JPH1082463A - ガスケット保持具 - Google Patents
ガスケット保持具Info
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- JPH1082463A JPH1082463A JP9054358A JP5435897A JPH1082463A JP H1082463 A JPH1082463 A JP H1082463A JP 9054358 A JP9054358 A JP 9054358A JP 5435897 A JP5435897 A JP 5435897A JP H1082463 A JPH1082463 A JP H1082463A
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/02—Sealings between relatively-stationary surfaces
- F16J15/06—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces
- F16J15/061—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with positioning means
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- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Exhaust Silencers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガスケット保持具の着脱を容易にすると共
に、ガスケットの位置ずれ及び脱落を防止しすることが
できるガスケット保持具を提供する。 【解決手段】 ガスケットリテーナ１０には、直線状に
形成された第一ガスケット保持部１０ａ，及び曲線状に
形成された第二ガスケット保持部１０ｂが設けられ、ガ
スケット８は、第一ガスケット保持部１０ａの凹部１０
ｃと、第二ガスケット保持部１０ｂの凹部１０ｉ，１０
ｊとにより３点支持で保持される。ガスケットリテーナ
１０の折り曲げ部１０ｅ，１０ｆは、折り曲げられて、
流量制御弁ブロックの係止孔により保持される。
に、ガスケットの位置ずれ及び脱落を防止しすることが
できるガスケット保持具を提供する。 【解決手段】 ガスケットリテーナ１０には、直線状に
形成された第一ガスケット保持部１０ａ，及び曲線状に
形成された第二ガスケット保持部１０ｂが設けられ、ガ
スケット８は、第一ガスケット保持部１０ａの凹部１０
ｃと、第二ガスケット保持部１０ｂの凹部１０ｉ，１０
ｊとにより３点支持で保持される。ガスケットリテーナ
１０の折り曲げ部１０ｅ，１０ｆは、折り曲げられて、
流量制御弁ブロックの係止孔により保持される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガスケット保持具
に関するものであり、更に詳しくは、半導体製造装置等
の産業用製造装置で使用されるガス供給装置に用いるの
に適したガスケット保持具に関するものである。
に関するものであり、更に詳しくは、半導体製造装置等
の産業用製造装置で使用されるガス供給装置に用いるの
に適したガスケット保持具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造工程において、ホトレ
ジスト加工のエッチング等に腐食性ガスが使用されてい
る。ホトレジスト加工（ホトレジスト塗布、露光、現
像、エッチング）は、半導体製造工程において複数回繰
り返されるため、実際の半導体製造工程では、腐食ガス
を必要に応じて供給するガス供給装置が使用されてい
る。
ジスト加工のエッチング等に腐食性ガスが使用されてい
る。ホトレジスト加工（ホトレジスト塗布、露光、現
像、エッチング）は、半導体製造工程において複数回繰
り返されるため、実際の半導体製造工程では、腐食ガス
を必要に応じて供給するガス供給装置が使用されてい
る。
【０００３】一方、近年の半導体の製造工程において
は、少量の腐食性ガス等を流量で１％以下の精度で供給
すること等が必要とされており、精度の要求はさらに厳
しくなってきている。そのため高精度かつ高い応答性を
有する流量制御弁が、半導体製造装置の腐食性ガス供給
装置においても広く使用されていた。この様な高精度の
流量制御弁では、細い導管を使用しているため、内部に
残留した腐食性ガスを完全に排除することは困難を伴っ
ていた。
は、少量の腐食性ガス等を流量で１％以下の精度で供給
すること等が必要とされており、精度の要求はさらに厳
しくなってきている。そのため高精度かつ高い応答性を
有する流量制御弁が、半導体製造装置の腐食性ガス供給
装置においても広く使用されていた。この様な高精度の
流量制御弁では、細い導管を使用しているため、内部に
残留した腐食性ガスを完全に排除することは困難を伴っ
ていた。
【０００４】しかし、前記流量制御弁の内部の導管に腐
食性ガスを残留させておくと、導管の内部が残留した腐
食性ガスにより腐食され、流量質量センサの精度が悪く
なり、腐食性ガスを高精度で供給することができず、半
導体製造工程の歩留まりを著しく悪化させる原因となっ
ていた。
食性ガスを残留させておくと、導管の内部が残留した腐
食性ガスにより腐食され、流量質量センサの精度が悪く
なり、腐食性ガスを高精度で供給することができず、半
導体製造工程の歩留まりを著しく悪化させる原因となっ
ていた。
【０００５】また、一度腐食性ガスを供給した後に導管
内に腐食性ガスを残留したままで、次回の腐食性ガスの
供給時まで放置すると、残留した腐食性ガスにより導管
内部の金属等が腐食され、腐食性ガスを次に供給すると
きに、腐食性ガスにパーティクル等の不純物が混入し、
半導体製品に悪影響を与えることがあった。
内に腐食性ガスを残留したままで、次回の腐食性ガスの
供給時まで放置すると、残留した腐食性ガスにより導管
内部の金属等が腐食され、腐食性ガスを次に供給すると
きに、腐食性ガスにパーティクル等の不純物が混入し、
半導体製品に悪影響を与えることがあった。
【０００６】そこで、上記の問題点を解決するために、
本出願人は特開平６−２４１４００号公報に開示のガス
供給装置を考案した。このガス供給装置では、図１７に
示すように、腐食性ガスＦａの流れを遮断する入力弁１
０２及び出力弁１０３と、それらの中間にあって腐食性
ガスＦａの流量を制御する流量制御弁１０５と、流量制
御弁１０５に置換ガスを供給するパージ弁１０６と、流
量制御弁１０５内の腐食性ガスＦａを減圧する図示外の
エゼクタに接続するエゼクタ弁１０７とがユニット化さ
れ、流量制御弁１０５は流量制御弁ブロック１０８，１
０９によって方向変換ブロック１１０，１１１上に上方
向からネジ１１２で締結されている。ここで、腐食性ガ
スＦａの漏れ防止のため流量制御弁ブロック１０８，１
０９と方向変換ブロック１１０，１１１との間には、ガ
スケット１１３とガスケットリテーナ１１４が各々使用
されている。ガスケットリテーナ１１４は、長手方向の
両端が下側に折り曲げられて脚部を形成しており、その
一対の脚部により、方向変換ブロック１１０，１１１の
外側を挟んで固定される。ガス供給装置を上記の構成と
することにより、腐食性ガスＦａを効率良く除去するこ
とができ、また、流量制御弁１０５をガス供給装置に対
して、機密性高く維持して上方から組み付けることがで
きる。
本出願人は特開平６−２４１４００号公報に開示のガス
供給装置を考案した。このガス供給装置では、図１７に
示すように、腐食性ガスＦａの流れを遮断する入力弁１
０２及び出力弁１０３と、それらの中間にあって腐食性
ガスＦａの流量を制御する流量制御弁１０５と、流量制
御弁１０５に置換ガスを供給するパージ弁１０６と、流
量制御弁１０５内の腐食性ガスＦａを減圧する図示外の
エゼクタに接続するエゼクタ弁１０７とがユニット化さ
れ、流量制御弁１０５は流量制御弁ブロック１０８，１
０９によって方向変換ブロック１１０，１１１上に上方
向からネジ１１２で締結されている。ここで、腐食性ガ
スＦａの漏れ防止のため流量制御弁ブロック１０８，１
０９と方向変換ブロック１１０，１１１との間には、ガ
スケット１１３とガスケットリテーナ１１４が各々使用
されている。ガスケットリテーナ１１４は、長手方向の
両端が下側に折り曲げられて脚部を形成しており、その
一対の脚部により、方向変換ブロック１１０，１１１の
外側を挟んで固定される。ガス供給装置を上記の構成と
することにより、腐食性ガスＦａを効率良く除去するこ
とができ、また、流量制御弁１０５をガス供給装置に対
して、機密性高く維持して上方から組み付けることがで
きる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ガス供給装置には、次のような問題があった。 （１）ガスケットリテーナ１１４の位置決めを、方向変
換ブロック１１０，１１１への取付ボルトで行っている
ため、ガスケット１１３が正確に連通孔と位置合わせで
きない恐れがあった。また、ガスケット１１３が、方向
変換ブロック１１０，１１１から位置ずれしたり、脱落
し易いという問題があった。 （２）また、ガスケット１１３が２点支持によって、ガ
