JPH106443A

JPH106443A - セラミックスグリーンシート成形用キャリアーフィルム

Info

Publication number: JPH106443A
Application number: JP8165919A
Authority: JP
Inventors: Daisuke Shibuta; 大介渋田; Akira Nakabayashi; 明中林; Hiroyuki Imai; 浩之今井; Eiko Kanda; 栄子神田
Original assignee: Mitsubishi Materials Corp
Current assignee: Mitsubishi Materials Corp
Priority date: 1996-06-26
Filing date: 1996-06-26
Publication date: 1998-01-13

Abstract

(57)【要約】【課題】セラミックスグリーンシートの成形において
セラミックススラリーの塗工に用いるキャリアーフィル
ムの塗工性と離型性の改善。セラミックススラリーをは
じかずに均一に薄く塗工でき、薄型のグリーンシートで
も容易に剥離可能にする。【解決手段】 (a) プラスチックフィルム１の片面に離
型層２、反対側の面に帯電防止層３を形成するか、(b)
フィルム１の片面または両面に帯電防止層３と上層の離
型層２からなる２層皮膜を形成するか、(c) フィルム１
の片面または両面に帯電防止剤3'を含有する目視透明性
を備えた離型層2'を形成する。帯電防止層を形成する帯
電防止剤は、金属酸化物およびカーボンから選ぶ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、積層セラミックス
コンデンサー、多層セラミックス基板、積層型圧電体と
いった積層セラミックス製品の製造に用いるセラミック
スグリーンシートの成形に用いるキャリアーフィルムに
関する。より詳しくは、離型性に加えて帯電防止性と目
視検査を阻害しない透明性とを備えた上記キャリアーフ
ィルムに関する。

【０００２】

【従来の技術】積層セラミックス製品の製造に使用され
るセラミックスグリーンシートは、ミクロン・オーダー
の薄さのため、支持体となるキャリアーフィルムを用い
て一般に成形される。

【０００３】具体的には、セラミックス粉末とバインダ
ー、可塑剤などの添加剤を含むスラリー (以下、セラミ
ックススラリーという) を、ドクターブレード法により
透明なプラスチックフィルムからなるキャリアーフィル
ム上に塗工する。この時、フィルムを１方向に移動させ
ることにより、ドクターブレードとフィルム間の隙間に
対応する一定厚みで連続的にシートが塗工される。その
後、塗工されたシートを熱風またはヒーター等で乾燥し
て溶媒を除去すると、グリーンシートが完成する。完成
したグリーンシートを、通常はひっくり返して、キャリ
アーフィルム側からピンホール、偏肉等の欠陥の有無に
ついて目視または光学式の検査装置で検査する。その
後、このフィルムが付いたまま巻取って保管し、切断し
た後、セラミックスグリーンシートの使用前にフィルム
を剥がす。

【０００４】別の方法に浸漬法がある。浸漬法では、上
記のセラミックススラリーにプラスチックフィルムを浸
漬して両面にスラリーを塗工し、付着量を適宜の手段で
制御した後、乾燥させて、同時に２枚のグリーンシート
を成形する。この場合には、巻取り前にグリーンシート
をフィルムから剥がす。

【０００５】得られたセラミックスグリーンシートを使
用して、例えば、積層セラミックスコンデンサーは、所
定枚数の各グリーンシートの片面に内部電極を印刷して
から(或いはグリーンシートと内部電極とを交互に重ね
て) 積層し、積層体を焼成して一体化し、外部電極を導
電ペーストの塗布と焼付けにより形成することにより製
造される。

【０００６】セラミックスグリーンシートの成形に用い
るキャリアーフィルムの材料としては各種ポリマーが使
用できるが、コストや機械的特性からポリエステルやポ
リオレフィンが使用されることが多い。

【０００７】このキャリアーフィルムの表面には、この
フィルム上に形成した薄いグリーンシートをフィルムか
ら容易に剥がすことができる離型性が要求される。剥が
れにくいと、フィルムから剥がしたグリーンシートにヒ
ビ、割れなどの欠陥が発生し、歩留りが低下するか、或
いは積層コンデンサー等の製品の品質が低下する。その
ため、フィルム中にシリコーンオイルを配合する（特開
平１−196111号公報参照) 、フィルム表面にシリコーン
樹脂等を被覆して離型層を形成する（特開平１−208824
号、７−787257号、７−137217号各公報参照) といった
手段が採られている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】積層セラミックスコン
デンサー、多層セラミックス基板といった積層セラミッ
クス製品では、製品の性能向上のため多層化の程度がま
すます進み、それにつれてセラミックスグリーンシート
も薄型化しており、現在では数十μｍという薄さのもの
が多くなっている。

