JPH1076670A - 液体噴射記録ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 長尺の液体噴射記録ヘッドの天板において、
インク流路溝の配列方向にばらつきが生じることなくイ
ンク流路溝を加工形成することができ、印字品位を損な
うことのない長尺の液体噴射記録ヘッドの製造方法を提
供する。 【解決手段】 ステージ２上にセットされた樹脂成形さ
れた長尺の天板１０の両端部に位置する境界線１５を２
個の画像認識用の観察光学系３および４により観察し
て、両端部の境界線１５を結ぶ線とレーザ光１の光束の
分布軸とを合致させるべく、制御系５によりステージ２
上の天板１０の角度調整を行なう。その後、一方の観察
光学系３により天板１０の各ブロックの境界線１５を加
工基準線として検出して、天板１０のｚ方向の位置決め
をし、レーザ光１の照射によりブロック内の複数のイン
ク流路溝１３を一度に加工する。このブロック毎のレー
ザ加工を繰り返し行なって、全てのインク流路溝１３を
加工する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液体噴射記録装置
等に使用される長尺化された液体噴射記録ヘッドの製造
方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】液体噴射記録装置等に使用される液体噴
射記録ヘッドは、半導体製造技術を用い複数の吐出エネ
ルギー発生素子を所定の間隔をおいて配設した素子基板
と、インクを吐出する複数のインク吐出口を形成した吐
出口プレートを一体的に有し、インク吐出口にそれぞれ
連通する複数のインク流路溝および各インク流路溝に連
通しインクを貯留する共通液室が形成された天板とから
なり、素子基板の吐出エネルギー発生素子と天板のイン
ク吐出口およびインク流路溝をそれぞれ対応するように
正確に位置合わせした状態で、素子基板と天板を組み合
わせて接合固着して形成し、吐出エネルギー発生素子に
よりインク流路溝内のインクに吐出エネルギーを付与す
ることによってインク吐出口からインクを飛翔液滴とし
て吐出させて印字記録を行なうように構成されている。

【０００３】そして、液体噴射記録ヘッドを構成する天
板の製造に関しては、射出成型等により樹脂成形された
天板に複数のインク流路溝およびインク吐出口を機械切
削あるいはレーザ加工を用いて所定の高精度で加工して
いる。特に、インク流路溝の加工方法としては、特開平
２−１２１８４５号公報に記載されているように、レー
ザ加工により天板の溝加工面に複数のインク流路溝を同
時に形成する方法が知られており、このインク流路溝の
加工は、天板の溝加工面と天板端面に配置された吐出口
プレートとの境界線をインク流路溝の加工基準線として
検出し、この加工基準線に基づいて天板を位置決めし、
レーザ光を溝加工面の所定位置に照射することによって
行なっている。また、インク吐出口の加工は、上記のよ
うに形成されたインク流路溝を基準にして吐出口プレー
トの所定位置にレーザ光を照射することによって行なっ
ている。

【０００４】ところで、液体噴射記録ヘッドにおいて
は、記録装置の印字速度を向上させるために、長尺化に
よるマルチノズル化が望まれ、１４０４ノズル、あるい
はＡ４幅に対応するもの等のように長尺化に進む傾向に
ある。このように長尺化された液体噴射記録ヘッドを構
成する天板もまた図４に示すように長尺化されている。
このように長尺化された天板を図４を参照して説明する
と、図４の（ａ）は、長尺の天板の模式斜視図であり、
図４の（ｂ）はその模式断面図である。長尺の天板１０
は、ポリエーテルサルフォン等の樹脂材料で成形され、
天板本体１１と吐出口プレート１２とからなる。天板本
体１１にはインク流路溝１３に供給されるインクを貯留
する共通液室（図示しない）やインク受け口（図示しな
い）が設けられ、そして天板本体１１の溝加工面１４に
は、複数のインク流路溝１３がレーザ加工等により、ま
た吐出口プレート１２には図示しないインク吐出口が同
様のレーザ加工等によって加工形成され、長尺の液体噴
射記録ヘッドの一構成部品としての天板が形成されてい
る。