スケットリテーナ１１４に保持されているために、ガス
ケット１１３がガスケットリテーナ１１４から脱落し易
いという問題もあった。
ガス供給装置には、次のような問題があった。 （１）ガスケットリテーナ１１４の位置決めを、方向変
換ブロック１１０，１１１への取付ボルトで行っている
ため、ガスケット１１３が正確に連通孔と位置合わせで
きない恐れがあった。また、ガスケット１１３が、方向
変換ブロック１１０，１１１から位置ずれしたり、脱落
し易いという問題があった。 （２）また、ガスケット１１３が２点支持によって、ガ
スケットリテーナ１１４に保持されているために、ガス
ケット１１３がガスケットリテーナ１１４から脱落し易
いという問題もあった。
【０００８】本発明は、上記した問題点を解決するもの
であり、ガスケット保持具の着脱を容易にすると共に、
流量制御弁の着脱時に、ガスケット保持具の位置ずれ及
び脱落を防止し、また、ガスケットがガスケット保持具
から脱落することを防止できるガスケット保持具を提供
することを目的とする。
であり、ガスケット保持具の着脱を容易にすると共に、
流量制御弁の着脱時に、ガスケット保持具の位置ずれ及
び脱落を防止し、また、ガスケットがガスケット保持具
から脱落することを防止できるガスケット保持具を提供
することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、請求項１に記載の発明のガスケット保持具は、流体
が通過する第一の孔が形成された基部ブロックと、該基
部ブロックに着脱可能に載置され前記流体が通過する第
二の孔が形成された着脱ブロックとを、前記の第一の孔
と前記第二の孔の位置合わせをして前記着脱ブロックを
前記基部ブロックに組み付けるときに、前記基部ブロッ
クと前記着脱ブロックとのシール部材として使用される
ガスケットを保持するガスケット保持具において、ドー
ナツ状で外周面に開口部を有するパイプにより形成され
該パイプ内にコイルばねが装着された前記ガスケットの
開口部を外側から挟んで定位置に保持するガスケット保
持部と、前記着脱ブロックに係止される係止部とを有し
ている。
に、請求項１に記載の発明のガスケット保持具は、流体
が通過する第一の孔が形成された基部ブロックと、該基
部ブロックに着脱可能に載置され前記流体が通過する第
二の孔が形成された着脱ブロックとを、前記の第一の孔
と前記第二の孔の位置合わせをして前記着脱ブロックを
前記基部ブロックに組み付けるときに、前記基部ブロッ
クと前記着脱ブロックとのシール部材として使用される
ガスケットを保持するガスケット保持具において、ドー
ナツ状で外周面に開口部を有するパイプにより形成され
該パイプ内にコイルばねが装着された前記ガスケットの
開口部を外側から挟んで定位置に保持するガスケット保
持部と、前記着脱ブロックに係止される係止部とを有し
ている。
【００１０】この構成により、ガスケット保持具のガス
ケット保持部によりガスケットが保持され、ガスケット
保持具は係止部によって着脱ブロックに係止されて脱落
が防止される。
ケット保持部によりガスケットが保持され、ガスケット
保持具は係止部によって着脱ブロックに係止されて脱落
が防止される。
【００１１】また、請求項２に記載の発明のガスケット
保持具では、上記の発明の構成に加えて、前記ガスケッ
ト保持部が、３点支持又は４点支持により前記ガスケッ
トを保持するように構成されている。
保持具では、上記の発明の構成に加えて、前記ガスケッ
ト保持部が、３点支持又は４点支持により前記ガスケッ
トを保持するように構成されている。
【００１２】この構成により、ガスケットが確実にガス
ケット保持部に保持され、ガスケット保持具から脱落し
にくくなる。
ケット保持部に保持され、ガスケット保持具から脱落し
にくくなる。
【００１３】さらに、請求項３に記載の発明のガスケッ
ト保持具では、請求項１又は２の発明の構成に加え、前
記着脱ブロックには前記係止部が挿入される係止孔が設
けられ、前記係止部は前記ガスケット保持具の一部分を
折り曲げて形成されている。この構成により、係止部が
ガスケット保持具の一部を折り曲げるだけで形成でき、
また、係止部が着脱ブロックの係止孔に確実に係止さ
れ、ガスケット保持具の係止が確実になる。
ト保持具では、請求項１又は２の発明の構成に加え、前
記着脱ブロックには前記係止部が挿入される係止孔が設
けられ、前記係止部は前記ガスケット保持具の一部分を
折り曲げて形成されている。この構成により、係止部が
ガスケット保持具の一部を折り曲げるだけで形成でき、
また、係止部が着脱ブロックの係止孔に確実に係止さ
れ、ガスケット保持具の係止が確実になる。
【００１４】また、請求項４に記載の発明のガスケット
保持具では、請求項１乃至３の何れかに記載の発明の構
成に加え、前記着脱ブロックには、前記第一の孔を挟む
ように複数の係止孔が設けられ、前記係止部も前記第二
の孔を挟むように前記係止孔に対向する位置に複数設け
られている。この構成により、保持具の位置ずれ及び脱
落防止が確実にできる。
保持具では、請求項１乃至３の何れかに記載の発明の構
成に加え、前記着脱ブロックには、前記第一の孔を挟む
ように複数の係止孔が設けられ、前記係止部も前記第二
の孔を挟むように前記係止孔に対向する位置に複数設け
られている。この構成により、保持具の位置ずれ及び脱
落防止が確実にできる。
【００１５】また、請求項５に記載の発明のガスケット
保持具では、前記複数の係止部が一直線上にあり、その
一直線上には空間がなく、前記係止部に係止するための
力が加わったときに、ガスケット保持具が変形しないこ
とを特徴とする。これにより、ガスケット保持具を着脱
ブロックの係止孔に装着したときに、ガスケット保持具
が変形することがないので、ガスケットを確実に保持す
ることができ、位置決め精度も正確に維持できる。
保持具では、前記複数の係止部が一直線上にあり、その
一直線上には空間がなく、前記係止部に係止するための
力が加わったときに、ガスケット保持具が変形しないこ
とを特徴とする。これにより、ガスケット保持具を着脱
ブロックの係止孔に装着したときに、ガスケット保持具
が変形することがないので、ガスケットを確実に保持す
ることができ、位置決め精度も正確に維持できる。
【００１６】さらに、請求項６に記載のガスケット保持
具では、請求項１乃至４の何れかの構成に加え、供給ガ
スの搬送管路上に設けられ該供給ガスの流れを遮断する
第一開閉弁及び第二開閉弁と、該第一及び第二開閉弁の
中間に設けられ該供給ガスの流量を制御する流量制御弁
と、該流量制御弁に置換ガスを供給する置換ガス供給手
段と、該流量制御弁内の供給ガスを減圧する排気手段
と、前記第一開閉弁と前記置換ガス供給手段と前記排気
手段とが載置される第一の基部ブロックと、前記第二開
閉弁が載置される第二の基部ブロックとを有し、前記第
一及び第二開閉弁を遮断した後、該流量制御弁内に残留
する供給ガスを置換ガスに置換する残留ガス置換装置を
備えたガス供給装置に、前記流量制御弁が第一の基部ブ
ロック及び前記第二の基部ブロックに対して上方向から
ネジ締結されるときに、前記ガスケット保持具は前記流
量制御弁と前記第一の基部ブロック間、及び前記流量制
御弁と前記第二の基部ブロック間に各々使用されること
を特徴とし、かつ、ガスケット保持具のガスケット保持
部には凹部が形成されていることを特徴としている。
具では、請求項１乃至４の何れかの構成に加え、供給ガ
スの搬送管路上に設けられ該供給ガスの流れを遮断する
第一開閉弁及び第二開閉弁と、該第一及び第二開閉弁の
中間に設けられ該供給ガスの流量を制御する流量制御弁
と、該流量制御弁に置換ガスを供給する置換ガス供給手
段と、該流量制御弁内の供給ガスを減圧する排気手段
と、前記第一開閉弁と前記置換ガス供給手段と前記排気
手段とが載置される第一の基部ブロックと、前記第二開
閉弁が載置される第二の基部ブロックとを有し、前記第
一及び第二開閉弁を遮断した後、該流量制御弁内に残留
する供給ガスを置換ガスに置換する残留ガス置換装置を
備えたガス供給装置に、前記流量制御弁が第一の基部ブ
ロック及び前記第二の基部ブロックに対して上方向から
ネジ締結されるときに、前記ガスケット保持具は前記流
量制御弁と前記第一の基部ブロック間、及び前記流量制
御弁と前記第二の基部ブロック間に各々使用されること
を特徴とし、かつ、ガスケット保持具のガスケット保持
部には凹部が形成されていることを特徴としている。
【００１７】この構成により、本発明のガスケット保持
具をガス供給装置に使用したときに、流量制御弁をガス
供給装置から着脱する場合には、流量制御弁はユニット
に対して上方向にネジを外すだけで容易に取り外すこと
ができ、また、新しい流量制御弁を取り付けるときに、
第一及び第二の基部ブロックと流量制御弁との間に使用
する新品のガスケットは、ガスケット保持具のガスケッ
ト保持部により開口部で挟まれて保持される。このと
き、ガスケット保持具は、弾性を有しており、ガスケッ
トをしっかりと保持している。また、ガスケット保持具
のガスケットを挟む定位置には、わずかに凹部が形成さ
れているので、ガスケットはガスケット保持具に対して
正確に定位置で保持される。
具をガス供給装置に使用したときに、流量制御弁をガス
供給装置から着脱する場合には、流量制御弁はユニット
に対して上方向にネジを外すだけで容易に取り外すこと