【０００９】このようにセラミックスグリーンシートが
薄型化すると、前述したようなシリコーン樹脂に基づく
離型性だけでは、キャリアーフィルムとグリーンシート
との剥離が困難となる場合がある。それにより、グリー
ンシートにクラックや割れが発生する。また、シートの
薄型化により、キャリアーフィルムをセラミックススラ
リーで均一に塗工することも困難となり、セラミックス
スラリーのハジキによる塗りムラやピンホールといった
欠陥が発生することも経験されてきた。さらに、薄型化
したセラミックスグリーンシートでは、これにホコリや
ゴミが混入することによる欠陥発生も無視できなくなっ
ている。これらの欠陥が発生した部位は廃棄されるの
で、製品の歩留り低下につながる。

【００１０】本発明の課題は、上記の問題点を解決する
ことである。即ち、薄いセラミックスグリーンシートの
成形に用いた場合でも、セラミックススラリーをはじか
ずに均一に塗工でき、グリーンシートの剥離が容易であ
って、さらにグリーンシートへのホコリやゴミの混入を
防ぐことができる、セラミックスグリーンシート成形用
のキャリアーフィルムを提供することが本発明の課題で
ある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
の解決を目指して検討を重ねた結果、薄型化したセラミ
ックスグリーンシートで顕著になった塗工や剥離の困難
性は、成形に用いるキャリアーフィルムの帯電に原因が
あることを究明した。

【００１２】即ち、フィルムに静電気が蓄積されている
と、塗工時にセラミックススラリー中の一部の成分が電
気的反発力によりフィルムへの付着が妨げられてハジキ
による塗りムラやピンホールが発生したり、剥離時には
逆に電気的吸引力でグリーンシートの剥離が妨げられる
ことが、上記の問題点を生じていた。また、このフィル
ムの帯電により、フィルムにゴミやホコリが付着し、こ
れがグリーンシート中に混入することになる。

【００１３】従って、セラミックスグリーンシートの成
形に用いるキャリアーフィルムに帯電防止能を付与すれ
ば、上記課題は解決できることが予想される。この種の
キャリアーフィルムに帯電防止能を付与することは、従
来技術においても示唆されている。例えば、特開平７−
137217号公報には、フィルム中にドデシルスルホン酸ナ
トリウム等の帯電防止剤を含有させることができること
が記載されている。また、特開平５−329994号公報に
は、セラミックススラリーに帯電防止剤を混入したり、
フィルムに帯電防止層を形成できることが記載されてい
る。しかし、いずれも、実施例ではこのような手段を採
用していない。

【００１４】一般にプラスチックフィルムの帯電防止
は、帯電防止剤をフィルム中に練り込むか、または帯電
防止剤をフィルムに塗布して帯電防止層を形成すること
により行われる。通常のプラスチックフィルムの帯電防
止は、表面抵抗が10⁹Ω／□以下に下がればよく、金属
粉といった導電性の高い無機系材料では抵抗が下がり過
ぎ、プラスチックフィルムの特性 (例えば、透明性) も
阻害されるため、有機系の帯電防止剤が使用される。具
体的にはイオン導電性または分極性を有する界面活性剤
が帯電防止剤として使用されている。特開平７−137217
号公報に帯電防止剤として記載されているドデシルスル
ホン酸ナトリウムもその１例である。

【００１５】本発明者らは、このような有機系の帯電防
止剤を用いてキャリアーフィルムの表面に帯電防止層を
形成し、その効果を調べたが、有機系の帯電防止剤で
は、帯電防止層中の帯電防止剤の濃度を非常に高くしな
いと、セラミックスグリーンシートが薄層化した場合に
見られる上記問題点を解消することはできないことが判
明した。しかし、このように高濃度に帯電防止剤を含有
させると、帯電防止層とフィルムとの密着性が低下する
ため、フィルムから帯電防止層が剥離し易いという問題
がある。