【０００５】このように長尺化された天板においては、
インク流路溝をレーザ加工により形成する場合に、レー
ザ光の照射領域に限度があるために、上述した従来技術
のように全てのインク流路溝を一度に加工することがで
きない。そこで、インク流路溝を複数のブロックに分割
して、ブロック毎にブロック内の溝加工面１４と吐出口
プレート１２との境界線を加工基準線として天板１０の
位置決めを行ない、そしてブロック内の複数のインク流
路溝をレーザ光により一度に加工し、このブロック毎の
加工を複数回繰り返して行なって、全てのインク流路溝
を形成するようにしている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このように
長尺化された天板においては、長尺化による天板自身の
反りが発生し、この反りを無視することができない。天
板におけるインク流路溝のレーザ加工において加工の基
準線とする溝加工面１４と吐出口プレート１２との境界
線が、天板自身の反りと同様に弓状に湾曲した状態とな
っている。したがって、インク流路溝の加工が、天板自
身の反りにより弓状に湾曲した加工基準線を基に各ブロ
ック毎に天板の位置決めを行ない、そのブロック毎に加
工をすることとなるために、各ブロック単位でインク流
路溝の配列方向が異なってしまう。この状態を図３に反
りや加工基準線の湾曲度を誇張して模式的に示す。図３
に示すように各ブロック単位でインク流路溝の配列方向
が異なってしまうと、インクの吐出方向が液体噴射記録
ヘッド内でばらついてしまい、記録ヘッドとしての印字
品位を低下させることとなり、好ましいものではなかっ
た。

【０００７】そこで、本発明は、上述の従来技術の有す
る未解決な課題に鑑みてなされたものであって、長尺化
された天板において、反りが生じているとしても、イン
ク流路溝をブロック毎に分割加工して、全てのインク流
路溝の配列方向を統一することができ、そして印字品位
に悪影響を及ぼすことのない液体噴射記録ヘッドの製造
方法を実現することを目的とするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の長尺の液体噴射記録ヘッドの製造方法は、
複数の吐出エネルギー発生素子が形成された素子基板上
に、天板本体とその端面に配設した吐出口プレートから
なる天板であって、前記天板本体に前記各吐出エネルギ
ー発生素子に対応する複数のインク流路溝をレーザ加工
により形成し、そして前記吐出口プレートに複数のイン
ク吐出口をレーザ加工により形成してなる天板を取り付
けて、長尺の液体噴射記録ヘッドを組み立てる長尺の液
体噴射記録ヘッドの製造方法において、前記天板のイン
ク流路溝の加工形成に際して、天板の両端部における天
板本体の溝加工面と吐出口プレートとの境界線を検出
し、検出された両端部の境界線を基準にして、レーザ光
の光束の分布軸に対する天板の角度調整を行ない、そし
て天板のインク流路溝を複数のブロックに分割して、各
ブロックの前記境界線を加工基準線として検出し、レー
ザ光が当該ブロック内の溝加工面の所定位置を照射する
ように前記天板を位置合わせし、次いで、レーザ光によ
り当該ブロック内の複数のインク流路溝を一度に加工
し、この１ブロック毎のインク流路溝の加工を繰り返し
て天板の全てのインク流路溝を加工形成するようにした
ことを特徴とする。

【０００９】さらに、本発明の長尺の液体噴射記録ヘッ
ドの製造方法は、複数の吐出エネルギー発生素子が形成
された素子基板上に、天板本体とその端面に配設した吐
出口プレートからなる天板であって、前記天板本体に前
記各吐出エネルギー発生素子に対応して複数のインク流
路溝をレーザ加工により形成し、そして前記吐出口プレ
ートに複数のインク吐出口をレーザ加工により形成して
なる天板を取り付けて、長尺の液体噴射記録ヘッドを組
み立てる長尺の液体噴射記録ヘッドの製造方法におい
て、前記天板のインク流路溝の加工形成に際して、天板
の両端部における天板本体の溝加工面と吐出口プレート
との境界線を別個の観察光学系でそれぞれ観察して、そ
れらのデータに基づいて、天板の両端部の境界線を結ぶ
線をレーザ光の光束の分布軸と合致するように天板の角
度調整を行ない、そして天板のインク流路溝を複数のブ
ロックに分割して、各ブロック毎の前記境界線を一方の
観察光学系を用いて加工基準線として観察し、そのデー
タに基づいて、レーザ光が当該ブロック内の溝加工面の
所定位置を照射するように前記天板を位置合わせし、次
いで、レーザ光により当該ブロック内の複数のインク流
路溝を一度に加工し、この１ブロック毎のインク流路溝
の加工を繰り返して天板の全てのインク流路溝を加工形
成するようにしたことを特徴とする。