ができ、また、新しい流量制御弁を取り付けるときに、
第一及び第二の基部ブロックと流量制御弁との間に使用
する新品のガスケットは、ガスケット保持具のガスケッ
ト保持部により開口部で挟まれて保持される。このと
き、ガスケット保持具は、弾性を有しており、ガスケッ
トをしっかりと保持している。また、ガスケット保持具
のガスケットを挟む定位置には、わずかに凹部が形成さ
れているので、ガスケットはガスケット保持具に対して
正確に定位置で保持される。
【００１８】また、ガスケット保持具は、前記係止部に
より流量制御弁ブロックに形成されている係止孔に係止
され、かつ、正確に位置決めされる。これにより、ガス
ケットも正確に位置決めされる。
より流量制御弁ブロックに形成されている係止孔に係止
され、かつ、正確に位置決めされる。これにより、ガス
ケットも正確に位置決めされる。
【００１９】次に、ガスケットがガスケット保持具によ
り保持された状態で、上方向からネジ締めされるので、
ガスケットは横ずれすることがないため、ガスケットを
均一に押しつぶすことができる。このとき、ガスケット
のパイプはブロックにより押しつぶされて孔周囲のシー
ルを行うが、内部にコイルばねが装着されているため、
パイプは常にブロックに密着した状態を保ち、良いシー
ル状態が保たれる。
り保持された状態で、上方向からネジ締めされるので、
ガスケットは横ずれすることがないため、ガスケットを
均一に押しつぶすことができる。このとき、ガスケット
のパイプはブロックにより押しつぶされて孔周囲のシー
ルを行うが、内部にコイルばねが装着されているため、
パイプは常にブロックに密着した状態を保ち、良いシー
ル状態が保たれる。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
の形態であるガスケット保持具について図面を参照して
説明する。
の形態であるガスケット保持具について図面を参照して
説明する。
【００２１】本発明の一実施の形態であるガスケット保
持具は、フォトレジスト加工のエッチング工程で使用さ
れる腐食性ガスを供給するガス供給装置に使用されるも
のである。先ず、本実施の形態のガスケット保持具が使
用されるガス供給装置の構成について図面を参照して説
明する。図１はガス供給装置の側面図であり、図２はガ
ス供給装置の分解斜視図である。また、図３は当該ガス
供給装置における供給ガスＦａの流れを示す説明図であ
る。
持具は、フォトレジスト加工のエッチング工程で使用さ
れる腐食性ガスを供給するガス供給装置に使用されるも
のである。先ず、本実施の形態のガスケット保持具が使
用されるガス供給装置の構成について図面を参照して説
明する。図１はガス供給装置の側面図であり、図２はガ
ス供給装置の分解斜視図である。また、図３は当該ガス
供給装置における供給ガスＦａの流れを示す説明図であ
る。
【００２２】図１及び図２に示すように、ガス供給装置
１の中央部左側には、流量制御弁５が着脱可能に設けら
れている。この流量制御弁５の左右には、ガスの流路を
方向変換し、かつ、後述する方向変換ブロック１４，１
５に対して上方向からネジ４１によりネジ止めするため
の流量制御弁ブロック４４，４５が横方向からネジで締
結されている。
１の中央部左側には、流量制御弁５が着脱可能に設けら
れている。この流量制御弁５の左右には、ガスの流路を
方向変換し、かつ、後述する方向変換ブロック１４，１
５に対して上方向からネジ４１によりネジ止めするため
の流量制御弁ブロック４４，４５が横方向からネジで締
結されている。
【００２３】流量制御弁ブロック４４の下には、流路を
方向変換するための方向変換ブロック１４が出力弁ブロ
ック１３に右方向からネジ止めされている。出力弁ブロ
ック１３には、上方向から出力弁３がネジ止めされてい
る。また、出力弁ブロック１３には、左方向から出力継
手４３が取り付けられており、出力弁ブロック１３は、
ベースプレート４８に下方向からネジ止めされている出
力マニホールド１２に上方向から２本のネジ４１で締結
されている。
方向変換するための方向変換ブロック１４が出力弁ブロ
ック１３に右方向からネジ止めされている。出力弁ブロ
ック１３には、上方向から出力弁３がネジ止めされてい
る。また、出力弁ブロック１３には、左方向から出力継
手４３が取り付けられており、出力弁ブロック１３は、
ベースプレート４８に下方向からネジ止めされている出
力マニホールド１２に上方向から２本のネジ４１で締結
されている。
【００２４】また、流量制御弁ブロック４５の下には、
流路を方向変換するための方向変換ブロック１５が入力
弁ブロック１６に左方向からネジ止めされている。入力
弁ブロック１６には、上方向からパージ弁６、エゼクタ
弁７及び入力弁２が各々ネジ止めされている。また、入
力弁ブロック１６には、右方向から入力継手４２が取り
付けられている。また、入力弁ブロック１６は、ベース
プレート４８に下方向からネジ止めされているパージマ
ニホールド４６及びエゼクタマニホールド４７に、上方
向から各々２本のネジで締結されている。また、エゼク
タマニホールド４７の一端部にエゼクタ配管１８を介し
てエゼクタ４が接続されている。さらに、パージマニホ
ールド４６の一端部は、不活性ガスである窒素ガスを貯
蔵している窒素ガスタンク（図示せず）に接続されてい
る。
流路を方向変換するための方向変換ブロック１５が入力
弁ブロック１６に左方向からネジ止めされている。入力
弁ブロック１６には、上方向からパージ弁６、エゼクタ
弁７及び入力弁２が各々ネジ止めされている。また、入
力弁ブロック１６には、右方向から入力継手４２が取り
付けられている。また、入力弁ブロック１６は、ベース
プレート４８に下方向からネジ止めされているパージマ
ニホールド４６及びエゼクタマニホールド４７に、上方
向から各々２本のネジで締結されている。また、エゼク
タマニホールド４７の一端部にエゼクタ配管１８を介し
てエゼクタ４が接続されている。さらに、パージマニホ
ールド４６の一端部は、不活性ガスである窒素ガスを貯
蔵している窒素ガスタンク（図示せず）に接続されてい
る。
【００２５】次に図３を参照して、ガス供給装置１のガ
スの流路について説明する。腐食性ガスＦａは、入力継
手４２よりガス供給装置１に流入し、入力ブロック１６
内部の孔を通って、入力弁２の入力ポートに接続してい
る。入力弁２の出力ポートは入力ブロック１６内部の孔
を通って、方向変換ブロック１５及び流量制御弁ブロッ
ク４５により方向変換されて、流量制御弁５の入力ポー
トに接続している。また、入力弁２の出力ポートは入力
ブロック１６内部の孔を通って、エゼクタ弁７の入力ポ
ート及びパージ弁６の出力ポートとも接続している。
スの流路について説明する。腐食性ガスＦａは、入力継
手４２よりガス供給装置１に流入し、入力ブロック１６
内部の孔を通って、入力弁２の入力ポートに接続してい
る。入力弁２の出力ポートは入力ブロック１６内部の孔
を通って、方向変換ブロック１５及び流量制御弁ブロッ
ク４５により方向変換されて、流量制御弁５の入力ポー
トに接続している。また、入力弁２の出力ポートは入力
ブロック１６内部の孔を通って、エゼクタ弁７の入力ポ
ート及びパージ弁６の出力ポートとも接続している。
【００２６】流量制御弁５の出力ポートは、流量制御弁
ブロック４４及び方向変換ブロック１４により方向変換
されて、出力弁ブロック１３の内部に穿設された孔を通
って、出力弁３の入力ポートに接続されている。出力弁
３の出力ポートは、出力弁ブロック１３の内部に設けら
れている孔を通って、出力継手４３に接続されている。
また、出力継手４３には、出力弁ブロック１３の内部に
穿設された孔を介して出力マニホールド１２により供給
ガスＦｂを供給する他の出力弁の出力ポートに接続され
ている。これにより、２以上の供給ガスを混合して任意
の混合ガスＦｏを供給することができる。ここで、出力
継手４３は、図示外の半導体製造工程のエッチング加工
装置に接続されている。
ブロック４４及び方向変換ブロック１４により方向変換
されて、出力弁ブロック１３の内部に穿設された孔を通
って、出力弁３の入力ポートに接続されている。出力弁
３の出力ポートは、出力弁ブロック１３の内部に設けら
れている孔を通って、出力継手４３に接続されている。
また、出力継手４３には、出力弁ブロック１３の内部に
穿設された孔を介して出力マニホールド１２により供給
ガスＦｂを供給する他の出力弁の出力ポートに接続され
ている。これにより、２以上の供給ガスを混合して任意
の混合ガスＦｏを供給することができる。ここで、出力
継手４３は、図示外の半導体製造工程のエッチング加工
装置に接続されている。
【００２７】次に本発明のガスケット保持具の一実施の
形態であるガスケットリテーナ１０について、図２、図
４乃至図１２を参照して説明する。
形態であるガスケットリテーナ１０について、図２、図
４乃至図１２を参照して説明する。
【００２８】図２に示すように、流量制御弁ブロック４
４と方向転換ブロック１４との間、及び流量制御弁ブロ
ック４５と方向転換ブロック１５との間には、ガスケッ
ト８を保持したガスケットリテーナ１０が各々取り付け
られている。
４と方向転換ブロック１４との間、及び流量制御弁ブロ
ック４５と方向転換ブロック１５との間には、ガスケッ
ト８を保持したガスケットリテーナ１０が各々取り付け
られている。