【００１６】そこでさらに検討した結果、無機系で透明
な導電性材料を用いて帯電防止能をキャリアーフィルム
に付与すると、薄いセラミックスグリーンシートを成形
する場合でも、セラミックススラリーをはじくことなく
容易に均一に塗工でき、かつ成形されたグリーンシート
を円滑に剥離できるキャリアーフィルムが得られること
を見出し、本発明に到達した。ここに、本発明は、下記
〜のセラミックスグリーンシート成形用キャリアー
フィルムである。

【００１７】透明プラスチックフィルムの片面にシリ
コーン系離型層を、反対側の面に導電性金属酸化物また
はカーボンを含有する目視透明性の帯電防止層を有する
ことを特徴とする、セラミックスグリーンシート成形用
キャリアーフィルム。

【００１８】透明プラスチックフィルムの片面または
両面に、導電性金属酸化物またはカーボンを含有する目
視透明性の帯電防止層と、その上のシリコーン系離型層
とからなる２層の皮膜を有することを特徴とする、セラ
ミックスグリーンシート成形用キャリアーフィルム。

【００１９】透明プラスチックフィルムの片面または
両面に、導電性金属酸化物およびカーボンから選ばれた
帯電防止剤を含有する目視透明性のシリコーン系離型層
を有することを特徴とするセラミックスグリーンシート
成形用キャリアーフィルム。

【００２０】本発明において「目視透明性」とは、その
層を通した目視観察を妨げない程度の透明性を意味す
る。具体的には、全可視光線透過率が60％以上、ヘーズ
が20％以下であればよい。

【００２１】

【発明の実施の形態】本発明のセラミックスグリーンシ
ート成形用キャリアーフィルムのフィルム材料は特に制
限されず、従来よりこの用途に使用されてきた任意のプ
ラスチックフィルムでよい。このフィルムには、可撓性
のみならず、支持体として十分な剛性および強度も要求
される。フィルムの厚みは通常は10〜300 μｍ程度であ
る。

【００２２】好ましいフィルム材料は、ポリエチレンテ
レフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート
（ＰＢＴ）などのポリエステル、ポリエチレン、ポリプ
ロピレンなどのポリオレフィン、ポリメチルペンテン、
ポリ塩化ビニリデンなどであり、延伸フィルム、特に２
軸延伸フィルムが好ましい。また、これらのポリマーを
主成分とするポリマーブレンド、或いは２種以上のポリ
マーを張り合わせた複層フィルムなども使用できる。特
に好ましいフィルム材料は、ＰＥＴおよびポリプロピレ
ンである。

【００２３】本発明によれば、離型剤と無機系帯電防止
剤を使用し、それらを第１の態様ではフィルムの両面に
分けて塗布し、第２の態様では２層化してフィルムの同
じ面に塗布し、第３の態様では混合してフィルムに塗布
する。

【００２４】離型層を形成するシリコーン系離型剤は特
に制限されず、既知のものを使用すればよい。シリコー
ン系離型剤の種類は、成形に用いるセラミックススラリ
ーが水系であるか有機溶剤系であるかに応じて適当な離
型剤を選択することができる。例えば、有機溶剤系のセ
ラミックススラリーに対しては、ジメチルポリシロキサ
ンを主成分とする熱硬化性シリコーン樹脂が離型剤とし
て好ましい。水系のセラミックススラリーに適したシリ
コーン系離型剤は、シリカ微粉末を含有するジメチルポ
リシロキサン、親水性を付与するように変性したシリコ
ーン樹脂 (例、信越化学社製のX-62-9022 、KS-881, 88
3 ) などである。

【００２５】帯電防止剤として、本発明では導電性金属
酸化物またはカーボンを使用する。もちろん、その両者
を併用してもよい。これらの無機系の帯電防止剤（導電
性物質）は、従来プラスチックフィルムの帯電防止に使
用されてきた有機系の帯電防止剤 (界面活性剤) に比べ
て、導電性が高いため、低濃度で帯電防止能を皮膜に付
与することができ、キャリアーフィルムの性能を損なう
恐れがない。