【００１０】また、本発明の長尺の液体噴射記録ヘッド
の製造方法は、複数の吐出エネルギー発生素子が形成さ
れた素子基板上に、天板本体とその端面に配設した吐出
口プレートからなる天板であって、前記天板本体に前記
各吐出エネルギー発生素子に対応して複数のインク流路
溝をレーザ加工により形成し、そして前記吐出口プレー
トに複数のインク吐出口をレーザ加工により形成してな
る天板を取り付けて、長尺の液体噴射記録ヘッドを組み
立てる長尺の液体噴射記録ヘッドの製造方法において、
前記天板のインク流路溝の加工形成に際して、天板の両
端部における天板本体の溝加工面と吐出口プレートとの
境界線を１つの観察光学系により順次観察して、それら
のデータに基づいて、天板の両端部の境界線を結ぶ線を
レーザ光の光束の分布軸と合致するように天板の角度調
整を行ない、そして天板のインク流路溝を複数のブロッ
クに分割して、各ブロックの前記境界線を前記観察光学
系を用いて加工基準線として観察し、そのデータに基づ
いて、レーザ光が当該ブロック内の溝加工面の所定位置
を照射するように前記天板を位置合わせし、次いで、レ
ーザ光により当該ブロック内の複数のインク流路溝を一
度に加工し、この１ブロック毎のインク流路溝の加工を
繰り返して天板の全てのインク流路溝を加工形成するよ
うにしたことを特徴とする。

【００１１】

【作用】長尺化された液体噴射記録ヘッドの製造方法に
おいて、その天板のインク流路溝をレーザ加工によって
加工形成する際に、先ず天板の両端部における溝加工面
と吐出口プレートとの境界線を検出して、検出された境
界線を結ぶ線がレーザ光の光束の分布軸と合致するよう
に、天板の角度調整を行なってから、天板のインク流路
溝を複数のブロックに分割して、ブロック毎に境界線を
加工基準線として検出して天板の位置合わせをし、レー
ザ光によりブロック内の複数のインク流路溝を一度に加
工し、この１ブロック毎のインク流路溝の加工を複数回
繰り返して天板の全てのインク流路溝を加工形成するよ
うになしたことにより、天板を長尺化したことにより、
溝加工面と吐出プレートとの境界線が湾曲していたとし
ても、インク流路溝の配列方向を一定に形成することが
でき、記録ヘッドとしての印字品位を損なうことがな
い。

【００１２】さらに、天板の両端部における境界線の検
出および各ブロック毎の加工基準線の検出は、対物レン
ズ、鏡筒およびカメラ等からなる画像認識用の観察光学
系を用いて行なうことができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。

【００１４】図１は、本発明の液体噴射記録ヘッドの製
造方法における天板のインク流路溝を加工する態様を概
略的に示す模式図である。図１において、樹脂成形され
た長尺の天板１０を治具等を介して取り付け支持するス
テージ２は、図示しないレーザ光源から発振されるレー
ザ光１に対向して配置されて、移動可能に設けられてお
り、ステージ２上には天板１０がその溝加工面１４にレ
ーザ光１が照射されるようにセットされる。そして、対
物レンズ、鏡筒およびカメラ等からなる画像認識用の観
察光学系３および４は、その対物レンズ３１、４１がス
テージ２上にセットされた天板１０に対向するように配
設され、天板１０の溝加工面１４と吐出口プレート１２
との境界線１５を読取り観察する。また、制御系５は画
像処理装置６、制御コンピュータ７および移動手段８か
らなり、画像処理装置６および制御コンピュータ７が観
察光学系３および４によって読取られ観察された画像を
処理し、その結果に基づいて移動手段８を介してステー
ジ２を適宜移動させるように構成されている。