【００２９】ガスケット８の構造を図４及び図５に示
す。図４はガスケット８の平面図であり、図５はガスケ
ット８の側面図である。ガスケット８は、一側面が開口
されたパイプ８ａにより円を形成している。このとき、
開口部８ｂは、外周に位置している。パイプ８ａの中に
は、コイル状に巻かれたばね８ｃが装着されている。
す。図４はガスケット８の平面図であり、図５はガスケ
ット８の側面図である。ガスケット８は、一側面が開口
されたパイプ８ａにより円を形成している。このとき、
開口部８ｂは、外周に位置している。パイプ８ａの中に
は、コイル状に巻かれたばね８ｃが装着されている。
【００３０】ここで、上記のガスケット８は、一度使用
するとつぶれてしまって、気密性が悪くなるため再使用
することはできない。従って、前記流量制御弁５を交換
する場合には、新しいガスケット８を使用する必要があ
る。
するとつぶれてしまって、気密性が悪くなるため再使用
することはできない。従って、前記流量制御弁５を交換
する場合には、新しいガスケット８を使用する必要があ
る。
【００３１】次に、ガスケットリテーナ１０の構造につ
いて説明する。図６に示すガスケットリテーナ１０は、
０．３ｍｍ厚さの板材からエッチング加工された状態の
ままである。
いて説明する。図６に示すガスケットリテーナ１０は、
０．３ｍｍ厚さの板材からエッチング加工された状態の
ままである。
【００３２】ガスケットリテーナ１０には、一対の折り
曲げ部１０ｅ，１０ｆが形成され、使用時に図７及び図
８に示すように折り曲げて使用される。ここで、図７
は、ガスケットリテーナ１０の一対の折り曲げ部１０
ｅ，１０ｆを折り曲げた状態を示す平面図であり、図８
は、折り曲げ部１０ｅ，１０ｆを流量制御弁ブロック４
４、に設けられた係止孔４４ａ，４４ｂに係合させた状
態を示す断面図である。尚、本願発明の係止部には、こ
の折り曲げ部１０ｅ，１０ｆが該当する。
曲げ部１０ｅ，１０ｆが形成され、使用時に図７及び図
８に示すように折り曲げて使用される。ここで、図７
は、ガスケットリテーナ１０の一対の折り曲げ部１０
ｅ，１０ｆを折り曲げた状態を示す平面図であり、図８
は、折り曲げ部１０ｅ，１０ｆを流量制御弁ブロック４
４、に設けられた係止孔４４ａ，４４ｂに係合させた状
態を示す断面図である。尚、本願発明の係止部には、こ
の折り曲げ部１０ｅ，１０ｆが該当する。
【００３３】次に図６、図７を参照して、ガスケットリ
テーナ１０の構造を詳述する。ガスケットリテーナ１０
には、直線状に形成された第一ガスケット保持部１０
ａ，及び曲線状に形成された第二ガスケット保持部１０
ｂが設けられ、第一ガスケット保持部１０ａ，第二ガス
ケット保持部１０ｂは、板ばね状に形成されており一定
の弾性を有している。また、第一ガスケット保持部１０
ａには、ガスケット８が係合される凹部１０ｃが形成さ
れ、第一ガスケット保持部１０ａは、左右を細板ばね状
に形成された腕部１０ｄにより保持され、腕部１０ｄの
内側には、スリット部１０ｇが各々形成されている。第
二ガスケット保持部１０ｂも、左右を腕部１０ｄにより
保持され、腕部１０ｄの内側には、スリット部１０ｇが
各々形成されている。さらに、ガスケットリテーナ１０
の左右端には、取付ネジ４１の逃げ部１０ｈが各々形成
されている。
テーナ１０の構造を詳述する。ガスケットリテーナ１０
には、直線状に形成された第一ガスケット保持部１０
ａ，及び曲線状に形成された第二ガスケット保持部１０
ｂが設けられ、第一ガスケット保持部１０ａ，第二ガス
ケット保持部１０ｂは、板ばね状に形成されており一定
の弾性を有している。また、第一ガスケット保持部１０
ａには、ガスケット８が係合される凹部１０ｃが形成さ
れ、第一ガスケット保持部１０ａは、左右を細板ばね状
に形成された腕部１０ｄにより保持され、腕部１０ｄの
内側には、スリット部１０ｇが各々形成されている。第
二ガスケット保持部１０ｂも、左右を腕部１０ｄにより
保持され、腕部１０ｄの内側には、スリット部１０ｇが
各々形成されている。さらに、ガスケットリテーナ１０
の左右端には、取付ネジ４１の逃げ部１０ｈが各々形成
されている。
【００３４】ここで、ガスケット８は、開口部８ｂがガ
スケットリテーナ１０の板ばね状の第一ガスケット保持
部１０ａ及び第二ガスケット保持部１０ｂにより挟まれ
て保持される。このときガスケット８は、第一ガスケッ
ト保持部１０ａの凹部１０ｃ及び、第二ガスケット保持
部１０ｂの凹部１０ｉ，１０ｊの、計３点により３点支
持される。従って、ガスケット８はガスケットリテーナ
１０に対して正確に位置決めされ、ガスケット８がガス
ケットリテーナ１０から脱落することを防止できる。
スケットリテーナ１０の板ばね状の第一ガスケット保持
部１０ａ及び第二ガスケット保持部１０ｂにより挟まれ
て保持される。このときガスケット８は、第一ガスケッ
ト保持部１０ａの凹部１０ｃ及び、第二ガスケット保持
部１０ｂの凹部１０ｉ，１０ｊの、計３点により３点支
持される。従って、ガスケット８はガスケットリテーナ
１０に対して正確に位置決めされ、ガスケット８がガス
ケットリテーナ１０から脱落することを防止できる。
【００３５】図９は、流量制御弁５及び流量制御弁ブロ
ック４４，４５の底面図である。流量制御弁ブロック４
４，４５の底面には、ガスケット８用の座ぐり４４ｃ，
４５ｃが各々形成されている。また、流量制御弁ブロッ
ク４４の底面には、前記座ぐり４４ｃを挟んで対向する
位置に，係止孔４４ａ，４４ｂが設けられ、係止孔４４
ａ，４４ｂの外側には、ネジ４１が貫通する貫通孔４４
ｅ，４４ｆが各々形成されている。さらに、流量制御弁
ブロック４５の底面には、前記座ぐり４５ｃを挟んで対
向する位置に，係止孔４５ａ，４５ｂが設けられ、係止
孔４５ａ，４５ｂの外側には、ネジ４１が貫通する貫通
孔４５ｅ，４５ｆが各々形成されている。
ック４４，４５の底面図である。流量制御弁ブロック４
４，４５の底面には、ガスケット８用の座ぐり４４ｃ，
４５ｃが各々形成されている。また、流量制御弁ブロッ
ク４４の底面には、前記座ぐり４４ｃを挟んで対向する
位置に，係止孔４４ａ，４４ｂが設けられ、係止孔４４
ａ，４４ｂの外側には、ネジ４１が貫通する貫通孔４４
ｅ，４４ｆが各々形成されている。さらに、流量制御弁
ブロック４５の底面には、前記座ぐり４５ｃを挟んで対
向する位置に，係止孔４５ａ，４５ｂが設けられ、係止
孔４５ａ，４５ｂの外側には、ネジ４１が貫通する貫通
孔４５ｅ，４５ｆが各々形成されている。
【００３６】次に、本実施の形態のガスケットリテーナ
１０の作用について説明する。
１０の作用について説明する。
【００３７】流量制御弁５をガス供給装置１に取り付け
る場合に、ガスケット８の開口部８ｂをガスケットリテ
ーナ１０の第一ガスケット保持部１０ａの凹部１０ｃ及
び第二ガスケット保持部１０ｂの凹部１０ｉ，１０ｊに
より３点支持で保持する。このとき、第一ガスケット保
持部１０ａ，第二ガスケット保持部１０ｂ及び各腕部１
０ｄは板ばね状に形成されているので、弾性を有してお
り、ガスケット８を確実に保持することができる。次
に、ガスケット８を保持したガスケットリテーナ１０の
２対の折り曲げ部１０ｅ，１０ｆを、各々起こして図８
に示すように折り曲げ、流量制御弁ブロック４４の係止
孔４４ａ，４４ｂに挿入する。すると、折り曲げ部１０
ｅ，１０ｆは弾性を有しているので、係止孔４４ａ，４
４ｂ内で広がって、係止孔４４ａ，４４ｂの内側壁で保
持される。従って、ガスケットリテーナ１０は、流量制
御弁５側の流量制御弁ブロック４４により保持されるの
で、流量制御弁５の取り付け及び交換時にガスケットリ
テーナ１０が脱落することがない。また、ガスケット８
及びガスケットリテーナ１０を流量制御弁５と一体に取
り扱えるので、流量制御弁５が取り付けられている狭い
空間においても、ガスケット８及びガスケットリテーナ
１０を容易に正しい位置に配置することが可能になる。
る場合に、ガスケット８の開口部８ｂをガスケットリテ
ーナ１０の第一ガスケット保持部１０ａの凹部１０ｃ及
び第二ガスケット保持部１０ｂの凹部１０ｉ，１０ｊに
より３点支持で保持する。このとき、第一ガスケット保
持部１０ａ，第二ガスケット保持部１０ｂ及び各腕部１
０ｄは板ばね状に形成されているので、弾性を有してお
り、ガスケット８を確実に保持することができる。次
に、ガスケット８を保持したガスケットリテーナ１０の
２対の折り曲げ部１０ｅ，１０ｆを、各々起こして図８
に示すように折り曲げ、流量制御弁ブロック４４の係止
孔４４ａ，４４ｂに挿入する。すると、折り曲げ部１０
ｅ，１０ｆは弾性を有しているので、係止孔４４ａ，４
４ｂ内で広がって、係止孔４４ａ，４４ｂの内側壁で保
持される。従って、ガスケットリテーナ１０は、流量制
御弁５側の流量制御弁ブロック４４により保持されるの
で、流量制御弁５の取り付け及び交換時にガスケットリ
テーナ１０が脱落することがない。また、ガスケット８
及びガスケットリテーナ１０を流量制御弁５と一体に取
り扱えるので、流量制御弁５が取り付けられている狭い
空間においても、ガスケット８及びガスケットリテーナ
１０を容易に正しい位置に配置することが可能になる。
【００３８】尚、流量制御弁ブロック４５と方向変換ブ
ロック１５との間にもガスケット８及びガスケットリテ
ーナ１０が前記同様に配置されている。これにより、ガ
スケット８が方向変換ブロック１４，１５のガス孔１４