【００２６】導電性金属酸化物は、金属酸化物に原子価
の異なる別の金属または元素を少量含有させたものであ
り、例えば、スズ含有酸化インジウム（ＩＴＯ）、アン
チモン含有酸化錫（ＡＴＯ）、アルミニウム含有酸化亜
鉛（ＡＺＯ）、フッ素含有酸化錫 (ＦＴＯ) などが代表
例である。導電性金属酸化物は、これを混入した皮膜が
目視透明性を有するように、平均粒径0.5 μｍ以下、好
ましくは0.2 μｍ以下、さらに好ましくは0.1 μｍ以下
の微粉末のものを使用する。

【００２７】カーボンも、目視透明性を備えた皮膜が形
成できる微細な材料を使用する。このようなカーボン材
料として、ケッチェンブラックとカーボンナノチューブ
がある。ケッチェンブラックは、平均粒径約30 nm 程度
の鎖状構造のつながりを保持する導電性カーボンブラッ
クであり、球状をなさず、特異的な中空シェル状粒子の
形態をとる。

【００２８】カーボンナノチューブは、外径が数〜数十
ナノメーターの炭素中空繊維であり、特公平３−64606
号、同３−77288 号、特開平１−131251号、同３−1740
18号等に記載されている。このカーボンナノチューブ
を、例えば酸化性の濃厚な酸溶液中で処理する等の湿式
処理により開繊したものを使用することが好ましい。

【００２９】これらのカーボン材料は、微細中空状であ
るため、薄い皮膜中に少量に混入して皮膜に帯電防止能
を付与した場合、皮膜は多少黒みを帯びるが、これを通
した目視観察が可能な透明性をなお有している。

【００３０】なお、湿式開繊処理したカーボンナノチュ
ーブは自己結合性を有し、バインダーの樹脂を使用せず
にこの繊維単独で目視透明性を備えた帯電防止層を形成
することができる。

【００３１】第１の態様本発明の第１の態様のキャリアーフィルムは、図１(a)
に示すように、透明プラスチックフィルム１の片面に離
型層２が、他面に帯電防止層３が形成された構造を持
つ。

【００３２】離型層２は、離型剤として用いるシリコー
ン樹脂液をプラスチックフィルム１の片面に塗布し、必
要であれば焼付けて塗膜を乾燥または硬化させることに
より形成できる。別の方法として、予めシリコーン樹脂
から形成された離型層をプラスチックフィルムの片面に
接合 (接着剤または冷間もしくは熱圧着により) しても
よい。離型層の厚みは特に制限されないが、不必要に厚
くすることは好ましくない。通常は0.01〜15μｍの範囲
内である。

【００３３】プラスチックフィルム１の離型層２とは反
対側の面に形成する帯電防止層３は、前述した導電性金
属酸化物の微粉末またはカーボン材料と適当なバインダ
ーとを含む塗布液を調製し、この液をフィルムに塗布
し、バインダーの種類に応じて必要であれば焼付けを行
うことにより形成することができる。

【００３４】帯電防止層のバインダーとしては、有機樹
脂系バインダー (例、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポ
リエステル樹脂、ウレタン樹脂、ポリカーボネート樹
脂、メラミン樹脂) の他に、無機質皮膜を形成するゾル
ゲル型のバインダー (例、シランアルコキシド、チタン
アルコキシド等) も使用可能である。塗布液は有機溶剤
系でも、水系でもよい。この塗布液には、シランカップ
リング剤、界面活性剤等の分散剤、架橋剤、安定剤、沈
降防止剤、着色材、電荷調整剤、滑剤などの１種もしく
は２種以上の添加剤を必要に応じて含有させてもよい。

【００３５】前述したように、湿式開繊処理したカーボ
ンナノチューブは自己結合性を有しているので、塗布液
にバインダーを存在させなくても皮膜を形成することが
できる。但し、その場合には、目視透明性が失われない
ように膜厚を十分に小さくする必要がある (例、0.5 μ
ｍ以下) 。

【００３６】導電性金属酸化物またはカーボンは、 10⁷
〜10¹⁰Ω／□の範囲内の表面抵抗を有する帯電防止層が
形成されるような量で塗布液に配合することが好まし
い。帯電防止層の厚みは、通常は0.05〜５μｍ程度でよ
い。帯電防止剤が導電性金属酸化物の微粉末である場合
は、膜厚を厚くしたり、その含有量を増大させても透明
性はそれほど低下しないが、カーボン材料の場合には、
膜厚や含有量の増大に連れて皮膜の透明性が低下するの
で、目視透明性が確保される範囲内の膜厚および含有量
にする。