【００１５】次に、本発明の液体噴射記録ヘッドの製造
方法に基づく天板のインク流路溝の加工について説明す
る。

【００１６】先ず、ポリエーテルサルフォン等の樹脂材
料で樹脂成形されて、図示しない共通液室が設けられた
天板本体１１とその端面に設けられた吐出口プレート１
２とからなる長尺の天板１０を、その溝加工面１４にレ
ーザ光１が照射されるように、ステージ２上の所定位置
に治具等を介してセットする。その天板１０の溝加工面
１４と吐出口プレート１２との境界線１５の両端部に、
２個の観察光学系３、４の対物レンズ３１および４１を
それぞれ対向させて位置付ける。観察光学系３、４は、
天板１０の両端部の境界線１５を観察し、そのデータを
それぞれ制御系５へ送り、画像処理装置６および制御コ
ンピュータ７はそれらのデータを処理し、天板１０の両
端部に位置する境界線１５を結ぶ線のレーザ光１の光束
の分布軸に対する傾き角度、すなわち天板１０の傾きθ
を演算し、その演算結果に基づいて移動手段８を作動さ
せるべく指令する。これに応じて、ステージ２は移動手
段８を介して移動調整され、ステージ２上の天板１０
は、天板１０の両端部の境界線１５を結ぶ線がレーザ光
１の光束の分布軸と合致するようにその傾きθが調整さ
れる。そして、このように調整された角度は、天板の全
てのインク流路溝が加工される間は一定に保持する。

【００１７】レーザ光によるインク流路溝１３の加工
は、本発明においても、インク流路溝を複数のブロック
に分割して、ブロック毎にそのブロック内の複数のイン
ク流路溝をレーザ光により一度に加工するものである
が、この各ブロック毎の加工に先だって、一方の観察光
学系３の対物レンズ３１をインク流路溝を加工しようと
する一つの加工ブロックに対向させる。そして、この観
察光学系３を用いて、一ブロックの加工領域の中の特定
部位を観察し、制御系５は、その観察された画像から、
特定部位内の境界線１５を加工基準線とし、その加工基
準線が画面上常に同じ一定の基準位置に位置するよう
に、そのｚ方向の距離を演算し、その演算結果に基づい
て、移動手段８を介してステージ２をｚ方向に移動させ
る。このようにして、ステージ２および天板１０はｚ方
向の移動がなされ、その加工基準線１５が一定の基準位
置に位置したときに天板１０は位置決めされ、この状態
で、レーザ光１を天板１０の溝加工面１４に照射して、
そのブロックの加工領域内の複数のインク流路溝１３を
一度に加工する。

【００１８】そして、次のブロックの加工領域まで天板
１０をｘ方向に移動させ、そして前述と同様に、観察光
学系３によりそのブロックの加工領域の中の特定部位に
おける境界線１５を加工基準線として観察し、その加工
基準線１５を画面上の一定の基準位置と対比して、その
ｚ方向の距離を演算し、演算結果に基づいてステージ２
および天板１０をｚ方向に移動させて位置決めし、その
ブロックの加工領域内の複数のインク流路溝１３をレー
ザ光の照射により一度に加工する。

【００１９】このような操作を全てのブロックに対して
順次繰り返すことによって、天板１０の全てのインク流
路溝１３を加工する。

【００２０】なお、以上の説明においては、天板１０の
角度調整に際して、天板１０の両端部の境界線１５をそ
れぞれ別個の観察光学系３および４を用いて観察してい
るけれども、１個の観察光学系、例えば観察光学系３の
みを用いて、両端部の境界線を観察し、天板１０の角度
調整を行なうこともできる。