ｂ，１５ｂに対して正しく位置決めされる。
ロック１５との間にもガスケット８及びガスケットリテ
ーナ１０が前記同様に配置されている。これにより、ガ
スケット８が方向変換ブロック１４，１５のガス孔１４
ｂ，１５ｂに対して正しく位置決めされる。
【００３９】図１０は、ガスケット８とガスケットリテ
ーナ１０とが、方向変換ブロック１４と流量制御弁ブロ
ック４４との間に取り付けられた状態を示す断面図であ
る。ガスケット８の厚さは１．６ｍｍである。方向変換
ブロック１４及び流量制御弁ブロック４４には、各々ガ
スケット８用の深さ０．５ｍｍの座ぐり４４ｃ，１４ｃ
が形成されている。ガスケットリテーナ１０の厚さは
０．３ｍｍであり、この状態でネジ４１を締め付けるこ
とにより、ガスケット８は、０．３ｍｍ押しつぶされ
る。
ーナ１０とが、方向変換ブロック１４と流量制御弁ブロ
ック４４との間に取り付けられた状態を示す断面図であ
る。ガスケット８の厚さは１．６ｍｍである。方向変換
ブロック１４及び流量制御弁ブロック４４には、各々ガ
スケット８用の深さ０．５ｍｍの座ぐり４４ｃ，１４ｃ
が形成されている。ガスケットリテーナ１０の厚さは
０．３ｍｍであり、この状態でネジ４１を締め付けるこ
とにより、ガスケット８は、０．３ｍｍ押しつぶされ
る。
【００４０】このとき、ガスケット８と座ぐり部４４
ｂ，１４ｃとは、ガタがあるが、ガスケット８はガスケ
ットリテーナ１０により保持されているので、ガスケッ
ト８は横ずれすることがなく、流量制御弁５を取り付け
ることができるため、ガスケット８の気密性が高くな
る。また、ガスケット８が均一に圧縮されるため、完全
にシールを行うことができ、腐食性ガスＦａが漏れる心
配がない。
ｂ，１４ｃとは、ガタがあるが、ガスケット８はガスケ
ットリテーナ１０により保持されているので、ガスケッ
ト８は横ずれすることがなく、流量制御弁５を取り付け
ることができるため、ガスケット８の気密性が高くな
る。また、ガスケット８が均一に圧縮されるため、完全
にシールを行うことができ、腐食性ガスＦａが漏れる心
配がない。
【００４１】また、方向変換ブロック１５と流量制御弁
ブロック４５との間においても、ガスケット８は、上記
同様に押しつぶされて、シール機能を果たしている。
ブロック４５との間においても、ガスケット８は、上記
同様に押しつぶされて、シール機能を果たしている。
【００４２】次に、本発明の第二の実施の形態であるガ
スケットリテーナ２０について図１１及び図１２を参照
して説明する。
スケットリテーナ２０について図１１及び図１２を参照
して説明する。
【００４３】図１１に示すガスケットリテーナ２０は、
０．３ｍｍ厚さの板材からエッチング加工された状態を
示す図である。ガスケットリテーナ２０には、一対の折
り曲げ部２０ｅ，２０ｆが形成され、使用時には図１２
に示すように、前記ガスケットリテーナ１０と同様に折
り曲げられて使用される。ここで、図１２は、ガスケッ
トリテーナ２０の一対の折り曲げ部２０ｅ，２０ｆを折
り曲げた状態を示す平面図である。当該折り曲げ部２０
ｅ，２０ｆは流量制御弁ブロック４４、４５に設けられ
た係止孔４４ａ，４４ｂ，４５ａ，４５ｂに各々係止さ
れる。尚、本願発明の係止部には、この折り曲げ部２０
ｅ，２０ｆが該当する。
０．３ｍｍ厚さの板材からエッチング加工された状態を
示す図である。ガスケットリテーナ２０には、一対の折
り曲げ部２０ｅ，２０ｆが形成され、使用時には図１２
に示すように、前記ガスケットリテーナ１０と同様に折
り曲げられて使用される。ここで、図１２は、ガスケッ
トリテーナ２０の一対の折り曲げ部２０ｅ，２０ｆを折
り曲げた状態を示す平面図である。当該折り曲げ部２０
ｅ，２０ｆは流量制御弁ブロック４４、４５に設けられ
た係止孔４４ａ，４４ｂ，４５ａ，４５ｂに各々係止さ
れる。尚、本願発明の係止部には、この折り曲げ部２０
ｅ，２０ｆが該当する。
【００４４】次に図１１及び図１２を参照して、ガスケ
ットリテーナ２０の構造を詳述する。ガスケットリテー
ナ２０には、曲線状に形成された第一ガスケット保持部
２０ａ及び第二ガスケット保持部２０ｂが設けられ、第
一ガスケット保持部２０ａ，第二ガスケット保持部２０
ｂは、板ばね状に形成されており一定の弾性を有してい
る。また、第一ガスケット保持部２０ａには凹部２０
ｉ，２０ｊが形成され、第一ガスケット保持部２０ａ
は、左右を細板ばね状に形成された腕部２０ｄにより保
持され、腕部２０ｄの内側には、スリット部２０ｇが各
々形成されている。また、第二ガスケット保持部２０ｂ
にも凹部２０ｋ，２０ｌが形成され、第二ガスケット保
持部２０ｂも、左右を腕部２０ｄにより保持され、腕部
２０ｄの内側には、スリット部２０ｇが各々形成されて
いる。さらに、ガスケットリテーナ２０の左右端には、
取付ネジ４１の逃げ部２０ｈが各々形成されている。
ットリテーナ２０の構造を詳述する。ガスケットリテー
ナ２０には、曲線状に形成された第一ガスケット保持部
２０ａ及び第二ガスケット保持部２０ｂが設けられ、第
一ガスケット保持部２０ａ，第二ガスケット保持部２０
ｂは、板ばね状に形成されており一定の弾性を有してい
る。また、第一ガスケット保持部２０ａには凹部２０
ｉ，２０ｊが形成され、第一ガスケット保持部２０ａ
は、左右を細板ばね状に形成された腕部２０ｄにより保
持され、腕部２０ｄの内側には、スリット部２０ｇが各
々形成されている。また、第二ガスケット保持部２０ｂ
にも凹部２０ｋ，２０ｌが形成され、第二ガスケット保
持部２０ｂも、左右を腕部２０ｄにより保持され、腕部
２０ｄの内側には、スリット部２０ｇが各々形成されて
いる。さらに、ガスケットリテーナ２０の左右端には、
取付ネジ４１の逃げ部２０ｈが各々形成されている。
【００４５】ここで、ガスケット８は、開口部８ｂがガ
スケットリテーナ２０の板ばね状の第一ガスケット保持
部２０ａ及び第二ガスケット保持部２０ｂにより挟まれ
て保持される。このときガスケット８は、第一ガスケッ
ト保持部２０ａの凹部２０ｉ，２０ｊ及び、第二ガスケ
ット保持部２０ｂの凹部２０ｋ，２０ｌの、計４点によ
り４点支持される。従って、ガスケット８はガスケット
リテーナ２０に対して正確に位置決めされ、ガスケット
８がガスケットリテーナ２０から脱落することを防止で
きる。
スケットリテーナ２０の板ばね状の第一ガスケット保持
部２０ａ及び第二ガスケット保持部２０ｂにより挟まれ
て保持される。このときガスケット８は、第一ガスケッ
ト保持部２０ａの凹部２０ｉ，２０ｊ及び、第二ガスケ
ット保持部２０ｂの凹部２０ｋ，２０ｌの、計４点によ
り４点支持される。従って、ガスケット８はガスケット
リテーナ２０に対して正確に位置決めされ、ガスケット
８がガスケットリテーナ２０から脱落することを防止で
きる。
【００４６】さらに、第二の実施の形態のガスケットリ
テーナ２０では、図１１及び図１２に示すように、ガス
ケットリテーナ２０本体の左右端の外側のコーナー２０
ｍが各々丸く形成され、また、内側のコーナー２０ｎも
各々丸く形成されている。このため、コーナー２０ｍ，
２０ｎに手袋等を引っかけることがなく、安全に効率よ
く組み付け作業を行うことができる。
テーナ２０では、図１１及び図１２に示すように、ガス
ケットリテーナ２０本体の左右端の外側のコーナー２０
ｍが各々丸く形成され、また、内側のコーナー２０ｎも
各々丸く形成されている。このため、コーナー２０ｍ，
２０ｎに手袋等を引っかけることがなく、安全に効率よ
く組み付け作業を行うことができる。
【００４７】以上詳細に説明したように、第一の実施の
形態によれば、流量制御弁５をガス供給装置１に対して
上方向から着脱する場合に、ガスケットリテーナ１０の
折り曲げ部１０ｅ，１０ｆが流量制御弁ブロック４４，
４５の係止孔４４ａ，４４ｂ及び４５ａ，４５に各々係
止されて保持されるので、ガスケット８及びガスケット
リテーナ１０の組み付け時及び交換時にガスケット８及
びガスケットリテーナ１０が流量制御弁５と一体に扱え
るので、狭い取り付け空間でもガスケット８及びガスケ
ットリテーナ１０の交換が容易になる。また、ガスケッ
トリテーナ１０が３点支持によりガスケット８を保持す
るので、ガスケット８を正確に位置合わせでき、また、
ガスケット８がガスケットリテーナ１０から脱落するこ
とがない。
形態によれば、流量制御弁５をガス供給装置１に対して
上方向から着脱する場合に、ガスケットリテーナ１０の
折り曲げ部１０ｅ，１０ｆが流量制御弁ブロック４４，
４５の係止孔４４ａ，４４ｂ及び４５ａ，４５に各々係
止されて保持されるので、ガスケット８及びガスケット
リテーナ１０の組み付け時及び交換時にガスケット８及
びガスケットリテーナ１０が流量制御弁５と一体に扱え
るので、狭い取り付け空間でもガスケット８及びガスケ
ットリテーナ１０の交換が容易になる。また、ガスケッ
トリテーナ１０が３点支持によりガスケット８を保持す
るので、ガスケット８を正確に位置合わせでき、また、
ガスケット８がガスケットリテーナ１０から脱落するこ
とがない。
【００４８】また、第二の実施の形態のガスケットリテ
ーナ２０では、ガスケット８を４点支持により保持して
いるので、ガスケット８をより正確に位置合わせでき、
また、ガスケット８がガスケットリテーナ２０から脱落
することがない。さらに、ガスケットリテーナ２０のコ
ーナー２０ｍ，２０ｎを丸く形成しているので、ガスケ