【００３７】第１の態様のキャリアーフィルムは、その
離型層２の上にドクターブレード法によりセラミックス
グリーンシート４を成形するのに使用できる。フィルム
の両面に帯電防止層と離型層を分けて形成するため、そ
の製造工程は複雑になるが、離型層の上に形成されたセ
ラミックスグリーンシートを剥離する時に、セラミック
スグリーンシートの絶縁性に悪影響を及ぼす帯電防止剤
がグリーンシートに付着する可能性がなく、帯電防止剤
の使用がセラミックスグリーンシートから形成される製
品の性能を阻害する危険性がない。

【００３８】キャリアーフィルムの離型層２の上に形成
されたセラミックスグリーンシート４は、フィルムをひ
っくり返して帯電防止層３の側から目視検査することが
できる。帯電防止層は目視透明性を備えているので、こ
の帯電防止層を通してグリーンシートのピンホール、割
れ、偏肉その他の欠陥を見ることができる。

【００３９】第２の態様本発明の第２の態様のキャリアーフィルムは、図１(b)
に示すように、透明プラスチックフィルム１の表面に、
上層が離型層２で、下層が帯電防止層３からなる２層皮
膜を形成したものである。この２層皮膜をフィルム１の
片面に形成したキャリアーフィルムはドクターブレード
法による、両面に形成したキャリアーフィルムは浸漬法
による、セラミックスグリーンシートの成形に利用でき
る。

【００４０】このキャリアーフィルムは、透明プラスチ
ックフィルムの表面にまず帯電防止層を、次いで離型層
を形成することにより製造することができる。各層の形
成方法、厚み、成分、特性 (表面抵抗等) は第１の態様
の場合と同様でよい。

【００４１】ただし、上層の離型層２を塗布法で形成す
る場合には、離型層の形成に用いるシリコーン樹脂がバ
インダーの機能を有しているため、下層の帯電防止層の
形成には必ずしもバインダーを使用する必要がない。即
ち、帯電防止剤として使用する導電性金属酸化物の微粉
末またはカーボン材料を適当な揮発性溶媒 (例、アルコ
ールまたは水) に分散させ、場合によりバインダー以外
の添加剤を添加して、バインダーを含有しない塗布液を
調製する。この塗布液をプラスチックフィルム１に塗布
し、必要であれば加熱して溶媒を揮発させて、実質的に
帯電防止剤のみからなる皮膜を形成する。この皮膜は、
帯電防止剤が自己結合性を示す湿式開繊処理したカーボ
ンナノチューブである場合以外は、結合力が非常に弱い
が、その上に離型層を形成するためシリコーン樹脂液を
塗布すると、下層の帯電防止剤の微粉末または繊維間の
空隙にシリコーン樹脂が浸透して充満することにより、
帯電防止剤がシリコーン樹脂で結合される。

【００４２】第２の態様のキャリアーフィルムは、帯電
防止層と離型層を同じ側の面に形成するため、第１の態
様より製造が容易である。また、両面に２層皮膜を形成
すれば浸漬法にも適用可能である。上層の離型層の上に
形成されたセラミックスグリーンシートをキャリアーフ
ィルムから剥離する時には、離型層とグリーンシートの
間で剥がれるため、下層の帯電防止剤がグリーンシート
に混入する危険性もほぼ回避される。さらに、前述した
ように下層にはバインダーを使用する必要がないので、
製造コストが抑制され、また２層の皮膜の合計厚みを比
較的容易に薄くすることができる。

【００４３】第３の態様本発明の第３の態様のキャリアーフィルムは、図１(c)
に示すように、透明プラスチックフィルム１の表面に、
帯電防止剤3'を含有する、目視透明性を備えた離型層2'
が形成されている。第２の態様と同様に、この離型層を
フィルム１の片面に形成したキャリアーフィルムはドク
ターブレード法による、両面に形成したキャリアーフィ
ルムは浸漬法による、セラミックスグリーンシートの成
形に利用できる。