【００２１】すなわち、観察光学系３によって、先ず天
板１０のいずれか一方の端部の境界線１５を観察し、画
像処理装置６がそのデータを処理し境界線位置を認識す
る。次いで、天板１０の他方の端部の境界線１５が観察
光学系３に対向するように、天板１０をステージ２によ
りｘ方向に移動させる。そして観察光学系３によって同
様に天板１０の他方の端部の境界線１５を観察して画像
処理装置６によりその境界線位置を認識する。このよう
に１個の観察光学系３により順次観察された天板１０の
両端部の境界線位置から、天板１０がレーザ光１の光束
分布軸に対してどのくらいずれているのか制御コンピュ
ータ７により演算し、その演算結果に基づいて、天板１
０の角度がレーザ光１の光束の分布軸と合致するよう
に、スーテジ２によって天板１０の角度調整を行なう。
そして、その後のブロック毎のインク流路溝の加工は、
上記の説明と同様に観察光学系３を用いてブロック毎の
加工基準線１５を認識しながら行なう。このように１個
の観察光学系３を配備した加工装置によっても、天板の
角度調整およびインク流路溝の加工を行なうことができ
る。

【００２２】上述のように、本発明は、天板１０のイン
ク流路溝１３を加工形成する際に、最初に天板１０の反
りの影響の少ない天板の両端部を検出してレーザ光１の
光束の分布軸に対する天板１０の傾きを調整して、レー
ザ光１の光束の分布軸に対応する最適位置に天板を位置
決めし、そして、観察光学系により各ブロックの加工領
域毎に基準線１５とインク流路溝１３の位置を調整しな
がら、すなわち、ｘ方向およびｚ方向の位置のみを移動
の対象として、インク流路溝１３を複数のブロックに分
割してブロック毎に分割加工するようにしている。した
がって、湾曲した加工基準線を誇張して示す図２および
図３のように、天板を長尺化したために天板自身に反り
があり、加工基準線が湾曲しているとしても、図２に示
すように、インク流路溝１３の配列方向を一定にするこ
とができ、そして加工基準線１５とインク流路溝１３の
位置関係もほぼ一定に保つことができる。

【００２３】次に、本発明の製造方法により製造された
液体噴射記録ヘッドを適用した液体噴射記録装置につい
て図５を参照して説明する。

【００２４】図５において、１０１ａ〜１０１ｄはそれ
ぞれ、ライン型の液体噴射記録ヘッド（以下、「ヘッ
ド」ともいう。）であり、これらはホルダ１０２により
矢印Ｘ方向（図５）に所定の間隔を持って互いに平行に
固定支持されている。各ヘッド１０１ａ〜１０１ｄの下
面には矢印Ｙ方向（図５）に沿って、１列に１６吐出口
／ｍｍの間隔で３４５６個の吐出口が下向きに設けられ
ており、これにより２１６ｍｍ幅の記録が可能となって
いる。

【００２５】これらのヘッド１０１ａ〜１０１ｄは熱エ
ネルギーを用いて記録液を吐出する方式のものであり、
ヘッドドライバー１２０によって吐出制御されている。

【００２６】なお、前記ヘッド１０１ａ〜１０１ｄおよ
びホルダ１０２を含めてヘッドユニットが構成され、該
ヘッドユニットはヘッド移動手段１２４により、上下方
向に移動されるようになっている。

【００２７】また、前記ヘッド１０１ａ〜１０１ｄに対
応してその下部に隣接して配置されたキャップ１０３ａ
〜１０３ｄはそれぞれ内部にスポンジ等のインク吸収部
材を有する。

【００２８】前記キャップ１０３ａ〜１０３ｄは不図示
のホルダにより固定支持されており、該ホルダおよびキ
ャップ１０３ａ〜１０３ｄを含んでキャップユニットが
構成され、該キャップユニットはキャップ移動手段１２
５により矢印Ｘ方向（図５）に移動されるようになって
いる。

【００２９】各ヘッド１０１ａ〜１０１ｄにはそれぞ
れ、インクタンク１０４ａ〜１０４ｄからインク供給チ
ューブ１０５ａ〜１０５ｄを通じてシアン、マゼンタ、
イエロー、ブラックの各色のインクが供給され、カラー
記録を可能としている。

【００３０】また、このインク供給はヘッド吐出口の毛
細管現象を利用しており、各インクタンク１０４ａ〜１
０４ｄの液面は吐出口位置より一定距離だけ低く設定さ
れている。

【００３１】ベルト１０６は被記録材である記録紙１２
７を搬送するためのものであって帯電可能なシームレス
ベルトからなる。

【００３２】ベルト１０６は駆動ローラ１０７、アイド
ルローラ１０９，１０９ａおよびテンションローラ１１
０により所定の経路に引きまわされており、前記駆動ロ
ーラ１０７に接続され、モータードライバー１２１によ
り駆動されるベルト駆動モーター１０８により、走行さ
れる。