ットリテーナ２０の着脱時に手袋等を引っかけることが
なく、安全に効率よく作業できる。
ーナ２０では、ガスケット８を４点支持により保持して
いるので、ガスケット８をより正確に位置合わせでき、
また、ガスケット８がガスケットリテーナ２０から脱落
することがない。さらに、ガスケットリテーナ２０のコ
ーナー２０ｍ，２０ｎを丸く形成しているので、ガスケ
ットリテーナ２０の着脱時に手袋等を引っかけることが
なく、安全に効率よく作業できる。
【００４９】次に、本発明の第三の実施の形態のガスケ
ットリテーナ３０について説明する。図１３にガスケッ
トリテーナ３０の平面図を示す。第三の実施の形態の特
徴は、一対の折り曲げ部３０ｄ，３０ｅとが、上部に形
成され、第一ガスケット保持部３０ａと、一直線上にあ
り、直線的な一対の腕部３０ｂ，３０ｃにより、一直線
上に空間がなく、形成されている点である。第二ガスケ
ット保持部３０ｈには、一対の凹部３０ｆ，３０ｇが形
成されており、ガスケット８は、第一ガスケット保持部
３０ａの１点と、一対の凹部３０ｆ，３０ｇの２点の計
３点で保持される。
ットリテーナ３０について説明する。図１３にガスケッ
トリテーナ３０の平面図を示す。第三の実施の形態の特
徴は、一対の折り曲げ部３０ｄ，３０ｅとが、上部に形
成され、第一ガスケット保持部３０ａと、一直線上にあ
り、直線的な一対の腕部３０ｂ，３０ｃにより、一直線
上に空間がなく、形成されている点である。第二ガスケ
ット保持部３０ｈには、一対の凹部３０ｆ，３０ｇが形
成されており、ガスケット８は、第一ガスケット保持部
３０ａの１点と、一対の凹部３０ｆ，３０ｇの２点の計
３点で保持される。
【００５０】図１５は、流量制御弁ブロック４４，４５
の底面図である。流量制御弁ブロック４４，４５の底面
には、ガスケット８用の座ぐり４４ｃ，４５ｃが各々形
成されている。また、流量制御弁ブロック４４の底面に
は、前記座ぐり４４ｃの両側の上部の対向する位置に，
一対の係止孔４５ｇが設けられ、一対の係止孔４５ｇの
下側には、ネジ４１が貫通する貫通孔４５ｅ，４５ｆが
各々形成されている。
の底面図である。流量制御弁ブロック４４，４５の底面
には、ガスケット８用の座ぐり４４ｃ，４５ｃが各々形
成されている。また、流量制御弁ブロック４４の底面に
は、前記座ぐり４４ｃの両側の上部の対向する位置に，
一対の係止孔４５ｇが設けられ、一対の係止孔４５ｇの
下側には、ネジ４１が貫通する貫通孔４５ｅ，４５ｆが
各々形成されている。
【００５１】次に、第三の実施の形態の作用を説明す
る。流量制御弁５をガス供給装置１に取り付ける場合
に、ガスケット８の開口部８ｂをガスケットリテーナ３
０の第一ガスケット保持部３０ａ及び第二ガスケット保
持部３０ｈの一対の凹部３０ｆ，３０ｇにより３点支持
で保持する。このとき、第二ガスケット保持部３０ｈは
板ばね状に形成されているので、弾性を有しており、ガ
スケット８を確実に保持することができる。次に、ガス
ケット８を保持したガスケットリテーナ３０の一対の折
り曲げ部３０ｄ，３０ｅを、各々起こして図１４に示す
ように折り曲げ、流量制御弁ブロック４５の一対の係止
孔４５ｇに挿入する。すると、折り曲げ部３０ｄ，３０
ｅは弾性を有しているので、一対の係止孔４５ｇ内で広
がって、係止孔４５ｇの内側壁で保持される。このと
き、一対の折り曲げ部３０ｄ，３０ｅが一直線上にあ
り、その一直線上には空間がなく、一対の折り曲げ部３
０ｄ，３０ｅに係止するための力が加わったときに、ガ
スケットリテーナ３０が変形しない。
る。流量制御弁５をガス供給装置１に取り付ける場合
に、ガスケット８の開口部８ｂをガスケットリテーナ３
０の第一ガスケット保持部３０ａ及び第二ガスケット保
持部３０ｈの一対の凹部３０ｆ，３０ｇにより３点支持
で保持する。このとき、第二ガスケット保持部３０ｈは
板ばね状に形成されているので、弾性を有しており、ガ
スケット８を確実に保持することができる。次に、ガス
ケット８を保持したガスケットリテーナ３０の一対の折
り曲げ部３０ｄ，３０ｅを、各々起こして図１４に示す
ように折り曲げ、流量制御弁ブロック４５の一対の係止
孔４５ｇに挿入する。すると、折り曲げ部３０ｄ，３０
ｅは弾性を有しているので、一対の係止孔４５ｇ内で広
がって、係止孔４５ｇの内側壁で保持される。このと
き、一対の折り曲げ部３０ｄ，３０ｅが一直線上にあ
り、その一直線上には空間がなく、一対の折り曲げ部３
０ｄ，３０ｅに係止するための力が加わったときに、ガ
スケットリテーナ３０が変形しない。
【００５２】これにより、ガスケットリテーナ３０を一
対の係止孔４５ｇに装着したときに、ガスケットリテー
ナ３０が変形することがないので、ガスケット８を確実
に保持することができ、位置決め精度も正確に維持でき
る。従って、ガスケットリテーナ３０は、流量制御弁５
側の流量制御弁ブロック４４，４５により保持されるの
で、流量制御弁５の取り付け及び交換時にガスケットリ
テーナ３０が脱落することがない。また、ガスケット８
及びガスケットリテーナ３０を流量制御弁５と一体に取
り扱えるので、流量制御弁５が取り付けられている狭い
空間においても、ガスケット８及びガスケットリテーナ
３０を容易に正しい位置に配置することが可能になる。
対の係止孔４５ｇに装着したときに、ガスケットリテー
ナ３０が変形することがないので、ガスケット８を確実
に保持することができ、位置決め精度も正確に維持でき
る。従って、ガスケットリテーナ３０は、流量制御弁５
側の流量制御弁ブロック４４，４５により保持されるの
で、流量制御弁５の取り付け及び交換時にガスケットリ
テーナ３０が脱落することがない。また、ガスケット８
及びガスケットリテーナ３０を流量制御弁５と一体に取
り扱えるので、流量制御弁５が取り付けられている狭い
空間においても、ガスケット８及びガスケットリテーナ
３０を容易に正しい位置に配置することが可能になる。
【００５３】以上の実施の形態では、ガスケット８を３
点及び４点支持により保持したが、５点、６点、８点等
の複数点による支持にしてもよい。また、本実施の形態
では、ガスケット８は、Ｃリングとなっているが、Ｏリ
ングを使用しても良い。
点及び４点支持により保持したが、５点、６点、８点等
の複数点による支持にしてもよい。また、本実施の形態
では、ガスケット８は、Ｃリングとなっているが、Ｏリ
ングを使用しても良い。
【００５４】
【発明の効果】以上説明したことから明かなように、請
求項１記載の発明のガスケット保持具によれば、ガスケ
ット保持具のガスケット保持部によりガスケットが保持
され、ガスケット保持具は係止部によって着脱ブロック
に係止されて着脱ブロックからのガスケット保持部の脱
落が防止される。従って、ガスケット及びガスケット保
持具が着脱ブロックと一体になるのでガスケット及びガ
スケット保持具の取り付け及び交換が容易になる。
求項１記載の発明のガスケット保持具によれば、ガスケ
ット保持具のガスケット保持部によりガスケットが保持
され、ガスケット保持具は係止部によって着脱ブロック
に係止されて着脱ブロックからのガスケット保持部の脱
落が防止される。従って、ガスケット及びガスケット保
持具が着脱ブロックと一体になるのでガスケット及びガ
スケット保持具の取り付け及び交換が容易になる。
【００５５】また、請求項２に記載の発明のガスケット
保持具では、前記ガスケット保持部が、３点支持又は４
点支持により前記ガスケットを保持するように構成され
ているので、ガスケットが、確実にガスケット保持部に
保持され、正確に位置合わせでき、また、ガスケット保
持具から脱落しにくくなる。
保持具では、前記ガスケット保持部が、３点支持又は４
点支持により前記ガスケットを保持するように構成され
ているので、ガスケットが、確実にガスケット保持部に
保持され、正確に位置合わせでき、また、ガスケット保
持具から脱落しにくくなる。
【００５６】さらに、請求項３に記載の発明のガスケッ
ト保持具では、係止部がガスケット保持具の一部を折り
曲げるだけで形成でき、また、係止部が着脱ブロックの
係止孔に確実に係止され、ガスケット保持具の着脱ブロ
ックへの係止が確実になる。
ト保持具では、係止部がガスケット保持具の一部を折り
曲げるだけで形成でき、また、係止部が着脱ブロックの
係止孔に確実に係止され、ガスケット保持具の着脱ブロ
ックへの係止が確実になる。
【００５７】また、請求項４に記載の発明のガスケット
保持具では、複数の係止孔によって複数の係止部を保持
しているので、保持具の位置ずれ及び脱落防止が確実に
できる。
保持具では、複数の係止孔によって複数の係止部を保持
しているので、保持具の位置ずれ及び脱落防止が確実に
できる。
【００５８】さらに、請求項５に記載のガスケット保持
具では、本発明のガスケット保持具をガス供給装置に使
用したときに、流量制御弁をガス供給装置から着脱する
場合には、流量制御弁はユニットに対して上方向にネジ
を外すだけで容易に取り外すことができ、また、新しい
流量制御弁を取り付けるときに、第一及び第二の基部ブ
ロックと流量制御弁との間に使用する新品のガスケット
はガスケットは、ガスケット保持具のガスケット保持部
により開口部で挟まれて保持される。このとき、ガスケ
ット保持具は、弾性を有しており、ガスケットをしっか
りと保持している。また、ガスケット保持具のガスケッ
トを挟む定位置には、わずかに凹部が形成されているの