【００４４】離型層2'は、シリコーン樹脂液に帯電防止
剤として導電性金属酸化物の微粉末またはカーボン材料
を混合する点を除いて、第１の態様の離型層と同様に形
成することができる。帯電防止剤の添加量は、形成され
た離型層の表面抵抗が、第１の態様の帯電防止層につい
て説明した範囲内となるように選択すればよい。

【００４５】第３の態様のキャリアーフィルムは、皮膜
が１層だけであるので、最も製造工程が単純であり、コ
スト面では有利である。また、この離型層を両面に形成
すれば浸漬法にも適用可能である。しかし、離型層に帯
電防止剤も含有するため、この離型層上に形成されたセ
ラミックスグリーンシートを剥離する時に、離型層の一
部がグリーンシートに付着して残ると、グリーンシート
から製造した製品の絶縁性が、混入した帯電防止剤のた
めに低下する可能性がある。従って、特に高い絶縁性が
要求される製品用のセラミックスグリーンシートの成形
には、第１または第２の態様のキャリアーフィルムの方
が適している。

【００４６】以上のいずれの態様の場合でも、本発明の
離型層と帯電防止層 (または帯電防止剤を含む離型層)
を備えたキャリアーフィルムは、その片面が 10⁷〜10¹⁰
Ω／□の範囲内の導電性を有していれば帯電防止能は十
分であり、セラミックススラリーの塗工時におけるハジ
キやピンホール発生が解消される。また、このキャリア
ーフィルムの全可視光線透過率が60％以上、ヘーズが20
％以下であれば、フィルムを通して、このフィルム上
(正確には離型層上) に形成されたセラミックスグリー
ンシートを目視検査することができる。

【００４７】

【実施例】

（実施例１）厚さ25μｍの２軸延伸ＰＥＴフィルムの片
面に、ジメチルポリシロキサン系のシリコーン樹脂液
(信越化学工業製 KS-717)をバーコーターで塗布し、60
℃に加熱して、膜厚0.09μｍの離型層を形成した。

【００４８】次いで、ＰＥＴフィルムの反対側の面に、
スチレンアクリル酸共重合体系の水性エマルジョン樹脂
液 (樹脂固形分10wt％) に、湿式開繊処理したカーボン
ナノチューブ (外径10 nm)を樹脂固形分に対して1.5wt
％の量で分散させた分散液をバーコーターで塗布し、常
温乾燥して、膜厚0.11μｍの帯電防止層を形成し、図１
(a) に示す構成のキャリアーフィルムを作製した。

【００４９】（実施例２）厚さ25μｍの２軸延伸ＰＥＴ
フィルムの片面に、25％アクリル樹脂塗料を同重量のト
ルエンで希釈したバインダー溶液中にＡＴＯ微粉末
(平均粒径 0.005〜0.5 μｍ) を樹脂固形分に対して60w
t％の量で分散させた分散液をバーコーターで塗布し、
常温乾燥して、膜厚0.12μｍの帯電防止層を形成した。
この帯電防止層の上に、実施例１と同様にして膜厚0.08
μｍのシリコーン樹脂系離型層を形成し、図１(b) に示
す２層皮膜構成 (上層が離型層、下層が帯電防止層) を
持つキャリアーフィルムを作製した。

【００５０】（実施例３）厚さ25μｍの２軸延伸ＰＥＴ
フィルムの片面に、ジメチルポリシロキサン系のシリコ
ーン樹脂液 (実施例１と同じ) 中にＩＴＯ微粉末 (平均
粒径0.03〜0.2 μｍ) を樹脂固形分に対して40wt％の量
で添加して十分に分散させた分散液をバーコーターで塗
布し、60℃に加熱して、膜厚0.14μｍの帯電防止剤を含
有する離型層を形成し、図１(c) に示す構成のキャリア
ーフィルムを作製した。

【００５１】(比較例１)厚さ25μｍの２軸延伸ＰＥＴフ
ィルムの片面に、ジメチルポリシロキサン系のシリコー
ン樹脂液 (実施例１と同じ )をバーコーターで塗布し、
60℃に加熱して膜厚0.09μｍの離型層を形成し、片面に
離型層のみを設けた従来のキャリアーフィルムを作製し
た。