【００３３】また、ベルト１０６はヘッド１０１ａ〜１
０１ｄの吐出口の直下において矢印Ｘ方向（図５）に走
行し、ここでは固定支持部材１２６により、下側のブレ
を抑制されている。

【００３４】ベルト１０６の図示下方には、ベルト１０
６の表面に付着している紙粉等を除去するクリーニング
ユニット１１７が配設されている。

【００３５】前記ベルト１０６を帯電させる帯電器１１
２は、帯電器ドライバー１２２により、ＯＮ、ＯＦＦさ
れ、この帯電による静電的吸着力により、記録紙１２７
をベルト１０６に吸着する。

【００３６】帯電器１１２の前後には前記アイドルロー
ラ１０９，１０９ａと共同して搬送記録紙１２７をベル
ト１０６に押し付けるためのピンチローラ１１１，１１
１ａが配置されている。

【００３７】給紙カセット１１３内の記録紙１２７は給
紙ローラ１１６の回転により１枚ずつ送り出され、モー
タードライバー１２３により駆動される搬送ローラ１１
４およびピンチローラ１１５により矢印Ｘ方向（図５）
に山形ガイド１１３へと搬送される。該山形ガイド１１
３は記録紙１２７のたわみを許容する山形のスペースを
有する。

【００３８】記録の終了した記録紙１２７は排紙トレイ
１１８に排出される。

【００３９】前記ヘッドドライバー１２０、ヘッド移動
手段１２４、キャップ移動手段１２５、モータードライ
バー１２１，１２３および帯電器ドライバー１２２はす
べて制御回路１１９により制御される。

【００４０】本発明は、特に液体噴射記録方式の中で熱
エネルギーを利用して飛翔液滴を形成し、記録を行な
う、いわゆるインクジェット記録方式の記録ヘッド、記
録装置において、優れた効果をもたらすものである。

【００４１】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されており、本発明はこれらの基
本的な原理を用いて行なうものが好ましい。この記録方
式は所謂オンデマンド型、コンティニュアス型のいずれ
にも適用可能である。

【００４２】この記録方式を簡単に説明すると、記録液
（インク）が保持されているシートや液流路に対応して
配置されている吐出エネルギー発生素子である電気熱変
換体に駆動回路より吐出信号を供給する、つまり、記録
情報に対応して記録液（インク）に核沸騰現象を越え、
膜沸騰現象を生じるような急速な温度上昇を与えるため
の少なくとも一つの駆動信号を印加することによって、
熱エネルギーを発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜
沸騰を生じさせる。このように記録液（インク）から電
気熱変換体に付与する駆動信号に一対一に対応した気泡
を形成できるため、特にオンデマンド型の記録法には有
効である。この気泡の成長、収縮により吐出口を介して
記録液（インク）を吐出させて、少なくとも一つの滴を
形成する。この駆動信号をパルス形状とすると、即時適
切に気泡の成長収縮が行なわれるので、特に応答性に優
れた記録液（インク）の吐出が達成でき、より好まし
い。このパルス形状の駆動信号としては、米国特許第４
４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号明細書に
記載されているようなものが適している。なお、上記熱
作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第４３１３
１２４号明細書に記載されている条件を採用すると、さ
らに優れた記録を行なうことができる。

【００４３】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液流路、電気熱変換
体を組み合わせた構成（直線状液流路又は直角液流路）
の他に、米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許
第４４５９６００号明細書に開示されているように、熱
作用部が屈曲する領域に配置された構成を持つものにも
本発明は有効である。

【００４４】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出口とする構成を開
示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギー
の圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開
示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構成
を有するものにおいても本発明は有効である。

【００４５】さらに、本発明が有効に利用される記録ヘ
ッドとしては、記録装置が記録可能である被記録媒体の
最大幅に対応した長さのフルラインタイプの記録ヘッド
がある。