で、ガスケットはガスケット保持具に対して正確に定位
置で保持される。
具では、本発明のガスケット保持具をガス供給装置に使
用したときに、流量制御弁をガス供給装置から着脱する
場合には、流量制御弁はユニットに対して上方向にネジ
を外すだけで容易に取り外すことができ、また、新しい
流量制御弁を取り付けるときに、第一及び第二の基部ブ
ロックと流量制御弁との間に使用する新品のガスケット
はガスケットは、ガスケット保持具のガスケット保持部
により開口部で挟まれて保持される。このとき、ガスケ
ット保持具は、弾性を有しており、ガスケットをしっか
りと保持している。また、ガスケット保持具のガスケッ
トを挟む定位置には、わずかに凹部が形成されているの
で、ガスケットはガスケット保持具に対して正確に定位
置で保持される。
【００５９】次いで、ガスケット保持具は、前記係止部
により流量制御弁ブロックに形成されている係止孔に係
止され、かつ、正確に位置決めされる。これにより、ガ
スケットも正確に位置決めされる。
により流量制御弁ブロックに形成されている係止孔に係
止され、かつ、正確に位置決めされる。これにより、ガ
スケットも正確に位置決めされる。
【００６０】また、流量制御弁等を上から取り付けるた
めにネジ締めするときに、ガスケットがガスケットリテ
ーナにより保持されているので、ガスケットが横ずれす
ることなく、流量制御弁等を取り付けることができるた
め、ガスケットの気密性が高くなる。また、ガスケット
が均一に圧縮されるため、完全にシールを行うことがで
き、腐食性ガスが漏れる心配がない。
めにネジ締めするときに、ガスケットがガスケットリテ
ーナにより保持されているので、ガスケットが横ずれす
ることなく、流量制御弁等を取り付けることができるた
め、ガスケットの気密性が高くなる。また、ガスケット
が均一に圧縮されるため、完全にシールを行うことがで
き、腐食性ガスが漏れる心配がない。
【図１】本発明の一実施の形態のガスケット保持具が使
用されるガス供給装置の具体的な構成を示す側面図であ
る。
用されるガス供給装置の具体的な構成を示す側面図であ
る。
【図２】本発明の一実施の形態のガスケット保持具が使
用されるガス供給装置の具体的な構成を示す分解斜視図
である。
用されるガス供給装置の具体的な構成を示す分解斜視図
である。
【図３】本発明の一実施の形態のガスケット保持具が使
用されるガス供給装置のガスの流れを示す説明図であ
る。
用されるガス供給装置のガスの流れを示す説明図であ
る。
【図４】本発明の一実施の形態であるガスケット保持具
で保持するガスケットの平面図である。
で保持するガスケットの平面図である。
【図５】本発明の一実施の形態であるガスケット保持具
で保持するガスケットの側面図である。
で保持するガスケットの側面図である。
【図６】本発明の一実施の形態であるガスケット保持具
の平面図である。
の平面図である。
【図７】本発明の一実施の形態であるガスケット保持具
の平面図である。
の平面図である。
【図８】本発明の一実施の形態であるガスケット保持具
の使用状態を示す断面図である。
の使用状態を示す断面図である。
【図９】本発明の一実施の形態であるガスケット保持具
が使用される流量制御弁及び流量制御弁ブロックの底面
図である。
が使用される流量制御弁及び流量制御弁ブロックの底面
図である。
【図１０】本発明の一実施の形態であるガスケット保持
具の使用状態を示す断面図である。
具の使用状態を示す断面図である。
【図１１】本発明の第二の実施の形態であるガスケット
保持具の平面図である。
保持具の平面図である。
【図１２】本発明の第二の実施の形態であるガスケット
保持具の平面図である。
保持具の平面図である。
【図１３】本発明の第三の実施の形態であるガスケット
保持具の平面図である。
保持具の平面図である。
【図１４】本発明の第三の実施の形態であるガスケット
保持具の使用状態を示す断面図である。
保持具の使用状態を示す断面図である。
【図１５】本発明の第三の実施の形態であるガスケット
保持具が使用される流量制御弁及び流量制御弁ブロック
の底面図である。
保持具が使用される流量制御弁及び流量制御弁ブロック
の底面図である。
【図１６】従来のガスケット保持具の使用状態を示す分
解斜視図である。
解斜視図である。
２ 入力弁 ３ 出力弁 ４ エゼクタ ５ 流量制御弁 ６ パージ弁 ７ エゼクタ弁 ８ ガスケット １０ ガスケットリテーナ １０ａ 第一ガスケット保持部 １０ｂ 第二ガスケット保持部 １０ｃ 凹部 １０ｅ，１０ｆ 折り曲げ部 １０ｉ，１０ｊ 凹部 ４４，４５ 流量制御弁ブロック ４４ａ，４４ｂ 係止孔 ４５ａ，４５ｂ 係止孔
【手続補正書】
【提出日】平成９年７月３０日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、請求項１に記載の発明のガスケット保持具は、流体
が通過する第一の孔が形成された基部ブロックと、該基
部ブロックに着脱可能に載置され前記流体が通過する第
二の孔が形成された着脱ブロックとを、前記の第一の孔
と前記第二の孔の位置合わせをして前記着脱ブロックを
前記基部ブロックに組み付けるときに、前記基部ブロッ
クと前記着脱ブロックとのシール部材として使用される
ガスケットを保持するガスケット保持具において、ドー
ナツ状で外周面に開口部を有するパイプにより形成され
た前記ガスケットの開口部を外側から挟んで定位置に保
持するガスケット保持部と、前記着脱ブロックに係止さ
れる係止部とを有している。
に、請求項１に記載の発明のガスケット保持具は、流体
が通過する第一の孔が形成された基部ブロックと、該基
部ブロックに着脱可能に載置され前記流体が通過する第
二の孔が形成された着脱ブロックとを、前記の第一の孔
と前記第二の孔の位置合わせをして前記着脱ブロックを
前記基部ブロックに組み付けるときに、前記基部ブロッ
クと前記着脱ブロックとのシール部材として使用される
ガスケットを保持するガスケット保持具において、ドー
ナツ状で外周面に開口部を有するパイプにより形成され
た前記ガスケットの開口部を外側から挟んで定位置に保
持するガスケット保持部と、前記着脱ブロックに係止さ
れる係止部とを有している。
Claims (6)
- 【請求項１】 流体が通過する第一の孔が形成された基
部ブロックと、該基部ブロックに着脱可能に載置され前
記流体が通過する第二の孔が形成された着脱ブロックと
を、前記の第一の孔と前記第二の孔の位置合わせをして
前記着脱ブロックを前記基部ブロックに組み付けるとき
に、前記基部ブロックと前記着脱ブロックとのシール部
材として使用されるガスケットを保持するガスケット保
持具において、 ドーナツ状で外周面に開口部を有するパイプにより形成
され該パイプ内にコイルばねが装着された前記ガスケッ
トの前記開口部を外側から挟んで定位置に保持するガス
ケット保持部と、 前記着脱ブロックに係止される係止部とを有することを
特徴とするガスケット保持具。 - 【請求項２】 請求項１に記載するものにおいて、 前記ガスケット保持部は、３点支持又は４点支持により
前記ガスケットを保持することを特徴とするガスケット
保持具。 - 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載するもの
において、 前記着脱ブロックには前記係止部が挿入される係止孔が
設けられ、前記係止部は前記ガスケット保持具の一部分
を折り曲げて形成したことを特徴とするガスケット保持
具。 - 【請求項４】 請求項１乃至請求項３に記載するものの
いずれか１つにおいて、 前記着脱ブロックには、前記第一の孔を挟むように複数
の係止孔が設けられ、前記係止部も前記第二の孔を挟む
ように前記係止孔に対向する位置に複数設けられている
ことを特徴とするガスケット保持具。 - 【請求項５】 請求項４に記載するものにおいて、 前記複数の係止部が一直線上にあり、その一直線上には
空間がなく、 前記係止部に係止するための力が加わったときに、ガス
ケット保持具が変形しないことを特徴とするガスケット
保持具。 - 【請求項６】 請求項１乃至請求項５に記載するものの
いずれか１つにおいて、 供給ガスの搬送管路上に設けられ該供給ガスの流れを遮
断する第一開閉弁及び第二開閉弁と、該第一及び第二開
閉弁の中間に設けられ該供給ガスの流量を制御する流量
制御弁と、該流量制御弁に置換ガスを供給する置換ガス
供給手段と、該流量制御弁内の供給ガスを減圧する排気
手段と、前記第一開閉弁と前記置換ガス供給手段と前記
排気手段とが載置される第一の基部ブロックと、前記第
二開閉弁が載置される第二の基部ブロックとを有し、前
記第一及び第二開閉弁を遮断した後、該流量制御弁内に
残留する供給ガスを置換ガスに置換する残留ガス置換装
置を備えたガス供給装置に、前記流量制御弁が第一の基
部ブロック及び前記第二の基部ブロックに対して上方向
からネジ締結されるときに、前記ガスケット保持具は前
記流量制御弁と前記第一の基部ブロック間、及び前記流
量制御弁と前記第二の基部ブロック間に各々使用される
ことを特徴とし、かつ、ガスケット保持具のガスケット
保持部には凹部が形成されていることを特徴とするガス
