、周囲の光学素子等に光が侵入して悪影響が発生する
等の弊害を回避できる。
【００１３】なお、本例ではガラス基板を用いている
が、透明なプラスチック基板を用いてもよい。また、金
属蒸着膜としてはクロムの他の金属膜であってもよい。
さらには、エンコーダ用光パターンはどのようなパター
ンであってもよい。
が、透明なプラスチック基板を用いてもよい。また、金
属蒸着膜としてはクロムの他の金属膜であってもよい。
さらには、エンコーダ用光パターンはどのようなパター
ンであってもよい。
【００１４】一方、本発明は、リニア型のオプティカル
エンコーダにも適用できる。この場合には、直線往復移
動する移動反射板の表面に、上記構成のエンコーダ用光
反射パターンを形成すればよい。
エンコーダにも適用できる。この場合には、直線往復移
動する移動反射板の表面に、上記構成のエンコーダ用光
反射パターンを形成すればよい。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
エンコーダ用光反射パターン以外の部分に照射した光が
反射することを抑制できるので、このような反射光成分
による弊害を確実に回避できる。
エンコーダ用光反射パターン以外の部分に照射した光が
反射することを抑制できるので、このような反射光成分
による弊害を確実に回避できる。
【図１】本発明を適用したオプティカルエンコーダの回
転ディスクを示す部分平面図および断面図である。
転ディスクを示す部分平面図および断面図である。
【図２】従来のオプティカルエンコーダの回転ディスク
を示す部分平面図および断面図である。
を示す部分平面図および断面図である。
１ 回転ディスク ２ 透明基板 ３ 金属蒸着膜 ３１ エンコーダ用光反射パターン ４ 感光剤からなる遮光膜
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成８年１１月１８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】図２（Ｂ）に示すよう
に、この構成の回転ディスク１０に光を照射すると、エ
ンコーダ用光反射パターン１１に当たった光は反射され
て受光素子の側に戻る。これに対して、それ以外の回転
ディスクの表面１０ａに当たった光はディスクを透過し
て受光素子の側には戻らない。
に、この構成の回転ディスク１０に光を照射すると、エ
ンコーダ用光反射パターン１１に当たった光は反射され
て受光素子の側に戻る。これに対して、それ以外の回転
ディスクの表面１０ａに当たった光はディスクを透過し
て受光素子の側には戻らない。
Claims (2)
- 【請求項１】 透明基板の表面にエンコーダ用光反射パ
ターンが形成された構成の反射板を備えた反射型のオプ
ティカルエンコーダにおいて、前記透明基板の表面に金
属蒸着膜を形成し、この金属蒸着膜の表面に感光剤から
なる遮光膜を形成し、この遮光膜をエッチングすること
により前記金属蒸着膜の露出部分により規定される前記
エンコーダ用光反射パターンを形成したことを特徴とす
る反射型のオプティカルエンコーダ。 - 【請求項２】 請求項１に記載された構成を備えたオプ
ティカルエンコーダに用いる反射板。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23901596A JPH1082661A (ja) | 1996-09-10 | 1996-09-10 | 反射型のオプティカルエンコーダ |
| DE1997138965 DE19738965A1 (de) | 1996-09-10 | 1997-09-05 | Optischer Codierer vom Reflexionstyp |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23901596A JPH1082661A (ja) | 1996-09-10 | 1996-09-10 | 反射型のオプティカルエンコーダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1082661A true JPH1082661A (ja) | 1998-03-31 |
Family
ID=17038632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23901596A Pending JPH1082661A (ja) | 1996-09-10 | 1996-09-10 | 反射型のオプティカルエンコーダ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1082661A (ja) |
| DE (1) | DE19738965A1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000146625A (ja) * | 1998-11-04 | 2000-05-26 | Fuji Electric Co Ltd | アブソリュートエンコーダ |
| JP2011123014A (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Mitsubishi Electric Corp | 光学式エンコーダ用スケール及びその製造方法 |
| CN110859042A (zh) * | 2018-06-26 | 2020-03-03 | 应用材料公司 | 用于测量到铁磁元件的距离的距离传感器、磁性悬浮系统和用于测量到铁磁元件的距离的方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6817528B2 (en) * | 2001-07-17 | 2004-11-16 | Honeywell International Inc. | Reflective apparatus and method for optically sensing relative torque employing Moirè fringes |
| JP2004028862A (ja) * | 2002-06-27 | 2004-01-29 | Harmonic Drive Syst Ind Co Ltd | 投影型エンコーダ |
-
1996
- 1996-09-10 JP JP23901596A patent/JPH1082661A/ja active Pending
-
1997
- 1997-09-05 DE DE1997138965 patent/DE19738965A1/de not_active Ceased
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000146625A (ja) * | 1998-11-04 | 2000-05-26 | Fuji Electric Co Ltd | アブソリュートエンコーダ |
| JP2011123014A (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Mitsubishi Electric Corp | 光学式エンコーダ用スケール及びその製造方法 |
| CN110859042A (zh) * | 2018-06-26 | 2020-03-03 | 应用材料公司 | 用于测量到铁磁元件的距离的距离传感器、磁性悬浮系统和用于测量到铁磁元件的距离的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE19738965A1 (de) | 1998-03-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040812 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040820 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050404 |