【００４６】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効で
ある。

【００４７】また、記録ヘッドに対する回復手段や予備
的な補助手段を付加することは、記録装置を一層安定に
することができるので好ましいものである。これらを具
体的に挙げれば、記録ヘッドに対しての、キャッピング
手段、クリーニング手段、加圧または吸引手段、電気熱
変換体或はこれとは別の加熱素子、あるいはこれらの組
み合わせによる予備加熱手段、記録とは別の吐出を行な
う予備吐出モード手段を付加することも安定した記録を
行なうために有効である。

【００４８】さらに、記録装置の記録モードとしては黒
色等の主流色のみを記録するモードだけではなく、記録
ヘッドを一体的に構成したものか、複数個の組み合わせ
で構成したものかのいずれでもよいが、異なる色の複色
カラーまたは、混色によるフルカラーの少なくとも一つ
を備えた装置にも本発明は極めて有効である。

【００４９】さらに加えて、本発明のインクジェット記
録装置の形態としては、コンピュータ等の情報処理機器
の画像出力端末として用いられるものの他、リーダ等と
組み合わせた複写装置、さらには送受信機能を有するフ
ァクシミリ装置の形態を採るものであってもよい。

【００５０】以上説明した本発明の実施例においては、
インクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で
固化するインクであって、室温で軟化もしくは液体とな
るもの、或いは、インクジェットにおいて一般的に行な
われている温度調整の温度範囲である３０℃以上７０℃
以下の温度範囲で軟化もしくは液体となるものでもよ
い。すなわち、使用記録信号付与時にインクが液状をな
すものであればよい。加えて、積極的に熱エネルギーに
よる昇温をインクの固形状態から液体状態への態変化の
エネルギーとして使用せしめることで防止するか、また
は、インクの蒸発防止を目的として放置状態で固化する
インクを用いるかして、いずれにしても熱エネルギーの
記録信号に応じた付与によってインクが液化してインク
液状として吐出するものや記録媒体に到達する時点では
すでに固化し始めるもの等のような、熱エネルギーによ
って初めて液化する性質のインク使用も本発明には適用
可能である。このような場合インクは、特開昭５４−５
６８４７号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報
に記載されるような、多孔質シート凹部または貫通孔に
液状または固形物として保持された状態で、電気熱変換
体に対して対向するような形態としてもよい。本発明に
おいては、上述した各インクに対して最も有効なもの
は、上述した膜沸騰方式を実行するものである。

【００５１】

【発明の効果】本発明は、上述のとおり構成されている
ので、長尺の液体噴射記録ヘッドに用いる天板に、レー
ザ光により複数のインク流路溝をブロック毎に分割加工
しても、各ブロック毎にインク流路溝の配列方向にばら
つきが生じることがなく、液体噴射記録ヘッドのインク
吐出方向が記録ヘッド内で統一されるために、印字品位
を損なうことがない長尺の液体噴射記録ヘッドを製造す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法におけ
る天板のインク流路溝を加工する態様を概略的に示す模
式図である。

【図２】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法によっ
て加工形成された長尺の天板において、その加工基準線
と各ブロック単位のインク流路溝の関係を示すために、
天板自体の反りや湾曲した加工基準線を誇張して模式的
に示す部分拡大図である。

【図３】通常の長尺の天板において、その加工基準線と
各ブロック単位のインク流路溝の関係を示すために、天
板自体の反りや湾曲した加工基準線を誇張して模式的に
示す部分拡大図である。