ケット保持具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09054358A JP3122386B2 (ja) | 1996-07-16 | 1997-03-10 | ガスケット保持具 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8-186110 | 1996-07-16 | ||
| JP18611096 | 1996-07-16 | ||
| JP09054358A JP3122386B2 (ja) | 1996-07-16 | 1997-03-10 | ガスケット保持具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1082463A true JPH1082463A (ja) | 1998-03-31 |
| JP3122386B2 JP3122386B2 (ja) | 2001-01-09 |
Family
ID=16182542
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09054358A Expired - Fee Related JP3122386B2 (ja) | 1996-07-16 | 1997-03-10 | ガスケット保持具 |
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|---|---|
| US (1) | US5984318A (ja) |
| JP (1) | JP3122386B2 (ja) |
| KR (1) | KR100219302B1 (ja) |
| MY (1) | MY124108A (ja) |
| SG (1) | SG73452A1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003086579A (ja) * | 2001-09-14 | 2003-03-20 | Ckd Corp | ガス供給集積ユニット |
| JP2008208900A (ja) * | 2007-02-26 | 2008-09-11 | Ckd Corp | 流路ブロック、及びその製造方法 |
| JP4567798B1 (ja) * | 2009-06-04 | 2010-10-20 | 三菱電線工業株式会社 | 密封構造 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5992463A (en) * | 1996-10-30 | 1999-11-30 | Unit Instruments, Inc. | Gas panel |
| KR20060017577A (ko) * | 2002-08-27 | 2006-02-24 | 셀레리티 인크. | 공통 평면 내에 매니폴드 연결부를 갖는 모듈형 기판 가스패널 |
| DE10304279A1 (de) * | 2003-02-03 | 2004-08-26 | Siemens Ag | Flanscheinheit |
| EP1680943A1 (en) * | 2003-11-07 | 2006-07-19 | Celerity, Inc. | Surface mount heater |
| US20070170662A1 (en) * | 2004-02-28 | 2007-07-26 | Williams Peter C | Seal assembly for fluid components |
| FR2891389B1 (fr) * | 2005-09-28 | 2009-01-23 | Cogema | Moyen d'etancheite, dispositif de transfert comportant un tel moyen d'etancheite, installation comportant un tel dispositif et procede de fabrication dudit moyen d'etancheite |
| WO2009065420A1 (de) * | 2007-11-20 | 2009-05-28 | Festo Ag & Co. Kg | Dichtungsanordnung und damit ausgestattete fluidtechnische baugruppe |
| US8307854B1 (en) | 2009-05-14 | 2012-11-13 | Vistadeltek, Inc. | Fluid delivery substrates for building removable standard fluid delivery sticks |
| SG176152A1 (en) | 2009-06-10 | 2011-12-29 | Vistadeltek Llc | Extreme flow rate and/or high temperature fluid delivery substrates |
| US20130042674A1 (en) * | 2011-08-17 | 2013-02-21 | David M. Toth | Compression sensor gasket assembly and method of construction thereof |
| US9109732B2 (en) | 2012-04-18 | 2015-08-18 | Vistadeltek, Llc | EZ-seal gasket for joining fluid pathways |
| US9869409B2 (en) * | 2013-01-15 | 2018-01-16 | Vistadeltek, Llc | Gasket retainer for surface mount fluid component |
| US10502321B2 (en) | 2014-01-14 | 2019-12-10 | Compart Systems Pte, Ltd. | Gasket retainer for surface mount fluid component |
| EP3132161B1 (en) | 2014-04-15 | 2020-11-11 | Kim Ngoc Vu | Ez-seal assembly joining fluid pathways |
| CN108980353B (zh) | 2014-04-17 | 2021-02-02 | 肯发系统有限公司 | 用于接合高纯度流体通路的超密封垫圈 |
| GB2561233B (en) | 2017-04-07 | 2020-01-15 | Ford Motor Co | A Gasket Assembly |
| KR102135068B1 (ko) * | 2019-09-03 | 2020-07-17 | (주)다산이엔지 | 폐가스 선별분리 처리장치 및 그 제어방법 |
| US11454325B2 (en) | 2020-11-12 | 2022-09-27 | Honeywell International Inc. | Overpressure protection valve |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4077389A (en) * | 1976-04-19 | 1978-03-07 | Jamak Incorporated | Pneumatic oven door gasket |
| JP2568365B2 (ja) * | 1993-02-10 | 1997-01-08 | 株式会社東芝 | ガス供給装置 |
| JP2875958B2 (ja) * | 1993-02-10 | 1999-03-31 | シーケーディ株式会社 | 開閉弁取付構造 |
-
1997
- 1997-03-10 JP JP09054358A patent/JP3122386B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1997-05-22 KR KR1019970019964A patent/KR100219302B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1997-06-02 SG SG1997001851A patent/SG73452A1/en unknown
- 1997-06-24 US US08/881,115 patent/US5984318A/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-07-15 MY MYPI97003191A patent/MY124108A/en unknown
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5984318A (en) | 1999-11-16 |
| KR980010067A (ko) | 1998-04-30 |
| SG73452A1 (en) | 2000-06-20 |
| JP3122386B2 (ja) | 2001-01-09 |
| KR100219302B1 (ko) | 1999-09-01 |
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