【００５２】(比較例２)厚さ25μｍの２軸延伸ＰＥＴフ
ィルムの片面に、ジメチルポリシロキサン系のシリコー
ン樹脂液 (実施例１と同じ) 中に、有機帯電防止剤であ
るドデシルスルホン酸ナトリウムを樹脂固形分に対して
70wt％の量で添加して十分に分散させた分散液をバーコ
ーターで塗布し、60℃に加熱して膜厚0.14μｍの離型層
を形成し、片面に有機系帯電防止剤を含有する離型層を
設けた比較用のキャリアーフィルムを作製した。

【００５３】これらの各キャリアーフィルムの表面抵抗
値（実施例１のフィルムでは帯電防止層側、その他のフ
ィルムでは塗布面側）を表面抵抗計 (三菱化学製ハイレ
スタMCP-HT210)により、全可視光線透過率とヘーズ値を
直読ヘーズコンピュータ (スガ試験機製HGM-3)により測
定した結果を表１に示す。

【００５４】(グリーンシートの形成)以上の実施例およ
び比較例で作製したキャリアーフィルムを用いて、次の
ようにしてドクターブレード法によりセラミックスグリ
ーンシートを成形した。

【００５５】平均粒径0.2 μｍのチタン酸バリウム (Ba
TiO₃) 60重量部、エチルセルロース(バインダー) ８重
量部、トルエン (溶剤) 32重量部からなるセラミックス
スラリーを、各キャリアーフィルム（10cm×10cm）の離
型層の上にドクターブレードを用いて塗工し、70℃で乾
燥して、各フィルム上に厚さ80μｍのセラミックスグリ
ーンシートを形成した。このグリーンシートの成形作業
は、通常の清浄度の室内で行った。

【００５６】セラミックススラリーの塗工性を調べるた
め、キャリアーフィルムを通してグリーンシートの塗り
ムラやピンホールの有無を目視検査した。次いで、剥離
性を調べるため、手作業でグリーンシートをキャリアー
フィルムから剥離し、剥離したグリーンシートの割れや
クラックの有無を目視検査した。また、グリーンシート
の付着残物（ゴミやほこり）の有無も同時に調べた。以
上の結果を表１に併せて示す。

【００５７】

【表１】

【００５８】

【発明の効果】表１からわかるように、本発明のセラミ
ックスグリーンシート成形用のキャリアーフィルムは、
高い帯電防止効果を有するため、セラミックススラリー
を薄く均一に塗工できる良好な塗工性を示し、また塗工
時にフィルムにゴミやほこりが付着するのを防ぐことが
でき、塗りムラやピンホールのないグリーンシートを形
成することができる。また、帯電防止効果によって電気
的吸引力による離型障害が解消されるため、フィルムの
離型性も高まり、薄いセラミックスグリーンシートでも
割れやクラックを生ずることなく、フィルムから円滑に
剥離することができる。そのため、高品質のセラミック
スグリーンシートを高い歩留りで成形することが可能と
なる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１(a) 、(b) 、(c) はそれぞれ本発明の第
１、第２、第３の態様の皮膜構成を示す説明図である。

【符号の説明】

１：プラスチックフィルム、２, 2'：離型層、３：帯電
防止層、3'：帯電防止剤、４：セラミックスグリーンシ
ート

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者神田栄子埼玉県大宮市北袋町１丁目297番地三菱マテリアル株式会社総合研究所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】透明プラスチックフィルムの片面にシリ
コーン系離型層を、反対側の面に導電性金属酸化物また
はカーボンを含有する目視透明性の帯電防止層を有する
ことを特徴とする、セラミックスグリーンシート成形用
キャリアーフィルム。
【請求項２】透明プラスチックフィルムの片面または
両面に、導電性金属酸化物またはカーボンを含有する目
視透明性の帯電防止層と、その上のシリコーン系離型層
とからなる２層の皮膜を有することを特徴とする、セラ
ミックスグリーンシート成形用キャリアーフィルム。
【請求項３】透明プラスチックフィルムの片面または
両面に、導電性金属酸化物およびカーボンから選ばれた
帯電防止剤を含有する、目視透明性のシリコーン系離型
層を有することを特徴とする、セラミックスグリーンシ
ート成形用キャリアーフィルム。