【図４】通常の長尺の天板を示し、（ａ）は長尺の天板
の模式斜視図であり、（ｂ）はその模式断面図である。

【図５】本発明の製造方法によって製造された液体噴射
記録ヘッドを搭載した液体噴射記録装置を示す模式斜視
図である。

【符号の説明】

１ レーザ光 ２ ステージ ３，４ 観察光学系 ５ 制御系 ６ 画像処理装置 ７ 制御コンピュータ ８ 移動手段 １０ 天板 １１ 天板本体 １２ 吐出口プレート １３ インク流路溝 １４ 溝加工面 １５ 境界線（加工基準線） ３１，４１ 対物レンズ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の吐出エネルギー発生素子が形成さ
   れた素子基板上に、天板本体とその端面に配設した吐出
   口プレートからなる天板であって、前記天板本体に前記
   各吐出エネルギー発生素子に対応する複数のインク流路
   溝をレーザ加工により形成し、そして前記吐出口プレー
   トに複数のインク吐出口をレーザ加工により形成してな
   る天板を取り付けて、長尺の液体噴射記録ヘッドを組み
   立てる長尺の液体噴射記録ヘッドの製造方法において、
   前記天板のインク流路溝の加工形成に際して、天板の両
   端部における天板本体の溝加工面と吐出口プレートとの
   境界線を検出し、検出された両端部の境界線を基準にし
   て、レーザ光の光束の分布軸に対する天板の角度調整を
   行ない、そして天板のインク流路溝を複数のブロックに
   分割して、各ブロックの前記境界線を加工基準線として
   検出し、レーザ光が当該ブロック内の溝加工面の所定位
   置を照射するように前記天板を位置合わせし、次いで、
   レーザ光により当該ブロック内の複数のインク流路溝を
   一度に加工し、この１ブロック毎のインク流路溝の加工
   を繰り返して天板の全てのインク流路溝を加工形成する
   ようにしたことを特徴とする長尺の液体噴射記録ヘッド
   の製造方法。
2. 【請求項２】 複数の吐出エネルギー発生素子が形成さ
   れた素子基板上に、天板本体とその端面に配設した吐出
   口プレートからなる天板であって、前記天板本体に前記
   各吐出エネルギー発生素子に対応して複数のインク流路
   溝をレーザ加工により形成し、そして前記吐出口プレー
   トに複数のインク吐出口をレーザ加工により形成してな
   る天板を取り付けて、長尺の液体噴射記録ヘッドを組み
   立てる長尺の液体噴射記録ヘッドの製造方法において、
   前記天板のインク流路溝の加工形成に際して、天板の両
   端部における天板本体の溝加工面と吐出口プレートとの
   境界線を別個の観察光学系でそれぞれ観察して、それら
   のデータに基づいて、天板の両端部の境界線を結ぶ線を
   レーザ光の光束の分布軸と合致するように天板の角度調
   整を行ない、そして天板のインク流路溝を複数のブロッ
   クに分割して、各ブロックの前記境界線を一方の観察光
   学系を用いて加工基準線として観察し、そのデータに基
   づいて、レーザ光が当該ブロック内の溝加工面の所定位
   置を照射するように前記天板を位置合わせし、次いで、
   レーザ光により当該ブロック内の複数のインク流路溝を
   一度に加工し、この１ブロック毎のインク流路溝の加工
   を繰り返して天板の全てのインク流路溝を加工形成する
   ようにしたことを特徴とする長尺の液体噴射記録ヘッド
   の製造方法。
3. 【請求項３】 複数の吐出エネルギー発生素子が形成さ
   れた素子基板上に、天板本体とその端面に配設した吐出
   口プレートからなる天板であって、前記天板本体に前記
   各吐出エネルギー発生素子に対応して複数のインク流路
   溝をレーザ加工により形成し、そして前記吐出口プレー
   トに複数のインク吐出口をレーザ加工により形成してな
   る天板を取り付けて、長尺の液体噴射記録ヘッドを組み
   立てる長尺の液体噴射記録ヘッドの製造方法において、
   前記天板のインク流路溝の加工形成に際して、天板の両
   端部における天板本体の溝加工面と吐出口プレートとの
   境界線を１つの観察光学系により順次観察して、それら
   のデータに基づいて、天板の両端部の境界線を結ぶ線を
   レーザ光の光束の分布軸と合致するように天板の角度調
   整を行ない、そして天板のインク流路溝を複数のブロッ
   クに分割して、各ブロックの前記境界線を前記観察光学
   系を用いて加工基準線として観察し、そのデータに基づ
   いて、レーザ光が当該ブロック内の溝加工面の所定位置
   を照射するように前記天板を位置合わせし、次いで、レ
   ーザ光により当該ブロック内の複数のインク流路溝を一
   度に加工し、この１ブロック毎のインク流路溝の加工を
   繰り返して天板の全てのインク流路溝を加工形成するよ
   うにしたことを特徴とする長尺の液体噴射記録ヘッドの
   製造方法。